KR100647252B1 - 에피택셜 웨이퍼 및 이의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
원소 | 몰가(Molar Volume)(㎤) | 원자가(Atomic Volu)(Å3) |
S(Silicon) | 12.06 | 20.03 |
P(Phosphorus) | 17.02 | 28.27 |
As(Arsenic) | 12.95 | 21.51 |
Sb(Antomony) | 18.19 | 30.22 |
B(Boron) | 4.39 | 7.29 |
Ge(Germanium) | 13.63 | 22.64 |
Claims (7)
- 도판트를 첨가시켜 단결정 봉을 성장시키는 단계;상기 단결정 봉을 절단 연마하여 소정의 두께를 가지는 웨이퍼를 형성시키는 단계;상기 웨이퍼 상에 에피택셜층을 형성시키는 단계를 포함하되,상기 도판트는 As, P, Sb, B, Si, C, Ge, Sn, Be, Mg 및 Sr 중 적어도 어느 하나 이상으로부터 선택되어지는 것으로서, 그 첨가농도가 상기 웨이퍼와 상기 에피택셜층간의 격자 상수 차를 최소화할 수 있는 2×1018 내지 5×1019/㎤ 범위 내인 것을 특징으로 하는 에피택셜 웨이퍼 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 에피택셜층을 형성시키는 단계는,두께가 5 내지 10㎛이며,붕소(B) 또는 p타입 불순물 중 적어도 어느 하나 이상에 의해 도핑되는 것을 특징으로 하는 에피택셜 웨이퍼 제조 방법.
- 도판트를 첨가시켜 단결정 봉을 성장시키는 단계;상기 단결정 봉을 절단 연마하여 소정의 두께를 가지는 웨이퍼를 형성시키는 단계;상기 웨이퍼의 일 표면상에 산화막층을 형성시키는 단계; 및상기 웨이퍼의 타 표면상에 에피택셜층을 형성시키는 단계를 포함하되,상기 도판트는 붕소(B) 또는 p 타입 불순물 중 적어도 어느 하나 이상으로부터 선택되어지는 것으로서, 그 첨가농도가 상기 웨이퍼와 상기 에피택셜층간의 격자 상수 차를 최소화할 수 있는 2×1018 내지 5×1019/㎤ 범위 내인 것을 특징으로 하는 에피택셜 웨이퍼 제조 방법.
- 제 3 항에 있어서,상기 에피택셜층을 형성시키는 단계는,두께가 5 내지 10㎛이며,붕소(B) 또는 p 타입 불순물 중 적어도 어느 하나 이상에 의해 도핑되는 것을 특징으로 하는 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법.
- 2×1018 내지 5×1019/㎤ 범위 내의 도판트의 첨가 농도를 갖는 단결정 실리콘 웨이퍼;상기 웨이퍼 후면에 형성된 산화막층; 및상기 웨이퍼의 전면에 형성된 에피택셜층을 포함하되,상기 도판트는 붕소(B) 또는 p 타입 불순물 중 적어도 어느 하나 이상으로 부터 선택되어지는 것을 특징으로 하는 에피택셜 웨이퍼.
- 제 5 항에 있어서,상기 에피택셜층은두께가 5 내지 10㎛이며,붕소(B) 또는 p 타입 불순물 중 적어도 어느 하나 이상에 의해 도핑되는 것을 특징으로 하는 에피택셜 웨이퍼.
- 제 5 항에 있어서,상기 산화막층은 산화막의 두께가 2000 내지 5000Å인 것을 특징으로 하는 에피택셜 웨이퍼.
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Cited By (1)
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KR101276317B1 (ko) | 2006-12-29 | 2013-06-18 | 주식회사 엘지실트론 | SiGe층의 증착에 의해 웨이퍼의 휨을 조절하는 방법 및이 방법에 의해 제조된 웨이퍼 |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS6053014A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-26 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
US20030104222A1 (en) * | 2001-10-10 | 2003-06-05 | Toshiaki Ono | Silicon wafer and epitaxial silicon wafer |
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2004
- 2004-12-31 KR KR1020040118144A patent/KR100647252B1/ko active IP Right Grant
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