KR100601368B1 - 유기전계발광표시장치의 특성평가수단 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기전계발광표시장치에 관한 것으로써, 상세하게는 유기전계발광표시장치의 제조공정별 특성 및 투습정도를 평가할 수 있도록 테스트패턴이 형성된 유기전계발광표시장치의 특성평가수단에 관한 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 기판과; 상기 기판위에 적층되는 유기전계발광표시장치와; 상기 기판위에 적층형성되어 상기 유기전계발광표시장치의 특성을 검사하는 특성평가수단을 포함한다. 여기서, 상기 유기전계발광표시장치는 입력된 데이타 신호에 따라 발광되는 화소부와; 상기 화소부의 상기 데이타신호가 입력되는 패드를 구비하며, 상기 특성평가수단은 상기 기판과 상기 봉지기판사이의 상기 화소부의 외측에 형성된 테스트패턴, 또는 상기 특성평가수단은, 상기 유기전계발광표시장치의 화소부와 봉지기판의 외측에 형성되어 상기 유기전계발광표시장치의 기판분리공정단계에서 상기 유기전계발광표시장치로부터 분리되는 테스트패턴인 것을 특징으로 한다.
유기EL소자, OLED, 테스트패턴

Description

유기전계발광표시장치의 특성평가수단{ Characteristic valuation means for electro luminescence display }
도 1은 종래의 유기전계발광표시장치를 나타낸 평면도,
도 2는 본 발명의 제 1 실시예를 나타낸 평면도,
도 3은 본 발명의 제 2 실시예를 나타낸 평면이다.
* 도면부호에 대한 간략한 설명 *
10 : 기판 20 : 유기전계발광표시장치
21 : 화소부 22 : 패드
30 : 스크라이빙 라인 40 : 테스트패턴
본 발명은 유기전계발광표시장치에 관한 것으로써, 상세하게는 유기전계발광표시장치의 제조공정별 특성 및 투습정도를 평가할 수 있도록 테스트패턴이 형성된 유기전계발광표시장치의 특성평가수단에 관한 것이다.
최근 유기 전계발광(Electro Luminescence:EL)소자를 포함한 발광소자를 사용하는 표시장치의 개발이 활발화해지고 있다. 유기전계발광소자는 스스로가 발광 하기 위해 시감도가 높아, 액정표시장치 (LCD) 등에서 필요한 백라이트를 필요로 하지 않기 때문에 박형화에 적합함과 동시에, 시야각에 거의 제한이 없다.
여기서 유기EL소자란, ITO와 같은 투명전극인 양극과 일함수가 낮은 금속(Ca, Li, Al)을 사용한 음극사이에 유기 박막층이 있는 구조로 구성된다. 이러한 유기EL소자에 순방향의 전압을 인가하면, 양극과 음극에서 각각 정공과 전자가 주입되고, 주입된 정공과 전자는 결합하여 엑시톤(Excition)을 형성하고, 엑시톤이 발광재결합하여 전기 발광형상을 일으킨다.
상술한 바와 같은 유기전EL소자를 이용한 유기전계발광표시장치는 도 1 에 도시된 바와 같다. 도 1은 유기전계발광표시장치의 화소어레이 및 화소구동회로가 제작된 이후, 봉지공정의 전단계를 도시한 평면도이다.
도면부호 10은 기판, 20은 유기전계발광표시장치, 21은 화소부, 22은 패드, 30은 스크라이빙 라인이다.
기판(10)은 각 유기전계발광표시장치(20)가 어레이되고, 상기 유기전계발광표시장치는 발광되는 화소부(21)와 상기 화소부(21)의 데이타신호가 입력되는 패드(22)를 포함한다. 그리고 스크라이빙 라인(30)은 어레이된 각 유기전계발광표시장치를 분리할때, 절취되는 라인이다.
도시된 바와 같이 기판(10)에는 다수개의 유기전계발광표시장치(20)가 어레이되며, 각 유기전계발광표시장치(20)는 외측에 스크라이빙 라인(30)이 구성된다. 또한, 유기전계발광표시장치(20)는 중앙부에 화소부(21)가 구성되고, 하측의 일정영역에는 상기 화소부(21)에 전원 및 구동신호를 전달하는 패드(22)가 형성된다.
상기와 같은 유기전계발광표시장치(20)는 이후 단계에서 봉지기판(도시되지 않음)이 상기 스크라이빙라인(30)을 따라 패드(22)를 제외한 화소부를 봉지하고, 이후에는 기판절취수단(도시되지 않음)이 상기 스크라이빙라인(30)을 따라서 각 유기전계발광표시장치(20)를 분리시키므로, 예를들면, 휴대용 단말기등에 채용된다.
그러나 이와 같은 종래의 유기전계발광표시장치는 화소어레이 및 구동회로의 공정진행단계 또는 공정이 완료되어 봉지기판이 봉지된 이후 상기 유기전계발광표시장치를 특성평가할 수 있는 수단이 구성되지 못하므로 제조공정 및 공정완료된 상태에서 발생된 불량을 검사하지 못한다. 따라서 불량제품이 출시되어 회사의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 본 발명은, 기판에 어레이된 유기전계발광표시장치에 봉지기판이 봉지되기 이전 또는 이후에 기판에 어레이된 유기전계발광표시장치의 전기적특성을 평가할 수 있는 특성평가수단을 구성하므로써 불량제품이 출시됨을 방지하는 유기전계발광표시장치의 특성평가수단를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 기판과; 상기 기판위에 적층되는 유기전계발광표시장치와; 상기 기판위에 적층형성되어 상기 유기전계발광표시장치의 특성을 검사하는 특성평가수단을 포함한다.
그리고, 상기 유기전계발광표시장치를 봉지하는 봉지기판을 더 포함하는 것 을 특징으로 한다.
여기서, 상기 유기전계발광표시장치는 입력된 데이타 신호에 따라 발광되는 화소부와; 상기 화소부의 상기 데이타신호가 입력되는 패드를 구비하며, 상기 특성평가수단은 상기 기판과 상기 봉지기판사이의 상기 화소부의 외측에 형성된 테스트패턴인 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 테스트패턴은 상기 유기전계발광표시장치의 기판분리 이전공정까지 상기 유기전계발광표시장치의 특성을 평가할 수 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 테스트패턴은 상기 유기전계발광표시장치의 기판분리공정에서 상기 유기전계발광표시장치로부터 분리되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 테스트패턴은 상기 유기전계발광표시장치의 기판분리공정 이후 상기 봉지기판에 의한 봉지영역에 잔류되어 상기 유기전계발광표시장치의 특성을 평가하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 테스트패턴은 상기 유기전계발광표시장치의 투습정도를 측정할 수 있는 것을 특징으로 한다.
여기서 상기 테스트패턴은 상기 유기전계발광표시장치와 동일한 공정단계를 갖고 제조되어 각 공정단계를 모니터링하는 것을 특징으로 한다.
또는, 상기 테스트패턴은 박막트랜지스터의 파라미터 측정용 패턴인것을 특징으로 한다.
또는, 상기 테스트패턴은 배선의 쉬트저항 측정용 패턴인것을 특징으로 한다.
또는 상기 테스트패턴은 컨택저항 측정용 패턴인것을 특징으로 한다.
또는, 상기 테스트패턴은 커패시턴스 측정용 패턴인것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 테스트패턴은 박막트랜지스터의 균일성 측정용 패턴인것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치의 특성평가수단의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예를 나타낸 평면도이다.
도면부호 40은 테스트패턴이며, 종래와 동일한 구성요소는 동일부호를 부여하여 설명한다.
도시된 바와 같이 기판(10)에는 다수개의 유기전계발광표시장치(20)가 어레이되며, 각 유기전계발광표시장치(20)는 외측에 스크라이빙 라인(30)이 구성된다. 여기서, 유기전계발광표시장치(20)는 중앙부에 화소부(21)가 구성되고, 하측의 일정영역에는 상기 화소부(21)에 전원 및 구동신호를 전달하는 패드(22)가 형성된다.아울러 상기 스크라이빙 라인(30)의 안쪽에서 상기 화소부(21)의 외측에 테스트패턴(40)이 구성된다. 여기서 상기 테스트패턴(40)은 상기 화소부(21)와 동일한 공정으로 기판(10)위에 형성됨에 따라 공정단계 또는 공정완료단계에서 상기 유기전계발광표시장치의 특성평가가 가능하다.
즉, 상기 유기전계발광표시장치의 기판분리공정 이전 또는 이후의 공정에서, 상기 테스트패턴(40)은 표면에 포함된, 예를들면, 화소부(21)에 포함되는 박막트랜지스터(도시되지 않음)와 동일공정으로 박막트랜지스터(도시되지 않음)가 형성되므 로써 상기 테스트 패턴(40)의 박막트랜지스터(도시되지 않음)의 전기적 파라미터를 측정함으로써 상기 화소부(21)의 박막트랜지스터(도시되지 않음)의 전기적파라미터를 측정한다.
또는, 예를들면, 각 배선의 면저항(Sheet Resistance) 측정은 테스트패턴(40)의 배선에 컨택홀(Contact Hole)과 비어홀(Bear Hole)을 형성하여 전극을 형성한다. 그러므로 사용자는 측정수단의 단자를 상기 테스트패턴(40)의 전극과 접촉시키므로 상기 배선의 쉬트저항을 측정할 수 있다.
또는, 예를들면, 컨택저항의 측정은 테스트패턴(40)에 포함되는 컨택홀과 기판(10)을 테스트패턴(40)에 연결시켜 측정수단을 통해 컨택저항을 측정할 수 있다.
또는, 예를들면, 상기 화소부(21)의 유기EL소자의 구동회로에 포함된 캐패시턴스(Capacitance)의 특성을 측정하기 위해서는 상기 테스트패턴(40)에 형성된 캐패시턴스의 양 전극에 컨택홀과 비어홀을 형성하여 전극을 형성하고, 상기 전극과 연결되는 패드를 상기 테스트패턴(40)에 포함시킨다. 그러므로 상기 테스트패턴(40)에 형성된 패드에 캐패시턴스의 특성측정수단을 연결시키므로써 상기 캐패시턴스의 특성을 측정할 수 있다.
또는 , 예를들면, 기판(10)내에 형성된 각 테스트패턴(40)의 박막트랜지스터의 전기적 파라미터를 각각 측정한 후 이를 비교하여 박막트랜지스터의 균일성을 측정할 수 있다.
여기서, 도시된 바와 같이 유기전계발광표시장치(20)가 기판위에 어레이되면, 이후 공정에서 봉지기판(도시되지 않음)이 상면에 봉지되고, 그리고 기판절취 수단(도시되지 않음)에 의해 상기 유기전계발광표시장치(20)가 기판에서 분리된다. 이때 상기 테스트패턴(40)은 상기 스크라이빙라인(30)의 안쪽에 위치됨으로써 상기 봉지기판에 의해 봉지된 영역에 상기 테스트패턴(40)이 잔류됨에 따라서 봉지공정 이후에도 유기전계발광표시장치의 특성평가가 가능하다.
즉, 예를들면, 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 테스트패턴(40)은 화소부(21)의 외측에서 스크라이빙라인(30)내에 구성됨에 따라 봉지기판(도시되지 않음)이 각각의 화소부(21)에 봉지(Encapsulation)되고, 이후에 각각의 화소부(21)가 스크라이빙 라인(30)을 따라 분리되는 스크라이빙 절취공정시, 스크라이빙라인(30) 안쪽에 위치되므로 봉지된 영역내에 잔류하게 된다. 따라서 본 발명은 상기 테스트패턴(40)에 봉지기판(10) 내부의 투습정도를 측정할 수 있는 센서패턴(40)도 형성이 가능하다. 따라서 본 발명의 제 1 실시예는 기판절취공정이전에는 상기 유기전계발광표시장치(20)의 상술한 각 특성을 테스트할 수 있고, 기판(10)과 유기전계발광표시장치(20)가 분리된 이후에는 봉지된 영역내의 투습정도를 측정할 수 있다.
도 3 은 본 발명의 제 2 실시예를 도시한 평면도이다.
도면부호 50은 테스트패턴이며, 종래와 동일한 구성요소는 동일부호를 부여하여 설명한다.
도시된 바와 같이 본 발명의 제 2 실시예는 기판(10)위에 어레이되는 유기전계발광표시장치(20)의 외측에서 스크라이빙 라인(30)의 범위외에 상기 화소부(21) 및 패드(22)와 같은 구성을 갖고 형성된다.
따라서, 상기 테스트패턴(50)은 상기 화소부(21)의 각 공정과 동일한 공정으로써 상기 테스트 패턴(50)이 형성됨에 따라 각 공정별로 상기 테스트 패턴(50)을 이용하여 상술한 바와 같은 배선의 저항, 커패시턴스의 특성평가, 박막트랜지스터의 균일성등의 각 특성을 측정함에 따라 공정단계별 불량을 판단할 수 있다. 아울러, 봉지기판(도시되지않음)이 상기 패드(22)를 제외한 화소부(21)에 봉지(Encapsulation)된 이후, 기판(10)에 어레이되는 각 유기전계발광표시장치(20)를 분리시키는 절취공정을 진행하면, 상기 테스트패턴(50)은 상기 유기전계발광표시장치(20)와 분리된다.
즉, 본 발명의 제 2 실시예는 스크라이빙라인(30)의 외측에 상기 테스트패턴(50)이 형성됨으로써 기판절취수단(도시되지 않음)에 의해 상기 유기전계발광표시장치(20)가 기판에서 분리되기 이전단계에서 상술한 바와 같은 상기 유기전계발광표시장치(20)의 각 파라미터의 특성을 측정한다. 그리고, 상기 테스트패턴(50)은 스크라이빙라인(30) 외측에 위치됨에 따라 기판절취수단이 상기 유기전계발광표시장치(20)를 상기 스크라이빙라인(30)에 맞춰서 절취함으로 상기 유기전계발광표시장치와 분리된다.
상기 발명의 상세한 설명은 본 발명의 특정 실시예를 예로 들어서 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 개념을 이탈하지 않는 범위 내에서 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 형태로 변형 또는 변경 실시하는 것 또한 본 발명의 개념에 포함되는 것은 물론이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 특성평가수단을 포함하는 유기전계발광표시장치는 스크라이빙라인의 안쪽에 테스트패턴을 형성함에 따라 봉지공정이후에도 투습 또는 기타 전기적특성을 측정할 수 있고, 또한 제 2 실시예로써 스크라이빙 라인의 바깥쪽 하부기판에 상기 화소부와 동일한 공정으로써 테스트패턴을 적층함으로써 상기 유기전계발광표시장치의 공정을 모니터링 할 수 있다.

Claims (13)

  1. 기판과;
    상기 기판위에 어레이되는 유기전계발광표시장치와;
    상기 기판위에 형성되어 상기 유기전계발광표시장치의 특성을 검사하는 평가수단과,
    상기 유기전계발광표시장치를 봉지하는 봉지기판을 포함하며,
    상기 유기전계발광표시장치는 입력된 데이타 신호에 따라 발광되는 화소부를 구비하며, 상기 평가수단은 상기 기판과 상기 봉지 기판 사이의 상기 화소부의 외측에 형성된 테스트 패턴이고, 상기 테스트 패턴은 상기 유기 전계 발광 표시 장치의 기판 분리 공정 이후 상기 봉지 기판에 의한 봉지 영역에 잔류되어 상기 유기 전계 발광 표시 장치의 특성을 평가하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 유기전계발광표시장치는
    상기 화소부의 상기 데이타신호가 입력되는 패드를 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 테스트패턴은
    상기 유기전계발광표시장치의 투습정도를 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 테스트패턴은
    상기 유기전계발광표시장치와 동일한 공정단계를 갖고 제조되어 각 공정단계를 모니터링하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 테스트패턴은
    박막트랜지스터의 파라미터 측정용 패턴인것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 테스트패턴은
    배선의 쉬트저항 측정용 패턴인것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  11. 제 1항에 있어서, 상기 테스트패턴은
    컨택저항 측정용 패턴인것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  12. 제 1항에 있어서, 상기 테스트패턴은
    커패시턴스 측정용 패턴인것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
  13. 제 1항에 있어서, 상기 테스트패턴은
    박막트랜지스터의 균일성 측정용 패턴인것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.
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