KR20150074383A - 점등 패드부 및 이를 포함하는 유기발광표시장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 점등 패드부는 패드 컨택부 및 패드 절연부를 구비하는 기판, 상기 기판 상에 형성된 제1 배선층, 상기 제1 배선층 상의 상기 패드 절연부에 형성된 층간 절연막, 상기 층간 절연막 상에 형성된 제2 배선층, 싱기 제2 배선층 상의 상기 패드 절연부에 형성되면서 상기 제2 배선층을 노출시키는 개구부를 구비하는 투습 방지 절연막을 포함하고, 상기 층간 절연막은 상기 패드 컨택부에는 형성되지 않는 것을 특징으로 하여, 점등 검사 시 외부 압력에 의한 기판 불량을 개선할 수 있다.

Description

점등 패드부 및 이를 포함하는 유기발광표시장치{Lighting Pad Area and Organic Light Emitting Display Device of comprising the same}

본 발명은 점등 패드부 및 이를 포함하는 유기발광표시장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 점등 검사 시 외부 압력에 의한 기판 불량을 개선한 패드부 및 이를 포함하는 유기발광표시장치에 관한 것이다.

최근, 정보화 사회로 시대가 발전함에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판 표시 장치의 중요성이 증대되고 있다. 평판 표시 장치 중 박막 트랜지스터를 포함하는 액정표시장치 및 유기 발광표시장치는 해상도, 컬러 표시, 화질 등에서 우수하여 텔레비전, 노트북, 테블릿 컴퓨터, 또는 데스크 탑 컴퓨터의 표시 장치로 널리 상용화되고 있다. 특히, 유기발광표시장치는 고속의 응답속도를 가지며, 소비 전력이 낮고, 자체 발광이므로 시야각에 문제가 없어 차세대 평판표시장치로 주목 받고 있다.

특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있다는 장점이 있다.

유기발광표시장치는 두 개의 전극 사이에 발광층이 형성된 자발광 소자이다. 이러한 유기발광표시장치는 구동 방식에 따라 수동매트릭스형(Passive Matrix)과 능동매트릭스형(Active Matrix)으로 나누어져 있다.

이하, 도시된 도면을 참조하여 종래 유기발광표시장치를 설명한다.

도 1은 종래의 유기발광표시장치의 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1의 구동부 D의 확대도이며, 도 3은 도 2의 제2 패드부에 포함된 점등 패드부의 개략적인 단면도이다.

도 1을 참조하면, 종래의 유기발광표시장치(10)는 기판(S) 상에 픽셀부가 형성되어 있고, 기판(S)의 어느 한쪽에 구동부(D)가 형성되어 있다.

픽셀부(P)는, 자세하게 도시되어 있진 않지만 수동매트릭스형일 경우, 두 개의 전극 사이에 유기 발광부가 내재되어 구동부(D)를 통해 두 개의 전극에 공급된 신호에 의해 발광부가 발광할 수 있다. 그러나 능동매트릭형일 경우, 구동부(D)를 통해 두 개의 전극에 공급된 신호에 의해 트랜지스터가 구동하여 발광부가 발광할 수 있도록 트랜지스터와 커패시터 등이 더 형성되어 있다.

도 2를 참조하면, 이러한 구동부(D)는 구동 IC(Integrated Circuit)가 실쟁되는 제1 패드부(PAD1)가 형성되어 있고, 상기 제1 패드부(PAD1)는 데이터패드(DP), 스캔패드(SP), 아웃패드(OP) 등으로 구분될 수 있다.

그리고, 제1 패드부(PAD1) 내부영역에는 제2 패드부(PAD2)가 더 형성되어 있는데, 이는 구동 IC를 실장하기 전에 픽셀부(P)의 점등 검사 등을 목적으로 형성될 수 있다. 상기 제2 패드부(PAD2)는 복수의 점등 패드부(LPA)를 포함하고 있다.

도 3을 참조하면, 점등 패드부(LPA)는 기판 상에 차례로 형성된 제1 배선층(11), 층간 절연막(12), 제2 배선층(13), 및 상기 제2 배선층(13)의 가장자리를 감싸면서 상기 제2 배선층(13)을 노출시키는 개구부를 구비하는 보호층(14)을 포함하여 이루어진다.

유기발광표시장치는 내부에 화소 불량을 유발하는 이물이 유입됨에 따라 불량화소가 발생될 수 있는데, 이를 조기에 색출하기 위해서 점등 검사를 요한다. 점등 검사는 상기 점등 패드부(LPA)의 패드 컨택부(PC)에 외부 검사 장치(미도시)를 컨택하고 셀의 전원을 온-오프하여 셀의 동작여부를 확인함으로써 점등 불량을 검출할 수 있다.

이때, 상기 무기절연막으로 형성된 층간 절연막(12)은 외부 검사 장치(미도시)의 컨택에 따른 외부의 압력에 의해 크랙이 발생하여 불량 화소가 발생하는 문제점이 있다.

본 발명은 전술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서, 본 발명은 점등 검사 시 외부 압력에 의한 기판 불량을 개선할 수 있는 점등 패드부 및 이를 포함하는 유기발광표시장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서, 패드 컨택부 및 패드 절연부를 구비하는 기판, 상기 기판 상에 형성된 제1 배선층, 상기 제1 배선층 상의 상기 패드 절연부에 형성된 층간 절연막, 상기 층간 절연막 상에 형성된 제2 배선층, 싱기 제2 배선층 상의 상기 패드 절연부에 형성되면서 상기 제2 배선층을 노출시키는 개구부를 구비하는 투습 방지 절연막을 포함하고, 상기 층간 절연막은 상기 패드 컨택부에는 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 점등 패드부를 제공한다.

본 발명은 또한, 표시부 및 비표시부를 구비하는 기판을 포함하는 유기발광표시장치에 있어서, 상기 비표시부에 형성되는 점등 패드부를 포함하고, 상기 점등 패드부는 패드 컨택부 및 패드 절연부를 구비하는 기판, 상기 기판 상에 형성된 제1 배선층, 상기 제1 배선층 상의 상기 패드 절연부에 형성된 층간 절연막, 상기 층간 절연막 상에 형성된 제2 배선층, 싱기 제2 배선층 상의 상기 패드 절연부에 형성되면서 상기 제2 배선층을 노출시키는 개구부를 구비하는 투습 방지 절연막을 포함하고, 상기 층간 절연막은 상기 패드 컨택부에는 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치를 제공한다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 층간 절연막은 무기계 절연물질로 형성될 수 있다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제1 배선층은 게이트 전극 물질로 이루어질 수 있다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제2 배선층은 소스/드레인 전극 물질로 이루어질 수 있다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 투습 방지 절연막은 무기계 절연물질로 형성될 수 있다.

위에서 언급된 본 발명의 기술적 과제 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

이상과 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명은 외부 검사 장치와 컨택되는 점등 패드부의 패드 컨택부에 외부 압력에 약한 층간 절연막을 형성하지 않음으로써 점등 검사 시 외부 압력에 의한 기판 불량을 개선할 수 있다.

이 밖에도, 본 발명의 실시 예들을 통해 본 발명의 또 다른 특징 및 이점들이 새롭게 파악될 수도 있을 것이다.

도 1은 종래의 유기발광표시장치의 개략적인 평면도.
도 2는 도 1의 구동부 D의 확대도.
도 3은 도 2의 제2 패드부에 포함된 점등 패드부의 개략적인 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광표시장치의 개략적인 단면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 점등 패드부의 개략적인 단면도.

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제 2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

"상에"라는 용어는 어떤 구성이 다른 구성의 바로 상면에 형성되는 경우뿐만 아니라 이들 구성들 사이에 제3의 구성이 개재되는 경우까지 포함하는 것을 의미한다.

이하, 첨부되는 도면을 참고하여 상기 문제점을 해결하기 위해 고안된 본 발명의 바람직한 실시예들에 대해 상세히 설명한다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광표시장치의 개략적인 단면도이다.

도 4에서 알 수 있듯이, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광표시장치는 박막 트랜지스터(TFT)와 유기발광다이오드(E)가 형성된 기판(100)과, 인캡슐레이션을 위한 인캡기판(200)으로 구성된다.

상기 제1 기판(100)은 화상을 표시하는 표시부(AA)와 표시부(AA)의 가장자리를 두르는 비표시부(NA)로 구분된다.

그리고, 상기 표시부(AA)의 기판(100) 상에는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되는데, 상기 박막 트랜지스터(TFT)는 액티브층(101), 게이트 절연막(102), 게이트 전극(103), 층간 절연막(104), 소스 전극(105a) 및 드레인 전극(105b)으로 구성된다.

상기 액티브층(101)은 실리콘으로 이루어지며 그 중앙부에는 채널을 이루는 액티브영역(101a), 액티브영역(101a) 양 측면으로 고농도의 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(101b, 101c)으로 구성된다.

이러한 액티브층(101) 상부에는 게이트 절연막(102)이 형성되어 있다.

상기 게이트 절연막(102) 상부로는 액티브층(101)의 액티브영역(101a)에 대응하여 게이트 전극(103)과 도면에 나타내지 않았지만 일방향으로 연장하는 게이트 배선이 형성되어 있다.

또한, 게이트 전극(103)과 게이트 배선(미도시) 상부 전면에 층간 절연막(104)이 형성되어 있으며, 이때 층간 절연막(104)과 그 하부의 게이트 절연막(102)은 액티브영역(101a) 양측면에 위치한 소스 및 드레인영역(101b, 101c)을 각각 노출시키는 컨택홀(CH1, CH2)을 구비하고 있다.

다음으로, 상기 컨택홀(CH1, CH2)을 포함하는 층간 절연막(104) 상부로는 서로 이격하며 상기 컨택홀(CH1, CH2)을 통해 노출된 소스 및 드레인영역(101b, 101c)과 각각 접촉하는 소스 및 드레인 전극(105a, 105b)가 형성되어 있다.

그리고, 상기 소스 및 드레인 전극(105a, 105b)과 두 전극(105a, 105b) 사이로 노출된 층간 절연막(104) 상부로 소스 전극(105a)을 노출시키는 소스 컨택홀(CH3)을 갖는 보호막(110)이 형성되어 있다.

한편, 도시하지는 않았지만, 게이트 배선과 교차하여 표시부(AA)를 정의하는 데이터 배선이 형성되어 있다.

그리고, 상기 제1 기판(100)의 외곽의 비표시부(NA)에는, 외부 프로브 검사 장치(미도시) 등으로 신호를 인가하여 유기발광장치가 정상적으로 작동하는지 여부를 확인하기 위한 점등 패드부(LPA)가 구비된다.

또한, 보호막(110) 상부에는 상기 박막 트랜지스터(TFT)의 소스 전극(105a)과 연결되는 양극(anode)을 이루는 제1 전극(131)이 형성되어 있다.

유기발광층(135)은 상기 제1 전극(131) 상부에 형성되어 있다.

또한, 이러한 제1 전극(131) 사이에는 뱅크층(120)이 형성되어 있어, 상기 유기발광층(135)을 구분할 수 있다.

이때, 상기 유기발광층(135)는 발광물질로 이루어진 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입층(Hole Injection layer), 정공수송층(Hole Transport layer), 발광층(Emission layer), 전자수송층(Electron transport layer) 및 전자주입층(Electron Injection layer)의 다중층으로 구성될 수도 있다.

이러한 유기발광층(135)는 적(R), 녹(G), 청(B)의 색을 표현하게 되는데, 일반적인 방법으로는 각 화소영역마다 적(R), 녹(G), 청(B)색을 발광하는 별도의 유기물질을 패턴하여 사용한다.

그리고, 상기 유기발광층(135)의 상부에는 음극(cathode)을 이루는 제2 전극(137)이 형성되어 있다.

이러한 유기발광표시장치는 선택된 색 신호에 따른 제1 전극(131)과 제2 전극(137)으로 소정의 전압이 인가되면, 제1 전극(131)으로부터 주입된 정공과 제2 전극(137)으로부터 제공된 전자가 유기발광층(135)으로 수송되어 엑시톤(exciton)을 이루고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 천이 될 때 빛이 발생되어 가시광선의 형태로 방출된다.

이때, 발광된 빛이 투명한 제1 전극(131)을 통과하여 외부로 나가게 되므로, 유기발광표시장치는 임의의 화상을 구현하게 된다.

그리고, 이러한 박막 트랜지스터(TFT)와 유기발광다이오드(E) 상부에는 얇은 박막필름 형태의 투습 방지 절연막(140)이 형성되며, 상기 투습 방지 절연막(140) 상부에는 인캡기판(200)이 구비된다.

상기 기판(100)과 인캡기판(200)은 접착특성을 갖는 접착층(150)을 통해 서로 이격되어 합착된다.

이를 통해, 유기발광표시장치는 인캡슐레이션(encapsulation)이 된다.

이때, 상기 제1 기판(100)의 비표시부(NA)에 형성된 점등 패드부(LPA)는 패드 컨택부(PC)가 노출되어 있어, 외부 프로브 검사 장치(미도시)가 상기 패드 컨택부(PC)와 컨택됨으로써 상기 점등 패드부(LPA)에 신호를 인가하여 유기발광장치가 정상적으로 작동하는지 여부를 확인하는 점등 검사가 진행된다.

한편, 투습 방지 절연막(140)은 외부 습기가 유기발광다이오드(E) 내부로 침투되는 것을 방지하여 상기 제1 기판(100) 상에 형성된 박막 트랜지스터(TFT)와 유기발광다이오드(E)를 보호하는 막으로, 유기발광다이오드(E)를 에워싸며 제1 기판(100) 상에 형성된다.

여기서, 상기 투습 방지 절연막(140)은 SiON, SiNx, SiO2, Al2O3, AlON 등 투명 무기절연막으로서, 이 중 선택된 하나 혹은 다층으로 이루어질 수 있다.

이러한 투습 방지 절연막(140)은 0.1 ~ 10㎛의 두께를 갖도록 형성하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 접착층(150)은 모노머(monomer) 또는 고분자 박막과 같은 유기물질로 이루어진다.

이때, 모노머로는 아크릴레이트 모노머(acrylate monomer), 페닐아세틸렌(phenylacetylene), 디아민(diamine) 및 디안하이드라이드(dianhydride), 실롯한(siloxane), 실란(silane), 파릴렌(parylene) 등이 사용 될 수 있으며, 또한, 고분자 박막으로는 올레핀계 고분자(polyethylene, polypropylene), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 플루오르수지(fluororesin), 폴리실록산(polysiloxane) 등이 사용될 수 있다.

이러한 접착층(150)은 0.1 ~ 100㎛의 두께를 갖도록 형성하는 것이 바람직하다.

한편, 기판(100) 및 인캡기판(200)은 유리, 플라스틱 재질, 스테인리스 스틸(stainless steel) 등을 재료로 하여 형성할 수 있다.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 점등 패드부의 개략적인 단면도이다.

도 5를 참조하면, 점등 패드부(LPA)는 기판(100), 게이트 절연막(102), 제1 배선층(103P), 층간 절연막(104), 제2 배선층(105P), 및 투습 방지 절연막

(140)을 포함하여 이루어진다.

상기 게이트 절연막(102)는 상기 기판(100) 상에 형성되어 있다.

상기 게이트 절연막(102)은 실리콘 산화물(SiO2) 또는 실리콘 질화물(SiNx)과 같은 무기계 절연물질로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다.

상기 제1 배선층(103P)은 상기 게이트 절연막(102) 상에 패턴 형성되어 있다. 이때 상기 제1 배선층(103P)은 게이트 전극 물질로 이루어질 수 있다. 즉, 상기 제1 배선층(103P)은 마스크를 이용하여 게이트 전극과 동시에 형성될 수 있다.

상기 제1 배선층(103P)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오듐(Nd), 구리(Cu), 또는 그들의 합금으로 이루어질 수 있으며, 상기 금속 또는 합금의 단일층 또는 2층 이상의 다중층으로 이루어질 수 있다.

상기 층간 절연막(104)은 상기 제1 배선층(103P) 상의 상기 패드 절연부(PP)에 패턴 형성될 수 있다. 이때, 상기 층간 절연막(104)은 상기 패드 컨택부(PC)에는 형성되지 않는다.

상기 층간 절연막(104)은 실리콘 산화물(SiO2) 또는 실리콘 질화물(SiNx)과 같은 무기계 절연물질로 이루어질 수 있다.

이때, 패드 컨택부(PC)는 외부 프로브 검사 장치(미도시)와 컨택되는 곳으로, 무기계 절연물질로 이루어진 층간 절연막(104)이 상기 패드 컨택부(PC)에 형성되면 상기 외부 프로브 검사 장치(미도시)와 컨택시 발생되는 외부 압력에 의해 크랙이 발생될 수 있다.

이에 따라, 본 발명의 실시예에 따른 점등 패드부(LPA)는 외부 프로브 검사 장치(미도시)와 컨택되는 상기 패드 컨택부(PC)에 외부 압력에 약한 층간 절연막(104)을 형성하지 않음으로써 점등 검사 시 외부 압력에 의한 기판 불량을 개선할 수 있다.

상기 제2 배선층(105P)은 상기 층간 절연막(104) 상에 패턴 형성되어 있다. 이때 상기 제2 배선층(105P)은 소스/드레인 전극 물질로 이루어질 수 있다. 즉, 상기 제2 배선층(105P)은 마스크를 이용하여 소스/드레인 전극과 동시에 형성될 수 있다.

이때 상기 패드 컨택부(PC)에는 상기 층간 절연막(104)에 형성되어 있지 않아, 상기 패드 컨택부(PC)에는 상기 제1 배선층(103P)과 제2 배선층(105P)이 접촉되어 형성될 수 있다.

상기 제2 배선층(105P)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오듐(Nd), 구리(Cu), 또는 그들의 합금으로 이루어질 수 있으며, 상기 금속 또는 합금의 단일층 또는 2층 이상의 다중층으로 이루어질 수 있다.

상기 투습 방지 절연막(140)은 제2 배선층(105P) 상의 상기 패드 절연부(PP)에 형성되면서 상기 제2 배선층(105P)을 노출시키는 개구부(OA)를 구비하고 있다.

여기서, 상기 패드 컨택부(PC)에는 상기 제2 배선층(105P) 상에 상기 투습 방지 절연막(140)이 형성되지 않는다. 상기 패드 컨택부(PC)에 형성된 개구부(OA)를 통해 외부 프로브 검사 장치(미도시)와 상기 제2 배선층(105P)이 컨택 됨으로써 신호를 인가하여 유기발광표시장치가 정상적으로 작동하는지 여부를 검사하게 된다.

즉, 점등검사를 통해 유기발광표시장치의 불량화소가 존재하는지를 검사하여, 불량화소가 발견되지 않는 유기발광표시장치는 후 공정으로 이송되고, 불량화소가 발견되어 불량 판정을 받은 유기발광표시장치는 불량 여부를 구체적으로 살펴보기 위하여 정밀검사 단계를 진행하게 된다.

이상에서 설명한 본 발명이 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

100: 제1 기판 101: 액티브층
101a: 액티브영역 101b: 소스영역
101c: 드레인 영역 102: 게이트 절연막
103: 게이트 전극 103P: 제1 배선층
104: 층간 절연막 105P: 제2 배선층
105a: 소스 전극 105b: 드레인 전극
110: 보호막 120: 뱅크층
131: 제1 전극 135: 유기발광층
137: 제2 전극 140: 투습 방지 절연막
TFT: 박막 트랜지스터 AA: 표시부
NA: 비표시부 LPA: 점등 패드부
PC: 패드 컨택부 PP: 패드 절연부

Claims (10)

1. 패드 컨택부 및 패드 절연부를 구비하는 기판;
   상기 기판 상에 형성된 제1 배선층;
   상기 제1 배선층 상의 상기 패드 절연부에 형성된 층간 절연막;
   상기 층간 절연막 상에 형성된 제2 배선층;
   싱기 제2 배선층 상의 상기 패드 절연부에 형성되면서 상기 제2 배선층을 노출시키는 개구부를 구비하는 투습 방지 절연막을 포함하고,
   상기 층간 절연막은 상기 패드 컨택부에는 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 점등 패드부.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 층간 절연막은 무기계 절연물질로 형성된 것을 특징으로 하는 점등 패드부.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 제1 배선층은 게이트 전극 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 점등 패드부.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 제2 배선층은 소스/드레인 전극 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 점등 패드부.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 투습 방지 절연막은 무기계 절연물질로 형성된 것을 특징으로 하는 점등 패드부.
6. 표시부 및 비표시부를 구비하는 기판을 포함하는 유기발광표시장치에 있어서,
   상기 비표시부에 형성되는 점등 패드부를 포함하고,
   상기 점등 패드부는 패드 컨택부 및 패드 절연부를 구비하는 기판;
   상기 기판 상에 형성된 제1 배선층;
   상기 제1 배선층 상의 상기 패드 절연부에 형성된 층간 절연막;
   상기 층간 절연막 상에 형성된 제2 배선층;
   싱기 제2 배선층 상의 상기 패드 절연부에 형성되면서 상기 제2 배선층을 노출시키는 개구부를 구비하는 투습 방지 절연막을 포함하고,
   상기 층간 절연막은 상기 패드 컨택부에는 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 층간 절연막은 무기계 절연물질로 형성된 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치.
8. 제 6 항에 있어서,
   상기 제1 배선층은 게이트 전극 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치.
9. 제 6 항에 있어서,
   상기 제2 배선층은 소스/드레인 전극 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치.
10. 제 6 항에 있어서,
    상기 투습 방지 절연막은 무기계 절연물질로 형성된 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치.

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