KR100577957B1 - 알칼리 토금속으로 함침된 제올라이트 4a를 이용한 삼불화질소 가스의 정제방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 알칼리 토금속으로 함침된 제올라이트 4A를 충전시킨 칼럼을 통하여 사불화탄소(CF4)를 함유하는 삼불화질소(NF3) 가스를 통기시켜, 삼불화질소만을 선택적으로 흡착시키고 사불화탄소는 통기시킨 후, 순수한 삼불화질소를 회수하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항에 있어서, 함침된 알칼리 토금속의 양은 제올라이트 대비 0.5∼10중량%임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 알칼리 토금속이 마그네슘(Mg)임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 알칼리 토금속이 칼슘(Ca)임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 알칼리 토금속이 스트론튬(Sr)임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 알칼리 토금속이 바륨(Ba)임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, CF4를 함유한 NF3를 흡착제가 충전된 충전층으로 통과시키는 온도를 -100∼50℃로 유지시키는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, CF4를 함유한 NF3를 불활성 가스와 함께 충전층에 혼입하되 불활성 가스의 혼입량을 20vol%∼80vol%으로 하는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제8항에 있어서, 불활성 가스가 아르곤, 헬륨 및 질소 중 하나임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 알칼리 토금속으로 함침된 제올라이트 4A를 이용한 삼불화질소(NF3) 가스의 흡착 및 회수를 2회 이상 반복하는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 알칼리 토금속으로 함침된 제올라이트 4A를 포함하며, 사불화탄소(CF4)를 불 순물로 함유하는 삼불화질소(NF3) 가스로부터 삼불화질소만을 선택적으로 흡착시키는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 흡착제.
- 제11항에 있어서, 함침된 알칼리 토금속의 양은 제올라이트 대비 0.5∼10중량%임을 특징으로 하는 삼불화질소 흡착제.
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