KR100577961B1 - 알칼리 토금속으로 이온교환 및/또는 함침된 제올라이트3a를 이용한 삼불화질소 가스의 정제방법 - Google Patents
알칼리 토금속으로 이온교환 및/또는 함침된 제올라이트3a를 이용한 삼불화질소 가스의 정제방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 알칼리 토금속으로 이온교환되거나, 함침되거나 또는 이온교환되고 함침된 제올라이트 3A를 충전시킨 칼럼을 통하여 사불화탄소(CF4)를 함유하는 삼불화질소(NF3) 가스를 통기시켜, 삼불화질소만을 선택적으로 흡착시키고 사불화탄소는 통기시킨 후, 순수한 삼불화질소를 회수하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항에 있어서, 알칼리 토금속으로 이온교환된 제올라이트 3A를 사용하며 이 때 이온교환된 알칼리 토금속의 양이 제올라이트 내의 전체 금속 대비 20∼95중량%임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항에 있어서, 알칼리 토금속으로 이온교환되고 함침된 제올라이트 3A를 사용하며 이 때 이온교환된 알칼리 토금속의 양이 제올라이트 내의 전체 금속 대비 20∼95중량%, 함침된 알칼리 토금속의 양은 전체 제올라이트 대비 0.1∼5중량%임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 알칼리 토금속이 마그네슘(Mg)임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 알칼리 토금속이 칼슘(Ca)임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 알칼리 토금속이 스트론튬(Sr)임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 알칼리 토금속이 바륨(Ba)임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, CF4를 함유한 NF3를 불활성 가스와 함께 충전층에 혼입하되 불활성 가스의 혼입량을 20vol%∼80vol%으로 하는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제8항에 있어서, 불활성 가스가 아르곤, 헬륨 및 질소 중 하나임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 삼불화질소(NF3) 가스의 흡착 및 회수를 2회 이상 반복하는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 알칼리 토금속으로 이온교환되거나, 함침되거나 또는 이온교환되고 함침된 제올라이트 3A로 이루어져 있으며, 사불화탄소(CF4)를 불순물로 함유하는 삼불화질소(NF3) 가스로부터 삼불화질소만을 선택적으로 흡착시키는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 흡착제.
- 제11항에 있어서, 제올라이트 3A가 알칼리 토금속으로 이온교환되어 있으며, 이 때 이온교환된 알칼리 토금속의 양은 제올라이트 내의 전체 금속 대비 20∼95중량%임을 특징으로 하는 삼불화질소 흡착제.
- 제11항에 있어서, 제올라이트 3A가 알칼리 토금속으로 이온교환 및 함침되어 있으며, 이 때 이온교환된 알칼리 토금속의 양이 제올라이트 내의 전체 금속 대비 20∼95중량%, 함침된 알칼리 토금속의 양은 전체 제올라이트 대비 0.1∼5중량%임을 특징으로 하는 삼불화질소 흡착제.
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