KR100788301B1 - 제올라이트 3에이를 이용한 삼불화질소 가스의 정제방법 - Google Patents
제올라이트 3에이를 이용한 삼불화질소 가스의 정제방법 Download PDFInfo
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- 3A족 또는 4A족 금속으로 이온교환된 제올라이트 3A를 충전시킨 칼럼을 통하여 사불화탄소(CF4)를 함유하는 삼불화질소(NF3) 가스를 통기시켜, 삼불화질소만을 선택적으로 흡착시키고 사불화탄소는 통기시킨 후, 순수한 삼불화질소를 회수하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제 1항에 있어서, 이온교환된 3A족 또는 4A족 금속의 양이 제올라이트 내의 전체 금속을 기준으로 20∼95중량%임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 3A족 또는 4A족 금속이 스칸듐(Sc), 이트륨(Y), 란탄(La), 지르코늄(Zr)임을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, CF4를 함유한 NF3를 불활성 가스와 함께 충전층에 혼입하되 불활성 가스의 혼입량을 20vol%∼80vol%으로 하는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 제 4항에 있어서, 불활성 가스가 아르곤, 헬륨 및 질소 중 하나임을 특징으 로 하는 삼불화질소 가스의 정제방법.
- 3A족 또는 4A족 금속으로 이온교환된 제올라이트 3A로 이루어져 있으며, 사불화탄소(CF4)를 불순물로 함유하는 삼불화질소(NF3) 가스로부터 삼불화질소만을 선택적으로 흡착시키는 것을 특징으로 하는 삼불화질소 흡착제.
- 제 6항에 있어서, 제올라이트 3A가 3A족 또는 4A족 금속으로 이온교환되어 있으며, 이 때 이온교환된 3A족 또는 4A족 금속의 양은 제올라이트 내의 전체 금속 대비 20∼95중량%임을 특징으로 하는 삼불화질소 흡착제.
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JP2003311148A (ja) | 2002-04-19 | 2003-11-05 | Nippon Sanso Corp | 吸着剤並びにガス精製方法及び装置 |
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