KR100533719B1 - 유기 전계발광소자 및 그 제조방법 - Google Patents

유기 전계발광소자 및 그 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100533719B1
KR100533719B1 KR10-2001-0038298A KR20010038298A KR100533719B1 KR 100533719 B1 KR100533719 B1 KR 100533719B1 KR 20010038298 A KR20010038298 A KR 20010038298A KR 100533719 B1 KR100533719 B1 KR 100533719B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
line
voltage supply
gate line
supply line
gate
Prior art date
Application number
KR10-2001-0038298A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20030002621A (ko
Inventor
박재용
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR10-2001-0038298A priority Critical patent/KR100533719B1/ko
Priority to US10/178,457 priority patent/US6781306B2/en
Publication of KR20030002621A publication Critical patent/KR20030002621A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100533719B1 publication Critical patent/KR100533719B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/22—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
    • G09G3/30—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels
    • G09G3/32—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED]
    • G09G3/3208—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED]
    • G09G3/3225—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED] using an active matrix
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2300/00—Aspects of the constitution of display devices
    • G09G2300/08—Active matrix structure, i.e. with use of active elements, inclusive of non-linear two terminal elements, in the pixels together with light emitting or modulating elements
    • G09G2300/0809—Several active elements per pixel in active matrix panels
    • G09G2300/0842—Several active elements per pixel in active matrix panels forming a memory circuit, e.g. a dynamic memory with one capacitor
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/22—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
    • G09G3/30—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels
    • G09G3/32—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED]
    • G09G3/3208—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED]
    • G09G3/3225—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED] using an active matrix
    • G09G3/3233—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED] using an active matrix with pixel circuitry controlling the current through the light-emitting element
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/22—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
    • G09G3/30—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels
    • G09G3/32—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED]
    • G09G3/3208—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED]
    • G09G3/3225—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED] using an active matrix
    • G09G3/3233—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED] using an active matrix with pixel circuitry controlling the current through the light-emitting element
    • G09G3/3241—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED] using an active matrix with pixel circuitry controlling the current through the light-emitting element the current through the light-emitting element being set using a data current provided by the data driver, e.g. by using a two-transistor current mirror

Abstract

본 발명은 게이트 라인, 데이터 라인 및 전압공급라인에 서로 상이하고 각각의 기능에 맞는 물질을 사용함으로써 소자 특성을 향상시킬 수 있도록 한 유기 전계 발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 유기 전계발광소자는 스캔신호가 공급되는 게이트라인과, 상기 게이트라인과 절연되게 교차하며 전압을 공급하는 전압공급라인과, 상기 게이트라인 및 전압공급라인과 다른 물질로 상기 전압공급라인과 절연되게 형성되며 데이터신호가 공급되는 데이터라인을 구비하며, 상기 게이트라인, 데이터라인 및 전압공급라인 중 적어도 어느 하나는 고융점금속으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 유기 전계발광소자는 게이트라인, 데이터 라인 및 전압공급라인을 구성하는 물질의 종류를 고융점의 금속으로 서로 다른 물질을 사용함으로써 배선 형성시 발생할 수 있는 불량을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

유기 전계발광소자 및 그 제조방법{Organic Electro-Luminescence Device and Fabricating Method Thereof}
본 발명은 유기 전계발광소자에 관한 것으로, 특히 게이트라인, 데이터라인 및 전압공급라인에 서로 상이하고 각각의 기능에 맞는 물질을 사용함으로써 소자 특성을 향상시킬 수 있도록 한 유기 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 표시장치의 대형화에 따라 공간 점유가 적은 평면표시소자의 요구가 증대되고 있는데, 이러한 평면표시소자중 하나로서 전계발광(Electro Luminescene ; 이하 "EL"라 함)소자가 주목되고 있다.
이 EL 소자는 사용하는 재료에 따라 무기 EL소자와 유기 EL소자로 크게 나뉘어진다.
무기 EL소자는 일반적으로 발광부에 높은 전계를 인가하고 전자를 이 높은 전계 중에서 가속하여 발광 중심으로 충돌시켜 이에 의해 발광 중심을 여기함으로써 발광하는 소자이다.
또한, 유기 EL소자는 전자주입전극(cathode)과 정공주입전극(anode)으로부터 각각 전자와 정공을 발광부내로 주입시켜 주입된 전자와 정공이 결합하여 생성된 엑시톤(exciton)이 여기상태로부터 기저상태로 떨어질 때 발광하는 소자이다.
상기와 같은 동작원리를 갖는 무기 EL소자는 높은 전계가 필요하기 때문에 구동전압으로서 100∼200V의 높은 전압을 필요로 하는 반면에 유기 EL소자는 5∼20V정도의 낮은 전압으로 구동할 수 있다는 장점이 있어 연구가 활발하게 진행되고 있다.
또한, 유기 EL소자는 넓은 시야각, 고속 응답성, 고 콘트라스트(contrast) 등의 뛰어난 특징을 갖고 있으므로 그래픽 디스플레이의 픽셀(pixel), 텔레비젼 영상 디스플레이나 표면 광원(surface light source)의 픽셀로서 사용될 수 있으며, 얇고 가벼우며 색감이 좋기 때문에 차세대 평면 디스플레이에 적합한 소자이다.
유기 EL소자는 도 1과 같이 유리 기판(10) 상에 서로 교차되게 배열되어진 게이트 라인들(GL1 내지 GLm) 및 데이터 라인(DL1 내지 DLn)과, 게이트 라인들(GL1 내지 GLm)과 데이터 라인(DL1 내지 DLn))의 교차부들 각각에 배열되어진 화소 소자들(PE)을 구비한다.
화소 소자들(PE) 각각은 게이트 라인들(GL1 내지 GLn)의 게이트 신호들이 인에이블될 때에 구동되어 데이터 라인(DL)상의 화소 신호의 크기에 상응하는 빛을 발생하게 된다.
이러한 EL 소자를 구동하기 위하여, 게이트 드라이버(12)가 게이트 라인들(GL1 내지 GLm)에 접속됨과 아울러 데이터 드라이버(14)가 데이터 라인들(DL1 내지 DLn)에 접속되게 된다. 게이트 드라이버(12)는 게이트 라인들(GL1 내지 GLm)을 순차적으로 구동시키게 된다. 데이터 드라이버(14)는 데이터 라인들(DL1 내지 DLn)을 통해 화소들(PE)에 화소신호를 공급하게 된다.
이와 같이, 게이트 드라이버(12) 및 데이터 드라이버(14)에 의해 구동되는 화소 소자들(PE)은 도 2에 도시된 바와 같이 기저전압라인(GND)에 접속되어진 EL 셀(OLED)과, 이 EL 셀(OLED)을 구동하기 위한 셀 구동회로(16)로 구성된다.
도 2는 도 1의 화소 소자(PE)를 도시한 회로도로서, 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)의 교차부에 적용된 구동회로로 2개의 박막트랜지스터(Thin Film Transistor ; 이하 "TFT"라 함, T1,T2)로 구성된다.
도 2를 참조하면, 화소 소자(PE)는 기저전위원(GND)에 접속되어진 EL 셀(OLED)과, EL 셀(OLED) 및 데이터 라인(DL) 사이에 접속되어진 EL 셀(OLED) 구동회로(16)를 구비한다.
EL 셀(OLED) 구동회로(16)는 EL 셀(OLED)과 전압공급라인(VDD)에 사이에 접속되어 구동역할을 하는 제2 PMOS TFT(T2)와; 데이터 라인(DL)과 제2 PMOS TFT(T2)의 게이트 전극 사이에 접속되어 EL 셀(OLED)의 스위치 역할을 하는 제1 PMOS TFT(T1)와; 제1 PMOS TFT(T1)의 드레인 전극과 전압공급라인(VDD)사이에 접속되어진 캐패시터(Cst)를 구비한다.
이를 도 3의 구동파형도를 이용하여 동작을 살펴보면, 게이트 라인(GL)에 로우(LOW) 입력신호 즉 게이트 드라이버(12)로부터의 스캔신호가 입력되면 제1 PMOS TFT(T1)가 턴-온 된다.
제1 PMOS TFT(T1)가 턴온되면 데이터 라인(DL)으로부터 스캔신호와 동기되게 입력되는 일정한 크기를 가진 비디오 신호가 제1 PMOS TFT(T1)를 통하여 흐르게 되고, 이 비디오 신호는 캐패시터(Cst)에 충전된다. 캐패시터(Cst)는 제1 PMOS TFT(T1)의 드레인 전극과 공급전압(VDD)에 접속되어 게이트 라인(GL)의 로우 입력시간동안 데이터 라인(DL)으로부터 공급되는 비디오 신호를 충전한다.
캐패시터(Cst)는 데이터라인(DL)으로부터 공급되어 충전된 비디오신호를 1 프레임 동안 홀딩(Holding) 시킨다. 이러한 홀딩시간으로 인해 데이터라인(DL)에서 공급되는 비디오신호가 EL 셀(OLED)에 공급되는 것을 캐패시터(Cst)에 의해 유지하게 된다. 또한 이러한 구조에서 RGB 등의 각 화상신호가 입력되는 만큼 각 화상신호를 입력하는 데이터 라인(DL)의 수가 구비되어야 한다.
도 4는 도 1의 화소 소자(PE)를 도시한 다른 형태의 회로도로서, 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)의 교차부에 적용된 구동회로로 4개의 TFT(T3, T4, T5, T6)로 구성된다.
도 4를 참조하면, 화소 소자(PE)는 기저전위원(GND)에 접속되어진 EL 셀(OLED)과, EL 셀(OLED) 및 데이터 라인(DL) 사이에 접속되어진 EL 셀(OLED) 구동회로(26)를 구비한다.
EL 셀 구동회로(26)는 EL 셀(OLED), 전압공급라인(VDD)에 전류 미러를 형성하게 접속되어진 제3 및 제4 PMOS TFT(T3, T4)와; 제4 PMOS TFT(T4), 데이터 라인(DL) 및 게이트 라인(GL)에 접속되어 게이트 라인(GL) 상의 신호에 응답되는 제5 PMOS TFT(T5)와; 제3 PMOS TFT(T3) 및 제4 PMOS TFT(T4)의 게이트 전극, 게이트 라인(GL) 및 제5 PMOS TFT(T5)에 접속되는 제6 PMOS TFT(T6); 제3 PMOS TFT(T3) 및 제4 PMOS TFT(T4)의 게이트 전극과 전압공급라인(VDD) 사이에 접속되어진 캐패시터(CST)를 구비한다.
이의 동작을 살펴보면, 게이트 라인(GL)에 로우(LOW) 입력신호가 입력되면 제5 PMOS TFT(T5)와 제6 PMOS TFT(T6)이 턴-온된다. 제5 PMOS TFT(T5)와 제6 PMOS TFT(T6)가 턴-온되면 데이터 라인(DL)으로부터 스캔신호와 동기되게 입력되는 일정한 크기를 가진 비디오 신호가 제5 PMOS TFT(T5)와 제6 PMOS TFT(T6)를 통하여 캐패시터(Cst)에 충전된다.
캐패시터(Cst)는 제3 PMOS TFT(T3) 및 제4 PMOS TFT(T4)의 게이트 전극과 공급전압(VDD)에 접속되어 게이트 라인(GL)의 로우입력시간동안 데이터 라인(DL)으로부터 공급되는 비디오 신호를 충전한다.
캐패시터(Cst)는 데이터라인(DL)으로부터 공급되어 충전된 비디오신호를 1 프레임 동안 홀딩(Holding) 시킨다. 이러한 홀딩시간으로 인해 데이터라인(DL)에서 공급되는 비디오신호가 EL 셀(OLED)에 공급되는 것을 캐패시터(Cst)에 의해 유지하게 된다. 또한 이러한 구조에서도 RGB 등의 각 비디오신호가 입력되는 만큼 각 화상신호를 입력하는 데이터 라인(DL)의 수가 구비되어야 한다.
1 프레임 동안 홀드된 후 캐패시터(Cst)에 충전된 비디오 신호는 EL셀(OLED)에 공급되어 표시패널 상에 영상을 표시하게 된다.
도 5는 도 2 및 도 4에 도시된 유기 EL소자의 게이트 라인, 데이터 라인 및 전압공급라인이 교차되는 것을 나타내는 개략도이다.
도 5를 참조하면, 세로 방향으로 데이터 라인(DL)과 전압공급라인(VDD)이 배치되고, 가로 방향으로 게이트 라인(GL)이 배치되어 있다.
VGA(640×480)의 경우, 가로방향으로 480 라인의 게이트 라인(GL)이 형성되고, 세로 방향으로는 640 라인의 데이터 라인(DL) 및 전압공급라인(VDD)이 각각 형성된다. 이 때 세로 방향으로는 R(Red), G(Green), B(Blue) 세 화소 각각에 대한 데이터 라인 및 전력공급라인, 즉 (640 ×3) ×2 = 3840 라인이 형성되게 된다.
이로써 게이트 라인의 배선수보다 세로방향의 배선수가 많음에 따른 밀도가 높음으로 인하여 세로 방향으로의 스트레스가 증가되는 문제점이 있다.
또한 유기 EL소자는 자체 발광시 열을 발산하는 소자이기 때문에 내부적으로 약 70℃ 정도의 열이 지속적으로 유지되는 문제가 있어 배선의 교차부(30,32)에 단선을 가속화시키는 단점이 있다.
도 6a 및 도 6d는 종래 기술에 따른 유기 EL소자의 게이트 라인, 데이터 라인 및 전압공급라인의 제조방법을 단계적으로 나타낸 것이다.
도 6a를 참조하면, 유기 EL소자의 각 라인은 먼저 기판(34) 상에 금속층(36)을 증착한다. 금속층(36)은 스퍼터링 등의 방법으로 저저항의 알루미늄(Al) 또는 그의 합금 등과 같은 도전물질로 형성된다.
다음으로, 증착된 금속층(36) 상에 PR(38)을 증착한 후 도 6b와 같이 패터닝한다.
PR 패터닝은 PR(38)을 금속층(36) 상에 균일한 두께를 가지도록 코팅한 후 PR(38) 상에 포토마스크(Photo Mask)(도시하지 않음)를 정렬시키고 자외선에 노광시킨다. 이 때 자외선에 노광된 PR(38)은 자외선에 의해 분자구조가 바뀌어 현상액에 용해 가능한 물질로 분해된다.
이어서, PR(38) 패턴 후 드러난 금속층(36)을 도 6c와 같이 에칭한다.
금속층(36)은 PR(38) 패턴과 대응되도록 습식방법을 포함하는 포토리쏘그래피방법으로 에칭된다. 이때, 식각액으로는 (NH4)2S2O8 수용액 등이 사용된다.
금속층(36)을 에칭한 후 스트립 장비를 이용하여 에칭되지 않는 금속층(36) 상에 형성된 PR(38)을 도 6d와 같이 제거한다.
이러한 종래의 유기 EL소자는 금속층(36) 증착시 저저항의 알루미늄 및 그 합금을 사용함으로써 열에 의해 선팽창의 변화가 크기 때문에 배선의 단선을 가속화시킨다. 또한 동일한 물질을 사용함으로 인하여 다른 배선의 패턴 형성시 다른 배선에 식각액 등의 화학 반응에 의해 배선의 교차부(30,32)가 단선이 되는 공정상의 많은 불량이 야기되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 게이트 라인, 데이터 라인 및 전압공급라인에 서로 상이하고 각각의 기능에 맞는 물질을 사용함으로써 소자 특성을 향상시킬 수 있도록 한 유기 전계발광소자 및 그 제조방법을 제공함에 있다.
상기 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 전계 발광소자는 스캔신호가 공급되는 게이트라인과, 상기 게이트라인과 절연되게 교차하며 전압을 공급하는 전압공급라인과, 상기 게이트라인 및 전압공급라인과 다른 물질로 상기 전압공급라인과 절연되게 형성되며 데이터신호가 공급되는 데이터라인을 구비하며, 상기 게이트라인, 데이터라인 및 전압공급라인 중 적어도 어느 하나는 고융점금속으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 고융점 금속은 크롬(Cr), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 탄탈륨(Ta) 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.
상기 게이트라인은 내열성이 좋은 고융점금속으로 형성되며, 전압공급라인은 저저항금속으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 유기 전계발광소자의 제조방법은 기판 상에 스캔신호가 공급되는 게이트라인과, 상기 게이트라인과 절연되게 교차하며 전압을 공급하는 전압공급라인과, 상기 게이트라인 및 전압공급라인과 다른 물질로 상기 전압공급라인과 절연되게 형성되며 데이터신호가 공급되는 데이터라인 중 적어도 어느 하나의 신호라인을 형성하는 단계를 포함하며; 상기 게이트라인, 데이터라인 및 전압공급라인 중 적어도 어느 하나는 고융점금속으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 기판 상에 게이트라인, 전압공급라인 및 데이터라인 중 적어도 어느 하나의 신호라인을 형성하는 단계는 상기 기판 상에 상기 고융점금속과 포토레지스트를 순차적으로 증착하는 단계와, 상기 포토레지스트를 포토마스크로 패터닝하여 포토레지스트패턴을 형성하는 단계와, 상기 포토레지스트패턴을 이용하여 상기 고융점금속을 식각함으로써 신호라인을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 게이트라인, 데이터라인 및 전압공급라인은 각각 다른 물질로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 상기 게이트라인은 고융점금속으로 형성되며, 상기 전압공급라인은 알루미늄을 포함하는 저저항금속층, 알루미늄을 포함하는 이중 금속층 및 알루미늄과 고융점금속을 포함하는 2중 금속층 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 설명 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 7 내지 도 8d를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.
도 7은 본 발명에 따른 유기 EL소자를 나타내는 단면도이다.
도 7을 참조하면, 유기 EL소자의 기판은 투명기판(40) 상에 형성된 버퍼절연막(42)과 게이트절연막(46) 사이에 적층된 활성층(44), 게이트전극(48), 게이트전극과 동일평면 상에 위치하는 게이트라인(도시하지 않음)과; 게이트절연막(46) 상에 형성되어 소스전극과 접속된 전압공급라인(50)과; 게이트절연막(46) 및 층간절연막(52)을 관통하는 컨택홀을 통해 활성층(44)과 전기적으로 연결되게 형성된 소스 및 드레인 전극(56,54)과; 게이트라인과 절연되게 교차하는 데이터라인(도시하지 않음)과; 보호막(58)을 관통하는 컨택홀을 통해 드레인전극(54)과 접속된 애노드전극(60)과; 애노드전극(60)과 캐소드전극(도시하지 않음) 사이에 형성되는 유기발광층(62)을 구비한다.소스 및 드레인 전극(54,56)과 동시에 형성된 데이터 라인(도시하지 않음)을 구비한다. 소스 및 드레인 전극(54,56) 및 층간절연막(52)에는 보호막(58)이 형성된다. 보호막(58) 표면에는 컨택홀을 통해 소스 및 드레인 전극(54,56)에 전기적으로 연결되도록 투명전극들(60)이 형성된다.
도 8은 본 발명에 따른 유기 EL소자의 게이트 라인, 데이터 라인 및 전압공급라인을 형성하는 방법을 단계적으로 도시한 것이다.
도 8a를 참조하면, 유기 EL소자의 각 라인은 먼저 기판(70) 상에 금속층(72)을 증착한다. 금속층(72)은 스퍼터링 등의 방법으로 크롬(Cr), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 탄탈륨(Ta) 등과 같은 고융점 금속의 도전물질로 형성된다.
또한, 각 라인을 형성하는 금속층(72)의 구성물질을 달리하여 다음과 같이 형성된다. 즉, 게이트 라인은 폴리공정 형성시 열적 안정성을 우선적으로 고려하여 내열 안정성이 우수한 내열성 금속을 선택하여 설계하고, 전압공급라인은 저저항을 우선적으로 고려하여 저저항을 갖는 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 알루미늄(Al)과 내열성 물질의 이중구조 및 Al합금으로 구성된 물질을 사용한다. 데이터 라인은 게이트라인과 전압공급라인과 다른 물질을 선택하여 형성된다.
다음으로, 증착된 금속층(72) 상에 PR(74)을 증착한 후 도 8b와 같이 패터닝한다.
PR 패터닝은 PR(74)을 금속층(72) 상에 균일한 두께를 가지도록 코팅한 후 PR(74) 상에 포토마스크(Photo Mask)(도시하지 않음)를 정렬시키고 자외선에 노광시킨다. 이 때 자외선에 노광된 PR(74)은 자외선에 의해 분자구조가 바뀌어 현상액에 용해 가능한 물질로 분해된다.
이어서, PR(74) 패턴 후 드러난 금속층(72)을 도 8c와 같이 에칭한다.
금속층(72)은 PR(74) 패턴과 대응되도록 습식방법을 포함하는 포토리쏘그래피방법으로 에칭된다. 이때, 식각액으로는 (NH4)2S2O8 수용액 등이 사용된다.
금속층(72)을 에칭한 후 스트립 장비를 이용하여 에칭되지 않는 금속층(72) 상에 형성된 PR(74)을 도 8d와 같이 제거한다.
PR(74)이 스트립되는 과정은 기판(70) 상의 이물질을 제거하기 위해 PR 패턴을 세정하고 노즐을 이용하여 스트리퍼 용액을 분사하여 기판 상의 PR(74)을 제거한다. PR(74)이 제거된 후 IPA 용액을 분사하여 스트리퍼 용액을 중화시키고, DI를 소정압력으로 분사하여 기판(70) 상의 스트리퍼 및 IPA 용액을 세정한다. 이후 스핀 드라이 방식으로 회전시켜 기판(70)을 건조시킴으로써 기판(70) 상의 DI를 제거한다. 이로써 기판(70)의 금속층(72) 상에 형성된 PR(74)을 제거하게 된다.
위와 같은 각 라인의 형성 단계에 있어서, 크롬(Cr), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 탄탈륨(Ta) 등과 같은 고융점 금속은 물질 자체의 결합 에너지가 높기 때문에 열에 의한 스트레스에 대한 내성이 높은 물질이다. 그러나 성막하는 조건에 따라 박막 자체의 스트레스 변화가 있기 때문에, 성막조건에서 얻어지는 막이 최대 10Mpa(파스칼)이하의 스트레스를 갖는 배선이 되도록 한다. 또한 각 라인에 다른 고융점 금속물질 및 합금 구조를 사용하여 전도층을 형성함으로써 패턴 형성시 동일 물질의 배선에 식각액 등에 의한 단선이 되는 공정상의 불량을 감소시키게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 전계발광소자는 게이트라인, 데이터 라인 및 전압공급라인을 구성하는 물질의 종류를 고융점의 금속으로 서로 다른 물질을 사용함으로써 배선 형성시 발생할 수 있는 불량을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
도 1은 종래의 유기 전계발광소자를 개략적으로 도시하는 도면.
도 2는 도 1에 도시된 화소 소자를 상세히 나타내는 회로도.
도 3은 도 2의 화소 소자를 구동하기 위한 타이밍도.
도 4는 도 1에 도시된 화소 소자의 다른 형태를 나타내는 회로도.
도 5는 유기 전계발광소자의 배선방식을 나타내는 평면도.
도 6a 내지 도 6d는 도 5에 도시된 각 배선을 형성하는 단계를 설명하는 도면.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 전계발광소자의 단면도.
도 8a 내지 도 8d는 도 7에 도시된 게이트 라인, 데이터 라인 및 전압공급라인을 형성하는 단계를 설명하는 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명>
10 : EL 패널 12 : 게이트 드라이버
14 : 데이터 드라이버 16,26 : EL셀 구동회로
30,32 : 단선부 34,40,70 : 기판
36,72 : 금속층 38,74 : 포토레지스트
42 : 버퍼층 44 : 활성층
46,52,62 : 층간절연막 48 : 게이트전극
50 : 전압공급전극 54 : 소스전극
56 : 드레인전극 58 : 보호막
60 : 화소전극

Claims (10)

  1. 스캔신호가 공급되는 게이트라인과,
    상기 게이트라인과 절연되게 교차하며 전압을 공급하는 전압공급라인과,
    상기 게이트라인 및 전압공급라인과 다른 물질로 상기 전압공급라인과 절연되게 형성되며 데이터신호가 공급되는 데이터라인을 구비하며,
    상기 게이트라인, 데이터라인 및 전압공급라인 중 적어도 어느 하나는 고융점금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 고융점 금속은 크롬(Cr), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 탄탈륨(Ta) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 게이트라인, 데이터라인 및 전압공급라인은 각각 다른 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 게이트라인은 내열 안정성이 좋은 고융점금속으로 형성되며,
    상기 전압공급라인은 저저항금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 저저항금속은 알루미늄(Al)과 고융점 금속의 이중구조 및 알루미늄 합금 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자.
  6. 기판 상에 스캔신호가 공급되는 게이트라인과, 상기 게이트라인과 절연되게 교차하며 전압을 공급하는 전압공급라인과, 상기 게이트라인 및 전압공급라인과 다른 물질로 상기 전압공급라인과 절연되게 형성되며 데이터신호가 공급되는 데이터라인 중 적어도 어느 하나의 신호라인을 형성하는 단계를 포함하며;
    상기 게이트라인, 데이터라인 및 전압공급라인 중 적어도 어느 하나는 고융점금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 기판 상에 게이트라인, 전원공급라인 및 데이터라인 중 적어도 어느 하나의 신호라인을 형성하는 단계는
    상기 기판 상에 상기 고융점금속과 포토레지스트를 순차적으로 증착하는 단계와,
    상기 포토레지스트를 포토마스크로 패터닝하여 포토레지스트패턴을 형성하는 단계와,
    상기 포토레지스트패턴을 이용하여 상기 고융점금속을 식각함으로써 상기 기판 상에 게이트라인, 전원공급라인 및 데이터라인 중 적어도 어느 하나의 신호라인을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 고융점 금속은 크롬(Cr), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 탄탈륨(Ta) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자의 제조방법.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 게이트라인, 데이터라인 및 전압공급라인은 각각 다른 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 게이트라인은 고융점금속으로 형성되며,
    상기 전압공급라인은 알루미늄을 포함하는 저저항금속층, 알루미늄을 포함하는 이중 금속층 및 알루미늄과 고융점금속을 포함하는 2중 금속층 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자의 제조방법.
KR10-2001-0038298A 2001-06-29 2001-06-29 유기 전계발광소자 및 그 제조방법 KR100533719B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0038298A KR100533719B1 (ko) 2001-06-29 2001-06-29 유기 전계발광소자 및 그 제조방법
US10/178,457 US6781306B2 (en) 2001-06-29 2002-06-25 Organic electro-luminescence device and fabricating method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0038298A KR100533719B1 (ko) 2001-06-29 2001-06-29 유기 전계발광소자 및 그 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030002621A KR20030002621A (ko) 2003-01-09
KR100533719B1 true KR100533719B1 (ko) 2005-12-06

Family

ID=19711558

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2001-0038298A KR100533719B1 (ko) 2001-06-29 2001-06-29 유기 전계발광소자 및 그 제조방법

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6781306B2 (ko)
KR (1) KR100533719B1 (ko)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030032536A1 (en) * 2001-08-08 2003-02-13 Mabe Donald E. Portable exercise device
JP2003347044A (ja) * 2002-05-30 2003-12-05 Sanyo Electric Co Ltd 有機ｅｌパネル
US7463336B2 (en) * 2004-04-14 2008-12-09 Asml Netherlands B.V. Device manufacturing method and apparatus with applied electric field
US8576217B2 (en) 2011-05-20 2013-11-05 Ignis Innovation Inc. System and methods for extraction of threshold and mobility parameters in AMOLED displays
US9799246B2 (en) 2011-05-20 2017-10-24 Ignis Innovation Inc. System and methods for extraction of threshold and mobility parameters in AMOLED displays
US10013907B2 (en) 2004-12-15 2018-07-03 Ignis Innovation Inc. Method and system for programming, calibrating and/or compensating, and driving an LED display
KR100726942B1 (ko) * 2005-10-05 2007-06-14 엘지전자 주식회사 유기 전계발광 표시장치 및 그 제조방법
KR100726943B1 (ko) * 2005-10-05 2007-06-14 엘지전자 주식회사 유기 전계발광 표시장치 및 그 제조방법
US7504696B2 (en) * 2006-01-10 2009-03-17 International Business Machines Corporation CMOS with dual metal gate
US10089921B2 (en) 2010-02-04 2018-10-02 Ignis Innovation Inc. System and methods for extracting correlation curves for an organic light emitting device
US20140313111A1 (en) 2010-02-04 2014-10-23 Ignis Innovation Inc. System and methods for extracting correlation curves for an organic light emitting device
CA2692097A1 (en) * 2010-02-04 2011-08-04 Ignis Innovation Inc. Extracting correlation curves for light emitting device
US9881532B2 (en) 2010-02-04 2018-01-30 Ignis Innovation Inc. System and method for extracting correlation curves for an organic light emitting device
US9466240B2 (en) 2011-05-26 2016-10-11 Ignis Innovation Inc. Adaptive feedback system for compensating for aging pixel areas with enhanced estimation speed
CN106910464B (zh) 2011-05-27 2020-04-24 伊格尼斯创新公司 补偿显示器阵列中像素的系统和驱动发光器件的像素电路
US10089924B2 (en) 2011-11-29 2018-10-02 Ignis Innovation Inc. Structural and low-frequency non-uniformity compensation
US8937632B2 (en) 2012-02-03 2015-01-20 Ignis Innovation Inc. Driving system for active-matrix displays
US8922544B2 (en) 2012-05-23 2014-12-30 Ignis Innovation Inc. Display systems with compensation for line propagation delay
EP3043338A1 (en) 2013-03-14 2016-07-13 Ignis Innovation Inc. Re-interpolation with edge detection for extracting an aging pattern for amoled displays
US9502653B2 (en) 2013-12-25 2016-11-22 Ignis Innovation Inc. Electrode contacts
US9401432B2 (en) * 2014-01-16 2016-07-26 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and electronic device
CN104752345B (zh) * 2015-04-27 2018-01-30 深圳市华星光电技术有限公司 薄膜晶体管阵列基板及其制作方法
CA2892714A1 (en) 2015-05-27 2016-11-27 Ignis Innovation Inc Memory bandwidth reduction in compensation system
CA2900170A1 (en) 2015-08-07 2017-02-07 Gholamreza Chaji Calibration of pixel based on improved reference values

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05136574A (ja) * 1991-11-15 1993-06-01 Casio Comput Co Ltd 多層配線板
KR19990026588A (ko) * 1997-09-25 1999-04-15 윤종용 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금을 이용한 액정 표시 장치 및 그제조 방법
KR19990056730A (ko) * 1997-12-29 1999-07-15 김영환 액정표시소자의 제조 방법
KR20000014524A (ko) * 1998-08-21 2000-03-15 윤종용 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그제조 방법
KR20020031765A (ko) * 2000-10-24 2002-05-03 구본준, 론 위라하디락사 액정표시장치용 어레이 기판 및 그의 제조방법

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3641342B2 (ja) * 1997-03-07 2005-04-20 Ｔｄｋ株式会社 半導体装置及び有機ｅｌディスプレイ装置
KR100331073B1 (ko) 1998-06-11 2002-05-09 마이클 디. 오브라이언 반도체패키지 구조
TW517260B (en) * 1999-05-15 2003-01-11 Semiconductor Energy Lab Semiconductor device and method for its fabrication

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05136574A (ja) * 1991-11-15 1993-06-01 Casio Comput Co Ltd 多層配線板
KR19990026588A (ko) * 1997-09-25 1999-04-15 윤종용 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금을 이용한 액정 표시 장치 및 그제조 방법
KR19990056730A (ko) * 1997-12-29 1999-07-15 김영환 액정표시소자의 제조 방법
KR20000014524A (ko) * 1998-08-21 2000-03-15 윤종용 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그제조 방법
KR20020031765A (ko) * 2000-10-24 2002-05-03 구본준, 론 위라하디락사 액정표시장치용 어레이 기판 및 그의 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
US6781306B2 (en) 2004-08-24
KR20030002621A (ko) 2003-01-09
US20030001493A1 (en) 2003-01-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100533719B1 (ko) 유기 전계발광소자 및 그 제조방법
JP7186260B2 (ja) 表示装置
JP7295313B2 (ja) 発光装置
JP4049330B2 (ja) 電界発光ディスプレイ装置及びその製造方法
US20060102900A1 (en) Flat panel display and its method of fabrication
US20170194416A1 (en) Array substrate, method for manufacturing the same and display device
JP2014139696A (ja) 表示装置
JP2006004912A (ja) 電界発光ディスプレイ装置及びその製造方法
CN103035848A (zh) 有机发光显示装置及其制造方法
JP4934920B2 (ja) 表示パネル及びそれを利用した表示装置
KR100743105B1 (ko) 유기 전계발광표시소자 및 그 제조방법
JP2007179030A (ja) 表示装置
KR100587340B1 (ko) 유기 ｅｌ 소자의 제조방법
KR20020043324A (ko) 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
JP5201791B2 (ja) 表示装置及び電子機器
KR100415616B1 (ko) 유기발광소자의 제조방법
KR20130031099A (ko) 유기발광 다이오드 표시장치 및 그의 제조방법
JP4657173B2 (ja) 薄膜トランジスタ
KR100721945B1 (ko) 유기 전계발광 표시장치
JP5142455B2 (ja) 発光装置およびそれを用いた電子機器
WO2023016341A1 (zh) 显示基板及其制备方法、显示装置
JP2023052752A (ja) 表示装置
CN116153948A (zh) 显示基板及其制备方法、显示装置
US20030230975A1 (en) Organic electro-luminescent display device and method for manufacturing the same
CN115411067A (zh) 显示基板及其制备方法、显示装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
AMND Amendment
E801 Decision on dismissal of amendment
B601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20040412

Effective date: 20050915

S901 Examination by remand of revocation
GRNO Decision to grant (after opposition)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120928

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130930

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141021

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151028

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161012

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171016

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181015

Year of fee payment: 14