KR100516438B1 - 수지봉지장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 장치중량을 경감하고, 또한 상하 이동부의 경량화에 따른 상하 이동의 고속화를 행하여 생산성을 향상시키는 것으로서, 상하 금형(1, 2)의 한쪽을 상하 이동시켜 형 체결하는 더블 토글(double toggle)기구(60)와, 상부 열반(熱盤)(3)을 지지하는 테이블(31)과, 하부 열반(4)을 지지하는 테이블(36)과, 더블 토글기구의 일단과 연결되는 테이블(32)로 이루어지고, 테이블내 2개가 타이 바(tie-bar)(33)에 의해 상하로 대향상태로 배치 고정되며, 나머지 테이블이 상기 대향 배치된 2개의 테이블 사이에 존재하는 수지봉지(封止)장치로, 더블 토글기구(60)의 토글 링크 회동 방향을 상기 상하 금형(2) 및 플런져(plunger) 박스(7)의 탈착 방향과 동일 방향으로 구성했다.

Description

수지봉지장치

본 발명은 리드 프레임에 탑재된 반도체소자를 수지봉지하기 위한 수지봉지장치에 관한 것이다.

이러한 종류의 수지봉지장치의 종래예를 도 5에 도시한다. 도면은 종래장치의 정면도이다.

상하 한 쌍의 상 금형(1) 및 하 금형(2)은 상부 열반(3) 및 하부 열반(4)에 각각 탈착 자유롭게 끼움장착되어 있다. 하 금형(2) 내에는 수지를 장전하기 위한 소요개수의 포트(5)와, 장전된 수지를 용융하여 주입하기 위한 플런져(6)가, 대응하는 개수만큼 배치되며, 플런져(6)는 하 금형(2) 하부에 금형과 마찬가지로 탈착 자유롭게 끼움장착되는 플런져 박스(7)에 연결되어 있다. 이 때문에, 하부 열반(4) 하부의 서포트 블록(8)은, 수지투입 및 수지주입시에, 플런져 박스(7)에 간섭하지않도록 분할하여 설치되어 있다. 즉, 서포트 블록(8)은 플런져 박스(포트열방향으로 세로로 긴 형상)가 상하 이동하는 영역을 피하도록 배치되므로, 포트열방향으로 세로로 긴 형상이 된다. 그리고, 플런져 박스 및 플런져 박스를 구동하는 구동부와의 연결 등의 관계로 플런져 박스를 끼워넣는 형상으로 분할하여 세워 설치되어 있다.

상부 열반(3)을 지지하는 상부 테이블(9)은, 하부 테이블(10)로부터 세워 설치된 타이 바(11) 및 고정 너트(12)에 의해 고정 지지되어 있다. 타이 바(11)는 하부 테이블(10) 상면에 단층부가 걸리는 형상으로 삽입되며, 하부 테이블(10)의 하면측으로부터 고정 너트(13)로 고정되어 있다. 상부 테이블(9) 및 하부 테이블(10) 사이에, 하부 열반(4)을 지지하는 이동 테이블(14)이 타이 바(11)를 따라 상하 이동 가능하게 설치되어 있다. 또한, 하부 열반(4)의 상하 이동에 있어서는 간섭하지 않는 칫수 관계로 타이 바(11)와 하부 열반(4) 사이에는 리드 프레임 및 수지 테블릿을 하 금형(2) 상에 공급하는 로우더(도시하지 않음) 및 성형품을 금형내에서 취출하는 언 로우더(도시하지 않음), 성형후의 금형을 청소하는 다이 클리너(도시하지 않음)의 가이드 레일(15)이 설치되어 있다. 이동 테이블(14) 하면에는 트랜스퍼 유니트(16)가 고정되며, 볼 나사를 사용한 구동력 변환기구(17)를 내장하고, 플런져 박스(7) 및 플런져(6)를 상하 이동시킨다. 구동력 변환기구(17)의 하부에는, 벨트 전달기구(18)에 의해 도 5의 종이면 직교 방향 안쪽에 설치된 전동기와 연결되어 있다.

트랜스퍼 유니트(16)와 하부 테이블(10) 사이에는, 이동 테이블(14)을 상하동시키는 더블 토글기구(19)가 설치되어 있다. 이 더블 토글기구(19)는 하부 테이블(10) 중앙에 트랜스퍼 유니트(16)와 같은 볼 나사를 사용한 구동력 변환기구(20)를 내장하고, 볼 나사 상단부에 고정된 크로스 헤드(21), 짧은 링크(22), 일단을 하부 테이블(10)에 지점 핀(23)에 의해 회동 자유롭게 연결된 기준 링크(24) 및 트랜스퍼 유니트(16) 하부의 좌우양측에 지점 핀(25)에 의해 회동자유롭게 연결된 긴링크(26) 등으로 이루어지는 토글기구가 구동력 변환기구(20)에 대해 좌우대칭으로 배치된다. 또한, 이들 각 링크는 상호 다른 지점 핀에 의해 회동 자유롭게 연결되어 있다. 구동력 변환기구(20) 하부는, 벨트 전달기구(27)에 의해 도면의 종이면 직교 방향 안쪽에 설치된 전동기와 연결되어 있다.

도 6은 도 5의 A-A 단면도인데, 이 도면에 도시하는 Tw 칫수는 4개의 타이 바(11)의 횡 피치, 즉 장치를 정면에서 봤을 때의 폭 피치 칫수이다. Td 칫수는 타이 바(11)의 깊이 피치 칫수이다. 또한, 하 금형(2)은 도 6의 종이면 아래 방향으로 탈착가능하게 되어 있고, 도 5의 플런져 박스(7)도 마찬가지이다. 또한, 열반 자체도 탑재 금형 칫수가 변경되면 장치 위로부터 탈착하는 경우도 있다. 도 6중 파선으로 표시한 것은 더블 토글기구(19)의 지점 핀(23)으로, 회동 스페이스 및 장치의 확보 스페이스 상, 대부분의 경우, 지점 핀(23)의 축선 상에 타이 바(11)의 외경의 일부가 걸린다. 따라서 지점 핀(23)의 유지보수시의 해체 스페이스를 확보할 필요가 있다. 상기 이유로 상기 Tw 칫수 및 Td 칫수의 관계는, 타이 바(11)의 외경칫수를 d, 금형 폭칫수를 K, 지점 핀(23)의 전체길이 칫수를 L로 하면, 다음식으로 나타낼 수 있다.

Tw - d ≥ K …… (1)

Td - d ≥ 3 · L …… (2)

또한, 자동장치의 경우, 가이드 레일(15)이 존재하므로, Tw 칫수는 (1)식으로 구해지는 칫수보다 가이드 레일(15) 칫수만큼 커지게 된다.

그런데, 도 5에 도시하는 수지봉지장치는, 다음에 기술하는 것과 같은 결점을 가지고 있다.

첫째로, 형 체결력 전달의 최종 역(力)점 위치가 금형 폭(K)(도 6 참조)보다 넓은 위치이므로, 형 체결시, 트랜스퍼 유니트(16) 및 이동 테이블(14)에 상당한 강성이 필요해지고, 강성확보를 위해 장치중량 증대 나아가서는 상하 이동의 구동력 증강이 필요해진다. 또한, 이 강성을 확보하기 위해서는 종단면 2차 모멘트를 크게 하면 되는데, 이런 칫수증대는 장치 패스라인의 상승을 동반하여, 작업성을 악화시킨다.

둘째로, 토글기구(19)의 회동 방향이 금형 및 플런져 박스(7)의 탈착 방향, 즉 열반 및 서포트 블록 분할선 방향과는 직교 방향에 있으므로, 서로 대향하는 더블 링크의 이동 테이블에 대한 역점이, 서포트 블록 분할선을 사이에 두고 2분할되게 되고, 도 8(a)에 요부 설명도를 도시하는 바와 같이, 서포트 블록의 존재가 굽힘강성의 향상으로 연결되지 않고, 또한 상술의 강성 부족의 휘어짐 영향을 받아, 금형 맞춤면의 불균일이 발생하여 버(burr) 등의 문제가 발생하기 쉬워진다.

셋째로, 상술의 역점 위치와 타이 바 위치가 대략 동일하므로, 좌우의 토글 링크의 칫수편차의 좌우 타이 바 신장량의 다름, 그에 따른 좌우의 형 체결력 언밸런스가 발생한다. 이것은 우측 토글 링크의 길이와 좌측 토글 링크의 길이가 완전 동일할 가능성은 매우 낮고, 동시 가공을 행했다고 해도 칫수오차가 발생하는 문제가 있다. 예를 들면, 우측 토글 링크의 칫수가 좌측 토글 링크의 칫수보다 0.01mm 길다고 하면, 타이 바 배치 위치와 토글 링크 배치 위치가 같고, 또한 크로스 헤드(21)는 좌우로 움직이지 않도록 가이드되어 있으므로, 우측 타이 바는 0.01mm 더 신장되게 된다. 타이 바 신장의 총합은, 즉 형 체결력의 반력(反力)에 상당하게 된다. 따라서 좌우의 신장차가 크면 클수록 형 체결력이 좌우에서 달라지게 된다.

넷째로, 제4에 하부 테이블(10)에의 타이 바 고정형상에 있어서, 타이 바에 단층부착이 실시되어 있으므로, 그 부위의 응력 집중을 더하면, 타이 바의 지름 전체를 크게 하는 수단을 취하는데, 크게 하는 것은 동일 힘을 가해도 신장량이 적어지므로, 링크 칫수차에 대한 민감함이 증대하여, 상술의 형 체결력 언밸런스를 증대시킨다.

다섯째로, 자동장치에 있어서 생산성을 높히기 위해 도 5에서 도시한 장치를 다수대 폭 방향으로 배열해 사용했을 때, 가이드 레일(15)폭을 극소화 혹은 폐지, 및 타이 바 지름을 작게 하기 위해 고장력강 등을 채용해도, 결국 더블 토글기구(19)의 구성 칫수 이하의 폭으로는 할 수 없으므로 설치 스페이스를 많이 취하게 된다.

본 발명은 상기 실정에 감안하여 이루어진 것으로, 휘어짐의 영향을 저감하고, 구부러짐 강성을 높임으로써, 장치하중을 경감시키고, 또한 상하 이동부의 경량화에 따른 상하 이동의 고속화를 행하여 생산성을 향상시키는 것을 목적으로 한다.

또한 본 발명은 버의 발생을 초래하는 휘어짐을 억제함으로써 성형품질을 향상시키는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 장치 폭을 축소하여 다수대 배열해도 설치 스페이스가 적어도 되는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 수지봉지장치는, 첫째로 더블 토글기구의 토글 링크 회동 방향을 수지 테블릿 배열과 같은 방향 즉, 플런져 박스의 배열 방향과 평행이 되도록 구성한 것을 특징으로 한다.

둘째로, 상기 더블 토글기구의 서로 대향하는 2개의 토글 링크의 역점을 연결하는 선이 상기 플런져의 배열 방향과 평행이 되도록 한 것을 특징으로 한다.

셋째로, 토글 링크의 최종역점 피치 칫수가 금형 전후 칫수보다 작고, 또한 금형 좌우의 타이 바 깊이 피치 칫수가 장치의 대상 리드 프레임 길이 칫수 이하로 상기 역점 피치 칫수보다 작은 협피치로 한 것을 특징으로 한다.

넷째로, 타이 바 형상을 스트레이트로 하고, 또한 타이 바 지름을 부재의 반복 인장 피로한도치에서 안전율2∼3으로 계산한 단순칫수로 한 것을 특징으로 한다.

다섯째로, 토글 링크의 지점 핀에 접촉·지지하여 회동시키는 베어링의 부착을 트랜스퍼 유니트 및 하부 테이블, 크로스 헤드 이외의 링크 부재측에 배치한 것을 특징으로 한다.

여섯째로, 제1 장치에 있어서, 가열기구를, 상하 금형을 가열하는 상부 열반및 하부 열반으로 구성하고, 상기 상부 열반은 상기 상부 테이블의 하면에 지지됨과 동시에, 상기 하부 열반은 상기 이동 테이블 상면에 지지되어 있고, 상기 더블 토글기구는 상기 이동 테이블과 하부 테이블 사이에, 이동 테이블을 상하 이동시키도록 구성하고 있다.

일곱째로, 상기 지름이 좁은 협피치 타이 바에 있어서, 고속화하는데 있어서의 장치의 흔들림 방지책으로서 하부 테이블과 이동 테이블 사이 및 이동 테이블과 상부 테이블 사이에 협피치 타이 바끼리 연결하는 부재를 설치한 것을 특징으로 한다.

여덟째로, 상기 지름이 좁은 협피치 타이 바의 흔들림 방지책으로서 수지봉지장치를 다수개 병렬적으로 배치하고, 상기 상부 테이블 또는 하부 테이블끼리 연결한 것을 특징으로 한다.

아홉째로, 상기 지름이 좁은 협피치 타이 바의 흔들림 방지책으로서, 상부 테이블과 주변장치 혹은 횡으로 나란한 동일한 상부 테이블끼리를 연결 방향 및/ 또는 상하방향 자유롭게 연결시킨 것을 특징으로 한다.

열번째로, 상기 플런져 박스는 상기 상하 금형 내에 용융수지를 주입하기 위한 다수개의 플런져를 하 금형 하부에 연결 지지하고, 상하 금형의 탈착 방향과 같은 방향으로 탈착자유롭게 지지되어 있다.

열한번째로, 상기 더블 토글기구는 볼 나사 축단에 고정된 크로스 헤드를 가지고, 상기 볼 나사축에 나사결합하는 볼 나사 너트를 회전시키는 구동력 변환기구를 구비하여 이루어진다.

열두번째로, 상기 더블 토글기구는 상기 크로스 헤드와 상기 볼 나사 너트사이에 소정 칫수 이하로 접근했을 때 상호 접촉하도록 구성된 마찰계수가 큰 휘어짐부재를 구비한 것을 특징으로 한다.

<작용>

더블 토글기구의 토글 링크 회동 방향 즉 서로 대향하는 2개의 토글 링크의 역점을 연결하는 선이 도 8(b) 및 도 8(c)(도 8(c)는 도 8(b)의 직교 방향에서 본 단면도이다)에 도시하는 바와 같이 포트 블록의 분할선을 형성하는 플런져의 배열방향과 평행(수지 테블릿 배열 방향 즉 금형 및 플런져 박스(7)의 탈착 방향과 같은방향)으로 구성하였으므로, 금형 혹은 열반·서포트 블록(30)의 강성을 활용할 수 있어 장치전체의 강성확보가 용이하게 가능해진다. 이것은 도 8(a)에 도시한 종래기술과 본원 발명인 도 8(b) 및 도 8(c)의 비교에서도 명백하다. 이에 따라 이동체를 경량화·고속화할 수 있어, 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한 장치전체의 중량을 경감할 수 있다.

토글 링크의 최종 역점 피치 칫수가 금형 전후 칫수보다 작고 또한 금형좌우의 타이 바 깊이 피치 칫수가 장치의 대상 리드 프레임 길이 칫수 이하로 상기 역점 피치 칫수보다 작은 협피치로 함으로써, 더블 토글기구의 토글 링크 칫수에 차이가 발생해도 그 차이에 의한 형 체결력 언밸런스가 경감된다.

이 점에 대해 도 9에 설명도를 도시한다. 여기서 우선 링크 칫수차이(△K)는 절대적으로 불변이라고 생각된다. 또한, 상부 테이블 및 상부 형은 단순 보()로써 생각하고, 또한, 부재의 휘어짐에 대해서는 무시하기로 한다.

각 타이 바의 반력을 R1, R2로 하고, 링크 칫수차이에 의해 기울어진 하부 형이 최초로 형터치하는 점의 힘을 F로 한다. 기울어진 하부 형의 경사 칫수를 △K로 한다.

우선 하부 형 전면이 형 접촉시에는

(R1 ·D - R2 ·D) / W = △K/2C …… ①

D = L/ (A · E)

L : 타이 바 길이

A : 타이 바 단면적

E : 종탄성계수

의 관계가 있다.

최초에 형 접촉하는 점의 힘(F)이 W 칫수에 의해 어떻게 변하는가를 구하기 위해서는

R1 · W = (W/2 + C) ·F 에서 R1 = ((W + 2C) / 2W) ·F …… ②

R2 · W = (W/2 - C) ·F 에서 R2 = ((W - 2C) / 2W) ·F …… ③

①식에 ②, ③식을 대입하여 정리하면

(2C / W²) ·F · D = △K/2C

F = △K/ (4C² ·D) · W² …… ④

로 된다.

④식에서 이하의 두가지를 추측할 수 있다.

·W 칫수가 작아지면 F를 작게 할 수 있다.

·D가 커지면 F를 작게 할 수 있다. (타이 바 지름을 짧게하면 D는 커진다)

또한, 타이 바 형상을 스트레이트로 하고 타이 바 지름을 가늘게 함으로써, 상기 토글 링크 칫수차이에 의한 형 체결력 언발란스가 발생하기 어려워짐과 동시에, 타이 바의 신장량도 증가되므로 형 체결력 설정의 분해능이 향상하여 정밀한 형 체결력 제어가 가능해진다. 이에 따라, 성형시의 버의 발생을 억제할 수 있다.

또한, 상기 토글 링크 회동 방향과 타이 바 배치 위치 및 타이 바 지름에 의한 장치 폭을 작게 할 수 있고, 다수대의 장치를 병렬배치하면 많은 설치 스페이스를 확보하지 않고 생산성을 향상시킬 수 있다.

토글 링크의 지지점에 있어서, 트랜스퍼 유니트, 하부 테이블 및 크로스 헤드라고 하는 분해 곤란한 부재측에 지점 핀의 고정지지를 행하게 하고, 링크 부재측에 회전지지 베어링을 배치함으로써, 베어링 마모 등에 의한 오버 홀(over hole)시의 분해·교환을 용이하게 행할 수 있다.

상부 테이블과 이동 테이블 사이 및 이동 테이블과 하부 테이블 사이에, 협 피치로 배치된 타이 바끼리를 연결하는 것 및/ 또는 상부 테이블과 다른 주변장치 혹은 병렬설치장치의 동일한 상부 테이블끼리를 연결 방향 및/ 또는 상하 방향 자유롭게 연결함으로써, 협피치와 작은 지름에 의해 발생하는 토글 링크 회동 방향으로의 흔들림을 방지할 수 있다.

<실시형태>

이하, 본 발명의 실시형태에 대해 도 1 내지 도 3에 기초하여 설명한다. 또한 도 1은 본 발명의 실시형태인 수지봉지장치를 2대 병렬로 배치한 정면도로 좌측은 형분리되어 있는 상태도, 우측은 형 체결되어 있는 상태도이다. 도 2는 본 발명의 실시형태의 형 체결상태의 우측면도이고, 도 3은 형 분리상태의 좌측면도이며, 도 4는 연결구의 실시형태의 정면도이다. 또한, 도 5와 실질적으로 동일한 부품에는 동일 부호를 붙인다. 또한 도 7은 도 1의 A-A 단면도이다.

우선, 도 1에서 칫수(P)는, 본 장치의 설치 간격 칫수이고, 장치 횡폭 칫수는 소요 간극(5mm∼10mm)을 가지고 병렬되므로 칫수(P)보다 그만큼 작게 되어 있다.

상하 한 쌍의 상 금형(1) 및 하 금형(2)은 상부 열반(3) 및 하부 열반(4)에 각각 탈착 자유롭게 끼움장착되어 있다. 하 금형(2) 내에는 소요 개수의 수지를 장전하기 위한 포트(5)와 장전된 수지를 용융 주입하기 위한 플런져(6)가 대응하는 개수만큼 배치되며, 플런져(6)는 하 금형(2) 하부에 금형과 마찬가지로 탈착 자유롭게 끼움장착되는 플런져 박스(7)에 연결되어 있다. 이 때문에 하부 열반(4) 하부의 서포트 블록(30)은 플런져 박스(7)를 탈착할 때 필요한 높이만큼, 또한 플런져 박스(7)에 간섭하지 않도록 분할하여 설치되어 있다.

상부 열반(3)을 지지하는 상부 테이블(31)은 하부 테이블(32)로부터 세워 설치된 타이 바(33) 및 고정 너트(34)에 의해 고정 지지되어 있다. 타이 바(33)는 하부 테이블(32)에 있어서도 상기와 마찬가지로 상하면으로부터 고정 너트(35)(도 2)로 고정되어 있다. 타이 바 지름은 사용부재의 반복 인장 피로 한도치를 기준으로 하여 안전율2∼3을 취한 칫수로 하고, 본 실시형태의 경우, 타이 바 재질S45C(피로한도응력 220N/mm²), 형체결력 600kN일 때, 단순계산결과는 직경 41.7mm(안전율2)∼51.0mm(안전율3)로 되고, 타이 바 지름을 45mm로 하고 있다. 종래예의 단층 부착 형상이면 단층 부착부의 응력집중계수 약 2배를 고려할 필요가 있어, 타이 바 지름은 58.9mm∼72.2mm 필요하게 된다.

상부 테이블(31)은 연결구(100)에 의해 서로 인접하는 동일 장치 혹은 주변장치에 대해 연결 방향 또는 상하 방향 혹은 어느 방향으로도 미동가능하게 연결되어 있다.

타이 바(33)의 배치 위치는, 본 실시형태의 전체구성을 설명한 후에 설명한다.

하부 열반(4)을 지지하는 이동 테이블(36)은 상부 테이블(31) 및 하부 테이블(32) 사이에, 타이 바(33)를 따라 상하 이동 가능하게 설치되어 있다. 이동 테이블(36) 중앙부에는 플런져 박스(7)가 수지투입 및 수지주입시 상하 이동하는 만큼, 플런져 박스(7)의 폭보다 약간 큰 폭의 구멍이 형성되어 있고, 플런져 박스(7)의 탈착시에만 이동 테이블 상에 플런져 박스(7) 전체가 나타나는 칫수로 되어 있다.

이동 테이블(36) 하면에는 트랜스퍼 유니트(40)가 고정되며, 볼 나사를 사용한 구동력 변환기구(50)를 내장하고, 이 구동력 변환기구(50)의 볼 나사축 상단부에 고정된 홀더(41)는 2개의 볼 스플라인(42)에서 상하 방향으로 가이드되면서, 홀더(41) 상면에는 하중 변환기(43)를 통하여 플런져 박스 홀더(44)가 설치되며, 그 상면에 플런져 박스(7)가 끼움장착되며, 플런져 박스(7) 및 플런져(6)를 상하 이동시킨다. 구동력 변환기구(50) 하부에는 풀리(51)가 고정되며, 풀리(51, 52) 및 타이밍 벨트(53)로 이루어지는 벨트 전달기구(54)에 의해 트랜스퍼 유니트(40)의 금형 탈착면측과는 반대면측에 설치된 감속기 부착 전동기(55)(도 2 참조)와 연결되어 있다. 구동력 변환기구(50)는 볼 나사 너트가 2쌍의 스러스트 베어링과 래디얼 베어링에 의해 회전 자유롭게 지지되어 있고, 볼 나사 너트의 하단면에 풀리(51)가 고정되어 있다.

트랜스퍼 유니트(40)와 하부 테이블(32) 사이에는 이동 테이블(36)을 상하 이동시키는 더블 토글기구(60)가 설치되어 있다. 이 더블 토글기구(60)는 하부 테이블(32) 중앙에 트랜스퍼 유니트(40)와 같은 볼 나사를 사용한 구동력 변환기구(70)를 내장하고, 이 구동력 변환기구(70)에 대해 전후 대칭 즉 수지 테블릿 배열 및 금형 탈착 방향으로 회동가능하게 구성되며, 볼 나사축 상단부에 고정된 크로스 헤드(61)에서 시작되고, 짧은 링크(62), 일단을 하부 테이블(32)에 지점 핀(63)에 의해 회동 자유롭게 연결된 기준 링크(64) 및 트랜스퍼 유니트(40) 하부의 전후양측에 지점 핀(65)에 의해 회동 자유롭게 연결된 긴 링크(66)로 이루어지고, 이들 각 링크는 상호 다른 지점 핀에 의해 회동자유롭게 연결되어 있다. 구동력 변환기구(70) 하부에는 큰 풀리(71)가 고정되며, 풀리(72) 및 타이밍 벨트(73)로 이루어지는 벨트 전달기구(74)에 의해 하부 테이블(32)의 금형 탈착면측과는 반대면측에 설치된 전동기(75)(도 2)와 연결되어 있다. 구동력 변환기구(70)는 볼 나사 너트가 2쌍의 스러스트 베어링과 래디얼 베어링에 의해 회전 자유롭게 지지되어 있고, 볼 나사 너트의 하단면에 상기 큰 풀리(71)가 고정되어 있다.

하형에 형 체결력을 전달하는 긴 링크(66)의 역점인 지점 핀(65)의 피치 칫수는 하형 전후 칫수보다 작은 칫수로 설치되며, 상기 기준 링크(64)와의 최종 도달 위치관계는 힘 벡터가 금형 중앙으로 향하는 상태 전후 모두 연직보다 12°의 각도를 가지게 되어 있다. 이에 따라 형 체결 동작초기단계에서 힘 벡터가 금형중앙으로 향하므로, 전후의 지점 핀(65)을 연결하고 있는 트랜스퍼 유니트(40)의 내압이 상승하여 강성을 향상시킨다. 상기 크로스 헤드(61)의 이동은 2개의 볼 스플라인(68)으로 안내된다. 볼 스플라인(68)은 장치 좌우의 타이 바 사이에, 하단을 하부 테이블(32)에 감입되어 상단을 상기 타이 바 사이에 상호 연결하는 연결 블록(67)에 고정되어 있고, 이 2개의 볼 스플라인(68)에 의해 크로스 헤드(61)는 회전 및 경사없이 상하 이동 가능해진다. 또한, 크로스 헤드(61)의 하면에는, 우레탄 고무 스토퍼(69)가 부착되어 있고, 소정 위치 이상에 크로스 헤드(61)가 볼 나사 너트에 근접하면 우레탄 고무 스토퍼(69)가 볼 나사 너트 상면에 접촉하도록 되어 있다. 각 링크의 지지점은 지점 핀 및 고정 지지측과 회전 지지 베어링측으로 구성되어 있고, 트랜스퍼 유니트(40) 및 하부 테이블(32), 크로스 헤드(61)의 지점부는 전체 고정 지지측으로 하고, 긴 링크(66) 및 기준 링크(64), 짧은 링크(62)의 고정지지측과의 연결부는 회전 지지 베어링으로 되어 있다. 이것은 지점 핀 혹은 회전 지지 베어링의 마모 등에 의해 장치의 오버 홀을 생각하는 이상으로, 비교적 가벼운 링크부품만을 분해·교환하면 되고, 장치전체를 수리공장 등으로 운반할 필요가 없어져 경제적으로 된다.

트랜스퍼 유니트(40)의 벨트 전달기구(54)의 타이밍 벨트(53)는 긴 링크(66)의 한쪽을 둘러싸도록 연장되어 있고, 벨트 교환에 있어서는 풀리(51, 52)에서 타이밍 벨트(53)를 먼저 푼 후, 긴 링크를 회동 자유롭게 연결하고 있는 지점 핀 중 어느 한쪽을 제거하면 가능하다. 당연히 지점 핀을 제거할 때는 이동 테이블(36)을 상부 테이블(31)에 스터드 볼트(도시하지 않음) 등으로 매달아올려 두던지 하부 테이블(32)과 이동 테이블(36) 사이에 물리는 물건을 넣어둘 필요가 있다.

타이 바(33)의 금형 폭 방향 피치(f)는 이동 테이블(36)의 상하 이동에 있어, 타이 바(33)에 부대(附帶)되어 있는 부품이 간섭하지 않는 위치에 배치되어 있다. 타이 바(33)의 금형 전후 방향 즉 깊이 피치는 대상 리드 프레임 길이보다 짧은 피치 칫수이고, 또한 형 체결력의 역점 피치보다 좁은 위치에서, 장치 측면 즉 토글링크 지점 축선측에서 봐서 타이 바 외경과 역점부 지점 핀(65) 외경이 지점 핀(65)을 제거할 때 간섭하지 않는 칫수관계로 구성되어 있다. 타이 바 부대품으로서는, 도면 중 80으로 표시하는 가이드 레일이거나, 상부 테이블(31)을 고정하는 고정 너트(34)이다. 가이드 레일(80)은 장치 뒷면측에서 금형 내로 진퇴하는 로우더(90)·언 로우더(91)·다이 클리너(도시하지 않음) 등의 주행 가이드의 역할을 하는 것이고, 본 실시형태에서는, 상부 테이블 고정 너트(34)의 두께와 동일한 칫수로 타이 바 내면에 구성되어 있다. 가이드 레일(80)의 타이 바(33)로의 고정방법은, 각 타이 바(33)에 각각 분할 체결 고정된 분할 체결 끼움목(81)으로 지지고정을 행하고 있다. 분할 체결을 직접 가이드 레일에서 행하지 않는 것은, 분할 체결부를 볼트로 나사조임할 시 가이드 레일이 볼트 조임 방향으로 이끌려 구부러지는 것을 막기위함이다.

다음에 작용효과에 대해 설명한다.

우선, 도 1, 도 2, 및 도 7에서, 더블 토글기구(60)를 장치의 전후 방향(l) 즉 포트 배열 방향과 동일 방향으로 회동하도록 배치한 것, 및 금형 좌우의 타이 바(33)의 금형 전후 방향(b) 즉 깊이 피치(e)를 대상 리드 프레임 길이(h)보다 짧은 피치 칫수로, 또한 형 체결력의 역점 피치(m)보다 좁은 위치에서, 장치 측면 즉 토글 링크 지점 축선측에서 봐서 타이 바 외경과 역점부 지점 핀(65) 외경이 상기 지점 핀(65)을 제거할 때 간섭하지 않는 칫수관계로 구성하였으므로, 형 체결시에 형 체결력의 반력을 받는 지점 핀(63, 65)의 길이에 관계없이 타이 바 좌우 피치(g)를 결정할 수 있고, 또한 타이 바(33)를 짧은 지름으로 함으로써, 상부 테이블(31), 이동 테이블(36), 하부 테이블(32)의 폭을 작게 하는 것이 가능하다. 여기서, 크로스 헤드(61) 및 짧은 링크(62)의 지지점은, 상기 지점 핀(63, 65)에 비해 반력이 작기 때문에 핀 길이가 짧아도 되고, 예를 들어 타이 바(33)의 형체에 가려져 있어도 제거에 있어서 지장을 주는 일은 없다. 기준 링크 지점 핀(63)의 길이는 서로 인접하는 본 실시예 장치의 동일 부품 사이 또는 다른 주변장치의 동일 위치사이에 분해하여 스페이스가 확보될 수 있으면 되고, 도면 중 기준 링크 기점 핀(63)의 길이를 T로 하면, 장치간 피치칫수(P)는 P ≥ 2 · T의 조건을 만족하면 된다. 이 때문에 종래의 장치에 비해 폭 방향으로 매우 작은 스페이스에 다수대 설치가능해진다. 따라서, 큰 설치 스페이스를 확보하지 않고 생산성을 향상시킬 수 있다.

더블 토글기구(60)를, 전후로 회동배치해도 제거가 곤란한 트랜스퍼 유니트(40) 및 하부 테이블(32), 크로스 헤드(61)의 지점부는 모두 고정 지지측으로 하고, 긴 링크(66) 및 기준 링크(64), 짧은 링크(62)의 상기 고정 지지측과의 연결부를 회전축 지지함으로써, 베어링 마모 등에 의한 장치의 오버 홀은, 비교적 가벼운 링크 부품만을 분해·교환하면 되고, 장치전체를 수리 공장 등으로 운반할 필요가 없어져 경제적으로 된다.

또한, 장치의 운전이 시작되면, 전동기(75)가 회전을 시작하고, 벨트 전달기구(74)를 통하여 구동력 전환기구(70)에 회전 및 회전력이 전달된다. 볼 나사 너트가 회전하면 그에 나사결합하는 볼 나사축, 즉 크로스 헤드(61)가 상승하고, 이와같이 하여 상기 전동기(75)의 회전력은 추력으로 변환되며, 상기 추력은 더블 토글기구(60) 및 트랜스퍼 유니트(40)를 통하여 이동 테이블(36)에 전달된다.

여기서, 더블 토글기구(60)의 동작을 보다 상세하게 설명한다. 다만, 이 더블 토글기구(60)는 상술과 같이 전후 대칭이므로, 도 3의 우측 즉 장치 전면측의 부분에 대해서만 설명한다. 상술과 같이 볼 나사 너트의 회전에 의해 크로스 헤드(61)가 상승하고, 이에 따라, 짧은 링크(62)도 상승하면서 지점(61A)을 중심으로 시계 방향으로 회전한다. 이와 동시에, 기준 링크(64)가 지점 핀(63)을 중심으로 시계 방향으로 회전하고, 이에 따라, 긴 링크(66)는 지점 핀(65)을 중심으로 반시계 방향으로 회전하면서 트랜스퍼 유니트(40) 및 이동 테이블(36)을 상방으로 고속으로 밀어올린다. 크로스 헤드(61)가 하강 한도 부근에 존재할 때는, 크로스 헤드(61)의 이동량에 비해 이동 테이블(36)의 이동량쪽이 크고, 그만큼 전동기 회전력 즉 추력도 크게 필요해진다. 이에 대해 크로스 헤드(61)가 상승 한도 직전이 되면 상술의 작용과 반대의 일이 일어난다. 긴 링크(66)와 기준 링크(64)가 대략 일직선이 되기 직전부터 이동 테이블(36)에 대한 상승추력으로서 매우 큰 힘을 발생시킬 수 있다. 형터치 바로 앞에서 전동기의 회전속도를 떨어트림과 동시에 전동기의 출력을 상승 회전 방향에 대해 다운시키고, 하강 회전 방향에 대해서는 출력제한을 풀어준다. 이에 따라 틀린 값으로 상승 위치를 결정하여 금형에 충돌했다고 해도 금형의 손상을 방지할 수 있다. 상부 테이블(31)의 타이 바(33)로의 고정 위치는, 더블 토글기구(60)의 상사점 위치에 대한 이동 테이블(36)의 상사점 위치로부터 형 체결 여유도(이동 테이블 이동량 환산으로 약 0.3mm∼0.5mm)와 토글 링크부분의 회동접동의 마모량(이동 테이블 이동량 환산으로 약 0.3mm∼0.5mm)으로 장치전체의 형 체결시의 변형량(이동 테이블 이동량 환산으로 약 0.7mm∼1.0mm)을 총합한 칫수만큼 미리 하방으로 수정한 위치에서 고정된다. 따라서 형체결 완료시에도 실제로는 긴 링크(66) 및 기준 링크(64)가 일직선상으로 되는 일은 없다.

형 체결력은 크로스 헤드(61)의 상승 위치결정위치로 제어하고, 미리 형 터치 칫수를 자동 검출하고, 그 위치에서 이동 테이블(36)을 어느 만큼 상승시키면 되는가를 토글 링크의 각 링크 칫수 및 장치의 변형계수가 입력된 계산식으로 판단하고, 소정 형 체결력을 발생시키는 위치에 상승 위치결정한다.

이 때, 타이 바(33)의 하부 테이블(32) 부근에 부착된 변형 게이지(도시하지 않음)에 의해 타이 바(33)의 변형을 검출하고, 소정의 형 체결력이 발생하고 있는지를 체크한다. 이 체크는 형 체결 동작할 때마다 행하고, 규정량 이상의 형 체결력 부족 또는 형 체결력 과다의 경우는 다음회의 성형을 정지시킨다. 규정량 이하의 변동에 대해서는 그때마다 위치결정위치를 보정하고, 안정된 형 체결력을 발생시킨다.

본 실시예에서는 타이 바(33)를 지름을 짧게 한 것으로 형 체결시의 변형량을 크게 취할 수 있으므로, 형 체결력 설정의 분해능이 향상되어 정밀한 형 체결력 제어가 가능해진다.

또한, 토글 링크의 회동 방향측의 타이 바(33)의 배치가 토글 링크의 역점 피치보다 더 협피치화되어 있으므로, 예를 들면 전후의 토글 링크 칫수에 차가 있는 경우, 타이 바 지름이 종래 지름이고, 타이 바 피치도 종래 피치인데 비해, 전후 형 체결력의 언밸런스도가 대폭 경감된다. 토글 링크의 회동 방향측의 타이 바 피치가 협피치인 것 및 타이 바 지름이 짧아지는 것에서 링크 회동 방향측의 강성이 약해지는 것으로 생각할 수 있는데, 상부 테이블(31)과 이동 테이블(36) 사이 및 이동 테이블(36)과 하부 테이블(32) 사이에 있어서 상호 타이 바를 연결하는 부재를 설치하고 있으므로, 이동 테이블(36)의 상하 이동에 있어서 장치의 전후 방향 흔들림을 억제할 수 있다. 또한, 타이 바의 지름이 짧아지는 것 및 협피치화를 행할 경우는, 상부 테이블(31)과 다른 주변장치 혹은 병렬 설치장치의 동 상부 테이블끼리 혹은 하부 테이블끼리를 연결 방향 및 상하 방향 자유롭게 연결함에 의해 장치의 흔들림을 억제할 수 있다.

형 체결력의 전달 및 구성부재의 강성을 생각한 경우, 종래장치에서는, 서포트 블록(8) 및 열반의 분할선과 직교하도록 형 체결력의 모멘트가 걸려있는데 대해, 본 실시예에서는 서포트 블록(30) 및 열반(3, 4) 나아가서는 금형(1, 2)의 강성이 가장 강한 방향 즉 구성부재가 통과하는 방향으로 모멘트가 걸린다. 즉 포트열 방향에 평행으로 서포트 블록이 배치된다는 것은 그 방향의 구부러짐 강성이 그 직교 방향의 구부러짐 강성보다 강해진다(직교 방향측은 서포트 블록이 분단(분할)되어 있으므로 서포트 블록이 구부러짐 강성재로 될 수 없다), 또한, 리드 프레임의 폭 방향 칫수(길이 방향 칫수보다 짧다)로 강성을 확보하면 양호하게 되므로, 종래의 장치에 비해 이동 테이블(36) 및 서포트 블록(30) 및 트랜스퍼 유니트(40)를 경량화할 수 있다.

즉 같은 종(縱)강성을 확보할 때 폭이 좁고 두께 칫수가 두꺼운 쪽이 경량화된다. 수지봉지장치에 이용되는 금형은 휘어짐량을 꺼리므로, 종칫수(두께)는 폭칫수의 3승으로 효과를 내게되어, 경량화를 도모할 수 있다.

이와 같이 하여, 경량화한 만큼, 고속동작이 가능해지고, 생산성을 향상시켜, 구성부재의 강성이 헛되지 않게 금형에 전달되므로, 버의 발생을 억제할 수 있다.

또한, 작용의 연속인데, 형 체결의 개시와 함께 트랜스퍼 유니트(40)를 구동하는 감속기 부착 전동기(55)가 회전하기 시작하고, 상술의 크로스 헤드 상승동작과 같은 원리로, 벨트 구동기구(54)를 통하여 구동력 변환기구(50)에 의해 볼 나사축 즉 홀더(41)가 상승하고, 하중 변환기(43) 및 플런져 박스 홀더(44), 플런져 박스(7) 및 플런져(6)가 상승하고, 하형 내에 투입된 수지를 상하형 내에 형성된 캐비티에 용융 주입한다. 용융 주입 동작은 수지가 캐비티에 거의 충전되기까지 전동기의 소정 속도에 의한 속도 제어에 의해 상승시키고, 그 사이 하중 변환기(43)의 출력 신호는 이상 주입력이 발생하지 않는지의 체크에 사용되며, 거의 충전이 다된 위치에 플런져(6)가 상승하면 하중 변환기(43)의 출력신호를 피드 백하여 소정속도를 상한으로 하여 정역(正逆)의 속도제어를 행하여 소요 큐어(cure)력이 일정하게 되도록 제어한다. 이 때, 수지 주입 압력이 올라가기까지 형 체결이 완료되는 것이 필요하고 형 체결 전동기(75)와 수지 봉입 전동기(55)는 상호 도시하지 않은 제어장치에 의해 연동되어 있다. 큐어 시간이 경과하면, 우선 트랜스퍼의 전동기가 상술과 반대 방향으로 회전하여 플런져(6)를 하강시킨다.

그 후, 형 체결이 종료되어 이동 테이블(36)은 하강한다. 상하형이 완전히 분리되기까지는 이동 테이블 속도를 10mm/sec 이하로 하고, 완전히 분리된 위치에서는 성형품 이젝트 위치 직전까지 고속으로 하강한다. 성형품 이젝트 위치에 있어서는, 이젝트 속도와 트랜스퍼의 플런져 상승속도를 동기시켜, 포트(5)부에 있는 컬(cull)(불필요한 수지부)과 캐비티부의 제품을 동시에 밀어올려, 하형(2)에서 이젝트시킨다. 전동기를 동기시킴으로써 수지 크랙, 게이트 잔류 등의 문제 발생을 방지할 수 있다.

이동 테이블 고속 하강 중에 제어장치(도시하지 않음)에 어떠한 이상이 발생하고, 하강 한도에 위치결정해서 정지할 수 없어 그대로 하강한 경우 하강 한도보다 조금 아래 방향으로 설정된 오버 런 검출 센서(도시하지 않음)가 작용하고, 전동기(75)에 부속의 브레이크를 제동시킴과 동시에 전동기 전원을 끊는다. 그러나 상술한 바와 같이 고속 회전 중의 구동력 변환기구(70)와 토글 기구 특유의 링크 꺽임시에 가속이 붙고, 전동기(75)의 브레이크로 완전히 정지시키기 위해서는 오버런 영역을 상당 확보할 필요가 생긴다. 여기서, 상술의 크로스 헤드(61) 하면에 부착한 우레탄 고무 스토퍼(69)가 회전 중의 볼 나사 너트 상면에 접촉함으로써, 회전부에 제동을 걸어 급속하게 회전 에너지를 소비시켜, 적은 영역에서 안전하게 정지시킬 수 있다. 이에 따라 강체끼리의 충돌이 발생하지 않아, 장치의 예기치 않은 파손을 방지함과 동시에, 반도체 공장에 있어서는 바닥의 내하중 문제를 클리어할 수 있다.

그 이외, 본 발명의 다른 실시예로서, 상기 실시예 기재의 상부 테이블, 하부 테이블은 상하 반대로 되어도 상관없다. 즉, 실시예 기재의 상부 테이블이 하부 베이스에 고정되며, 형 체결시 이동 테이블이 상방에서 하방으로 이동해도 본 발명의 효과는 변하지 않는다. 연결구(100)는 베이스 고정부로부터 먼 위치에 있는 부재를 연결시키면 된다. 또한, 실시예 기재의 이동 테이블이 고정되며, 상하 테이블이 상대적으로 상하 이동할 경우에 있어서도, 본 실시예의 이동 테이블을 고정하여 상부 및 하부 테이블을 자유롭게 했을 때와 작용·효과 모두 본 실시예 기재의 것과 변함없다.

또한, 본 실시형태에 기재의 연결구(100)의 다른 실시예 형상을 도 4a, b, c, d에 도시했는데, 각각 연결 방향 및 상하 방향으로 탄성 변형시키던지 2개의 가이드 기구(a, b)로 슬라이드시키는 방법으로, 이미 기술한 효과를 발휘할 수 있다.

본 발명의 수지봉지장치에 의하면, 더블 토글기구의 토글 링크 회동 방향을 수지 테블릿 배열 방향 즉 금형 및 플런져 박스 탈착 방향과 동일 방향으로 구성하였으므로, 금형 혹은 열반·서포트 블록의 강성을 활용할 수 있어 장치 전체의 강성확보를 용이하게 할 수 있다. 이에 따라 이동체를 경량화·고속화할 수 있어, 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 장치전체의 중량을 경감시킬 수 있다.

또한, 토글 링크의 최종 역점 피치 칫수가 금형 전후 칫수보다 작고, 또한 금형 좌우의 타이 바 깊이 피치 치수가 장치의 대상 리드 프레임 길이 칫수 이하로서 상기 역점 피치 칫수보다 작은 협피치로 함으로써, 더블 토글기구의 토글 링크 칫수에 차이가 발생해도 그 차이에 의한 형 체결력 언밸런스가 경감된다. 또한, 타이 바 형상을 스트레이트로 하고 타이 바 지름을 짧게 함으로써, 다시 상기 언발란스가 발생하기 어렵게 됨과 동시에, 타이 바의 신장량도 늘어나므로 형 체결력 설정의 분해능이 향상되어 정밀한 형 체결력 제어가 가능해진다. 이에 따라, 성형시의 버의 발생을 억제할 수 있다.

또한, 상기 토글 링크 회동 방향과 타이 바 배치 위치 및 타이 바 지름에 의해 장치 폭을 작게 할 수 있고, 다수대의 장치를 병렬배치하면 많은 설치 스페이스를 확보하지 않고 생산성을 향상시킬 수 있다.

또한, 토글 링크의 지지점에 있어서, 트랜스퍼 유니트 및 하부 테이블 및 크로스 헤드라고 하는 분해 곤란한 부재측에 지점 핀의 고정지지를 행하게 해, 링크부재측에 회전지지 베어링을 배치함으로써, 베어링 마모 등에 의한 오버 홀 시의 분해·교환을 용이하게 행할 수 있다.

또한, 상부 테이블과 이동 테이블 사이 및 이동 테이블과 하부 테이블 사이에 협피치로 배치된 타이 바끼리 연결하는 것, 및/ 또는 상부 테이블과 다른 주변장치 혹은 병렬 설치장치의 동일 상부 테이블끼리 혹은 하부 테이블끼리를 연결 방향 및/ 또는 상하 방향 자유롭게 연결함으로써, 협피치와 짧은 지름에 의해 발생하는 토글 링크 회동 방향으로의 흔들림을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명에 관한 수지봉지장치를 2대 병렬로 배치한 전체 정면도로, 정면좌측은 형 분리한 상태도, 동 우측은 형 체결하고 있는 상태도,

도 2는 형 체결상태의 우측면도로, 링크가 연장된 상사점 상태를 표시하는 우측면도,

도 3은 형 분리한 상태의 좌측면도,

도 4는 연결구의 실시형태의 정면도,

도 5는 종래장치의 정면도,

도 6은 도 5의 A-A 단면도,

도 7은 도 1의 A-A 단면도,

도 8은 본 발명과 종래예와의 힘의 방향과 플런져 박스의 방향과의 관계를 도시하는 비교도,

도 9는 본 발명의 링크 칫수 차이에 기인하는 타이 바 피치와 반력과의 관계를 도시하는 설명도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 상 금형 2 : 하 금형

3 : 상부 열반 4 : 하부 열반

5 : 포트 6 : 플런져

7 : 플런져 박스 8 : 서포트 블록

9 : 상부 테이블 10 : 하부 테이블

11 : 타이 바 12 : 고정 너트

13 : 고정 너트 14 : 이동 테이블

15 : 가이드 레일 16 : 트랜스퍼 유니트

17 : 구동력 변환기구 18 : 벨트 전달기구

19 : 더블 토글기구 20 : 구동력 변환기구

21 : 크로스 헤드 22 : 짧은 링크

23 : 지점 핀 24 : 기준 링크

25 : 지점 핀 26 : 긴 링크

27 : 벨트 전달기구 30 : 서포트 블록

31 : 상부 테이블 32 : 하부 테이블

33 : 타이 바 34 : 고정 너트

35 : 고정 너트 36 : 이동 테이블

40 : 트랜스퍼 유니트 41 : 홀더

42 : 볼 스플라인 43 : 하중 변환기

44 : 플런져 박스 홀더 50 : 구동력 변환기구

51 : 풀리(pulley) 52 : 풀리

53 : 타이밍 벨트 54 : 벨트 전달기구

55 : 감속기 부착 전동기 60 : 더블 토글기구

61 : 크로스 헤드 62 : 짧은 링크

63 : 지점 핀 64 : 기준 링크

65 : 지점 핀 66 : 긴 링크

67 : 연결 블록 68 : 볼 스플라인

69 : 우레탄 고무 스토퍼 70 : 구동력 변환기구

71 : 큰 풀리 72 : 풀리

73 : 타이밍 벨트 74 : 벨트 전달기구

75 : 전동기 80 : 가이드 레일

81 : 분할 체결 끼움목 90 : 로우더

91 : 언 로우더 100 : 연결구

Claims (12)

1. 상하로 서로 대향하도록 타이 바에 고정된 상부 및 하부 테이블과, 상기 상부 및 하부 테이블 사이에 상하 이동 가능하도록 배치된 이동 테이블과, 한쪽이 상기 상부 및 하부 테이블 중 대응하는 측의 한쪽에, 나머지 한쪽이 상기 이동 테이블에 탈착 자유롭게 고정된 상하 한 쌍의 상 금형 및 하 금형과, 상기 이동 테이블에 일단이 연결되며, 상기 이동 테이블에 고정된 상기 상 금형 또는 하 금형의 한쪽을 상하 이동시켜 형 체결을 행하는 서로 대향하는 2개의 토글 링크를 가지는 더블 토글기구와, 상기 형 체결에 의해 상기 상 금형 및 하 금형 내에 형성되는 공간에, 용융수지를 주입하는 플런져를 배열 고정하여 이루어지는 플런져 박스와, 상기 상 금형 및 하 금형을 가열하는 가열기구를 구비하고, 반도체장치의 수지봉지를 행하는 수지봉지장치에 있어서, 상기 상하 금형의 탈착 방향은, 상기 플런져 박스의 탈착 방향과 동일 방향이고, 상기 더블 토글기구의 토글 링크 회동 방향은 플런져 박스 탈착 방향과 동일 방향이 되도록 구성한 것을 특징으로 하는 수지봉지장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 더블 토글기구의 서로 대향하는 2개의 토글 링크의 역(力) 점을 연결하는 선이 상기 플런져의 배열 방향과 평행인 것을 특징으로 하는 수지봉지장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 타이 바는 금형 전후 및 좌우로 상호 소정의 간격을 두고 배치된 4개의 타이 바로 이루어지고, 서로 대향하는 2개의 상기 토글 링크의 최종 역점을 연결하는 역점 피치 칫수가 금형 전후 칫수보다 작고, 또한 금형 좌우의 타이 바 깊이 피치 칫수가 장치의 대상 리드 프레임 길이 칫수 이하로 상기 역점 피치 칫수보다 작은 협피치로 한 것을 특징으로 하는 수지봉지장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 타이 바는 형상이 스트레이트이고, 최대 형 체결시의 외경 응력치가 부재의 반복 인장 피로한도의 1/2에서 1/3배의 범위의 외경칫수로 한 것을 특징으로 하는 수지봉지장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 토글 링크의 지지점에 있어서, 링크 부재측에만 회전지지 베어링을 배치한 것을 특징으로 하는 수지봉지장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 가열기구는 상하 금형을 가열하는 상하부 열반으로 이루어지고, 상기 상부 열반은 상기 상부 테이블의 하면에 지지되어 있고, 또한 상기 하부 열반은 상기 이동 테이블 상면에 지지되어 있고, 상기 더블 토글기구는 상기 이동 테이블과 하부 테이블 사이에, 이동 테이블을 상하 이동시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 수지봉지장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 상부 테이블과 이동 테이블 사이 및 이동 테이블과 하부 테이블 사이에서 상기 타이 바끼리 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 수지봉지장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 수지봉지장치는 다수개 병렬적으로 배치되어 있고, 상기 상부 테이블 또는 하부 테이블끼리 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 수지봉지장치.
9. 제1항에 있어서, 상기 상부 테이블 또는 하부 테이블은 다른 주변장치 혹은 병렬 설치장치의 상부 테이블끼리 혹은 하부 테이블끼리를 연결 방향 또는 상하 방향 자유롭게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 수지봉지장치.
10. 제1항에 있어서, 상기 플런져 박스는, 상기 하 금형 내에 용융수지를 주입하기 위한 다수개의 플런져를, 하 금형 하부에 연결지지하고, 상하 금형의 탈착 방향과 동일 방향으로 탈착 자유롭게 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 수지봉지장치.
11. 제1항에 있어서, 상기 더블 토글기구는, 볼 나사 축단에 고정된 크로스 헤드를 가지고, 상기 볼 나사에 나사 결합하는 볼 나사 너트를 회전시키는 구동력 변환기구를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 수지봉지장치.
12. 제11항에 있어서, 상기 더블 토글기구는 상기 크로스 헤드와 상기 볼 나사 너트 사이에 소정 칫수 이하로 접근했을 때 상호 접촉하도록 구성된 마찰계수가 큰 휘어짐 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 수지봉지장치.