TW507334B - Resin package apparatus - Google Patents

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4 3 3 Ρ- 5 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ7 B-7 五、發明説明（1 ) 發明所屬技術領域 本發明係關於用以將裝載於導線架上之半導體元件樹脂 封裝之樹脂封裝裝置。 習知技術 這種樹脂封裝裝置之習知例如圖5所示。圖5係習知裝 置之正視圖。 上下一對之上模具1及下模具2各自在上部熱盤3及下 部熱盤4嵌裝成自由拆裝。在下模具2内配設對應個數之用 以裝填所要個數之樹脂之鍋5和用以熔融注入所裝填之樹脂 之柱塞6，柱塞6與在下模具2下部和模具一樣嵌裝成自由 拆裝之柱塞盒7連結。因而，下部熱盤4下部之支撐塊8分 割設置成在投入及注入樹脂時和柱塞盒7不會干涉。即，支 撐塊8因配設成避開柱塞盒（在鍋排列方向成縱長形狀）上 下動之區域，在锅排列方向成為縱長形狀。而且還由和柱塞 盒及驅動柱塞盒之驅動部之連結等關係以如夾入柱塞盒般之 形狀分割後立設。 保持上部熱盤3之上部台板9利用自下部台板10立設 之繫桿11及固定螺帽12固定保持。繫桿33在下部台板10 上面以台階形狀插入，自下部台板10之下面側用固定螺帽 13固定。在上部台板9及下部台板10之間將保持下部熱盤 4之移動用台板14設置成可沿著繫桿11上下動、又，以在 下部熱盤4上下動時不干涉之尺寸關係在繫桿11和下部熱 盤4設置在下模具2上供給導線架及樹脂片之供料機（圖上 未示）及自模具内取出成形品之卸料機（圖上未示）、清掃 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規輅（210X 297公t ) ---------^1 — (請先閲讀背面4.注意京再頁)

、1T 線 4 3 3 P: 5 Λ7 Η"7 五、發明説明（2 ) I (請先閱讀背面4.注意事省再1^^4^ 成形後之模具之模具清潔器（圖上未示）之導軌15。在移 動用台板14下面固定轉移單元16，内藏使用了滾球螺桿之 驅動力變換機構17，令柱塞盒7及柱塞6上下動。在驅動 力變換機構17之下部利用皮帶傳動機構18連結設於圖5之 紙面正交方向深側之馬達。 ♦ 在轉移單元16和下部台板10之間設置令移動用台板14 上下動之雙肘節機構19。該雙肘節機構19，在下部台板10 中央内藏和轉移單元16 —樣之使用了滾球螺桿之驅動力變 換機構20，由固定於滾球螺桿之上端部之十字接頭21、短 連桿22、一端利用支點銷23和下部台板10連結成自由轉 動之基連桿24以及利用支點銷25和轉移單元16下部之左 右兩側連結成自由轉動之長連桿26構成之肘節機構配置成 對於該驅動力變換機構20前後對稱。此外，這些各連桿彼 此利用其他之支點銷連結成自由轉動。驅動力變換機構20 之下部利用皮帶傳動機構27連結設於圖5之紙面正交方向 深側之馬達。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 圖6係在圖5之A-A剖面圖，圖6所示Tw尺寸係4支 繫桿11之橫向間距，即自正面看裝置時之寬度間距尺寸。 Td尺寸係繫桿11之深度間距尺寸。又，下模具2在圖6之 紙面下方向可拆裝，圖5之柱塞盒7也一樣。又，若裝載模 具尺寸變更時，熱盤本身也有自裝置上拆裝之情況。在圖6 中，以虛線所示的係雙肘節機構19之支點銷23，在轉動空 間及裝置之確保空間上，大部分之情況繫桿11之外徑之一 部分落在支點銷23之軸線上。因而，需要確保支點銷23在 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X29?公t ) Λ7 ---------们 一____ 五、發明説明（3 )— —一一 維修時之拆下空間。由上述理由，設繫桿u之外徑尺寸為 d模具I度尺寸為κ、支點銷23之全長尺寸為£時，上 述Tw尺寸及刊尺寸之關係可用下式表示。

Tw^d> Κ ......⑴

Td^d> 3L ······ (2) 此外，在自動機械之情況，因存在導軌l5，Tw尺寸比 由式（1)所求得之尺寸大導軌15之尺寸。 發明要解決之課題 可是，圖5所示之樹脂封襞裝置具有如下所述之缺點。 第1係因鎖模力傳達之最終力點位置係比模具寬度尺寸 κ (參照圖6)寬之位置，鎖模時轉移單元16及移動用台板 14需要相當之剛性，為了確保剛性，需要增大裝置重量以 及增加上下動之驅動力。又，為了確保該剛性，增加縱向剖 面一次力矩即可，但是縱向尺寸增大伴隨裝置通過線（Pass Line)上升，令作業性惡化。 第2係因雙肘節機構19之轉動方向位於和模具及柱塞 盒7之拆裝方向，即熱盤及支撐塊分割線方向正交方向，對 於相向肘節連桿之移動用台板之力點隔著支撐塊分塊線2分 割，如圖8 (a)之主要部分之說明圖所示，支撐塊之存在 不會導致彎曲剛性提高，甚至受到在上述之剛性不足之翹曲 之衫響’發生模具接合面不均勻’易發生毛邊等問題。 第3係因上述之力點位置和繫桿位置大致相同，發生在 左右之肘節連桿之尺寸變動之左右繫桿伸長量之差異及其所 引起之左右鎖模力不平衡。這有右肘節連桿之長度和左肘節 6 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規格（210X29*?公籍)~~— (請先閱讀背面今江意京^再1^^4^ -裝-

、1T 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 507334 A? B? 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 五、發明説明（4 ) 連桿之長度完全一樣之可能性很低，即使同時加工也發生尺 寸誤差之問題。例如，設右肘節連桿之尺寸比左肘節連桿之 尺寸長0.01mm時，繫桿配置位置和肘節連桿配置位置相同 而且為了將十字接頭21導引作不向左右動，右側繫就多伸 長0.01mm。繫桿之伸長量之總和就相當於鎖模力之反作用 力。因此，左右之伸長之差愈大，鎖模力在左右之差異愈大。 第4係因在對下部台板1()之繫桿固定形狀，對繫桿加 工口 P白加上在該^位之應力集中時，採取增粗繫桿徑整體 之手段’但是變粗後施加同_力也因伸長量變小，對於連桿 尺寸差之敏感度增大，令上述鎖模力不平衡量增大。 第5係在自動機械為了提高生產力而在寬度方向並列數 台圖5所示裝置使用時，將導軌15之寬度極小化或不用以 =為了將繫桿徑細徑化而採用高強度鋼等，也因結果 法降到雙財節機構19之構成尺寸以下，多佔用了設置空間。 本發明係鑑於上述之問镧朴It Ώ 1碭點而提議的，其目的在於提供 3的在於藉著降低趣曲之影響並提高彎曲剛性，減輕 :生產:提:且伴隨上下動之輕量化進行上下動之高速化， 成形Γ質t發高明之目的在於藉著抑制引起毛邊發生之趣曲令 *置*2發月之目的在於提供縮小裝置寬度而且並列多台 5又置空間也可小之裝置。 解決課題之手段 $月之樹域裝裝置，第i個特徵在於在構造上雙財 (請先閲讀背面惫注意京>項再 -裝-- ^^4 頁)

、1T 線· ^υ/334 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 ^-— _____ Η 7 ____ 一 ' 丨丨丨.丨丨丨丨 一— 五、發明説明（5 ) 節機構之肘節連桿之轉動方向和樹脂片之排列方向相同，即 和柱塞盒之排列方向平行。 第2個特徵在於連結該雙肘節機構之相向之2支肘節連 桿之力點之直線和該柱塞之排列方向平行。 第3個特徵在於肘節連桿之最終力點之間距尺寸比模具 前後尺寸小，而且模具左右之繫桿深度間距尺寸設為裝置之 對象導線架長度尺寸以下之比該力點間距尺寸小之窄間距。 第4個特徵在於該繫桿形狀為直的，而且將繫桿徑設為 自零件之重複拉伸疲勞極限值以安全係數2〜3倍所計算之 尺寸。 ϋ # 第5個特徵在於在轉移單元及下部纟板、十字接頭以外之連桿零件侧配設由肘節連桿之支點銷接觸支撐並令轉動之 軸承。 第6個特徵在於在第丨個特徵之裝置，由上模具及下模 具加熱之上及下熱盤構成加熱機構，該上熱盤保持於該上部 台板之下面，而且該下減保持於該移動用台板之上面，該 雙肘節機構在構造上令移動用台板在該上部台板和下部台板 之間上下動。 第7個特徵在於在該細徑窄間距之繫桿高速化時，在防 止裝置搖擺之對策上，該上部台板和移動用台板之間及移動 用台板和下部台板之間設置連結窄間距之繫桿之間之零件。 第8個特徵在於在該細徑窄間距之繫桿之防止裝置搖擺 之對策上，並列配設多台樹脂封Μ置，該上部台板或該下 部台板相連結。 8 本紙痕尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（nOX Wpril----- (請先閱讀背面或注意事靖再頁) •裝· 、tr 線 3 3 7 5 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ? B?五、發明説明（6 ) 第9個特徵在於在該細徑窄間距之繫桿之防止裝置搖擺 之對策上，令上部台板和周邊裝置或者並列之該上部台板之 間連結成在連結方向或上下方向自由。 第10個特徵在於該柱塞盒用下模具下部連結支撐用以 向該下模具内注入熔融樹脂之多個柱塞，在和上、下模具之 拆裝方向相同之方向保持成自由拆裝。 第11個特徵在於該雙肘節機構具有固定於滾球螺桿軸 端之十字接頭並具有令和該滾球螺桿螺合之滾球螺桿之螺帽 轉動之驅動力變換機構而成。 第12個特徵在於該雙肘節機構具有在構造上當在該十 字接頭和該滾球螺桿之螺帽之間接近到指定尺寸以下時彼此 相接觸之摩擦係數大之撓曲件。 作用 因在構造上雙肘節機構之肘節連桿之轉動方向，即連結 相向之2支肘節連桿之力點之直線如圖8(b)及圖8(c)(圖 8 ( c )係自圖8 ( b )之正交方向看到之剖面圖）所示，和 形成支撐塊之柱塞之排列方向平行（和樹脂片排列方向即模 具及柱塞盒7之拆裝方向相同），可活用模具或熱盤、支撐 塊30之剛性，可容易地確保裝置整體之剛性。這由比較圖 8 (a)所示之習知技術和係本發明之圖8 (b)及圖8 (c) 明白。藉此，可將移動體輕量化、高速化，可令生產力提高。 又可減輕裝置整體之重量。 藉著肘節連桿之最終力點間距尺寸比模具前後尺寸小， 而且模具左右之繫桿深度間距尺寸為裝置之對象導線架長度 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公漦） (請先閱讀背面冬注意事瓚再 -裝| -|口 線 3 73 P 5 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ7 Η1五、發明説明（7 ) 尺寸以下之比該力點間距尺寸小之窄間距，雙肘節機構之肘 節連桿尺寸發生差異，也減輕該差異所引起之鎖模力不平 衡。 關於這一點，在圖9表示說明圖。在此首先考慮連桿尺 寸差ΔΚ絕對不變。又，認為上部台板及上模具為簡支樑， 以及忽略零件之翹曲。 設各繫桿之反作用力為Rl、R2，設因連桿尺寸差而傾 斜之下模具最初接觸模具之點之力為F。設傾斜之下模具之 傾斜尺寸為ΔΚ。首先在下模具全面接觸模具時，有如下之關係。 (R1 · D-R2 · D) /W=AK/2C ……① D=L/ ( A · E) L :繫桿長度 A:繫桿截面積 E:縱彈性模數 求最初接觸模具之點之力F因W尺寸而變化之量。 由 Rl*W=(W/2+C>F 得到 R1=((W+2C)/2W)*F …… ② 由 R2 · W= ( W/2 —C) · F 得到 R2= (( W—2C) /2W) · F……③ 將式①、②代入③式，整理後得到下式。 ， (2C/W2) · F · D=AK/2C F=AK/ (4C2 · D) · W2 ……④ 由④式可推測如下二點。 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X29?公f ) (請先閱讀背面-¾注意事.增再 •裝·

、1T 線 3 7 5 Λ7 Η1 五、發明説明（8 ) •若W尺寸變小，可使F變小。 •若D變大，可使F變小。（繫桿徑變細時D變大） -----------裝 — (請先閱讀背面之注意事項再 又，藉著將繫桿形狀設為直的而且使繫桿徑變細，更不 易出現該由肘節連桿差所引起之鎖模力不平衡，而且因繫桿 之伸長量也增加，鎖模力設定之解析度提高，可進行精密之 鎖模力控制。藉此，可抑制成形時發生毛邊。 此外，藉著該肘節連桿之轉動方向和繫桿之配設位置以 及繫桿徑，可使裝置寬度變小，若並列配置多台裝置，不必 確保很多設置空間就可令生產力提高。 藉著在肘節連桿之支點，令在轉移單元和下部台板以及 十字接頭等難分解之零件側進行支點銷之固定支撐，在連桿 零件側配設轉動支撐軸承，可容易地進行軸承磨耗等所引起 之檢修時之分解、更換。 線 藉著在上部台板和移動用台板之間及移動用台板和下部 台板之間，連結以窄間距配設之繫桿之間，及/或將上部台 板和其他周邊裝置或者並列設置裝置之該上部台板之間或下 部台板之間連結成在連結方向及/或上下方向自由，可防止 因窄間距和細徑而發生之向肘節連桿之轉動方向之搖擺。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 發明之實施例 以下參照圖1至圖3說明本發明之實施例。此外，圖1 係並列配置了 2台本發明之樹脂封裝裝置之整體疋視圖，左 側係開模之狀態圖，右側係鎖模之狀態圖。圖2係本發明之 實施例之鎖模狀態之右側視圖，圖3係開模狀態之左側視 圖，圖4係連結具之實施形態之正視圖。此外，對實質上和 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X29?公漦） 3 3 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 Η-7 五、發明説明（9 ) 圖5相同之零件因和前面在圖1所說明之過濾器1之構造一 樣，藉著對於相同之構成要素賦與同一符號。又，圖7係在 圖1之A-A剖面圖。 首先，在圖1，尺寸P係本裝置之設置間隔，裝置橫寬 尺寸因以所要間隙（5mm〜10mm )並列而比尺寸P小了該 間隙量。 上下一對之上模具1及下模具2各自在上部熱盤3及下 部熱盤4嵌裝成自由拆裝。在下模具2内配設對應個數之用 以裝填所要個數之樹脂之鍋5及用以熔融注入所裝填之樹脂 之柱塞6，柱塞6與在下模具2下部和模具一樣嵌裝成自由 拆裝之柱塞盒7連結。因而，下部熱盤4下部之支撐塊30 分割設置成拆裝柱塞盒7時所需之高度而且和柱塞盒7不會 干涉。 保持上部熱盤3之上部台板31利用自下部台板32立設 之繫桿33及固定螺帽34固定保持。繫桿33在下部台板32 也和上述一樣自上下面用固定螺帽35 (圖2)固定。繫桿徑 設為以使用零件之重複拉伸疲勞極限值為基準取安全係數 2〜3之尺寸，在本實施例之情況，在繫桿材質為S45C (疲 勞極限應力為220N/mm2)、鎖模力為600Kn時，簡單計算 結果為直徑41.7mm (安全係數2)〜51.0mm (安全係數3)， 將繫桿徑設為45mm。若係習知例之台階形狀，需要考慮台 階部之應力集中係數約2倍，繫桿徑需要58.9mm〜72.2mm。 上部台板31利用連結具100對相鄰之該裝置或周邊裝 置連結成在連結方向或上下方向或其中一個方向都可微動。 12 (請先閱讀背面之注意事*項再· 裝|

、1T 線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X29?公錢） 五、發明説明（10) 〜 明。繫桿33之配設位置將在說明本實施例之全部構造後說 台板心〜 之中央邛m，者繫桿33上下動。在移動用台板36 心心上下動柱塞盒7在投入及 台板36上才出現柱塞盒7整體m裝柱塞盒7時在移動用 在移動用台板36下面固定轉 、 球螺棹之驅動力變換機構5〇， 〇 ，内藏使用了滚 之滾球螺桿軸上端部 ：驅動力變換機構50 ，引下，在夹持二花鍵…下 =-，在其上*嵌裝柱塞 =達55 (參照圖2)。在驅動力變換^反面側之附減速機之 目利用2對推力轴承和徑向軸$構50’滾球螺桿之螺 桿之螺帽之下端面固定皮帶輪51校成自由轉動，在滾球螺 在轉移單元4〇和下部台板32 亡：動之雙肘節機構60。該雙財曰？置令移動用台板36 、内藏和轉移單元40 -樣之使用6〇 ’在下部台板32 換機構70，構成對於該驅動力變換^衰球螺桿之驅動力變 月曰片排列及可向模具拆裝方向轉動機毒7〇雨後對稱，即樹 上端部之十字接頭61開始，由自固定於滾球螺桿軸之 才干62、一端利用支點銷 I_^13 本紙張尺度賴 5|07334 Λ7 Η"7 五、發明説明（11) 63和下部台板32連結成自由轉動之基連桿64以及利用支 點銷65和轉移單元40下部之前後兩側連結成自由轉動之長 連桿66構成，這些各連桿利用其他之支點銷連結成自由轉 動。在驅動力變換機構70下部固定大皮帶輪71，利用由皮 帶輪72及時規皮帶73構成之皮帶傳動機構74連結設於和 下部台板32之模具拆裝面側反面側之馬達75 (圖2)連結。 在驅動力變換機構70,滚球螺桿之螺帽利用2對推力軸承 和徑向軸承支撐成自由轉動，在滾球螺桿之螺帽之下端面固 定該大皮帶輪71。 在係向下模具傳達鎖模力之長連桿66之力點之支點銷 65之間距尺寸以比下模具前後尺寸小之尺寸設置’和該基 連桿64之最終到達位置關係如力向量朝向模具中央般令在 前後都具有自鉛垂開始12度之角度。藉此，因自鎖模動作 起始階段開始力向量朝向模具中央，連結前後之支點銷65 之轉移單元40之内壓上升，令剛性提高。該十字接頭61之 移動由2個球花鍵68導引。球花鍵68在裝置左右之繫桿之 間，將下端嵌入下部台板32，將上端固定於在該繫桿間相 互連結之連結塊67，十字接頭61利用該2個球花鍵68可 無轉動及傾斜般上下動。又，在十字接頭61之下面黏貼聚 氨酯橡膠擋塊69，當十字接頭61超過規定位置地接近滾球 螺桿之螺帽時，聚氨酯橡膠擋塊69就碰觸滾球螺桿之螺帽 上面。各連桿之支點由支點銷及固定支撐側和轉動支樓軸承 側構成，轉移單元40及下部台板32、十字接頭61之支點 部全部為固定支撐側，長連桿66及和基連桿64、短連桿62 14 本紙張尺度適用中國國家標準·（ CNS ) Λ4規格（210X297公羧） (請先閱讀背面之注意事•項再 -裝· 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 I五 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ---—__— 扪 發明説明（12) . — ^〜 之固定支撐側之連結部為轉動支撐軸承。這是依據支點銷或 轉動支撐軸承之磨耗等考慮裝置之檢修後，若只分解、更換 比車父輕之連桿零件即，就不必將裝置整體搬到修理工廠等， 合乎經濟。 轉移單元40之皮帶傳動機構54之時規皮帶53如圍住 長連桿66之一方般設置，更換皮帶時自皮帶輪51、52先拆 下時規皮帶53後，將長連桿連結成自由轉動之支點銷之某 一支拔掉即可。當然，拔掉支點銷時需要預先在上部台板31 用柱螺拴等將移動用台板36吊上，或者預先在下部台板U 和移動用台板36之間插入緊嵌物。 繫桿33之模具寬度方向間距f配設於在移動用台板％ 上下動時附帶於繫桿33之零件不干涉之位置。繫桿Μ之模 具前後方向即深度間距為比對象導線架長度短之尺寸，而2 在比鎖模力之力點間距窄之位置，自裝置侧面即肘節支點軸 線側看以拆下支點銷65時繫桿外徑和支點銷65外徑不干涉 之尺寸關係構成。在繫附帶品上，係圖中以8〇所示之導= 或固定上部台板31之固定螺帽34。導軌8〇之功用為導引 自裝置後面側在模具内進退之供料機90、卸料機91、模具 清潔器（圖上未示）等之行走，在本實施例，令以和上部台 板之固定螺帽34之厚度相同之尺寸在繫桿内面構成導執 在繫桿33之固定方法為以各自夾緊固定於各繫桿，33之夾緊 件81支撐固定。不直接用導軌夾緊係為了防止用螺栓鎖緊 夾緊部時導軌被拉向螺栓鎖緊方向而翹曲。 其次說明作用效果。 15 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) 規格（210X297公货） 507334 A? 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（13) 先* 5 圖 1、2、7 r~» 置之前後方白i 將雙肘節機構⑼配置成向和裝 右之繫桿33之模具前後方向之方向轉動’及模具左 Λα 0 * ^ , ° P深度間距e為比對象導線 二而且在比鎖模力之力點間距 自裝:側：即肘郎支點轴線側看以 徑和支點銷65外徑不千夺♦ σ 1 月Μ時繫才干外 *受鎮模力之反作用力之二寸關係6:成’可和鎮模時和 =:厂藉_桿定 移動用台板36、下部台板32 1 口販31 61及短連桿62之支點雜， 又文、在此，十字接頭 小，銷長度可短，即使藏在曰作用力比上述支點銷63、65 弓。關於基連桿也拆卸等 之本實施例之裝置之該零件間或其他 鄰 保拆卸空間即可，設圖中基連桿之支點銷確 =ΠΓ^Ρ〜Τ之條件即可。二知 、相比，在寬度方向很小之空間可設置多台。因而 確保大的設置空間就可令生產力提高。 不必 將雙肘節機構60配置成在前後迴轉 難之轉移單元40及下部台板32、十 猎者，斥卸困 部設為固定支撐側，將長連桿6 6及和基連桿6 4之短:全 之固定支撐側之連結部設為轉動支撐軸承，檢修裝置之厂2 磨耗等時，只分解、更換比較輕之連桿零件即可，不，由承 置整體搬到修理工廠等，合乎經濟。 Ζ、將敦 褒置開始運轉時，馬達75開始轉動，經由皮帶傳動機 16 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規袼（2】0X29?公势~7 ----------^! (請先閱讀背面、4注意事嚷再：^|^4頁，> 、可 .I---I I—-- I---1 I.....- · 3 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 73ο …… …！. ：. 5 Λ7 ΗΊ 五、發明説明（14) 構74向驅動力變換機構70傳達轉動及轉動力。滾球螺桿之 螺帽轉動時，和其螺合之滾球螺桿軸，即十字接頭61上升， 照這樣將上述馬達75之轉動力變換為推力，該推力經由雙 肘節機構60及轉移單元40傳給移動用台板36。 在此，更詳細地說明雙肘節機構60之動作。此外，因 該雙肘節機構60如上述所示為前後對稱，只說明圖3之右 側，即裝置前面側部分。如上述所示，由於滾球螺桿之螺帽 轉動，十字接頭61上升，隨著也在短連桿62上升下，以支 點61A為中心向順時針方向轉動，同時，基連桿64以支點 銷63為中心向順時針方向轉動，藉此，在長連桿66以支點 銷65為中心向反時針方向轉動下以高速將轉移單元40及移 動用台板36向上推。十字接頭61位於下降底部附近時，移 動用台板36之移動量比十字接頭61之移動量大，馬達之轉 動力即推力也需要變大。而，十字接頭61位於上升極限正 前時，發生和上述相反之作用。因長連桿66和基連桿64即 將變成幾乎一直線，在對於移動用台板36之上升推力上可 俊產生很大之力。自模具接觸正前降低馬達之轉速，而且令 馬達之輸出對於上升轉向降低，對於下降轉向解除輸出限 制。藉此，以錯誤值上升定位而碰撞模具也而可防止模具損 傷。上部台板31在繫桿33之固定位置為預先自相對於雙肘 節機構60之上死點位置之移動用台板36之上死點位置向下 修正了鎖模之裕度（以移動用台板移動量換算約 0.3mm〜0.5mm)和肘節連桿部分在轉動滑動之摩耗量（以 移動用台板移動量換算約〇.3mm〜0.5mm)以及裝置整體在 17 (請先閱讀背面之注意事賓再 裝| 、1Τ 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公漦） ^07334 Λ7 ___ m ~—____ _ 五、發明説明（15) 〜~ 一^ 鎖模時之變形量（以移動用台板移動量換算約 〇.7麵〜L〇mm)之總、尺寸之位置。因而，在鎖模完了時實 際上柱塞6及基連桿64也不會變成一直線上。 鎖模力由十予接頭61之上升定位位置控制，預先自動 _模具接觸尺寸，自輸人了肘節連桿之各連桿尺寸及裝置 之變形係數之計算式_自其位置令移㈣台板％上升多 ; 彡才好後，向大概產生指定之鎖模力之位置上升定位。 此時利用裝於繫桿33之下部台板32附近之應變規（圖 上未不）偵測繫桿33之變形量，檢查是否發生了指定之鎖 板力。在每次賴動作進行檢查，在職力低於或鎖模力超 過規定量以上之情況令下次之成形停止。對於規定量以内之 變動每次修正定位位置，令產生穩定之鎖模力。 丨 在本貝知例，因藉著將繫桿33細徑化在鎖模時之變形 篁可取大，鎖模力設定之解析度提高，可進行精密之鎖模力 控制。 又’因肘節連桿之轉動方向側之繫桿33之配置比肘節 連才干之力點間距更窄間距化，例如在前後之肘節連桿尺寸有 差異之情況，和繫桿徑是習知徑、繫桿間距也是習知間距相 比，前後鎖模力之不平衡度大幅度減輕。因肘節連桿之轉動 方向側之繫桿間距係窄間距及繫桿徑細徑化而以為轉動方向 側之剛性變弱，但是在上部台板31和移動用台板，36之間及 移動用台板36和下部台板32之間，因設置連結彼此之繫桿 之零件，在移動用台板36之上下動可抑制裝置在前後方向 之搖擺。在進一步進行繫桿之細徑化及窄間距化之情況，籍 18 本紙張尺度適用中國國家標準（CNs ) Λ4規格（210X297公漦） 〜〜〜 (諸先閱讀背面之注意事*項再· -裝- 頁)

，1T 經濟部中央標準局員工消f合作社印製 ·ϋιιϋ «mull ——————— 507334Λ H? 五 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 發明説明（16) _…------------— =^部台板31和其他之周料置錢列設置 ，之間或下部台板之間連結成在連結方 = 由，可抑制裝置之搖擺。 卜万向自 在考慮仙力之傳纽構鱗件之職 =置如和支撐塊8及熱盤之分割線正交般施加鎖模 而在本貝施例向支舰3G及熱盤3、4以及模 :剛性最強之方向’即構成零件通過之方向施加力矩、。即，2 j排列方向平行地g&設支撐塊表補方向之彎曲剛性比 正交方向之彎曲剛性強（在正交方向側因支樓塊分割ς 塊無法成為彎曲剛性材料）。又，因要在導線架之寬度方^ 尺寸（比長度方向尺寸短）確保剛性即可，和習知裝置相比: 移動用口板36和支撐塊3〇以及轉移單元4〇可輕量化。 即，確保一樣之縱向剛性時，寬度窄、厚度尺寸厚 較輕。用於樹脂封裝裝置之模具因要避免撓曲量，縱向尺^ (厚度）之作用為寬度尺寸之立方，可圖謀輕量化。、 0照這樣做，可和輕量化程度成比例高速動作，令生產力 提高，因構成零件之剛性有效地傳給模具，可抑制毛邊發生。 關於後續之作用，隨著開始鎖模，驅動轉移單元4〇之 附減速機之馬達55開始轉動，依照和上述十字接頭上升動 作-樣之原理，經由皮帶傳動機構54利用驅動力變換機構 5〇驅動滾球螺桿軸即夹持器41上升，負荷變換器43和桎 塞盒夾持器44、柱塞盒7以及柱塞6就上升，將投入下模 具内之樹脂熔融注入在上下模具内形成之空洞。在熔融注入 動作，到樹脂幾乎完全填滿空洞為止，利帛馬達之指定速度 19 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（21〇>< 297^^ {請先閱讀背面、ν注意事"項再本頁} .裴- -訂 線 5,07334 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ·

IV 五、發明説明（17) 之速度控制令上升，在該期間負荷變換器43之輸出信號用 於檢查是否發生異常之注入力，柱塞6上升到幾乎完全填滿 之位置時，將負荷變換器43之輸出信號回授，以指定速度 為上限進行正反轉之速度控制，如所要之固化力變成定值般 控制。此時，因到樹脂注入壓力上升為止需要鎖模完了，馬 達75和附減速機之馬達55彼此利用圖上未示之控制裝置連 動。經過固化時間後，首先轉移之馬達向和上述之反向轉動， 令柱塞6下降。 然後，鎖模完了，移動用台板36下降。到上下模具完 全分離為止，將移動用台板速度設為10mm/sec以下，自完 全分離位置開始到成形品射出位置正前為止以高速下降。在 成形品射出位置，令射出速度和轉移裝置之柱塞上升速度同 步，同時頂起位於鍋5部之不要樹脂部和空洞部之產品，令 自下模具2射出。藉著令馬達同步，可防止樹脂裂縫、注入 口殘留等問題發生。 在移動用台板高速下降中控制裝置（圖上未示）發生某 種異常，無法在下降極限定位停止而一直下降之情況，設於 比下降極限稍下之方向之過行程偵測感測器（圖上未示）動 作，令附屬於馬達75之制動器產生制動，而且切斷馬達電 源。可是，如上述所示，由於高速轉動中之驅動力變換機構 70和肘節機構特有之在連桿折疊時之加速，為了月馬達75 之制動器令完全停止，需要確保足夠之過行程區域。因此， 藉著黏在上述之十字接頭61下面之聚氨酯橡膠擋塊69碰觸 轉動中之滾球螺桿之螺帽上面，對轉動部施加制動，令急速 20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X29?公f ) (請先閱讀背面、v注意裏項再本頁) 裝· 線 507334 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ7 ΙΠ 五、發明説明（18) 消耗轉動能量，可令以短的區域完全停止。藉此，不會發生 剛體間之碰撞，可防止裝置之異外破損，而且在半導體工廠 可解決地板之耐負荷問題。 其他，在本發明之其他實施例上，上述實施例之上部台 板、下部台板上下相反也可。即，實施例之上部台板固定於 下部底座，鎖模時移動用台板自上方移到下方，本發明之效 果也不變。連結具100只要令連結位於遠離底座固定部之位 置即可。又，在固定實施例之移動用台板而上下台板相對地 上下動之情況，也當將本實施例之移動用台板36固定而將 上部及下部台板設為自由時在作用、效果都和本實施例的一 樣。 此外，在圖4a、b、c、d表示本實施例之連結具100之 其他實施例之形狀，係令在各連結方向及上下方向彈性變形 或令在2個導引機構a、b滑動之方法，可有上述之效果。 發明之效果 若利用本發明之樹脂封裝裝置，因在構造上將雙肘節機 構之肘節連桿之轉動方向設為和樹脂片排列方向即模具及柱 塞盒之拆裝方向相同，可活用支撐塊之剛性，可容易地確保 裝置整體之剛性。藉此，可將移動體輕量化、高速化，可令 生產力提高。又可減輕裝置整體之重量。 又，藉著肘節連桿之最終力點間距尺寸比模具前後尺寸 小，而且模具左右之繫桿深度間距尺寸為裝置之對象導線架 長度尺寸以下之比該力點間距尺寸小之窄間距，雙肘節機構 之肘節連桿尺寸發生差異，也減輕該差異所引起之鎖模力不 21 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X29?公t ) (請先閱讀背面•之注意家項再up本頁) •裝· 訂 線 4 3 3 7 5 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ7 Η1五、發明説明（19) 平衡。又，藉著將繫桿形狀設為直的而且使繫桿徑變細，更 不易出現該不平衡，而且因繫桿之伸長量也增加，鎖模力設 定之解析度提高，可進行精密之鎖模力控制。藉此，可抑制 成形時發生毛邊。 此外，藉著該肘節連桿之轉動方向和繫桿之配設位置以 及繫桿徑，可使裝置寬度變小，若並列配置多台裝置，不必 確保很多設置空間就可令生產力提高。 又，藉著在肘節連桿之支點，令在轉移單元和下部台板 以及十字接頭等難分解之零件側進行支點鎖之固定支撐5在 連桿零件側配設轉動支撐轴承，可容易地進行軸承磨耗等所 引起之檢修時之分解、更換。 又，藉著在上部台板和移動用台板之間及移動用台板和 下部台板之間，連結以窄間距配設之繫桿之間，及/或將上 部台板和其他周邊裝置或者並列設置裝置之該上部台板之間 或下部台板之間連結成在連結方向及/或上下方向自由，可 防止因窄間距和細徑而發生之向肘節連桿之轉動方向之搖 擺。 圖式簡單說明 圖1係並列配置了 2台本發明之樹脂封裝裝置之整體正 視圖，正視圖左側係開模之狀態圖，正視圖右側係鎖模之狀 態圖。 ， 圖2係鎖模狀態之右側視圖，表示連桿完全伸長之上死 點狀態之右側視圖。 圖3係開模狀態之左側視圖。 22 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公f ) (請先閱讀背面之注意寒項再本頁) 裝-

、1T 線_ 5,07334 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ 7 Η ? 五、發明説明（20) 圖4係連結具之實施形態之正視圖。 圖5係習知裝置之正視圖。 圖6係在圖5之A-Α剖面圖。 圖7係在圖1之A-A剖面圖。 圖8係表示本發明和習知例之力之方向和柱塞盒之方向 之關係之比較圖。 圖9係表示在本發明之由連桿尺寸之差引起之繫桿間距 和反作用力之關係之說明圖。 符號說明 1〜上模具；2〜下模具；3〜上部熱盤；4〜下部熱盤；5〜鍋； 6〜柱塞；7〜柱塞盒；8〜支撐塊；9〜上部台板；10〜下部台板； 11〜繫桿；12〜固定螺帽；13〜固定螺帽；14〜移動用台板；15〜 導執；16〜轉移單元；17〜驅動力變換機構；18〜皮帶傳動機 構；19〜雙肘節機構；20〜驅動力變換機構；21〜十字接頭； 22〜短連桿；23〜支點銷；24〜基連桿；25〜支點銷；26〜長連 桿；27〜皮帶傳動機構；30〜支撐塊；31〜上部台板；32〜下 部台板；33〜繫桿；34〜固定螺帽；35〜固定螺帽；36〜移動 用台板；40〜轉移單元；41〜夾持器41 ; 42〜球花鍵；43〜負 荷變換器；44〜柱塞盒夾持器；50〜驅動力變換機構；51〜皮 帶輪；52〜皮帶輪；53〜時規皮帶；54〜皮帶傳動機構；55〜 附減速機之馬達；60〜雙肘節機構；61〜十字接頭62〜短連 桿；63〜支點銷；64〜基連桿；65〜支點銷；66〜長連桿；67〜 連結塊；68〜球花鍵；69〜聚氨酯橡膠擋塊；70〜驅動力變換 機構；71〜大皮帶輪；72〜皮帶輪；73〜時規皮帶；74〜皮帶 讀 先 閱 讀 背 i f 再 裝 頁 訂 線 23 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X29?公楚） 5|07334 I Λ 7 ! R? 五、發明説明（21) ! 傳動機構；75〜馬達；80〜導軌；81〜夾緊件；90〜供料機；91〜 卸料機；100〜連結具。 (請先閱讀背面心注意事*項再^1^4 ν •裝·

、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公f )

Claims (1)

1. 樹，封：裝置’進行半導體裝置之樹脂封裝，該 板’如上下相向般固定於繫桿; 動； 板’在該上部及下部台板之間配設成可上下 板之中之對應側之方固定於上部及下部台 自由拆裝；. 方在該移動用台板固定成 該移端和該移動用台板連結並令固定於 之相二=具或下模具之-方上進行_ 杈塞盒，將對藉著該鎖模而在該上 之=注入溶融樹脂之柱塞排列固定而成；以及、、内形成 J熱機構’將該上模具及下模具加熱； 相、中’該上、下模具之拆裝方向和該柱塞盒之拆袭方 ::目，節機構之財節連桿之轉動方向和柱塞盒；向 錐2.如中請專利範圍第i項之樹脂封裝裝置，其 相向之2支肘節連桿之力點之直線和該柱:： 中訪3·如申請專利範圍第i項或第2項之樹脂封裝裝置，其 4 在模具前後及左右以彼此相距敎之間隔配設二 繁桿構成，連結相向之2支該肘節連桿之最级 點間距尺寸比模具前後尺寸小，而且模具左右之繋桿深度間 25 —__ 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS )以祕（21〇χ297公董） is8 C8 ^-----^ A、申請專利範圍 距尺寸設為裝置之對象導線架長度尺寸以下之比該力點間距 尺寸小之窄間距。 4·如申請專利範圍第1項之樹脂封裝裝置，其中該繫才干 形狀為直的，在最大鎖模時之外徑應力值設為零件之重複 伸疲勞極限之1/2至1/3倍之範圍之外徑尺寸。 5. 如申請專利範圍第1項之樹脂封裝裝置，其中在該射 節連桿之支點只在連桿側配設轉動支撐軸承。 6. 如申請專利範圍第1項之樹脂封裝裝置，其中該加熱 機構由上模具及下模具加熱之上及下熱盤構成，該上熱盤保 持於該上部台板之下面，而且該下熱盤保持於該移動用台板 之上面，該雙肘節機構在構造上令移動用台板在該上部台板 和下部台板之間上下動。 7·如申請專利範圍第1項之樹脂封裝裝置，其中在該上 部台板和移動用台板之間及移動用台板和下部台板之間該繫 桿相連結。 8·如申請專利範圍第1項之樹脂封裝裝置，其中並列配 没多台該樹脂封裝裝置，該上部台板或該下部台板相連結。 9·如申請專利範圍第1項之樹脂封裝裝置，其中上部台 板或下部台板和其他周邊裝置或者並列設置裝置之該上部台 板之間或下部台板之間連結成在連結方向或上下方向自由。 1〇·如申請專利範圍第1項之樹脂封裝裝置，其中該柱塞 盒用下模具下部連結支撐用以向該下模具内注入熔融樹脂之 多個柱塞，在和上、下模具之拆裝方向相同之方向保持成自 由拆震。 ' 26 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4· ( 210X 297公釐) ^ -- (請先閲讀背面之注意事項存 -装. 本' 頁) ,ΐτ· 線 經濟部中央榡隼局員工消費合作社印製 507334 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 11·如申請專利範圍第1項之樹脂封裝裝置，其中該雙肘 節機構具有固定於滾球螺桿軸端之十字接頭並具有令和該滾 球螺桿螺合之滾球螺桿之螺帽轉動之驅動力變換機構而成。 12·如申請專利範圍第11項之樹脂封裝裝置，其中該雙 肘節機構具有在構造上當在該十字接頭和該滾球螺桿之螺帽 之間接近到指定尺寸以下時彼此相接觸之摩擦係數大之撓曲 件0 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 7 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）