KR100506702B1 - Substrate Inspection Apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판이 안착되는 검사 스테이지의 바로 후면에 백라이트유닛을 탈부착시켜 피검사 기판의 전면(全面)에 밝은 광을 조사할 수 있도록 함으로써 매크로 관찰 및 마이크로 관찰시 더욱 정확한 결함 확인이 가능하도록 한 기판 검사장치에 관한 것이다. According to the present invention, by attaching and detaching a backlight unit directly to a back side of an inspection stage on which a substrate is seated, it is possible to irradiate bright light to the entire surface of a substrate to be inspected. It relates to an inspection apparatus.
이를 위해 본 발명은 평판형의 기판의 결함 유무를 검사하는 장치에 있어서, 본체 상부에 설치된 베이스부와; 일단이 상기 베이스부 상부에 회전축을 중심으로 선회 가능하게 설치되고, 피검사 기판이 착탈가능하게 고정되는 검사 스테이지와; 상기 검사 스테이지를 소정 각도로 선회시키기 위한 선회수단과; 상기 검사 스테이지의 배면부에서 검사 스테이지 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 백라이트유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 검사장치를 제공한다.To this end, the present invention is an apparatus for inspecting the presence or absence of a defect of a flat substrate, A base portion provided on the upper body; An inspection stage, one end of which is rotatably installed around the rotation axis, and the substrate to be inspected is detachably fixed; Turning means for turning the inspection stage at a predetermined angle; It provides a substrate inspection apparatus comprising a backlight unit for irradiating light from the back portion of the inspection stage to the inspection target substrate on the inspection stage.
Description
본 발명은 기판을 검사하기 위한 장치에 관한 것으로, 특히 액정표시장치나 플라즈마표시장치 등의 기판의 결함을 육안으로 관찰하여 검사하는 기판 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for inspecting a substrate, and more particularly, to a substrate inspection apparatus for visually observing and inspecting a defect of a substrate such as a liquid crystal display device or a plasma display device.
주지된 바와 같이, 액정표시장치(LCD) 또는 플라즈마표시장치(PDP) 등의 평판형 표시장치의 유리 기판의 결함을 검사하는 장치에는 유리기판 표면에 조명광을 맞추어 그 반사광의 광학적 변화로부터 기판 표면의 흠이나 얼룩 등 결함부분을 관찰하는 매크로(macro)관찰과, 이 매크로 관찰로 검출된 결함 부분을 확대하여 더욱 정밀하게 관찰하는 마이크로(micro)관찰을 전환하여 실시할 수 있도록 한 것이 있다.As is well known, an apparatus for inspecting a defect in a glass substrate of a flat panel display such as a liquid crystal display (LCD) or a plasma display (PDP) includes an illumination light on a surface of a glass substrate, and thus the optical Macro observation for observing defects such as scratches and spots, and micro observation for enlarging the defects detected by the macro observation can be performed by switching.
이러한 종래의 기판 검사장치로는 일본 특개평 5-322783호에 기재된 바와 같이 기판을 X-Y 방향 이동이 가능한 X-Y 스테이지에 재치한 다음 이 X-Y 스테이지를 매크로 관찰 기능을 갖춘 매크로 관찰 시스템 및 마이크로 관찰 기능을 갖춘 마이크로 관찰 시스템 상으로 2차원 이동시켜 결함 검사를 수행하는 장치가 있는데, 이 장치는 최근의 대형화 추세에 있는 평판형 표시장치들의 결함 검사에는 부적합한 문제가 있다.As such a conventional substrate inspection apparatus, as described in Japanese Patent Laid-Open No. 5-322783, the substrate is placed on an XY stage capable of moving in the XY direction, and then the XY stage is equipped with a macro observation system with a macro observation function and a micro observation function. There is an apparatus for performing defect inspection by moving two-dimensionally onto a micro-observation system, which is inadequate for defect inspection of flat panel display devices in recent years.
이와 같은 검사장치의 문제를 해결하기 위한 것으로, 대한민국 등록실용신안공보 20-0238929호(2001년 10월 08일 공고)에 선회가능한 스테이지 상에 기판을 재치한 다음, 매크로 관찰시 스테이지를 선회시켜 경사지게 한 상태에서 장치의 상부에 설치된 광원으로부터 조사되는 조명광을 이용하여 매크로 관찰 검사를 수행하고, 마이크로 관찰시에는 스테이지를 수평하게 한 상태에서 자체 조명이 구비된 마이크로 관찰 시스템을 스테이지 상에서 수평 이동시키며 검사를 수행하는 장치가 개시되어 있다.In order to solve the problem of such an inspection device, the substrate is placed on a pivotable stage in Korean Utility Model Publication No. 20-0238929 (announced on October 08, 2001), and then the stage is tilted by turning the stage during macro observation. In a state, the macro observation inspection is performed by using illumination light emitted from a light source installed at the top of the apparatus.In the case of micro observation, the inspection is performed by horizontally moving the self-illuminated micro observation system on the stage with the stage leveled. An apparatus for performing is disclosed.
그런데, 상기와 같은 종래의 기판 검사장치는 피검사 기판의 상측 또는 하측의 원거리에서 전체 면에 조명광을 조사하여 검사를 행하기 때문에 기판에 제공되는 광량이 충분치 못하여 전반적으로 조명의 밝기가 어두워 결함 유무의 확인이 어려운 문제가 있었다.However, in the conventional substrate inspection apparatus as described above, the inspection is performed by irradiating illumination light on the entire surface at a distance from the upper side or the lower side of the substrate to be inspected, so that the amount of light provided to the substrate is insufficient, so that the overall brightness of the illumination is dark and there is a defect There was a difficult problem.
또한, 종래의 기판 검사장치는 상술한 것과 같이 조명의 밝기가 충분치 못하기 때문에 액정표시장치(LCD) 기판 검사시 기판 내부의 액정 주입 상태는 검사할 수 없으며, 이에 따라 기판 표면의 결함 검사와는 별도로 액정 검사를 수행해야 하므로 검사 시간과 추가 비용이 많이 소요되는 문제도 있다.In addition, in the conventional substrate inspection apparatus, the brightness of the illumination is not sufficient as described above, so the liquid crystal injection state inside the substrate cannot be inspected during the inspection of the liquid crystal display (LCD) substrate. Since the liquid crystal test must be performed separately, there is a problem that the test time and the additional cost are high.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 기판이 안착되는 검사 스테이지의 바로 후면에서 피검사 기판의 전면(全面)에 밝은 광을 조사함으로써 매크로 관찰 및 마이크로 관찰시 더욱 정확한 결함 확인이 가능하도록 한 기판 검사장치를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and more accurate defects when macro observation and micro observation by irradiating bright light to the entire surface of the substrate to be inspected directly from the back of the inspection stage on which the substrate is seated It is an object of the present invention to provide a substrate inspection apparatus that enables this.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 평판형의 기판의 결함 유무를 검사하는 장치에 있어서, 본체 상부에 설치된 베이스부와; 일단이 상기 베이스부 상부에 회전축을 중심으로 선회 가능하게 설치되고, 피검사 기판이 착탈가능하게 고정되는 검사 스테이지와; 상기 검사 스테이지를 소정 각도로 선회시키기 위한 선회수단과; 상기 검사 스테이지의 배면부에서 검사 스테이지 상의 피검사 기판으로 빛을 조사하는 백라이트유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 검사장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting the presence or absence of a defect of a flat substrate, comprising: a base portion provided on an upper portion of a main body; An inspection stage, one end of which is rotatably installed around the rotation axis, and the substrate to be inspected is detachably fixed; Turning means for turning the inspection stage at a predetermined angle; It provides a substrate inspection apparatus comprising a backlight unit for irradiating light from the back portion of the inspection stage to the inspection target substrate on the inspection stage.
이와 같은 본 발명에 따르면, 상기 검사 스테이지의 바로 배면측의 백라이트유닛에서 빛이 조사되므로 기판에 충분한 밝기의 광량이 제공될 수 있고, 따라서 기판의 결함 유무 확인이 더욱 정확하고 신속하게 이루어질 수 있게 된다.According to the present invention, since the light is irradiated from the backlight unit of the immediately rear side of the inspection stage can be provided with a sufficient amount of light on the substrate, it is possible to more accurately and quickly determine whether the substrate defects .
또한, 본 발명의 한 형태에 의하면, 마이크로 관찰을 위하여, 현미경이 포함된 마이크로 관찰유닛이 상기 베이스부 상부를 따라 이동수단에 의해 수평하게 왕복 이동 가능하게 설치되어 이 마이크로 관찰유닛이 수평상태의 검사 스테이지 상의 기판 상부를 따라 이동하면서 마이크로 관찰을 수행할 수 있도록 구성된다. Further, according to one aspect of the present invention, for micro observation, a micro observation unit including a microscope is installed to be able to reciprocate horizontally by a moving means along the upper portion of the base portion, so that the micro observation unit is inspected in a horizontal state. It is configured to perform micro observation while moving along the top of the substrate on the stage.
본 발명의 다른 한 형태에 의하면, 상기 백라이트유닛은 베이스부 상측에서 상하로 이동하며 상기 검사 스테이지의 배면부에 착탈 가능하게 설치되고, 이를 위해 상기 검사 스테이지의 배면부에는 상기 백라이트유닛을 착탈하기 위한 착탈수단이 구비된다. According to another aspect of the invention, the backlight unit is moved up and down on the base portion and is detachably installed on the back of the inspection stage, for this purpose detachable means for attaching and detaching the backlight unit on the back of the inspection stage. Is provided.
이와 같은 본 발명의 실시형태에 따르면, 상기 백라이트유닛을 검사 스테이지에 부착 및 분리시킴으로써 매크로 검사시에는 백라이트유닛을 상기 검사 스테이지에 부착시켜 많은 광량을 확보하여 검사를 수행할 수 있고, 마이크로 검사시에는 검사 스테이지에서 백라이트유닛을 분리시켜 검사 스테이지와 백라이트유닛 사이에 투과조명광원의 이동 공간을 확보할 수 있게 된다. According to the embodiment of the present invention, by attaching and detaching the backlight unit to the inspection stage, in the macro inspection, the backlight unit can be attached to the inspection stage to secure a large amount of light, and the inspection can be performed at the time of micro inspection. By separating the backlight unit from the inspection stage it is possible to secure a moving space of the transmission illumination light source between the inspection stage and the backlight unit.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판 검사장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the substrate inspection apparatus according to the present invention.
도 1은 본 발명에 따른 기판 검사장치의 일 실시예의 구조를 나타낸 것으로, 기판 검사장치의 본체(1) 상측에 외부로부터 전달되는 진동을 흡수하기 위하여 유연한 프레임 내에 공기가 충전된 에어서스팬션 프레임(3)이 설치되고, 이 에어서스팬션 프레임(3)의 상부에 베이스부(2)가 설치되며, 상기 베이스부(2)의 상부에 피검사 기판이 착탈가능하게 장착되는 검사 스테이지(4)가 회전축(41)을 중심으로 선회 가능하게 설치된다.Figure 1 shows the structure of an embodiment of a substrate inspection apparatus according to the present invention, the air suspension frame (3) filled with air in a flexible frame to absorb the vibration transmitted from the outside on the main body 1 of the substrate inspection apparatus (3) Is installed, the base part 2 is installed on the upper part of the air suspension frame 3, and the inspection stage 4 on which the inspection target board is detachably mounted on the upper part of the base part 2 includes a rotating shaft ( 41) is pivotally installed.
그리고, 상기 검사 스테이지(4)와 베이스부(2) 상부면 사이에는 검사 스테이지(4)의 배면측에서 검사 스테이지(4)로 빛을 조사하는 백라이트유닛(5)이 상하로 이동가능하게 설치되어 있는데, 이러한 백라이트유닛(5)의 상하 이동을 위하여 베이스부(2) 상부에 백라이트유닛(5)이 안착되는 안착부재(6)와, 상기 베이스부(2)를 관통하여 그 상단부가 상기 안착부재(6)와 결합된 복수개의 연결로드(7)와, 상기 베이스부(2)의 하부에서 상기 각 연결로드(7)의 하단부와 결합된 작동플레이트(8)와, 상기 베이스부(2)의 하부에 설치되어 상기 작동플레이트(8)를 상하로 승강시키는 승강용 공압실린더(9)로 이루어진 승강수단이 구성된다.In addition, between the inspection stage 4 and the upper surface of the base unit 2, a backlight unit 5 for irradiating light to the inspection stage 4 from the rear side of the inspection stage 4 is installed to be movable up and down. There is a seating member 6 on which the backlight unit 5 is seated on the base 2, and an upper end thereof penetrates the base 2 for the vertical movement of the backlight unit 5. (6) a plurality of connecting rods (7) coupled to the lower portion of the base portion (2) operating plate (8) coupled to the lower end of each of the connecting rods (7), and of the base portion (2) There is provided a lifting means composed of a lifting pneumatic cylinder (9) for lifting up and down the operating plate (8) is installed in the lower portion.
여기서, 상기 백라이트유닛(5)은 중앙에 개방부가 형성된 사각틀 형태의 프레임(51)에 빛을 방사하는 복수개의 조명등(미도시)이 일정 간격으로 조밀하게 배열되어 구성된다.Here, the backlight unit 5 is composed of a plurality of lamps (not shown) for emitting light to the frame 51 of the rectangular frame form having an opening in the center is densely arranged at regular intervals.
또한, 상기 베이스부(2)의 상부면에는 한 쌍의 엘엠가이드(15)(LM Guide)가 나란하게 설치되고, 이들 각 엘엠가이드(15)에는 마이크로 관찰을 수행하기 위한 마이크로 관찰유닛(10)이 설치된 이동블럭(14)의 양단이 결합되어 상기 엘엠가이드(15)를 따라 수평하게 왕복 이동하도록 되어 있다. In addition, a pair of LM Guide 15 (LM Guide) is installed side by side on the upper surface of the base portion 2, each of the LM guide 15 micro observation unit 10 for performing micro observation Both ends of the installed moving block 14 are coupled to reciprocate horizontally along the LM guide 15.
여기서, 상기 마이크로 관찰유닛(10)은 상기 이동블럭(14)의 상부에 이동블럭(14)을 따라 좌우로 수평하게 이동 가능하도록 설치되는 현미경(11)과, 상기 이동블럭(14)의 하부에 설치되어 이동블럭(14)이 엘엠가이드(15)을 따라 이동할 때 검사 스테이지(4)와 백라이트유닛(5) 사이의 공간으로 이동하면서 상측의 검사 스테이지(4) 상의 기판(G)에 투과조명을 조사하는 기다란 바아형태의 투과조명광원(12)으로 구성된다.Here, the micro observation unit 10 is installed under the microscope 11 and the lower portion of the movable block 14 installed on the movable block 14 so as to move horizontally horizontally along the movable block 14. When the moving block 14 moves along the LM guide 15, the transmission block moves to the space between the inspection stage 4 and the backlight unit 5 and transmits the transmitted light to the substrate G on the upper inspection stage 4. It consists of a transmissive illuminated light source 12 in the form of an elongated bar.
한편, 도면에 나타내지는 않았으나, 상기 이동블럭(14)을 엘엠가이드(15)을 따라 이동시키기 위한 수단으로서 볼스크류 및 서보모터를 이용하거나 리니어모터 등의 공지된 구동메커니즘을 적절히 이용할 수 있는데, 볼스크류 및 서보모터를 이용하는 경우에는 볼스크류를 엘엠가이드(15)와 나란하게 설치하고, 볼스크류의 회전에 의해 볼스크류를 따라 이동하는 너트부를 이동블럭(14)에 결합시켜 구성할 수 있고, 리니어모터를 이용하는 경우에는 리니어모터의 고정자를 엘엠가이드(15)와 나란하게 설치하고 리니어모터의 이동자를 이동블럭(14)에 고정시켜 고정자를 따라 이동하도록 구성하면 된다. 이외에도 스프로켓(sprocket) 또는 풀리와 벨트를 이용한 구동메커니즘 등을 이용할 수도 있을 것이다.On the other hand, although not shown in the figure, as a means for moving the moving block 14 along the LM guide 15, it is possible to use a ball screw and a servo motor or a known driving mechanism such as a linear motor as appropriate. In the case of using a screw and a servomotor, the ball screw may be installed in parallel with the LM guide 15, and the nut portion moving along the ball screw by the rotation of the ball screw may be coupled to the moving block 14, and may be configured to be linear. In the case of using a motor, the stator of the linear motor may be installed in parallel with the LM guide 15, and the mover of the linear motor may be fixed to the moving block 14 to move along the stator. In addition, a sprocket or a driving mechanism using a pulley and a belt may be used.
그리고, 상기 검사 스테이지(4)를 원하는 각도로 선회시키기 위한 수단을 구성하기 위하여, 검사 스테이지(4)의 양측부에 링크바아(16)가 자유롭게 회전가능하도록 힌지 결합되고, 상기 링크바아(16)의 하단부에 상기 베이스부(2)의 하부에 설치되는 모터(18)에 의해 회전하도록 된 작동바아(17)의 일단이 힌지 결합되는 바, 상기 모터(18)의 작동에 의해 작동바아(17)가 회전하면 이 작동바아(17)의 끝단에 결합된 링크바아(16)가 펴지거나 오므려지면서 검사 스테이지(4)가 선회하게 된다.Then, in order to configure the means for turning the inspection stage 4 at a desired angle, the link bars 16 are hinged to both sides of the inspection stage 4 so as to be freely rotatable, and the link bar 16 One end of the operating bar 17, which is rotated by the motor 18 installed at the lower portion of the base portion 2 at the lower end of the hinge bar, is operated by the operation of the motor 18. Rotation causes the inspection stage 4 to pivot while the link bar 16 coupled to the end of the actuation bar 17 is extended or retracted.
한편, 도 2 내지 도 7은 검사 스테이지(4)의 구조를 나타낸 것으로, 중앙에 개방부가 형성된 사각틀 형태의 스테이지본체(42)의 전면(前面)부에 개방부의 외측부를 따라 기판(G)을 진공 흡착하여 고정하는 복수개의 기판 흡착패드(43)가 일정 간격으로 배치되며, 상기 개방부에는 개방부 상에 놓여지는 기판(G)을 지지하기 위한 투명한 지지로드(48)가 일정간격으로 배열되고, 상기 각 지지로드(48)에는 기판(G)이 놓여지는 세라믹 지지핀(481)이 일정 간격으로 수직하게 설치되어, 검사 스테이지(4)에 안착된 기판(G)의 처짐을 방지하여 평탄도를 일정 수준으로 유지할 수 있도록 되어 있다.On the other hand, Figures 2 to 7 show the structure of the inspection stage (4), vacuum the substrate (G) along the outer portion of the opening portion in the front portion of the stage body 42 of the rectangular frame shape having an opening portion in the center A plurality of substrate adsorption pads 43 for adsorption and fixing are arranged at regular intervals, and transparent support rods 48 for supporting the substrate G placed on the openings are arranged at regular intervals in the openings. The ceramic support pins 481 on which the substrates G are placed are vertically installed on the support rods 48 at regular intervals to prevent sagging of the substrates G seated on the inspection stage 4. It can be maintained at a certain level.
또한, 상기 스테이지본체(42)의 전면부의 양쪽 모서리부분에는 기판(G)을 스테이지본체(42) 상의 정확한 위치에 정렬시키는 복수개의 정렬유닛(44)이 설치되는 바, 이 정렬유닛(44)은 실린더(441)와 상기 실린더(441)에 의해 측방으로 이동하는 기다란 바아형태의 로드(442)와, 중심부가 스테이지본체(42)에 회전가능하게 결합되고 일편이 상기 로드(442)에 동시에 결합되어 기판(G)의 외측 모서리를 지지하도록 된 대략 'L'자형 및 'I'자형의 복수개의 정렬편(443)으로 이루어진다. In addition, a plurality of alignment units 44 for aligning the substrate G at the correct position on the stage body 42 are installed at both corners of the front surface of the stage body 42. A cylinder 441 and an elongated bar-shaped rod 442 moving laterally by the cylinder 441 and a central portion are rotatably coupled to the stage body 42, and one piece is simultaneously coupled to the rod 442. It consists of a plurality of alignment pieces 443 having an approximately 'L' shape and an 'I' shape adapted to support the outer edge of the substrate G.
여기서, 상기 정렬편(443)들중 'L'자형 정렬편들은 기판(G)의 상,하측 모서리 부분을 지지하며, 끝단에 위치한 'I'자형 정렬편은 기판(G)의 양 측면 모서리 부분을 지지하게 된다.Here, the 'L' shaped alignment pieces of the alignment pieces 443 support the upper and lower edge portions of the substrate G, and the 'I' shaped alignment pieces positioned at the ends are both side edge portions of the substrate G. Will be supported.
그리고, 상기 스테이지본체(42)의 배면부에는 백라이트유닛(5)을 진공 흡착방식으로 고정하는 복수개의 백라이트유닛 흡착패드(47)가 일정 간격으로 배치된다.In addition, a plurality of backlight unit adsorption pads 47 for fixing the backlight unit 5 by a vacuum adsorption method are disposed at a rear surface of the stage body 42 at a predetermined interval.
또한, 상기 검사 스테이지(4)에는 상기 백라이트유닛 흡착패드(47)에 의해 백라이트유닛(5)이 고정된 상태에서 상기 백라이트유닛(5)을 기계적으로 재차 고정시킴으로써 흡착패드(47)를 통한 진공압의 이상 해제시 백라이트유닛(5)이 검사 스테이지(4)로부터 떨어져 파손되는 것을 방지하기 위한 보조 착탈수단이 구성되어 있는 바, 이 보조 착탈수단은 스테이지본체(42)의 각 모서리부분 코너부에 형성되는 관통공(45)과, 상기 관통공(45)을 통해 스테이지본체(42)의 전방으로 돌출되도록 백라이트유닛(5)의 각 모서리부분에 돌출 형성된 대략 'T'자형의 결합부(52)와, 상기 스테이지본체(42)의 전방에 엘엠가이드(463)를 매개로 결합되어 실린더(462)에 의해 전후진하면서 상기 결합부(52)와 결합하는 대략 'U'자형의 결합편(461)으로 이루어져, 상기 'U'자형 결합편(461)이 결합부(52)의 수직한 부분에 삽입되면서 결합부(52)의 수평한 부분이 결합편(461)에 의해 걸려서 고정된다.In addition, in the inspection stage 4, the backlight unit 5 is mechanically fixed in the state where the backlight unit 5 is fixed by the backlight unit adsorption pad 47, thereby vacuum pressure through the adsorption pad 47. The auxiliary detachable means is configured to prevent the backlight unit 5 from falling apart from the inspection stage 4 when the abnormality is released. The auxiliary detachable means is formed at the corners of each corner of the stage body 42. A through hole 45 and a coupling portion 52 having a substantially 'T' shape protruding from each corner portion of the backlight unit 5 so as to protrude forward of the stage body 42 through the through hole 45. In addition, the front of the stage body 42 is coupled to the medium through the LM guide 463 by the cylinder 462 back and forth with the coupling portion 461 of the approximately 'U' shaped to engage with the coupling portion 52 Made, the 'U' shaped coupling piece 461 is The horizontal portion of the coupling portion 52 is caught and fixed by the coupling piece 461 while being inserted into the vertical portion of the coupling portion 52.
상기와 같이 구성된 기판 검사장치는 다음과 같이 작동한다.The substrate inspection apparatus configured as described above operates as follows.
먼저, 검사 초기에 검사 스테이지(4)는 수평한 상태로 놓여져 있는데, 매크로 관찰을 수행하고자 할 경우, 기판을 반송하는 로봇(미도시)이 수평 상태의 검사 스테이지(4)의 전면부에 기판(G)을 올려놓으면, 정렬유닛(44)의 실린더(441)의 작동에 의해 정렬편(443)들이 동시에 회전하면서 각 정렬편(443)이 기판(G)의 외측 모서리부분에 접하며 기판(G)의 위치를 정렬하고, 이어서 기판 흡착패드(43)에 의해 기판(G)이 검사 스테이지(4)에 고정된다.First, in the initial stage of inspection, the inspection stage 4 is placed in a horizontal state. When a macro observation is to be performed, a robot (not shown) that transports the substrate is placed on a front surface of the inspection stage 4 in a horizontal state. When G) is placed, the alignment pieces 443 rotate at the same time by the operation of the cylinder 441 of the alignment unit 44, and each of the alignment pieces 443 is in contact with the outer edge of the substrate G, and the substrate G is The substrate G is fixed to the inspection stage 4 by aligning the positions of the substrates and then by the substrate adsorption pad 43.
그리고, 베이스부(2) 하부의 승강용 공압실린더(9)의 작동에 의해 작동플레이트(8)가 상승하면서 이에 결합된 연결로드(7) 및 안착부재(6)가 상승하게 되고, 이에 따라 백라이트유닛(5)이 상승하여 검사 스테이지(4)의 배면부에 밀착된다. 이 때, 상기 백라이트유닛(5)의 결합부(52)는 검사 스테이지(4)의 관통공(45)을 통해 검사 스테이지(4) 전면부로 돌출된다.In addition, as the operation plate 8 is raised by the operation of the lifting pneumatic cylinder 9 below the base 2, the connecting rod 7 and the mounting member 6 coupled thereto are raised, and thus the backlight is raised. The unit 5 rises and comes in close contact with the back portion of the inspection stage 4. At this time, the coupling part 52 of the backlight unit 5 protrudes to the front part of the inspection stage 4 through the through hole 45 of the inspection stage 4.
이어서, 백라이트유닛 흡착패드(47)에 의해 백라이트유닛(5)이 검사 스테이지(4) 배면부에 고정됨과 동시에, 실린더(462)의 작동에 의해 결합편(461)이 상기 결합부(52)의 수직한 부분에 삽입되어 결합되면서 백라이트유닛(5)의 이탈이 방지되는 상태로 된다.Subsequently, the backlight unit 5 is fixed to the rear surface of the inspection stage 4 by the backlight unit suction pad 47, and the coupling piece 461 is perpendicular to the coupling part 52 by the operation of the cylinder 462. While being inserted into and coupled to one portion, the detachment of the backlight unit 5 is prevented.
그런 다음, 도 8에 도시된 것과 같이, 모터(18)의 작동에 의해 작동바아(17)가 상측으로 회전하면서 링크바아(16)가 검사 스테이지(4)를 회전축(41)을 중심으로 선회시켜 소정 각도로 경사지게 한다. Then, as shown in FIG. 8, the link bar 16 pivots the inspection stage 4 about the rotational axis 41 while the operation bar 17 rotates upward by the operation of the motor 18. Incline to an angle.
이렇게 검사 스테이지(4)가 경사지게 선회되어 고정된 상태에서 작업자는 검사 스테이지(4)의 기판(G)의 결함 유무를 육안으로 검사하게 되는데, 이 때 상기 검사 스테이지(4)의 배면측에서 백라이트유닛(5)에 의해 충분한 광량의 빛이 조사되므로 작업자는 기존에 비하여 용이하게 기판의 결함 검사를 실시할 수 있다.In this state, when the inspection stage 4 is inclined and fixed, the operator visually inspects whether there is a defect in the substrate G of the inspection stage 4, and at this time, the backlight unit on the back side of the inspection stage 4 is exposed. Since light of sufficient light quantity is irradiated by (5), an operator can perform defect inspection of a board | substrate more easily than before.
상술한 것과 같이 매크로 관찰 검사시 결함이 발견되어 마이크로 관찰 검사를 할 필요가 발생하게 되면, 상기 모터(18)가 역으로 작동하면서 작동바아(17)가 하측으로 선회하고, 이에 따라 링크바아(16)의 운동에 의해 검사 스테이지(4)가 회전축(41)을 중심으로 하측으로 선회하여 다시 수평한 상태로 되고, 이어서 백라이트유닛(5)을 고정하고 있던 백라이트유닛 흡착패드(47)에 진공압이 해제됨과 동시에 결합편(461)이 후진하여 결합부(52)로부터 이탈되면서 백라이트유닛(5)이 완전히 분리된 상태로 된다. As described above, when a defect is found during the macro observation test and a necessity for the micro observation test is generated, the operating bar 17 pivots downward while the motor 18 operates in reverse, and thus the link bar 16 The inspection stage 4 pivots downwardly around the rotational axis 41 to move to the horizontal state again. Then, a vacuum pressure is applied to the backlight unit adsorption pad 47 that fixes the backlight unit 5. Simultaneously with the release, the coupling piece 461 is retracted to be separated from the coupling portion 52 and the backlight unit 5 is completely separated.
그 다음, 승강용 공압실린더(9)에 의해 작동플레이트(8)가 하측으로 이동하면서 연결로드(7) 및 안착부재(6)가 하강하여 백라이트유닛(5)이 초기의 베이스부(2) 상면 위치로 하강하게 된다.Then, the connecting rod 7 and the seating member 6 are lowered while the operation plate 8 moves downward by the lifting pneumatic cylinder 9 so that the backlight unit 5 is at the top of the initial base 2. Will be lowered into position.
이어서, 도 9에 도시된 것과 같이 작업자는 이동블럭(14)이 엘엠가이드(15)를 따라서 이동하도록 하여 마이크로 관찰유닛(10)의 현미경(11)이 기판(G)의 결함 위치로 이동하도록 조작한 다음, 현미경(11)을 통해서 결함 부분을 정밀하게 관찰한다. 이 때, 상기 마이크로 관찰유닛(10)의 투과조명광원(12)은 이동블럭(14)의 이동시 검사 스테이지(4)와 백라이트유닛(5) 사이를 이동하여 기판(G)의 결함 부분 하측에서 상측으로 투과조명을 조사하여 준다.Subsequently, as shown in FIG. 9, the operator manipulates the moving block 14 to move along the LM guide 15 so that the microscope 11 of the micro observation unit 10 moves to the defective position of the substrate G. Then, the defect part is closely observed through the microscope 11. At this time, the transmission illumination light source 12 of the micro-observing unit 10 moves between the inspection stage 4 and the backlight unit 5 when the moving block 14 moves so that the upper side is below the defect portion of the substrate G. Irradiate the penetrating light with
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 피검사 기판이 장착되는 검사 스테이지의 배면부에 빛을 조사하는 백라이트유닛이 고정 및 분리될 수 있게 되므로, 검사 스테이지의 배면에 백라이트유닛을 부착한 상태에서 검사 스테이지를 경사지게 하여 매크로 관찰을 수행할 수 있는 바, 검사 스테이지 배면의 백라이트유닛으로부터 충분한 광량의 빛을 제공받을 수 있기 때문에 결함 확인이 매우 용이하게 정확하게 이루어질 수 있는 효과를 얻을 뿐만 아니라 액정 검사까지도 수행할 수 있는 부가적인 효과도 얻을 수 있다.As described above, according to the present invention, the backlight unit for irradiating light to the rear portion of the inspection stage on which the inspection target board is mounted can be fixed and separated, so that the inspection stage is attached to the rear surface of the inspection stage. Since the macro observation can be performed by inclining, sufficient light quantity can be provided from the backlight unit at the back of the inspection stage, so that defect identification can be easily and accurately performed, and liquid crystal inspection can be performed. Additional effects can also be obtained.
도 1은 본 발명에 따른 기판 검사장치의 일 실시예를 나타낸 정면도1 is a front view showing an embodiment of a substrate inspection apparatus according to the present invention
도 2는 도 1의 기판 검사장치의 스테이지의 구조를 나타낸 평면도2 is a plan view showing the structure of a stage of the substrate inspection apparatus of FIG.
도 3은 도 2의 스테이지의 저면도3 is a bottom view of the stage of FIG.
도 4는 도 3의 스테이지의 측면도4 is a side view of the stage of FIG.
도 5는 도 2의 스테이지에서 백라이트유닛을 고정하기 위한 구조를 개략적으로 나타낸 평면도5 is a plan view schematically showing a structure for fixing a backlight unit in the stage of FIG.
도 6은 도 5의 백라이트유닛의 고정을 위한 결합부 형태를 나타낸 단면도6 is a cross-sectional view showing the shape of the coupling portion for fixing the backlight unit of FIG.
도 7은 도 2의 스테이지에서 기판을 정렬하기 위한 정렬유닛의 구조를 나타낸 평면도7 is a plan view showing the structure of an alignment unit for aligning a substrate in the stage of FIG.
도 8은 본 발명의 기판 검사장치의 매크로 관찰시 작동 상태를 나타낸 정면도Figure 8 is a front view showing the operating state when the macro observation of the substrate inspection apparatus of the present invention
도 9는 본 발명의 기판 검사장치의 마이크로 관찰시 작동 상태를 나타낸 정면도9 is a front view showing an operating state of the micro observation of the substrate inspection apparatus of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
2 : 베이스부 3 : 에어서스팬션 프레임2: Base 3: Air Suspension Frame
4 : 검사 스테이지 5 : 백라이트유닛4: inspection stage 5: backlight unit
6 : 안착부재 7 : 연결로드6: seating member 7: connecting rod
8 : 작동플레이트 9 : 승강용 공압실린더8: working plate 9: lifting pneumatic cylinder
10 : 마이크로 관찰유닛 11 : 현미경10: micro observation unit 11: a microscope
12 : 투과조명광원 14 : 이동블럭12: transmission illumination light source 14: moving block
15 : 엘엠가이드 42 : 스테이지 본체15: Lm guide 42: stage body
43 : 기판 흡착패드 44 : 정렬유닛43: substrate adsorption pad 44: alignment unit
47 : 백라이트 흡착패드 48 : 지지로드47: backlight adsorption pad 48: support rod
481 : 지지핀 G : 기판481: support pin G: substrate
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