KR100633975B1

KR100633975B1 - Holder Device

Info

Publication number: KR100633975B1
Application number: KR1020047006328A
Authority: KR
Inventors: 오기와라다까시; 오까히라히로유끼; 후지사끼노부오
Original assignee: 올림푸스 가부시키가이샤
Priority date: 2001-11-05
Filing date: 2002-11-05
Publication date: 2006-10-13
Also published as: CN1582392A; CN100485369C; TW200300210A; KR20040047984A; TWI261112B; WO2003040708A1

Abstract

유리 기판(1)을 재치하는 홀더 본체(4)와 홀더 본체상에 재치된 유리 기판의 하부에 설치되고, 유리 기판을 홀더 본체로부터 들어 올리고, 또한 홀더 본체상에 내리는 승강기구(10)와 승강기구에 의해 유리 기판을 홀더 본체로부터 들어 올린 상태로, 표본을 회전시키는 회전 기구(10)를 구비한다.A lift mechanism 10 and a lifter provided at a holder main body 4 on which the glass substrate 1 is placed and a lower portion of the glass substrate placed on the holder main body to lift the glass substrate from the holder main body and lower it on the holder main body. The rotating mechanism 10 which rotates a sample in the state which lifted the glass substrate from the holder main body by the sphere is provided.

Description

Holder Device {Holder Device}

본 발명은, 예를 들면 액정 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)의 유리 기판 등의 표본을 보호 유지하는 홀더 장치에 관한 것이다.This invention relates to the holder apparatus which protects and maintains specimens, such as glass substrates of flat panel displays (FPD), such as a liquid crystal display, for example.

액정 디스플레이의 유리 기판은 마크로 조명광을 조사하여 마크로 검사된다. 이 마크로 검사는 유리 기판 면상에 관찰용의 마크로 조명광을 조사하고, 유리 기판 면상으로부터의 반사광의 변화를 검출하고, 유리 기판 면상의 흠집, 결여, 오염 먼지의 부착 등의 결함 부분을 목시(目視) 검사한다.The glass substrate of a liquid crystal display is inspected with a mark by irradiating illumination light with a mark. This macro inspection irradiates the macro illumination light for observation on the glass substrate surface, detects the change of the reflected light from the glass substrate surface, and visualizes defect parts such as scratches, lacks, and adhesion of contaminated dust on the glass substrate surface. Check it.

액정 디스플레이의 유리 기판 면상에는 예를 들면 라인 형상이나 직사각형상의 세장(細長) 패턴이 규칙성을 가지고 형성되어 있다. 예를 들면 유리 기판에는 직사각형상의 TFT(Thin Film Trasistor)를 구성하는 패턴으로서 리브가 형성되어 있다.On the glass substrate surface of a liquid crystal display, the elongate pattern of a line shape or a rectangle is formed with regularity, for example. For example, ribs are formed on the glass substrate as a pattern forming a rectangular TFT (Thin Film Trasistor).

본 출원인은 격자 형상으로 규칙적으로 나란한 TFT 패턴이 형성된 유리 기판에 대한 마크로 조명광의 입사각도를 변화시키고, 이 때의 유리 기판상의 결함이 보이는 방법을 관찰하였다.The present applicant changed the incident angle of the macro illumination light with respect to the glass substrate in which the TFT pattern regularly arranged in a grid | lattice form, and observed the method which the defect on a glass substrate at this time is seen.

이 관찰의 결과, 본 출원인은 마크로 조명광의 입사각도를 변화시켰을 때, 결함이 보이는 방법이 변하는 것을 발견하였다. 예를 들면, 마크로 조명광의 입사 방향에 대해서 유리 기판의 배치 방향을 각도 90도로 회전시키면, 유리 기판상의 패턴의 방향이 바뀐다. 이것에 의하여, 유리 기판으로부터의 반사광의 반사 방향이 변화함과 함께, 결함에 입사하는 마크로 조명광의 방향도 변화하므로, 패턴상의 결함으로부터의 반사 조건, 즉 반사 방향이 바뀐다.As a result of this observation, the applicant has found that the method of showing a defect changes when the incident angle of the macro illumination light is changed. For example, when the arrangement direction of the glass substrate is rotated at an angle of 90 degrees with respect to the incident direction of the macro illumination light, the direction of the pattern on the glass substrate is changed. Thereby, while the reflection direction of the reflected light from a glass substrate changes, the direction of the macro illumination light which injects into a defect also changes, and the reflection conditions from a patterned defect, ie, a reflection direction, change.

유리 기판상에는, 예를 들면 종횡비가 다른, 예를 들면 직사각형의 패턴이 형성되어 있다. 따라서, 유리 기판이 회전하여, 마크로 조명광의 조사 방향이 직사각형 패턴의 긴 변 방향에 대해서 수직 방향이 되면, 마크로 조명광은 리브의 긴 변 방향으로 직교하고 또한 짧은 변 방향으로 평행하게 조사된다. 이것에 대해서 마크로 조명광의 조사 방향이 직사각형 패턴의 짧은 변 방향에 대해서 수직 방향이 되면, 마크로 조명광은 리브의 짧은 변 방향으로 직교하고 또한, 긴 변 방향으로 평행하게 조사된다.On the glass substrate, for example, rectangular patterns having different aspect ratios are formed. Therefore, when the glass substrate is rotated so that the irradiation direction of the macro illumination light becomes perpendicular to the long side direction of the rectangular pattern, the macro illumination light is irradiated perpendicularly to the long side direction of the rib and parallel to the short side direction. On the other hand, when the irradiation direction of the macro illumination light becomes perpendicular to the short side direction of the rectangular pattern, the macro illumination light is irradiated perpendicularly to the short side direction of the rib and parallel to the long side direction.

이와 같이 직사각형 패턴에 대한 마크로 조명광의 조사 방향이 90도 변화하면, 마크로 조명광의 반사 조건이 바뀌기 때문에, 유리 기판으로부터의 산란광이나 회절광의 발생 조건이 바뀐다. 이 관찰 결과로부터 본 출원인은 격자 형상 패턴에 대해서 마크로 조명광의 조사 방향을 바꾸면, 보이지 않았던 결함이 보이게 되는 것을 완전하게 증명하였다.In this way, when the irradiation direction of the macro illumination light with respect to the rectangular pattern changes by 90 degrees, the reflection condition of the macro illumination light changes, so that the conditions for generating scattered light or diffracted light from the glass substrate change. From this observation result, the applicant completely demonstrated that the defect which was invisible was seen when the direction of irradiation of the macro illumination light was changed with respect to the lattice pattern.

한편, 마크로 조명 부착 기판 검사 장치는, 유리 기판 면상에 마크로 조명광을 조사하고, 그 반사광의 변화를 검출하여 유리 기판을 검사한다. 그렇지만, 검사 장치 본체내에 있어서 유리 기판을 90도 회전시키는 회전 기구를 넣는 것은 이하의 이유에 의해 실현되고 있지 않다.On the other hand, the board | substrate inspection apparatus with macro illumination irradiates a macro illumination light on the glass substrate surface, detects the change of the reflected light, and inspects a glass substrate. However, the insertion of the rotary mechanism which rotates a glass substrate 90 degrees in the inspection apparatus main body is not implement | achieved for the following reasons.

유리 기판은 홀더상에 재치(載置)되어 고정된다. 홀더상에 유리 기판을 고정한 상태에서 홀더를 회전하려면, 유리 기판의 사이즈보다 더욱이 큰 사이즈의 홀더와, 홀더상에 유리 기판을 고정하는 고정부를 일체로 회전시킬 필요가 있다.The glass substrate is placed on the holder and fixed. In order to rotate a holder in the state which fixed the glass substrate on a holder, it is necessary to rotate the holder of the size larger than the size of a glass substrate, and the fixing part which fixes a glass substrate on a holder integrally.

홀더는 예를 들면 사변형으로 형성되어 있으므로, 홀더의 회전 직경은 홀더의 대각선 방향의 길이가 된다. 이 때문에, 홀더를 회전시켰을 때의 선회지름이 커지고, 이것에 비례하여 검사 장치 본체의 사이즈가 커진다.Since the holder is formed in a quadrilateral, for example, the rotation diameter of the holder is the length of the holder in the diagonal direction. For this reason, the turning diameter at the time of rotating a holder becomes large, and the size of the test | inspection apparatus main body becomes large in proportion to this.

홀더 하부로부터 유리 기판을 들어 올려 회전시키는 기구를 마련하는 방식으로서 기판 검사 장치에 유리 기판 반송 장치를 나란히 설치하고, 이 유리 기판 반송 장치에 의해 유리 기판을 예를 들면 90도 회전시키는 방식을 생각할 수 있다. 이 방식은 유리 기판 반송 장치의 로보트에 의해 기판 검사 장치내에서 검사중의 유리 기판을 일단 꺼내고, 기판 검사 장치 외에서 유리 기판을 예를 들면 90도 회전시키고, 이 후에 다시 유리 기판을 기판 검사 장치내로 되돌린다. 이 때문에, 유리 기판을 예를 들면 90도 회전시키는데 시간이 걸리고, 검사 택트 타임의 큰 손실이 된다.As a method of providing a mechanism for lifting and rotating the glass substrate from the lower part of the holder, a method of arranging the glass substrate conveying apparatus side by side in the substrate inspection apparatus and rotating the glass substrate, for example, by 90 degrees can be considered. have. This method takes out the glass substrate currently being inspected in a board | substrate inspection apparatus by the robot of a glass substrate conveyance apparatus, and rotates a glass substrate 90 degree | times outside the board | substrate inspection apparatus, for example, and after that, returns a glass substrate to a substrate inspection apparatus Revert For this reason, it takes time to rotate a glass substrate 90 degrees, for example, and it becomes a big loss of inspection tact time.

본 발명은 유리 기판을 회전시키는 스페이스를 최소한으로 억제하여 검사 장치 본체내에서 유리 기판을 회전할 수 있고, 검사 장치 본체의 사이즈의 확대를 최소한으로 억제할 수 있는 홀더 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of this invention is to provide the holder apparatus which can suppress the space which rotates a glass substrate to the minimum and can rotate a glass substrate in an inspection apparatus main body, and can suppress the expansion of the size of an inspection apparatus main body to the minimum. .

본 발명의 주요한 관점에 의하면, 표본을 재치(載置)하는 홀더 본체와, 홀더 본체상에 재치된 표본의 하부에 설치되고, 표본을 홀더 본체로부터 들어 올리고 또 한, 홀더 본체상에 내리는 승강기구와, 승강기구에 의해 표본을 홀더 본체로부터 들어 올린 상태에서 승강기구를 회전시키는 회전기구를 구비한 홀더 장치가 제공된다.According to the main aspect of this invention, the holder main body which mounts a specimen, the lifting mechanism which is provided in the lower part of the specimen mounted on the holder main body, lifts a specimen from a holder main body, and lowers it on a holder main body; There is provided a holder device having a rotating mechanism for rotating the lifting mechanism in a state in which a specimen is lifted from the holder main body by the lifting mechanism.

도 1은 본 발명의 제1의 실시 형태를 도시한 홀더 장치의 정면 구성도.1 is a front configuration diagram of a holder device showing a first embodiment of the present invention.

도 2는 동 장치의 표면도.2 is a surface view of the device.

도 3은 동 장치의 측면도.3 is a side view of the device;

도 4는 동 장치에 있어서의 리프트 핀 기구의 외관도.4 is an external view of a lift pin mechanism in the apparatus.

도 5는 TFT액정 디스플레이의 개략 구성도.5 is a schematic configuration diagram of a TFT liquid crystal display.

도 6은 4 모따기의 유리 기판을 도시한 도면.6 shows a glass substrate with four chamfers.

도 7은 6 모따기의 유리 기판을 도시한 도면.7 shows a glass substrate with six chamfers.

도 8은 본 발명의 제 2의 실시 형태를 도시한 홀더 장치의 분해 구성도.8 is an exploded configuration diagram of a holder device showing a second embodiment of the present invention.

도 9는 동 장치에 있어서의 홀더 본체내에 수납된 회전 지지 부재를 도시한 도면.Fig. 9 is a view showing a rotation support member accommodated in a holder main body in the apparatus.

도 10는 동 장치에 있어서의 회전 지지 부재의 회전을 도시한 도면.10 is a diagram illustrating rotation of a rotation support member in the apparatus.

도 11은 동 장치에 있어서의 회전 지지 부재의 변형예를 도시한 도면.11 is a diagram showing a modification of the rotation support member in the apparatus.

이하, 본 발명의 제1의 실시 형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, 1st Embodiment of this invention is described with reference to drawings.

도 1 내지 도 3은 홀더 장치의 구성도이며, 도 1은 정면도, 도 2는 상면도, 도 3은 측면도이다. 이 홀더 장치는 예를 들면 FPD의 일종인 액정 디스플레이의 유 리 기판(1)에 대한 마크로 검사 및 미크로 검사를 행하는 기판 검사 장치에 설치된다. 유리 기판(1)은 예를 들면 1250×1100mm의 대형 사이즈가 있다.1 to 3 are structural views of the holder device, FIG. 1 is a front view, FIG. 2 is a top view, and FIG. 3 is a side view. This holder device is installed in a substrate inspection apparatus which performs macro inspection and micro inspection on the glass substrate 1 of a liquid crystal display, which is a kind of FPD, for example. The glass substrate 1 has a large size of 1250x1100 mm, for example.

검사 장치 본체(2)내에 베이스(3)가 설치된다. 베이스(3)상에 홀더 본체(4)가 설치되어 있다. 홀더 본체(4)에는 도 2에 도시한 바와 같이 동심원 형상으로 배치된 복수의 링 지지틀(5)과, 이들 링 지지틀(5)을 연결하는 복수의 직선 지지틀(6)로 이루어지는 유리 기판(1)을 재치하는 홀더 틀부가 설치되어 있다. 복수의 링 지지틀(5)은 각각 동심원 형상으로 설치되어 있다. 복수의 직선 지지틀(6)은 각각 동심원 중심점으로부터 반경 방향으로 방사상으로 설치되어 있다. 이들 직선 지지틀(6)은 복수의 링 지지틀(5)과 동일 평면상에 설치되고, 복수의 링 지지틀(5) 사이를 연결한다.The base 3 is installed in the inspection apparatus main body 2. The holder main body 4 is provided on the base 3. As shown in FIG. 2, the holder main body 4 is made of a glass substrate composed of a plurality of ring support frames 5 arranged concentrically and a plurality of linear support frames 6 connecting the ring support frames 5. The holder frame part which mounts (1) is provided. The plurality of ring support frames 5 are provided in concentric circles, respectively. The plurality of straight support frames 6 are radially provided in the radial direction from the concentric center points, respectively. These linear support frames 6 are provided on the same plane as the plurality of ring support frames 5 and connect between the plurality of ring support frames 5.

이들 링 지지틀(5) 및 직선 지지틀(6)에 의해 복수의 원호상의 가이드용 개구부(8-1~8-4) 및 복수의 개구부(9)가 형성되어 있다. 이 중 각 가이드용 개구부( 8-1, 8-2)는 최외주 위치에 형성되고, 동심원 중심점에 대해서 정면측(F)에서 보아 좌우 대칭으로 배치되고, 또한 동심원 중심점으로부터 본 확대 각도가 90도보다 약간 큰 눈금으로 형성되어 있다.A plurality of circular arc-shaped openings 8-1 to 8-4 and a plurality of openings 9 are formed by the ring support frame 5 and the linear support frame 6. Each of the guide openings 8-1 and 8-2 is formed at the outermost circumferential position, and is arranged symmetrically from the front side F with respect to the concentric center point, and the enlarged angle viewed from the concentric center point is 90 degrees. All have a slightly larger scale.

각 가이드용 개구부(8-3, 8-4)는 각 가이드용 개구부(8-1, 8-2)의 내주 측에 형성되고, 동심원 중심점에 대해서 정면측(F)으로부터 보아 전후 대칭으로 배치되고, 또한, 동심원 중심점으로부터 본 확대 각도가 90도 보다 약간 큰 눈금으로 형성되어 있다.Each of the guide openings 8-3 and 8-4 is formed on the inner circumferential side of each of the guide openings 8-1 and 8-2, and is disposed symmetrically in front and rear with respect to the concentric center point from the front side F. Moreover, the enlargement angle seen from the concentric center point is formed in the scale slightly larger than 90 degree | times.

홀더 본체(4)의 하부에 도 1에 도시한 것 같은 승강·회전 기구(10)가 설치 되어 있다. 이 승강·회전 기구(10)는 홀더 본체(4)에 형성된 각 가이드용 개구부(8-1~8-4)를 통하여 유리 기판(1)을 홀더 본체(4)의 윗쪽으로 들어 올려 유리 기판(1)을 예를 들면 약 90도 회전시키고, 이 후, 유리 기판(1)을 하강시켜 홀더 본체(4)상에 재치한다.The lifting / rotating mechanism 10 as shown in FIG. 1 is provided in the lower part of the holder main body 4. As shown in FIG. The elevating and rotating mechanism 10 lifts the glass substrate 1 upward of the holder body 4 through each of the guide openings 8-1 to 8-4 formed in the holder main body 4, and the glass substrate ( 1) is rotated, for example, by about 90 degrees, after which the glass substrate 1 is lowered and placed on the holder main body 4.

구체적으로 승강·회전 기구(10)는, 리프트 핀 기구(13)와 이 리프트 핀 기구(13)를 승강 회전시키는 액츄에이터부(7)로 구성되어 있다.Specifically, the lifting and rotating mechanism 10 is constituted by a lift pin mechanism 13 and an actuator portion 7 for lifting and rotating the lift pin mechanism 13.

리프트 핀 기구(13)는 도 4의 외관도에 도시한 바와 같이, 서로 직교하는 2개의 리프트 핀 지지 바(15, 16)와, 이들 리프트 핀 지지 바(15, 16)의 각 선단부에 각각 각 가이드용 개구부(8-1~8-4)에 대응하는 각 위치에 입설된 각 리프트 핀( 17~20)과 각 리프트 핀 지지 바(15, 16)의 교차부에 입설된 리프트 핀(21)을 가진다.As shown in the external view of FIG. 4, the lift pin mechanism 13 has two lift pin support bars 15 and 16 orthogonal to each other, and each of the tip portions of these lift pin support bars 15 and 16, respectively. Lift pins 21 installed in the intersections of the respective lift pins 17 to 20 and each lift pin support bar 15 and 16 installed in respective positions corresponding to the guide openings 8-1 to 8-4. Has

또한, 이들 리프트 핀(17~20)은 도 4에 도시한 바와 같이 유리 기판(1)의 사이즈에 따라 각 위치, 예를 들면 사이즈가 작은 유리 기판(1)에 대한 각 위치에 설치하여도 좋다. 또한, 이들 리프트 핀(17~20)은 부착, 탈착이 가능하고, 유리 기판(1)의 사이즈에 따라 설치 위치를 바꾸어도 된다. 또한, 이들 리프트 핀(17~20)은 유리 기판(1)의 각 사이즈마다의 모두를 미리 설치하여도 좋다.In addition, these lift pins 17-20 may be provided in each position, for example, each position with respect to the glass substrate 1 with a small size according to the size of the glass substrate 1 as shown in FIG. . In addition, these lift pins 17-20 are attachable and detachable, and you may change an installation position according to the size of the glass substrate 1. In addition, you may provide these lift pins 17-20 all before each size of the glass substrate 1 previously.

리프트 핀 지지 바(15)는 최외주 위치에 형성된 각 가이드용 개구부(8-1, 8-2)의 간격과 대략 동일 길이로 형성되고, 또한, 리프트 핀 지지 바(16)는 각 가이드용 개구부(8-1, 8-2)의 내측에 형성된 각 가이드용 개구부(8-3, 8-4)의 간격과 대략 동일 길이로 형성되어 있다. The lift pin support bar 15 is formed to have substantially the same length as the interval of each of the guide openings 8-1 and 8-2 formed at the outermost circumferential position, and the lift pin support bar 16 is the opening for each guide. It is formed in substantially the same length as the space | interval of each guide opening part 8-3, 8-4 formed in the inside of (8-1, 8-2).

이것에 의하여, 각 리프트 핀(17, 18)은 각각 최외주 위치에 형성된 각 가이드용 개구부(8-1, 8-2)에 대응하는 위치에 설치되어 있다. 또한, 각 리프트 핀( 19, 20)은 각각 각 가이드용 개구부(8-3, 8-4)에 대응하는 위치에 설치되어 있다. 더욱이 리프트 핀(21)은 최내주의 링 지지틀(5)내에 대응하는 위치에 설치되어 있다.Thereby, each lift pin 17, 18 is provided in the position corresponding to each guide opening part 8-1, 8-2 formed in the outermost peripheral position, respectively. In addition, each lift pin 19, 20 is provided in the position corresponding to each opening part 8-3, 8-4 for guides, respectively. Moreover, the lift pin 21 is provided in the position corresponding to the ring support frame 5 of the innermost circumference.

따라서, 액츄에이터부(7)가 승강 드라이버부(11)의 제어를 받아 로드(14)를 윗쪽으로 이동시키면, 리프트 핀 기구(13)가 들어 올려지고, 각 리프트 핀(17, 18)은 홀더 본체(4)의 각 가이드용 개구부(8-1, 8-2)를 통하여 홀더 본체(4)의 표면 측에 소정 높이만큼 돌출한다. 이것과 동시에 각 리프트 핀(19, 20)은 홀더 본체(4)의 각 가이드용 개구부(8-3, 8-4)를 통하여 홀더 본체(4)의 표면 측에 소정 높이만큼 돌출한다. 더욱이 리프트 핀(21)은 최내주의 링 지지틀(5)내를 통하여 홀더 본체(4)의 표면 측에 소정 높이만큼 돌출한다.Therefore, when the actuator part 7 moves the rod 14 upward under the control of the elevating driver part 11, the lift pin mechanism 13 is lifted, and each lift pin 17, 18 is a holder body. It protrudes by the predetermined height to the surface side of the holder main body 4 through each guide opening 8-1 and 8-2 of (4). At the same time, the lift pins 19 and 20 protrude to the surface side of the holder main body 4 by a predetermined height through the guide openings 8-3 and 8-4 of the holder main body 4. Moreover, the lift pin 21 protrudes by the predetermined height to the surface side of the holder main body 4 through the inner ring support frame 5 of the innermost circumference.

더욱이 액츄에이터부(7)가 회전 드라이버부(12)의 제어를 받아 로드(14)를 90도 회전시키면, 각 리프트 핀(17, 18)은 각 가이드용 개구부(8-1, 8-2)내를 따라 원호상으로 이동함과 함께, 각 리프트 핀(19, 20)도 각 가이드용 개구부(8-3, 8-4)내를 따라 원호상으로 이동한다. 리프트 핀(21)은 최내주의 링 지지틀(5)내에서 회전한다.Furthermore, when the actuator portion 7 rotates the rod 14 by 90 degrees under the control of the rotary driver portion 12, each lift pin 17, 18 is in each guide opening 8-1, 8-2. In addition to the circular arcs along the respective lift pins 19 and 20, the lift pins 19 and 20 also move in the circular arcs along the openings 8-3 and 8-4 for each guide. The lift pin 21 rotates in the ring support frame 5 of the innermost circumference.

베이스(3)의 하부에는 도 3에 도시한 바와 같이 홀더 본체(4)를 요동시키는 요동 기구(22)가 설치되어 있다. 즉, 정면측(F)으로부터 보아 베이스(3)의 전측의 양단부에 각 힌지(23)가 각 힌지 지지 부재(24)에 대해서 회전 가능하게 설치된다. 이들 힌지 지지 부재(24)는 베이스(3)에 고정되어 있다. 이들 힌지(23)의 회전 이동축은 홀더 본체(4)를 정면측(F)을 향하여 요동 할 수 있도록 정면측(F)의 베이스 단면의 전면에 대해서 평행(X방향)하게 설치되어 있다. 이들 힌지(23)의 자유단부에는 홀더 본체(4)의 이면에 서로 평행하게 설치된 2개의 직선 가이드(25)에 끼워지고, 홀더 본체(4)를 전후 방향으로 접동시키는 개미홈의 가이드 수납부가 설치되어 있다.The lower part of the base 3 is provided with a rocking mechanism 22 for swinging the holder main body 4 as shown in FIG. That is, each hinge 23 is rotatably provided with respect to each hinge support member 24 at both ends of the front side of the base 3 from the front side F. As shown in FIG. These hinge support members 24 are fixed to the base 3. The rotational movement shaft of these hinges 23 is provided in parallel with the front surface of the base end surface of the front side F so that the holder main body 4 can rock to the front side F. As shown in FIG. The free end of these hinges 23 is fitted with two linear guides 25 mounted on the rear surface of the holder main body 4 in parallel with each other, and a guide accommodating portion of an ant groove for sliding the holder main body 4 in the front-rear direction. It is.

이들 직선 가이드(25)는 홀더 본체(4)를 밀어 올리고, 전방으로 밀어 냈을 때에, 힌지(23)의 가이드 수납부상을 접동한다. 이것에 의하여, 홀더 본체(4)는 화살표 가 방향으로 요동하면서 정면측(F)으로 밀어내고, 힌지(23)를 회전축으로서 회전 이동한다.When the linear guide 25 pushes up the holder main body 4 and pushes forward, it slides on the guide accommodating part of the hinge 23. As shown in FIG. As a result, the holder main body 4 is pushed toward the front side F while the arrow swings in the direction, and the hinge 23 rotates as the rotation axis.

베이스(3)의 아래 쪽에는 홀더 본체(4)를 화살표 가 방향으로 요동시키기 위한 링크(26) 및 잭(27)이 설치되어 있다. 이 중 링크(26)는 고정된 길이로 형성되고, 베이스(3)로부터 하부로 연장된 지지 부재(28)와 홀더 본체(4)의 하부에 설치된 지지 부재(29)와의 사이에 설치되어 있다. 이 링크(26)는 각 지지 부재(28, 29)에 대해서 각각 2개의 지점(28a, 29a)에서 회전 가능하게 지지되고 있다.The lower side of the base 3 is provided with a link 26 and a jack 27 for swinging the holder body 4 in the direction of the arrow. Among them, the link 26 is formed to have a fixed length and is provided between the support member 28 extending downward from the base 3 and the support member 29 provided below the holder main body 4. This link 26 is rotatably supported with respect to each support member 28 and 29 at two points 28a and 29a, respectively.

잭(27)은 신축 로드(30)를 가지고, 신축 로드(30)의 선단이 링크(26)에 대해서 지점(32)에 회전 가능하게 연결됨과 함께, 그 하단이 직선 궤도(31)상에 이동 가능한 가변부(33)에 대해서 지점(34)에 회전 가능하게 연결되어 있다. 가변부(33)는 Y방향으로 설치된 직선 궤도(31)상을 이동한다. 가동부(33)가 정면측(F)으로 이동하면, 잭(27)의 신축 로드(30)는 그 길이를 유지한 채로 각 지점(32, 34)을 중심 으로 회전하면서, 링크(26)에 압압을 부여한다. 그 결과, 링크(26)는 지점(28a)를 중심으로 회전한다.The jack 27 has a telescopic rod 30, the tip of the telescopic rod 30 is rotatably connected to the point 32 with respect to the link 26, and the lower end thereof moves on a straight track 31. It is rotatably connected to the point 34 with respect to the possible variable part 33. The variable part 33 moves on the linear track | orbit 31 provided in the Y direction. When the movable part 33 moves to the front side F, the elastic rod 30 of the jack 27 presses against the link 26, rotating around each point 32 and 34, maintaining the length. To give. As a result, the link 26 rotates about the point 28a.

링크(26)가 회전하면, 지점(29a)는 링크(26)의 길이를 반경으로서 지점(28a)을 중심으로 한 원호상을 이동한다.As the link 26 rotates, the point 29a moves in an arc shape around the point 28a using the length of the link 26 as a radius.

따라서, 링크(26)가 지점(28a)을 중심으로 회전하면, 홀더 본체(4)는 힌지(23)를 요동 중심으로 하여 화살표 가 방향으로 일어난다.Therefore, when the link 26 rotates around the point 28a, the holder main body 4 causes the arrow 23 to move in the direction with the hinge 23 as the swinging center.

여기서, 링크(26) 양단부의 각 지점(28a, 29a)의 간격은 변화하지 않고, 또한 링크(26)의 지점(28a)과 힌지(23)와의 간격도 변화하지 않는다. 각 지점(28a, 29a) 및 힌지(23)의 3점으로 이루어지는 삼각형을 생각하면, 링크(26)가 지점(28a)을 중심으로 회전함에 따라 지점(29a)과 힌지(23)의 간격은 점차 짧아진다.Here, the space | interval of each point 28a, 29a of the both ends of the link 26 does not change, and also the space | interval of the point 28a of the link 26 and the hinge 23 does not change. Considering a triangle consisting of three points of each of the points 28a and 29a and the hinge 23, the interval between the points 29a and the hinge 23 gradually increases as the link 26 rotates about the point 28a. Shorten.

이들 지점(29a)과 힌지(23)의 간격이 점차 짧아져, 홀더 본체(4)의 이면에 장착된 각 직선 가이드(25)가 힌지(23)의 가이드 수납부상을 정면측(F)을 향하여 접동하면, 이것에 따라 홀더 본체(4)의 하단측이 되는 가장자리는 베이스(3) 상면의 가장자리분보다 정면측(F)으로 밀어낸다. 또한, 로드(30)의 신축량을 변화시키는 것에 의하여, 요동 각도와 요동 속도를 바꿀 수 있고, 관찰에 적절한 조정을 행할 수 있다.The interval between these points 29a and the hinge 23 is gradually shortened, so that each linear guide 25 mounted on the back surface of the holder main body 4 faces the guide receiving portion of the hinge 23 toward the front side F. As shown in FIG. When it slides, the edge used as the lower end side of the holder main body 4 is pushed to the front side F rather than the edge of the upper surface of the base 3 by this. In addition, by changing the amount of expansion and contraction of the rod 30, the swing angle and the swing speed can be changed, and adjustment appropriate to the observation can be performed.

베이스(3)상의 양단 측에는 도 1에 도시한 바와 같이 Y방향의 각 이동 기구(40, 41)가 홀더 본체(4)를 사이에 두고 서로 평행하게 설치되어 있다. 이들 이동 기구(40, 41)의 사이에는, 문주 아암(42)이 홀더 본체(4)의 윗쪽을 걸치도록 설치되어 있다. 이 문주 아암(42)은 각 이동 기구(40, 41)상에 Y방향으로 이동 가 능하게 설치되어 있다. 이 문주 아암(42)에는 현미경 유닛(43)이 X방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다.On both sides of the base 3, as shown in Fig. 1, the moving mechanisms 40 and 41 in the Y direction are provided in parallel with each other with the holder main body 4 therebetween. Between these moving mechanisms 40 and 41, the door arm 42 is provided so that the holder main body 4 may be extended. The door arm 42 is provided on each of the moving mechanisms 40 and 41 so as to be movable in the Y direction. The microscope arm 43 is provided in this door arm 42 so that the movement to a X direction is possible.

홀더 본체(4)의 윗쪽에는 도시하지 않지만 마크로 조명 장치가 설치되고, 또한 홀더 본체(4)의 하방에는 도 2에 도시한 바와 같이 라인 투과 조명 장치(44)가 설치되어 있다. 이 라인 투과 조명 장치(44)는 광섬유를 이용하여 X방향으로 평행한 라인 조명광을 출사한다. 이 라인 투과 조명 장치(44)는 서로 평행하게 Y방향으로 설치된 2개의 조명계 가이드(45, 46)상을, 문주 아암(42)의 Y방향으로의 이동과 동기하여 Y방향으로 이동한다.Although not shown, the macro illuminating device is provided above the holder main body 4, and the line transmission illuminating device 44 is provided below the holder main body 4, as shown in FIG. This line transmission illumination device 44 emits line illumination light parallel to the X direction using an optical fiber. This line-transmission illuminating device 44 moves on two illumination system guides 45 and 46 provided in the Y direction in parallel with each other in synchronism with the movement of the door arm 42 in the Y direction.

또한, 홀더 본체(4)상에는 3개의 위치 센서(47~49)가 설치되어 있다. 이들 위치 센서(47~49)는 각각 유리 기판(1)의 엣지 위치를 검출하고, 그 엣지 위치 신호를 출력한다.Moreover, three position sensors 47-49 are provided on the holder main body 4. As shown in FIG. These position sensors 47-49 respectively detect the edge position of the glass substrate 1, and output the edge position signal.

또한, 검사 장치 본체(2)의 정면측(F)에는 유리 기판(1)의 마크로 검사 및 미크로 검사를 행하기 위한 각종 조작 지시 등을 행하기 위한 조작부(50)가 설치되어 있다.Moreover, the operation part 50 is provided in the front side F of the test | inspection apparatus main body 2, and the various operation instruction | indication for performing the macro inspection and the micro inspection of the glass substrate 1 etc. are provided.

주제어부(51)는 기판 검사 장치 전체의 동작을 제어한다. 이 주제어부(51)는 승강 드라이버부(11), 회전 드라이버부(12) 및 요동 기구(22)에 대해서 각각 동작 제어 신호를 송출하고, 현미경 유닛(43) 및 라인 투과 조명 장치(44)에 대해서 이동 제어 신호를 송출한다.The main control part 51 controls the operation | movement of the board | substrate inspection apparatus whole. The main controller 51 transmits operation control signals to the lifting driver 11, the rotating driver 12, and the swinging mechanism 22, respectively, to the microscope unit 43 and the line transmitting illumination device 44. Transmits a movement control signal.

다음에, 상기와 같이 구성된 장치의 동작에 대하여 설명한다.Next, the operation of the apparatus configured as described above will be described.

수평 상태에 있는 홀더 본체(4)상에는, 예를 들면 1250x1100mm의 대형 사이 즈의 유리 기판(1)이 재치된다. 잭(27)은 신축 로드(30)를 늘려, 가변부(33)를 직선 궤도(31)상에 정면측으로 이동시켜 홀더 본체(4)를 요동시킨다.On the holder main body 4 in a horizontal state, the glass substrate 1 of the large size of 1250x1100 mm, for example is mounted. The jack 27 extends the elastic rod 30 to move the variable portion 33 to the front side on the linear track 31 to swing the holder body 4.

이 때의 홀더 본체(4)의 일어나는 각도는 신축 로드(30)가 늘어나는 크기 및 잭(27)의 직선 궤도(31)상의 이동 거리에 의해 설정 가능하다. 또한, 신축 로드(30)가 연속적으로 신축함과 함께, 잭(27)이 직선 궤도(31)상에 왕복 이동하면, 홀더 본체(4)는 화살표 가 방향으로 연속하여 요동 가능하다.The angle which the holder main body 4 takes at this time can be set by the magnitude | size which the elastic rod 30 extends, and the moving distance on the linear track | orbit 31 of the jack 27. As shown in FIG. In addition, when the elastic rod 30 expands and contracts continuously and the jack 27 reciprocates on the linear track | orbit 31, the holder main body 4 can oscillate continuously in an arrow direction.

이러한 홀더 본체(4)가 임의의 일어나는 각도로 설정되거나, 또는 연속하여 요동하고 있을 때, 관찰자는 유리 기판(1)으로부터의 빛의 변화를 관찰하여 마크로 검사한다. 이 관찰결과로부터 예를 들면 유리 기판(1)면상의 흠집, 결여, 오염, 먼지의 부착 등의 결함 부분을 검출할 수 있다.When this holder main body 4 is set at any rising angle or is continuously rocking, the observer observes the mark of the change of light from the glass substrate 1. From this observation result, the defect part, such as a flaw, a deficiency, contamination, adhesion of dust, etc. on the surface of the glass substrate 1 can be detected, for example.

다음에, 유리 기판(1) 면상의 흠집, 결여, 먼지, 크랙 등의 각종 결함 부분을 확실하게 검출하고 싶은 경우, 유리 기판(1)의 배치 방향을 예를 들면 90도 회전하여 마크로 검사한다. 이 경우, 잭(27)의 신축 로드(30)의 늘어남을 원래대로 되돌림과 함께, 직선 궤도(31)상의 잭(27)의 타단의 위치를 원래의 위치에 되돌린다. 이것에 의하여, 홀더 본체(4)는 원래의 수평 상태로 되돌아온다.Next, when it is desired to reliably detect various defects such as scratches, lacks, dust, and cracks on the surface of the glass substrate 1, the arrangement direction of the glass substrate 1 is rotated by 90 degrees, for example, to be inspected with a mark. In this case, the extension of the extension rod 30 of the jack 27 is restored to its original position, and the position of the other end of the jack 27 on the linear track 31 is returned to the original position. As a result, the holder main body 4 returns to the original horizontal state.

홀더 본체(4)가 수평 상태가 되면, 액츄에이터부(7)는 승강 드라이버부(11)에 의해 제어되어 리프트 핀 기구(13)를 윗쪽으로 들어 올린다. 리프트 핀 기구(13)가 들어 올려지면, 각 리프트 핀(17, 18)은 홀더 본체(4)의 이면측으로부터 각 가이드용 개구부(8-1, 8-2)에 들어가고, 이들 가이드용 개구부(8-1, 8-2)를 통하여 홀더 본체(4)의 표면 측에 돌출한다. 이것과 함께 각 리프트 핀(19, 20)은 홀더 본체(4)의 이면측으로부터 각 가이드용 개구부(8-3, 8-4)에 들어가고, 이들 가이드용 개구부(8-3, 8-4)를 통하여 홀더 본체(4)의 표면측에 돌출한다. 더욱이, 리프트 핀(21)은 최내주의 링 지지틀(5)내를 통하여 홀더 본체(4)의 표면측에 돌출한다.When the holder main body 4 is in a horizontal state, the actuator portion 7 is controlled by the elevating driver portion 11 to lift the lift pin mechanism 13 upward. When the lift pin mechanism 13 is lifted up, each lift pin 17, 18 enters each of the guide openings 8-1, 8-2 from the back side of the holder main body 4, and the openings for these guides ( It protrudes on the surface side of the holder main body 4 through 8-1 and 8-2. At the same time, the lift pins 19 and 20 enter the openings 8-3 and 8-4 for each guide from the back side of the holder main body 4, and these openings 8-3 and 8-4 for the guides. It protrudes on the surface side of the holder main body 4 through. Moreover, the lift pin 21 protrudes to the surface side of the holder main body 4 through the inner ring support frame 5 of the innermost circumference.

이것에 의하여 각 리프트 핀(17~21)은 각각 홀더 본체(4)상의 유리 기판(1)의 이면에 당접하고, 더욱이 들어 올리는 것에 의하여 유리 기판(1)을 홀더 본체(4)의 윗쪽으로 소정의 높이만큼 들어 올린다.Thereby, each lift pin 17-21 abuts on the back surface of the glass substrate 1 on the holder main body 4, and also raises the glass substrate 1 upward of the holder main body 4 by lifting up. Raise the height of the.

다음에, 액츄에이터부(7)는 회전 드라이버부(12)에 의해 제어되어 리프트 핀 기구(13)를 예를 들면 우회전 또는 좌회전에 의해 임의의 각도, 예를 들면 90도 회전시킨다. 이것에 의해 유리 기판(1)은 홀더 본체(4)의 윗쪽에서 배치 방향이 90도 회전한다.Next, the actuator portion 7 is controlled by the rotation driver portion 12 to rotate the lift pin mechanism 13 at an angle, for example, 90 degrees, for example by right turn or left turn. Thereby, the arrangement direction of the glass substrate 1 rotates 90 degrees from the upper side of the holder main body 4.

다음에, 액츄에이터부(7)는 승강 드라이버부(11)에 의해 제어되어 로드(14)를 하강시키면, 각 리프트 핀(17~21)상에 보호 유지되고 있는 유리 기판(1)은 다시 홀더 본체(4)상에 재치된다. 이 때, 유리 기판(1)은 예를 들면 90도 회전하고 있지만, 그 형상이 약 정방형으로 형성되어 있으므로, 홀더 본체(4)상에 재치된다. 또한, 유리 기판(1)은 다소 직사각형으로 형성되어 있어도, 예를 들면 90도 회전 후에 다시 홀더 본체(4)상에 재치하는 것이 가능하다.Next, when the actuator portion 7 is controlled by the elevating driver portion 11 and the rod 14 is lowered, the glass substrate 1 that is protected and held on each lift pin 17 to 21 is again held in the holder body. It is placed on (4). At this time, the glass substrate 1 is rotated, for example, by 90 degrees. However, since the shape is formed in a substantially square shape, the glass substrate 1 is placed on the holder main body 4. In addition, even if the glass substrate 1 is formed in somewhat rectangular shape, it can be mounted on the holder main body 4 again after 90 degree rotation, for example.

이 후, 액츄에이터부(7)는 로드(14)를 원래의 위치까지 하강하여 정지한다.Thereafter, the actuator portion 7 lowers the rod 14 to its original position and stops.

다음에, 상기와 마찬가지로 홀더 본체(4)를 요동시키면서 90도 회전한 유리 기판(1)의 표면상에 마크로 조명광을 조사한다. 관찰자는 유리 기판(1)으로부터의 반사광의 변화를 관찰하고, 예를 들면 유리 기판(1) 면상의 흠집, 결여, 오염, 먼지의 부착 등의 결함 부분을 마크로 검사한다.Next, the illumination light is irradiated with the macro on the surface of the glass substrate 1 rotated 90 degrees while rocking the holder main body 4 in the same manner as described above. An observer observes the change of the reflected light from the glass substrate 1, for example, inspects the defect part, such as a flaw, a lack, contamination, adhesion of dust, etc. on the surface of the glass substrate 1 with a mark.

이 결과, 유리 기판(1)을 90도 회전시키는 것에 의하여, 마크로 조명광의 입사 방향과 패턴의 방향성과의 상대적인 관계, 또는 결여 흠집, 크랙 등의 선형 결함의 방향성과의 상대적인 관계에 따라서 다른 유리 기판(1)으로부터의 반사 조건을 바꿀 수 있다. 이들 반사 조건마다, 관찰자는 유리 기판(1) 면상의 흠집, 결여, 먼지, 크랙 등의 각종 결함부를 확실하게 검출 할 수 있다.As a result, by rotating the glass substrate 1 by 90 degrees, the glass substrate differs depending on the relative relationship between the direction of incidence of the macro illumination light and the directionality of the pattern or the relative relationship between the directionality of linear defects such as missing scratches and cracks. The reflection condition from (1) can be changed. For each of these reflection conditions, the observer can reliably detect various defects such as scratches, lacks, dust, and cracks on the surface of the glass substrate 1.

이 상태에서, 문주 아암(42)은 각 이동 기구(40, 41)에 의해 Y방향으로 이동하고, 이것과 함께 현미경 유닛(43)은 문주 아암(42)에 대해서 X방향으로 이동하는 것으로, 현미경 유닛(43)의 대물렌즈의 광축을 마크로 검사에 의해 검출된 유리 기판(1)상의 결함 부분의 윗쪽에 위치된다.In this state, the door arm 42 moves in the Y direction by the respective moving mechanisms 40 and 41, and the microscope unit 43 moves in the X direction with respect to the door arm 42 with the microscope. The optical axis of the objective lens of the unit 43 is located above the defective part on the glass substrate 1 detected by macro inspection.

이 때, 라인 투과 조명 장치(44)는 문주 아암(42)의 Y방향의 이동에 동기 하여 Y방향으로 이동하고, 현미경 유닛(43)의 대물렌즈의 x방향의 이동 방향에 따라 유리 기판(1)을 라인상에 투과 조명한다. 이것에 의하여, 현미경 유닛(43)은 유리 기판(1)상의 결함 부분을 대물렌즈에서 확대한다. 이 대물렌즈에서 확대된 상은 촬상 장치에서 받아들이고 예를 들면 모니터 장치에 표시된다. 그런데, 모니터 장치에 표시된 결함 부분의 확대상을 관찰하는 것에 의하여 미크로 검사를 행한다.At this time, the line transmission illuminating device 44 moves in the Y direction in synchronization with the movement of the door arm 42 in the Y direction, and the glass substrate 1 in accordance with the moving direction of the objective lens of the microscope unit 43 in the x direction. ) Is transmitted through the line. Thereby, the microscope unit 43 enlarges the defect part on the glass substrate 1 with the objective lens. The image enlarged by this objective lens is taken in with an imaging device, and displayed on a monitor apparatus, for example. By the way, micro inspection is performed by observing the magnified image of the defect part displayed on the monitor apparatus.

이와 같이 상기 제 1의 실시 형태에 있어서는 홀더 본체(4)에 복수의 원호상의 가이드용 개구부(8-1~8-4)와 중심의 개구부(9)를 적어도 형성하고, 리프트 핀 기구(13)의 각 리프트 핀(17~21)을 각각 각 가이드용 개구부(8-1~8-4), 중심의 개 구부(9)를 통하여 상승시켜 유리 기판(1)을 홀더 본체(4)의 윗쪽에 소정의 높이만 큼 들어 올려, 이 상태에서 리프트 핀 기구(13)를 임의의 각도, 예를 들면 90도 회전시켜, 이 후, 리프트 핀 기구(13)를 하강시켜 유리 기판(1)을 홀더 본체(4)상에 재치한다.As described above, in the first embodiment, the holder main body 4 is provided with at least a plurality of circular arc-shaped guide openings 8-1 to 8-4 and a central opening 9, and a lift pin mechanism 13. Lift pins 17 to 21 of the lifter through the guide openings 8-1 to 8-4 and the central opening 9, respectively, so that the glass substrate 1 is placed above the holder body 4, respectively. The lift pin mechanism 13 is rotated at an angle, for example, 90 degrees, in such a state as to be lifted up by a predetermined height, after which the lift pin mechanism 13 is lowered to move the glass substrate 1 into the holder body. (4) We place on phase.

따라서, 홀더 본체(4) 자체를 회전시키지 않고, 유리 기판(1)만을 홀더 본체(4)의 위쪽으로부터 띄운 상태에서 회전시키므로, 유리 기판(1)의 회전 스페이스는 홀더 본체(4) 자체를 회전시키는 경우보다 작게 할 수 있다. 유리 기판(1)의 회전 스페이스는 홀더 본체(4)의 설치스페이스와 거의 동일하다.Therefore, since only the glass substrate 1 is rotated in the state which floated from the upper side of the holder main body 4, without rotating the holder main body 4 itself, the rotation space of the glass substrate 1 rotates the holder main body 4 itself. It can make it smaller than it is made. The rotation space of the glass substrate 1 is substantially the same as the installation space of the holder main body 4.

이 결과, 유리 기판(1)의 회전에 불필요한 스페이스를 취할 필요가 없고, 유리 기판(1)의 회전 스페이스를 최소한으로 억제할 수 있고, 검사 장치 본체의 사이즈를 작게 할 수 있다. 이것에 의하여, 검사 장치 본체내에서 유리 기판(1)을 임의의 각도, 예를 들면 90도 회전시킬 수 있다. 또한, 홀더 본체(4)에 비해 매우 경량인 유리 기판(1)을 회전시키는 것으로, 소형의 액츄에이터를 사용할 수 있고, 또한 회전 기구를 간단화할 수 있다.As a result, it is not necessary to take unnecessary space for rotation of the glass substrate 1, the rotation space of the glass substrate 1 can be suppressed to the minimum, and the size of the inspection apparatus main body can be made small. Thereby, the glass substrate 1 can be rotated in arbitrary angles, for example, 90 degrees in the inspection apparatus main body. Moreover, by rotating the glass substrate 1 which is very light in weight compared with the holder main body 4, a small actuator can be used and a rotation mechanism can be simplified.

이와 같이 유리 기판(1)을 임의의 각도, 예를 들면 90도 회전할 수 있으므로, 마크로 조명광의 입사 방향과 패턴의 방향성과의 상대적인 관계, 또는 결여 흠집, 크랙 등의 선형 결함의 방향성과의 상대적인 관계에 따라 다른 유리 기판(1)으로부터의 반사 조건을 바꾸어, 유리 기판(1) 면상의 흠집, 결여, 먼지, 크랙 등의 각종 결함 부분을 확실하게 검출할 수 있다.Thus, since the glass substrate 1 can be rotated by arbitrary angles, for example, 90 degrees, the relative relationship between the direction of incidence of the macro illumination light and the directionality of the pattern, or relative to the directionality of linear defects such as missing scratches and cracks. Depending on the relationship, the reflection conditions from the other glass substrate 1 can be changed, and various defect parts, such as a flaw, a lack, dust, a crack, on the surface of the glass substrate 1 can be detected reliably.

예를 들면, 도 5는 TFT 액정 디스플레이의 개략 구성도이다. 유리 기판(1)상 에는 가로 치수에 대해서 세로 치수가 긴 직사각형의 복수의 표시 전극(60; 화소)이 격자 형상으로 규칙적으로 배열되어 있다. 따라서, 이들 표시 전극(60)에 대한 마크로 조명광의 조사 방향을 예를 들면 90도 변화시키면, 산란광이나 회절광의 발생 조건은 바뀐다. 이 결과, 유리 기판(1) 표면상의 결함부분을 확실하게 검출할 수 있다.For example, FIG. 5 is a schematic block diagram of a TFT liquid crystal display. On the glass substrate 1, a plurality of rectangular display electrodes 60 (pixels) having a vertical dimension with respect to the horizontal dimension are regularly arranged in a lattice shape. Therefore, when the irradiation direction of the macro illumination light with respect to these display electrodes 60 is changed, for example by 90 degrees, the conditions for generating scattered light or diffracted light are changed. As a result, the defect part on the surface of the glass substrate 1 can be detected reliably.

또한, 유리 기판(1)상에 형성되는 복수의 표시 전극(60)의 방향은 유리 기판(1)의 모따기의 방법에 따라 다르다. 예를 들면, 도 6은 6 모따기의 유리 기판(1)을 나타내고, 도 7은 4 모따기의 유리 기판(1)을 나타낸다. 이들 유리 기판(1)에서는 각각 표시 전극(60)의 방향이 90도 다르다.In addition, the direction of the some display electrode 60 formed on the glass substrate 1 changes with the method of the chamfering of the glass substrate 1. For example, FIG. 6 shows the glass substrate 1 of 6 chamfers, and FIG. 7 shows the glass substrate 1 of 4 chamfers. In these glass substrates 1, the direction of the display electrode 60 differs 90 degrees, respectively.

이 때문에, 이들 모따기의 각 유리 기판(1)을 마크로 검사할 때는 어느 한쪽의 유리 기판(1)의 방향을 90도 회전시키지 않으면, 표시 전극(60)의 배열 방향이 90도 다른 복수 종류의 유리 기판(1)에 대해서 동일한 반사 조건으로 마크로 검사를 할 수 없다. 따라서, 본 발명의 홀더 장치라면, 유리 기판을 90도 회전할 수 있고, 예를 들면 표시 전극(60)의 배열 방향이 다른 각 유리 기판(1)의 마크로 검사에 유효하다.For this reason, when inspecting each glass substrate 1 of these chamfers with a mark, if the direction of either glass substrate 1 is not rotated 90 degrees, the several types of glass in which the arrangement direction of the display electrode 60 differs 90 degrees Macro inspection cannot be performed on the substrate 1 under the same reflection conditions. Therefore, with the holder apparatus of this invention, a glass substrate can be rotated 90 degrees, for example, it is effective for the macro inspection of each glass substrate 1 in which the arrangement direction of the display electrode 60 differs.

또한, TFT 액정 디스플레이의 유리 기판(1)을 마크로 검사하는 경우, 유리 기판(1)을 90도 회전시킬 뿐만 아니라, 유리 기판(1)을 모든 각도로 회전시키는 것에 의하여, 유리 기판(1)상의 결함 부분을 검출하기 쉬워진다. 본 발명 장치라면, 유리 기판(1)을 임의의 각도로 회전할 수 있으므로, 유리 기판(1)의 마크로 검사에는 유효하다. In addition, in the case of inspecting the glass substrate 1 of the TFT liquid crystal display with a mark, not only the glass substrate 1 is rotated by 90 degrees, but also the glass substrate 1 is rotated at all angles. It becomes easy to detect a defective part. Since the glass substrate 1 can be rotated by arbitrary angles with the apparatus of this invention, it is effective for the macro inspection of the glass substrate 1.

더욱이 본 발명 장치라면, 별도 유리 기판 반송 장치를 마련하여, 이 유리 기판 반송 장치의 로보트에 의해 기판 검사 장치의 홀더 본체(4)로부터 유리 기판(1)을 일단 취출하고, 기판 검사 장치외에서 유리 기판을 예를 들면 90도 회전시켜 다시 기판 검사 장치내로 되돌리는 방식에 비해 유리 기판(1) 검사의 택트 타임을 단축할 수 있다.Moreover, if it is this invention apparatus, a glass substrate conveyance apparatus is provided separately, the glass substrate 1 is once taken out from the holder main body 4 of a board | substrate inspection apparatus by the robot of this glass substrate transfer apparatus, and a glass substrate outside a substrate inspection apparatus. For example, the tact time of the glass substrate 1 test | inspection can be shortened compared with the method of rotating 90 degrees back into a board | substrate test apparatus.

유리 기판(1)을 들어 올려 회전시키는 경우, 유리 기판(1)은 각 리프트 핀 (17~21)에 의해 지지를 받으므로, 유리 기판(1)을 점접촉으로 지지하는 것이 되어, 유리 기판(1)의 이면에 영향을 주지 않는다.When lifting and rotating the glass substrate 1, since the glass substrate 1 is supported by each lift pin 17-21, it supports the glass substrate 1 by point contact, and becomes a glass substrate ( It does not affect the back of 1).

유리 기판(1)의 지지는 최외주 위치에 형성된 각 가이드용 개구부(8-1, 8-2)와 그 내주측에 형성된 각 가이드용 개구부(8-3, 8-4)와, 최내주의 링 지지틀(5)을 각각 통과하는 5개의 리프트 핀(17~21)에 의해 행하므로, 유리 기판(1)은 각 코너부 및 중앙부의 각 5곳에서 지지를 받아 안정성 있게 회전할 수 있다.The support of the glass substrate 1 is each opening part 8-1, 8-2 formed in the outermost peripheral position, each opening part 8-3, 8-4 formed in the inner peripheral side, and the innermost circumference | surroundings; Since it is performed by the five lift pins 17-21 which pass through the ring support frame 5, respectively, the glass substrate 1 can be supported by each of five places of each corner part and center part, and can rotate stably.

또한, 동심원 형상으로 배치된 링 지지틀(5)과 이들을 연결하는 직선 지지틀(6)과의 사이에는 복수의 가이드용 개구부(8-1~8-4) 및 개구부(9)가 형성되어 있으므로, 홀더 본체(4)의 하부에 설치된 투과 조명 장치로부터의 투과 조명광을 광량의 감소를 줄여 유리 기판(1)에 조사할 수 있다.Further, a plurality of guide openings 8-1 to 8-4 and openings 9 are formed between the ring support frame 5 arranged in a concentric shape and the straight support frame 6 connecting them. The transmitted illumination light from the transmission illumination device provided in the lower part of the holder main body 4 can be irradiated to the glass substrate 1 by reducing the decrease in the amount of light.

더욱이 리프트 핀 기구(13)는 현미경 유닛(43)에 의한 미크로 검사시에 홀더 본체(4)의 하부에 대기하고 있으므로, 현미경 유닛(43)을 이용한 미크로 검사시에는 라인 투과 조명 장치(44)의 이동에 영향을 주지 않는다.Furthermore, since the lift pin mechanism 13 is waiting in the lower part of the holder main body 4 at the time of the micro inspection by the microscope unit 43, when the micro inspection using the microscope unit 43 is carried out, Does not affect movement

또한, 홀더 본체(4)상에 유리 기판(1)을 재치했을 때, 유리 기판(1)의 위치 를 기준 위치에 얼라이먼트 할 수 있다. 즉, 홀더 본체(4)상의 3개의 위치 센서( 47~49)는 각각 유리 기판(1)의 엣지 위치를 검출하고, 그 엣지 위치 신호를 출력한다.Moreover, when the glass substrate 1 is mounted on the holder main body 4, the position of the glass substrate 1 can be aligned to a reference position. That is, the three position sensors 47-49 on the holder main body 4 detect the edge position of the glass substrate 1, respectively, and output the edge position signal.

주제어부(51)는 3개의 위치 센서(47~49)로부터 출력된 각 엣지 위치 신호를 입력하고, 이들 엣지 위치 신호에 근거하여 유리 기판(1)의 기울기 편차량을 구하고, 이 기울기 편차량을 없애는 동작 제어 신호를 회전 드라이버부(12)에 송출한다. 이것에 의하여, 회전 드라이버부(12)는 리프트 핀 기구(13)를 미소 회전시켜, 유리 기판(1)의 기울기를 보정하는 것이 가능하다.The main control part 51 inputs each edge position signal output from the three position sensors 47-49, calculate | requires the inclination deviation amount of the glass substrate 1 based on these edge position signals, and calculates this inclination deviation amount. The operation control signal to be eliminated is sent to the rotation driver unit 12. Thereby, the rotation driver part 12 can rotate the lift pin mechanism 13 minutely, and can correct the inclination of the glass substrate 1.

또한, 상기 제 1의 실시 형태는 다음과 같이 변형해도 된다. 리프트 핀 기구(13)는 리프트 핀(17~21)이 적어도 3개 있으면 되고, 회전 각도는 0~90도에 한정하지 않고, 예를 들면 0~120도의 임의의 각도로 연속 또는 단계적으로 회전시켜도 된다.In addition, you may modify the said 1st Embodiment as follows. The lift pin mechanism 13 should just have at least three lift pins 17-21, and the rotation angle is not limited to 0-90 degree, For example, even if it rotates continuously or stepwise at arbitrary angles of 0-120 degree, do.

다음에, 본 발명의 제 2의 실시 형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 도 1 내지 도 3과 동일 부분에는 동일 부호를 부여하고, 그 자세한 설명은 생략 한다. 이 실시 형태는 홀더 장치의 구성이 다르다. 도 8은 홀더 장치의 분해 구성도이다. 홀더 본체(4)는 유리 기판(1)의 치수보다 큰 치수의 개구부(4a)를 가지는 사변형의 틀 형상으로 형성되어 있다.Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as FIGS. 1-3, and the detailed description is abbreviate | omitted. This embodiment differs in the structure of a holder apparatus. 8 is an exploded view of the holder device. The holder main body 4 is formed in quadrangular frame shape which has the opening part 4a of the dimension larger than the dimension of the glass substrate 1.

이 홀더 본체(4)의 개구부(4a)에는 유리 기판(1)을 지지하기 위한 복수의 지지편(60, 61)이 설치되어 있다. 이 중 각 지지편(60)은 개구부(4a)내의 서로 대향하는 각 내벽 사이, 예를 들면 x방향에 대향하는 각 내벽간의 각 벽측에 각각 소정 간격마다 설치되어 있다. 이들 지지편(60)은 개구부(4a)내의 X방향에 있어서의 중앙부에 설치되지 않는다. 각 지지편(61)은 개구부(4a)내의 X방향에 있어서의 중앙부에 소정 간격마다 설치되어 있다. 이들 지지편(60, 61)의 상면에는 복수의 기판 지지 핀이 설치되어 있다.In the opening part 4a of this holder main body 4, the some support piece 60 and 61 for supporting the glass substrate 1 is provided. Each of the supporting pieces 60 is provided at predetermined intervals between the respective inner walls in the opening 4a, for example, between the respective inner walls facing the x direction. These support pieces 60 are not provided in the center part in the X direction in the opening part 4a. Each support piece 61 is provided at predetermined intervals in the center part in the X direction in the opening part 4a. A plurality of substrate support pins are provided on the upper surfaces of these support pieces 60, 61.

지지편(60, 61)에는 각각 후술하는 회전 지지 부재(62)를 홀더 본체(4)내에 수납하기 위한 각각 복수의 각 수납홈(63, 64; 절결)이 형성되어 있다. 각 수납홈(63)은 각 지지편(60)에 대해 X방향에 따라 설치되어 있다. 각 수납홈(64)은 각 지지편(61)에 대해 Y방향에 따라 설치되어 있다. 따라서, 이들 수납홈(63, 64)은 서로 직교하는 X방향상과 Y방향상에 설치되어 있다.Each of the support pieces 60 and 61 is formed with a plurality of respective recessed grooves 63 and 64 (notches) for accommodating the rotatable support member 62, which will be described later, in the holder main body 4, respectively. Each storage groove 63 is provided with respect to each support piece 60 along the X direction. Each storage groove 64 is provided with respect to each support piece 61 along the Y direction. Therefore, these accommodation grooves 63 and 64 are provided in the X direction and the Y direction orthogonal to each other.

홀더 본체(4)의 개구부(4a)내의 중앙부에는 승강 회전 기구(10)의 척부(66)를 통과시키는 개구부(67)가 형성되어 있다. 이 개구부(67)는 예를 들면 원형, 사변형이라도 좋고, 척부(66)를 통과 가능하게 하는 치수로 형성되어 있다.The opening part 67 which passes the chuck | zipper part 66 of the elevating rotation mechanism 10 is formed in the center part in the opening part 4a of the holder main body 4. As shown in FIG. The opening 67 may be, for example, circular or quadrilateral, and is formed to a size that allows the chuck 66 to pass therethrough.

홀더 본체(4)의 상면 개구 주변부에는 유리 기판(1)의 주변부를 흡착 보호 유지하기 위한 도시하지 않은 복수의 흡착 구멍이 형성되어 있다. 이들 흡착 구멍은 흡인 기구에 연통하고 있다.In the peripheral part of the upper surface opening of the holder main body 4, the several adsorption | suction hole which is not shown in figure for holding and protecting the peripheral part of the glass substrate 1 is formed. These suction holes communicate with the suction mechanism.

회전 지지 부재(62)는 각 수납홈(63, 64)내에 이들 수납홈(63, 64)의 절결 방향에 따라 상방으로부터 수납되고, 또한 이들 수납홈(63, 64)으로부터 취출 가능하다. 즉, 회전 지지 부재(62)는 홀더 본체(4)에 대해서 분리 가능하게 수납된다.The rotation support member 62 is accommodated from above along each cutting groove 63 and 64 in the cutting direction of each storage groove 63 and 64, and can be taken out from these storage grooves 63 and 64. As shown in FIG. That is, the rotation support member 62 is stored detachably with respect to the holder main body 4.

이 회전 지지 부재(62)는 서로 직교하는 2방향을 축으로 하여 대칭인 형상, 즉 십자 형상으로 형성되어 있다. 서로 직교하는 2방향의 축은 회전 중심(c)을 통 과한다. 따라서, 회전 지지 부재(62)는 회전 중심(c)을 중심으로 90도 회전하여도 동 형상으로 형성되어 있다.The rotation support member 62 is formed in a symmetrical shape, that is, a cross shape, with two axes perpendicular to each other as an axis. Two mutually orthogonal axes pass through the center of rotation c. Therefore, the rotation support member 62 is formed in the same shape even if it rotates 90 degrees about the rotation center c.

구체적으로 회전 지지 부재(62)는 2개의 지지 부재편(68, 69)을 서로 직교 하여 마련하고 있다. 이들 지지 부재편(68, 69)의 최대 높이 치수는 각 수납홈(63, 64)의 깊이 치수보다 작게 형성되어 있다.Specifically, the rotation support member 62 is provided with two support member pieces 68 and 69 orthogonal to each other. The maximum height dimension of these support member pieces 68 and 69 is formed smaller than the depth dimension of each accommodating groove 63 and 64, respectively.

2개의 지지 부재편(68, 69)의 각 선단부에는 각각 선단 지지편(70, 71 및 72, 73)이 설치되어 있다. 각 선단 지지편(70, 71)은 각각 지지 부재편(68)의 축방향에 대해서 직각으로 설치되어 있다. 각 선단 지지편(72, 73)은 각각 지지 부재편 (69)의 축방향에 대해서 직각으로 설치되어 있다. 이들 선단 지지편(70, 71 및 72, 73)은 유리 기판(1)이 진동이나 요동없이 안정적으로 보호 유지하기 위해서 설치되어 있다. 각 지지 부재편(68, 69) 및 선단 지지편(70~73)의 상면에는 각각 도시하지 않은 복수의 기판 지지 핀과 흡착구멍이 설치되어 있다.The tip support pieces 70, 71, 72, 73 are provided in the front-end | tip part of two support member pieces 68 and 69, respectively. Each tip support piece 70, 71 is provided at right angles with respect to the axial direction of the support piece piece 68, respectively. Each tip support piece 72, 73 is provided at right angles with respect to the axial direction of the support member piece 69, respectively. These tip support pieces 70, 71, 72, 73 are provided in order for the glass substrate 1 to stably protect and hold | maintain, without vibration and shaking. On the upper surfaces of the respective support member pieces 68 and 69 and the tip support pieces 70 to 73, a plurality of substrate support pins and suction holes (not shown) are provided, respectively.

승강 회전 기구(10)는 척부(66)와 이 척부(66)를 승강 회전시키는 액츄에이터부(7)로 구성된다. 액츄에이터부(7)에는 로드(14)를 개재하여 척부(66)가 접속되어 있다. 승강 회전 기구(10)는 로드(14)를 상하 방향(Z방향)으로 승강하고, 또한 회전시킨다.The lifting lowering rotation mechanism 10 is composed of a chuck portion 66 and an actuator portion 7 for lifting and lowering the chuck portion 66. The chuck portion 66 is connected to the actuator portion 7 via a rod 14. The lifting lowering rotation mechanism 10 raises and lowers the rod 14 in the vertical direction (Z direction).

액츄에이터부(7)는 통상, 로드(14)를 하부에 하강시키고 척부(66)를 홀더 본체(4)의 하부에 대피시킨다. 액츄에이터부(7)는 유리 기판(1)의 배치 방향을 예를 들면 90도 회전시킬 때, 승강 드라이버부(11)의 제어에 의해 로드(14)를 승강시킨다. 이 척부(66)는 상승하면, 개구부(67)내를 통하여 회전 지지 부재(62)와 결합한 다.The actuator portion 7 usually lowers the rod 14 to the lower portion and evacuates the chuck portion 66 to the lower portion of the holder body 4. The actuator part 7 raises and lowers the rod 14 by control of the lifting driver part 11 when rotating the arrangement direction of the glass substrate 1 90 degrees, for example. When the chuck 66 rises, the chuck 66 engages with the rotation support member 62 through the opening 67.

더욱이, 액츄에이터부(7)는 승강 드라이버부(11)의 제어에 의해 로드(14)를 상승시켜 회전 지지 부재(62)를 홀더 본체(4)의 윗쪽으로 들어 올려 분리한다. 이 상태에서 승강 회전 기구(10)는 회전 드라이버부(12)의 제어에 의해 회전 지지 부재(62)를 90도 회전 또는 360도 연속하여 회전시킨다.Moreover, the actuator part 7 raises the rod 14 by the control of the elevating driver part 11, and lifts the rotation support member 62 upward of the holder main body 4, and removes it. In this state, the lifting lowering rotation mechanism 10 rotates the rotation supporting member 62 by 90 degrees or 360 degrees continuously by the control of the rotary driver unit 12.

이 후, 액츄에이터부(7)는 로드(14)를 하강시켜 척부(66)를 개구부(67)내를 통하여 홀더 본체(4)의 하부에 이동시킨다. 더욱이, 척부(66)가 홀더 본체(4)보다 하방으로 하강하면, 척부(66)와의 결합이 풀려, 회전 지지 부재(62)는 홀더 본체(4)와 결합한다. 더욱이 액츄에이터부(7)는 로드(14)를 하강시켜, 척부(66)를 하방의 원래의 장소에 대피시킨다. 척부(66)의 대피 장소는 홀더 본체(4)의 하방에 배치되는 투과 조명 장치를 포함한 각종 장치를 방해하지 않는 투과 조명 장치의 하방이다.Thereafter, the actuator portion 7 lowers the rod 14 and moves the chuck portion 66 to the lower portion of the holder main body 4 through the opening 67. Moreover, when the chuck | zipper part 66 descends below the holder main body 4, the engagement with the chuck | zipper part 66 will loosen, and the rotation support member 62 will engage with the holder main body 4. Moreover, the actuator part 7 lowers the rod 14, and evacuates the chuck part 66 to the original place below. The evacuation site of the chuck portion 66 is below the transmissive lighting device that does not interfere with various devices including the transmissive lighting device disposed below the holder main body 4.

척부(66)는 원판 형상으로 형성되고, 그 상면에는 서로 직교하는 2개의 결합홈(74, 75)이 형성되어 있다. 이들 결합홈(74, 75)의 폭(틈)은 각 지지 부재편(68, 69)의 두께보다 약간 크게 형성되고, 또한 그 홈 깊이는 각 지지 부재편(68, 69)의 높이와 동등 또는 약간 깊게 형성되어 있다.The chuck portion 66 is formed in a disc shape, and two coupling grooves 74 and 75 are formed on the upper surface of the chuck 66. The widths (gaps) of these engaging grooves 74 and 75 are formed slightly larger than the thicknesses of the respective support member pieces 68 and 69, and the groove depths are equal to or higher than the heights of the respective support member pieces 68 and 69. It is a little deep.

또한, 척부(66)는 회전 지지 부재(62)와의 결합도를 양호하게 하기 위해서, 회전 지지 부재(62)를 에어의 흡인 또는 자기에 의해 보호 유지하도록 하여도 된다.In addition, the chuck part 66 may be made to protect and hold the rotation support member 62 by the suction or magnetism of air, in order to improve the engagement with the rotation support member 62.

다음에, 상기와 같이 구성된 장치의 작용에 대하여 설명한다. Next, the operation of the apparatus configured as described above will be described.

도 9에 도시한 바와 같이 홀더 본체(4)내에는 회전 지지 부재(62)가 수납된다. 즉, 회전 지지 부재(62)의 한쪽의 지지 부재편(68)은 각 수납홈(63)내에 수납되고, 다른 쪽의 지지 부재편(69)은 각 수납홈(64)내에 수납된다. 또한, 각 선단 지지편(70, 71)은 각 지지편(60)의 사이에 형성되는 공간에 수납되고, 각 선단 지지편(72, 73)은 각 지지편(61)과 홀더 본체(4)의 내벽과의 사이에 형성되는 공간에 수납된다. 또한, 동 도면에 있어서 회전 지지 부재(62)는 알기 쉽도록 사선을 긋고 있다.As shown in FIG. 9, the rotation support member 62 is accommodated in the holder main body 4. That is, one support member piece 68 of the rotation support member 62 is accommodated in each storage groove 63, and the other support member piece 69 is stored in each storage groove 64. Moreover, each tip support piece 70 and 71 is accommodated in the space formed between each support piece 60, and each tip support piece 72 and 73 is each support piece 61 and the holder main body 4, respectively. It is stored in the space formed between the inner wall and the. In addition, in the same figure, the rotation support member 62 has drawn the oblique line for clarity.

마크로 관찰에서는 유리 기판(1)은 홀더 본체(4)상에 재치되고, 또한 홀더 본체(4)상의 주변부에 설치된 복수의 흡착 구멍에 의해 흡착 고정된다. 이 상태에서 홀더 본체(4)를 관찰자 측을 향하여 전후로 요동시켜 마크로 관찰한다.In macro observation, the glass substrate 1 is mounted on the holder main body 4, and is adsorbed and fixed by the some adsorption hole provided in the periphery part on the holder main body 4. As shown in FIG. In this state, the holder main body 4 is swung back and forth toward the observer side and observed with a mark.

홀더 본체(4)내에 회전 지지 부재(62)가 수납되고 있는 경우, 이 회전 지지 부재(62)에 있어서 지지면(기판 지지 핀의 정점)의 높이 위치는 홀더 본체(4)에 있어서 유리 기판(1)과의 접촉면의 높이 위치보다 낮다. 이것에 의하여, 홀더 본체(4)상의 유리 기판(1)은 회전 지지부(62)의 기판 지지 핀에 접촉하지 않는다.When the rotation support member 62 is accommodated in the holder main body 4, the height position of the support surface (vertex of a board support pin) in this rotation support member 62 is a glass substrate (in the holder main body 4). It is lower than the height position of the contact surface with 1). Thereby, the glass substrate 1 on the holder main body 4 does not contact the board | substrate support pin of the rotation support part 62. FIG.

따라서, 홀더 본체(4)상의 유리 기판(1)은 각 지지편(60, 61)의 각 기판 지지 핀에 의해 수평으로 보호 유지된다. 또한, 유리 기판(1)은 회전 지지부(62)와의 접촉에 의한 진동의 유발을 피할 수 있다. 이 때, 회전 지지부(62)가 홀더 본체(4)의 각 지지편(60, 61)으로부터 떠오르지 않도록 자기 등에 의해 보호 유지시키면 좋다.Therefore, the glass substrate 1 on the holder main body 4 is protected and maintained horizontally by each board | substrate support pin of each support piece 60,61. In addition, the glass substrate 1 can avoid the induction of the vibration by the contact with the rotation support part 62. At this time, it is good to protect and hold | maintain with the magnet etc. so that the rotation support part 62 may not float out from each support piece 60, 61 of the holder main body 4. As shown in FIG.

유리 기판(1)을 마크로 검사할 때, 유리 기판(1) 면상의 흠집, 결여, 먼지, 크랙 등의 각종을 확실하게 검출하고 싶은 경우, 유리 기판(1)의 배치 방향을 예를 들면 90도 회전시킨다. 즉, 승강 회전 기구(10)의 액츄에이터부(7)는 승강 드라이버부(11)의 제어에 의해 로드(14)를 상승시켜, 홀더 본체(4)의 하부로부터 척부(66)를 홀더 본체(4)의 개구부(67)를 통하여 상승시킨다.When inspecting the glass substrate 1 with a mark, when it is desired to reliably detect a variety of scratches, lacks, dust, cracks and the like on the surface of the glass substrate 1, the arrangement direction of the glass substrate 1 is set to, for example, 90 degrees. Rotate That is, the actuator part 7 of the lifting lowering rotation mechanism 10 raises the rod 14 by the control of the lifting driver part 11, and moves the chuck part 66 from the lower part of the holder main body 4 to the holder main body 4. ) Up through the opening 67.

그리고, 이 로드(14)의 상승에 따라 척부(66)의 각 결합홈(74, 75)내에 각각 각 지지 부재편(68, 69)이 끼워지고, 척부(66)와 회전 지지 부재(62)가 결합한다. 이 때 액츄에이터부(7)는 일단 정지하고, 이 상태에서 홀더 본체(4)와 유리 기판(1)과의 흡착을 해제한다. 이 후, 회전 지지 부재(62)의 복수의 흡착구멍에 의해 유리 기판(1)을 회전지지부재(62)상에 흡착 고정한다.As the rod 14 is raised, the support member pieces 68 and 69 are fitted into the engaging grooves 74 and 75 of the chuck portion 66, respectively, and the chuck portion 66 and the rotation support member 62 are fitted. To combine. At this time, the actuator part 7 stops once and releases the adsorption | suction of the holder main body 4 and the glass substrate 1 in this state. Thereafter, the glass substrate 1 is suction-fixed onto the rotation support member 62 by the plurality of suction holes of the rotation support member 62.

다음에, 액츄에이터부(7)는 승강 드라이버부(11)에 의해 구동 제어되고, 로드(14)를 도 10에 도시한 바와 같이 더욱이 상승시켜, 회전 지지 부재(62)를 홀더 본체(4)로부터 분리하고, 유리 기판(1)을 홀더 본체(4)의 윗쪽으로 들어 올린다. 유리 기판(1)을 보호 유지한 회전 지지 부재(62)를 들어 올리는 높이는, 유리 기판(1)이 회전하여도 안전한 위치, 즉 유리 기판(1)이 홀더 본체(4)에 간섭하지 않는 높이라면 좋다.Next, the actuator part 7 is drive-controlled by the elevating driver part 11, raises the rod 14 further as shown in FIG. 10, and rotates the rotation support member 62 from the holder main body 4. As shown in FIG. It removes and lifts the glass substrate 1 upward of the holder main body 4. If the height of lifting the rotation support member 62 which protects and holds the glass substrate 1 is a position which is safe even if the glass substrate 1 rotates, ie, the height which does not interfere with the holder main body 4, good.

다음에, 액츄에이터부(7)는 회전 드라이버부(12)의 제어에 의해 로드(14)를 예를 들면 90도 회전시킨다. 이것에 의하여, 유리 기판(1)은 90도 회전한다.Next, the actuator part 7 rotates the rod 14 90 degrees by control of the rotation driver part 12, for example. Thereby, the glass substrate 1 rotates 90 degrees.

이 후, 액츄에이터부(7)는 승강 드라이버부(11)의 제어에 의해 로드(14)를 하강시킨다. 이것에 의하여, 회전 지지 부재(62)는 다시 홀더 본체(4)에 수납된다. 이 때, 회전 지지 부재(62)는 십자 형상으로 형성되어 있으므로, 90도 회전하기 전 과 같은 상태에서 홀더 본체(4)에 수납된다.Thereafter, the actuator portion 7 lowers the rod 14 under the control of the elevating driver portion 11. Thereby, the rotation support member 62 is accommodated in the holder main body 4 again. At this time, since the rotation support member 62 is formed in a cross shape, it is accommodated in the holder main body 4 in the same state as before rotating 90 degrees.

즉, 도 10에 도시한 바와 같이 회전 지지 부재(62)가 예를 들면 좌회전(화살표 가 방향)으로 90도 회전하면, 한쪽의 지지 부재편(68)은 각 수납홈(64)내에 수납되고, 다른 쪽의 지지 부재편(69)은 각 수납홈(63)내에 수납된다. 각 선단 지지편(70, 71)은 각 지지편(61)과 홀더 본체(4)의 내벽과의 사이에 형성되는 공간에 수납된다. 각 선단 지지편(72, 73)은 각 지지편(60)의 사이에 형성되는 공간에 수납된다.That is, as shown in FIG. 10, when the rotation support member 62 rotates 90 degrees in left rotation (arrow direction), for example, one support member piece 68 is accommodated in each storage groove 64, The other supporting member piece 69 is accommodated in each storage groove 63. Each front end support piece 70, 71 is accommodated in the space formed between each support piece 61 and the inner wall of the holder main body 4. As shown in FIG. Each tip support piece 72, 73 is housed in a space formed between each support piece 60.

더욱이 액츄에이터부(7)는 승강 드라이버부(11)의 제어에 의해 로드(14)를 하강시키면, 척부(66)를 홀더 본체(4)의 하방에 배치되는 투과 조명 장치를 포함한 각종 장치와 간섭하지 않는 투과 조명 장치의 하방의 원래의 장소에 대피시킨다.Furthermore, when the actuator part 7 lowers the rod 14 by the control of the elevating driver part 11, the actuator part 7 does not interfere with the various devices including the transmissive lighting device arranged below the holder main body 4. Do not evacuate to the original place underneath the transmitted lighting device.

마크로 조명광이 90도 회전된 유리 기판(1)의 표면상에 조사되면, 홀더 본체(4)를 관찰자 측을 향하여 전후로 요동시킨다. 관찰자는 유리 기판(1)으로부터의 반사광의 변화를 관찰하여, 예를 들면 유리 기판 면상의 흠집, 결여, 오염 먼지의 부착 등의 결함 부분을 마크로 검사한다.When the macro illumination light is irradiated on the surface of the glass substrate 1 rotated by 90 degrees, the holder main body 4 is swung back and forth toward the observer side. An observer observes the change of the reflected light from the glass substrate 1, and inspects a defect part, such as a flaw, a lack, adhesion of contaminant dust, on the glass substrate surface, for example with a mark.

마크로 검사의 방법으로서는 홀더 본체(4)를 요동시키지 않고 수평인 상태에서 검사하는 방법도 가능하다. 액츄에이터부(7)는 승강 드라이버부(11)의 제어에 의해 로드(14)를 상승시키면, 척부(66)가 상승한다. 이 척부(66)가 홀더 본체(4)의 위치까지 상승하면, 척부(66)와 회전 지지 부재(62)가 결합한다. 더욱이 액츄에이터부(7)는 도 10에 도시한 바와 같이 척부(66)를 홀더 본체(4)의 윗쪽으로 들어 올린다. 이 때 홀더 본체(4)상의 유리 기판(1)은 회전 지지 부재(62)상에 흡착 고정 되고, 홀더 본체(4)의 재치면에서 상방으로 들어 올릴 수 있다.As a method of macro inspection, a method of inspecting in a horizontal state without swinging the holder main body 4 is also possible. When the actuator part 7 raises the rod 14 by the control of the elevating driver part 11, the chuck | zipper part 66 raises. When this chuck | zipper part 66 rises to the position of the holder main body 4, the chuck | zipper part 66 and the rotation support member 62 will couple | engage. Furthermore, the actuator portion 7 lifts the chuck portion 66 upward of the holder body 4 as shown in FIG. 10. At this time, the glass substrate 1 on the holder main body 4 is sucked and fixed on the rotation support member 62, and can be lifted upwards from the mounting surface of the holder main body 4.

이 상태에서, 승강 회전 기구(10)의 액츄에이터부(7)는 회전 드라이버부(12)의 제어에 의해 로드(14)를 회전시키고, 척부(66)에 결합한 회전 지지 부재(62)를 회전시킨다. 이것에 의해 유리 기판(1)은 관찰자가 관찰하기 쉬운 회전 속도로 회전한다. 이 유리 기판(1)을 수평인 상태로 회전시키면서 동 유리 기판(1)의 표면에 대한 마크로 조명광을 조사하고, 유리 기판(1)으로부터의 반사광의 변화를 관찰하고, 예를 들면 유리 기판 면상의 흠집, 결여, 오염 더스트의 부착 등의 결함 부분을 검사할 수 있다. 이와 같이 유리 기판(1)을 일정 속도로 회전시키면, 유리 기판(1)에 대해서 마크로 조명광이 360도 방향으로부터 조사되는 것에 의하여, 방향성이 다른 결함부를 양호하게 관찰할 수 있다.In this state, the actuator portion 7 of the elevating rotation mechanism 10 rotates the rod 14 by the control of the rotation driver portion 12, and rotates the rotation support member 62 coupled to the chuck portion 66. . Thereby, the glass substrate 1 rotates at the rotational speed which an observer is easy to observe. While rotating this glass substrate 1 in a horizontal state, it irradiates the macro illumination light with respect to the surface of the copper glass substrate 1, observes the change of the reflected light from the glass substrate 1, for example, on the surface of a glass substrate Defective parts such as scratches, lacks, and adhesion of contaminated dust can be inspected. In this way, when the glass substrate 1 is rotated at a constant speed, the macro illuminating light is irradiated to the glass substrate 1 from the 360-degree direction, whereby defect portions having different directions can be observed.

또한, 승강 회전 기구(10)는 회전 지지 부재(62)를 홀더 본체(4)의 윗쪽으로 들어 올린 상태에서, 척부(66)를 예를 들면 15도, 30도, 45도의 회전 각도로 단계적으로 회전시켜도 된다.In addition, the lifting and lowering rotation mechanism 10 steps the chuck portion 66 at a rotation angle of, for example, 15 degrees, 30 degrees, or 45 degrees, with the rotation support member 62 being lifted upward of the holder body 4. You may rotate.

이와 같이 상기 제 2의 실시 형태에 있어서는, 홀더 본체(4)에 대해서 분리 가능한 회전 지지 부재(62)를 수납하고, 홀더 본체(4)의 하방에 퇴피하고 있는 척부(66)를 상승시키는 것으로, 척부(66)를 회전 지지 부재(62)에 결합하고, 더욱이 회전 지지 부재(62)를 홀더 본체(4)의 상방으로 들어 올려 임의의 각도만큼 회전시키고, 이 후, 척부(66)를 하강시켜 회전 지지 부재(62)를 홀더 본체(4)내에 수납하므로, 상기 제 1의 실시 형태와 같은 효과를 연출할 수 있다.Thus, in the said 2nd Embodiment, by storing the rotation support member 62 which is removable with respect to the holder main body 4, and raising the chuck | zipper part 66 which retracts below the holder main body 4, The chuck portion 66 is coupled to the rotation support member 62, and furthermore, the rotation support member 62 is lifted above the holder main body 4 to be rotated by an arbitrary angle, and then the chuck portion 66 is lowered. Since the rotation support member 62 is accommodated in the holder main body 4, the effect similar to the said 1st Embodiment can be produced.

또한, 홀더 본체(4)내에 회전 지지 부재(62)가 수납되어 있을 때의 회전 지 지 부재(62)의 지지면의 높이 위치는 홀더 본체(4)에 있어서 유리 기판(1)과의 접촉면의 높이 위치보다 낮기 때문에, 홀더 본체(4)상에 재치되어 있는 유리 기판(1)에 대해서 회전 지지부(62)와 접촉하지 않는다. 따라서, 홀더 본체(4)상의 유리 기판(1)은 각 지지편(60, 61)의 기판 지지 핀에 의해 수평으로 보호 유지되고, 또한 회전 지지부(62)와의 접촉에 의한 진동을 피할 수 있다.In addition, the height position of the support surface of the rotation support member 62 when the rotation support member 62 is accommodated in the holder main body 4 is the contact surface with the glass substrate 1 in the holder main body 4. Since it is lower than the height position, it does not contact the rotation support part 62 with respect to the glass substrate 1 mounted on the holder main body 4. Therefore, the glass substrate 1 on the holder main body 4 is horizontally protected by the board | substrate support pin of each support piece 60, 61, and can avoid the vibration by the contact with the rotation support part 62. FIG.

척부(66)는 임의의 각도만큼 회전시키거나 연속적으로 회전시킬 수 있으므로, 임의의 방향으로부터 관찰용 조명광을 유리 기판(1)의 표면에 조사하여, 유리 기판(1)의 마크로 검사를 할 수 있다.Since the chuck | zipper part 66 can be rotated or rotated continuously by arbitrary angles, the illumination light for observation can be irradiated to the surface of the glass substrate 1 from an arbitrary direction, and the mark of the glass substrate 1 can be inspected. .

또한, 본 발명은 다음과 같이 변형하여도 된다. 상기 각 실시 형태에서는 액정 디스플레이의 유리 기판(1)의 기판 검사 장치에 적용하였지만, 이것에 한정하지 않고, 플라즈마 디스플레이, EL 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이에 이용되는 투명 기판의 기판 검사 장치에도 적용할 수 있다.In addition, the present invention may be modified as follows. In each said embodiment, although it applied to the board | substrate inspection apparatus of the glass substrate 1 of a liquid crystal display, it is not limited to this, It is applicable also to the board | substrate inspection apparatus of the transparent substrate used for flat panel displays, such as a plasma display and an EL display. have.

더욱이 본 발명이라면, 각종 기판이나 평판 등의 표본의 방향을 바꾸기 위한 기기라면, 그 모두에 적용할 수 있다.Moreover, if it is this invention, if it is an apparatus for changing the orientation of specimens, such as various board | substrates and a flat plate, it can apply to both.

또한, 홀더 본체(4) 및 회전 지지 부재(62)의 형상은 회전 지지 부재(62)가 임의의 각도만큼 회전하여도, 그 회전 각도에서 홀더 본체(4)내에 수납 가능한 형상이면 좋다. 예를 들면, 도 11에 도시한 바와 같이 유리 기판(1)에 형성된 패턴 형상을 관찰하는데 필요한 각도마다 복수개의 지지 부재편(80~87)을 회전 중심(c)을 중심으로서 교차시켜도 된다. 이 경우, 홀더 본체(4)에는 회전 중심(c)을 중심으로서 방사상으로 배치된 복수의 지지편을 마련하면, 임의의 각도에서 회전 지지 부재(62)를 수납하는 공간을 형성할 수 있다.In addition, the shape of the holder main body 4 and the rotation support member 62 may be a shape which can be accommodated in the holder main body 4 at the rotation angle even if the rotation support member 62 rotates by arbitrary angles. For example, as shown in FIG. 11, each support member piece 80-87 may cross | intersect centering on the rotation center c for every angle required to observe the pattern shape formed in the glass substrate 1. As shown in FIG. In this case, if the holder main body 4 is provided with the some support piece arrange | positioned radially centering on the rotation center c, the space which accommodates the rotation support member 62 at arbitrary angles can be formed.

본 발명은 예를 들면 액정 디스플레이나 유기 EL 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이에 이용되는 유리 기판 등의 반도체 유리 기판의 표면 결함 검사, 유리 기판상에 형성되는 각 화소의 각 표시 전극의 선폭 검사나 패턴 검사에 이용된다.The present invention is, for example, surface defect inspection of semiconductor glass substrates such as glass substrates used for flat panel displays such as liquid crystal displays and organic EL displays, line width inspection and pattern inspection of each display electrode of each pixel formed on the glass substrate. Used for

Claims

It is formed in a frame shape that supports the specimen and has an opening, and arranged in the opening a plurality of ring support members for supporting the specimen in the form of concentric circles, while at least three places between the ring support members are a straight support member. The holder body connected,

A swinging mechanism for swinging the holder body at an angle from a horizontal state;

A lift pin mechanism in which at least three lift pins are mounted to support the specimen mounted on the holder body through a portion of a plurality of arc-shaped openings surrounded by the ring support members and the linear support members, An elevating mechanism for elevating the lift pin mechanism to lift the specimen from the holder body and to lower the sample from the holder body;

And a rotating mechanism for rotating the lifting mechanism in a state in which the specimen is lifted from the holder body by the lifting mechanism.

The method of claim 1,

The holder body is provided with a macro illumination device for irradiating the illumination light to the surface of the specimen placed on the upper side,

The rocking mechanism is a holder device, characterized in that for holding the specimen under the illumination of the macro illumination device to rock the holder body at any angle.

The method of claim 1,

The lift pin mechanism is installed by orthogonal to the two lift pin support bar, and each of the lift pins are provided at each of the leading end and the intersection of the lift pin support bar, 4 of the specimen formed in a rectangular shape by these lift pins Holder device, characterized in that for supporting the corners and the center.

The method of claim 1,

The lift pin mechanism has at least three lift pin support bars extending radially, and the lift pins are placed at each leading end and intersection of the lift pin support bars to support the periphery and the center of the specimen. Holder device.

The method according to claim 3 or 4,

The lift pin is a holder device, characterized in that detachably installed in a position according to the size of the specimen.

A plurality of circular arc-shaped openings are formed in a concentric manner, the holder body for placing the glass substrate;

A lift pin support having a plurality of lift pins supporting the glass substrate on the holder body through the arc-shaped opening;

And an elevating / rotating mechanism for elevating and lifting the lift pin support to rotate each lift pin through each of the arc-shaped openings and to rotate the lift pin support in a raised state.

The method of claim 6,

The holder body is characterized in that the holder oscillates at an angle from the horizontal state under the illumination of the macro illumination device.

The method of claim 6,

The lifting and rotating mechanism lifts the lift pin support to support the glass substrate, rotates the lift pin support to rotate the glass substrate at an angle, and then lowers the lift pin support to lower the glass substrate. Holder is characterized in that the mounting on the holder body.

The method of claim 6,

The holder body has a macro illumination device for irradiating the illumination light to the glass substrate on the upper side,

The elevating / rotating mechanism rotates the lift pin support at any angle by a relative relationship between the incident direction of the illumination light from the macro illuminating device and the direction of the pattern on the glass substrate or the direction of the linear defect. Holder device characterized in that.

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