KR101063417B1 - Board Inspection Device - Google Patents

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Abstract

본 실시예의 기판검사장치는 다수개의 진공포트를 가지는 진공라인이 복수개 배치되며, 진공에 의해 기판이 흡착유지되는 기판홀더, 검사자의 육안에 의해 상기 기판의 결함유무 판별이 가능하도록 상기 기판홀더에 안착된 상기 기판에 광원을 제공하는 메인광원, 상기 메인광원을 사용하여 상기 기판에서 결함으로 인식될 경우 상기 기판의 해당부분을 리뷰하기 위한 리뷰모듈(Review Module), 상기 리뷰모듈을 통해 리뷰를 실시할 경우 상기 기판에 광원을 제공하기 위한 근접광원, 상기 리뷰모듈 및 상기 근접광원이 설치되어 상기 기판에 대해 평면이동이 가능하도록 하는 평면이동부를 포함하는 것으로, 본 실시예에 따른 기판검사장치에 따르면 기판을 근접시켜 리뷰(Review)검사함에 있어 상하좌우 구동이 가능한 근접광원을 사용함에 따라 신속하고 정확한 검사가 가능한 기판검사장치를 얻는 효과가 있다.

Figure R1020080138691

In the substrate inspection apparatus according to the present embodiment, a plurality of vacuum lines having a plurality of vacuum ports are arranged, and the substrate holder is sucked and held by the vacuum, and the substrate holder is mounted on the substrate holder so that defects of the substrate can be determined by the naked eye of the inspector. A main light source for providing a light source to the substrate, a review module for reviewing a corresponding portion of the board, and a review module for reviewing a corresponding part of the board when the main light source is recognized as a defect in the board. According to the substrate inspection apparatus according to the embodiment of the present invention includes a near-plane light source for providing a light source to the substrate, the review module and the near-light source is installed to enable a plane movement with respect to the substrate; It is quick and easy to use the proximity light source that can be driven up, down, left and right for review inspection by proximity of the board. The effect accurate tests are available to obtain a substrate inspection device.

Figure R1020080138691

Description

기판검사장치{INSPECTION APPARATUS FOR FLAT PANEL DISPLAY} Substrate Inspection Equipment {INSPECTION APPARATUS FOR FLAT PANEL DISPLAY}

본 발명은 기판검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 근접시켜 리뷰(Review)검사함에 있어 상하좌우 구동이 가능한 근접광원을 사용함에 따라 신속하고 정확한 검사가 가능한 기판검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate inspection apparatus, and more particularly, to a substrate inspection apparatus capable of quick and accurate inspection by using a proximity light source capable of driving up, down, left, and right in close inspection of a substrate.

일반적으로 반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, EL 등의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 얼룩 등의 결함을 발견하기 위하여 목시검사, 즉 검사자의 육안으로 결함 여부를 검사한다. 육안검사는 기판을 진공으로 흡착하는 스테이지에 기판을 올려놓고 광원에 의해 조명을 제공하는 상태에서, 기판을 지지하고 있는 스테이지를 움직이며 기판의 전면과 배면 전체를 관찰하며 결함을 찾아내게 된다.Generally, when producing large sized substrates such as semiconductor wafers, LCDs, PDPs, and ELs, visual inspection, that is, inspection by the inspector's eyes, is performed to detect defects such as foreign substances or stains remaining on the substrates. In the visual inspection, the substrate is placed on a stage where the substrate is adsorbed by vacuum and the illumination is provided by the light source, and the stage supporting the substrate is moved to observe the front and rear surfaces of the substrate and find defects.

본 발명의 목적은 기판의 개략적인 결함검사 후 정밀검사를 위한 근접 리뷰 검사 시 광원이 리뷰에 해당하는 부분을 조사하도록 작동이 가능한 기판검사장치를 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide a substrate inspection apparatus that is operable to irradiate a portion corresponding to the review of the light source in the proximity review inspection for the detailed inspection after the rough defect inspection of the substrate.

기판검사장치는 다수개의 진공포트를 가지는 진공라인이 복수개 배치되며, 진공에 의해 기판이 흡착유지되는 기판홀더, 검사자의 육안에 의해 상기 기판의 결함유무 판별이 가능하도록 상기 기판홀더에 안착된 상기 기판에 광원을 제공하는 메인광원, 상기 메인광원을 사용하여 상기 기판에서 결함으로 인식될 경우 상기 기판의 해당부분을 리뷰하기 위한 리뷰모듈(Review Module), 상기 리뷰모듈을 통해 리뷰를 실시할 경우 상기 기판에 광원을 제공하기 위한 근접광원, 상기 리뷰모듈 및 상기 근접광원이 설치되어 상기 기판에 대해 평면이동이 가능하도록 하는 평면이동부를 포함한다.In the substrate inspection apparatus, a plurality of vacuum lines having a plurality of vacuum ports are disposed, the substrate holder on which the substrate is adsorbed and held by vacuum, and the substrate seated on the substrate holder so that defects of the substrate can be determined by the naked eye of the inspector. A main light source for providing a light source to the review module, a review module for reviewing a corresponding portion of the board when the main light source is recognized as a defect in the board, and a review module through the review module A proximity light source for providing a light source, the review module and the proximity light source is installed to include a plane moving unit to enable a plane movement with respect to the substrate.

상기 기판홀더는 상기 기판을 흡착한 상태에서 슬라이딩 운동, 회전운동 및 상기 리뷰모듈에 의해 리뷰를 실시할 경우 검사자 측으로 수평 왕복운동이 가능하다.The substrate holder is capable of horizontal reciprocating movement to the inspector side when a review is performed by the sliding motion, the rotational motion, and the review module while the substrate is adsorbed.

상기 근접광원은 상하 및 좌우 회전이 가능하고, 상기 근접광원에는 적어도 하나 이상의 필터(Filter)를 포함하며, 상기 필터는 옐로우필터(Yellow Filter), 화이트필터(White Filter) 및 그린필터(Green Filter)를 포함한다.The proximity light source can be rotated vertically and horizontally, and the proximity light source includes at least one filter, and the filter includes a yellow filter, a white filter, and a green filter. It includes.

상기 평면이동부는 상기 리뷰모듈 및 상기 근접광원이 설치되는 베이스, 상 기 베이스가 상기 기판에 대해 수평 및 수직이동이 가능하도록 지지하는 수평프레임 및 수직프레임을 포함하고, 상기 근접광원은 복수개이며, 상기 근접광원은 옐로우(Yellow), 화이트(White) 및 그린(Green)광원(Light)을 포함한다.The plane moving part may include a base on which the review module and the proximity light source are installed, and a horizontal frame and a vertical frame supporting the base so as to be movable horizontally and vertically with respect to the substrate. The proximity light source includes yellow, white, and green light.

상기 옐로우필터(Yellow Filter), 화이트필터(White Filter) 및 그린필터(Green Filter)는 회전 가능하다.The yellow filter, the white filter, and the green filter are rotatable.

본 실시예에 따른 기판검사장치에 따르면 기판을 근접시켜 리뷰(Review)검사함에 있어 상하좌우 구동이 가능한 근접광원을 사용함에 따라 신속하고 정확한 검사가 가능한 기판검사장치를 얻는 효과가 있다.According to the substrate inspection apparatus according to the present embodiment, there is an effect of obtaining a substrate inspection apparatus capable of quick and accurate inspection by using a proximity light source capable of driving up, down, left, and right in close inspection of a substrate.

도 1은 본 실시예에 따른 기판검사장치의 사시도이고, 도 2는 도 1을 구성하고 있는 기판검사장치의 기판홀더(200)의 사시도이다. 도 3은 도 1을 구성하고 있는 기판검사장치의 평면이동부의 사시도이다.1 is a perspective view of a substrate inspection apparatus according to the present embodiment, and FIG. 2 is a perspective view of a substrate holder 200 of the substrate inspection apparatus constituting FIG. 1. 3 is a perspective view of a plane moving part of the substrate inspecting apparatus of FIG. 1.

도 4는 도 3의 A부분 확대도이고, 도 5a 및 도5b는 본 실시예에 따른 기판검사장치의 작동상태도이며, 도 6은 다른 실시예의 기판검사장치의 사시도이다.4 is an enlarged view of a portion A of FIG. 3, and FIGS. 5A and 5B are operational state diagrams of the substrate inspection apparatus according to the present embodiment, and FIG. 6 is a perspective view of the substrate inspection apparatus according to another embodiment.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판검사장치(100)는 외곽틀을 이루는 외곽 프레임(156)을 구비하고 있다. 외곽 프레임(156)에는 검사 자(164)의 육안에 의해 기판(G)의 결함유무 판별이 가능하도록 기판홀더(200)에 안착된 기판에 조명을 제공하는 검사용 메인광원(162)이 설치된다. 그리고 외곽 프레임(156)에는 메인광원(162)의 조명을 기판홀더(200)에 흡착된 기판(G)으로 전달하기 위한 반사판(158)이 설치되어 있다. 반사판(158) 및 메인광원(162)은 복수개가 설치된다.As shown in FIGS. 1 to 4, the substrate inspection apparatus 100 according to the present embodiment includes an outer frame 156 forming an outer frame. The outer frame 156 is provided with an inspection main light source 162 for providing illumination to the substrate seated on the substrate holder 200 so that the defect of the substrate G can be determined by the naked eye of the inspector 164. . The outer frame 156 is provided with a reflecting plate 158 for transmitting the illumination of the main light source 162 to the substrate G absorbed by the substrate holder 200. The reflecting plate 158 and the main light source 162 are provided in plurality.

또한, 외곽 프레임(156)에는 다수개의 진공포트(202, vacuum pad)를 가지는 진공라인(204)이 복수개 배치된 기판홀더(200)가 설치된다. 기판홀더(200)는 외곽틀을 이루는 프레임(206)을 구비하고 있으며, 프레임(206)의 내측에는 진공라인(204)이 병렬 형태로 일정한 간격으로 다수개가 배치되어 있다.In addition, the outer frame 156 is provided with a substrate holder 200 in which a plurality of vacuum lines 204 having a plurality of vacuum pads 202 are disposed. The substrate holder 200 is provided with a frame 206 forming an outer frame, and a plurality of vacuum lines 204 are arranged at regular intervals in parallel in the frame 206.

기판홀더(200)의 양측에는 기판홀더(200)를 회전 및 슬라이딩 가능하도록 지지하는 지지바(210)가 구비된다. 이러한 형태의 기판홀더(200)에 기판(G)을 안착시키고 슬라이딩 시켜가며 기판 상부측 및 하부측의 결함을 찾아내게 된다. 또한, 어느 한 면의 결함 검사가 완료될 경우 기판을 회전시켜 배면측의 결함도 찾아내게 된다. 기판홀더(200)는 별도의 구동부(미도시)를 통해 슬라이딩, 회전 작동이 가능하게 된다. 미설명부호 210a는 지지바(210)가 이동하는 홀이다.Both sides of the substrate holder 200 are provided with support bars 210 for supporting the substrate holder 200 to be rotatable and slidable. The substrate G is seated on the substrate holder 200 and slides to find defects on the upper and lower sides of the substrate. In addition, when defect inspection on either side is completed, the substrate is rotated to find a defect on the back side. The substrate holder 200 may be slid and rotated through a separate driver (not shown). Reference numeral 210a is a hole through which the support bar 210 moves.

검사자(164)와 기판홀더(200)의 사이에는 메인광원(162)을 통해 결함으로 판단된 부분을 정밀하게 리뷰할 경우 기판(G)이 근접된 상태에서 검사를 실시하기 위한 리뷰모듈(330, Review Module)과 근접광원(340)을 구비한 평면이동부(300)가 설치된다. 리뷰모듈(330)은 카메라를 사용할 수 있다. When the inspector 164 and the substrate holder 200 review the portion determined to be a defect through the main light source 162, the review module 330 for inspecting in the state where the substrate G is in close proximity to the inspector 164 and the substrate holder 200. Review module) and a planar moving part 300 having a proximity light source 340 is installed. The review module 330 may use a camera.

평면이동부(300)는 리뷰모듈(330) 및 근접광원(340)이 설치되는 베이 스(360), 베이스(360)가 기판(G)에 대해 수평 및 수직이동이 가능하도록 지지하는 수평프레임(362, 364) 및 수직프레임(368)을 포함한다. 베이스(360) 및 수직 프레임(368)은 구동모듈(미도시)에 의해 구동한다.The plane moving part 300 may include a base frame 360 on which the review module 330 and the proximity light source 340 are installed, and a horizontal frame on which the base 360 supports horizontal and vertical movement with respect to the substrate G. 362 and 364 and vertical frame 368. The base 360 and the vertical frame 368 are driven by a driving module (not shown).

평면이동부(300)는 리뷰검사를 위해 기판홀더(200)가 직립한 상태로 검사자(164)측으로 근접시킨 후 결함으로 인식된 기판(G)의 해당부분에 리뷰모듈(330)과 근접광원(340)을 이동시키는 역할을 한다.The planar moving part 300 moves closer to the inspector 164 in a state where the substrate holder 200 is upright for the review inspection, and then the review module 330 and the adjacent light source (S) in the corresponding part of the substrate G recognized as a defect. 340 serves to move.

근접광원(340)은 본체(342), 연결부(346) 및 고정부(348)로 구성되어 기판(G)에 대해 상하 및 좌우 회전이 가능한 형태로 설치된다. 이를 위해 본체(342)와 연결부(346)는 좌우 회동이 가능하도록 제 1 힌지(344) 결합되어 있고, 연결부(346)와 고정부(348)는 상하 회동이 가능하도록 제 2 힌지(345) 결합된다. 이러한 형태로 구성되어 리뷰모듈(330)이 리뷰를 하는 기판(G)의 해당부분에 자유로운 형태로 조명을 제공하게 된다.The proximity light source 340 includes a main body 342, a connection part 346, and a fixing part 348, and is installed in a form capable of rotating up, down, left, and right with respect to the substrate G. To this end, the main body 342 and the connection part 346 are coupled to the first hinge 344 to enable left and right rotation, and the connection part 346 and the fixing part 348 are coupled to the second hinge 345 to enable vertical rotation. do. It is configured in such a way that the review module 330 provides the lighting in a free form to the corresponding portion of the substrate (G) to review.

그리고 근접광원(340)에는 적어도 하나 이상의 필터(Filter)를 포함하고 있으며, 하나의 형태로 옐로우필터(342a, Yellow Filter), 화이트필터(342b, White Filter) 및 그린필터(342c, Green Filter) 3가지를 사용하는 형태가 있을 수 있다.The proximity light source 340 includes at least one filter, and in one form, a yellow filter 342a, a yellow filter, a white filter 342b, and a green filter 342c. There may be some form of branching.

이렇게 여러 개의 필터(342a, 342b, 342c)를 사용하여 회전시켜 가며 다른 색상을 기판(G)에 공급하여 다양한 종류의 결함을 검사하게 된다. 이외에 오렌지 필터(Orange filter) 등과 같은 형태의 필터를 추가하거나, 여러 필터를 조합하여 결함검사를 실시하게 된다.In this way, by using a plurality of filters 342a, 342b, and 342c, various colors are supplied to the substrate G to inspect various kinds of defects. In addition, a filter in the form of an orange filter or the like is added, or a combination of filters is used for defect inspection.

이하에서는 본 실시예에 따른 기판검사장치(100)의 작동 상태에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, the operating state of the substrate inspection apparatus 100 according to the present embodiment will be described.

검사대상 기판(G)이 기판홀더(200)에 안착되면, 진공펌프(미도시)를 통해 펌핑력에 따른 진공상태가 진공포트(202)에 전달되어 기판(G)이 진공흡착된다.When the inspection target substrate G is seated on the substrate holder 200, the vacuum state according to the pumping force is transmitted to the vacuum port 202 through a vacuum pump (not shown), and the substrate G is vacuum-adsorbed.

이러한 상태에서 기판홀더(200)는 경사진 형태로 위치하여 기판(G)의 상부 또는 하부 측에서부터 검사를 실시한다. 기판홀더(200)의 슬라이딩 운동에 따라 어느 한 쪽 면에 대한 검사가 완료되면, 검사자(164)는 기판홀더(200)가 회전하도록 하여 기판(G)의 배면을 검사한다. 검사 도중 기판(G)의 어느 한 부분에 결함이 검출되면, 기판홀더(200)를 검사자(164)에게 근접하도록 하여 직립상태가 되도록 한 후 리뷰모듈(330) 및 근접광원(340)을 결함부분으로 이동시켜 정밀검사를 실시하게 된다. 만약 기판(G)의 상부에 결함부분이 존재할 경우 도5a와 같은 상태로 정밀검사를 실시하게 되고, 하부에 결함부분이 존재할 경우 도 5b와 같은 상태로 정밀검사를 실시하게 된다.In this state, the substrate holder 200 is positioned in an inclined form and inspects from the upper or lower side of the substrate G. When the inspection of either surface is completed according to the sliding movement of the substrate holder 200, the inspector 164 inspects the rear surface of the substrate G by rotating the substrate holder 200. If a defect is detected in any part of the substrate G during the inspection, the substrate holder 200 is brought close to the inspector 164 to be in an upright state, and then the review module 330 and the proximity light source 340 are defective. The inspection will be carried out to perform the overhaul. If a defective portion is present in the upper portion of the substrate (G), the inspection is performed in the state as shown in Figure 5a, and if there is a defective portion in the lower portion, the inspection is performed in the state as shown in Figure 5b.

또한, 정밀검사를 실시함에 있어 다수개의 필터(342a)(342b)(342c)를 회전시켜가며 다른 색의 조명을 공급하면서 기판(G)의 검사를 실시하게 된다.In addition, the inspection of the substrate G is performed while rotating the plurality of filters 342a, 342b and 342c while supplying illumination of different colors.

도 6은 다른 실시예에 따른 기판검사장치(100)를 나타낸 것으로, 근접광원(340a)(340b)(340c)을 복수개로 구성한 것을 나타낸 것이다. 이 경우 각각의 근접광원(340a)(340b)(340c)은 옐로우(340a,Yellow), 화이트(White) 및 그린광원(Green Light)을 포함하는 형태가 되도록 할 수 있다.6 shows a substrate inspection apparatus 100 according to another embodiment, which shows a plurality of adjacent light sources 340a, 340b, and 340c. In this case, each of the adjacent light sources 340a, 340b, and 340c may be configured to include yellow, white, and green light.

도 1은 본 실시예에 따른 기판검사장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a substrate inspection apparatus according to the present embodiment.

도 2는 도 1을 구성하고 있는 기판검사장치의 기판홀더의 사시도이다. FIG. 2 is a perspective view of a substrate holder of the substrate inspection device constituting FIG. 1. FIG.

도 3은 도 1을 구성하고 있는 기판검사장치의 평면이동부의 사시도이다.3 is a perspective view of a plane moving part of the substrate inspecting apparatus of FIG. 1.

도 4는 도 3의 A부분 확대도이다.4 is an enlarged view of a portion A of FIG. 3.

도 5a 및 도5b는 본 실시예에 따른 기판검사장치의 작동상태도이다.5A and 5B are operation state diagrams of the substrate inspection apparatus according to the present embodiment.

도 6은 다른 실시예의 기판검사장치의 사시도이다.6 is a perspective view of a substrate inspection apparatus of another embodiment.

Claims (9)

다수개의 진공포트를 가지는 진공라인이 복수개 배치되며, 진공에 의해 기판이 흡착유지되는 기판홀더;A substrate holder having a plurality of vacuum lines having a plurality of vacuum ports, wherein the substrate is adsorbed and held by vacuum; 검사자의 육안에 의해 검사대상인 기판의 결함유무 판별이 가능하도록 상기 기판홀더에 안착된 기판에 광원을 제공하는 메인광원;A main light source for providing a light source to the substrate seated on the substrate holder to enable the visual inspection of the inspector to determine whether a defect is present in the substrate; 검사자의 육안에 의해 결함으로 인식되는 부분을 정밀검사하기 위한 리뷰모듈(Review Module);A review module for closely inspecting the part recognized as a defect by the inspector's naked eye; 상기 리뷰모듈을 통하여 정밀검사할 부분에 근접하여 광원을 제공하기 위한 근접광원; 및A proximity light source for providing a light source close to a portion to be closely inspected through the review module; And 기판에 대해 상기 리뷰모듈과 상기 근접광원이 함께 평면이동이 가능하도록 상기 리뷰모듈과 상기 근접광원이 함께 설치되는 베이스와, 상기 베이스를 평면이동 가능하게 지지하는 프레임을 포함하는 평면이동부;를 포함하고, 상기 근접광원은A plane moving part including a base on which the review module and the proximity light source are installed together so that the review module and the proximity light source can be moved together with respect to a substrate, and a frame for supporting the base to be planarly movable; And the proximity light source 복수개의 색상을 가지는 광원을 검사대상인 기판에 대하여 제공함으로써 다양한 종류의 기판결함을 조사할 수 있도록 적어도 하나 이상의 필터를 회전시킬 수 있는 본체;A main body capable of rotating at least one filter so as to irradiate various kinds of substrate defects by providing a light source having a plurality of colors with respect to a substrate to be inspected; 상기 베이스에 고정되는 고정부; 및A fixing part fixed to the base; And 상기 본체가 상하좌우 회동이 가능하도록 상기 본체를 상기 고정부에 연결하는 연결부;를 포함하며,And a connecting part connecting the main body to the fixing part so that the main body can rotate up, down, left and right, 상기 연결부는 상기 본체가 좌우회동이 가능하도록 하는 제1힌지와, 상기 본체가 상하회동이 가능하도록 하는 제2힌지를 포함하는 기판검사장치.The connecting part includes a first hinge for allowing the main body to rotate left and right, and a second hinge for allowing the main body to rotate up and down. 제 1 항에 있어서, 상기 기판홀더는 상기 기판을 흡착한 상태에서 슬라이딩 운동, 회전운동 및 상기 리뷰모듈에 의해 리뷰를 실시할 경우 검사자 측으로 수평 왕복운동이 가능한 것을 특징으로 하는 기판검사장치.The apparatus of claim 1, wherein the substrate holder is capable of horizontal reciprocating movement to the inspector side when the substrate holder is reviewed by the sliding motion, the rotational motion, and the review module while adsorbing the substrate. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 필터는 옐로우필터(Yellow Filter), 화이트필터(White Filter) 및 그린필터(Green Filter)를 포함하는 기판검사장치.The filter includes a yellow filter, a white filter, and a green filter. 제 5 항에 있어서, 상기 옐로우필터(Yellow Filter), 화이트필터(White Filter) 및 그린필터(Green Filter)는 교체 가능한 것을 특징으로 하는 기판검사장치.6. The substrate inspection apparatus of claim 5, wherein the yellow filter, the white filter, and the green filter are replaceable. 제 1 항에 있어서, 상기 프레임은 상기 베이스가 상기 기판에 대해 수평 및 수직이동이 가능하도록 지지하는 수평프레임 및 수직프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.The apparatus of claim 1, wherein the frame comprises a horizontal frame and a vertical frame for supporting the base to allow horizontal and vertical movement with respect to the substrate. 제 1 항에 있어서, 상기 근접광원은 복수개인 것을 특징으로 하는 기판검사장치.The apparatus of claim 1, wherein the proximity light source is plural. 제 8 항에 있어서, 상기 근접광원은 옐로우(Yellow), 화이트(White) 및 그린광원(Green Light)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치. The substrate inspection apparatus of claim 8, wherein the proximity light source comprises yellow, white, and green light.
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