KR101032089B1 - Inspection apparatus for flat panel display - Google Patents

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Abstract

본 실시예의 기판검사장치는 기판이 안착되는 스테이지를 구비한 기판검사장치에 있어서, 상기 기판의 특정영역 정밀검사를 위해 리뷰(Review)하기 위한 리뷰모듈, 상기 스테이지에 안착된 상기 기판을 정렬하고, 클램핑 하기 위한 정렬클램핑 모듈을 포함하는 것으로, 본 실시예에 따르면 기판의 정렬과 클램핑을 동시에 진행하여 검사시간이 단축되고, 단일 모듈화에 따른 원가 절감이 가능한 기판검사장치를 얻는 효과가 있다.In the substrate inspection apparatus of the present embodiment, a substrate inspection apparatus having a stage on which a substrate is seated, a review module for reviewing a specific area of the substrate for precise inspection, aligning the substrate seated on the stage, Including an alignment clamping module for clamping, according to the present embodiment has the effect of obtaining a substrate inspection apparatus that can reduce the inspection time by proceeding the alignment and clamping of the substrate at the same time, the cost reduction by a single modularization.

Description

기판검사장치{INSPECTION APPARATUS FOR FLAT PANEL DISPLAY} Substrate Inspection Equipment {INSPECTION APPARATUS FOR FLAT PANEL DISPLAY}

본 발명은 기판검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 정렬 및 고정을 위한 클램핑 기능이 동시에 가능한 기판검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate inspection apparatus, and more particularly, to a substrate inspection apparatus capable of simultaneously clamping functions for aligning and fixing a substrate.

일반적으로 반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, EL 등의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 각종 얼룩 및 스크래치 등의 결함을 발견하기 위하여 검사를 실시한다. 검사장치로는 목시검사, 즉 검사자의 육안을 통한 마크로 검사장치(Macro Inspection)와 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하는 인라인 자동광학검사장치(In-Line Automatic Optical Inspection) 장치가 있다.In general, when producing large substrates such as semiconductor wafers, LCDs, PDPs, and ELs, inspection is carried out to find foreign matters remaining on the substrates and defects such as various stains and scratches. The inspection apparatus includes visual inspection, that is, macro inspection through visual inspection of the inspector, and an in-line automatic optical inspection apparatus using an optical lens and a CCD camera.

인라인 자동광학검사장치(In-Line Automatic Optical Inspection)는 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡처(Capture)한 후 비전(Vision) 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장치이다.In-Line Automatic Optical Inspection uses an optical lens and a CCD camera to capture an image of an object to be inspected, and then applies a vision image processing algorithm to detect various defects that a user wants to find. It is a device that detects.

이러한 인라인 자동광학검사장치의 작동은 먼저 기판을 스테이지 상에 위치 시키고, 정렬장치로 기판을 정렬한다. 기판 정렬 후 기판의 양측 끝부분을 별도로 구비된 클램프로 클램핑 한 상태에서 기판을 이동시키며 기판의 결함 검사를 실시하게 된다.The operation of this inline auto-optical inspection device first places the substrate on the stage and aligns the substrate with the alignment device. After aligning the substrate, both ends of the substrate are clamped with separate clamps, and the substrate is moved to inspect the defect of the substrate.

그리고 마크로 검사장치는 진공흡착유지되는 기판홀더에 기판을 안착시키고, 기판홀더를 조절함으로 기판의 결함을 검사하는 장치로, 마크로 검사장치 역시 진공흡착과 클램프를 사용하여 기판을 유지한 상태에서 기판을 검사한다.In addition, the macro inspection device is a device that checks the defect of the substrate by mounting the substrate in the substrate holder to be kept vacuum suction, and adjust the substrate holder, the macro inspection device also uses the vacuum suction and clamp to hold the substrate Check it.

상기와 같이 종래의 기판검사장치들은 기판을 정렬하기 위한 정렬장치 및 클램핑을 위한 클램프가 별도로 구비되어 있어 원가가 증가하는 문제가 있다.As described above, the conventional substrate inspection apparatuses are provided with an alignment device for aligning the substrate and a clamp for clamping separately, thereby increasing the cost.

또한, 정렬장치 및 클램프가 이원화되어 있음에 따라 이들을 순차적으로 작동시켜야 함으로 검사를 위한 세팅(Setting) 시간이 오래 걸리는 문제가 있다.In addition, since the alignment device and the clamp are dualized, the alignment device and the clamp have to be operated sequentially, thereby causing a long setting time for inspection.

본 발명의 목적은 기판의 정렬 및 고정을 위한 클램핑 기능이 동시에 가능한 기판검사장치를 제공하기 위한 것이다.It is an object of the present invention to provide a substrate inspection apparatus capable of simultaneously clamping functions for alignment and fixation of a substrate.

본 실시예에 따른 자동광학검사장치는 기판이 안착되는 스테이지를 구비한 기판검사장치에 있어서, 상기 기판의 특정영역 정밀검사를 위해 리뷰(Review)하기 위한 리뷰모듈, 상기 스테이지에 안착된 상기 기판을 정렬하고, 클램핑 하기 위한 정렬클램핑 모듈을 포함한다. An automatic optical inspection device according to the present embodiment is a substrate inspection device having a stage on which a substrate is seated, a review module for reviewing a specific area of the substrate for inspection, and the substrate seated on the stage. And an alignment clamping module for aligning and clamping.

상기 스테이지에는 상기 기판을 부양하기 위하여 에어가 분출되는 다수개의 홀이 구비되고, 상기 스테이지의 상부에는 상기 기판을 검사하기 위해 상기 기판의 장변 또는 단변의 폭 방향에 설치되는 다수개의 카메라로 이루어진 검사모듈을 포함한다.The stage is provided with a plurality of holes through which air is blown to support the substrate, and the inspection module consisting of a plurality of cameras installed in the width direction of the long side or short side of the substrate to inspect the substrate on the top of the stage It includes.

상기 정렬클램핑 모듈은 상기 기판의 측면을 수평 방향으로 밀어주기 위한 푸싱블록, 상기 푸싱블록을 수평방향으로 이동시키기 위한 수평 액추에이터, 상기 기판을 하향 압박하는 롤러, 상기 롤러를 승강시키기 위한 수직 액추에이터를 포함하고, 상기 리뷰모듈은 상기 기판의 평면을 이동하는 카메라이다.The alignment clamping module includes a pushing block for pushing a side of the substrate in a horizontal direction, a horizontal actuator for moving the pushing block in a horizontal direction, a roller pressing down the substrate, and a vertical actuator for lifting the roller. The review module is a camera that moves a plane of the substrate.

그리고 마크로 검사장치는(Macro Inspection) 기판이 안착되는 스테이지를 구비한 기판검사장치에 있어서, 상기 기판의 특정영역 정밀검사를 위해 리뷰(Review)하기 위한 리뷰모듈, 상기 스테이지에 안착된 상기 기판을 정렬하고, 클램핑 하기 위한 정렬클램핑 모듈을 포함한다.In addition, a macro inspection apparatus (Macro Inspection) is a substrate inspection apparatus having a stage on which the substrate is seated, a review module for review for a specific area of the substrate for inspection, the alignment of the substrate seated on the stage And an alignment clamping module for clamping.

상기 스테이지에는 상기 기판을 흡착하는 다수개의 진공포트가 구비되고, 상기 정렬클램핑 모듈은 상기 기판의 측면을 수평 방향으로 밀어주기 위한 푸싱블록, 상기 푸싱블록을 수평방향으로 이동시키기 위한 수평 액추에이터, 상기 기판을 하향 압박하는 롤러, 상기 롤러를 승강시키기 위한 수직 액추에이터를 포함한다.The stage is provided with a plurality of vacuum ports for adsorbing the substrate, the alignment clamping module is a pushing block for pushing the side of the substrate in the horizontal direction, a horizontal actuator for moving the pushing block in the horizontal direction, the substrate And a vertical actuator for elevating the roller.

상기 리뷰모듈은 상기 기판의 평면을 이동하는 카메라이다.The review module is a camera moving the plane of the substrate.

본 실시예에 따른 기판검사장치는 정렬과 클램핑을 동시에 할 수 있어 공정세팅 시간이 줄어들어 검사공정이 단축되는 효과가 있다.The substrate inspection apparatus according to the present embodiment can perform alignment and clamping at the same time, thereby reducing the process setting time, thereby reducing the inspection process.

또한, 정렬 및 클램핑 기능이 일원화된 모듈을 사용함에 따라 원가절감이 가능해지는 효과가 있다.In addition, there is an effect that the cost can be reduced by using a module that the alignment and clamping functions are unified.

도 1은 본 실시예에 따른 기판검사장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 A 부분 확대 사시도이다. 도 3a 내지 도 3c는 본 실시예에 따른 기판검사장치의 작동상태도이고, 도 4는 다른 실시예에 따른 기판검사장치의 측면도이다. 본 실시예의 기판검사장치(100)는 마크로 검사기(Macro Inspection) 및 자동광학검사기(Automated Optical Inspection)를 포함하는 것으로, 먼저 자동광학검사기(Automated Optical Inspection)에 대해 설명한다.1 is a perspective view of a substrate inspection apparatus according to the present embodiment, and FIG. 2 is an enlarged perspective view of portion A of FIG. 1. 3A to 3C are operation state diagrams of the substrate inspection apparatus according to the present embodiment, and FIG. 4 is a side view of the substrate inspection apparatus according to another embodiment. Substrate inspection apparatus 100 of the present embodiment includes a macro inspection (Macro Inspection) and an automatic optical inspection (Automated Optical Inspection), the first will be described for the automated optical inspection (Automated Optical Inspection).

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판검사장치(100)는 기판(G)이 안착되는 스테이지(102)를 구비하고 있다. 스테이지(102)는 지지프레임(104) 상부에 위치한다.1 and 2, the substrate inspection apparatus 100 according to the present embodiment includes a stage 102 on which the substrate G is seated. The stage 102 is located above the support frame 104.

스테이지(102)에는 다수개의 홀(102a)이 형성되어 있으며, 홀(102a)에서는 에어가 공급된다. 각각의 홀(102a)에는 에어를 공급하기 위한 에어공급부(400)의 공급라인이 연결되어 있다. 이에 따라, 에어공급부(400)에서 발생시킨 에어가 홀(102a)을 통해 분사됨으로 기판(G)은 스테이지(102) 상에서 부양되는 상태를 유 지하게 된다.The stage 102 is provided with a plurality of holes 102a, and air is supplied from the holes 102a. Each of the holes 102a is connected to a supply line of the air supply unit 400 for supplying air. Accordingly, the air generated by the air supply unit 400 is injected through the hole 102a so that the substrate G is maintained on the stage 102.

지지프레임(104)에는 스테이지(102)에 안착된 기판(G)의 결함 유무를 검사하기 위한 검사모듈(110)이 설치된다. 검사모듈(110)은 다수개의 CCD 카메라를 사용하며, 각각의 CCD 카메라는 고정된 형태로 기판(G)의 단변(도시된 도면을 기준)의 일정부분의 검사를 수행하게 된다.The support frame 104 is provided with an inspection module 110 for inspecting the presence or absence of a defect of the substrate G seated on the stage 102. The inspection module 110 uses a plurality of CCD cameras, and each CCD camera performs inspection of a predetermined portion of the short side (based on the drawing) of the substrate G in a fixed form.

지지프레임(104)에는 리뷰모듈(120, Review Module)이 구비되는데, 리뷰모듈(120)은 검사모듈(110)에 의해 1차 검사가 수행되고 난 후 특정 영역에서 정밀검사를 실시할 경우 사용한다.The support frame 104 is provided with a review module (120, Review Module), the review module 120 is used to perform a detailed inspection in a specific area after the first inspection is performed by the inspection module 110. .

리뷰모듈(120)은 검사모듈(110)의 검사에서 결함이 발생된 지점의 좌표를 전달받아 기판(G)의 폭 방향으로 이동해 가며 정밀검사를 실시하는 것으로, 검사모듈(110) 보다 높은 정밀도를 가지는 카메라를 사용한다.The review module 120 receives the coordinates of the point where the defect is generated in the inspection of the inspection module 110 and performs a precise inspection by moving in the width direction of the substrate G, and has higher precision than the inspection module 110. Uses a camera.

그리고 지지프레임(104)에는 스테이지(102)에 기판(G)을 정렬함과 동시에 클램핑 하기 위한 정렬클램핑 모듈(200)이 설치된다.In addition, the support frame 104 is provided with an alignment clamping module 200 for aligning and clamping the substrate G on the stage 102.

정렬클램핑 모듈(200)은 에어에 의해 부양된 상태의 기판(G)을 정렬하고, 이와 동시에 기판(G)을 클램핑한 상태에서 스테이지(102)의 상부를 이동하는 기능을 수행한다.The alignment clamping module 200 aligns the substrate G in a state suspended by air, and simultaneously moves the upper portion of the stage 102 in a state in which the substrate G is clamped.

정렬클램핑 모듈(200)은 스테이지(102)의 양측에 길이가 긴 방향으로 지지프레임(104)에 설치된 가이드 레일(130) 상에서 이동한다.The alignment clamping module 200 moves on the guide rails 130 installed on the support frame 104 in the longitudinal direction on both sides of the stage 102.

정렬클램핑 모듈(200)은 기판(G)의 측면을 수평 방향으로 밀어주기 위한 푸싱블록(202), 푸싱블록(202)을 수평방향으로 이동시키기 위한 수평 액추에이 터(204), 기판(G)을 하향 압박하는 롤러(206), 롤러(206)를 승강시키기 위한 수직 액추에이터(208)를 포함한다.The alignment clamping module 200 includes a pushing block 202 for pushing the side surface of the substrate G in a horizontal direction, a horizontal actuator 204 for moving the pushing block 202 in a horizontal direction, and a substrate G. And a vertical actuator 208 for elevating the roller 206.

수평 액추에이터(204) 및 수직 액추에이터(208)는 모터, 유압 및 공압 실린더, 리니어 액추에이터 형태 등을 사용할 수 있다.The horizontal actuator 204 and the vertical actuator 208 may use motor, hydraulic and pneumatic cylinders, linear actuator forms, and the like.

기판(G)의 측면을 밀어 정렬을 하기 위한 푸싱블록(202)과 기판(G)을 압박하여 고정하기 위한 롤러(206)는 연결블록(212)에 설치된다. 연결블록(212)에는 롤러(206)에 의해 압박되는 기판(G)을 하부측에서 지지하기 위한 롤러 지지블록(222)이 설치된다. 롤러 지지블록(222)은 수평블록(216)에도 설치할 수 있으며, 그 외에 정렬클램핑 모듈(200)과 연결되지 않은 독립적인 형태로 설치하여 롤러(206)와 마주보도록 할 수도 있다.A pushing block 202 for pushing the side surface of the substrate G and a roller 206 for pressing and fixing the substrate G are installed at the connection block 212. The connection block 212 is provided with a roller support block 222 for supporting the substrate (G) pressed by the roller 206 from the lower side. The roller support block 222 may be installed on the horizontal block 216, or may be installed in an independent form not connected to the alignment clamping module 200 so as to face the roller 206.

연결블록(212)은 수직블록(214)에 설치되며, 수직블록(214)에는 수직 액추에이터(208)가 설치되어 수직블록(214) 상에서 연결블록(212)이 상하 방향으로 승강 가능하게 한다.The connecting block 212 is installed in the vertical block 214, the vertical block 214 is installed with a vertical actuator 208 to enable the connecting block 212 on the vertical block 214 can be elevated in the vertical direction.

그리고 수직블록(214)은 수평블록(216)에 설치되며, 수평블록(216) 상에 설치된 수평 액추에이터(204)에 의해 기판(G) 측으로 수평이동을 하게 된다.The vertical block 214 is installed in the horizontal block 216 and is horizontally moved toward the substrate G by the horizontal actuator 204 installed on the horizontal block 216.

이하에서는 본 실시예에 따른 기판검사장치(100)의 작동 상태를 도 3a 내지 도3c를 사용하여 설명하기로 한다.Hereinafter, the operating state of the substrate inspection apparatus 100 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 3A to 3C.

도 3a와 같이 기판(G)이 스테이지(102)의 상부에 로딩(loading)되면, 기판(G)의 한 쪽 측면은 정렬되지 않은 상태(P1)에 위치하게 된다. 이러한 상태에서 수평블록(216) 상의 수평 액추에이터(204)를 작동시켜 수직블록(214)을 기판(G) 측으로 작동시킨다. 이에 따라 푸싱블록(202)은 기판(G)의 측면을 도 3b와 같이 밀어 정렬위치(P2)에 위치하게 한다. 이때 스테이지(102)에 형성된 홀(102a)에서는 에어가 분사되어 기판(G)을 부양시킬 수 있는데, 이러한 이유는 기판(G)이 스테이지(102)에 접촉하여 스크래치(Scratch)등이 발생할 수 있기 때문이다. 다른 방법으로 스테이지(102) 또는 지지프레임(104)에 볼 플런저(ball plunger)등과 같은 점접촉 수단을 설치하여 푸싱블록(202)에 의해 밀려지는 기판(G)에 스크래치가 발생하는 것을 방지 하는 방법을 사용할 수도 있다. 또한, 스크래치 등을 방지할 수 있는 방법은 점접촉이 아닌 스테이지(102)에 대해 기판(G)이 슬라이딩 되는 다른 형태로도 적용하여 사용할 수 있다.When the substrate G is loaded on the stage 102 as shown in FIG. 3A, one side of the substrate G is in an unaligned state P1. In this state, the horizontal actuator 204 on the horizontal block 216 is operated to operate the vertical block 214 toward the substrate G side. Accordingly, the pushing block 202 pushes the side surface of the substrate G as shown in FIG. 3B so as to be positioned at the alignment position P2. In this case, air may be injected from the hole 102a formed in the stage 102 to support the substrate G. For this reason, the substrate G may come into contact with the stage 102 and scratch may occur. Because. Alternatively, a point contact means such as a ball plunger or the like may be provided on the stage 102 or the support frame 104 to prevent scratches on the substrate G pushed by the pushing block 202. You can also use In addition, the method which can prevent a scratch etc. can be applied and used also in the other form in which the board | substrate G slides with respect to the stage 102 instead of point contact.

기판(G)이 정렬위치(P2)에 위치할 경우 기판(G)의 한 쪽 측면의 상부에는 롤러(206)가 위치하고, 하부에는 롤러 지지블록(222)이 위치한 상태가 된다.When the substrate G is located at the alignment position P2, the roller 206 is positioned at an upper side of one side of the substrate G, and the roller support block 222 is positioned at the lower side thereof.

상기와 같은 상태에서 수직 액추에이터(208)를 작동시켜 연결블록(212)이 기판(G)의 단부측으로 하강하게 한다. 이에 따라 연결블록(212)에 설치된 롤러(206)가 기판(G)의 단부를 누르게 되며, 기판(G)은 도3c와 같이 롤러(206)와 롤러 지지블록(222)의 사이에 위치하여 클램핑된다.In such a state, the vertical actuator 208 is operated to cause the connection block 212 to descend to the end side of the substrate G. Accordingly, the roller 206 installed on the connection block 212 presses the end of the substrate G. The substrate G is clamped by being positioned between the roller 206 and the roller support block 222 as shown in FIG. 3C. do.

이와 같이, 기판(G)의 좌우측이 클램핑된 상태에서 기판(G)을 이동하며 검사모듈(110)을 사용하여 기판(G)의 결함을 검사하고, 리뷰모듈(120)을 사용하여 정밀검사를 실시하게 된다.As such, the substrate G is moved while the left and right sides of the substrate G are clamped and the defects of the substrate G are inspected using the inspection module 110, and the inspection module 120 is used to perform a detailed inspection. Will be implemented.

도 4는 본 실시예에 따른 기판검사장치(100)의 정렬클램핑 모듈(200)의 다른 실시예를 나타낸 것이다.4 shows another embodiment of the alignment clamping module 200 of the substrate inspection apparatus 100 according to the present embodiment.

도시된 바와 같이 연결블록(212)에 롤러(206)를 설치함에 있어, 롤러(206)와 연결블록(212)의 사이에 스프링(240)을 구비한 형태를 나타낸 것이다.In the installation of the roller 206 to the connection block 212 as shown, it is shown a form having a spring 240 between the roller 206 and the connection block 212.

이와 같이, 롤러(206)가 스프링(240)에 의해 탄성 지지를 받을 경우 스프링(240)이 압축되는 만큼의 높이가 발생하게 되며, 이러한 높이에 의해 검사대상 기판(G)이 두꺼운 형태가 되더라도 클램핑이 가능하게 된다.As such, when the roller 206 is elastically supported by the spring 240, a height as much as the spring 240 is compressed is generated, and the clamping is performed even if the inspection target substrate G becomes thick. This becomes possible.

이하에서는 마크로 검사기(Macro Inspection)를 예를 들어 설명한다. 도 5는 본 실시예에 따른 기판검사장치의 측면도이고, 도 6은 도 5를 구성하고 있는 기판검사장치의 기판홀더(1200)의 사시도이다. 도 7a 및 도 7b는 본 실시예에 따른 기판검사장치의 작동상태도이다.Hereinafter, a macro inspection will be described with an example. FIG. 5 is a side view of the substrate inspection apparatus according to the present embodiment, and FIG. 6 is a perspective view of the substrate holder 1200 of the substrate inspection apparatus constituting FIG. 5. 7A and 7B are operation state diagrams of the substrate inspection apparatus according to the present embodiment.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판검사장치(1100)는 외곽틀을 이루는 외곽 프레임(1156)을 구비하고 있다. 외곽 프레임(1156)에는 검사자(1164)의 육안에 의해 기판(G)의 결함유무 판별이 가능하도록 기판홀더(1200)에 안착된 기판에 조명을 제공하는 검사용 메인광원(1162)이 설치된다. 그리고 외곽 프레임(1156)에는 메인광원(1162)의 조명을 기판홀더(1200)에 흡착된 기판(G)으로 전달하기 위한 반사판(1158)이 설치되어 있다. 반사판(1158) 및 메인광원(1162)은 복수개가 설치된다.5 and 6, the substrate inspection apparatus 1100 according to the present exemplary embodiment includes an outer frame 1156 forming an outer frame. The outer frame 1156 is provided with an inspection main light source 1162 for providing illumination to the substrate seated on the substrate holder 1200 so that the defect of the substrate G can be determined by the naked eye of the inspector 1164. The outer frame 1156 is provided with a reflecting plate 1158 for transmitting the illumination of the main light source 1162 to the substrate G absorbed by the substrate holder 1200. The reflecting plate 1158 and the main light source 1162 are provided in plural numbers.

또한, 외곽 프레임(1156)에는 다수개의 진공포트(1202, vacuum pad)를 가지 는 진공라인(1204)이 복수개 배치된 기판홀더(1200)가 설치된다. 기판홀더(1200)는 외곽틀을 이루는 프레임(1206)을 구비하고 있으며, 프레임(1206)의 내측에는 진공라인(1204)이 병렬 형태로 일정한 간격으로 다수개가 배치되어 있다.In addition, the outer frame 1156 is provided with a substrate holder 1200 in which a plurality of vacuum lines 1204 having a plurality of vacuum ports 1202 and vacuum pads are disposed. The substrate holder 1200 includes a frame 1206 forming an outer frame, and a plurality of vacuum lines 1204 are disposed at regular intervals in parallel in the frame 1206.

정렬클램핑 모듈(1200)은 기판홀더(1200)의 프레임(1206)에 설치되어 기판(G)의 측면을 수평 방향으로 밀어주기 위한 푸싱블록(1202), 푸싱블록(1202)을 수평방향으로 이동시키기 위한 수평 액추에이터(1204), 기판(G)을 하향 압박하는 롤러(1206), 롤러(1206)를 승강시키기 위한 수직 액추에이터(1208)를 포함한다.The alignment clamping module 1200 is installed in the frame 1206 of the substrate holder 1200 to move the pushing block 1202 and the pushing block 1202 in the horizontal direction to push the side surface of the substrate G in the horizontal direction. A horizontal actuator 1204, a roller 1206 for pressing down the substrate G, and a vertical actuator 1208 for lifting and lowering the roller 1206.

수평 액추에이터(1204) 및 수직 액추에이터(1208)는 모터, 유압 및 공압 실린더, 리니어 액추에이터 형태 등을 사용할 수 있다.The horizontal actuator 1204 and the vertical actuator 1208 may use motor, hydraulic and pneumatic cylinders, linear actuator forms, and the like.

기판(G)의 측면을 밀어 정렬을 하기 위한 푸싱블록(1202)과 기판(G)을 압박하여 고정하기 위한 롤러(1206)는 연결블록(1212)에 설치된다. 프레임(1206)에는 롤러(1206)에 의해 압박되는 기판(G)을 하부측에서 지지하기 위한 롤러 지지블록(1222)이 설치된다. A pushing block 1202 for aligning and pushing the side of the substrate G and a roller 1206 for pressing and fixing the substrate G are installed in the connection block 1212. The frame 1206 is provided with a roller support block 1222 for supporting the substrate G pressed by the roller 1206 from the lower side.

연결블록(1212)은 수직블록(1214)에 설치되며, 수직블록(1214)에는 수직 액추에이터(1208)가 설치되어 수직블록(1214) 상에서 연결블록(1212)이 상하 방향으로 승강 가능하게 한다.The connection block 1212 is installed in the vertical block 1214, and the vertical block 1214 is installed with a vertical actuator 1208 to enable the connection block 1212 on the vertical block 1214 in the vertical direction.

그리고 수직블록(1214)은 수평블록(1216)에 설치되며, 수평블록(1216) 상에 설치된 수평 액추에이터(1204)에 의해 기판(G) 측으로 수평이동을 하게 된다.The vertical block 1214 is installed in the horizontal block 1216 and is horizontally moved toward the substrate G by the horizontal actuator 1204 installed on the horizontal block 1216.

기판홀더(1200)의 양측에는 기판홀더(1200)를 회전 및 슬라이딩 가능하도록 지지하는 지지바(1210)가 구비된다. 이러한 형태의 기판홀더(1200)에 기판(G)을 안착시키고 슬라이딩 시켜가며 기판 상부측 및 하부측의 결함을 찾아내게 된다. 또한, 어느 한 면의 결함 검사가 완료될 경우 기판을 회전시켜 배면측의 결함도 찾아내게 된다. 기판홀더(1200)는 별도의 구동부(미도시)를 통해 슬라이딩, 회전 작동이 가능하게 된다. 미설명부호 1210a는 지지바(1210)가 이동하는 홀이다.Both sides of the substrate holder 1200 are provided with support bars 1210 for supporting the substrate holder 1200 to be rotatable and slidable. The substrate G is seated on the substrate holder 1200 and slides to find defects on the upper and lower sides of the substrate. In addition, when defect inspection on either side is completed, the substrate is rotated to find a defect on the back side. The substrate holder 1200 may be slid and rotated through a separate driver (not shown). Reference numeral 1210a is a hole through which the support bar 1210 moves.

검사자(1164)와 기판홀더(1200)의 사이에는 메인광원(1162)을 통해 결함으로 판단된 부분을 정밀하게 리뷰할 경우 기판(G)이 근접된 상태에서 검사를 실시하기 위한 리뷰모듈(1330, Review Module)과 근접광원(1340)을 구비한 평면이동부(1300)가 설치된다. 리뷰모듈(1330)은 카메라를 사용할 수 있다. When the inspector 1164 and the substrate holder 1200 review the portion determined as a defect through the main light source 1162, the review module 1330 for inspecting the substrate G in close proximity to the inspector 1164 and the substrate holder 1200. Review module) and a planar moving part 1300 having a proximity light source 1340 is installed. The review module 1330 may use a camera.

평면이동부(1300)는 리뷰모듈(1330) 및 근접광원(1340)이 설치되는 베이스(1360), 베이스(1360)가 기판(G)에 대해 수평 및 수직이동이 가능하도록 지지하는 수평프레임(1362, 1364) 및 수직프레임(1368)을 포함한다. 베이스(1360) 및 수직 프레임(1368)은 구동모듈(미도시)에 의해 구동한다.The plane moving unit 1300 may include a base 1360 on which the review module 1330 and the proximity light source 1340 are installed, and a horizontal frame 1362 supporting the base 1360 to move horizontally and vertically with respect to the substrate G. 1364 and vertical frame 1368. The base 1360 and the vertical frame 1368 are driven by a driving module (not shown).

평면이동부(1300)는 리뷰검사를 위해 기판홀더(1200)가 직립한 상태로 검사자(1164)측으로 근접시킨 후 결함으로 인식된 기판(G)의 해당부분에 리뷰모듈(1330)과 근접광원(1340)을 이동시키는 역할을 한다.The planar moving part 1300 moves closer to the inspector 1164 with the substrate holder 1200 upright for the review inspection, and then the review module 1330 and the adjacent light source at a corresponding portion of the substrate G which is recognized as a defect. 1340 to move.

이하에서는 본 실시예에 따른 기판검사장치(1100)의 작동 상태에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, the operating state of the substrate inspection apparatus 1100 according to the present embodiment will be described.

도7a와 같이 기판(G)이 기판홀더(1200)에 위치하면, 푸싱블록(1202)이 기판측으로 작동하여 기판(G)을 정렬한다. 이러한 상태에서 도 7b와 같이 연결블록(1212)이 하강하여 기판(G)을 가압한다. 이 경우 기판(G)은 롤러(1206)와 롤러 지지블록(1222)에 의해 클램핑된다.As shown in FIG. 7A, when the substrate G is positioned in the substrate holder 1200, the pushing block 1202 operates toward the substrate to align the substrate G. In this state, as illustrated in FIG. 7B, the connection block 1212 descends to press the substrate G. In this case, the substrate G is clamped by the roller 1206 and the roller support block 1222.

이러한 상태에서 진공펌프(미도시)를 통해 펌핑력에 따른 진공상태가 진공포트(1202)에 전달되어 기판(G)이 진공흡착된다.In this state, the vacuum state according to the pumping force is transferred to the vacuum port 1202 through the vacuum pump (not shown), and the substrate G is vacuum-adsorbed.

이후 검사자(1164)는 기판홀더(1200)를 경사진 형태로 위치하여 기판(G)의 상부 또는 하부 측에서부터 검사를 실시한다. 기판홀더(1200)의 슬라이딩 운동에 따라 어느 한 쪽 면에 대한 검사가 완료되면, 검사자(1164)는 기판홀더(1200)가 회전하도록 하여 기판(G)의 배면을 검사한다. 검사 도중 기판(G)의 어느 한 부분에 결함이 검출되면, 기판홀더(1200)를 검사자(164)에게 근접하도록 하여 직립상태가 되도록 한 후 리뷰모듈(1330) 및 근접광원(1340)을 결함부분으로 이동시켜 정밀검사를 실시하게 된다. Thereafter, the inspector 1164 places the substrate holder 1200 in an inclined form and performs inspection from the upper or lower side of the substrate G. When the inspection of either surface is completed according to the sliding motion of the substrate holder 1200, the inspector 1164 inspects the rear surface of the substrate G by rotating the substrate holder 1200. If a defect is detected in any part of the substrate G during the inspection, the substrate holder 1200 is brought close to the inspector 164 to be upright, and then the review module 1330 and the proximity light source 1340 are defective. The inspection will be carried out to perform the overhaul.

도 1은 본 실시예에 따른 기판검사장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a substrate inspection apparatus according to the present embodiment.

도 2는 본 실시예에 따른 기판검사장치 요부 확대 사시도이다.2 is an enlarged perspective view of the main part of the substrate inspection apparatus according to the present embodiment.

도 3a 내지 도 3c는 본 실시예에 따른 기판검사장치의 작동상태도이다.3A to 3C are operation state diagrams of the substrate inspection apparatus according to the present embodiment.

도 4는 다른 실시예에 따른 기판검사장치의 측면도이다.4 is a side view of a substrate inspection apparatus according to another embodiment.

도 5는 본 실시예에 따른 기판검사장치의 측면도이다.5 is a side view of the substrate inspection apparatus according to the present embodiment.

도 6은 도 5를 구성하고 있는 기판검사장치의 기판홀더의 사시도이다. FIG. 6 is a perspective view of a substrate holder of the substrate inspecting apparatus of FIG. 5. FIG.

도 7a 및 도 7b는 본 실시예에 따른 기판검사장치의 작동상태도이다.7A and 7B are operation state diagrams of the substrate inspection apparatus according to the present embodiment.

Claims (8)

기판이 안착되는 스테이지를 구비한 기판검사장치에 있어서, A substrate inspection apparatus having a stage on which a substrate is seated, 상기 기판의 검사를 위한 리뷰모듈; 및 A review module for inspecting the substrate; And 상기 스테이지에 안착된 상기 기판을 정렬하고, 클램핑하기 위한 정렬클램핑 모듈;을 포함하며,And an alignment clamping module for aligning and clamping the substrate seated on the stage. 상기 정렬클램핑 모듈은 상기 기판의 측면을 밀어주기 위한 푸싱블록과, 상기 스테이지를 향하여 상기 기판을 압박하는 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치. The alignment clamping module includes a pushing block for pushing the side of the substrate, and a substrate inspection apparatus comprising a roller for pressing the substrate toward the stage. 제 1 항에 있어서, 상기 스테이지에는 상기 기판을 흡착하는 다수개의 진공포트가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.The substrate inspection apparatus according to claim 1, wherein the stage is provided with a plurality of vacuum ports for adsorbing the substrate. 제 2 항에 있어서, 상기 기판검사장치는 마크로 검사기(Macro Inspection)인 것을 특징으로 하는 기판검사장치.3. A substrate inspection apparatus according to claim 2, wherein the substrate inspection apparatus is a macro inspection. 제 1 항에 있어서, 상기 스테이지에는 상기 기판을 부양하기 위하여 에어가 분출되는 다수개의 홀이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.2. The substrate inspection apparatus of claim 1, wherein the stage is provided with a plurality of holes through which air is ejected to support the substrate. 제 4 항에 있어서, 상기 기판검사장치는 패턴 검사기인 것을 특징으로 하는 기판검사장치.5. The substrate inspection apparatus according to claim 4, wherein the substrate inspection apparatus is a pattern inspector. 제 4 항에 있어서, 상기 스테이지의 상부에는 상기 기판을 검사하기 위해 상기 기판의 장변 또는 단변의 폭 방향에 설치되는 다수개의 카메라로 이루어진 검사모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.The substrate inspection apparatus of claim 4, wherein an upper portion of the stage includes an inspection module including a plurality of cameras installed in a width direction of a long side or a short side of the substrate to inspect the substrate. 제 1 항에 있어서, 상기 정렬클램핑 모듈은 상기 푸싱블록을 수평방향으로 이동시키기 위한 수평 액추에이터와, 상기 롤러를 승강시키기 위한 수직 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.The substrate inspection apparatus of claim 1, wherein the alignment clamping module comprises a horizontal actuator for moving the pushing block in a horizontal direction, and a vertical actuator for elevating the roller. 제 1 항에 있어서, 상기 리뷰모듈은 상기 기판에 대하여 수직 또는 수평으로 이동하는 카메라인 것을 특징으로 하는 기판검사장치.The apparatus of claim 1, wherein the review module is a camera moving vertically or horizontally with respect to the substrate.
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