KR20130022126A - Probe unit and apparatus for testing electrical characteristics of an object including the same - Google Patents

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KR20130022126A
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전효재
이동주
이태호
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솔브레인이엔지 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A probe unit and a test device including the same are provided to accurately inspect the electrical characteristics of a device under test like an OLED panel in which terminals are arranged on the back side. CONSTITUTION: A probe unit(100) includes a fixing member(115), a moving block(120), and probes. The fixing member fixes a device under test in which terminals are arranged on the back side. The moving block is arranged to be movable on the back side of the fixing member. The probes are installed in a moving block and contact with the terminals of the device under test.

Description

프로브 유닛 및 이를 포함하는 검사 장치{PROBE UNIT AND APPARATUS FOR TESTING ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF AN OBJECT INCLUDING THE SAME}PROBE UNIT AND APPARATUS FOR TESTING ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF AN OBJECT INCLUDING THE SAME}
본 발명은 프로브 유닛 및 이를 포함하는 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, OLED 패널의 후면에 배치된 단자들과 전기적으로 접촉하는 프로브 유닛, 및 이러한 프로브 유닛을 포함하여 OLED 패널의 전기적 특성을 검사하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a probe unit and an inspection apparatus including the same, and more particularly, a probe unit in electrical contact with terminals disposed on a rear surface of the OLED panel, and the electrical characteristics of the OLED panel including the probe unit. It relates to a device for inspecting.
일반적으로, OLED 패널과 같은 평판 표시 패널에 대한 검사에서는, OLED 패널의 단자들에 전기 신호를 인가한다. 전기 신호는 단자들과 접촉하는 프로브 유닛(probe unit)을 통해서 OLED 패널에 인가된다.In general, in inspections for flat panel displays such as OLED panels, an electrical signal is applied to the terminals of the OLED panel. The electrical signal is applied to the OLED panel through a probe unit in contact with the terminals.
단자들은 OLED 패널의 전면 가장자리나 후면 가장자리에 배치되는 것이 일반적이다. 피검체의 후면에 배치된 단자들과 정확하게 접촉하여, 피검체의 전기적 특성을 정확하게 파악할 수 있는 검사 장치가 요구되어 왔다.The terminals are usually placed at the front edge or back edge of the OLED panel. There has been a need for an inspection apparatus capable of accurately grasping electrical characteristics of a subject by accurately contacting terminals arranged on the back side of the subject.
본 발명은 OLED 패널의 후면에 배치된 단자들과 정확하게 접촉할 수 있는 프로브 유닛을 제공한다.The present invention provides a probe unit capable of making accurate contact with terminals disposed on the rear side of an OLED panel.
또한, 본 발명은 상기된 프로브 유닛을 포함하여 OLED 패널의 전기적 특성을 검사하는 장치를 제공한다.The present invention also provides a device for inspecting the electrical properties of the OLED panel, including the probe unit described above.
본 발명의 일 견지에 따른 프로브 유닛은 고정 부재, 이동 블럭 및 프로브들을 포함한다. 고정 부재는 후면에 단자들이 배치된 피검체를 고정한다. 이동 블럭은 상기 고정 부재의 후방에 이동 가능하게 배치된다. 프로브들은 상기 이동 블럭에 설치되어, 상기 피검체의 단자들과 접촉한다.According to one aspect of the present invention, a probe unit includes a fixing member, a moving block, and probes. The fixing member fixes the subject under which the terminals are arranged on the rear surface. The moving block is arranged to be movable behind the fixing member. Probes are installed in the movable block to contact the terminals of the subject.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 고정 부재는 상기 피검체를 진공으로 흡착하는 진공척, 및 상기 진공척에 배치되어 상기 진공척에 안치된 상기 피검체를 지지하는 프로브 클램프를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the fixing member may include a vacuum chuck that sucks the subject under vacuum, and a probe clamp disposed on the vacuum chuck to support the subject placed on the vacuum chuck. .
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 프로브 클램프는 상기 피검체의 하부면을 지지하는 수평 바, 및 상기 수평 바의 양단으로부터 연장되어 상기 피검체의 양측면들을 지지하는 한 쌍의 수직 바들을 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the probe clamp may include a horizontal bar that supports the lower surface of the subject, and a pair of vertical bars that extend from both ends of the horizontal bar to support both sides of the subject. Can be.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 프로브 클램프는 상기 진공척에 설치된 수직 가이드 레일, 상기 수직 가이드 레일에 이동 가능하게 연결되고 상기 수평 바에 고정된 수직 가이드 블럭, 상기 진공척에 설치된 수평 가이드 레일, 및 상기 수평 가이드 레일에 이동 가능하게 연결되고 상기 수직 바들에 고정된 수평 가이드 블럭을 더 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the probe clamp is a vertical guide rail installed on the vacuum chuck, a vertical guide block movably connected to the vertical guide rail and fixed to the horizontal bar, a horizontal guide rail installed on the vacuum chuck And a horizontal guide block movably connected to the horizontal guide rail and fixed to the vertical bars.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 프로브 클램프는 상기 수직 가이드 블럭에 설치된 정렬 카메라를 더 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the probe clamp may further include an alignment camera installed in the vertical guide block.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 수평 바와 상기 수직 바들은 상기 피검체의 단자들을 노출시키기 위한 개구부를 가질 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the horizontal bar and the vertical bars may have an opening for exposing the terminals of the subject.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 수평 바와 상기 수직 바들은 상기 피검체의 단자들이 노출되도록 투명 재질을 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the horizontal bar and the vertical bars may include a transparent material to expose the terminals of the subject.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 프로브 유닛은 상기 이동 블럭을 상기 진공척을 향해 전후진시키는 프로브 구동부를 더 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the probe unit may further include a probe driving unit for advancing and moving the moving block toward the vacuum chuck.
본 발명의 다른 견지에 따른 검사 장치는 프로브 유닛, 반입 유닛, 반출 유닛 및 이송 유닛을 포함한다. 프로브 유닛은 후면에 단자들이 배치된 피검체의 전기적 특성을 검사한다. 상기 프로브 유닛은 상기 피검체를 고정하는 고정 부재, 상기 고정 부재의 후방에 이동 가능하게 배치된 이동 블럭, 및 상기 이동 블럭에 설치되어 상기 피검체의 단자들과 접촉한다. 반입 유닛은 상기 프로브 유닛으로 상기 피검체를 반입시킨다. 반출 유닛은 상기 프로브 유닛으로부터 상기 피검체를 반출시킨다. 이송 유닛은 상기 반입 유닛, 상기 프로브 유닛 및 상기 반출 유닛 각각의 사이에서 상기 피검체를 이송시키는 이송 유닛을 포함한다.An inspection apparatus according to another aspect of the present invention includes a probe unit, an import unit, an export unit and a transfer unit. The probe unit inspects the electrical characteristics of the subject under which the terminals are disposed on the rear surface. The probe unit is fixed to the object under test, a moving block disposed to be movable behind the fixing member, and installed on the moving block to contact the terminals of the object under test. The import unit carries the subject into the probe unit. The carrying out unit carries out the subject from the probe unit. The conveying unit includes a conveying unit which conveys the object under test between the carrying unit, the probe unit and the carrying unit.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 반입 유닛은 반입 프레임, 상기 반입 프레임 상에 배치된 반입 컨베이어, 상기 반입 프레임 상에 설치되어 상기 반입 컨베이어를 타고 이송된 상기 피검체의 측면들을 지지하는 반입 클램프, 상기 반입 프레임 상에 설치되어 상기 피검체의 하부면을 지지하는 지지핀, 및 상기 반입 프레임을 틸트시키는 구동부를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the carry-in unit is an carry-in frame, an carry-in conveyor disposed on the carry-in frame, an carry-on clamp installed on the carry-in frame to support the side surfaces of the subject to be carried on the carry-in conveyor. It may include a support pin installed on the carrying frame to support the lower surface of the subject, and a driving unit for tilting the carrying frame.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 반출 유닛은 반출 프레임, 상기 반출 프레임 상에 배치된 반출 컨베이어, 및 상기 반출 프레임 상에 설치되어 상기 피검체의 측면들을 지지하는 반출 클램프를 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the carrying out unit may include an carrying out frame, an carrying out conveyor disposed on the carrying out frame, and an carrying out clamp installed on the carrying out frame to support side surfaces of the subject.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 이송 유닛은 상기 반입 유닛, 상기 프로브 유닛 및 상기 반출 유닛의 전면을 따라 배치된 이송 프레임, 상기 반입 유닛과 상기 프로브 유닛 사이에서 왕복 이동하는 반입 캐리어, 상기 이송 프레임에 장착되어 상기 반입 캐리어를 이동시키는 반입 구동부, 상기 프로브 유닛과 상기 반출 유닛 사이에서 왕복 이동하는 반출 캐리어, 및 상기 이송 프레임에 장착되어 상기 반출 캐리어를 이동시키는 반출 구동부를 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the transfer unit may include a transfer frame disposed along the front surface of the carry unit, the probe unit and the carry unit, an carry carrier reciprocating between the carry unit and the probe unit, and And a loading drive unit mounted on a transfer frame to move the carry carrier, an export carrier reciprocating between the probe unit and the export unit, and an export drive unit mounted on the transfer frame to move the carry carrier.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 반입 캐리어와 상기 반출 캐리어는 상기 피검체를 홀딩하는 홀더를 가질 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the carry carrier and the carry carrier may have a holder holding the subject.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 이송 유닛은 상기 피검체의 크기를 감지하는 센서, 및 상기 센서의 감지에 의해 상기 반입 캐리어와 상기 반출 캐리어의 크기를 조정하는 조정 구동부를 더 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the transfer unit may further include a sensor for sensing the size of the subject, and an adjustment driver for adjusting the size of the carry-in carrier and the carry-out carrier by sensing the sensor. have.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 검사 장치는 상기 피검체의 고유 인식 마크를 확인하는 인식 유닛을 더 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the inspection apparatus may further include a recognition unit for checking the unique recognition mark of the subject.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 검사 장치는 상기 프로브들과 접속된 상기 피검체, 및 상기 피검체의 단자들과 상기 프로브 유닛의 프로브들 간의 접촉을 촬영하기 위한 촬영 유닛을 더 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the inspection apparatus may further include an imaging unit connected to the probes and an imaging unit for photographing contact between terminals of the subject and the probes of the probe unit. have.
본 발명에 따르면, 피검체의 후방에 배치된 프로브 유닛이 피검체의 후면을 향해 상승하여, 피검체의 단자들과 정확하게 접촉하게 된다. 이러한 프로빙 동작 중에, 피검체는 프로브 클램프에 의해 견고하게 지지된다. 따라서, 후면에 단자들이 배치된 OLED 패널과 같은 피검체의 전기적 특성을 정확하게 검사할 수가 있다.According to the present invention, the probe unit disposed behind the subject is raised toward the rear side of the subject, so that the terminals of the subject are correctly contacted. During this probing operation, the subject is firmly supported by the probe clamp. Therefore, it is possible to accurately inspect the electrical characteristics of the subject, such as an OLED panel with terminals arranged on the back side.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛을 나타낸 측면도들이다.
도 3은 도 1의 프로브 유닛의 진공척과 이동 블럭을 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 이동 블럭에 설치된 프로브들을 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 3의 진공척에 배치된 프로브 클램프를 나타낸 사시도이다.
도 6은 도 5의 Ⅵ 부위를 확대해서 나타낸 정면도이다.
도 7은 도 1의 프로브 유닛을 포함하는 검사 장치를 나타낸 평면도이다.
도 8은 도 7의 검사 장치의 반입 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 9는 도 7의 검사 장치의 이송 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 10은 도 7의 검사 장치의 인식 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 11은 도 7의 검사 장치의 촬영 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 12는 도 7의 검사 장치의 반출 유닛을 나타낸 사시도이다.
1 and 2 are side views showing a probe unit according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view illustrating a vacuum chuck and a moving block of the probe unit of FIG. 1.
4 is a perspective view illustrating probes installed in the moving block of FIG. 3.
5 is a perspective view illustrating a probe clamp disposed on the vacuum chuck of FIG. 3.
FIG. 6 is an enlarged front view of part VI of FIG. 5.
7 is a plan view illustrating an inspection apparatus including the probe unit of FIG. 1.
FIG. 8 is a perspective view illustrating a carrying unit of the inspection device of FIG. 7. FIG.
9 is a perspective view illustrating a transfer unit of the inspection device of FIG. 7.
10 is a perspective view illustrating a recognition unit of the inspection device of FIG. 7.
11 is a perspective view illustrating a photographing unit of the inspection device of FIG. 7.
It is a perspective view which shows the carrying out unit of the inspection apparatus of FIG.
이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention will be described in more detail below with reference to the accompanying drawings showing embodiments of the invention. However, the present invention should not be construed as limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided so that those skilled in the art can fully understand the scope of the present invention, rather than being provided so as to enable the present invention to be fully completed.
하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 유사한 요소들에 대하여는 전체적으로 유사한 참조 부호들이 사용될 것이며 또한, "및/또는"이란 용어는 관련된 항목들 중 어느 하나 또는 그 이상의 조합을 포함한다.When an element is described as being placed on or connected to another element or layer, the element may be disposed or connected directly to the other element, and other elements or layers may be interposed therebetween It is possible. Alternatively, if one element is described as being placed directly on or connected to another element, there can be no other element between them. Similar reference numerals will be used throughout for similar elements, and the term “and / or” includes any one or more combinations of related items.
다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다. 이들 용어들은 단지 다른 요소로부터 하나의 요소를 구별하기 위하여 사용되는 것이다. 따라서 하기에서 설명되는 제1 요소, 조성, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서 제2 요소, 조성, 영역, 층 또는 부분으로 표현될 수 있을 것이다.The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and / or portions, but the items are not limited by these terms . These terms are only used to distinguish one element from another. Thus, the first element, composition, region, layer or portion described below may be represented by the second element, composition, region, layer or portion without departing from the scope of the invention.
공간적으로 상대적인 용어들, 예를 들면, "하부" 또는 "바닥" 그리고 "상부" 또는 "최상부" 등의 용어들은 도면들에 설명된 바와 같이 다른 요소들에 대하여 한 요소의 관계를 설명하기 위하여 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면에 도시된 방위에 더하여 장치의 다른 방위들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 도면들 중 하나에서 장치가 방향이 바뀐다면, 다른 요소들의 하부 쪽에 있는 것으로 설명된 요소들이 상기 다른 요소들의 상부 쪽에 있는 것으로 맞추어질 것이다. 따라서 "하부"라는 전형적인 용어는 도면의 특정 방위에 대하여 "하부" 및 "상부" 방위 모두를 포함할 수 있다. 이와 유사하게, 도면들 중 하나에서 장치가 방향이 바뀐다면, 다른 요소들의 "아래" 또는 "밑"으로서 설명된 요소들은 상기 다른 요소들의 "위"로 맞추어질 것이다. 그러므로 "아래" 또는 "밑"이란 전형적인 용어는 "아래"와 "위"의 방위 모두를 포함할 수 있다.Spatially relative terms, such as "bottom" or "bottom" and "top" or "top", may be used to describe the relationship of one element to another as described in the figures. Can be. Relative terms may include other orientations of the device in addition to the orientation shown in the figures. For example, if the device is reversed in one of the figures, the elements described as being on the lower side of the other elements will be fitted as being on the upper side of the other elements. Thus, the typical term "lower" may include both "lower" and "upper" orientations for a particular orientation in the figures. Similarly, if the device is reversed in one of the figures, the elements described as "below" or "below" of the other elements will be fitted "above" of the other elements. Thus, the typical term "below" or "below" may include both orientations of "below" and "above."
하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 하기에서 사용된 바와 같이, 단수의 형태로 표시되는 것은 특별히 명확하게 지시되지 않는 이상 복수의 형태도 포함한다. 또한, "포함한다" 및/또는 "포함하는"이란 용어가 사용되는 경우, 이는 언급된 형태들, 영역들, 조립체들, 단계들, 작용들, 요소들 및/또는 성분들의 존재를 특징짓는 것이며, 다른 하나 이상의 형태들, 영역들, 조립체들, 단계들, 작용들, 요소들, 성분들 및/또는 이들 그룹들의 추가를 배제하는 것은 아니다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. As used below, what is shown in the singular also includes the plural unless specifically indicated otherwise. In addition, where the terms "comprises" and / or "comprising" are used, they are characterized by the presence of the forms, regions, assemblies, steps, actions, elements and / or components mentioned. It is not intended to exclude the addition of other one or more forms, regions, assemblies, steps, actions, elements, components, and / or groups of these.
달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 상세한 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.Unless defined otherwise, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as would be understood by one of ordinary skill in the art having ordinary skill in the art. Such terms, such as those defined in conventional dictionaries, will be construed as having meanings consistent with their meanings in the context of the related art and detailed description, and are not to be interpreted as ideally or excessively intuitional in nature unless clearly defined. Will not.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화들은 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 것이 아니라 형상들에서의 편차들까지도 포함하는 것이다. 예를 들면, 평평한 것으로서 설명된 영역은 일반적으로 거칠기 및/또는 비선형적인 형태들을 가질 수 있다. 또한, 도해로서 설명된 뾰족한 모서리들은 둥글게 될 수도 있다. 따라서 도면들에 설명된 영역들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상들은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic illustrations of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, changes from the shapes of the illustrations, such as changes in manufacturing methods and / or tolerances, are those that can be reasonably expected. Accordingly, embodiments of the present invention are not limited to the specific shapes of the areas described as illustrations, but also include deviations in the shapes. For example, a region described as flat may generally have roughness and / or nonlinear shapes. Also, the sharp edges described as illustrations may be rounded. Thus, the regions described in the Figures are entirely schematic and their shapes are not intended to illustrate the exact shape of the regions and are not intended to limit the scope of the invention.
프로브 유닛Probe unit
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛을 나타낸 측면도들이고, 도 3은 도 1의 프로브 유닛의 진공척과 이동 블럭을 나타낸 사시도이며, 도 4는 도 3의 이동 블럭에 설치된 프로브들을 나타낸 사시도이고, 도 5는 도 3의 진공척에 배치된 프로브 클램프를 나타낸 사시도이며, 도 6은 도 5의 Ⅵ 부위를 확대해서 나타낸 정면도이다.1 and 2 are side views showing a probe unit according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a perspective view showing a vacuum chuck and a moving block of the probe unit of Figure 1, Figure 4 is a probe installed in the moving block of Figure 3 5 is a perspective view illustrating a probe clamp disposed in the vacuum chuck of FIG. 3, and FIG. 6 is an enlarged front view of a portion VI of FIG. 5.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 프로브 유닛(100)은 고정 부재(115), 이동 블럭(120) 및 프로브들(140)을 포함한다. 본 실시예에서, 고정 부재(115)는 진공척(11) 및 프로브 클램프(130)를 포함한다. 1 to 6, the probe unit 100 according to the present embodiment includes a fixing member 115, a moving block 120, and probes 140. In this embodiment, the fixing member 115 includes a vacuum chuck 11 and a probe clamp 130.
피검체가 진공척(110)의 상부면에 안치된다. 본 실시예에서, 피검체는 OLED 패널을 포함할 수 있다. 또한, OLED 패널의 단자들은 OLED 패널의 후면 가장자리에 배열된다. 진공척(110)은 피검체를 진공으로 흡착한다. 따라서, 진공척(110)에는 진공 펌프(미도시)가 연결된다. 진공을 피검체로 제공하기 위한 복수개의 흡착공들이 진공척(110)에 형성된다. 피검체의 단자들에 프로브(140)들이 접촉하기 위해서는, 단자들이 진공척(110)으로 가려지지 않도록 할 것이 요구된다. 따라서, 진공척(110)은 피검체의 후면 가장자리를 노출시킬 정도의 크기를 갖는다.The subject is placed on the upper surface of the vacuum chuck 110. In this embodiment, the subject may include an OLED panel. In addition, the terminals of the OLED panel are arranged at the rear edge of the OLED panel. The vacuum chuck 110 adsorbs a subject under vacuum. Therefore, a vacuum pump (not shown) is connected to the vacuum chuck 110. A plurality of adsorption holes for providing a vacuum to the subject are formed in the vacuum chuck 110. In order for the probes 140 to contact terminals of the object under test, it is required to prevent the terminals from being blocked by the vacuum chuck 110. Therefore, the vacuum chuck 110 is large enough to expose the rear edge of the subject.
본 실시예에서, 진공척(110)은 수직면에 대해서 소정의 예각을 이루면서 경사지게 배치된다. 진공척(110)의 배치 경사는 검사자의 검사 작업시, 검사자가 가장 편안하게 진공척(110)을 관찰할 수 있는 각도에 따라 결정될 수 있다. 진공척(110)의 경사 각도에 따라 이동 블럭(120)과 프로브 클램프(130) 및 프로브(140)들의 배치 각도가 결정된다. 또한, 진공척(110)으로 반입되는 피검체의 반입 각도도 진공척(110)의 경사 각도와 대응된다. 따라서, 수평하게 이송되는 피검체가 진공척(110)의 배치 각도와 대응하도록, 피검체를 틸트시키는 유닛이 검사 장치에 포함될 수 있다.In this embodiment, the vacuum chuck 110 is disposed to be inclined at a predetermined acute angle with respect to the vertical plane. The inclination of the vacuum chuck 110 may be determined according to an angle at which the inspector can observe the vacuum chuck 110 most comfortably during the inspection operation of the inspector. An arrangement angle of the moving block 120, the probe clamp 130, and the probes 140 is determined according to the inclination angle of the vacuum chuck 110. In addition, the carrying angle of the subject carried into the vacuum chuck 110 also corresponds to the inclination angle of the vacuum chuck 110. Therefore, the inspection apparatus may include a unit for tilting the inspected object so that the inspected object transported horizontally corresponds to the disposition angle of the vacuum chuck 110.
다른 실시예로서, 진공척(110)은 수직면과 실질적으로 직교를 이룰 수도 있다. 즉, 진공척(110)은 수평면 상에 배치될 수도 있다. 이러한 경우, 피검체를 틸트시킬 필요가 없게 되므로, 검사 장치는 틸트 유닛을 포함하지 않게 된다.In another embodiment, the vacuum chuck 110 may be substantially orthogonal to the vertical plane. That is, the vacuum chuck 110 may be disposed on a horizontal plane. In such a case, there is no need to tilt the subject, so that the inspection apparatus does not include the tilt unit.
이동 블럭(120)은 진공척(110)의 후면 후방에 이동 가능하게 배치된다. 이동 블럭(120)은 진공척(110)의 상부면의 경사 각도와 실질적으로 동일한 각도로 기울어진 상부면을 갖는다. 이동 블럭(120)은 진공척(110)에 고정되어, 진공척(110)과 함께 이동될 수 있다. 또는, 이동 블럭(120)은 진공척(110)에 연결되지 않고 별도로 이동될 수도 있다.The moving block 120 is disposed to be movable behind the rear surface of the vacuum chuck 110. The moving block 120 has an upper surface inclined at an angle substantially equal to the inclination angle of the upper surface of the vacuum chuck 110. The moving block 120 is fixed to the vacuum chuck 110 and can move together with the vacuum chuck 110. Alternatively, the moving block 120 may be moved separately without being connected to the vacuum chuck 110.
프로브 구동부(122)가 이동 블럭(120)을 진공척(110)을 향해서 전후진시킨다. 프로브 구동부(122)는 이동 블럭(120)에 가이드 레일, 리드 스크류 등을 매개로 연결될 수 있다. 본 실시예에서, 프로브 구동부(122)는 실린더, 모터 등을 포함할 수 있다.The probe driver 122 advances the moving block 120 toward the vacuum chuck 110. The probe driver 122 may be connected to the moving block 120 through a guide rail, a lead screw, or the like. In the present embodiment, the probe driver 122 may include a cylinder, a motor, or the like.
프로브(140)들은 이동 블럭(120)의 상부면에 배치된다. 프로브(140)들은 이동 블럭(120)과 함께 진공척(110)으로 상승하여, 진공척(110) 상에 안치된 피검체의 후면 가장자리의 단자들과 전기적으로 접촉하게 된다.The probes 140 are disposed on the upper surface of the moving block 120. The probes 140 are raised to the vacuum chuck 110 together with the moving block 120 to be in electrical contact with the terminals of the rear edge of the subject placed on the vacuum chuck 110.
프로브 클램프(130)는 진공척(110)의 상부면에 배치된다. 프로브 클램프(130)는 진공척(110) 상에 안치된 피검체를 지지한다. 본 실시예에서, 진공척(110)과 피검체가 경사지게 배치되므로, 프로브 클램프(130)는 피검체의 하부면과 양측면을 지지하여, 피검체의 낙하를 방지한다.The probe clamp 130 is disposed on the upper surface of the vacuum chuck 110. The probe clamp 130 supports the subject placed on the vacuum chuck 110. In this embodiment, since the vacuum chuck 110 and the subject are disposed to be inclined, the probe clamp 130 supports the lower and both sides of the subject, thereby preventing the subject from falling.
본 실시예에서, 프로브 클램프(130)는 수평 바(131) 및 한 쌍의 수직 바(132)들을 포함한다. 수평 바(131)는 진공척(110)의 상부면 하부에 수평하게 배치되어, 피검체의 하부면을 지지한다. 수직 바(132)들은 진공척(110)의 상부면 양측에 수직하게 배치되어, 피검체의 양측면들을 지지한다.In this embodiment, the probe clamp 130 includes a horizontal bar 131 and a pair of vertical bars 132. The horizontal bar 131 is horizontally disposed below the upper surface of the vacuum chuck 110 to support the lower surface of the subject. The vertical bars 132 are vertically disposed at both sides of the upper surface of the vacuum chuck 110 to support both sides of the subject.
한 쌍의 수직 가이드 레일(134)들이 진공척(110)의 양측에 수직하게 형성된다. 한 쌍의 수직 가이드 블럭(135)들이 수직 가이드 레일(134)들에 이동 가능하게 연결된다. 수평 바(131)의 양단과 수직 바(132)들의 하단이 수직 가이드 레일(134)들에 각각 고정된다. 따라서, 수평 바(131)와 수직 바(132)들은 수직 가이드 레일(134)들을 따라 수직 방향을 따라 이동될 수 있다.A pair of vertical guide rails 134 are formed perpendicular to both sides of the vacuum chuck 110. The pair of vertical guide blocks 135 are movably connected to the vertical guide rails 134. Both ends of the horizontal bar 131 and the lower ends of the vertical bars 132 are fixed to the vertical guide rails 134, respectively. Thus, the horizontal bars 131 and the vertical bars 132 may be moved along the vertical direction along the vertical guide rails 134.
한 쌍의 수평 가이드 레일(136)들이 진공척(110)의 상부에 수평하게 형성된다. 한 쌍의 수평 가이드 블럭(137)들이 수평 가이드 레일(136)들에 이동 가능하게 연결된다. 수직 바(132)들의 상단이 수평 가이드 블럭(137)들 각각에 고정된다. 따라서, 수직 바(132)들과 수평 바(131)는 수평 가이드 레일(136)들을 따라 수평 방향을 따라 이동될 수 있다.A pair of horizontal guide rails 136 are formed horizontally on top of the vacuum chuck 110. The pair of horizontal guide blocks 137 are movably connected to the horizontal guide rails 136. Upper ends of the vertical bars 132 are fixed to each of the horizontal guide blocks 137. Accordingly, the vertical bars 132 and the horizontal bar 131 may be moved along the horizontal direction along the horizontal guide rails 136.
수평 바(131)와 수직 바(132)들이 수평 방향과 수직 방향을 따라 이동될 수 있으므로, 여러 가지 크기의 피검체들을 견고하면서 효과적으로 클램핑할 수가 있게 된다.Since the horizontal bar 131 and the vertical bar 132 can be moved along the horizontal direction and the vertical direction, it is possible to clamp the subjects of various sizes firmly and effectively.
수평 바(131)와 수직 바(132)들이 수직 가이드 블럭(135)과 수평 가이드 블럭(137)에 직접 연결될 수도 있다. 피검체와 직접 접촉하는 수평 바(131)와 수직 바(132)들의 손상을 방지하기 위해서, 수평 바(131)와 수직 바(132)들은 지지대(138)를 매개로 수직 가이드 블럭(135)과 수평 가이드 블럭(137)에 연결될 수도 있다. 또한, 수평 바(131)와 수직 바(132)에 접촉한 피검체로부터 이물질이 발생되거나 정전기가 발생되지 않도록 하기 위해서, 수평 바(131)와 수직 바(132)는 무정전 재질을 포함할 수 있다. 또한, 수평 바(131)와 수직 바(132)들이 피검체에 부드럽게 접촉하도록, 수평 바(131)와 수직 바(132)들은 스프링을 매개로 수직 가이드 블럭(135)과 수평 가이드 블럭(137)에 탄성적으로 연결될 수도 있다.The horizontal bar 131 and the vertical bar 132 may be directly connected to the vertical guide block 135 and the horizontal guide block 137. In order to prevent damage to the horizontal bar 131 and the vertical bar 132 in direct contact with the subject, the horizontal bar 131 and the vertical bar 132 may be connected to the vertical guide block 135 through the support 138. It may be connected to the horizontal guide block 137. In addition, the horizontal bar 131 and the vertical bar 132 may include an uninterruptible material in order to prevent foreign matter or static electricity from being generated from the subject in contact with the horizontal bar 131 and the vertical bar 132. . In addition, the horizontal bars 131 and the vertical bars 132 are vertical guide blocks 135 and horizontal guide blocks 137 via springs so that the horizontal bars 131 and the vertical bars 132 smoothly contact the subject. It may be elastically connected to the.
정렬 카메라(139)들이 수직 가이드 블럭(135)들에 장착된다. 정렬 카메라(139)들은 피검체 또는 진공척(110)에 형성된 정렬 마크를 인식하여, 수평 바(131)와 수직 바(132)들이 피검체를 정확하게 클램핑하도록 한다.Alignment cameras 139 are mounted to the vertical guide blocks 135. The alignment cameras 139 recognize the alignment marks formed on the object or the vacuum chuck 110, so that the horizontal bars 131 and the vertical bars 132 clamp the object accurately.
한편, 수평 바(131)와 수직 바(132)들은 피검체의 가장자리를 가리게 된다. 그러면, 점등 검사에 사용되는 촬영 유닛이 피검체의 단자들과 프로브(140)들의 접촉 여부를 촬영할 수가 없다. 본 실시예에서는, 피검체의 단자들이 위치한 피검체의 가장자리가 노출되도록, 개구부(131a, 132a)들이 수평 바(131)와 수직 바(132)에 길게 형성된다.Meanwhile, the horizontal bars 131 and the vertical bars 132 cover the edges of the subject. Then, the photographing unit used for the lighting test cannot photograph whether the terminals of the subject are in contact with the probe 140. In this embodiment, the openings 131a and 132a are formed long in the horizontal bar 131 and the vertical bar 132 so that the edges of the test object where the terminals of the test object are located are exposed.
다른 실시예로서, 수평 바(131)와 수직 바(132)들이 투명 재질을 포함한다면, 피검체의 가장자리가 투명 재질의 수평 바(131)와 수직 바(132)들을 통해소 노출되므로, 촬영 유닛이 피검체의 가장자리를 촬영할 수 있다. 이러한 경우, 수평 바(131)와 수직 바(132)들은 개구부(131a, 132a)들을 갖지 않을 수 있다.In another embodiment, if the horizontal bar 131 and the vertical bar 132 include a transparent material, the edge of the subject is exposed through the horizontal bar 131 and the vertical bar 132 of the transparent material, so that the photographing unit The edge of this subject can be imaged. In this case, the horizontal bars 131 and the vertical bars 132 may not have the openings 131a and 132a.
검사 장치Inspection device
도 7은 도 1의 프로브 유닛을 포함하는 검사 장치를 나타낸 평면도이고, 도 8은 도 7의 검사 장치의 반입 유닛을 나타낸 사시도이며, 도 9는 도 7의 검사 장치의 이송 유닛을 나타낸 사시도이고, 도 10은 도 7의 검사 장치의 인식 유닛을 나타낸 사시도이며, 도 11은 도 7의 검사 장치의 촬영 유닛을 나타낸 사시도이고, 도 12는 도 7의 검사 장치의 반출 유닛을 나타낸 사시도이다.FIG. 7 is a plan view illustrating an inspection apparatus including the probe unit of FIG. 1, FIG. 8 is a perspective view illustrating a loading unit of the inspection apparatus of FIG. 7, FIG. 9 is a perspective view illustrating a transfer unit of the inspection apparatus of FIG. FIG. 10 is a perspective view illustrating the recognition unit of the inspection apparatus of FIG. 7, FIG. 11 is a perspective view illustrating the imaging unit of the inspection apparatus of FIG. 7, and FIG. 12 is a perspective view illustrating the carrying out unit of the inspection apparatus of FIG. 7.
도 7 내지 도 12를 참조하면, 본 실시예에 따른 검사 장치(200)는 반입 유닛(210), 프로브 유닛(100), 이송 유닛(220), 반출 유닛(230), 인식 유닛(240) 및 촬영 유닛(250)을 포함한다.7 to 12, the inspection apparatus 200 according to the present embodiment includes an import unit 210, a probe unit 100, a transfer unit 220, an export unit 230, a recognition unit 240, and The photographing unit 250 is included.
본 실시예에서, 프로브 유닛(100)은 도 1에 도시된 프로브 유닛과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함한다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략한다.In this embodiment, the probe unit 100 includes substantially the same components as the probe unit shown in FIG. 1. Accordingly, the same components are denoted by the same reference numerals, and repetitive descriptions of the same components are omitted.
반입 유닛(210)은 프로브 유닛(100)의 좌측에 배치되어, 피검체를 프로브 유닛(100)으로 반입시킨다. 반입 유닛(210)은 반입 프레임(212), 반입 컨베이어(214), 반입 클램프(216), 지지핀(218) 및 틸팅 구동부를 포함한다. The import unit 210 is disposed on the left side of the probe unit 100 to bring the subject into the probe unit 100. The carrying unit 210 includes a carrying frame 212, a carrying conveyor 214, a carrying clamp 216, a support pin 218 and a tilting drive.
전술한 바와 같이, 피검체는 경사지게 프로브 유닛(100)으로 반입되어야 하므로, 반입 프레임(212)은 피검체의 하부면을 지지하는 한 쌍의 지지대(212a)들을 갖는다. As described above, the subject to be inclined into the probe unit 100, the carrying frame 212 has a pair of supports (212a) for supporting the lower surface of the subject.
반입 컨베이어(214)는 반입 프레임(212) 상에 배치된다. 피검체는 반입 컨베이어(214)를 타고 반입 프레임(212) 상에 놓여지게 된다. Loading conveyor 214 is disposed on loading frame 212. The subject is placed on the loading frame 212 by the loading conveyor 214.
반입 클램프(216)는 반입 프레임(212)의 상단 및 양측에 배치되어, 피검체의 상부면과 양측면을 지지한다. 따라서, 피검체의 측면 전체가 반입 프레임(212)의 지지대(212a)와 반입 클램프(216)에 의해 견고히 지지된다. 본 실시예에서, 반입 클램프(216)는 피검체에 손상을 주지 않을 무정전 우레탄 재질을 포함할 수 있다.The carry-in clamp 216 is arrange | positioned at the upper end and both sides of the carry-in frame 212, and supports the upper surface and both sides of the to-be-tested object. Therefore, the whole side surface of a to-be-tested object is firmly supported by the support stand 212a of the carrying-in frame 212, and the carrying-in clamp 216. In the present embodiment, the loading clamp 216 may include an uninterrupted urethane material that will not damage the subject.
지지핀(218)은 반입 프레임(212)의 중앙부에 배치되어, 피검체의 하부면을 견고하게 지지한다. 본 실시예에서, 지지핀(218)도 피검체에 손상을 주지 않을 무정전 재질을 포함할 수 있다.The support pin 218 is disposed at the center of the carrying frame 212 to firmly support the lower surface of the subject. In this embodiment, the support pin 218 may also include an uninterruptible material that will not damage the subject.
틸팅 구동부는 반입 프레임(212)의 하부면에 연결되어, 반입 프레임(212)을 전술한 각도로 기울인다. 즉, 반입 프레임(212)은 수평하게 배치되어 있다가, 피검체가 반입 프레임(212) 상으로 반입되면, 틸팅 구동부에 의해 상부로 회전하게 된다.The tilting driver is connected to the lower surface of the carry frame 212 to tilt the carry frame 212 at the aforementioned angle. That is, the carrying frame 212 is arranged horizontally, and when the subject is carried on the carrying frame 212, the carry frame 212 is rotated upward by the tilting driver.
다른 실시예로서, 피검체를 수평하게 프로브 유닛(100) 내로 반입시킨다면, 반입 유닛(210)은 틸팅 구동부를 포함하지 않을 수 있다.As another example, when the test object is carried into the probe unit 100 horizontally, the loading unit 210 may not include the tilting driver.
이송 유닛(220)은 반입 유닛(210), 프로브 유닛(100) 및 반출 유닛(230)의 전면들에 배치된다. 이송 유닛(220)은 반입 유닛(210)으로부터 프로브 유닛(100)으로 피검체를 이송시키고, 또한 검사가 완료된 피검체를 프로브 유닛(100)으로부터 반출 유닛(230)으로 이송시킨다.The transfer unit 220 is disposed on the front surfaces of the import unit 210, the probe unit 100, and the export unit 230. The transfer unit 220 transfers the subject from the import unit 210 to the probe unit 100, and also transfers the inspected object from the probe unit 100 to the export unit 230.
본 실시예에서, 이송 유닛(220)은 이송 프레임(222), 반입 캐리어(224), 반입 홀더(225), 반입 구동부(226), 센서(223), 조정 구동부(227), 반출 캐리어(224a), 반출 홀더(225a) 및 반출 구동부(226a)를 포함한다.In the present embodiment, the transfer unit 220 is the transfer frame 222, the carry carrier 224, the carry holder 225, the carry drive 226, the sensor 223, the adjustment drive 227, and the carry carrier 224a. ), A carrying holder 225a and a carrying out driver 226a.
이송 프레임(222)은 반입 유닛(210), 프로브 유닛(100) 및 반출 유닛(230)의 전면에 걸쳐 배치된다. 본 실시예에서, 이송 프레임(222)은 길게 연장된 가이드 레일 구조를 갖는다.The transfer frame 222 is disposed over the front surface of the loading unit 210, the probe unit 100, and the loading unit 230. In this embodiment, the conveying frame 222 has a long elongated guide rail structure.
반입 캐리어(224)는 이송 프레임(222)에 이동 가능하게 연결된다. 본 실시예에서, 반입 캐리어(224)는 이송 프레임(222)에 이동 가능하게 연결되고 수직 방향을 따라 연장된 수직 캐리어, 및 수직 캐리어에 이동 가능하게 연결되고 수평하게 연장된 수평 캐리어를 포함한다.The carry carrier 224 is movably connected to the transfer frame 222. In this embodiment, the carry carrier 224 includes a vertical carrier movably connected to the transfer frame 222 and extending along the vertical direction, and a horizontal carrier movably connected to the vertical carrier and extending horizontally.
반입 홀더(225)는 반입 캐리어(224)의 수평 캐리어에 설치되어, 피검체의 상단을 파지한다. 본 실시예에서, 반입 홀더(225)는 스프링에 의해 피검체를 탄성적으로 파지하는 클립 구조를 가질 수 있다.The carrying holder 225 is installed on the horizontal carrier of the carrying carrier 224 to hold the upper end of the subject. In the present embodiment, the carrying holder 225 may have a clip structure that elastically grips the subject by a spring.
반입 구동부(226)는 이송 프레임(222)에 장착되어, 반입 캐리어(224)의 수직 캐리어에 연결된다. 반입 구동부(226)는 반입 캐리어(224)를 이송 프레임(222)을 따라 반입 유닛(210)으로부터 프로브 유닛(100)으로 이송시킨다.The carry drive 226 is mounted to the transfer frame 222 and is connected to the vertical carrier of the carry carrier 224. The loading drive unit 226 transfers the loading carrier 224 from the loading unit 210 to the probe unit 100 along the transfer frame 222.
본 실시예에서, 반출 캐리어(224a), 반출 홀더(225a) 및 반출 구동부(226a)는 반입 캐리어(224), 반입 홀더(225) 및 반입 구동부(226)와 각각 실질적으로 동일하다. 따라서, 반출 캐리어(224a), 반출 홀더(225a) 및 반출 구동부(226a)에 대한 설명은 생략한다.In this embodiment, the carry carrier 224a, the carry holder 225a and the carry driver 226a are substantially the same as the carry carrier 224, the carry holder 225 and the carry driver 226, respectively. Therefore, description of the carrying carrier 224a, the carrying holder 225a, and the carrying out drive part 226a is abbreviate | omitted.
센서(223)는 반입 캐리어(224)와 반출 캐리어(224a)에 각각 부착되어, 피검체의 크기를 감지한다. 조정 구동부(227)는 반입 캐리어(224)의 수직 캐리어와 반출 캐리어(224a)의 수직 캐리어에 각각 장착되어, 수평 캐리어들에 각각 연결된다. 센서(223)에 의해 감지된 제어 신호에 따라, 조정 구동부(227)는 반입 캐리어(224)와 반출 캐리어(224a)의 수평 캐리어들의 높이를 조정한다.The sensor 223 is attached to the carry-in carrier 224 and the carry-out carrier 224a, respectively, and detects the size of the subject. The adjustment driver 227 is mounted on the vertical carrier of the carry carrier 224 and the vertical carrier of the carry carrier 224a, respectively, and is connected to the horizontal carriers, respectively. According to the control signal sensed by the sensor 223, the adjustment driver 227 adjusts the height of the horizontal carriers of the loading carrier 224 and the loading carrier 224a.
인식 유닛(240)은 피검체의 고유 인식 마크를 인식한다. 인식 유닛(240)은 인식 프레임(242), 인식 프레임(242)에 이동 가능하게 연결되어 피검체의 고유 인식 마크를 촬영하는 카메라(244) 및 카메라(244)를 X축 및 Y축 방향을 따라 이동시키는 인식 구동부(246)를 포함한다. 본 실시예에서, 인식 유닛(240)은 반입 유닛(210)에 인접하게 배치되어, 검사 전에 피검체의 정보를 작업자에게 전달한다.The recognition unit 240 recognizes the unique recognition mark of the subject. The recognition unit 240 is movably connected to the recognition frame 242 and the recognition frame 242 to follow the X- and Y-axis directions of the camera 244 and the camera 244 that capture the unique recognition mark of the subject. And a recognition driver 246 for moving. In the present embodiment, the recognition unit 240 is disposed adjacent to the import unit 210 to transmit information of the subject to the worker before the inspection.
촬영 유닛(250)은 프로브 유닛(100)의 전면에 배치된다. 촬영 유닛(250)은 촬영 프레임(252), 카메라(254) 및 촬영 구동부(256)를 포함한다. 촬영 프레임(252)은 정전척(110)의 전면에 배치된다. 카메라(254)는 촬영 프레임(252)에 이동 가능하게 연결되어, 정전척(110) 상에 안치된 피검체를 촬영한다. 또한, 카메라(254)는 프로브 클램프(130)의 수평 바(131)와 수직 바(132)에 형성된 개구부(131a, 132a)를 통해 노출된 프로브(140)들과 피검체의 단자들 간의 연결 부위를 촬영한다. 촬영 구동부(256)는 카메라(254)를 X축 및 Y축 방향을 따라 이동시킨다.The photographing unit 250 is disposed in front of the probe unit 100. The photographing unit 250 includes a photographing frame 252, a camera 254, and a photographing driver 256. The photographing frame 252 is disposed in front of the electrostatic chuck 110. The camera 254 is movably connected to the photographing frame 252 to photograph the subject placed on the electrostatic chuck 110. In addition, the camera 254 is a connection portion between the probes 140 exposed through the openings 131a and 132a formed in the horizontal bar 131 and the vertical bar 132 of the probe clamp 130 and the terminals of the subject. To shoot. The imaging driver 256 moves the camera 254 along the X-axis and Y-axis directions.
반출 유닛(230)은 프로브 유닛(100)의 우측에 배치된다. 반출 유닛(230)은 반출 프레임(232), 반출 컨베이어(234) 및 반출 클램프(236)를 포함한다. 반출 프레임(232), 반출 컨베이어(234) 및 반출 클램프(236)는 반입 유닛(210)의 반입 프레임(212), 반입 컨베이어(214) 및 반입 클램프(216) 각각과 실질적으로 동일하므로, 반복 설명은 생략한다.The carrying out unit 230 is disposed on the right side of the probe unit 100. The unloading unit 230 includes a unloading frame 232, a unloading conveyor 234, and a unloading clamp 236. The carrying frame 232, the carrying conveyor 234 and the carrying clamp 236 are substantially the same as each of the carrying frame 212, the carrying conveyor 214 and the carrying clamp 216 of the carrying unit 210, and thus will be described repeatedly. Is omitted.
이하, 상기와 같이 구성된 검사 장치(200)를 이용해서 후면에 단자들이 배치된 OLED 패널을 검사하는 동작을 상세히 설명한다.Hereinafter, an operation of inspecting an OLED panel in which terminals are disposed on the rear side using the inspection apparatus 200 configured as described above will be described in detail.
OLED 패널이 반입 유닛(210)의 반입 컨베이어(214)를 타고 반입 프레임(212) 상에 안치된다. 패널의 하부면은 반입 프레임(212)의 지지대(212a)들에 의해 지지된다. 지지핀(218)들이 패널의 하부면을 지지한 상태에서, 반입 클램프(216)가 패널의 양측면과 상부면을 지지한다. 틸팅 구동부(219)가 반입 프레임(212)과 패널을 상부를 향해 회전시킨다.The OLED panel is placed on the loading frame 212 aboard the loading conveyor 214 of the loading unit 210. The bottom surface of the panel is supported by the supports 212a of the carrying frame 212. With the support pins 218 supporting the bottom surface of the panel, the carry clamp 216 supports both sides and the top surface of the panel. The tilting driver 219 rotates the loading frame 212 and the panel upward.
반입 유닛(210)의 전면에 위치한 이송 유닛(220)의 반입 캐리어(224)가 홀더(225)를 이용해서 패널을 파지한다. 여기서, 센서(223)가 패널의 크기를 감지하여, 반입 캐리어(224)의 위치는 조정 구동부(227)에 의해 이미 조정된 상태이다. 반입 구동부(226)에 의해 반입 캐리어(224)가 프로브 유닛(100)의 전면으로 이동된다.The carrying carrier 224 of the transfer unit 220 located in front of the carrying unit 210 grips the panel using the holder 225. Here, the sensor 223 senses the size of the panel, so that the position of the carry carrier 224 is already adjusted by the adjustment driver 227. The carry carrier 224 is moved to the front surface of the probe unit 100 by the carry driver 226.
진공척(110)이 상승하여, 패널이 반입 캐리어(224)로부터 진공척(110) 상으로 전달된다. 이때, 패널은 홀더(225)로부터 이탈된 상태이다. 진공척(110)이 경사지게 배치되어 있으므로, 프로브 클램프(130)가 진공척(110) 상의 패널을 클램핑한다. 즉, 수평 바(131)가 패널의 하단을 지지하고, 수직 바(132)들이 패널의 양측면을 지지한다. 패널이 프로브 클램프(130)에 클램핑되면, 진공척(110)이 진공을 이용해서 패널을 견고히 흡착한다.The vacuum chuck 110 is raised so that the panel is transferred from the carry carrier 224 onto the vacuum chuck 110. At this time, the panel is separated from the holder 225. Since the vacuum chuck 110 is disposed to be inclined, the probe clamp 130 clamps the panel on the vacuum chuck 110. That is, the horizontal bar 131 supports the lower end of the panel, and the vertical bars 132 support both sides of the panel. When the panel is clamped to the probe clamp 130, the vacuum chuck 110 firmly adsorbs the panel using the vacuum.
프로브 구동부(122)가 이동 블럭(120)을 진공척(110)을 향해 상승시킨다. 프로브(140)들이 패널의 후면 가장자리에 배치된 단자들과 접촉된다. 프로브(140)들을 통해서 테스트 전류를 패널로 인가한다. The probe driver 122 raises the moving block 120 toward the vacuum chuck 110. Probes 140 are in contact with terminals disposed at the rear edge of the panel. The test current is applied to the panel through the probes 140.
촬영 유닛(250)이 프로브 클램프(130)의 개구부(131a, 132a)들을 통해서 프로브(140)들과 패널의 단자들 간의 접촉 부위를 촬영한다. 검사자는 검사 화면에 표시된 화면을 보고 프로브(140)와 단자들 간의 정확한 접촉 여부를 확인한다. 촬영 유닛(150)은 패널의 전면을 계속 촬영하여, 검사 화면에 표시한다.The imaging unit 250 captures a contact portion between the probes 140 and the terminals of the panel through the openings 131a and 132a of the probe clamp 130. The inspector checks the correct contact between the probe 140 and the terminals by looking at the screen displayed on the test screen. The photographing unit 150 continuously photographs the front surface of the panel and displays it on the inspection screen.
패널의 검사가 완료되면, 이송 유닛(220)의 반출 캐리어(224a)가 패널을 파지하여 반출 유닛(230)으로 전달한다. 반출 유닛(230)으로 이송된 패널은 반출 컨베이어(234)에 의해 반출된다.When the inspection of the panel is completed, the carrying carrier 224a of the transfer unit 220 grips the panel and transfers it to the carrying unit 230. The panel transferred to the unloading unit 230 is unloaded by the unloading conveyor 234.
이상에서 상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 피검체의 후방에 배치된 프로브 유닛이 피검체의 후면을 향해 상승하여, 피검체의 단자들과 정확하게 접촉하게 된다. 이러한 프로빙 동작 중에, 피검체는 프로브 클램프에 의해 견고하게 지지된다. 따라서, 후면에 단자들이 배치된 OLED 패널과 같은 피검체의 전기적 특성을 정확하게 검사할 수가 있다.As described above, according to the preferred embodiment of the present invention, the probe unit disposed at the rear of the subject is raised toward the rear of the subject, so that the terminals of the subject are accurately contacted. During this probing operation, the subject is firmly supported by the probe clamp. Therefore, it is possible to accurately inspect the electrical characteristics of the subject, such as an OLED panel with terminals arranged on the back side.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.

Claims (17)

  1. 후면에 단자들이 배치된 피검체를 고정하는 고정 부재;
    상기 고정 부재의 후방에 이동 가능하게 배치된 이동 블럭; 및
    상기 이동 블럭에 설치되어, 상기 피검체의 단자들과 접촉하는 프로브들을 포함하는 프로브 유닛.
    A fixing member configured to fix the subject to which the terminals are arranged on the rear surface;
    A moving block movably disposed behind the fixing member; And
    And a probe unit provided in the moving block to contact the terminals of the object under test.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 고정 부재는
    상기 피검체를 진공으로 흡착하는 진공척; 및
    상기 진공척에 배치되어, 상기 진공척에 안치된 상기 피검체를 지지하는 프로브 클램프를 포함하는 프로브 유닛.
    The method of claim 1, wherein the fixing member
    A vacuum chuck to suck the subject under vacuum; And
    And a probe clamp disposed on the vacuum chuck to support the subject placed in the vacuum chuck.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 프로브 클램프는
    상기 피검체의 하부면을 지지하는 수평 바; 및
    상기 수평 바의 양단으로부터 연장되어, 상기 피검체의 양측면들을 지지하는 한 쌍의 수직 바들을 포함하는 프로브 유닛.
    The method of claim 2, wherein the probe clamp
    A horizontal bar supporting a lower surface of the subject; And
    And a pair of vertical bars extending from both ends of the horizontal bar to support both sides of the subject.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 프로브 클램프는
    상기 진공척에 설치된 수직 가이드 레일;
    상기 수직 가이드 레일에 이동 가능하게 연결되고, 상기 수평 바에 고정된 수직 가이드 블럭;
    상기 진공척에 설치된 수평 가이드 레일; 및
    상기 수평 가이드 레일에 이동 가능하게 연결되고, 상기 수직 바들에 고정된 수평 가이드 블럭을 더 포함하는 프로브 유닛.
    The method of claim 3, wherein the probe clamp
    A vertical guide rail installed at the vacuum chuck;
    A vertical guide block movably connected to the vertical guide rail and fixed to the horizontal bar;
    A horizontal guide rail installed at the vacuum chuck; And
    And a horizontal guide block movably connected to the horizontal guide rail and fixed to the vertical bars.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 프로브 클램프는
    상기 수직 가이드 블럭에 설치된 정렬 카메라를 더 포함하는 프로브 유닛.
    The method of claim 4, wherein the probe clamp is
    Probe unit further comprises an alignment camera installed in the vertical guide block.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 수평 바와 상기 수직 바들은 상기 피검체의 단자들을 노출시키기 위한 개구부를 갖는 프로브 유닛.4. The probe unit of claim 3, wherein the horizontal bar and the vertical bars have openings for exposing terminals of the subject.
  7. 제 3 항에 있어서, 상기 수평 바와 상기 수직 바들은 상기 피검체의 단자들이 노출되도록 투명 재질을 포함하는 프로브 유닛.The probe unit of claim 3, wherein the horizontal bars and the vertical bars comprise a transparent material so that the terminals of the object are exposed.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 이동 블럭을 상기 진공척을 향해 전후진시키는 프로브 구동부를 더 포함하는 프로브 유닛.The probe unit of claim 1, further comprising a probe driver configured to move the moving block back and forth toward the vacuum chuck.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 피검체는 OLED 패널을 포함하는 프로브 유닛.The probe unit of claim 1, wherein the subject comprises an OLED panel.
  10. 후면에 단자들이 배치된 피검체의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로브 유닛;
    상기 프로브 유닛으로 상기 피검체를 반입시키기 위한 반입 유닛;
    상기 프로브 유닛으로부터 상기 피검체를 반출시키기 위한 반출 유닛; 및
    상기 반입 유닛, 상기 프로브 유닛 및 상기 반출 유닛 각각의 사이에서 상기 피검체를 이송시키는 이송 유닛을 포함하고,
    상기 프로브 유닛은
    상기 피검체를 고정하는 고정 부재;
    상기 고정 부재의 후방에 이동 가능하게 배치된 이동 블럭; 및
    상기 이동 블럭에 설치되어, 상기 피검체의 단자들과 접촉하는 프로브들을 포함하는 검사 장치.
    A probe unit for inspecting an electrical property of a subject having terminals disposed on a rear surface thereof;
    An import unit for bringing the subject into the probe unit;
    An export unit for carrying out the subject from the probe unit; And
    A transfer unit configured to transfer the subject between the carrying unit, the probe unit, and the carrying unit,
    The probe unit
    A fixing member for fixing the subject;
    A moving block movably disposed behind the fixing member; And
    And probes installed in the moving block and in contact with terminals of the subject.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 반입 유닛은
    반입 프레임;
    상기 반입 프레임 상에 배치된 반입 컨베이어;
    상기 반입 프레임 상에 설치되어, 상기 반입 컨베이어를 타고 이송된 상기 피검체의 측면들을 지지하는 반입 클램프;
    상기 반입 프레임 상에 설치되어, 상기 피검체의 하부면을 지지하는 지지핀; 및
    상기 반입 프레임을 틸트시키는 구동부를 포함하는 검사 장치.
    11. The method of claim 10, wherein the import unit
    Import frame;
    A loading conveyor disposed on the loading frame;
    An loading clamp installed on the loading frame to support side surfaces of the object to be transported on the loading conveyor;
    A support pin installed on the carrying frame to support a lower surface of the subject; And
    And a driving unit for tilting the carrying frame.
  12. 제 10 항에 있어서, 상기 반출 유닛은
    반출 프레임;
    상기 반출 프레임 상에 배치된 반출 컨베이어; 및
    상기 반출 프레임 상에 설치되어, 상기 피검체의 측면들을 지지하는 반출 클램프를 포함하는 검사 장치.
    11. The method of claim 10, wherein the carrying out unit
    Export frame;
    A discharging conveyor disposed on the discharging frame; And
    And a carrying clamp installed on the carrying frame to support side surfaces of the subject.
  13. 제 10 항에 있어서, 상기 이송 유닛은
    상기 반입 유닛, 상기 프로브 유닛 및 상기 반출 유닛의 전면을 따라 배치된 이송 프레임;
    상기 반입 유닛과 상기 프로브 유닛 사이에서 왕복 이동하는 반입 캐리어;
    상기 이송 프레임에 장착되어, 상기 반입 캐리어를 이동시키는 반입 구동부;
    상기 프로브 유닛과 상기 반출 유닛 사이에서 왕복 이동하는 반출 캐리어; 및
    상기 이송 프레임에 장착되어, 상기 반출 캐리어를 이동시키는 반출 구동부를 포함하는 검사 장치.
    The method of claim 10, wherein the transfer unit
    A conveying frame disposed along a front surface of the carrying unit, the probe unit and the carrying unit;
    An import carrier reciprocating between the import unit and the probe unit;
    An loading drive unit mounted to the transfer frame to move the loading carrier;
    A carrying carrier reciprocating between the probe unit and the carrying unit; And
    And an unloading driver mounted on the conveying frame to move the unloading carrier.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 반입 캐리어와 상기 반출 캐리어는 상기 피검체를 홀딩하는 홀더를 갖는 검사 장치.The inspection apparatus according to claim 13, wherein the carry carrier and the carry carrier have a holder holding the subject.
  15. 제 13 항에 있어서, 상기 이송 유닛은
    상기 피검체의 크기를 감지하는 센서; 및
    상기 센서의 감지에 의해 상기 반입 캐리어와 상기 반출 캐리어의 크기를 조정하는 조정 구동부를 더 포함하는 검사 장치.
    The method of claim 13, wherein the transfer unit
    A sensor for sensing the size of the subject; And
    And an adjusting driver for adjusting the size of the carry carrier and the carry carrier by sensing of the sensor.
  16. 제 10 항에 있어서, 상기 피검체의 고유 인식 마크를 확인하는 인식 유닛을 더 포함하는 검사 장치.The inspection apparatus according to claim 10, further comprising a recognition unit for checking a unique recognition mark of the subject.
  17. 제 10 항에 있어서, 상기 프로브들과 접속된 상기 피검체, 및 상기 피검체의 단자들과 상기 프로브 유닛의 프로브들 간의 접촉을 촬영하기 위한 촬영 유닛을 더 포함하는 검사 장치.11. The inspection apparatus according to claim 10, further comprising an imaging unit for photographing contact between the probes and the terminals of the subject and the probes of the probe unit.
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