KR101231047B1 - Substrate transfer unit for inspecting apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 기판검사장치는 기판이 이송되는 영역이 구비된 프레임, 상기 프레임의 상부에 위치하고, 상기 기판의 상면을 촬영하는 상부검사모듈 및 상기 프레임에 회전 가능하게 설치되는 회전축과, 상기 회전축에 일정간격으로 설치되어 상기 기판과 접촉하는 이송롤러, 그리고 상기 기판이 부상되도록 상기 기판을 향해 기체를 분출하는 분사홀을 구비하는 기판이송유닛을 포함하여 이송롤러에 의해 발생하는 기판의 진동 등을 최소화하여 정밀한 검사가 가능하게 한다.According to an embodiment of the present invention, a substrate inspection apparatus includes a frame having an area to which a substrate is transferred, an upper inspection module positioned on an upper portion of the frame and photographing an upper surface of the substrate, and a rotating shaft rotatably installed on the frame and the rotating shaft. Minimized vibration of the substrate generated by the transfer roller, including a substrate transfer unit installed at regular intervals and having a transfer roller in contact with the substrate, and a spray hole for ejecting gas toward the substrate so that the substrate floats. Precise inspection is possible.

Description

기판검사장치의 기판이송유닛{SUBSTRATE TRANSFER UNIT FOR INSPECTING APPARATUS}SUBSTRATE TRANSFER UNIT FOR INSPECTING APPARATUS}

본 발명은 기판검사장치의 기판이송유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 진동을 최소화하는 기판검사장치의 기판이송유닛에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate transfer unit of a substrate inspection apparatus, and more particularly, to a substrate transfer unit of a substrate inspection apparatus to minimize vibration of the substrate.

반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, EL 등의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 각종 얼룩 및 스크래치 등의 결함 또는 기판에 형성된 패턴의 결함 여부를 확인하기 위하여 검사를 실시한다. 검사장치로는 검사자의 육안을 통한 마크로 검사장치(Macro Inspection)와, 광학렌즈와 CCD(charged coupled device) 카메라를 사용하는 인라인 자동광학검사장치(In-Line Automatic Optical Inspection)가 있다.When producing large substrates such as semiconductor wafers, LCDs, PDPs, ELs, and the like, inspections are conducted to check whether there are foreign matters remaining on the substrate, defects such as various stains and scratches, or defects in patterns formed on the substrate. The inspection apparatus includes a macro inspection apparatus (macro inspection) through the naked eye of an inspector and an in-line automatic optical inspection apparatus using an optical lens and a charged coupled device (CCD) camera.

특히 인라인 자동광학검사장치는 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡처(Capture)한 후 비전(Vision) 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장치이다. In particular, the inline automatic optical inspection device is an apparatus that detects various defects that a user wants to find by applying a vision image processing algorithm after capturing an image of an inspection object using an optical lens and a CCD camera.

자동광학검사장치 내에서 기판을 이송할 때, 컨베이어를 이용하는 경우가 있으나, 기판의 진동 등으로 인해 카메라에 의한 촬영 시 검사오류가 자주 발생하고 기판의 무게로 인해 기판과 이송장치의 접촉면에서 결함이 발생하는 문제가 있다. Conveyors may be used to transfer substrates within an automatic optical inspection device, but inspection errors frequently occur when shooting with the camera due to vibration of the substrate, and defects in the contact surface between the substrate and the transfer device due to the weight of the substrate. There is a problem that occurs.

또한, 기판 이송에 에어 슬라이더(Air Slider)를 이용하는 경우가 있으나, 컨베이어 이송장치에 비해 기판의 진동은 상대적으로 적지만 지나치게 고가이며, 기판이 대형화됨에 따라 기판 전면을 균일하게 부상시키기 어려우며 제작비용이 크게 상승하는 문제가 있다.
In addition, although an air slider may be used to transfer the substrate, the vibration of the substrate is relatively low, but excessively expensive, compared to the conveyor conveying apparatus, and as the substrate is enlarged, it is difficult to uniformly float the entire surface of the substrate and the manufacturing cost is high. There is a problem that rises greatly.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 기판검사장치의 기판이송유닛를 제공하기 위함이다.
The present invention is to provide a substrate transfer unit of the substrate inspection apparatus for solving the above problems.

본 발명에 따른 기판검사장치의 기판이송유닛은 외부에서 공급된 에어가 채워지는 공압실을 구비하는 하우징과, 상기 하우징에 길이방향으로 관통하며 회전 가능하게 설치되는 회전축과, 상기 회전축에 설치되는 복수개의 이송롤러와, 상기 하우징의 상부면에 상기 이송롤러의 일부가 외부로 돌출되도록 형성된 복수개의 이송롤러홈과, 상기 이송롤러홈의 주변에 형성되며 상기 이송롤러 상부의 기판이 상기 공압실에서 공급되는 에어로 부상되도록 하여 상기 이송롤러와 상기 기판 사이의 마찰력을 줄일 수 있도록 하는 분사홀을 구비한다.The substrate transfer unit of the substrate inspection apparatus according to the present invention includes a housing having a pneumatic chamber filled with air supplied from the outside, a rotating shaft penetrating in the longitudinal direction and rotatably installed in the housing, and a plurality installed on the rotating shaft. Feed rollers, a plurality of feed roller grooves formed on the upper surface of the housing so that a part of the feed rollers protrude to the outside, and formed around the feed roller groove, and the substrate on the feed rollers is supplied from the pneumatic chamber. It is provided with an injection hole to reduce the friction force between the transfer roller and the substrate by causing the air to rise.

상기 하우징의 내부에는 상기 공압실과 상기 이송롤러가 설치된 공간을 분리하는 격벽을 구비할 수 있다.The housing may include a partition wall separating the space in which the pneumatic chamber and the feed roller are installed.

상기 하우징의 내부에 형성되는 상기 공압실은 상기 회전축의 양측으로 형성되는 제 1공압실과 제 2공압실을 구비하고, 상기 격벽은 상기 제 1공압실을 분리하는 제 1격벽과 상기 제 2공압실을 분리하는 제 2격벽을 포함할 수 있다.The pneumatic chamber formed inside the housing includes a first pneumatic chamber and a second pneumatic chamber formed on both sides of the rotating shaft, and the partition wall includes a first partition wall and the second pneumatic chamber separating the first pneumatic chamber. It may include a second partition wall for separating.

상기 분사홀은 상기 제 1공압실에 상기 이송롤러가 노출된 일측부에 형성된 제 1분사홀과 상기 제 2공압실에 상기 이송롤러가 노출된 타측부에 형성된 제 1분사홀을 포함할 수 있다.The injection hole may include a first injection hole formed in one side portion in which the feed roller is exposed in the first pneumatic chamber and a first injection hole formed in the other side portion in which the feed roller is exposed in the second pneumatic chamber. .

상기 제 1분사홀은 상기 이송롤러홈들의 일측 끝단 위치 사이의 외측에 상기 제 1공압실과 연통되어 형성되고, 상기 제 2분사홀은 상기 이송롤러홈들의 타측 끝단 위치 사이의 외측에 상기 제 2공압실과 연통되어 형성될 수 있다.The first injection hole is formed in communication with the first pneumatic chamber on the outer side between one end position of the conveying roller grooves, the second injection hole is the second pneumatic outer side between the other end position of the conveying roller grooves It may be formed in communication with the yarn.

본 발명에 따른 기판이송유닛은 기판과 이송롤러 사이에 발생할 수 있는 스크래치 등의 흠결을 방지하고, 이송 중 기판의 진동을 줄이는 효과가 있다. The substrate transfer unit according to the present invention has an effect of preventing scratches such as scratches that may occur between the substrate and the transfer roller, and reducing vibration of the substrate during transfer.

본 발명에 따른 기판검사장치는 이송롤러에 의해 발생하는 기판의 진동 등을 최소화하여 정밀한 검사가 이루어지도록 하는 효과가 있다. Substrate inspection apparatus according to the present invention has the effect of making a precise inspection by minimizing the vibration of the substrate generated by the transfer roller.

이상과 같은 본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
The technical effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other technical effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송유닛의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송유닛의 절개사시도이다.
도 3은 도 1의 A-A'선에 의한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 검사장치의 측면도이다.1 is a perspective view of a substrate transfer unit according to an embodiment of the present invention.
2 is a cutaway perspective view of a substrate transfer unit according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 1.
4 is a perspective view of a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view of a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
6 is a side view of a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예는 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면 상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present embodiment is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various forms, and only this embodiment makes the disclosure of the present invention complete, and the scope of the invention to those skilled in the art. It is provided for complete information. The shape and the like of the elements in the drawings may be exaggerated for clarity, and the same reference numerals denote the same elements in the drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송유닛의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송유닛의 절개사시도이며, 도 3은 도 1의 A-A'선에 의한 단면도이다.1 is a perspective view of a substrate transfer unit according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cutaway perspective view of the substrate transfer unit according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a line AA 'of Figure 1 It is a cross section.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송유닛(110)은 복수 개의 분사홀(115)이 형성된 하우징(111), 하우징(111)의 장축을 관통하는 회전축(112), 그리고 회전축(112)에 일정간격으로 설치되며 하우징(111) 상측으로 몸체의 일부가 돌출되는 이송롤러(113)를 구비한다.As shown in Figure 1 and 2, the substrate transfer unit 110 according to an embodiment of the present invention is a rotating shaft penetrating the long axis of the housing 111, the housing 111 is formed with a plurality of injection holes 115 And a feed roller 113 installed at a predetermined interval on the rotating shaft 112 and protruding a part of the body onto the housing 111.

하우징(111)의 상면에는 이송롤러(113)가 돌출될 수 있도록 장방형의 이송롤러홈(114)이 일정간격으로 복수 개 형성될 수 있고, 이송롤러홈(114)의 주변으로 기체가 분사되는 분사홀(115a)(115b)이 형성될 수 있다. 분사(115a)(115b)은 도시된 바와 같이 이송롤러홈(114)의 길이방향 좌우측에 형성될 수도 있으나, 이웃하는 이송롤러홈(114)의 사이에 위치할 수도 있다.A plurality of rectangular transfer roller grooves 114 may be formed on the upper surface of the housing 111 at regular intervals so that the feed rollers 113 may protrude, and the gas is injected around the feed roller grooves 114. Holes 115a and 115b may be formed. Injection 115a, 115b may be formed on the left and right sides in the longitudinal direction of the feed roller groove 114, as shown, may be located between the adjacent feed roller groove 114.

회전축(112)이 관통하는 하우징(111)의 측면에는 회전축(112)이 회전할 수 있도록 각각 베어링(116)이 설치될 수 있다. 따라서 회전축(112)이 회전 시에, 하우징(111)은 회전축(112)과는 독립적으로 고정되어 있을 수 있다.Bearings 116 may be installed on side surfaces of the housing 111 through which the rotating shaft 112 passes, so that the rotating shaft 112 may rotate. Therefore, when the rotating shaft 112 is rotated, the housing 111 may be fixed independently of the rotating shaft 112.

회전축(112)에는 이송롤러홈(114)의 위치에 대응되도록 일정간격으로 복수 개의 이송롤러(113)가 설치된다. 회전축(112)의 회전시 진동을 최소화하기 위해 이송롤러(113)는 회전축(112)과 동축으로 설치됨이 바람직하다. 이송롤러(113)는 기판(미도시)이 이송될 때 기판의 하면과 직접 접촉하여, 기판을 지지하면서 회전에 의해 기판을 이송하므로, 기판과의 마찰력을 높임과 동시에 스크래치 등이 발생하지 않도록 고무 또는 합성수지 등으로 형성될 수 있다.The rotating shaft 112 is provided with a plurality of feed rollers 113 at regular intervals so as to correspond to the position of the feed roller grooves 114. In order to minimize the vibration during the rotation of the rotating shaft 112, the feed roller 113 is preferably installed coaxially with the rotating shaft 112. The transfer roller 113 is in direct contact with the bottom surface of the substrate when the substrate (not shown) is transferred, and transfers the substrate by rotation while supporting the substrate, thereby increasing the frictional force with the substrate and preventing scratches from occurring. Or a synthetic resin.

도 3에 도시된 바와 같이, 분사홀(115a)(115b)은 하우징(111) 내에 위치하는 공압실(117a)(117b)과 연통될 수 있다. 공압실(117a)(117b)은 외부에 별도로 구비되는 기체공급장치(미도시)와 연결되어, 공압실(117a)(117b)과 연통된 다수 개의 분사홀(115a)(115b)로 동일한 압력의 기체가 분사될 수 있도록 하여 기판에 균일한 부상력을 제공할 수 있다. 공압실(117a)(117b)은 하우징(111) 내부에서 이송롤러(113)과 설치된 영역과 격벽(118a)(118b)에 의하여 분리되어 회전축(112)의 좌우에 회전축(112)의 길이방향과 평행하게 구비될 수 있다. 즉, 공압실(117a)(117b)은 회전축(112)의 양측으로 형성되는 제 1공압실(117a)과 제 2공압실(117b)을 구비하고, 격벽(118a)(118b)은 제 1공압실(117a)을 분리하는 제 1격벽(118a)과 제 2공압실(117b)을 분리하는 제 2격벽(118b)을 포함할 수 있다. As shown in FIG. 3, the injection holes 115a and 115b may communicate with the pneumatic chambers 117a and 117b located in the housing 111. The pneumatic chambers 117a and 117b are connected to a gas supply device (not shown) separately provided outside, and are connected to the pneumatic chambers 117a and 117b by a plurality of injection holes 115a and 115b of the same pressure. Gas may be injected to provide a uniform flotation force on the substrate. The pneumatic chambers 117a and 117b are separated by the area provided with the feed roller 113 and the partition walls 118a and 118b in the housing 111, and the lengthwise direction of the rotary shaft 112 on the left and right of the rotary shaft 112 It may be provided in parallel. That is, the pneumatic chambers 117a and 117b have a first pneumatic chamber 117a and a second pneumatic chamber 117b formed on both sides of the rotation shaft 112, and the partition walls 118a and 118b have a first pneumatic pressure. It may include a first partition 118a for separating the chamber 117a and a second partition 118b for separating the second pneumatic chamber 117b.

그리고 분사홀(115a)(115b)은 이송롤러홈(114)들의 일측 끝단 위치 사이의 외측에 형성되며 제 1공압실(117a)에 연통된 제 1분사홀(115a)과, 이송롤러홈(114)들의 타측 끝단 위치 사이의 외측에 형성되며 제 2공압실(117b)에 연통된 제 2분사홀을 포함한다. In addition, the injection holes 115a and 115b are formed on the outer side between one end positions of the feed roller grooves 114 and communicate with the first injection hole 115a and the feed roller grooves 114. And a second injection hole which is formed on the outer side between the other end positions of the plurality) and communicates with the second pneumatic chamber 117b.

그리고 좌우의 공압실(117a)(117b)은 서로 연통될 수 있다. 또한 도시하진 않았지만, 공압실(117a)(117b) 대신에 기체공급장치와 각 분사홀(115)을 직접 연결하는 기체공급라인을 구비할 수도 있다.The left and right pneumatic chambers 117a and 117b may communicate with each other. In addition, although not shown, instead of the pneumatic chambers 117a and 117b, a gas supply line for directly connecting the gas supply apparatus and each injection hole 115 may be provided.

하우징(111)의 측면으로 노출된 회전축(112)의 일측으로는 회전축(112)을 회전가능하게 하는 동력전달수단이 결합된다. 예를 들면, 구동원인 구동모터가 회전축(112)에 직접 결합될 수도 있고, 또는 구동모터와 체인-스프라켓 또는 벨트-풀리 등의 결합으로 연결될 수도 있다. 또는 자력으로 동력을 전달하는 마그네틱 롤러를 이용할 수도 있다.One side of the rotating shaft 112 exposed to the side of the housing 111 is coupled to the power transmission means for rotating the rotating shaft 112. For example, a drive motor which is a drive source may be directly coupled to the rotating shaft 112, or may be connected to the drive motor by a combination of a chain-sprocket or a belt-pulley. Alternatively, a magnetic roller that transmits power by magnetic force may be used.

동력전달수단에서 발생되는 파티클이 이송롤러(113)나 분사홀(115a)(115b)을 통해 기판을 오염시킬 수 있으므로, 회전축(112)에서 동력전달수단이 결합되는 부분과 이송롤러(113)가 결합되는 부분은 서로 격리될 수 있도록, 하우징(111)의 저면과 측면은 회전축(112)에서 이송롤러(113)가 결합된 부분과 이송롤러(113)를 감싸도록 형성될 수 있다. 또는 도시되진 않았지만, 회전축(112)과 동력전달수단이 결합되는 부분을 에워싸는 케이스가 구비될 수도 있다. 이 경우 케이스의 일측으로 케이스 내부에서 발생한 파티클을 배기하는 배기부가 구비될 수 있다.Particles generated from the power transmission means may contaminate the substrate through the transfer roller 113 or the injection holes 115a and 115b, so that the portion of the rotating shaft 112 and the transfer roller 113 are coupled to each other. The bottom and side surfaces of the housing 111 may be formed to surround the portion and the transfer roller 113 to which the transfer roller 113 is coupled at the rotation shaft 112 so that the portions to be coupled may be separated from each other. Alternatively, although not shown, a case may be provided to surround a portion in which the rotating shaft 112 and the power transmission means are coupled. In this case, one side of the case may be provided with an exhaust for exhausting the particles generated inside the case.

상기와 같은 구성에 의해 본 발명의 일실시예에 따른 기판이송유닛(110)은 동력전달수단에 의해 회전축(112)에 회전력이 전달되면, 회전축(112)과 일체로 구비된 이송롤러(113)가 회전하게 된다. 이송대상인 기판은 하우징(111) 외부로 돌출된 이송롤러(113)에 의해 지지되며, 이송롤러(113)의 회전에 의해 이송된다. When the substrate transfer unit 110 according to an embodiment of the present invention by the configuration as described above when the rotational force is transmitted to the rotating shaft 112 by the power transmission means, the feed roller 113 is provided integrally with the rotating shaft 112 Will rotate. The substrate to be transported is supported by the transport roller 113 protruding out of the housing 111 and is transported by the rotation of the transport roller 113.

그리고 동시에 기체공급장치(미도시)에서 공급된 기체는 공압실(117a)(117b)을 거쳐 분사홀(115a)(115b)을 통해 기판을 향해 분사되어, 기판을 부상시킨다. 따라서 이송롤러(113)가 지지하는 기판의 하중이 줄어들게 되고, 그 결과 기판의 무게로 인해 이송롤러(113)와의 접촉으로 인한 기판 하면에 발생할 수 있는 스크래치 등을 방지할 수 있고, 또한 기판의 진동을 최소화 할 수 있다. 다만 이송롤러(113)에 의한 기판의 이송을 위해 이송롤러(113)와 기판이 접촉을 유지할 수 있는 범위에서 기판을 부상시킴이 바람직하다.At the same time, the gas supplied from the gas supply device (not shown) is injected toward the substrate through the injection holes 115a and 115b via the pneumatic chambers 117a and 117b to float the substrate. Therefore, the load on the substrate supported by the feed roller 113 is reduced, and as a result, scratches that may occur on the lower surface of the substrate due to contact with the feed roller 113 due to the weight of the substrate can be prevented, and the vibration of the substrate can be prevented. Can be minimized. However, it is preferable to infuse the substrate in a range in which the transfer roller 113 and the substrate can maintain contact for the transfer of the substrate by the transfer roller 113.

본 발명에 따른 기판이송유닛(110)은 복수 개가 기판이송방향에 대략 수직으로 일정간격으로 설치되어 기판을 이송할 수 있으며, 기판검사장치 뿐만 아니라, 기판의 이송 및 정밀 이송이 필요한 장비에도 사용될 수 있다.
The substrate transfer unit 110 according to the present invention can be transported by a plurality of substrates are installed at a predetermined interval approximately perpendicular to the substrate transfer direction, and can be used not only for the substrate inspection device, but also for equipment requiring transfer and precise transfer of the substrate. have.

이하에서는 본 발명에 따른 기판이송유닛(110)을 이용하는 기판검사장치(100)에 대해 설명한다. 설명의 편의를 위해 상술한 기판이송유닛(110)에 대하여 동일한 도면번호를 사용하고, 공통되는 부분은 설명을 생략한다.Hereinafter, the substrate inspection apparatus 100 using the substrate transfer unit 110 according to the present invention will be described. For convenience of description, the same reference numerals are used for the above-described substrate transfer unit 110, and the descriptions of common parts will be omitted.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치의 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치의 평면도이며, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치의 측면도이다.Figure 4 is a perspective view of a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a plan view of a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention Side view.

도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치(100)는 기판(미도시)이 이송되는 영역이 구비된 프레임(101), 프레임(101)에 설치되어 기판을 이송하는 기판이송부, 프레임(101)의 상부에 위치하는 상부검사모듈(130), 기판이송부의 하부에 위치하는 하부검사모듈(150), 그리고 기판이송유닛(110)을 구비한다.4 to 6, the substrate inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is installed in the frame 101, the frame 101 is provided with a region for transporting the substrate (not shown) A substrate transfer unit for transferring the substrate, an upper inspection module 130 positioned on the upper portion of the frame 101, a lower inspection module 150 positioned below the substrate transfer portion, and a substrate transfer unit 110 are provided.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 프레임(101)에는 기판을 지지하며 이송하는 이송롤러(113), 이송롤러(113)와 일체로 형성되어 이송롤러(113)를 회전시키는 회전축(112), 회전축(112)에 회전력을 전달하는 구동원(124)과 동력전달수단(125, 126)을 구비하는 기판이송부가 설치될 수 있다.As shown in Figure 4 and 5, the frame 101 is formed integrally with the transfer roller 113, the transfer roller 113 for supporting and transporting the substrate rotating shaft 112 for rotating the feed roller 113 In addition, a substrate transfer unit including a driving source 124 and a power transmission unit 125 and 126 for transmitting rotational force to the rotation shaft 112 may be installed.

프레임(101)에 회전 가능하게 설치되는 복수 개의 회전축(112)은 기판이송방향에 대략 수직으로 서로 일정간격 이격되어 설치될 수 있다. 그리고 각 회전축(112)에는 회전축(112)과 동축결합되는 이송롤러(113)가 회전축(112)에 일정간격으로 설치될 수 있다. 이송롤러(113)는 기판의 하면과 직접 접촉하여 기판을 지지하면서 회전에 의해 기판을 이송하므로, 기판과의 마찰력을 높임과 동시에 스크래치 등이 발생되지 않도록 고무 또는 합성수지 등으로 형성될 수 있다.The plurality of rotation shafts 112 rotatably installed in the frame 101 may be installed to be spaced apart from each other at approximately a vertical angle to the substrate transfer direction. And each of the rotating shaft 112 may be installed at a predetermined interval on the rotating shaft 112, the feed roller 113 is coaxially coupled with the rotating shaft (112). Since the transfer roller 113 transfers the substrate by rotation while supporting the substrate in direct contact with the lower surface of the substrate, the transfer roller 113 may be formed of rubber or synthetic resin such as to increase frictional force with the substrate and to prevent scratches.

구동원(124)은 회전동력을 발생하는 전동모터가 사용될 수 있으며, 회전동력을 회전축(112)으로 전달하는 동력전달수단(125, 126)으로는 예를 들면, 도 5에 도시된 바와 같이 벨트(125)와 풀리(126)가 이용될 수 있다. 또는 체인과 스프라켓이 이용될 수 있으며, 그 외에도 자력에 의해 동력이 전달되는 마그네틱 롤러가 이용될 수도 있다.The driving source 124 may be an electric motor that generates a rotational power, the power transmission means (125, 126) for transmitting the rotational power to the rotating shaft 112, for example, as shown in Figure 5 belt ( 125 and pulley 126 may be used. Alternatively, chains and sprockets may be used, in addition to magnetic rollers that transmit power by magnetic force.

기판의 상면을 촬영하는 상부검사모듈(130)은 프레임(101)으로부터 연장 지지되어, 기판이송부의 상부에 설치될 수 있다. 상부검사모듈(130)은 기판의 상면에서 반사된 조명에 의해 기판의 상면을 촬영하는 상부검사카메라(131)와 기판 상면의 흠결 의심 영역을 정밀 검사하는 상부리뷰카메라(132)를 포함할 수 있다.The upper inspection module 130, which photographs the upper surface of the substrate, is extended and supported from the frame 101, and may be installed on an upper portion of the substrate transfer unit. The upper inspection module 130 may include an upper inspection camera 131 for photographing the upper surface of the substrate by illumination reflected from the upper surface of the substrate, and an upper review camera 132 for inspecting the flaw suspect area of the upper surface of the substrate. .

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상부검사카메라(131)는, 기판이송부의 상부에 설치되는 카메라지지대(133)에 설치될 수 있다. 4 and 5, the upper inspection camera 131 may be installed on the camera support 133 is installed on the upper portion of the substrate transfer unit.

더욱 자세하게는, 상부검사카메라(131)는 기판의 폭 전체를 촬영할 수 있도록 카메라지지대(133)의 일면에 기판이송부를 향해 기판의 폭 방향으로 다수 개가 배열될 수 있다. 상부검사카메라(131)로는 CCD(charged coupled device) 카메라를 사용할 수 있다.More specifically, a plurality of upper inspection camera 131 may be arranged in the width direction of the substrate toward the substrate transfer part on one surface of the camera support 133 so that the entire width of the substrate can be photographed. As the upper inspection camera 131, a charged coupled device (CCD) camera may be used.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상부검사카메라(131)의 일측에는 제1 조명부(134)가 위치할 수 있다. 제1 조명부(134)는 상부검사카메라(131)가 기판 상면의 이미지를 획득할 수 있도록, 상부검사카메라(131)에 조명을 제공한다. 제1 조명부(134)는 각각의 상부검사카메라(131)마다 구비될 수 있다. As shown in FIGS. 4 and 5, the first lighting unit 134 may be located at one side of the upper inspection camera 131. The first lighting unit 134 provides illumination to the upper inspection camera 131 so that the upper inspection camera 131 may acquire an image of the upper surface of the substrate. The first lighting unit 134 may be provided for each upper inspection camera 131.

그리고 제1 조명부(134)와 상부검사카메라(131)의 중심축이 교차하는 위치에는 하프미러(미도시)가 구비될 수 있다. 제1 조명부(134)에서 조사된 빛은 하프미러에 의해 반사되어 기판을 향해 조사된다. 기판에 조사된 빛은 기판 상면에서 반사되어 다시 하프미러에 조사되고, 이 빛은 하프미러를 통과해 상부검사카메라(131)에 입사된다. 그 결과 상부검사카메라(131)는 기판 상면의 이미지를 획득할 수 있게 된다.A half mirror (not shown) may be provided at a position where the central axis of the first lighting unit 134 and the upper inspection camera 131 cross each other. The light irradiated from the first lighting unit 134 is reflected by the half mirror and irradiated toward the substrate. The light irradiated onto the substrate is reflected by the upper surface of the substrate and irradiated to the half mirror again, and the light passes through the half mirror to be incident on the upper inspection camera 131. As a result, the upper inspection camera 131 may acquire an image of the upper surface of the substrate.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상부리뷰카메라(132)는 기판이송부의 상부에 설치되는 갠트리(gantry)(135)에 설치될 수 있다. 갠트리(135)는 상부검사카메라(131)가 설치되는 카메라지지대(133)보다 기판 이동방향으로 일정간격 이격되어 카메라지지대(133)와 대략 평행하게 설치될 수 있다.As shown in FIG. 4 and FIG. 5, the upper review camera 132 may be installed in a gantry 135 installed on the substrate transfer part. The gantry 135 may be installed to be substantially parallel to the camera support 133 by being spaced apart from the camera support 133 on which the upper inspection camera 131 is installed by a predetermined distance in the substrate moving direction.

상부리뷰카메라(132)는 갠트리(135)의 일면에 기판의 폭 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 상부리뷰카메라(132)는 상부검사카메라(131)가 촬영한 이미지를 기초로, 흠결이 존재하는 것으로 의심되는 영역으로 이동되어 해당 영역을 상부검사카메라(131)보다 높은 해상도로 촬영할 수 있다. 또는, 갠트리(135)의 일면에 다수 개의 상부리뷰카메라(132)가 고정식으로 배열될 수도 있다.The upper review camera 132 may be installed on one surface of the gantry 135 to be movable in the width direction of the substrate. The upper review camera 132 may be moved to a region suspected to have a flaw, based on the image photographed by the upper inspection camera 131, to photograph the corresponding region at a higher resolution than the upper inspection camera 131. Alternatively, a plurality of upper review cameras 132 may be fixedly arranged on one surface of the gantry 135.

상부검사모듈(130)에 구비된 상부검사카메라(131), 상부리뷰카메라(132) 중 적어도 하나 이상의 카메라가 지향하는 곳과 대응되는 기판이송부에는 기판이송유닛(110)이 설치될 수 있다. The substrate transfer unit 110 may be installed at a substrate transfer part corresponding to a location of at least one of the upper inspection camera 131 and the upper review camera 132 provided in the upper inspection module 130.

이는 기판검사과정에서 이송롤러(113)에 의한 기판의 요동으로 인해 정밀한 검사가 이루어지지 않는 것을 방지하기 위함이다. 즉 기판을 검사하는 카메라가 촬영하는 위치에서는 기판이송유닛(110)에 의해 기판을 부상시켜 이송롤러(113)에 의한 진동을 최소화하여 기판 검사의 정밀도를 향상할 수 있다.This is to prevent the precise inspection is not made due to the shaking of the substrate by the transfer roller 113 in the substrate inspection process. That is, at the position where the camera for inspecting the substrate is photographed, the substrate may be lifted by the substrate transfer unit 110 to minimize vibration by the transfer roller 113, thereby improving the precision of the substrate inspection.

도 6에 도시된 바와 같이, 기판이송부의 하부에 위치하는 하부검사모듈(150)은, 기판의 하면에서 반사된 조명에 의해 기판의 하면을 촬영하는 하부검사카메라(151)와, 기판 하면의 흠결 의심 영역을 정밀 검사하는 하부리뷰카메라(152)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 6, the lower inspection module 150 positioned below the substrate transfer unit includes a lower inspection camera 151 photographing the lower surface of the substrate by illumination reflected from the lower surface of the substrate, and the lower inspection camera 151 of the lower surface of the substrate. It may include a lower review camera 152 for overhauling the defect suspect area.

프레임(101) 내부의 저면에는 베이스(153)가 구비된다. The base 153 is provided on the bottom surface of the frame 101.

베이스(153) 상면에는 하부검사카메라(151)를 지지하는 제1 지지대(154)가 구비되며, 제1 지지대(154)의 일측에는 하부검사카메라(151)가 기판 하면의 폭 전체를 촬영할 수 있도록 기판이송부의 회전축(112) 사이에 위치하여 기판의 폭 방향으로 다수 개가 설치될 수 있다. 하부검사카메라(151)는 CCD(charged coupled device) 카메라를 사용할 수 있다.The upper surface of the base 153 is provided with a first support 154 for supporting the lower inspection camera 151, one side of the first support 154 so that the lower inspection camera 151 can shoot the entire width of the lower surface of the substrate A plurality of substrates may be disposed between the rotation shafts 112 of the substrate transfer unit in a width direction of the substrate. The lower inspection camera 151 may use a charged coupled device (CCD) camera.

도 6에 도시된 바와 같이, 하부검사카메라(151)의 일측에는 제2 조명부(156)가 위치할 수 있다. 제2 조명부(156)는 하부검사카메라(151)가 기판 하면의 이미지를 획득할 수 있도록, 하부검사카메라(151)에 조명을 제공한다. 제2 조명부(156)는 각각의 하부검사카메라(151)마다 구비될 수 있다. As shown in FIG. 6, the second illumination unit 156 may be located at one side of the lower inspection camera 151. The second lighting unit 156 provides illumination to the lower inspection camera 151 so that the lower inspection camera 151 may acquire an image of the lower surface of the substrate. The second lighting unit 156 may be provided for each lower inspection camera 151.

제2 조명부(156)와 하부검사카메라(151)의 중심축이 교차하는 위치에는 하프미러(미도시)가 구비될 수 있다. 제2 조명부(156)에서 조사된 빛은 하프미러에 의해 반사되어 기판 하면을 향해 조사된다. 기판에 조사된 빛은 기판 하면에서 반사되어 다시 하프미러에 조사되고, 이 빛은 하프미러를 통과해 하부검사카메라(151)에 입사된다. 그 결과 하부검사카메라(151)는 기판 하면의 이미지를 획득할 수 있게 된다.A half mirror (not shown) may be provided at a position where the central axis of the second lighting unit 156 and the lower inspection camera 151 cross each other. The light irradiated from the second lighting unit 156 is reflected by the half mirror and irradiated toward the bottom surface of the substrate. The light irradiated onto the substrate is reflected from the lower surface of the substrate and irradiated to the half mirror again, and the light passes through the half mirror to be incident on the lower inspection camera 151. As a result, the lower inspection camera 151 may acquire an image of the lower surface of the substrate.

베이스(153)의 상부에는 하부리뷰카메라(152)를 지지하고 이동시키는 제2 지지대(157)가 구비될 수 있다. 제2 지지대(157)는 제1 지지대(154)로부터 기판 이동방향으로 일정간격 이격되어 제1 지지대(154)와 대략 평행하게 설치될 수 있다.A second support 157 may be provided on the upper portion of the base 153 to support and move the lower review camera 152. The second support 157 may be installed to be substantially parallel to the first support 154 spaced apart from the first support 154 by a predetermined distance in the substrate moving direction.

하부리뷰카메라(152)는 제2 지지대(157)의 일면에 기판의 폭 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 하부리뷰카메라(152)는 하부검사카메라(151)가 촬영한 이미지를 기초로, 흠결이 존재하는 것으로 의심되는 영역으로 이동하여 해당 영역을 하부검사카메라(151)보다 높은 해상도로 촬영할 수 있다. 또는, 제2 지지대(157)의 일면에 다수 개의 하부리뷰카메라(152)가 고정식으로 배열될 수도 있다.The lower review camera 152 may be installed on one surface of the second support 157 to be movable in the width direction of the substrate. The lower review camera 152 may move to a region suspected to have a flaw based on the image photographed by the lower inspection camera 151 and photograph the corresponding region at a higher resolution than the lower inspection camera 151. Alternatively, the plurality of lower review cameras 152 may be fixedly arranged on one surface of the second support 157.

하부검사모듈(150)에 구비된 하부검사카메라(151), 하부리뷰카메라(152) 중 적어도 하나 이상의 카메라가 지향하는 곳과 대응되는 기판이송부에는 기판이송유닛(110)이 설치될 수 있다. The substrate transfer unit 110 may be installed in a substrate transfer part corresponding to a place where at least one of the lower inspection camera 151 and the lower review camera 152 of the lower inspection module 150 is directed.

이는 상술한 바와 같이, 기판검사과정에서 이송롤러(113)에 의한 기판의 요동으로 인해 정밀한 검사가 이루어지지 않는 것을 방지하기 위함이다.
This is to prevent the precise inspection due to the fluctuation of the substrate by the transfer roller 113 in the substrate inspection process as described above.

이하에서는, 본 발명의 일실시예에 따른 기판검사장치(100)의 작동에 대해 설명한다.Hereinafter, the operation of the substrate inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention will be described.

본 실시예에 따른 기판검사장치(100)는 기판 상에 형성된 패턴의 크기, 단차 및 결함 등을 검사할 수 있다. 동시에 기판 하부에 발생한 이물질 부착 및 스크래치 등의 흠결을 검사할 수 있다. 이러한 검사는 하나의 단위공정이 끝날 때마다 이루어지도록 할 수 있고, 또는 기판이 완성된 상태에서 검사가 이루어지도록 할 수도 있다.The substrate inspection apparatus 100 according to the present exemplary embodiment may inspect the size, the step, the defect, and the like of the pattern formed on the substrate. At the same time, defects such as foreign matter adhesion and scratches generated under the substrate can be inspected. Such an inspection may be performed at the end of one unit process, or may be performed when the substrate is completed.

본 실시예에 따른 기판검사장치(100)는 이전 공정에서 공정이 완료된 기판이 진입하면 기판을 이송롤러(113) 위에 안착시키고 기판의 위치를 정렬한다. 정렬이 완료되면, 구동원(124)이 회전축(112)에 회전력을 전달하고 회전축(112)과 이송롤러(113)가 함께 회전하며 기판을 이송시킨다.In the substrate inspection apparatus 100 according to the present embodiment, when the substrate in which the process is completed in the previous process enters, the substrate is placed on the transfer roller 113 and the position of the substrate is aligned. When the alignment is completed, the drive source 124 transmits the rotational force to the rotating shaft 112, the rotating shaft 112 and the feed roller 113 rotates together to transfer the substrate.

동시에 기판이송유닛(110)에 형성된 분사홀(115a)(115b)을 통해 기체가 공급되며, 기판이 기판이송유닛(110)을 지날 때 분사홀(115a)(115b)을 통해 분출된 기체에 의해 부상되게 된다. At the same time, gas is supplied through the injection holes 115a and 115b formed in the substrate transfer unit 110, and the gas is ejected through the injection holes 115a and 115b when the substrate passes through the substrate transfer unit 110. You will be injured.

기판의 이동 중에, 상부검사카메라(131)는 기판의 폭 전체를 계속하여 촬영한다. 상부검사카메라(131)에 의해 촬영된 이미지는 별도로 구비되는 제어부(미도시)에 전송되고, 제어부는 기 설정된 비전(Vision) 이미지 프로세싱 알고리즘를 이용해 흠결이 의심되는 영역을 판단한다. During the movement of the substrate, the upper inspection camera 131 continuously photographs the entire width of the substrate. The image photographed by the upper inspection camera 131 is transmitted to a controller (not shown) that is separately provided, and the controller determines a region where a defect is suspected by using a preset vision image processing algorithm.

기판이 계속 이동하여 해당 의심영역이 상부리뷰카메라(132)가 위치한 라인에 도달하면, 제어부는 상부리뷰카메라(132)를 흠결이 의심되는 영역으로 수평 이동시켜 해당 영역을 정밀 촬영하고, 이를 바탕으로 결함여부를 확인한다.When the substrate continues to move and the suspect area reaches the line where the upper review camera 132 is located, the controller moves the upper review camera 132 horizontally to the suspected defect area and precisely photographs the corresponding area. Check for defects.

기판의 상부에 대해 상부검사모듈(130)의 검사가 이루어지는 동안 기판의 하면에 대하여도 하부검사모듈(150)에 의해 검사가 이루어진다.While the inspection of the upper inspection module 130 is performed on the upper portion of the substrate, the inspection is performed by the lower inspection module 150 on the lower surface of the substrate.

기판이 기판이송유닛(110)이 의해 부상하여 이동할 때, 하부검사카메라(151)는 기판의 하면에 대해 기판의 폭 전체를 계속하여 촬영한다. 하부검사카메라(151)에 의해 촬영된 이미지는 제어부로 전송되고, 제어부는 기 설정된 비전 이미지 프로세싱 알고리즘을 이용해 흠결이 의심되는 영역을 판단한다. When the substrate floats and moves by the substrate transfer unit 110, the lower inspection camera 151 continuously photographs the entire width of the substrate with respect to the lower surface of the substrate. The image photographed by the lower inspection camera 151 is transmitted to the control unit, and the control unit determines a region where a defect is suspected using a preset vision image processing algorithm.

기판이 계속 이동하여 해당 의심영역이 하부리뷰카메라(152)가 위치한 라인에 도달하면, 제어부는 하부리뷰카메라(152)를 흠결이 의심되는 영역으로 수평 이동시켜 해당 영역을 정밀 촬영하고, 이를 바탕으로 결함여부를 확인할 수 있다.When the substrate continues to move and the suspect area reaches the line where the lower review camera 152 is located, the control unit horizontally moves the lower review camera 152 to the suspected defect area and precisely photographs the corresponding area. Defects can be checked.

상기와 같은 구성에 의해 본 발명에 따른 기판검사장치(100)는, 이송롤러(113)를 이용하여 기판을 이송하므로, 에어 슬라이더를 사용하는 검사장치에 비해 제작비용이 훨씬 저렴하며, 이송롤러(113)에 의해 발생하는 기판의 진동 등을 기판이송유닛(110)에 의해 최소화하여 기판을 검사하는 카메라가 정밀한 검사를 할 수 있도록 한다.The substrate inspection apparatus 100 according to the present invention by the configuration as described above, because the substrate is transported by using the transfer roller 113, the manufacturing cost is much cheaper than the inspection apparatus using the air slider, the transfer roller ( The vibration of the substrate generated by the 113 is minimized by the substrate transfer unit 110 so that the camera inspecting the substrate can perform precise inspection.

또한 하부검사모듈(150)의 설치에 있어서, 에어 슬라이더를 사용하는 검사장치는 하부검사모듈(150)의 카메라가 기판의 하면을 촬영할 수 있도록 에어 슬라이더를 관통하는 창을 형성하여야 하고 이에 의한 제작비용 상승을 초래하나, 본 발명에 따른 기판검사장치(100)는 회전축(112) 사이에 카메라를 위치시킴으로 기판의 하면을 촬영할 수 있는 장점이 있다.
In addition, in the installation of the lower inspection module 150, the inspection device using the air slider must form a window through the air slider so that the camera of the lower inspection module 150 can shoot the lower surface of the substrate and thereby the manufacturing cost Although causing the rise, the substrate inspection apparatus 100 according to the present invention has the advantage of taking a picture of the lower surface of the substrate by positioning the camera between the rotating shaft (112).

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
One embodiment of the invention described above and shown in the drawings should not be construed as limiting the technical idea of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art will be able to modify the technical idea of the present invention in various forms. Accordingly, such improvements and modifications will fall within the scope of the present invention as long as they are obvious to those skilled in the art.

100: 기판검사장치 131: 상부검사카메라
110: 기판이송유닛 132: 상부리뷰카메라
111: 하우징 134: 제1 조명부
112: 회전축 151: 하부검사카메라
113: 이송롤러 152: 하부리뷰카메라
114: 이송롤러홈 153: 베이스
115a, 115b: 제 1분사홀, 제 2분사홀
156: 제2 조명부
117a, 117b: 제 1공압실, 제 2공압실
124: 구동원
125: 벨트
126: 폴리100: substrate inspection apparatus 131: upper inspection camera
110: substrate transfer unit 132: top review camera
111: housing 134: first lighting unit
112: rotation axis 151: lower inspection camera
113: feed roller 152: lower review camera
114: feed roller groove 153: base
115a, 115b: 1st injection hole, 2nd injection hole
156: second lighting unit
117a and 117b: 1st pneumatic chamber and 2nd pneumatic chamber
124: drive source
125: belt
126: poly

Claims (5)

외부에서 공급된 에어가 채워지는 공압실을 구비하는 하우징과,
상기 하우징에 길이방향으로 관통하며 회전 가능하게 설치되는 회전축과,
상기 회전축에 설치되는 복수개의 이송롤러와,
상기 하우징의 상부면에 상기 이송롤러의 일부가 외부로 돌출되도록 형성된 복수개의 이송롤러홈과,
상기 이송롤러홈의 주변에 형성되며 상기 이송롤러 상부의 기판이 상기 공압실에서 공급되는 에어로 부상되도록 하여 상기 이송롤러와 상기 기판 사이의 마찰력을 줄일 수 있도록 하는 분사홀을 구비하는 기판검사장치의 기판이송유닛.
A housing having a pneumatic chamber filled with air supplied from the outside;
A rotating shaft penetrating in the longitudinal direction and rotatably installed in the housing;
A plurality of feed rollers installed on the rotating shaft;
A plurality of feed roller grooves formed on the upper surface of the housing so that a part of the feed roller protrudes outward;
Substrate of the substrate inspection apparatus is formed around the feed roller groove and has a spray hole to reduce the friction force between the feed roller and the substrate by causing the substrate on the feed roller to rise to the air supplied from the pneumatic chamber Transfer unit.
제 1항에 있어서, 상기 하우징의 내부에는 상기 공압실과 상기 이송롤러가 설치된 공간을 분리하는 격벽이 구비된 기판검사장치의 기판이송유닛.
The substrate transfer unit of claim 1, wherein a partition wall separating the space in which the pneumatic chamber and the feed roller are installed is provided in the housing.
제 2항에 있어서, 상기 하우징의 내부에 형성되는 상기 공압실은 상기 회전축의 양측으로 형성되는 제 1공압실과 제 2공압실을 구비하고, 상기 격벽은 상기 제 1공압실을 분리하는 제 1격벽과 상기 제 2공압실을 분리하는 제 2격벽을 포함하는 기판검사장치의 기판이송유닛.
The pneumatic chamber of claim 2, wherein the pneumatic chamber formed inside the housing includes a first pneumatic chamber and a second pneumatic chamber formed on both sides of the rotation shaft, and the partition wall includes: a first partition wall separating the first pneumatic chamber; And a second partition wall separating the second pneumatic chamber.
제 3항에 있어서, 상기 분사홀은 상기 제 1공압실에 상기 이송롤러가 노출된 일측부에 형성된 제 1분사홀과 상기 제 2공압실에 상기 이송롤러가 노출된 타측부에 형성된 제 1분사홀을 포함하는 기판검사장치의 기판이송유닛.
The first injection hole of claim 3, wherein the injection hole is formed in a first injection hole formed in one side portion in which the feed roller is exposed in the first pneumatic chamber and in the other side in which the feed roller is exposed in the second pneumatic chamber. A substrate transfer unit of a substrate inspection device including a hole.
제 4항에 있어서, 상기 제 1분사홀은 상기 이송롤러홈들의 일측 끝단 위치 사이의 외측에 상기 제 1공압실과 연통되어 형성되고, 상기 제 2분사홀은 상기 이송롤러홈들의 타측 끝단 위치 사이의 외측에 상기 제 2공압실과 연통되어 형성되는 기판검사장치의 기판이송유닛.
The method of claim 4, wherein the first injection hole is formed in communication with the first pneumatic chamber on the outer side between one end position of the transfer roller grooves, the second injection hole is formed between the other end positions of the transfer roller grooves The substrate transfer unit of the substrate inspection device formed in communication with the second pneumatic chamber on the outside.
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