KR100530982B1 - Multi-Stage for Substrate Inspection Device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판 검사장치용 멀티 스테이지에 관한 것으로, 간단한 구성과 동작으로 스테이지 상에서 기판을 고정시키는 고정장치의 위치를 가변시킬 수 있도록 함으로써 하나의 스테이지 상에서 다양한 크기의 기판들을 안정되게 고정시킬 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a multi-stage for a substrate inspection device, and to stably hold substrates of various sizes on one stage by varying the position of the holding device for holding the substrate on the stage with a simple configuration and operation. will be.
이를 위해 본 발명은, 기판이 안착되는 사각틀 형태의 프레임과; 상기 프레임에 피검사 기판의 크기에 대응하여 위치 가변이 가능하도록 설치된 복수개의 위치가변장치와; 상기 각 위치가변장치에 설치되어 기판의 각 모서리 부분을 고정 및 해제하는 고정장치를 포함하여 구성된 기판 검사장치용 멀티 스테이지를 제공한다.To this end, the present invention, the frame and the frame of the rectangular frame is seated; A plurality of position varying devices installed in the frame so as to be variable in position corresponding to the size of the substrate to be inspected; It is provided in each position variable device to provide a multi-stage for the substrate inspection device comprising a fixing device for fixing and releasing each corner portion of the substrate.
Description
본 발명은 기판을 검사하는 장치에서 기판이 장착되는 스테이지에 관한 것으로, 특히 액정표시장치나 플라즈마표시장치 등의 기판을 검사하는 기판 검사장치에서 하나의 스테이지로 다양한 크기의 기판을 고정시켜 검사를 수행할 수 있도록 한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stage on which a substrate is mounted in an apparatus for inspecting a substrate, and in particular, in a substrate inspection apparatus for inspecting a substrate such as a liquid crystal display device or a plasma display apparatus, the inspection is performed by fixing substrates of various sizes with one stage. It is to be done.
주지된 바와 같이, 액정표시장치(LCD) 또는 플라즈마표시장치(PDP) 등의 평판형 표시장치의 유리 기판의 결함을 검사하는 장치에는 유리기판 표면에 조명광을 맞추어 그 반사광의 광학적 변화로부터 기판 표면의 흠이나 얼룩 등 결함부분을 관찰하는 매크로(macro)관찰과, 이 매크로 관찰로 검출된 결함 부분을 확대하여 더욱 정밀하게 관찰하는 마이크로(micro)관찰을 전환하여 실시할 수 있도록 한 것이 있다.As is well known, an apparatus for inspecting a defect in a glass substrate of a flat panel display such as a liquid crystal display (LCD) or a plasma display (PDP) includes an illumination light on a surface of a glass substrate, and thus the optical Macro observation for observing defects such as scratches and spots, and micro observation for enlarging the defects detected by the macro observation can be performed by switching.
이러한 종래의 기판 검사장치로는 일본 특개평 5-322783호에 기재된 바와 같이 기판을 X-Y 방향 이동이 가능한 X-Y 스테이지에 재치한 다음 이 X-Y 스테이지를 매크로 관찰 기능을 갖춘 매크로 관찰 시스템 및 마이크로 관찰 기능을 갖춘 마이크로 관찰 시스템 상으로 2차원 이동시켜 결함 검사를 수행하는 장치가 있는데, 이 장치는 최근의 대형화 추세에 있는 평판형 표시장치들의 결함 검사에는 부적합한 문제가 있다.As such a conventional substrate inspection apparatus, as described in Japanese Patent Laid-Open No. 5-322783, the substrate is placed on an XY stage capable of moving in the XY direction, and then the XY stage is equipped with a macro observation system with a macro observation function and a micro observation function. There is an apparatus for performing defect inspection by moving two-dimensionally onto a micro-observation system, which is inadequate for defect inspection of flat panel display devices in recent years.
이와 같은 검사장치의 문제를 해결하기 위한 것으로, 대한민국 등록실용신안공보 20-0238929호(2001년 10월 08일 공고)에 선회가능한 스테이지 상에 기판을 재치한 다음, 매크로 관찰시 스테이지를 선회시켜 경사지게 한 상태에서 장치의 상부에 설치된 광원으로부터 조사되는 조명광을 이용하여 매크로 관찰 검사를 수행하고, 마이크로 관찰시에는 스테이지를 수평하게 한 상태에서 자체 조명이 구비된 마이크로 관찰 시스템을 스테이지 상에서 수평 이동시키며 검사를 수행하는 장치가 개시되어 있다.In order to solve the problem of such an inspection device, the substrate is placed on a pivotable stage in Korean Utility Model Publication No. 20-0238929 (announced on October 08, 2001), and then the stage is tilted by turning the stage during macro observation. In a state, the macro observation inspection is performed by using illumination light emitted from a light source installed at the top of the apparatus.In the case of micro observation, the inspection is performed by horizontally moving the self-illuminated micro observation system on the stage with the stage leveled. An apparatus for performing is disclosed.
그러나, 상기와 같은 종래의 기판 검사장치들은 피검사 기판을 고정하는 스테이지가 한 종류의 기판만을 고정시킬 수 있도록 구성되어 있기 때문에 다른 크기의 기판을 검사하고자 할 경우에는 스테이지를 해당 크기의 기판에 맞는 것으로 교체하거나, 검사장치 자체를 교체해주어야 되는 문제가 발생한다. However, the conventional substrate inspection apparatus as described above is configured so that the stage for fixing the substrate to be inspected is configured to fix only one type of substrate. It is a problem that needs to be replaced or replaced with the inspection device itself.
이러한 문제는 검사를 수행하는 사용자에게 비용 증가의 부담을 주게 되고, 따라서 기판의 생산원가 상승을 초래하게 된다.Such a problem puts a burden on the user performing the inspection, thus increasing the production cost of the substrate.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 간단한 구성과 동작으로 스테이지 상에서 기판을 고정시키는 고정장치의 위치를 가변시킬 수 있도록 함으로써, 하나의 스테이지 상에서 다양한 크기의 기판들을 안정되게 고정시킬 수 있도록 한 기판 검사장치용 멀티 스테이지를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, it is possible to change the position of the fixing device for fixing the substrate on the stage by a simple configuration and operation, thereby stably fixing the substrates of various sizes on one stage It is an object of the present invention to provide a multi-stage for a substrate inspection apparatus.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 사각틀 형태의 프레임과; 상기 프레임에 피검사 기판의 크기에 대응하여 위치 가변이 가능하도록 설치된 복수개의 위치가변장치와; 상기 각 위치가변장치에 설치되어 기판의 각 모서리 부분을 고정 및 해제하는 고정장치를 포함하여 구성된 기판 검사장치용 멀티 스테이지를 제공한다.The present invention for achieving the above object, the frame of the rectangular frame shape; A plurality of position varying devices installed in the frame so as to be variable in position corresponding to the size of the substrate to be inspected; It is provided in each position variable device to provide a multi-stage for the substrate inspection device comprising a fixing device for fixing and releasing each corner portion of the substrate.
이와 같은 본 발명에 의하면, 프레임 상에서 기판을 고정 및 해제하는 고정장치가 위치가변장치에 의해 기판의 크기에 대응하여 위치가 가변될 수 있으므로 하나의 스테이지 상에서 다양한 크기의 기판을 고정 및 해제할 수 있게 된다.According to the present invention, since the fixing device for fixing and releasing the substrate on the frame can be changed in position in response to the size of the substrate by the position changer, it is possible to fix and release substrates of various sizes on one stage. do.
또한, 본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 위치가변장치는, 상기 프레임에 설치되는 제 1가이드부재와, 상기 제 1가이드부재에 결합되어 제 1가이드부재를 따라 이동하는 제 1이동플레이트와, 상기 제 1이동플레이트를 제 1가이드부재를 따라 이동시키는 제 1구동유닛과, 상기 제 1이동플레이트 상에 제 1가이드부재와 다른 방향으로 설치되는 제 2가이드부재와, 상기 제 2가이드부재에 결합되어 제 2가이드부재를 따라 이동하는 제 2이동플레이트와, 상기 제 2이동플레이트를 제 2가이드부재를 따라 이동시키는 제 2구동유닛을 포함하여 구성될 수 있다.In addition, according to an aspect of the present invention, the position variable device includes a first guide member installed on the frame, a first moving plate coupled to the first guide member and moving along the first guide member, and A first driving unit for moving the first moving plate along the first guide member, a second guide member installed in a different direction from the first guide member on the first moving plate, and coupled to the second guide member; And a second driving unit moving along the second guide member, and a second driving unit moving the second moving plate along the second guide member.
이하, 본 발명에 따른 기판 검사장치용 멀티 스테이지의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a multi-stage for a substrate inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 본 발명에 따른 멀티 스테이지의 이해를 돕기 위하여 도 1을 참조하여 기판 검사장치의 일례를 설명하면 다음과 같다.First, an example of a substrate inspection apparatus will be described with reference to FIG. 1 to help understanding of a multi-stage according to the present invention.
도 1에 도시된 것과 같이, 기판 검사장치는 베이스부(1)의 상부에 피검사 기판이 착탈가능하게 장착되는 스테이지(2)가 회전축(2a)을 중심으로 선회 가능하게 설치되고, 상기 스테이지(2)와 베이스부(1) 상부면 사이에는 스테이지(2)의 배면측에서 스테이지(2)로 빛을 조사하는 백라이트유닛(3)이 상하로 이동가능하게 설치된 구성으로 되어 있다. As shown in FIG. 1, in the substrate inspection apparatus, a stage 2 on which the substrate to be inspected is detachably mounted on the base 1 is rotatably installed around the rotation shaft 2a, and the stage ( Between the 2) and the upper surface of the base portion 1, the backlight unit 3 for irradiating light to the stage 2 from the back side of the stage 2 is provided so as to be movable up and down.
상기 백라이트유닛(3)의 상하 이동을 위하여, 베이스부(2) 상부에 백라이트유닛(3)이 안착되는 안착부재(8)와, 상기 베이스부(1)의 하측에서 베이스부(1)를 관통하여 상기 안착부재(8)와 결합되는 복수개의 연결로드(5) 및 이 연결로드(5) 및 작동플레이트(9)와, 상기 베이스부(1)의 하부에서 상기 작동플레이트(9)를 상하로 승강시키는 승강용 공압실린더(10)로 구성된 승강수단이 마련된다.In order to move the backlight unit 3 up and down, the mounting member 8 on which the backlight unit 3 is seated on the base part 2 and the base part 1 penetrates below the base part 1. A plurality of connecting rods 5 coupled to the seating member 8, the connecting rods 5 and the operating plate 9, and the operating plate 9 up and down from the base portion 1. An elevating means composed of an elevating pneumatic cylinder 10 for elevating is provided.
그리고, 상기 스테이지(2)를 원하는 각도로 선회시키기 위한 수단을 구성하기 위하여, 스테이지(2)의 양측부에 링크바아(13)가 자유롭게 회전가능하도록 힌지 결합되고, 상기 링크바아(13)의 하단부에 상기 베이스부(1)의 하부에 설치되는 모터(11)에 의해 회전하도록 된 작동바아(12)의 일단이 힌지 결합되는 바, 상기 모터(11)의 작동에 의해 작동바아(12)가 회전하면 이 작동바아(12)의 끝단에 결합된 링크바아(13)가 펴지거나 오므려지면서 스테이지(2)가 선회하게 된다.Then, in order to configure the means for turning the stage 2 at a desired angle, the link bars 13 are hinged to both sides of the stage 2 so as to be freely rotatable, and the lower end of the link bar 13 One end of the operation bar 12 which is rotated by the motor 11 installed at the lower portion of the base 1 is hingedly coupled, and the operation bar 12 is rotated by the operation of the motor 11. When the link bar 13 coupled to the end of the operation bar 12 is opened or retracted, the stage 2 is turned.
도면에 도시하지는 않았으나, 상기 기판 검사장치는 상기 베이스부 상에서 왕복 직선운동하며 수평상태의 스테이지 상의 기판을 마이크로(micro) 관찰할 수 있는 마이크로 관찰 시스템이 설치될 수 있다.Although not shown in the drawings, the substrate inspection apparatus may be provided with a micro observation system capable of micro-observing a substrate on a stage in a horizontal state while reciprocating linearly moving on the base portion.
한편, 도 2는 상기 스테이지(2)의 구조를 개략적으로 나타낸 도면으로, 도 2에 도시된 바와 같이 스테이지(2)는 중앙에 개구부(21a)가 형성된 사각틀 형태의 프레임(21)과, 이 프레임(21)의 각 코너부에 대각선 및 세로 방향으로 위치 이동이 가능하도록 설치되어 기판의 모서리부분을 고정되게 지지하는 고정장치를 구비한다.FIG. 2 is a view schematically illustrating the structure of the stage 2. As illustrated in FIG. 2, the stage 2 includes a frame 21 having a rectangular frame shape having an opening 21 a in the center thereof, and the frame 2. Each corner of the corner 21 is provided so as to be movable in a diagonal direction and a longitudinal direction, and has a fixing device for holding the corner of the substrate to be fixed.
여기서, 상기 고정장치는 도 3에 상세히 도시된 것과 같이 공압실린더(231)와, 이 공압실린더(231)의 작동로드(232)에 연결되어 상기 작동로드(232)의 이동에 의해 엘엠가이드(233)를 따라 일정 거리로 왕복 직선운동하는 작동바아(234)와, 일편이 상기 작동바아(234)에 연결되어 일정량 선회하면서 프레임(21)에 안착되는 피검사 기판의 모서리부분을 고정 및 해제하는 복수개의 고정편(235, 236)으로 구성된다. Here, the fixing device is connected to the pneumatic cylinder 231 and the operating rod 232 of the pneumatic cylinder 231 as shown in detail in Figure 3 by the movement of the operating rod 232 LM guide 233 A plurality of operation bars 234 reciprocating linear movement at a predetermined distance along the) and a plurality of pieces of one side connected to the operation bar 234 to fix and release the corner portion of the substrate to be seated on the frame 21 while turning a predetermined amount. Two fixing pieces 235 and 236.
상기 고정편(235, 236) 중 'L'자형 고정편(235)은 기판의 상,하측 모서리를, 'I'자형 고정편(236)은 기판의 측면 모서리를 각각 고정한다.Of the fixing pieces 235 and 236, the 'L' shaped fixing piece 235 fixes the upper and lower edges of the substrate, and the 'I' shaped fixing piece 236 fixes the side edges of the substrate, respectively.
한편, 상기 고정장치는 프레임(21) 상에서 대각선 방향 및 세로 방향으로 선택적으로 위치 이동이 가능하도록 구성된 위치가변장치 상에 설치되어 피검사 기판의 크기에 대응하여 위치가 가변될 수 있도록 되어 있다.On the other hand, the fixing device is installed on the position variable device configured to be selectively moved in the diagonal direction and the longitudinal direction on the frame 21 is to be able to change the position corresponding to the size of the substrate to be inspected.
이러한 고정장치의 위치 가변을 위한 위치가변장치의 구성을 도 4 내지 도 6을 참조하여 더욱 상세히 설명하면, 프레임(21)의 각 코너부에 각 위치가변장치의 설치를 위한 L자형 홈(22)이 형성되고, 각 L자형 홈(22)에 복수개(이 실시예에서 3개)의 엘엠가이드(241)가 프레임의 대각선 방향으로 설치되고, 이 엘엠가이드(241)의 엘엠블럭(242) 상에 L자형의 제 1이동플레이트(243)가 고정된다.Referring to the configuration of the position variable device for changing the position of the fixing device in more detail with reference to Figures 4 to 6, the L-shaped groove 22 for the installation of each position variable device in each corner of the frame 21 Are formed, and a plurality of L guides 241 (three in this embodiment) are provided in each of the L-shaped grooves 22 in the diagonal direction of the frame, and on the L block 242 of the L guides 241. The L-shaped first moving plate 243 is fixed.
또한, 상기 제 1이동플레이트(243)가 상기 엘엠가이드(241)를 따라 이동하도록 하기 위해 제 1공압실린더(245)가 설치되고, 이 제 1공압실린더(245)의 작동로드(246) 끝단에 제 1이동플레이트(243)의 하부와 고정되는 고정블럭(247)이 장착된다. In addition, a first pneumatic cylinder 245 is installed to allow the first moving plate 243 to move along the LM guide 241, and at the end of the operating rod 246 of the first pneumatic cylinder 245. The fixed block 247 is fixed to the lower portion of the first movable plate 243 is mounted.
그리고, 상기 제 1이동플레이트(243)의 상면에는 복수개(이 실시예에서 2개)의 엘엠가이드(251)가 프레임의 세로방향으로 설치되고, 상기 엘엠가이드(251)의 엘엠블럭(252) 상에 제 2이동플레이트(253)가 설치된다. In addition, a plurality of L guides 251 (two in this embodiment) are installed on the upper surface of the first moving plate 243 in the longitudinal direction of the frame, and on the L block 252 of the L guide 251. The second moving plate 253 is installed.
상기 제 2이동플레이트(253)의 이동을 위하여 제 1이동플레이트(243) 상면에 제 2공압실린더(255)가 설치되고, 이 제 2공압실린더(255)의 작동로드(256) 끝단에 제 2이동플레이트(253)의 하부면과 고정되는 고정블럭(257)이 장착된다.A second pneumatic cylinder 255 is installed on an upper surface of the first moving plate 243 to move the second moving plate 253, and a second end of the operating rod 256 of the second pneumatic cylinder 255 is provided. The fixed block 257 is fixed to the lower surface of the movable plate 253 is mounted.
상기 제 1,2공압실린더(245, 255)은 기판 검사장치의 제어유닛(미도시)에 의해서 공압이 인가되어 작동된다.The first and second pneumatic cylinders 245 and 255 are operated by applying pneumatic pressure by a control unit (not shown) of the substrate inspection apparatus.
상기와 같이 구성된 본 발명의 멀티 스테이지의 작동은 다음과 같이 이루어진다. Operation of the multi-stage of the present invention configured as described above is performed as follows.
전술한 실시예의 멀티 스테이지는 예를 들어 세로 ×가로 크기가 680 ×880, 610 ×720, 600 ×720 인 3종류의 기판을 고정할 수 있다.In the multi-stage of the above-described embodiment, for example, three types of substrates having a length × width of 680 × 880, 610 × 720, and 600 × 720 can be fixed.
상기 스테이지는 고정장치의 위치가 프레임의 최외곽측에 위치된 상태, 즉 제 1,2공압실린더(245, 255)의 작동로드(246, 256)들이 후퇴되어 제 1,2이동플레이트(243, 253)가 최외측에 위치된 상태일 때는 가장 큰 680 ×880 크기의 기판을 고정하도록 크기가 설정되어 있다.In the stage, the position of the fixing device is located at the outermost side of the frame, that is, the operating rods 246 and 256 of the first and second pneumatic cylinders 245 and 255 are retracted, so that the first and second moving plates 243 and When 253 is located at the outermost side, the size is set to fix the largest 680 × 880 substrate.
피검사 기판의 종류를 610 ×720 크기의 기판으로 변경하여 스테이지에 장착하고자 할 경우, 기판 검사장치의 제어유닛이 각각의 제 1공압실린더(245)에 공압을 인가하여 작동로드(246)를 전진시키고, 이 작동로드(246)의 이동에 의해 제 1이동플레이트(243)들이 엘엠가이드(241)를 따라 대각선 방향으로 내측으로 이동하게 된다. 이에 따라 각 고정장치 간의 간격이 상기 기판의 크기에 대응하여 축소되게 된다.When the type of substrate to be inspected is changed to a substrate having a size of 610 × 720 and mounted on the stage, the control unit of the substrate inspection apparatus applies pneumatic pressure to each of the first pneumatic cylinders 245 to advance the operation rod 246. The first moving plates 243 are moved inward in the diagonal direction along the LM guide 241 by the movement of the operating rod 246. Accordingly, the spacing between the fixing devices is reduced in correspondence with the size of the substrate.
이 상태에서 상기 프레임(21) 상에 기판이 안착되면, 공압실린더(231)에 공압이 인가되며 작동로드(232) 및 이에 결합된 작동바아(234)가 전진하게 되고, 이에 따라 각 고정편(235, 236)이 선회하여 기판의 모서리부를 고정시킨다.When the substrate is seated on the frame 21 in this state, pneumatic pressure is applied to the pneumatic cylinder 231, and the operation rod 232 and the operation bar 234 coupled thereto are advanced, and thus, each fixing piece ( 235 and 236 pivot to fix the edges of the substrate.
그리고, 세로 길이가 상기 기판의 길이보다 10mm 작은 600 ×720 크기의 기판을 스테이지에 장착하여 검사를 하고자 하는 경우, 전술한 것과 같이 제 1공압실린더(245)에 공압을 인가하여 제 1이동플레이트(243)를 대각선 방향 내측으로 이동시킨 다음, 제 2공압실린더(255)에 공압을 인가하여 작동로드(256)를 전진시키면 이에 결합된 제 2이동플레이트(253)가 엘엠가이드(251)를 따라 세로 방향 내측으로 10mm 만큼 전진하게 된다. In addition, in the case where the vertical length of the substrate having a size of 600 × 720 is 10 mm smaller than the length of the substrate to be mounted on the stage for inspection, as described above, by applying air pressure to the first pneumatic cylinder 245, the first moving plate ( After moving 243 inward in a diagonal direction, applying a pneumatic pressure to the second pneumatic cylinder 255 and advancing the operating rod 256, the second moving plate 253 coupled thereto is vertical along the L guide 251. Inward direction by 10 mm.
이 상태에서 상기 프레임(21) 상에 기판이 안착되면, 전술한 바와 같이 공압실린더(231)에 공압이 인가되면서 각 고정편(235, 236)이 선회하여 기판의 모서리부를 고정시킨다.When the substrate is seated on the frame 21 in this state, as described above, the pneumatic cylinder 231 is applied to each of the fixing pieces 235 and 236 to fix the corner portion of the substrate.
기판의 고정 상태를 해제하기 위해서는 상기 공압실린더(231)의 작동로드(232)를 후퇴시켜 각 고정편(235, 236)을 반대방향으로 선회시키면 된다. In order to release the fixing state of the substrate, the working rods 232 of the pneumatic cylinder 231 may be retracted to rotate the fixing pieces 235 and 236 in the opposite directions.
한편, 전술한 실시예에서는 제 1,2이동플레이트(243, 253)를 대각선 방향 및 세로방향으로 이동시킴으로써 스테이지가 3종류의 기판을 고정할 수 있는 것으로 설명하였으나, 이와 다르게 상기 제 1,2이동플레이트(243, 253)를 가로 및 세로 방향, 또는 대각선 및 가로/세로 방향으로 소정 거리만큼 단계적으로 이동할 수 있도록 구성함으로써 하나의 스테이지에서 3종류 이상의 기판을 검사할 수 있게 할 수도 있을 것이다. Meanwhile, in the above-described embodiment, the stage can be fixed to three kinds of substrates by moving the first and second moving plates 243 and 253 in the diagonal direction and the vertical direction. The plates 243 and 253 may be configured to be moved stepwise by a predetermined distance in the horizontal and vertical directions or the diagonal and horizontal / vertical directions so that three or more kinds of substrates may be inspected in one stage.
이러한 이동플레이트들의 단계적 이동은 이동플레이트를 이동시키는 구동유닛으로서 공압실린더 대신에 다른 구동유닛, 예컨대 모터와 볼스크류 시스템, 또는 벨트 및 체인 스프로켓 시스템 등의 구동유닛을 이용하여 용이하게 구현할 수 있을 것이다. Stepwise movement of such moving plates may be easily implemented using other driving units such as a motor and ball screw system, or a belt and chain sprocket system as a driving unit for moving the moving plate.
한편, 전술한 실시예에서는 멀티 스테이지가 3종류의 기판을 고정하여 검사할 수 있도록 한 것으로 설명하였으나, 기판을 고정하는 고정장치를 여러방향으로 가변시켜 3종류 이상의 기판을 검사하도록 구성할 수도 있을 것이다. Meanwhile, in the above-described embodiment, the multi-stage has been described as fixing and inspecting three kinds of substrates, but it may be configured to inspect three or more kinds of substrates by varying the fixing device for fixing the substrate in various directions. .
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 기판 고정장치 또는 스테이지를 교체하지 않고, 기판을 고정시키는 고정장치의 위치를 기판 크기에 대응하여 가변시킬 수 있게 되므로 하나의 기판에서 여러 종류의 다양한 크기의 기판을 고정시켜 검사를 수행할 수 있게 되고, 따라서 기판 고정장치의 교체 혹은 스테이지 교체에 따른 비용과 시간 및 노력의 낭비를 막을 수 있다. As described above, according to the present invention, since the position of the fixing device for fixing the substrate can be changed corresponding to the substrate size without replacing the substrate fixing device or the stage, various types of substrates of various sizes can be made from one substrate. Inspection can be performed by fixing, thus avoiding the waste of cost, time and effort associated with replacing the substrate holding device or replacing the stage.
도 1은 본 발명에 따른 멀티 스테이지가 적용되는 기판 검사장치의 구성의 일례를 개략적으로 나타낸 측면도1 is a side view schematically showing an example of the configuration of a substrate inspection apparatus to which a multi-stage according to the present invention is applied;
도 2는 본 발명에 따른 멀티 스테이지의 일 실시예의 구성을 나타낸 정면도Figure 2 is a front view showing the configuration of an embodiment of a multi-stage according to the present invention
도 3은 도 2의 멀티 스테이지의 주요부를 발췌하여 나타낸 부분 정면도3 is a partial front view showing the main part of the multi-stage of FIG.
도 4 와 도 5는 각각 도 2의 멀티 스테이지의 위치가변장치의 구성을 단계적으로 나타낸 부분 정면도4 and 5 are each a partial front view showing the configuration of the position variable device of the multi-stage of FIG.
도 6은 도 2의 멀티 스테이지의 위치가변장치의 구성을 나타낸 요부 단면도FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating main parts of a configuration of a position variable device of the multi-stage of FIG. 2.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on main parts of drawing
2 : 스테이지 21 : 프레임2: stage 21: frame
22 : 홈 231 : 공압실린더22: groove 231: pneumatic cylinder
234 : 작동바아 235, 236 : 고정편234: working bar 235, 236: fixing piece
241 : 엘엠가이드 243 : 제 1이동플레이트241: L Guide 243: the first moving plate
245 : 제 1공압실린더 251 : 엘엠가이드 245: first pneumatic cylinder 251: LM guide
253 : 제 2이동플레이트 255 : 제 2공압실린더253: second moving plate 255: second pneumatic cylinder
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