KR100503160B1 - 자기전사용 마스터담체 - Google Patents

Abstract

(과제) 자기전사용 마스터담체에 있어서, 마스터담체로부터 자기패턴을 자기전사한 자기기록매체에 의해 양호한 재생신호를 얻을 수 있도록 한다.

(해결수단) 자기전사해야할 정보에 따른 요철패턴을 표면에 갖는 자기전사용 마스터담체에 있어서, 요철패턴을 반경R[nm]의 위치에 있어서의 상기 볼록부의 원주방향의 폭L[nm]이 자기전사후의 자기기록매체로부터의 신호의 판독시에 있어서의 상기 자기기록매체의 각속도ω[rad/sec], 상기 볼록부의 원주방향의 양단부 간에 대응하는 자화천이영역사이의 재생신호파형에 있어서의 소정의 신호시간폭ΔT[sec] 및 상기 반경R[nm]에 대해서 L=α(ω·ΔT·R), 0.8≤α≤1.4의 관계가 되도록 형성한다.

Description

자기전사용 마스터담체{MASTER CARRIER FOR MAGNETIC TRANSFER}

본 발명은 자기기록매체에 정보를 전사하기 위한 패턴형상의 요철을 구비한 자기전사용 마스터담체에 관한 것이다.

자기기록매체에 있어서는 일반적으로, 정보량의 증가에 따라, 많은 정보를 기록하는 대용량이며, 저렴하고, 또한 바람직하게는 단시간에 필요한 부분을 판독할 수 있는 소위 고속액세스가 가능한 매체가 요구되고 있으며, 그 일례로서, 하드디스크, ZIP(아이오메가사) 등의 플렉시블 디스크로 이루어지는 고밀도 자기기록매체가 알려져 있다. 이들 고밀도 자기기록매체는 정보기록영역이 좁은 트랙으로 구성되어 있으며, 좁은 트랙폭을 정확하게 자기헤드에 의해 주사시켜 높은 S/N으로 신호를 재생하기 위해서는 소위 트래킹서보기술이 큰 역할을 하고 있다.

트랙위치결정을 위한 서보신호나, 그 트랙의 어드레스신호, 재생클럭신호 등의 서보정보는 자기기록매체의 제조시에 프리포맷으로서 미리 자기기록매체에 기록할 필요가 있으며, 현재는 전용 서보기록장치(서보트랙라이터)를 이용해서 프리포맷이 행해지고 있다. 종래의 서보기록장치에 의한 프리포맷은 자기기록매체 1장씩 자기헤드에 의해 기록할 필요가 있으므로 상당한 시간이 걸려 생산효율의 점에서 문제가 있다.

한편, 프리포맷을 정확하고 효율좋게 행하는 방법으로서, 마스터담체에 형성된 서보정보를 담지하는 패턴을 자기기록매체로 자기전사에 의해 전사하는 방법이 일본국 특허공개 소63-183623호 공보, 특허공개 평10-40544호 공보, 특허공개 평10-269566호 공보 등에서 제안되고 있다.

자기전사는 전사해야할 정보를 담지하는 마스터담체를 자기디스크매체 등의 자기기록매체(슬레이브매체)와 밀착시키거나 또는 접근해서 대면시킨 상태에서, 전사용 자계를 인가함으로써, 마스터담체가 갖는 정보패턴에 대응하는 자기패턴을 슬레이브매체에 자기적으로 전사하는 것으로, 마스터담체와 슬레이브매체와의 상대적인 위치를 변화시키는 일없이 정적으로 기록을 행할 수 있고, 정확한 프리포맷기록이 가능하며, 또한 기록에 필요한 시간도 매우 단시간이라는 이점을 가지고 있다.

전술한 특허공개 평10-40544호 공보, 특허공개 평10-269566호 공보 등에 개시되어 있는 이 자기전사에 이용되는 마스터담체는 슬레이브매체에 전사해야할 정보에 대응하는 적어도 볼록부 상면이 자성층에 의해 구성되어 이루어지는 요철패턴을 갖는 것이다. 이러한 패턴드마스터담체를 이용한 자기전사에 의하면, 슬레이브매체에는 마스터담체의 요철패턴에 대응한 자화패턴이 형성된다.

자기전사에 있어서는, 상기 자기전사에 의해 자화패턴이 형성되어 이루어지는 자기기록매체로 이루어지는 재생신호파형을 얻을 수 있는지, 즉 상기 재생신호파형이 원하는 진폭 및 주기를 실현할 수 있는지 어떤지 중요하다.

본 발명자의 검토에 의해, 자기전사에 의해 얻어진 자기기록매체로부터의 재생신호파형은 요철패턴의 볼록부형상, 전사시의 인가자계강도, 마스터담체와 슬레이브매체와의 거리(밀착도) 등에 의존해서 변화하는 것이 밝혀졌다. 재생신호파형의 진폭은 신호품위(S/N)에 관계하고, 양호한 신호품위를 얻기 위해서는 어느 정도의 자계강도가 필요하며, 또 마스터담체와 슬레이브매체와의 거리를 근접시킬 필요가 있다. 한편, 요철패턴의 볼록부형상으로서는 슬레이브매체와의 밀착, 박리 등의 조건, 제작상의 조건 등에 의해 여러가지 형상이 제안되고 있다. 어느 볼록부형상에 있어서나 자화패턴형성에 기여하는 실효적인 트랙방향폭이 있지만, 실제로 이 실효적인 트랙방향폭을 어떻게 설정하면, 재생신호파형에 있어서 원하는 주기성을 얻을 수 있는지에 대해서는 밝혀지지 않았다.

이 재생신호파형에 있어서 원하는 주기성을 얻을 수 없으면, 자기기록매체의 기록재생 등의 정밀도에 큰 영향을 미치게 된다. 특히, 이 전사하는 정보가 서보신호인 경우에는 트래킹성능이 저하하며, 신뢰성 저하로 연결되는 등의 문제가 있다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여, 자기전사에 의해 자화패턴이 형성된 자기기록매체로부터 원하는 재생신호파형을 얻을 수 있는 자기전사용 마스터담체를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 자기전사용 마스터담체는 디스크형상 자기기록매체에 전사해야할 정보에 따른 동심원상의 요철패턴을 표면에 가지며, 상기 요철패턴의 적어도 볼록부 상면이 자성체에 의해 구성되어 이루어지는 자기전사용 마스터담체로서,

상기 요철패턴이 반경R[nm]의 위치에 있어서의 상기 볼록부의 원주방향의 폭L[nm]이 자기전사후의 자기기록매체로부터의 신호의 판독시에 있어서의 상기 자기기록매체의 각속도ω[rad/sec], 상기 볼록부의 원주방향의 양단부 간에 대응하는 자화천이영역사이의 재생신호파형에 있어서의 소정의 신호시간폭ΔT[sec] 및 상기 반경R[nm]에 대해서,

L=α(ω·ΔT·R), 0.8≤α≤1.4

의 관계가 되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

즉, 본 발명의 자기전사용 마스터담체는 요철패턴을 각속도ω로 재생한 재생신호파형의 신호시간폭이 전체트랙에서 원하는 값이 되도록, 볼록부의 원주방향폭(트랙방향폭)의 길이를 트랙반경에 따라 변화시켜서 정하고, 또한, α를 0.8∼1.4의 범위에서, 볼록부형상, 전사시의 인가자계강도, 마스터담체와 자기기록매체와의 거리(밀착도) 등의 조건에 따라 최적인 값을 선택해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

여기에서, 「상기 볼록부의 원주방향의 폭」이란, 볼록부형상의 자화패턴형성(자화영역의 폭)에 영향을 주는 실효적인 폭이며, 예를 들면, 볼록부가, 상기 볼록부상면의 트랙방향에 평행한 단면형상이 직사각형 또는 사다리형이면, 볼록부상면의 트랙방향폭이며, 상기 단면형상이 직사각형 혹은 사다리형의 상면의 트랙방향 단부가 절단된 형상이면, 사다리형의 양 사변과 사다리형의 윗변의 연장선이 교차하는 점사이의 거리이다.

상기 본 발명의 자기전사용 마스터담체의 제조방법은 상기 요철패턴을 반경 R[nm]의 위치에 있어서의 상기 볼록부의 원주방향의 폭L[nm]을 자기전사후의 자기기록매체로부터의 신호의 판독시에 있어서의, 상기 자기기록매체의 각속도ω[rad/sec], 상기 볼록부의 원주방향의 양단부 간에 대응하는 자화천이영역사이의 재생신호파형에 있어서의 원하는 신호시간폭ΔT[sec] 및 상기 반경R[nm]에 대해서, L=α(ω·ΔT·R)로 하고, 이 때의 α로서 0.8∼1.4의 범위에서 상기 원하는 신호시간폭ΔT을 얻을 수 있는 값을 선택해서 제조하는 것을 특징으로 하는 것이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 이용해서 상세하게 설명한다.

먼저, 자기전사용 마스터담체를 이용해서 슬레이브매체로 정보를 전사하는 자기전사방법 및 그 기본공정에 대해서 간단하게 설명한다. 도 1은 슬레이브매체(2)와 상기 슬레이브매체(2)로 정보를 전사하기 위한 마스터담체(3,4)를 나타낸 사시도이다.

슬레이브매체(2)는 하드디스크, 플렉시블디스크 등의 원반형상 자기기록매체이며, 원반형상의 기판(2a)의 양면에 각각 자기기록층(2b,2c)이 형성되어 이루어지는 것이다.

또, 마스터담체(3)는 후술하는 본 발명의 실시형태의 자기전사용 마스터담체이며, 슬레이브매체(2)의 하측 기록층(2b)용 요철패턴을 표면에 갖는 기판(3a)과 상기 요철패턴상에 형성된 연자성층(3b)으로 이루어진다. 또, 마스터담체(4)는 마스터담체(3)와 동일한 층구성으로이루어지는, 슬레이브매체(2)의 상측 기록층(2c)용 요철패턴이 형성된 것이다.

여기에서는, 마스터담체(3,4)로서, 요철패턴을 구비한 기판(3a,4a)과 상기 기판상에 배치된 연자성층(3b,4b)으로 이루어지는 것이며, 마스터담체의 요철패턴은 기판과 연자성층에 의해 구성된 것이다.

도 1에서는 자기기록매체(2)와 마스터담체(3,4)가 서로 이간된 상태를 나타내고 있지만, 실제의 자기전사는 자기기록매체(2)의 기록재생면과 마스터담체(3,4)의 연자성층(3b,4b)을 밀착시키거나 또는 근접해서 대면시킨 상태에서 행한다.

도 2는 이 자기전사의 기본공정을 설명하기 위한 도이며, 도 2의 (a)는 자계를 일방향으로 인가해서 슬레이브매체를 초기직류자화하는 공정, 도 2의 (b)는 마스터담체와 슬레이브매체를 밀착시켜 초기직류자계와는 대략 반대방향으로 자계를 인가하는 공정, 도 2의 (c)는 자기전사후의 슬레이브매체의 기록재생면의 상태를 각각 나타낸 도이다. 또, 도 2에 있어서 슬레이브매체(2)에 대해서는 그 하면기록층(2b)측만을 나타내고 있다.

도 2의 (a)에 나타내듯이, 미리 슬레이브매체(2)에 트랙방향의 일방향의 초기직류자계Hin를 인가해서 자기기록층(2b)의 자화를 초기직류자화시켜 둔다. 그 후, 도 2의 (b)에 나타내듯이, 이 슬레이브매체(2)의 기록층(2b)측의 면과 마스터담체(3)의 볼록부 표면의 연자성층(3b)측의 면을 밀착시켜, 슬레이브매체(2)의 트랙방향으로 상기 초기직류자계Hin와는 반대방향의 전사용 자계Hdu를 인가해서 자기전사를 행한다. 그 결과, 도 2의 (c)에 나타내듯이, 슬레이브매체(2)의 자기기록층(2b)에는 마스터담체(3)의 요철패턴에 따른 정보(예를 들면, 서보신호)가 자기적으로 전사기록된다. 여기에서는 슬레이브매체(2)의 하측 기록층(2b)으로의 하측 마스터담체(3)에 의한 자기전사에 대해서 설명했지만, 자기기록매체(2)의 상측 기록재생면(2c)에 대해서도 상측 마스터담체(4)와 밀착시켜 마찬가지로 자기전사를 행한다. 또, 자기기록매체(2)의 상하 기록재생면(2b,2c)으로의 자기전사는 동시에 이루어져도 좋고, 일면씩 순차 이루어져도 좋다.

또, 마스터담체(3)의 요철패턴이 도 2의 포지티브 패턴과 반대의 요철형상의 네거티브 패턴의 경우이어도, 초기자계Hin의 방향 및 전사용 자계Hdu의 방향을 상기와 반대방향으로 함으로써 동일한 정보를 자기적으로 전사기록할 수 있다. 또, 초기직류자계 및 전사용 자계는 슬레이브매체의 보자력, 마스터담체 및 슬레이브매체의 비투자율 등을 감안해서 정해진 값을 채용할 필요가 있다.

다음에, 본 발명의 자기전사용 마스터담체에 대해서 상세하게 설명한다. 도 3은 본 발명의 자기전사용 마스터담체를 나타낸 평면도이며, 도 4의 (a)는 자기전사후의 자기기록매체로부터의 원하는 재생신호파형, 도 4의 (b)는 원하는 재생신호파형을 얻기 위한 자화패턴, 도 4의 (c)는 원하는 재생신호패턴을 얻기 위한 마스터담체에 있어서의 요철패턴을 각각 나타낸다.

본 발명의 자기전사용 마스터담체는 슬레이브매체에 전사해야할 정보에 따른 요철패턴을 표면에 갖는다. 전술한 대로, 자기전사에 의해 이 요철패턴에 따른 자화패턴이 슬레이브매체인 자기기록매체의 자기기록층에 형성된다. 여기에서는 요철패턴이 반경 R[nm]의 위치에 있어서의 볼록부의 원주방향의 폭 L[nm]이 자기전사후의 자기기록매체로부터의 신호의 판독시에 있어서의, 상기 자기기록매체의 각속도 ω[rad/sec], 상기 볼록부의 원주방향의 양단부 간에 대응하는 자화천이영역사이의 재생신호파형(도4의 (a)참조)에 있어서의 소정의 신호시간폭ΔT[sec] 및 상기 반경R[nm]에 대해서 L=α(ω·ΔT·R), 0.8≤α≤1.4의 관계가 되도록 형성되어 있다. α는 상기 범위에서 선택된 소정의 값이며, 전사후의 자기기록매체에 있어서 원하는 ΔT를 얻을 수 있는 폭L이 되도록 설정된다. 또, 오목부의 원주방향의 폭M도 (ω·ΔT·R)에 비례한 값으로 되지만, 그 비례계수는 볼록부 형상 및 볼록부의 폭L이 정해지면 일의적으로 결정된다.

도 3에 나타낸 마스터담체에 있어서, 반경R1에 형성되어 있는 볼록부의 폭L1은 α(ω·ΔT·R1)이며, 반경R2에 형성되어 있는 볼록부의 폭L2는 α(ω·ΔT·R2)이다.

즉, 자기기록매체로부터의 신호판독시에는 일반적으로 일정한 각속도로 자기기록매체를 회전시켜서, 자화패턴의 자화천이영역을 검출함으로써 재생신호를 얻는다. 따라서, 자기기록매체에 있어서 소정의 재생신호파형을 얻기 위한 자화패턴의 천이영역간격이 내주측 트랙일수록 작고, 외주측 트랙일수록 커질 필요가 있으며, 이러한 천이영역간격을 형성하기 위해서, 본 발명의 자기전사용 마스터담체에 있어서는 전술한 소정의 재생신호파형을 얻기 위한 천이영역간격에 기여하는 볼록부 및 오목부의 트랙방향폭이 동심원트랙의 반경이 커질수록 커지도록 형성되어 있다. 또, 도 3에는 볼록부의 표면형상이 직사각형인 경우를 나타냈지만, 본원은 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 평행사변형이나 사다리형 등이어도 좋다.

또, 도 4의 (a)에 나타내는 재생신호에 있어서 원하는 ΔT를 얻기 위해서는, 자기기록매체에 있어서의 자화패턴의 천이여역(20)이 도 4의 (b)에 나타낸 간격으로 형성될 필요가 있으며, 이 때의 천이영역간격은 Lo=ω·ΔT·R이다. 이 천이영역(20)은 마스터담체의 볼록부의 트랙방향폭에 따라 형성되어 있지만, 볼록부의 트랙방향폭과 천이영역간격은 반드시 일치하는 것은 아니고, 자기전사시의 인가자계강도, 마스터담체와 슬레이브매체와의 거리(밀착도), 볼록부형상 등의 여러가지 요인에 따라 이동한다. 따라서, 실제로 볼록부의 트랙방향의 폭L=α·Lo로 하여 소정의 α를 설정할 필요가 있으며, 이 α로서는 0.8∼1.4의 범위에서 최적값이 선택된다.

상기와 같은 자기전사용 마스터담체를 제작하는 경우, 0.8∼1.4의 범위가 다른 α로 형성된 요철패턴을 갖는 담체를 제작하여, 상기 담체에 의해 자기전사를 행하고, 각 자기전사에 의해 얻어진 자기기록매체에 있어서의 자화천이영역간의 재생신호파형에 있어서의 신호시간폭과 상기 원하는 신호시간폭ΔT를 비교하여, 가장 ΔT에 가까운 신호시간폭을 얻을 수 있는 담체를 실제의 자기전사용 마스터담체로 한다.

또, 요철패턴의 볼록부형상으로서는 슬레이브매체와의 밀착, 박리 등의 조건, 제작상의 조건 등에 따라 여러가지 형상으로 하는 경우가 있으며, 각각에 대해서 볼록부의 원주방향의 폭의 규정은 명확하지 않다. 여기에서는 볼록부형상의 자화패턴형성(자화영역의 폭)에 영향을 주는 실효적인 폭을 말하는 것으로 한다. 구체적으로는 도 5에 여러가지 볼록부형상을 나타내듯이, 예를 들면 도 5의 (a)와 같이 볼록부 상면의 트랙방향으로 평행한 단면형상이 직사각형 혹은 사다리형이면, 상기 사다리형의 윗변폭 즉 볼록부 상면의 트랙방향폭을 볼록부의 원주방향의 폭L으로 하고, 도 5의 (b)와 같이, 상기 단면형상이 직사각형 혹은 사디리형의 상면의 트랙방향 단부가 절단된 형상이면 상기 사다리형의 양사변과 윗변의 연장선이 교차한 점사이의 거리를 볼록부의 원주방향의 폭L로 하고, 도 5의 (c)와 같이, 측면 및 상면이 곡률을 갖는 면으로 구성된 형상이면, 각 면에 접하는 선이 교차한 점사이의 거리를 볼록부의 원주방향의 폭L로 한다.

이러한 볼록부형상의 차이에 의해, 소정의 재생신호파형을 얻기 위한 볼록부의 원주방향의 폭의 최적값은 다르지만, 어느 α나 그 값을 0.8∼1.4의 범위에서 선택함으로써 원하는 재생신호파형을 얻을 수 있는 마스터담체를 제작하는 것이 가능하게 된다.

또, 마스터담체(3)의 기판(3a)로서는 니켈, 실리콘, 석영판, 유리, 알루미늄, 세라믹스, 합성수지 등이 이용된다. 또, 연자성층(3b)의 자성재료로서는 Co, Co합금(CoNi, CoNiZr, CoNbTaZr 등), Fe, Fe합금(FeCo, FeCoNi, FeNiMo, FeAlSi, FeAl, FeTaN), Ni, Ni합금(NiFe)을 이용할 수 있고, 특히 바람직한 것은 FeCo, FeCoNi이다.

마스터담체(3)의 패턴형상 볼록부(요철패턴)의 형성은 스탬퍼법, 포토리소그래피법 등을 이용해서 행할 수 있다.

먼저, 표면이 평활한 유리판(또는 석영판)의 위에 스핀코트 등으로 포토레지스트를 형성하고, 이 유리판을 회전시키면서 서보신호에 대응해서 변조된 레이저광(또는 전자빔)을 조사하고, 포토레지스트전체면에 소정의 패턴, 예를 들면 각 트랙에 회전중심으로부터 반경방향으로 선상으로 연장하는 서보신호에 상당하는 패턴을 원주상의 각 프레임에 대응하는 부분에 노광하고, 그 후, 포토레지스트를 현상처리하여, 노광부분을 제거하여 포토레지스트에 의한 요철형상을 갖는 원반(原盤)을 얻는다. 다음에, 원반의 표면에 요철패턴을 기초로, 이 표면에 도금(전주)을 실시하고, 포지티브형상 요철패턴을 갖는 Ni기판을 제작하고, 원반으로부터 박리한다. 이 기판을 그 대로 마스터담체로 하거나, 또는 요철패턴상에 필요에 따라 연자성층, 보호막을 피복해서 마스터담체로 한다.

또, 상기 원반에 도금을 실시해서 제2원반을 제작하고, 이 제2원반을 사용해서 도금을 행하고, 네거티브형상 요철패턴을 갖는 기판을 제작해도 좋다. 다시, 제2원반에 도금을 행하거나 수지액을 밀착해서 경화를 행해서 제3원반을 제작하고, 제3원반에 도금을 행하여, 포지티브상 요철패턴을 갖는 기판을 제작해도 좋다.

한편, 상기 유리판에 포토레지스트에 의한 패턴을 형성한 후, 에칭해서 유리판에 구멍을 형성하고, 포토레지스트를 제거한 원반을 얻어 이하 상기와 마찬가지로 기판을 형성하도록 해도 좋다.

금속제 기판의 재료로서는 전술한 대로, Ni 또는 Ni합금 등을 사용할 수 있으며, 이 기판을 제작하는 상기 도금으로서는 무전해도금, 전주, 스퍼터링, 이온플레이팅을 포함한 각종 금속성막법을 적용할 수 있다. 기판의 볼록부높이(요철패턴의 깊이)는 50∼800nm의 범위가 바람직하고, 보다 바람직하게는 80∼600nm이다. 이 요철패턴이 샘플서보신호인 경우에는 원주방향보다 반경방향으로 긴 직사각형상의 볼록부가 형성된다. 구체적으로는 반경방향의 길이는 0.05∼20㎛, 원주방향은 0.05∼5㎛가 바람직하고, 이 범위에서 반경방향의 쪽이 긴 형상으로 되는 값을 선택하는 것이 서보신호의 정보를 담지하는 패턴으로서 바람직하다.

기판의 요철패턴상으로의 연자성층(3b)의 형성은 자성재료를 진공증착법, 스퍼터링법, 이온플레이팅법 등의 진공성막수단, 도금법 등을 이용해서 행한다. 연자성층의 두께는 50∼500nm의 범위가 바람직하고, 더욱 바람직하게는 80∼300nm이다.

또, 이 볼록부표면의 연자성층 상에 5∼30nm의 다이아몬드라이크카본(DLC) 등의 보호막을 형성하는 것이 바람직하고, 또한 윤활제층을 형성해도 좋다. 또, 연자성층과 보호막 사이에 Si 등의 밀착강화층을 형성해도 좋다. 윤활제를 형성함으로써, 슬레이브매체와의 접촉과정에서 발생하는 어긋남을 보정할 때의 마찰에 의한 상처의 발생 등의 내구성의 열화가 개선된다.

본 발명의 자기전사용 마스터담체는 요철패턴이, 반경R[nm]의 위치에 있어서의 상기 볼록부의 원주방향의 폭L[nm]이 자기전사후의 자기기록매체로부터의 신호의 판독시에 있어서의 상기 자기기록매체의 각속도ω[rad/sec], 상기 볼록부의 원주방향의 양단부 간에 대응하는 자화천이영역사이의 재생신호파형에 있어서의 원하는 신호시간폭ΔT[sec] 및 상기 반경R[nm]에 대해서 0.8≤L/(ω·ΔT·R)≤1.4의 관계가 되도록 형성되어 있기 때문에, 상기 마스터담체를 이용해서 자화패턴이 자기전사된 자기기록매체에 있어서, 진폭 및 신호주기성이 양호한 재생신호파형을 얻을 수 있다. 특히, 전사신호가 서보신호인 경우, 트랙서보의 정밀도의 향상으로 연결된다.

또, L/(ω·ΔT·R)을 0.8보다 작게 한 경우, 재생신호에 있어서 원하는 주기성을 얻기 위해서는 볼록부를 상기 볼록부의 트랙방향에 평행한 단면이 사다리형이며, 상기 사다리형의 사변을 충분히 경사진 형상으로 할 필요가 있으며, 볼록부간의 오목부에 소정의 깊이를 확보한 형상으로 하는 것이 기하적으로 곤란하다. 또, L/(ω·ΔT·R)이 1.4보다 큰 경우, 재생신호에 있어서 원하는 주기성을 얻기 위해서는 인가자장을 강하게 함과 아울러, 마스터·슬레이브간 거리를 넓히는 등 조정할 필요가 있지만, 마스터·슬레이브간 거리를 넓히면 재생신호에 있어서의 진폭이 현저히 저하하는 등 신호품위가 현저히 악화한다.

도 1은 슬레이브매체와 마스터담체를 나타낸 사시도이다.

도 2는 자기전사방법의 기본공정을 나타낸 도이다.

도 3은 본 발명의 실시형태에 따른 자기전사용 마스터담체의 평면도이다.

도 4는 자기기록매체로부터의 재생신호의 파형, 자기기록매체에 있어서의 자화패턴 및 마스터담체의 요철패턴의 관계를 나타낸 도이다.

도 5는 마스터담체의 볼록부형상의 예를 나타낸 단면도이다.

(부호의 설명)

2:슬레이브매체 2a:슬레이브매체의 기판

2b,2c:자성층(자기기록층) 3,4:마스터담체

3a,4a:마스터담체의 기판 3b,4b:연자성층

Claims (1)

1. 디스크형상의 자기기록매체에 전사해야할 정보에 따른 동심원상의 요철패턴을 표면에 가지며, 상기 요철패턴 중 적어도 볼록부 상면이 자성체에 의해 구성되어 이루어지는 자기전사용 마스터담체로서,

   상기 요철패턴은 반경R[nm]의 위치에 있어서의 상기 볼록부의 원주방향의 폭L[nm]이, 자기전사후의 자기기록매체로부터의 신호의 판독시에 있어서의, 상기 자기기록매체의 각속도ω[rad/sec], 상기 볼록부의 원주방향의 양단부 간에 대응하는 자화천이영역사이의 재생신호파형에 있어서의 소정의 신호시간폭ΔT[sec] 및 상기 반경R[nm]에 대해서,

   L=α(ω·ΔT·R), 0.8≤α≤1.4

   의 관계가 되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기전사용 마스터담체.