KR100447113B1 - 페이스트도포기 - Google Patents

Abstract

도포 묘획하는 해당 페이스트패턴의 기본패턴을 규정하는 데이터를 설정하는 제 1 설정수단과, 그 제 1 설정수단에서 설정된 그 데이터를 동일한 기판 위에 도포 묘획하는 복수의 그 페이스트패턴의 패턴데이터로서 설정하는 제 2 설정수단과, 도포 묘획하는 상기 페이스트패턴별로 도포조건을 설정하고, 또한 상기 도포조건을 수정 가능하게 하는 제 3 설정수단과, 상기 제 2 수단에서 패턴데이터가 설정된 복수의 그 페이스트패턴의 그 기판에서의 위치관계를 설정하는 제 4 설정수단을 구비하고, 그 도포조건에 따라 그 기판 위의 패턴데이터에 따른 궤적에 따라 페이스를 도포함으로써 상기 제 4 수단에서 설정된 위치관계로 복수의 그 페이스트패턴을 도포 묘획한다.

예를 들면 기판(22) 위에 도포 묘획하는 4개의 페이스트패턴(P1 내지 P4)이동일형상의 패턴인 경우, 이들 페이스트패턴(P1 내지 P4)에 공통의 기본패턴을 규정하는 데이터(이 기본패턴의 좌표위치 데이터나 기본패턴의 선분데이터를 변환한 벡터데이터)를 설정하고, 이와 같은 데이터로부터 이들 페이스트패턴(P1 내지 P4)을 도포 묘획하기 위한 패턴데이터를 작성한다. 이 경우 페이스트패턴(P1 내지 P4)은 동일형상을 이루고 있기 때문에 하나의 기본패턴의 데이터를 이들 페이스트패턴(P1 내지 P4)의 데이터로 할 수 있으나, 기판(22)에서의 이들 페이스트패턴(P1내지 P4)의 도포 묘획위치가 다르므로 필요에 따라 도포조건 등의 수정을 행한다.

Description

페이스트도포기{PASTE COATING APPARATUS}

본 발명은 페이스트도포기에 관한 것으로, 특히 테이블 위에 얹어 놓은 기판의 둘레면 위에 노즐로부터 페이스트를 토출시켜 소망형상의 페이스트패턴을 도포하기 위한 패턴데이터의 설정에 관한 것이다.

페이스트도포기에서는 페이스트수납통에 충전된 페이스트를 노즐의 토출구로부터 기판 위에 토출시키면서 기판의 둘레면과 평행한 방향에 있어서의 기판과 노즐의 상대위치관계를 변화시킴으로써 기판 위에 소망형상의 페이스트패턴을 형성한다.

종래, 기판의 둘레면과 평행한 방향에 있어서의 기판과 노즐의 상대위치관계를 지시하는 패턴데이터의 설정에서는 기판과 노즐의 상대이동경로의 좌표를 페이스트패턴 하나하나에 대하여 입력하고 있다.

또 도포조건으로서 노즐과 기판 사이의 상대이동속도(이하, 도포속도라 함)나 상대거리(이하, 도포높이라 함), 페이스트수납통에 인가되는 압력(이하, 도포압력이라 함)등도 페이스트패턴 하나하나에 입력하여 설정하고 있다.

종래의 페이스트도포기에 있어서는 페이스트패턴 하나하나에 형상이나 도포속도, 도포높이, 도포압력 등을 지시하고 있으므로 1매의 기판 위에 동일형상, 동일 또는 유사한 도포조건의 패턴을 복수개 형성하는 경우에는 그 패턴수만큼 데이터의 입력이 필요하게 되어 데이터입력에 시간을 요한다.

또 하나의 페이스트패턴에는 하나의 도포조건(도포속도, 도포높이, 도포압력등, 각각 1개씩)을 가지게 하기 위하여 하나의 페이스트패턴의 도중에서 도포조건(도포속도, 도포높이, 도포압력 등)을 변경하기 위한 데이터를 설정하는 일이 곤란하였다.

본 발명의 목적은 이와 같은 문제를 해소하고, 소망형상의 페이스트패턴의 형성을 위한 패턴데이터의 설정을 용이하게 할 수 있도록 한 페이스트도포기를 제공하는 데에 있다.

도 1은 본 발명에 의한 페이스트 도포기의 일 실시형태를 나타내는 구성도,

도 2는 도 1에 나타낸 실시형태의 전기계 계통과 공기계 계통을 나타내는 접속도,

도 3은 도 1에 나타낸 실시형태의 페이스트 도포처리의 전공정을 나타내는 플로우차트,

도 4는 도 3에 있어서의 페이스트패턴 데이터설정공정의 구체예를 나타내는 플로우차트,

도 5는 도 1에 나타낸 실시형태에서 기판에 도포하는 페이스트패턴의 일 구체예를 나타내는 도,

도 6은 도 5에 나타낸 페이스트패턴의 데이터설정에 사용하는 기본패턴의 일 구체예를 나타내는 도,

도 7은 도 5에 나타낸 페이스트패턴의 데이터설정에 있어서의 등록사항 테이블의 일 구체예를 나타내는 도,

도 8은 도 7에 나타내는 등록사항 테이블로부터 자동설정되는 페이스트패턴의 벡터데이터 테이블의 일 구체예를 나타내는 도,

도 9는 도 6에 나타낸 기본패턴의 베이스데이터설정을 위하여 사용하는 위치좌표데이터의 테이블의 일 구체예를 나타내는 도,

도 10은 도 9에 나타낸 위치좌표 테이블의 데이터를 기초로 자동작성되는 도 6에 나타내는 기본패턴을 구성하는 개별 베이스패턴의 벡터데이터 테이블의 일 구체예를 나타내는 도,

도 11은 도 6에 나타낸 기본패턴을 구성하는 개별베이스패턴의 위치관계를 설정하기 위한 상대위치관계 테이블의 일 구체예를 나타내는 도,

도 12는 도 6에 나타낸 기본패턴으로 구성되는 도 5에 나타낸 페이스트패턴의 기판 위에서의 위치관계를 설정하기 위한 상대위치관계 테이블의 일 구체예를 나타내는 도면이다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 노즐의 토출구에 대향하도록 하여 기판을 테이블 위에 얹어 놓아 설정된 패턴데이터에 따라 상기 기판의 주면과 평행한 방향에서의 상기 기판과 상기 노즐 사이의 상대위치관계를 변화시키면서 페이스트수납통에 충전된 페이스트를 상기 노즐의 토출구로부터 상기 기판 위에 토출시킴으로써 상기 기판 위에 상기 패턴데이터에 따른 소망형상의 페이스트패턴을 도포 묘획하는 페이스트도포기에 있어서, 도포 묘획하는 상기 페이스트패턴의 기본패턴을 상기 기본패턴상의 점의 좌표위치 또는 상기 기본패턴을 구성하는 선분의 좌표상의 벡터로 나타내어 규정하는 데이터를 설정하는 제 1 설정수단과, 상기 제 1 설정수단에서 설정된 상기 데이터를 동일한 상기 기판 위에 도포묘획하는 복수의 상기 페이스트패턴의 패턴데이터로서 자동설정하는 제 2 설정수단과, 상기 기본패턴에 대하여 그 도포조건으로서, 상기 노즐과 상기 기판 사이의 상대이동속도, 상대거리 및 상기 페이스트수납통에 인가하는 압력을 설정하고, 그 도포조건을 상기 복수의 페이스트패턴마다의 도포조건으로서 자동설정하고, 또한 상기 복수의 페이스트패턴마다에 설정한 각 도포조건을 수정 가능하게 하는 제 3 설정수단과, 상기 제 2 수단으로 패턴데이터가 설정된 복수의 상기 페이스트패턴의 상기 기판에서의 위치관계를 설정하는 제 4 설정수단을 구비하고, 상기 도포조건에 따라 상기 기판 위의 상기 패턴데이터에 따른 궤적에 따라 페이스트를 도포함으로써 상기 제 4 설정수단에서 설정된 위치관계로 복수의 상기 페이스트패턴을 도포 묘획하는 구성으로 한 것이다.

또 페이스트패턴이 다른 복수의 기본패턴을 도포 묘획함에 있어서는 상기 제 1 내지 제 4 설정수단에서 각 기본패턴을 규정하는 데이터를 설정하는 구성으로 하였다.

다시 복수의 노즐을 구비하고 있는 경우에는 상기 제 1 내지 제 4 설정수단은 해당 각 노즐별로 도포 묘획하는 페이스트패턴에 대하여 각각 데이터를 설정하는 구성으로 하였다.

본 발명에 의하면 소망형상의 페이스트패턴의 데이터설정이 용이하다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의해 설명한다.

도 1은 본 발명에 의한 페이스트도포기의 일 실시형태를 나타내는 구성도로서, 1은 가대, 2a, 2b는 기판반송컨베이어, 3은 지지대, 4는 기판흡착반, 5는 θ축이동테이블, 6a, 6b는 X축 이동테이블, 7은 Y축 이동테이블, 8a, 8b는 서보모터, 9는 Z축 이동테이블, 10은 서보모터, 11은 볼나사, 12는 서보모터, 13은 선단에 노즐을 가지는 페이스트수납통(실린지), 14는 거리계, 15는 지지판, 16a, 16b는 화상인식카메라, 17은 제어부이고 이들이 장치본체(M)를 구성하고 있고, 또 18은 모니터, 19는 키보드, 20은 외부기억장치를 구비한 퍼스널컴퓨터본체, 21a, 21b는 케이블, 22는 유리기판, 23은 프린터이다.

상기 도면에 있어서 가대(1) 위에는 X축 방향으로 병행으로 또한 승강 가능한 2개의 기판반송컨베이어(2a, 2b)가 설치되어 있고, 기판(22)을 도면의 안쪽으로부터 바로 앞쪽으로, 즉 X축방향으로 수평으로 반송한다. 또 가대(1) 위에 지지대 (3)가 설치되고, 이 지지대(3) 위에 θ축 이동테이블(5)을 거쳐 기판흡착반(4)이 탑재되어 있고, 기판반송컨베이어(2a, 2b)에 의해 반송되어 온 기판(22)이 이 기판흡착반(4) 위에 탑재되어 흡착 고정된다. 이 θ축 이동테이블(5)은 기판흡착반(4)을 Z축 둘레의 θ방향으로 회전시키는 것이다.

가대(1) 위에는 다시 기판반송컨베이어(2a, 2b)보다도 바깥쪽에서 X축으로 평행하게 X축 이동테이블(6a, 6b)이 설치되고, 이들 X축 이동테이블(6a, 6b) 사이를 걸치도록 하여 Y축 이동테이블(7)이 설치되어 있다. 이 Y축 이동테이블(7)은 X축 이동테이블(6a, 6b)에 설치된 서보모터(8a, 8b)의 정회전이나 역회전의 회전(정역전)에 의해 X축 방향으로 수평으로 반송된다.

Y축 이동테이블(7) 위에는 서보모터(10)의 구동에 의한 볼나사(11)의 정역회전에 의해 Y축 방향으로 이동하는 Z축 이동테이블(9)이 설치되어 있다. 이 Z축 이동테이블(9)에는 페이스트수납통(13)이나 거리계(14)를 지지 고정한 지지판(15)이설치되고, 서보모터(12)가 이들 페이스트수납통(13)이나 거리계(14)를 지지판(15)에 설치된 도시 생략한 리니어가이드의 가동부를 거쳐 Z축 방향으로 이동시킨다.

페이스트수납통(13)은 이와 같은 리니어가이드의 가동부에 착탈 자유롭게 설치되어 있다. 또 가대(1)의 천정판에는 기판(22)의 위치맞춤 등을 위한 화상인식 카메라(16a, 16b)가 상방향(Z축 방향)을 향하여 설치되어 있다.

가대(1)의 내부에는 상기 서보모터(8a, 8b, 10, 12)나 θ축 이동테이블(5)을 구동하기 위한 도시 생략한 서보모터 등을 제어하는 제어부(17)가 설치되어 있고, 이 제어부(17)는 케이블(21a)을 거쳐 모니터(18)나 키보드(19), 퍼스널컴퓨터본체 (20)와 접속되어 있고, 이와 같은 제어부(17)에서의 각종 처리를 위한 데이터가 키보드(19)로부터 입력되어 화상인식카메라(16a, 16b)에서 파악한 화상이나 제어부 (17)에서의 처리상황이 모니터(18)에서 표시된다.

또 키보드(19)로부터 입력되는 도포형상데이터, 도포조건데이터 등의 운전조건데이터나 도시 생략한 외부장치로부터 전송되어 온 생산매수 등의 생산관리데이터 등의 정보가 퍼스널컴퓨터본체(20)에 공급되고, 이 퍼스널컴퓨터본체(20)에서는 이와 같은 정보가 그 RAM으로부터 내장의 하드디스크 등의 내부 기억매체와 장착되는 플로피디스크 등의 외부 기억매체에 기억보관된다. 그리고 조작자의 지시에 의해 이들 기억매체로부터 임의의 정보를 판독하여 프린터(23)로 인쇄할 수 있다.

도 2에 도 1에 나타낸 제어부(17)의 구성이나 페이스트수납통(13)의 공기압의 제어, 기판(22)의 제어를 나타내는 블록도로서, 13a는 페이스트수납통(13)의 노즐, 17a는 마이크로컴퓨터, 17b는 모터제어기, 17c1, 17c2는 X1, X2축 드라이버, 17d는 Y축 드라이버, 17e는 θ축 드라이버, 17f는 Z축 드라이버, 17g는 데이터 통신버스, 17h는 외부 인터페이스, 24는 θ축 이동테이블(5)(도 1)을 구동하는 서보모터, 25 내지 29는 엔코더, 30은 정(+)압원, 30a는 정압레귤레이터, 31은 부압원, 31a는 부압레귤레이터, 32는 밸브유닛이고, 도 1에 대응하는 부분에는 동일부호를 붙이고 있다.

상기 도면에 있어서 제어부(17)는 마이크로컴퓨터(17a)나 모터제어기(17b), X, Y, Z, θ의 각 축 드라이버(17c1 내지 17f), 화상인식카메라(16a, 16b)에서 얻어지는 영상신호를 처리하는 화상처리장치(17i), 키보드(19) 등의 사이에서 신호전송을 행하기 위한 외부 인터페이스(17h)를 내장하고 있다. 또한 제어부(17)는 기판반송컨베이어(2a, 2b)의 구동제어계도 가지나, 여기서는 도시를 생략하고 있다.

또 마이크로컴퓨터(17a)는 도시 생략하나, 주 연산부나 뒤에서 설명하는 페이스트의 도포 묘획을 행하기 위한 처리 플로우 프로그램을 저장한 ROM, 주 연산부에서의 처리결과나 외부 인터페이스(17h) 및 모터제어기(17b)로부터의 입력데이터를 저장하는 RAM, 외부 인터페이스(17h)나 모터제어기(17b)와 데이터를 주고 받는 입출력부 등을 구비하고 있다.

각 서보모터(8a, 8b, 10, 12, 24)에는 회전량을 검출하는 엔코더(25 내지 29)가 설치되어 있고, 그 검출결과를 X, Y, Z, θ의 각 축 드라이버(17c1 내지 17f)로 되돌아가게 하여 위치제어를 행하고 있다.

마이크로컴퓨터(17a)의 ROM에 저장되어 있는 뒤에서 설명하는 페이스트의 도포 묘획을 행하기 위한 처리 플로우프로그램은 필요에 따라 퍼스널컴퓨터본체(20)로부터 케이블(21a)을 거쳐 변경하는 것이 가능하다. 또 퍼스널컴퓨터본체(20)가 접속되는 도시 생략한 네트워크로부터도 변경하는 것이 가능하다. 단, 여기서는 부주의로 프로그램이 재기록되지 않도록 프로그램본체는 은폐하여 두면 좋다.

기판(22)은 부압원(31)으로부터 분배한 부압에 의해 기판흡착반(4)(도 1)에 진공흡착되어 있다. 서보모터(8a, 8b, 10)가 키보드(19)로부터 입력되어 마이크로컴퓨터(17a)의 RAM에 저장되어 있는 뒤에서 설명하는 데이터에 의거하여 정역회전함으로써 z축 이동테이블(9)이 X, Y축 방향으로 이동한다. 이에 의하여 Z축 이동테이블(9)에 탑재되어 있는 페이스트수납통(13)의 노즐(13a)이 기판(22)과 Z축 방향으로 소정의 거리를 유지하여 X, Y축 방향으로 이동한다. 이 노즐(13a)의 기판 (22)의 둘레면에 평행한 면(XY평면)에서의 이동궤적은 상기한 데이터에 의해 결정된다. 이 이동 중 마이크로컴퓨터(17a)가 밸브유닛(32)을 제어함으로써 정압원 (30)으로부터 정압레귤레이터(30a)와 밸브유닛(32)을 거쳐 페이스트수납통(13)에 약간의 공기압이 인가되어, 이에 의하여 노즐(13a) 선단부의 토출구로부터 페이스트가 토출되어 기판(22) 위에 페이스트의 소망의 패턴이 도포된다.

z축 이동테이블(9)(도 1)의 X, Y축 방향으로의 이동 중, 거리계(14)가 노즐(13a)의 페이스트토출구와 기판(22) 사이의 거리(도포높이)를 계측하고, 이 거리가 항상 일정하게 유지되도록 서보모터(12)가 Z축 드라이버(17f)에 의해 제어된다.

또 페이스트도포를 행하지 않은 대기상태에서는 마이크로컴퓨터(17a)가 밸브유닛(32)을 제어함으로써 부압레귤레이터(31a) 및 밸브유닛(32)을 거쳐 부압원(31)이 페이스트수납통(13)에 연통하여 노즐(13a)의 페이스트토출구로부터 드리워져 나온 페이스트를 페이스트수납통(13)내로 당겨 되돌아가게 한다. 이에 의하여 이 페이스트토출구로부터의 페이스트의 액늘어짐을 방지할 수 있다. 또한 도시 생략한 화상인식카메라로 이 노즐(13a)의 토출구를 감시하여 액늘어짐이 생겼을 때에만 부압원 (31)을 페이스트수납통(13)에 연통하도록 하여도 좋다.

도 3은 도 1에 나타낸 실시형태의 페이스트도포(묘획)처리의 전체를 나타내는 플로우차트이다.

상기 도면에 있어서, 먼저 페이스트도포기에 접속되는 퍼스널컴퓨터본체(20)의 전원을 투입하면(단계 100), 페이스트패턴 데이터설정공정을 실행한다(단계 200).

페이스트패턴묘획의 대상으로 하는 기판(이하, 실제 기판이라 함)(22)에는 1 이상의 페이스트패턴이 도포되는 것이나, 이 페이스트패턴 데이터설정공정(단계 200)에서는 먼저 이와 같은 페이스트패턴마다의 데이터(이하, 페이스트패턴 데이터라한다)나 실기판(22)의 위치데이터, 실기판(22)에 실제로 페이스트를 도포할때의 이 실기판(22)과 노즐(13a) 사이의 상대속도(이것을 도포속도라 하나, 이 경우의 도포속도를 특히 초기설정 도포속도라 한다)와 기판(22)의 표면으로부터의 노즐(13a)의 페이스트토출구의 높이(이것을 도포높이라고 하나, 이 경우의 도포높이를 특히, 초기설정 도포높이라 한다)와 노즐(13a)로부터의 페이스트토출량을 결정하는 페이스트수납통(13)에 인가되는 압력(이것을 도포압력이라 하나, 이 경우의 도포압력을 특히, 초기설정 도포압력이라 한다)라는 다양한 데이터의 설정을 행한다. 이와 같은 데이터의 입력은 키보드(19)(도 1)로부터 행하여지고, 입력된 데이터는 퍼스널컴퓨터본체(20) 내의 RAM에 저장된다.

도 4는 이 페이스트패턴 데이터설정공정(단계 200)의 일 구체예를 나타내는 플로우차트이다. 여기서는 이 데이터설정을 도 5에 나타내는 형상의 8개의 페이스트패턴(23a 내지 23h)의 페이스트도포를 실기판(22)에 행하는 경우를 예로 들어 설명한다. 단, 4개의 페이스트패턴(23a, 23c, 23e, 23g)은 형상, 크기, 치수가 같은 패턴으로서, 이와 같은 패턴을 동일형상의 패턴이라 한다. 또 다른 4개의 페이스트패턴(23b, 23d, 23f, 23h)도 동일형상으로 한다. 또 여기서는 페이스트패턴 (23a와 23b)이 쌍을 이루어 페이스트패턴(P1)을 이루고, 페이스트패턴(23c과 23d)이 쌍을 이루어 페이스트패턴(P2)을 이루고, 페이스트패턴(23e와 23f)이 쌍을 이루어 페이스트패턴(P3)을 이루고, 페이스트패턴(23g과 23h)이 쌍을 이루어 페이스트패턴(P4)을 이루고 있다.

따라서 이들 페이스트패턴(P1 내지 P4)은 동일형상을 이루고, 그 기본패턴 (BP)은 도 6에 나타내는 바와 같이 된다. 여기서 이 기본패턴(BP)은 각각 일필쓰기로 그릴 수 있는 2개의 베이스패턴(BP1, BP2)으로 구성되는 것으로 하고 있고, 페이스패턴(BP1)은 도 5에 있어서의 페이스트패턴(23a, 23c, 23e, 23g)의 기본패턴, 베이스패턴(BP2)은 도 5에 있어서의 페이스트패턴(23b, 23d, 23f, 23h)의 기본패턴이다.

먼저 도 4의 베이스패턴 설정공정(단계 201)은 실제로 형성하는 페이스트패턴(P1 내지 P4)의 도 6에 나타내는 기본패턴(BP)을 작성하고, 이 기본패턴(BP)의 데이터설정(입력)을 행하는 것이나, 이와 같은 기본패턴(BP)의 데이터설정을 행하기 전에 실제로는 설정자는 실기판(22)에 도포하고 싶은 페이스트패턴(P1 내지 P4)이나 그 기본패턴(BP)을 알고 있으므로 도 7에 나타내는 바와 같은 이들 패턴에 관한 등록사항테이블(MDT)을 작성한다. 등록사항테이블(MDT)에 등록하는 데이터는 도 5에 나타내는 페이스트패턴(P1 내지 P4), 도 6에 나타내는 이들 기본패턴(BP)을 예로 들면 「패턴수」는 실기판(22)의 도포하는 페이스트패턴의 개수으로서, 이 경우 페이스트패턴(P1 내지 P4)이 4개이므로 4이고, 「베이스데이터수」는 각 페이스트패턴(P1 내지 P4)을 구성하는 베이스패턴수, 즉 기본패턴(BP)을 구성하는 베이스패턴의 개수로서, 이 경우 베이스패턴(BP1, BP2)이므로 2 이다. 「벡터수」는 뒤에서 설명하는 바와 같이 기본패턴(BP)을 형성하는 직선부를 벡터화하는 것이나, 그 벡터수(즉, 직선부의 개수)로서 이 벡터수는 기본패턴(BP)의 베이스패턴(BP1, BP2)별로 설정된다. 그리고 기본패턴(BP)의 베이스패턴별로 베이스데이터번호가 할당되고, 도 6의 경우 기본패턴(BP)의 베이스패턴(BP1, BP2)에 각각 베이스데이터번호 (1, 2)가 할당되고, 각각의 직선부의 개수로부터 「베이스데이터번호 1」의 벡터수는 7,「베이스데이터번호 2」의 벡터수는 3이 된다.

또 이와 같은 등록사항 테이블(MDT)의 설정에 따라 마이크로컴퓨터(17a)(도 2)에 의해 도 8에 나타내는 바와 같은 벡터데이터 테이블(MVDT)이 준비된다. 이와 같은 벡터데이터 테이블(MVDT)은 등록사항 테이블(MDT)의 데이터에 의거하여 실기판(22)에 도포하는 패턴별로 준비되는 것으로, 이 경우 등록사항 테이블(MDT)에서의「패턴수」와 「베이스데이터수」로부터 실기판(22)에 도포하는 패턴이 결정되고, 이에 의하여 준비하는 벡터데이터 테이블(MVDT)가 결정된다. 도 5, 도 6의 경우, 등록사항 테이블(MDT)에서의「패턴수」가 4, 「베이스데이터수」가 2이므로 실기판(22)에 도포하는 패턴수는 8 (= 4 ×2)이 되어 8개의 벡터데이터 테이블(MVDT)이 준비되어 각각 2개씩 페이스트패턴(P1, P2, P3, P4)에 할당되고, 다시 각각의 페이스트패턴에 할당된 2개의 벡터데이터 테이블(MVDT) 중, 한쪽이 기본패턴(BP)의 한쪽의 베이스패턴(BP1)의 베이스데이터(BD1)에, 다른쪽이 기본패턴(BP)의 다른쪽 베이스패턴(BP2)의 베이스데이터(BD2)에 각각 할당된다. 여기서 베이스데이터(BD1)의 벡터데이터 테이블(MVDT)은 등록사항 테이블(MDT)에서 베이스데이터번호 1)에 대응하는 것이고, 베이스데이터(BD2)의 벡터데이터 테이블(MVDT)은 등록사항 테이블(MDT)에서의 베이스데이터번호 2에 대응하는 것이다.

또한 각 벡터데이터 테이블(MVDT)에서는 이것이 할당된 패턴에 관한 항목이 설정되어 있다. 즉 뒤에서 설명하는 벡터번호별로 벡터의「x성분」이나「y성분」의 데이터를 저장하는 저장부와, 마찬가지로 베이스패턴의 코너의 치수(곡률반경) 를 저장하는 저장부나, 도포조건(설정도포속도, 설정도포압력, 설정도포높이)의 데이터를 저장하는 저장부가 설치되어 있다. 이와 같은 벡터번호의 개수는 벡터데이터 테이블(MVDT)별로 등록사항 테이블(MDT)에서의「베이스데이터번호」의「벡터수」로 결정된다. 또 상기한 코너의 치수(r)나 도포조건은 미리 결정할 수 있으므로 벡터데이터 테이블(MVDT)의 준비 후에 입력하도록 한다.

이상과 같이 등록사항테이블(MDT)을 설정하면 자동적으로 각 벡터데이터 테이블(MVDT)이 준비되나, 이어서 도 5에 나타내는 바와 같은 실기판(22)에서 도포 묘획하기 위한 페이스트패턴(P1 내지 P4)에 관한 베이스데이터의 설정(단계 201)이 행하여지는 것이나, 여기서는 이들 페이스트패턴(P1 내지 P4)별로 베이스데이터의 설정을 행하는 것은 아니고, 이들 페이스트패턴(P1 내지 P4)의 도 6에 나타내는 바와 같은 기본패턴(BP)에 관한 베이스데이터의 설정을 행한다.

여기서 도 6에 나타내는 기본패턴(BP)에 있어서, G0을 그 원점으로 하여 원점(G0)에 대한 각 베이스패턴(BP1, BP2)의 끝부 및 절곡부[도 5의 페이스트패턴(P1내지 P4)의 코너에 상당]의 각 위치를 그들의 끝으로부터 순차적으로 점(A1, A2, A3, ……, A8), 점(B1, B2, B3, B4)으로 한다. 또 페이스트도포하는 경우, 베이스패턴(BP1)에 대해서는 위치(A1)를 그 도포개시점, 위치(A8)를 그 도포종료점으로 하고, 또 베이스패턴(BP2)에 대해서는 위치(B1)를 그 도포개시점, 위치(B4)를 그 도포종료점으로 한다.

이와 같은 기본패턴(BP)의 데이터(베이스데이터)는 G0을 원점으로 하여 점 (A1 내지 A8)을 An(xan, yan)의 위치좌표로, 또 위치(B1 내지 B4)를 Bm(xbm, ybm)의 위치좌표로 각각 직접 지정하도록 한다. 단, 도 6의 경우, n=1, 2, ……, 8, m =1, 2, 3, 4이다. 여기서는 도 6에 나타내는 기본패턴(BP)의 경우, 각 점(A1 내지 A8, B1 내지 B4)의 위치좌표 데이터는 A1(xa1, ya1), A2(xa2, ya2), A3(xa3, ya3), ……, A8(xa8, ya8), 점(B1)(xb1, yb1), B2(xb2, yb2), B3(xb3, yb3), B4(xb4, yb4)로 한다.

또한 패턴이 복잡하면 위치변수(n, m)를 늘려 가거나 베이스패턴의 개수를 늘려 가게 된다.

이와 같은 위치좌표 데이터는 각각 점(A1 내지 A8), 점(B1 내지 B4)과 대응지어 퍼스널컴퓨터본체(20)(도 1)에 내장한 상기 RAM에 설치하고 있는 위치좌표데이터테이블(BDT)에 등록된다(제 1 설정수단). 도 9는 이와 같은 테이블의 일 구체예를 모식적으로 나타내는 것으로, 도 9(a)는 베이스패턴(BP1)의 위치좌표데이터 테이블(BDT1)을, 도 9(b)는 베이스패턴(BP2)의 위치좌표데이터 테이블(BDT2)을 각각 나타내고 있다.

이상이 도 4에서의 베이스데이터설정공정(단계 201)의 처리이고, 이 처리가 종료하면 다음에 베이스패턴(BP1, BP2)의 각 직선부(선분)를 그 방향과 크기(길이)를 가지는 벡터로 나타내도록 하는 상대벡터변환공정(단계 202)으로 진행한다.

기본패턴(BP)은 도 6에 나타내는 바와 같이 직선을 기초로 한 베이스패턴 (BP1, BP2)으로 나타내고 있고, 그들 각 위치좌표 사이의 선분(직선부)을 방향을 정하여 벡터로 함으로써 이 선분의 페이스트도포를 도포하는 방향과 도포하는 거리로 지시할 수 있다. 이와 같이 하여 도 9에 나타내는 바와 같은 위치좌표데이터 테이블(BDT)의 데이터에 의거하여 기본패턴(BP)의 선분을 벡터로 변환하는 공정이 이 상대벡터변환공정(단계 202)이다. 이하 이 공정에 대하여 설명한다.

도 6에 나타내는 베이스패턴(BP1)의 위치[(A1-A2) 사이, (A2-A3)사이, ……]의 선분에 대하여 설정하는 벡터에 대하여 그 순서대로 벡터번호(a1, a2, ……an-1)(단, 도 6의 경우, n=8)를 설정하고, 도 9(a)에 나타내는 위치좌표데이터 테이블(BDT1)의 위치좌표 데이터를 기초로 이와 같은 벡터번호별로 그 벡터성분, 즉 이 벡터의 크기(위치좌표 사이의 거리)의 X축 방향의 성분(x성분) Δxi와 Y축 방향의 성분(y성분) Δyi(단, i = 1, 2, ……, n-1)을 구한다. 일례로서 A1-A2 사이의 선분에 대한 벡터성분은,

Δx1 = xa2 - xa1

Δy1 = ya2 - ya1

이 된다. 이와 같이 하여 베이스패턴(BP1)에 대하여 얻어지는 벡터번호(ai)마다의 벡터성분(Δxi, Δyi)은 도 10(a)에 나타내는 바와 같은 벡터데이터 테이블 (VDT1)에 등록된다.

마찬가지로 하여 도 6에 나타내는 베이스패턴(BP2)에 대해서도 위치[B1-B2 사이, (B2-B3)사이, ……]의 선분에 대하여 설정하는 벡터에 대하여 그 순서대로 벡터번호(b1, b2, ……, bm-1)(단, 도 6의 경우 m = 4)를 설정하고, 도 9(b)에 나타내는 위치좌표데이터 테이블(BDT2)의 위치좌표 데이터를 기초로 이와 같은 벡터번호별로 그 벡터성분(Δxj, Δyj)(단, j = 1, 2, ……, m-1)을 구한다. 이와 같이 하여 베이스패턴(BP2)에 대하여 얻어지는 벡터번호(bj)마다의 벡터성분 (Δxj, Δyj)은 도 10(b)에 나타내는 바와 같은 벡터데이터 테이블(VDT2)에 등록된다.

이상이 도 4에서의 상대벡터변환공정(단계 202)의 처리이나, 이상과 같은 베이스데이터의 설정등록이 종료하였는지의 여부의 확인이 행하여진다(단계 203). 이 확인은 도 7에 나타낸 등록사항테이블(MDT)의 데이터에 의거하여 자동적으로 행하여진다. 즉 이 등록사항테이블(MDT)에서는 「베이스데이터수」가 2로 되어 있으므로 도 10에 나타내는 바와 같이 2개의 벡터데이터 테이블(VDT)을 작성하게 되나, 그들의 한쪽의「베이스데이터번호 1」에 대한 벡터데이터 테이블(VDT1)[도 10(a)]로 벡터수가 등록사항테이블(MDT)에 설정되고 있는 「벡터수」= 7이 되는지의 여부, 또 다른쪽의「베이스데이터번호 2」에 대한 벡터데이터 테이블(VDT1)[도 10(b)]로 벡터수가 등록사항테이블(MDT)에 설정되고 있는 「벡터수」= 3이 되었는지의 여부를 판정한다. 이들을 동시에 만족한 경우에는 베이스데이터의 등록이 종료하였다고 판정하나, 베이스데이터의 설정(단계 201)으로 입력하는 베이스데이터수에 오류가 있는 등으로 하여 적어도 벡터데이터 테이블(VDT1, 2) 중 어느 하나에서 이것을 만족하지 않은 경우에는 베이스데이터의 등록을 할 수 없다고 하여 단계 (201)로 되돌아간다. 이 경우에는 도 6에서 나타내는 바와 같은 기본패턴(BP)에서의 위치좌표데이터를 베이스데이터로서 재입력하고, 다시 도 9에 나타내는 바와 같은 위치좌표데이터 테이블(BDT)을 설정하게 된다.

또한 도 4에서는 베이스패턴(BP1, BP2)별로 순서대로 이상의 단계(201 내지 203)의 처리를 행하고, 따라서 베이스패턴의 개수(즉, 2개)와 동일한 회수만 이와 같은 단계(201 내지 203)가 반복되게 되어 각 베이스패턴(BP1, BP2)별로 단계(203)에서 베이스데이터의 등록종료의 확인이 행하여지는 것으로 하나, 모든 베이스데이터에 대하여 베이스데이터설정공정(단계201)의 처리를 행하여, 먼저 모든 베이스패턴의 위치좌표데이터 테이블(BDT)을 작성하고, 이어서 각 위치좌표데이터 테이블(BDT)별로 단계(202)의 처리를 행하여 벡터데이터 테이블(VDT)을 베이스패턴의 순으로 작성하도록 하여도 좋다. 이 경우에는 모든 베이스패턴의 벡터데이터테이블(VDT)이 작성되고 나서 단계(203)의 확인처리가 행하여진다.

또 도 10에 나타내는 벡터데이터 테이블(VDT)은 도 9에 나타낸 위치좌표데이터 테이블(BDT)의 데이터를 기초로 작성하는 것이나, 기준패턴(BP)의 베이스패턴으로부터 각 선분에 대하여 벡터성분을 구하고, 이것을 벡터데이터 테이블(VDT1, VDT2) 위에서 직접 입력하여 등록할 수 있으면 그렇게 하여도 좋다.

이와 같이 하여 베이스데이터 등록종료확인공정(단계 203)이 종료하면 퍼스널컴퓨터(20)의 RAM에는 베이스패턴의 개수와 같은 개수의 벡터데이터 테이블(VDT)이 등록되어 있는 것이 되나, 이 등록종료가 확인됨과 동시에 벡터데이터 테이블 (VDT1)의 각 벡터번호의 벡터성분(Δxi, Δyi)이 앞서 설명한 바와 같이 미리 준비 되어 있는 도 8에 나타내는 바와 같은 패턴데이터(P1) 베이스데이터(BD1)에 대한 벡터 데이터 테이블(MVDT)에 기록되고, 다시 이 기록된 벡터성분(Δxi, Δyi)이 다른 페이스트패턴(P2, P3, P4)의 베이스데이터(BD1)에 대한 벡터데이터 테이블 (MVDT)에 자동이식된다. 마찬가지로 하여 벡터데이터 테이블(VDT2)의 각 벡터번호의 벡터성분(Δxj, Δyj)이 미리 준비되어 있는 도 8에 나타내는 바와 같은 패턴데이터(P1)의 베이스데이터(BD2)에 대한 벡터데이터 테이블(MVDT)에 기록되고, 다시 이 기록된 벡터성분(Δxj, Δyj)이 다른 페이스트패턴(P2, P3, P4) 베이스데이터 (BD2)에 대한 벡터데이터 테이블(MVDT)에 자동이식된다. 따라서 페이스트패턴(P1, P2, P3, P4)베이스데이터(BD1)에 대한 벡터데이터 테이블(MVDT)에 동일한 벡터데이터 테이블 (VDT1)의 각 벡터번호의 벡터성분(Δxi, Δyi)이 저장되어 페이스트패턴 (P1, P2, P3, P4)의 베이스데이터(BD2)에 대한 벡터데이터 테이블(MVDT)에 동일한벡터데이터 테이블(VDT2)의 각 벡터번호의 벡터성분(Δxj, Δyj)이 저장되게 된다.

또 이와 함께 먼저 입력설정한 코너의 치수(r)나 도포조건이라는 데이터도 페이스트패턴(P1)의 BD1에 대한 벡터데이터 테이블(MVDT)에 저장되나, 이와 함께 이들 저장된 데이터는 다른 벡터데이터 테이블(MVDT)의 모두에도 자동이식된다. 따라서 모든 벡터데이터 테이블(MVDT)에 동일한 코너의 치수(r)나 도포조건의 데이터가 저장되게 된다.

또한 도 5에 나타내는 각 페이스트패턴(23a 내지 23h)에서는 그 직선부의 이음매, 즉 코너[기본패턴(BP)에서의 위치(A2 내지 A7, B2, B3)에 대응하는 부분]에서 원호로 접속된다. 이에 의하여 이들 코너가 매끄럽게 될 뿐만 아니라, 이 부분에서의 노즐(13a)과 기판(22)의 상대위치변화가 매끄럽게 된다. 즉 페이스트패턴(23a 내지 23h)에서의 이와 같은 코너에 있어서의 급격한 속도변동이 야기하는 기계진동이저감하고, 그 결과 도포속도를 빠르게 할 수 있어 생산성을 향상시키는 외에 진동에 의한 페이스트패턴의 형상불량에 의한 불량기판 발생의 저감에도 연결되는 것이다.

한편 도 6에 나타내는 기본패턴(BP)은 직선부만으로 이루어지는 것으로 하고 있어 실기판(22)에서 실제로 도포묘획하는 페이스트패턴(23a 내지 23h)의 코너에 소정 반경(r)의 원호로 접속하기 위하여 상기한 바와 같이 코너의 치수(r)의 데이터를 입력하여 도 8에 나타내는 바와 같이 벡터데이터 테이블(MVDT)에 등록하는 것이다. 이에 의하여 이 벡터데이터 테이블(MVDT)을 사용하여 실기판(22)에 페이스트패턴(23a 내지 23h)을 도포 묘획할 때에는 이 코너의 치수(r)의 데이터에 의해 퍼스널컴퓨터본체(20)가 각 벡터의 X 성분이나 y 성분에 의한 직선부를 반경(r)의 원둘레 상의 겹침위치에서 자동접속하게 된다.

이상의 처리가 이루어진 후, 다음공정 즉, 그룹데이터설정공정(단계 204)으로 진행한다.

여기서 도 5에서의 페이스트패턴(P1)을 구성하는 페이스트패턴(23a, 23b)이 하나의 그룹(쌍)을 이루는 것으로 하고, 마찬가지로 페이스트패턴(P2)을 구성하는 페이스트패턴(23c, 23d)이 페이스트패턴(P3)을 구성하는 페이스트패턴(23e, 23f)이 페이스트패턴(P4)을 구성하는 페이스트패턴(23g, 23h)이 각각 하나의 그룹을 이루는 것으로 한다. 그룹데이터설정공정(단계 204)은 이들 그룹을 이루는 페이스트패턴 사이의 위치관계를 나타내는 데이터(즉, 그룹데이터)를 설정하는 것이다.

이와 같은 페이스트패턴(P1 내지 P4)에 대한 그룹데이터로서는, 도 6에 나타내는 바와 같은 기본패턴(BP)에서의 베이스패턴(BP1, BP2)에 관하여 설정하면 좋다. 그리고 이와 같은 베이스패턴(BP1, BP2)의 위치관계를 나타내는 그룹데이터로서는 도 6을 참조하면 기본패턴(BP)의 원점(G0)에 대한 베이스패턴(BP1, BP2)의 선단(도 5에 나타내는 각 페이스트패턴의 도포개시점에 상당)의 상대위치관계로 표시된다.

그룹데이터설정공정(단계 204)은, 이와 같은 상대위치관계를 나타내는 데이터를 입력설정하는 것이고, 이것이 입력되면 다음의 그룹데이터등록공정(단계 205)에 있어서 퍼스널컴퓨터본체(20)의 RAM 에 설정되어 있는 도 11에 나타내는 바와 같은 상대위치관계테이블(BPRPT)에 등록된다.

여기서 이 상대위치관계 테이블(BPRPT)에서는 「베이스데이터번호 BD1」는 도 6의 기본데이터(BP)에서의 베이스패턴(BP1)을 나타내는 것으로, 그「상대위치」 (Bx, By)는 각각 도 6에서의 원점(G0)으로부터 베이스패턴(BP1)의 선단(A1)까지의 거리의 x성분, y성분(따라서 상대위치관계)을 나타내는 것이다. 마찬가지로 하여 「베이스데이터번호 BD2」는 도 6의 기본데이터(BP)에서의 베이스패턴(BP2)을 나타내는 것으로, 그「상대위치」(Bx, By)는 각각 도 6에서의 원점(G0)으로부터 베이스패턴(BP2)의 선단(B1)까지의 거리의 x성분, y성분(따라서 상대위치관계)을 나타내는 것이다.

또 「베이스데이터번호 BD1」의「상대위치」(Bx, By)는 도 5에 나타내는 실기판(22)에 있어서 페이스트패턴(P1, P2, P3, P4)별로 그들을 구성하는 2개의 페이스트패턴의 상대적인 위치관계를 나타내고 있다. 즉 이와 같은「상대위치」 (Bx, By)는 페이스트패턴(P1)에 대해서는 그 중심위치(x1, y1)와 페이스트패턴 (23a)의 도포개시점 사이의 거리의 X성분, y성분을 나타냄과 동시에 페이스트패턴 (P2)에 대해서는 그 중심위치(x2, y2)와 페이스트패턴(23c)의 도포개시점 사이의 거리의 x성분, y성분을, 페이스트패턴(P3)에 대해서는 그 중심위치(x3, y3)와 페이스트패턴(23e)의 도포개시점 사이의 거리의 x성분, y성분을, 페이스트패턴(P4)에 대해서는 그 중심위치(x4, y4)와 페이스트패턴(23g)의 도포개시점 사이의 거리의 x성분, y성분을 각각 나타내고 있다.

마찬가지로서 「베이스데이터번호 BD2」의「상대위치」(Bx, By)는 페이스트패턴 (P1)에 대해서는 그 중심위치(x1, y1)와 페이스트패턴(23b)의 도포개시점 사이의 거리의 x성분, y성분을 나타냄과 동시에, 페이스트패턴(P2)에 대해서는 그 중심위치(x2, y2)와 페이스트패턴(23d)의 도포개시점 사이의 거리의 x성분, y성분을, 페이스트패턴(P3)에 대해서는 그 중심위치(x3, y3)와 페이스트패턴(23f)의 도포개시점 사이의 거리의 x성분, y성분을, 페이스트패턴(P4)에 대해서는 그 중심위치(x4, y4)와 페이스트패턴(23h)의 도포개시점 사이의 거리의 x성분, y성분을 각각 나타내고 있다.

이와 같은 그룹 데이터의 등록이 완료하였는지의 여부는 상대위치관계 테이블(BPRPT)(도 11) 베이스데이터번호(BD1, 2)별로 등록이 행하여졌는지의 여부, 이미 설정되어 있는 도 7에 나타내는 등록사항 테이블(MDT)의「베이스데이터수」의 데이터를 이용하여 판정된다. 도 6에 나타내는 기본패턴(BP)의 경우, 등록사항 테이블(MDT)의「베이스데이터수」는 2이므로 상대위치관계 테이블(BPRPT)에서 2개의 그룹데이터가 등록되면 그룹데이터의 등록이 완료하였다고 판정한다. 그룹데이터설정이 종료하지 않은 나머지의 베이스패턴이 있는 경우에는 그에 관한 나머지의 베이스패턴에 대한 그룹데이터의 설정, 등록을 행하기 위하여 그 베이스패턴별로 단계(204, 205)의 처리가 반복된다.

이상의 그룹데이터등록공정이 종료하면 패턴데이터설정공정(단계 207)으로 진행한다. 이것은 실기판(22) 위에서의 각 페이스트패턴(P1, P2, P3, P4)의 위치관계를 규정하는 것으로서, 이 위치관계는 실기판(22)의 원점과 각 페이스트패턴 (P1, P2, P3, P4)의 중심위치와의 상대위치관계로 표시된다.

패턴데이터설정공정(단계 207)은 이와 같은 상대위치관계를 나타내는 데이터(패턴데이터라 함)를 입력설정하는 것으로, 이것이 입력되면 다음의 패턴데이터등록공정(단계 208)에 있어서 퍼스널컴퓨터본체(20)의 RAM 에 설정되어 있는 도 12에 나타내는 바와 같은 상대위치관계테이블(MPRPT)에 등록된다.

여기서 이 상대위치관계테이블(MPRPT)에서는 「패턴번호(P1, P2, P3, P4)」는 도 5에서의 페이스트패턴(P1, P2, P3, P4)에 할당된 번호로서 그들「상대위치」 (Px, Py)는 각각 도 5에서의 실제 기판의 원점(SBO)[그 좌표위치를(0, 0)으로 한다]으로부터 페이스트패턴(P1, P2, P3, P4)의 중심위치(x1, y1), (x2, y2), (x3, y3), (x4, y4)까지의 거리의 x성분, y성분(따라서 상대위치관계)을 나타내는 것이다.

다음의 패턴데이터 등록종료공정(단계 209)은, 이와 같은 패턴데이터의 등록이 완료하였는지의 여부는 상대위치관계테이블(MPRPT)(도 12)의 패턴번호(P1, P2, P3, P4)별로 패턴데이터의 등록이 행하여졌는지의 여부, 이미 설정되어 있는 도 7에 나타내는 등록사항테이블(MDT)의「패턴수」의 데이터를 이용하여 판정된다. 실기판(22)에 도포 묘획하는 페이스트패턴이 도 5에 나타내는 4개의 페이스트패턴 (P1, P2, P3, P4)의 경우, 등록사항테이블(MDT)의「패턴수」는 4 이므로 상대위치관계테이블(MPRPT)에서 4개의 패턴데이터가 등록되면 패턴데이터의 등록이 완료하였다고 판정한다. 패턴데이터설정이 종료하지 않은 나머지의 페이스트패턴이 있는 경우에는 이와 같은 나머지 도포패턴에 대한 패턴데이터의 설정, 등록을 행하기 위하여 그 페이스트패턴별로 단계(207, 208)의 처리가 반복된다.

이상과 같이 하여 모든 페이스트패턴에 대한 패턴데이터의 설정, 등록이 종료하면(단계 209) 다음의 모든 데이터텍스트 등록공정(단계 210)으로 진행하여 퍼스널컴퓨터본체(20)의 RAM에 등록한 상기의 각 테이블의 데이터를 다음번 운전에 이들 운전조건을 재이용할 수 있도록 하기 위하여 임의의 텍스트편집기로 편집 가능한 텍스트데이터로서 퍼스널컴퓨터본체(20)의 외부기억장치에서 플로피디스크 등의 기억매체에 보관하여 둔다.

또 모든 데이터텍스트 등록공정(단계 210)에서는 이와 같이 텍스트데이터로서 보관하기 전에 얻어진 벡터데이터 테이블(MVDT)(도 8)이나 상대위치관계 테이블 (BPRPT)(도 11), MPRPT(도 12)를 모니터(18)(도 1)에 표시시켜 그들 등록내용을 확인하도록 할 수 있다. 이 경우 예를 들면 소정의 페이스트패턴에 대하여 그 등록내용[예를 들면 코너의 치수(r)나 도포조건 등]을 필요에 따라 수정변경하고 싶은 경우에는 키보드(19)(도 1)로 소망하는 데이터를 입력함으로써 적절히 수정변경을 할 수 있다.

또 단계(203, 206, 209)별로 각각의 데이터의 등록종료와 함께 등록한 데이터를 모니터(18)에 표시시켜 그들의 등록내용을 확인할 수 있도록 함과 동시에 키보드(19)를 조작하여 그 등록내용을 필요에 따라 적절히 수정변경하도록 할 수도 있다.

이상과 같이 하여 얻어진 페이스트패턴의 데이터를 데이터베이스로서 용이하게 재이용할 수 있는 외에 베이스데이터를 수정함으로써 그 베이스데이터를 사용하는 모든 페이스트패턴의 형상이나 도포조건을 일괄하여 변경할 수 있으며, 특정한 페이스트패턴에 대해서만 변경을 행하는 경우에는 베이스데이터의 등록명칭을 지정하여 변경함으로써 특정한 페이스트패턴의 데이터변경도 용이하다.

그리고 이와 같이 운전데이터를 퍼스널컴퓨터본체(20)의 RAM과 별도의 기억매체에 동시에 기억하여 둠으로써 장치본체(M)의 상태(정지 중이나 운전 중)에 상관없이 기억매체에 등록된 페이스트패턴 데이터의 확인이나 변경이 가능하게 되어 다음번 운전데이터의 작성 등도 행할 수 있기 때문에 데이터작성에 있어서의 생산성이 향상하고, 도시 생략한 네트워크를 거쳐 페이스트패턴 데이터의 원격편집이나 장치본체(M)의 운전상황의 관리도 행할 수 있다.

또 플로피디스크 등의 기억매체에 등록되어 있는 텍스트데이터를 편집하여 페이스트패턴 데이터의 작성을 행할 수 있기 때문에 데이터의 편집에는 범용적인 워드프로세서 외에 CAD 어플리케이션이나 표 계산어플리케이션, 데이터베이스어플리케이션 등의 운전자가 손에 익은 어플리케이션프로그램을 사용하여 데이터의 작성을 용이하게 할 수 있다.

도 3에 있어서 이상의 페이스트패턴 데이터설정공정(단계 200)이 종료하면 페이스트도포기에 전원이 투입되어(단계 300), 그 초기설정이 실행된다(단계 400).

이 초기설정공정(단계 400)에서는 도 1에 있어서 서보모터(8a, 8b, 10)를 구동함으로써 z축 이동테이블(9)을 X, Y 방향으로 이동시켜 소정의 기준위치에 위치 결정하고, 노즐(13a)(도 2)을 그 페이스트토출구가 페이스트를 토출 개시시키는 위치(즉, 페이스트도포 개시점)에 위치결정되도록 소정의 원점위치에 설정한다.

또 퍼스널컴퓨터본체(20)와 장치본체(M) 사이의 도포데이터전송처리가 자동으로 행하여져 먼저 설정한 패턴데이터 등은 운전데이터로서 장치본체(M)의 제어부(17)내의 RAM에 설정됨과 동시에 이 제어부(17) 내의 도시 생략한 기억매체에 기록보관된다.

이상의 초기설정공정(단계 400)이 종료하면 실기판(22)이 기판흡착반(4) (도 1)에 탑재되어 흡착유지된다(단계 500). 이 기판탑재공정(단계 500)에서는 기판반송컨베이어(2a, 2b)(도 1)에 의해 실기판(22)이 X축 방향으로 기판흡착반 (4)의 위쪽까지 반송되고, 도시 생략한 승강수단에 의해 이들 기판반송컨베이어 (2a, 2b)를 하강시킴으로써 실기판(22)이 기판흡착반(4)에 탑재된다.

다음에 기판예비위치결정공정(단계 600)이 행하여진다. 이 공정에서는 도 1에 있어서 도시 생략한 위치결정척에 의해 이 실기판(22)의 X, Y 방향의 위치 맞춤이 행하여진다. 또 기판흡착반(4)에 탑재된 실기판(22)의 위치결정용 마크를 화상인식카메라(16a, 16b)가 촬영하여 이들 위치결정용 마크의 중심위치가 화상처리에서 구해져 실기판(22)의 θ방향의 경사가 검출되고, 이에 따라 서보모터 (24)(도 3)가 구동되어 그 θ방향의 경사도 보정된다.

다음에 패턴도포공정(단계 700)으로 이행하여 패턴번호순으로 페이스트패턴의, 예를 들면 페이스트패턴(P1, P2, P3, P4)의 순으로 퍼스널컴퓨터본체(20)의 RAM에 저장되어 있는 벡터데이터 테이블(MVDT)(도 8), 상대위치관계테이블(BPRPT)(도 11), 상대위치관계테이블(MPRPT)(도 12) 각각의 데이터를 사용하여 페이스트패턴 도포 묘획동작이 행하여진다. 이 공정에서는 이들 상대위치관계테이블(BPRPT)과 상대위치관계테이블(MPRPT)와의 데이터를 이용하여 페이스트패턴(P1, P2, P3, P4)의 페이스트패턴(23a 내지 23h)의 도포개시위치에 노즐(13a)의 토출구가 위치부여되고, 또 상기 벡터데이터테이블(MVDT)의 도포조건의 데이터로부터 노즐(13a)의 도포높이의 설정이 행하여진다. 이 도포높이의 설정은 노즐(13a)의 토출구로부터 실기판(22)의 표면까지의 거리가 도포되는 페이스트의 두께가 되도록 하는 것이다.

또한 페이스트패턴(23a 내지 23h)의 도포 개시위치는 상대위치관계테이블 (BPRPT)의 위치데이터를 상대위치관계테이블(MPRPT)의 데이터로 수정하여 설정되는 것이다. 예를 들면 실기판(22) 위에서의 페이스트패턴(23a)은 베이스패턴(BP1)의 시점(A1)의 위치좌표를 도 9(a)에 나타내는 바와 같이 (xa1, ya1)으로 하고 [이것이 도 11에 나타내는 상대위치관계테이블(BPRPT)에 베이스데이터번호(BD1)에 대한 상대위치(Bx, By)으로서 등록되어 있다)], 도 12에 나타내는 상대위치관계테이블 (MPRPT)에서의 패턴번호(P1)에 대한 상대위치데이터(Px, Py), 즉 실기판(22)의 원점(GBO)에 대한 원점위치를 (x1, y1)로 하면 실기판(22) 위에서의 페이스트패턴 (23a)의 도포개시위치는

(x1 + xa1, y1 + ya1)

로 한다. 그러나 이들 상대위치관계테이블(BPRPT), 상대위치관계테이블 (MPRPT) 대신에 이와 같은 수정한 데이터를 도포 개시위치 테이블로서 퍼스널컴퓨터본체(20)의 RAM에 저장하고, 각 페이스트패턴(23a 내지 23h)의 도포 개시위치를 이 도포 개시위치 테이블의 데이터에 의거하여 설정하도록 하여도 좋다.

이상의 처리가 종료하면 다음에 마이크로컴퓨터(17a)(도 2)의 RAM에 저장되어 있는 페이스트패턴데이터에 의거하여 서보모터(8a, 8b, 10)(도 1)가 구동되고,이에 의하여 노즐(13a)의 페이스트 토출구가 실기판(22)에 대향한 상태로 이 페이스트패턴데이터에 따라 X, Y 방향으로 이동함과 동시에, 정압원(30)(도 2)으로부터 페이스트수납통(13)에 약간의 공기압이 인가되어 노즐(13a)의 페이스트토출구로부터 페이스트가 토출하기 시작한다.

또 이와 같은 페이스트패턴의 묘획과 함께 마이크로컴퓨터(17a)는 거리계 (14)로부터 노즐(13a)의 페이스트 토출구와 실기판(22)의 표면 사이의 거리(도포높이)의 실측 데이터를 입력하여 실기판(22)의 표면의 굴곡을 측정하여 이 측정치에 따라 서보모터(12)를 구동함으로써 실기판(22)의 표면으로부터의 노즐 (13a)의 설정높이가 일정하게 되도록 유지되어 페이스트패턴의 도포 묘획이 행하여진다.

이와 같이 하여 페이스트패턴의 도포 묘획이 진행되나, 페이스트패턴의 도포묘획동작을 계속할지 종료할지의 판정은 도포점이 페이스트패턴데이터에 의해 결정되는 도포해야 할 페이스트패턴의 종단인지의 여부의 판단에 의해 결정되고, 종단이 아니면, 다시 실기판(22)의 표면의 굴곡 측정처리로 되돌아가 이하 상기의 각 공정을 반복하여 페이스트패턴의 도포 종단에 도달하기까지 페이스트도포동작을 계속한다.

이와 같은 페이스트패턴의 도포동작은 설정된 n개의 페이스트패턴데이터의 모두에 대하여 행하여지고, 마지막 번호(n)의 페이스트패턴데이터에 의한 페이스트패턴의 종단에 도달하면 서보모터(12)를 구동하여 노즐(13a)을 상승시키고, 이 페이스트패턴 도포공정(단계 700)을 종료시킨다.

다음으로 기판배출공정(단계 800)으로 진행한다. 이 공정에서는 도 1에 있어서 실기판(22)의 기판흡착반(4)에의 흡착이 해제되어 기판반송컨베이어(2a, 2b)를 상승시켜 이것에 실기판(22)을 옮겨 싣고, 그 상태로 이 기판반송컨베이어(2a, 2b)에 의해 장치본체(M) 밖으로 배출한다.

그리고 이상의 모든 공정이 종료하였는지의 여부를 판정한다(단계 900). 복수매의 실제 기판에 동일한 페이스트패턴데이터를 사용하여 페이스트패턴을 도포하는 경우에는 별도의 실기판(22)에 대하여 기판탑재공정(단계 500)으로부터 동작이 반복된다. 그리고 모든 실기판(22)에 대하여 이와 같은 일련의 처리가 종료하면 작업이 모두 종료(단계 1000)된다.

또한 이 실시형태에서는 노즐(13a)이 가동하여 기판(22)을 고정으로 하였으나, 본 발명은 이것에 한정하는 것이 아니라 노즐을 고정하여 기판(22)을 이동시키도록 하여도 좋다.

또 이 실시형태에서는 페이스트패턴데이터의 설정을 베이스데이터로부터 작성하고 있는 예를 나타내었으나, 퍼스널컴퓨터본체(20) 내의 하드디스크 등의 도시생략한 내부 기억매체나 플로피디스크 등의 외부 기억매체에 기억보관되어 있는 데이터를 호출하고 그 등록이 끝난 데이터에 의해 생산운전을 행하는 것, 등록이 끝난 데이터를 수정하여 신규운전 데이터로서 재등록하여 이것을 이용하여 생산운전을 행하는 것, 장치본체(M)측에서 새롭게 작성하는 것이나, 생산데이터로서 전송한 데이터를 수정하는 것이 가능하기 때문에 장치본체(M)측으로부터 데이터를 판독하여 그 데이터를 재등록, 재이용하는 등의 방법에 의해 데이터작성공정을 더욱 효율좋게 그 처리를 완료할 수 있다.

또 복수의 노즐로 도포를 행하는 경우에는 도포 노즐마다 동일한 설정을 행할 수 있도록 하여도 좋다.

또 이 실시형태에서는 도 5에 나타내는 바와 같이 동일기판(22) 위에 4개의 동일형상의 페이스트패턴(P1 내지 P4)을 도포 묘획하는 경우를 예로 하였으나, 1개 또는 4개 이외의 복수개의 동일형상의 페이스트패턴을 도포 묘획하는 경우도 마찬가지임은 물론이다.

또 이 실시형태에서는 묘획하는 모든 페이스트패턴(P1 내지 P4)이 모두 완전히 동일형상의 패턴으로 하였으나, 이것에 한정하는 것이 아니라, 일부가 다른 형상을 이루는 것이어도 좋다. 예를 들면 도 5에 있어서 페이스트패턴(P1 내지 P3)이 동일형상의 패턴으로서, 페이스트패턴(P4)이 이들과는 다른 형상의 패턴인 경우에는 이들 페이스트패턴(P1 내지 P3)에 대하여 기본패턴(BP)을 이용하여 상기한 바와 같이 패턴데이터를 작성하고, 페이스트패턴(P4)에 대해서는 별도의 페이스트패턴을 형성하도록 하여도 좋다. 이 경우도 이들 패턴데이터는 도 8에 나타내는 벡터데이터테이블(MVDT)에 등록하도록 한다. 또 예를 들면 도 5에 있어서 페이스트패턴 (P1, P2)이 동일형상의 패턴이고, 이것과는 형상이 다르나 페이스트패턴(P3, P4)도 동일형상의 패턴인 경우에도 각각 기본패턴(BP)을 사용하여 상기한 바와 같이 하여 패턴데이터를 작성하여 동일한 벡터데이터 테이블(MVDT)에 등록하도록 한다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면 소망형상의 페이스트패턴의 데이터설정이 용이하다.

Claims (8)

1. 노즐의 토출구에 대향하도록 하여 기판을 테이블 위에 얹어 놓아 설정된 패턴데이터에 따라 상기 기판의 주면과 평행한 방향에서의 상기 기판과 상기 노즐 사이의 상대위치관계를 변화시키면서 페이스트수납통에 충전된 페이스트를 상기 노즐의 토출구로부터 상기 기판 위에 토출시킴으로써 상기 기판 위에 상기 패턴데이터에 따른 소망형상의 페이스트패턴을 도포 묘획하는 페이스트도포기에 있어서,

   도포 묘획하는 상기 페이스트패턴의 기본패턴을 상기 기본패턴상의 점의 좌표위치 또는 상기 기본패턴을 구성하는 선분의 좌표상의 벡터로 나타내어 규정하는 데이터를 설정하는 제 1 설정수단과,

   상기 제 1 설정수단에서 설정된 상기 데이터를 동일한 상기 기판 위에 도포묘획하는 복수의 상기 페이스트패턴의 패턴데이터로서 자동설정하는 제 2 설정수단과,

   상기 기본패턴에 대하여 그 도포조건으로서, 상기 노즐과 상기 기판 사이의 상대이동속도, 상대거리 및 상기 페이스트수납통에 인가하는 압력을 설정하고, 그 도포조건을 상기 복수의 페이스트패턴마다의 도포조건으로서 자동설정하고, 또한 상기 복수의 페이스트패턴마다에 설정한 각 도포조건을 수정 가능하게 하는 제 3 설정수단과,

   상기 제 2 수단으로 패턴데이터가 설정된 복수의 상기 페이스트패턴의 상기 기판에서의 위치관계를 설정하는 제 4 설정수단을 구비하고,

   상기 도포조건에 따라 상기 기판 위의 상기 패턴데이터에 따른 궤적에 따라 페이스트를 도포함으로써 상기 제 4 설정수단에서 설정된 위치관계로 복수의 상기 페이스트패턴을 도포 묘획하는 것을 특징으로 하는 페이스트도포기.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 기본패턴은 복수의 베이스패턴으로 구성되고,

   상기 제 1 설정수단은 상기 베이스패턴별로 그것을 규정하는 데이터를 설정하는 것을 특징으로 하는 페이스트도포기.
3. 삭제
4. 삭제
5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   상기 제 3 설정수단은, 도포 묘획하는 페이스트패턴별로 설정한 도포조건을 모니터에 표시하고 키보드로부터 입력한 데이터로 상기 도포조건을 수정 가능하게 하고 있는 것을 특징으로 하는 페이스트도포기.
6. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   페이스트패턴이 다른 복수의 기본패턴을 도포 묘획함에 있어서,

   상기 제 1 설정수단은 상기 각 기본패턴별로 그 패턴을 규정하는 데이터를 설정하는 것이고,

   상기 제 2 설정수단은 상기 제 1 설정수단으로 상기 각 기본패턴별로 설정된 상기 데이터를 동일한 상기 기판 위에 도포 묘획하는 복수의 상기 페이스트패턴의 패턴데이터로서 설정하는 것이고,

   상기 제 3 설정수단은 상기 각 기본패턴별로 그들 페이스트패턴별로 도포조건을 설정하고, 또한 상기 도포조건을 수정 가능하게 하는 것이고,

   상기 제 4 설정수단은 상기 제 2 수단으로 패턴데이터가 설정된 상기 각 기본패턴별로 그 페이스트패턴의 상기 기판에서의 위치관계를 설정하는 것을 특징으로 하는 페이스트도포기.
7. 제 1항에 있어서,

   상기 노즐이 복수개 있고, 상기 제 1 내지 제 4 설정수단은 상기 각 노즐별로 도포 묘획하는 페이스트패턴에 대하여 각각의 데이터를 설정하는 것을 특징으로 하는 페이스트도포기.
8. 제 1항에 있어서,

   상기 기본패턴을 구성하는 선분끼리의 절곡부는 원호로 접속하는 것이고, 상기 제 3 설정수단은 도포조건으로서 상기 원호의 반경을 설정하는 것을 특징으로 하는 페이스트도포기.