KR102151941B1 - 솔더링 장치의 제어방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판에 용융된 솔더볼을 분사하는 노즐, 다수 개의 솔더링 포지션 정보와 솔더링 루트 정보를 저장하는 메모리 및, 상기 노즐의 구동과 상기 메모리를 제어하는 제어부를 포함하는 솔더링 장치의 제어방법에 있어서, 상기 메모리에 저장된 다수 개의 솔더링 포지션을 연결하되, 솔더링 루트의 접선의 각도 변화가 소정범위 내로 제한되도록 하는 솔더링 루트 설정 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더링 장치의 제어방법에 관한 것이다.

Description

솔더링 장치의 제어방법{Control method of soldering device}
본 발명은 솔더링 장치의 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로 알려진 바와 같이 솔더링은 인쇄회로기판(PCB; Printed Circuit Board) 등에 주석 성분을 포함하는 솔더볼(solder ball)을 인쇄하는 것을 지칭한다.
솔더링 방식으로는 대표적으로 열침을 이용하거나 노즐 자체의 온도를 올려 솔더볼을 용융시키는 방식이 있으며, 최근에는 비접촉 방식으로 레이저 빔을 이용해 솔더볼의 온도를 융점까지 순간적으로 올려 인쇄하는 기술이 개발되고 있다.
기존의 레이저 방식의 솔더링 장치에는 노즐이 솔더링 포인트로 이동하여 일시적으로 정지한 후 레이저 빔으로 솔더볼을 용융시켜 솔더링하고, 다음 솔더링 위치로 이동하는 제어방법이 이용되어 왔다.
이는 노즐이 각각의 솔더링 포인트마다 정지해야 하므로, 전체 솔더링 속도가 급격하게 저하되며, 노즐이 정지할 때 관성에 의한 진동으로 정확한 위치에 솔더링이 되지 않는 문제점을 가지고 있다.
또한, 종래기술에 따른 솔더링 루트는 인접한 솔더링 포인트를 서로 직선으로 연결한 것으로서, 노즐의 이동방향이 순간적으로 급격하게 전환되어 노즐에 과도한 진동이 발생되고 그에 따라 솔더링 품질이 저하되는 문제 역시 상존하고 있다.
더욱이, 기존에는 노즐의 목표 이동속도를 하나의 값으로 설정해놓고, 그에 맞춰 노즐이 이동을 하게 되므로, 급격하게 이동방향이 전환되는 구간에서는 노즐 진동이 극대화되는 단점이 있다.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 솔더링 속도를 증가시키는 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 노즐에 발생될 수 있는 진동을 줄여 솔더링 포인트에 정확하게 솔더링되도록 하는 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판의 솔더링 포지션에 용융된 솔더볼을 분사하는 노즐, 상기 노즐을 이송하는 구동부, 상기 구동부에 연결된 카메라 모듈 및, 상기 카메라 모듈을 통해 수신한 솔더링 포지션 정보에 따른 솔더링 루트 정보를 저장하는 메모리를 포함하는 솔더링 장치의 제어방법에 있어서, 상기 솔더링 루트 정보에 따라 상기 노즐이 연속적으로 이동하는 노즐 이동 단계; 상기 노즐이 솔더볼 분사신호가 발생되는 트리거 영역에 도달했는지 여부를 판단하는 단계; 및 상기 노즐이 트리거 영역에 도달한 것으로 판단되면, 상기 기판에 용융된 솔더볼이 분사되는 솔더링 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더링 장치의 제어방법을 제공한다.
예시적인 실시예에 있어서, 상기 트리거 영역은 솔더링 포지션을 중심으로 소정반경 내에 위치하되, 상기 노즐의 이동 방향과 수직한 면을 기준으로 이동 방향 반대측 영역에 설정될 수 있다.
예시적인 실시예에 있어서, 상기 소정반경은 솔더볼이 상기 노즐에서 용융되어 상기 기판의 솔더링 포지션으로 낙하하는 시간동안 상기 노즐이 이동하는 거리일 수 있다.
예시적인 실시예에 있어서, 상기 솔더링 장치는 상기 노즐 내부 압력을 증대시키는 압력 발생 모듈과, 상기 솔더볼을 용융시키는 레이저 모듈을 더 포함하고, 상기 솔더링 단계는 레이저 모듈 On 단계; 및 가압 모듈 On 단계;를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 있어서, 상기 솔더링 루트는 상기 카메라를 통해 인식된 솔더링 포지션을 연속적으로 잇되, 상기 노즐의 이동 방향이 변화하는 범위가 소정각도 내로 유지되도록 설정될 수 있다.
예시적인 실시예에 있어서, 상기 루트 정보는 X-Y축을 따라 설정된 좌표 정보일 수 있다.
예시적인 실시예에 있어서, 상기 노즐이 마지막 솔더링 포지션을 통과했는지 여부를 판단하는 단계; 및 노즐 원위치 단계;를 더 포함하고, 상기 노즐이 마지막 솔더링 포지션을 통과한 것으로 판단되면, 상기 노즐 원위치 단계가 수행되고,
상기 노즐이 마지막 솔더링 포지션을 통과하지 않은 것으로 판단되면, 상기 트리거 영역에 도달했는지 여부를 판단하는 단계가 다시 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판에 용융된 솔더볼을 분사하는 노즐, 다수 개의 솔더링 포지션 정보와 솔더링 루트 정보를 저장하는 메모리 및, 상기 노즐의 구동과 상기 메모리를 제어하는 제어부를 포함하는 솔더링 장치의 제어방법에 있어서, 상기 메모리에 저장된 다수 개의 솔더링 포지션을 연결하되, 솔더링 루트의 접선의 각도 변화가 소정범위 내로 제한되도록 하는 솔더링 루트 설정 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더링 장치의 제어방법을 제공한다.
예시적인 실시예에 있어서, 상기 솔더링 루트 설정 단계는 상기 소정범위가 상기 노즐의 이동방향을 중심으로 -60° 내지 60° 사이로 설정되도록 하는 설정루트 최적화 단계;를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 있어서, 상기 설정루트 최적화 단계에서 설정된 솔더링 루트가 상기 메모리에 저장되는 설정루트 저장 단계;를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 있어서, 상기 솔더링 루트 설정단계는 상기 메모리에 저장된 다수 개의 솔더링 포지션을 직선으로 연결하는 최단루트 설정 단계;를 더 포함하고, 상기 설정루트 최적화 단계는 상기 최단루트 설정 단계 이후 진행될 수 있다.
예시적인 실시예에 있어서, 설정된 루트를 따라 이동하는 노즐의 속도를 설정하는 노즐 이동속도 설정 단계;를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 있어서, 상기 노즐 이동속도 설정 단계는 상기 노즐의 직선구간 이동 속도를 설정하는 기준속도 설정 단계; 및 솔더링 루트의 접선의 각도가 변화하는 지점에서 상기 노즐이 상기 직선구간 이동속도 보다 낮은 속도로 이동하도록 설정속도를 최적화하는 단계;를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 있어서, 상기 설정속도를 최적화하는 단계에서는 솔더링 루트의 접선의 각도가 변화하는 지점에서 상기 직선구간 이동속도 보다 낮은 제1속도로 감속된 후, 상기 제1속도보다 빠르고 상기 직선구간 이동속도 보다 낮은 제2속도로 가속된 후, 다시 상기 제1속도록 감속되도록 상기 노즐의 속도를 설정할 수 있다.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 솔더링 속도를 증가시키는 효과가 있다.
본 발명의 다른 목적은 노즐에 발생될 수 있는 진동을 줄여 솔더링 포인트에 정확하게 솔더링이 되도록 하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 솔더링 장치를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 솔더링 장치를 제어하기 위한 구성을 개략적으로 도시한 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 솔더링 장치의 제어방법으로, 솔더링 포지션과 솔더링 루트 및 노즐 이동속도를 설정하는 플로우를 도시한 순서도이다.
도 4는 설정 루트 최적화 단계에서, 노즐의 진동이 감소되도록 솔더링 루트가 최적화된 일례를 도시한 것이다.
도 5는 설정 속도 최적화 단계에서, 노즐의 진동이 감소되도록 노즐 이동 속도가 최적화된 일례를 도시한 것이다.
도 6은 설정 속도 최적화 단계에서, 노즐의 진동이 감소되도록 노즐 이동 속도가 최적화된 다른 일례를 도시한 것이다.
도 7은 기 설정된 솔더링 루트에 따라, 솔더링 과정이 진행되는 플로우를 도시한 순서도이다.
도 8은 설정된 트리거 영역(TD)을 표현한 것이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들에 대해서 살펴보기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 솔더링 장치를 도시한 것이고, 도 2는 상기 솔더링 장치의 세부 구성에 대한 블록도이다.
이하 도 1 및 2를 참조하여 솔더링 장치의 전체 구성을 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 솔더링 장치는 기판의 솔더링 포지션(SP)에 솔더볼(SB)을 분사하는 노즐(1), 상기 노즐(1) 내부의 솔더볼(SB)에 레이저빔(2a)을 방사하여 상기 솔더볼(SB)을 용융시키는 레이저 모듈(2) 및, 상기 노즐(1)을 X-Y축 방향으로 이송하는 구동부(8)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 솔더링 장치는 상기 노즐(1) 내부로 솔더볼(SB)를 피딩하는 솔더볼 피더(4)와, 상기 솔더볼 피더(4)에서 상기 노즐(1)로 솔더볼(SB)이 투입되었는지 감지하는 피딩 감지 센서(7)를 더 포함할 수 있다.
아울러, 상기 솔더링 장치는 상기 노즐(1)의 일측에는 질소나 아르곤과 같은 비활성 기체를 상기 노즐(1) 내부로 공급하여 용융된 솔더볼(SB)을 노즐 외부로 토출시키는 가압 모듈(6) 및, 상기 가압 모듈(6)에 의해 상기 노즐(1) 내부 압력이 증가했는지 여부를 측정하는 압력센서(7)를 더 포함할 수 있다.
이에 따라, 상기 솔더링 장치는 레이저빔(2a)을 이용해 솔더볼(SB)을 용융시켜 기판의 솔더링 포지션(SP)에 솔더링하게 된다.
솔더링 과정을 수행하기에 앞서, 기판의 솔더링 포지션(SP)을 파악하고 그에 대한 좌표정표가 솔더링 장치에 저장될 필요가 있다.
따라서, 상기 솔더링 장치는 상기 구동부(8)에 연결되어 상기 기판 위에서 X-Y축 방향으로 이동하면서 솔더링 포지션(SP) 정보를 인식하는 카메라 모듈(3) 및, 상기 카메라 모듈(3)에 의해 인식된 솔더링 포지션(SP) 정보를 저장하는 메모리(9)를 더 포함할 수 있다.
또한 제어 및 전원 공급을 위해, 상기 솔더링 장치는 상기 레이저 모듈(2), 카메라 모듈(3), 솔더볼 피더(4), 가압모듈(6). 압력센서(6), 피딩 감지 센서(7) 및 구동부(8)를 제어하는 제어부(C)와, 전원을 공급하는 전원부(P)를 더 구비할 수 있다.
아울러, 상기 제어부(C)는 앤코더(E)를 통해 상기 파트들과 통신할 수 있으며, 이에 관한 기술은 당업자에게 자명한 사항이므로 구체적인 설명은 생략한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예 따른 솔더링 장치의 제어방법으로, 솔더링 포지션과 솔더링 루트 그리고 노즐 이송속도를 설정하는 순서도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 솔더링 장치의 제어방법은 상기 카메라 모듈(3)을 통해 인식된 솔더링 포지션(SP) 정보를 저장하는 솔더링 포지션 설정 단계(S1)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 솔더링 포지션 설정 단계(S1)는 상기 구동부(8)에 의해 상기 카메라 모듈(3)이 이동하는 카메라 모듈 이동 단계(S11), 상기 카메라 모듈(3)이 기판의 솔더링 포지션(SP)을 인식하여 좌표를 리딩하는 현재 좌표 리딩 단계(S12) 및, 상기 현재 좌표 리딩 단계(S12)에서 리딩한 솔더링 포지션(SP)의 X-Y좌표를 상기 엔코더(E)를 통해 상기 메모리(9)에 저장하는 솔더링 포지션 좌표 저장 단계(S13)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 솔더링 포지션 좌표 저장 단계(S13) 이후, 모든 솔더링 포지션 좌표를 리딩되었는지 판단하는 단계(S14)가 수행될 수 있다.
여기서, 모든 솔더링 포지션 좌표가 리딩되지 않은 것으로 판단되면 상기 카메라 모듈 이동 단계(S11)가 다시 진행될 수 있으며, 모든 솔더링 포지션 좌표가 리딩된 것으로 판단되면 상기 노즐(1)이 원위치로 복귀하고 솔더링 루트 설정 단계(S2)가 진행될 수 있다.
상기 솔더링 루트 설정 단계(S2)에서는 상기 제어부(C)가 상기 메모리(9)에 저장된 다수 개의 솔더링 포지션(SP)을 연결하되, 솔더링 루트의 접선의 각도 변화가 소정범위 내로 제한되도록 솔더링 루트를 설정할 수 있다.
즉, 상기 노즐(1)의 이동 방향 변화 범위를 제한하여, 이동 방향이 급격하게 변화함에 따라 노즐(1)에 발생될 수 있는 진동을 감소시키기 위함이다.
구체적으로, 상기 솔더링 루트 설정 단계(S2)는 상기 메모리(9)에 저장된 솔더링 포지션(SP) 각각을 직선으로 잇는 최단루트 설정 단계(S21)와, 솔더링 루트의 접선의 각도 변화가 상기 노즐(1)의 이동방향을 중심으로 -60° 내지 60° 사이로 설정되도록 상기 최단루트 설정 단계(S21)에서 설정된 소더링 루트를 수정하는 설정루트 최적화 단계(S22)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 솔더링 루트 설정 단계(S2)는 상기 설정루트 최적화 단계(S22)에서 설정된 솔더링 루트가 상기 메모리에 저장되는 설정루트 저장 단계(S23)를 더 포함할 수 있다.
상기 설정루트 최적화 단계(S22)를 거친 솔더링 루트(L)를 표현한 도 4를 참조하여 보다 상세하게 설명하면, 솔더링 루트(L)는 직선루트에서 곡선루트로 이동하면서 노즐의 이동방향이 급격하게 변하게 될 경우, 이동방향을 타측으로 선회하여 솔더링 루트의 접선의 각도 변화가 완만해지도록 설정될 수 있다.
다시 돌아와서 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 솔더링 장치의 제어방법은 설정된 루트를 따라 이동하는 노즐(1)의 속도를 설정하는 노즐 이동속도 설정 단계(S3)를 포함할 수 있다.
상기 노즐 이동속도 설정 단계(S3)는 상기 노즐의 직선구간(X축으로만 이송 또는 Y축으로만 이송) 이동 속도를 설정하는 기준속도 설정 단계(S31), 솔더링 루트의 접선의 각도가 변화하는 지점(곡선구간 또는 코너구간)에서 상기 노즐이 상기 직선구간 이동속도 보다 낮은 속도로 이동하도록 설정속도를 최적화하는 설정속도 최적화 단계(S32) 및, 상기 설정속도 최적화 단계(S32)에서 설정된 속도를 상기 메모리(9)에 저장하는 속도 프로파일 저장 단계(S33)를 포함할 수 있다.
보다 상세하게 도 5를 참조하면, 좌측은 솔더링 루트를 표시한 그림으로 구간 는 솔더링 루트의 접선의 각도가 변화하는 부분을 특정한 것이고, 우측은 상기 구간 A에서의 이동속도 프로파일을 나타낸 것이다.
즉, 직선구간 이동속도가 V1이라면, 솔더링 루트의 접선의 각도가 변화하는 부분의 속도는 V1보다 낮은 V2가 될 수 있다.
다시 말해, 솔더링 루트의 접선의 각도가 변화하는 부분에서는 속도 프로파일이 역사다리꼴 형상이 될 수 있다.
또한, 설정속도 최적화 단계(S32)의 다른 실시예로 도 6을 참조하면, 상기 설정속도를 최적화하는 단계(S32)는 솔더링 루트의 접선의 각도가 변화하는 부분(A)에서 상기 직선구간 이동속도(V3) 보다 낮은 제1속도(V4)로 감속된 후, 상기 제1속도(V4)보다 빠르고 상기 직선구간 이동속도(V3) 보다 낮은 제2속도(V5)로 가속된 후, 다시 상기 제1속도(V4)록 감속되도록 상기 노즐의 속도가 설정될 수 있다.
아울러, 상기 제1속도(V4)에서 제2속도(V5)로, 또 상기 상기 제2속도(V5)에서 제1속도(V4)로 변화할 때는 그 가속도가 완만하게 변화하도록 설정될 수 있다.
이에 따라, 코너구간에서 상기 노즐(1)에 발생될 수 있는 진동이 탁월하게 감소될 수 있다.
이하, 도 7을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 솔더링 장치의 제어방법에서, 상기 솔더링 포지션 설정 단계(S1)와 상기 솔더링 루트 설정 단계(S2) 및 상기 노즐 이동속도 설정 단계(S3)에서 설정된 조건에 따라 솔더링을 하는 방법을 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 솔더링 수행 단계(S4)는 상기 솔더링 루트 정보에 따라 상기 노즐이 연속적으로 이동하는 노즐 이동 단계(S41), 상기 노즐(1)이 솔더볼 분사신호가 발생되는 트리거 영역(TD)에 도달했는지 여부를 판단하는 단계(S42)와, 상기 노즐이 트리거 영역(TD)에 도달한 것으로 판단되면 상기 기판에 용융된 솔더볼(SB)이 분사되는 솔더링 단계(S43) 및, 마지막 솔더링 포지션(SP)을 통과했는지 여부를 판단하는 단계(S44)를 포함할 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 솔더링 단계(S43)는 상기 솔더볼 피더(5)에서 상기 노즐(1)로 솔더볼(SB)이 공급되는 솔더볼 피딩 단계(S431)와, 솔더볼(SB)을 용융하는 레이저 모듈 On 단계(S432) 및, 용융된 솔더볼(SB)을 솔더링 포지션(SP)으로 토출시키는 압력 발생 모듈 On 단계(S433)를 포함할 수 있다.
또한, 마지막 솔더링 포지션(SP)을 통과했는지 여부를 판단하는 단계(S44)를 더 포함할 수 있으며, 마지막 솔더링 포지션(SP)을 통과한 것으로 판단되면 노즐 원위치 단계(S45)가 수행되고, 마지막 솔더링 포지션(SP)을 통과하지 않은 것으로 판단되면 노즐 이동 단계(S41)가 다시 수행될 수 있다.
상술한 구성에 따르면, 상기 노즐(1)이 마지막 솔더링 포지션(SP)을 통과하기 전까지 멈추지 않고 이동될 수 있으므로, 종래기술에 비해 솔더링 속도가 급격하게 빨라질 수 있다.
도 8을 참조하여, 전술한 트리거 영역(TD)에 대해 보다 상세하게 설명하며, 상기 트리거 영역(TD)은 솔더링 포지션을 중심으로 소정반경(D) 내에 위치하되, 상기 노즐(1)의 이동 방향과 수직한 면을 기준으로 이동 방향 반대측 영역에 설정될 수 있다.
상기 소정반경(D)은 솔더볼(SB)이 상기 노즐(1)에서 용융되어 상기 기판의 솔더링 포지션(SP)으로 낙하하는 시간동안 상기 노즐(1)이 이동하는 거리(D)로 설정될 수 있다.
즉, 트리거 영역(TD)은 상기 노즐(1)이 멈추지 않고 연속적으로 이동하면서 솔더링 포지션(SP)에 정확하게 솔더링하기 위한 기술적 구성이다.
본 명세서에 기재되어 있지 않은 효과라도, 본 발명은 상술한 각각의 구성들이 다른 효과를 추가적으로 가지고 있을 수 있으며, 상술한 각각의 구성들간 유기적인 결합관계에 따라 종래기술에서 볼 수 없는 새로운 효과를 도출할 수 있다.
아울러, 도면에 도시된 실시예들이 다른 형태로 변형되어 실시될 수 있으며, 본 발명의 특허청구범위에 청구된 구성을 포함하여 실시되거나 균등범위 내에서 실시되는 경우 본 발명의 권리범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
노즐 1 레이저 모듈 2 카메라 모듈 3 솔더볼 피더 4
압력 생성 모듈 5 압력센서 6 피딩감지센서 7 메모리 8
앤코더 9 제어부 C 전원부 P

Claims (7)

  1. 기판에 용융된 솔더볼을 분사하는 노즐, 다수 개의 솔더링 포지션 정보와 솔더링 루트 정보를 저장하는 메모리 및, 상기 노즐의 구동과 상기 메모리를 제어하는 제어부를 포함하는 솔더링 장치의 제어방법에 있어서,
    상기 노즐이 솔더볼을 분사하며 이동하는 과정에서 방향을 완만하게 전환하도록 솔더링 루트를 설정하는 솔더링 루트 설정 단계;를 포함하고,
    상기 솔더링 루트 설정 단계는
    상기 메모리에 저장된 다수 개의 솔더링 포지션을 직선으로 연결하여 최단루트를 도출하는 최단루트 설정 단계; 및
    솔더링 루트의 접선의 각도 변화가 상기 노즐의 이동방향을 중심으로 -60° 내지 60° 사이로 제한되도록 솔더링 루트를 설정하는 설정루트 최적화 단계;를 더 포함하고,
    상기 설정루트 최적화 단계는
    상기 최단루트 설정 단계 이후 진행되며, 상기 최단루트 설정 단계에서 설정된 최단루트를 수정하여 솔더링 루트를 도출하는 것을 특징으로 하는 솔더링 장치의 제어방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 설정루트 최적화 단계에서 설정된 솔더링 루트가 상기 메모리에 저장되는 설정루트 저장 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더링 장치의 제어방법.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    설정된 루트를 따라 이동하는 노즐의 속도를 설정하는 노즐 이동속도 설정 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더링 장치의 제어방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 노즐 이동속도 설정 단계는
    상기 노즐의 직선구간 이동 속도를 설정하는 기준속도 설정 단계; 및
    솔더링 루트의 접선의 각도가 변화하는 지점에서 상기 노즐이 상기 직선구간 이동속도 보다 낮은 속도로 이동하도록 설정속도를 최적화하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더링 장치의 제어방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 설정속도를 최적화하는 단계에서는
    솔더링 루트의 접선의 각도가 변화하는 지점에서 상기 직선구간 이동속도 보다 낮은 제1속도로 감속된 후, 상기 제1속도보다 빠르고 상기 직선구간 이동속도 보다 낮은 제2속도로 가속된 후, 다시 상기 제1속도록 감속되도록 상기 노즐의 속도를 설정하는 것을 특징으로 하는 솔더링 장치의 제어방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007245189A (ja) * 2006-03-16 2007-09-27 Tdk Corp 接合装置及びそのノズルユニット

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