KR100393183B1 - 마이크로액츄에이터의상보형정전구동장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기생 분포 용량을 서로 상쇄시켜 마이크로액츄에이터가 고감도의 성능을 발휘할 수 있도록 하는 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 마이크로액츄에이터의 상보형 정전 구동 장치는, 마이크로액츄에이터의 자체 구조 및 진동 특성에 의해 기생 분포 용량을 통해 가진 신호가 감지 신호에 혼합되어 잡음이 되는 것을 방지하기 위하여 가진 전압 신호를 서로 상쇄되도록 인버터를 이용하여 서로 극성이 반대인 신호를 가진판에 인가함으로써, 잡음성 가진 신호를 서로 상쇄 시키는 효과가 있으며 따라서 신호대잡음비가 대폭 개선된다. 또한, 액튜에이터와 일체형이 아닌 회로로도 진동 변위의 감지가 가능하므로 시험/측정이 용이하고, 감지부가 단순해지므로 원가가 줄어든다. 더욱이, 진동 방향 양측에서 가진 신호를 인가하면 교류 성분 즉 ω성분의 정전기력 만이 작용하므로 변위의 편차(Offset)를 유발하지 않으면서, 공진 특성을 개선한다.

Description

마이크로액츄에이터의 상보형 정전 구동 장치{An apparatus for electrostatically driving a microactuator}
본 발명은 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치에 관한 것으로, 상세하게는 기생 분포 용량을 서로 상쇄시켜 마이크로액츄에이터가 고감도의 성능을 발휘할 수 있도록 하는 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치에 관한 것이다.
초미세 기계식 공진형 액츄에이터(Micro Mechical Resonating Actuator)는 위치 혹은 운동에너지를 변환하는 고감도 센서의 핵심적인 부품으로 자리하고 있으며, 특히 감쇄율이 극히 작은 공진자의 공진 주파수 변화를 이용하여 압력, 가속도, 가스 분포도 등을 감지하는 센서 뿐 만 아니라 최근에는 이러한 공진자를 이용해서 각속도를 감지할 수 있는 마이크로자이로스코프(Micro Gyroscope)의 개발도 활발히 진행되고 있다.
도 1은 종래의 빗살 구동(Comb Driver)형 마이크로액츄에이터(MicroActuator)에서의 정전 구동 장치의 회로도이다. 도시된 바와 같이, 빗살 구동 마이크로액츄에이터는 고정부(1a)에 의해 고정된 빗살형 가진판(1), 고정부(2a)에 의해 고정된 빗살형 감지판(2), 지지빔(3a) 및 고정부(3b)에 의해 떠받쳐져 지지되는 빗살형 현수 진동판(3), 접지전극(4a)에 의해 접지된 접지판(4) 및 감지부(6)가 구비되고, 정전 구동 장치(5)로서 가진판 고정부(1a)를 통하여 가진판(1)에 AC 및 DC 전원이 공급된다.
가진판(1)에 정전 구동 장치로부터 상기와 같은 전원이 공급되면, 가진판(1)의 빗살과 현수 진동판(3)의 빗살 사이에 정전기력이 발생하여 현수 진동판(3)이 공진주파수로 진동하게 된다. 이를 빗살형 감지판(2)의 빗살과 현수 진동판(3)의 빗살의 대향 면적 변화에 따른 캐패시턴스 변화를 전압의 형태로 감지부(6)에서 감지하게 된다.
도 2는 종래의 평행판형 마이크로액츄에이터에서의 정전 구동 장치의 회로도이다. 도시된 바와 같이, 평행판형 마이크로액츄에이터는 평면 기판 상에 감지판(12)를 중앙에 두고 그 양쪽에 가진판(11)이 형성되어 있고, 이들 가진판(11) 및 감지판(12)의 상부에 현수 진동판(13)이 구비되어 있으며, 감지부(16)가 감지판(12)에 회로적으로 연결되어 있다. 또한, 정전 구동 장치(15)로서 AC, DC 전원이 구비되어 있다.
가진판(11)에 정전 구동 장치(15)로부터 상기와 같은 전원이 공급되면, 가진판(11)과 현수 진동판(13) 사이에 정전기력이 발생하여 현수 진동판(13)이 공진주파수로 상하로 진동하게 된다. 이를 감지판(12)과 현수 진동판(13)의 진동에 의한이격 거리에 따른 캐패시턴스 변화를 전압의 형태로 감지부(16)에서 감지하게 된다.
이상과 같은 정전 구동 마이크로액츄에이터의 진동 특성은 레이저 간섭계(Laser Interferometer) 등을 이용한 광학 장치로 쉽게 파악이 가능하지만, 이를 센서로 이용하기 위해서는 진동에 따른 용량 변화를 감지할수 있는 간단한 회로부가 필수적이다. 그러나 공진자의 진동 변위가 극히 작기 때문에 감지 대상인 용량 변화에 따른 신호의 변화의 크기가 매우 작아서 마이크로액츄에이터에 적용하는 것이 용이하지 않다. 이를 해결하기 위해 통상 액튜에이터와 감지 회로부를 집적시키거나 복잡한 방법의 신호 처리를 통해 변위를 감지하고 있으나 신호대 잡음비의 개선에는 한계가 존재하고 부가 장치를 통한 원가 상승 등의 면에서 볼 때 오프-??(Off-Chip), 오픈-루프(Open-Loop) 형태의 간단한 감지 방식의 고안은 필수적이다.
또한, 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치에 있어서, 실리콘 기판 상에 이들 초미세 진동 구조를 제작하여 공진시키면서 공진자(진동판)의 움직이는 변위를 용량의 변화로 감지하고자 할 때, 가진 신호를 인가하는 단자(1, 11)와 감지 신호를 검출하는 단자(2, 12) 사이에는, 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(14)과 선간을 통해 기생 용량(10)이 존재할 수 밖에 없고, 이러한 용량 분포가 잡음이 전달되는 경로가 되어 가진 신호가 감지부로 전달되어 감지 신호에 혼합된다. 여기서 저항(R)은 기판에 의한 등가 저항이다. 이와 같이 기생 용량 때문에 감지 신호에 혼합된 가진 신호는 감지 신호의 정확도를 떨어뜨리는 잡음원으로 작용하게 된다.
이를 도 3을 참조하여 좀 더 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
일반적으로 정전형 액츄에이터에 정전력을 가하기 위한 가진 신호로는 DC성분과 AC성분을 더하여 사용한다. 이 때 발생하는 정전력의 크기는 인가 신호의 제곱에 비례하므로 다음과 같이 표시될 수 있다.
VD(t)=Vdc+Vaccosωt
Fe(t)∝Vdc 2++2VdcVaccosωt+cos2ωt
즉 정전 액츄에이터에 구동 신호 인가시 발생하는 정전력은 dc성분, 주파수ω성분, 그리고 2ω성분이 혼재되어 있다. 그러므로 감쇄율이 낮은 진동형 액츄에이터에 VD(t)의 전압을 인가하면 주파수ω성분으로, 진폭은 dc전압과 dc전압의 곱에 비례하는 변위가 얻어진다. 이때 감지하고자 하는 정전용량은 다음과 같다.
C(t) = C0: 비공진시
= C0+ΔC(t) : 공진시
ΔC(t)=│Cm│sinωrt
여기서 CO는 감지측의 전체 정지 정전용량이며, │Cm│은 감지하고자 하는 정전용량의 변화량의 크기 즉 진폭이며, ωr은 진동 액츄에이터의 고유한 진동 주파수이다. 이 때 출력되는 잡음으로서의 가진 신호는 도 3에 도시된 바와 같은 기생 분포 용량의 경로를 통해 전달되므로 교류 성분 Vac에 비례하게 되어 감지 출력에나타난다. 그러므로 통상 신호대 잡음비를 키우기 위해 Vdc를 키우고 Vac를 가능한 작게 인가하는 것이 보통이다.
그러나 실제 상황에서는 Vac 를 무한정 줄일수 없는 것이 보통이며, 어느 정도 까지 줄이더라도 이에 비례하는 잡음 성분은 상당량 존재한다. 또한, Vdc를 크게 하면 할수록 DC성분의 힘에 의해 정전 액츄에이터의 진동판의 위치가 중앙이 아니라 한쪽으로 치우친 상태에서 작동하게 되므로 진동판의 진동특성이 변화하게 되어 공진주파수의 측정이 용이하지 않게되는 문제가 있다.
이와 같이, 종래의 정전 마이크로액츄에이터는 정전력이 발생하도록 구동 신호를 인가하는 단자와 용량 변화를 감지하는 단자 사이에는 기생 용량 분포가 존재하기 때문에 가진 신호가 잡음원으로서 감지단을 통해 전해지므로 실제 발생하는 변위에 의한 신호가 정확하지 못한 문제점이 존재한다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하고자 창안된 것으로, 신호대 잡음비 및 진동 특성을 대폭 개선할 수 있는 새로운 구조의 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 빗살 구동(Comb Driver)형 마이크로액츄에이터(Micro Actuator)에서의 정전 구동 장치의 회로도,
도 2는 종래의 평행판형 마이크로액츄에이터에서의 정전 구동 장치의 회로도,
도 3은 도 1의 빗살 구동형 마이크로액츄에이터에서의 기생 용량 분포도,
도 4는 본 발명에 따른 빗살 구동형 마이크로액츄에이터의 상보형 정전 구동 장치의 회로도,
도 5는 본 발명에 따른 평행판형 마이크로액츄에이터의 상보형 정전 구동 장치의 회로도,
그리고 도 6은 진동 특성을 개선한 빗살 구동형 마이크로액츄에이터의 상보형 정전 구동 장치의 회로도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1. 가진판1a. 고정부
2. 감지판2a. 고정부
3, 23, 43. 현수 진동판3a. 지지빔
3b. 고정부4. 접지판
4a. 접지전극5. 정전 구동 장치(전원)
6, 16, 26, 36, 46. 감지부10. 기생 캐패시턴스(등가)
11, 31a, 31b, 41a, 42a. 가진판12, 22, 32, 41b, 42b. 감지판
13, 33. 평행형 현수 진동판14. 기판
15. 정전 구동 장치(전원)16, 26, 36, 46. 감지부
27, 37, 47. 인버터
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 빗살형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치는, 양측에 빗살을 갖는 현수 진동판; 상기 현수 진동판의 일측 빗살에 그 빗살이 맞물린 가진판; 상기 현수 진동판의 타측 빗살에 그 빗살이맞물린 감지판; 상기 감지판을 통하여 상기 현수 진동판의 변위를 상기 현수 진동판과 감지판 사이의 용량을 전압의 형태로 감지하는 감지 수단; 및 상기 현수 진동판이 가진되도록 하는 정전기력을 상기 가진판에 부여하는 정전 구동 수단;을 구비하여 된 빗살형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치에 있어서, 상기 가진판은 두 개의 빗살군으로 분리된 제1가진판 및 제2가진판을 구비하고, 상기 정전 구동 수단은 전원 및 인버터를 구비하되, 상기 제1가진판에는 상기 전원을 직접 연결하고 상기 제2가진판에는 상기 인버터를 통하여 상기 전원을 연결한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 또 다른 빗살형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치는, 양측에 빗살을 갖는 현수 진동판; 상기 현수 진동판의 일군의 빗살에 그 빗살이 맞물린 가진판; 상기 현수 진동판의 다른 일군의 빗살에 그 빗살이 맞물린 감지판; 상기 감지판을 통하여 상기 현수 진동판의 변위를 상기 현수 진동판과 감지판 사이의 용량을 전압의 형태로 감지하는 감지 수단; 및 상기 현수 진동판이 가진되도록 하는 정전기력을 상기 가진판에 부여하는 정전 구동 수단;을 구비하여 된 빗살형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치에 있어서, 상기 가진판은 상기 현수 진동판 양측 빗살들과 맞물리는 빗살들을 각각 3 개의 빗살군으로 분리하여 고정시킨 일측의 제1,2 및 3 고정판 및 타측의 제4,5 및 6 고정판 중, 상기 현수 진동판의 일측의 중앙에 위치한 제2고정판 및 타측의 중앙에 위치한 제5고정판으로 형성되고, 상기 감지판은 상기 일측의 고정판 중 바깥의 제1고정판과 제3고정판 및 상기 타측의 고정판 중 바깥의 제4고정판과 제6고정판으로 형성되며, 상기 정전 구동 수단은 전원 및 인버터를 구비하되, 상기 제2고정판에는 상기 전원을 직접 연결하고 상기 제5고정판에는 상기 인버터를 통하여 상기 전원을 연결한 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 정전 구동 장치에서, 상기 전원은 하나의 교류 전원 및 제1 및 제2의 두 개의 직류 전원으로 구성되며, 상기 제2고정판에는 각각 상기 교류 전원 및 상기 제1직류 전원이 직렬로 접속되고, 상기 제5고정판에는 상기 교류 전원이 상기 인버터를 거쳐 접속되고 상기 제2직류전원은 직접 접속된 것이 바람직하며, 상기 감지 수단은, 상기 일측의 제1고정판 및 제3고정판을 단락시켜 그 일측 입력 단자에 접속하고 상기 타측의 제4고정판 및 제6고정판을 단락시켜 그 타측 입력 단자에 접속한 차동 증폭 수단을 더 구비하여 된 것이 바람직하다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 평행판형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치는, 평면 기판 상에 서로 이격되어 형성된 제1 및 제2가진판; 상기 제1 및 제2가진판 사이의 상기 기판 상에 형성된 감지판; 상기 제1 및 제2가진판 및 상기 감지판 위해 이격되어 형성되고 기판에 평행하도록 형성된 평행형 현수 진동판; 상기 평행형 현수 진동판의 변위를 상기 평행형 현수 진동판과 감지판 사이의 이격 거리에 따른 용량의 변화를 전압의 형태로 감지하는 감지 수단; 및 상기 평행형 현수 진동판이 가진되도록 하는 정전기력을 상기 제1 및 제2가진판에 부여하는 정전 구동 수단;을 구비하여 된 평행판형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치에 있어서, 상기 정전 구동 수단은 전원 및 인버터를 구비하되, 상기 제1가진판에는 상기 전원을 직접 연결하고 상기 제2가진판에는 상기 인버터를 통하여 상기 전원을 연결한 것을 특징으로 한다.
이하 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치를 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 빗살 구동형 마이크로액츄에이터의 상보형 정전 구동 장치의 회로도이다. 이는 기본적인 형태로 도 1에 도시된 바와 같은 빗살 구동(Comb Driver)형 마이크로액츄에이터에서 전술한 문제점을 개선하기 위해 가진판에 인가되는 정전 구동 장치의 회로를 변경한 것이다. 기본적으로 정전력은 인가 신호의 제곱에 비례하고 잡음 성분은 인가신호에 직접 비례한다는 점을 이용하여, 도 1의 정전 구동 장치와는 달리, 가진 신호를 인가하는 빗살(Comb Finger)을 크게 두군데(21a)(21b)로 나누어 같은 정전력이 발생하되 기생 분포 용량에 의해 감지부로 전달되어 노이즈가 되는 교류(ac) 성분은 서로 상쇄가 되도록 서로 극성이 반대가 되도록 인가해 준다. 즉, 두 빗살군 중 한 군데(21b)에는 신호 반전용의 인버터(27)를 연결하여 전원부(25)의 신호를 반전시켜 인가한다. 이 때 발생되는 정전기력은 크기가 같고 그 극성이 서로 반대이므로 거의 상쇄된다. 따라서, 신호대잡음비가 크게 개선된다.
VD1(t)=Vdc+Vaccosωt
VD2(t)=-Vdc-Vaccosωt
Fe1(t)=Fe2(t), VN1(t)=-VN2(t)
여기서 Fe1(t)는 VD1에 의한 정전력이고, Fe2(t)는 VD2에 의한 정전력이며,VN1(t)는 VD1에 의한 잡음신호이며, VN2(t)는 VD2에 의한 잡음신호이다. 도 5는 본 발명에 따른 평행판형 마이크로액츄에이터의 상보형 정전 구동 장치의 회로도로서, 도 2에 도시된 바 있는 평행판형 정전 구동 마이크로액츄에이터에 앞서 설명한 바 있는 상보형 정전 구동 장치를 적용한 것이다. 즉, 두 개의 가진판(31a, 31b) 중 제1가진판(31a)에는 인버터(37)을 연결하여 전원부(35)의 신호를 반전시켜 인가하고, 제2가진판(31b)에는 전원부(35)의 신호를 그대로 인가한다. 도 4에 도시된 바와 같은 빗살 구동형 마이크로액츄에이터의 상보형 정전 구동 장치와 원리적으로 동일한 특성과 효과를 얻을 수 있다.
도 6은 진동 특성을 개선한 빗살 구동형 마이크로액츄에이터의 상보형 정전 구동 장치의 회로도이다. 도시된 바와 같이, 이 빗살 구동 마이크로액츄에이터는 상보 정전 구동 장치를 이용하여 액츄에이터의 진동 특성을 개선한 것이다. 이는 빗살(comb Finger)을 진동이 일어나는 양쪽 방향으로 나누어 가진판(41a)(42a)을 형성하고, 양쪽에 같은 크기의 구동 전압을 인가하되 ac성분만 180°의 위상차가 존재하게 가진함으로써 이루어진다. 즉, 두 개의 직류 전원(45a, 45b)과 하나의 교류 전원(45c)를 구비하고, 두 직류 전원(45a, 45b)은 각각 제1가진판(41a) 및 제2가진판(42a)에 직접 인가하고, 교류 전원(45c)은 제1가진판(41a)에는 인버터(47)를 연결하여 반전된 신호가 인가되도록 하고, 제2가진판(42a)에는 원래 신호가 그대로 인가되도록 한다. 이와 같이 하면, 극성이 서로 다른 ac 가진 전압 신호에 의해 기생 분포 용량을 통한 잡음성 가진 전압 신호의 상쇄 효과를 얻을 수 있을 뿐 만 아니라, 전체적으로 dc 성분과 2ω 성분에 의한 정전기력은 양쪽으로 동일하게 작용하므로 서로 상쇄되고, 순수한 ω 성분에 의한 정전기력은 두 배로 작용하게 되어 진동자는 초기 변위가 발생하지 않은 상태에서 구동하게 되므로 공진에 의한 진동특성을 개선할 수 있게 된다. 또한, 이 때 감지부(46)도 빗살을 양측으로 나누어서 형성된 감지판(41b, 42b)에 각각 차동 증폭기(48)을 통하여 접속되게 함으로써, 두 감지판(41b, 42b) 각각의 출력 신호의 차동 성분을 증폭하여 취하면 진동판(43)의 커다란 변위 신호를 검출할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 마이크로액츄에이터의 상보형 정전 구동 장치는, 마이크로액츄에이터의 자체 구조 및 진동 특성에 의해 기생 분포 용량을 통해 가진 신호가 감지 신호에 혼합되어 잡음이 되는 것을 방지하기 위하여 가진 전압 신호를 서로 상쇄되도록 인버터를 이용하여 서로 극성이 반대인 신호를 가진판에 인가함으로써, 잡음성 가진 신호를 서로 상쇄 시키는 효과가 있으며 따라서 신호대잡음비가 대폭 개선된다. 또한, 액튜에이터와 일체형이 아닌 회로로도 진동 변위의 감지가 가능하므로 시험/측정이 용이하고, 감지부가 단순해지므로 원가가 줄어든다. 더욱이, 진동 방향 양측에서 가진 신호를 인가하면 교류 성분 즉 ω성분의 정전기력 만이 작용하므로 변위의 편차(Offset)를 유발하지 않으면서, 공진 특성을 개선할 수 있다.

Claims (7)

  1. 양측에 빗살을 갖는 현수 진동판;
    상기 현수 진동판의 일측 빗살에 그 빗살이 맞물린 가진판;
    상기 현수 진동판의 타측 빗살에 그 빗살이 맞물린 감지판;
    상기 감지판을 통하여 상기 현수 진동판의 변위를 상기 현수 진동판과 감지판 사이의 용량을 전압의 형태로 감지하는 감지 수단; 및
    상기 현수 진동판이 가진되도록 하는 정전기력을 상기가진판에 부여하는 정전 구동 수단;을 구비하여 된 빗살형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치에 있어서,
    상기 가진판은 두 개의 빗살군으로 분리된 제1가진판 및 제2가진판을 구비하고,
    상기 정전 구동 수단은 전원 및 인버터를 구비하되, 상기 제1가진판에는 상기 전원을 직접 연결하고 상기 제2가진판에는 상기 인버터를 통하여 상기 전원을 연결한 것을 특징으로 하는 빗살형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 전원은 교류 전원 및 직류 전원이 직렬로 접속된 것을 특징으로 하는 빗살형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치.
  3. 양측에 빗살을 갖는 현수 진동판;
    상기 현수 진동판의 일군의 빗살에 그 빗살이 맞물린 가진판;
    상기 현수 진동판의 다른 일군의 빗살에 그 빗살이 맞물린 감지판;
    상기 감지판을 통하여 상기 현수 진동판의 변위를 상기 현수 진동판과 감지판 사이의 용량을 전압의 형태로 감지하는 감지 수단; 및
    상기 현수 진동판이 가진되도록 하는 정전기력을 상기가진판에 부여하는 정전 구동 수단;을 구비하여 된 빗살형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치에 있어서,
    상기 가진판은 상기 현수 진동판 양측 빗살들과 맞물리는 빗살들을 각각 3 개의 빗살군으로 분리하여 고정시킨 일측의 제1,2 및 3 고정판 및 타측의 제4,5 및 6 고정판 중, 상기 현수 진동판의 일측의 중앙에 위치한 제2고정판 및 타측의 중앙에 위치한 제5고정판으로 형성되고,
    상기 감지판은 상기 일측의 고정판 중 바깥의 제1고정판과 제3고정판 및 상기 타측의 고정판 중 바깥의 제4고정판과 제6고정판으로 형성되며,
    상기 정전 구동 수단은 전원 및 인버터를 구비하되, 상기 제2고정판에는 상기 전원을 직접 연결하고 상기 제5고정판에는 상기 인버터를 통하여 상기 전원을 연결한 것을 특징으로 하는 빗살형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 정전 구동 장치에서, 상기 전원은 하나의 교류 전원 및 제1 및 제2의 두 개의 직류 전원으로 구성되며,
    상기 제2고정판에는 각각 상기 교류 전원 및 상기 제1직류 전원이 직렬로 접속되고, 상기 제5고정판에는 상기 교류 전원이 상기 인버터를 거쳐 접속되고 상기 제2직류전원은 직접 접속된 것을 특징으로 하는 빗살형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 감지 수단은, 상기 일측의 제1고정판 및 제3고정판을 단락시켜 그 일측 입력 단자에 접속하고 상기 타측의 제4고정판 및 제6고정판을단락시켜그 타측 입력 단자에 접속한 차동 증폭 수단을 더 구비하여 된 것을 특징으로 하는 빗살형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치.
  6. 평면 기판 상에 서로 이격되어 형성된 제1 및 제2가진판;
    상기 제1 및 제2가진판 사이의 상기 기판 상에 형성된 감지판;
    상기 제1 및 제2가진판 및 상기 감지판 위해 이격되어 형성되고 기판에 평행하도록 형성된 평행형 현수 진동판;
    상기 평행형 현수 진동판의 변위를 상기 평행형 현수 진동판과 감지판 사이의 이격 거리에 따른 용량의 변화를 전압의 형태로 감지하는 감지 수단; 및
    상기 평행형 현수 진동판이 가진되도록 하는 정전기력을 상기 제1 및 제2가진판에 부여하는 정전 구동 수단;을 구비하여 된 평행판형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치에 있어서,
    상기 정전 구동 수단은 전원 및 인버터를 구비하되, 상기 제1가진판에는 상기 전원을 직접 연결하고 상기 제2가진판에는 상기 인버터를 통하여 상기 전원을 연결한 것을 특징으로 하는 평행판형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 전원은 교류 전원 및 직류 전원이 직렬로 접속된 것을 특징으로 하는 평행판형 마이크로액츄에이터의 정전 구동 장치.
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