DE69831659D1 - Integrierte Anordnung mit einem Halbleiter-Microantrieb, insbesondere für einen Lese-/Schreibkopf für harte Speicherplatten - Google Patents
Integrierte Anordnung mit einem Halbleiter-Microantrieb, insbesondere für einen Lese-/Schreibkopf für harte SpeicherplattenInfo
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- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/002—Electrostatic motors
- H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
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Family Applications (1)
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