JP6741525B2 - 駆動装置、位置決め装置、リソグラフィー装置、および、物品製造方法 - Google Patents
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Description
前記指令値に基づいて第2電流指令値を生成する第2コミュテーション演算部と、前記第2電流指令値に基づいて補正値を決定する補正値決定部と、
前記第1電流指令値と前記補正値とに基づいて前記電流指令値を生成する補正部と、を含み、前記電流ドライバの伝達関数をF(s)とした場合に、前記補正値決定部の伝達関数が(F(s)−1−1)であり、F(s)とF(s) −1 とがF(s)*F(s) −1 =1を満たす関係を有する。
Claims (15)
- コイルおよび磁石を有するモータを駆動する駆動装置であって、
前記コイルに電流を供給する電流ドライバと、前記電流ドライバに供給するべき電流指令値を生成する制御部と、を備え、
前記制御部は、
指令値または前記指令値を演算して得られる演算値に基づいて第1電流指令値を生成する第1コミュテーション演算部と、
前記指令値に基づいて第2電流指令値を生成する第2コミュテーション演算部と、
前記第2電流指令値に基づいて補正値を決定する補正値決定部と、
前記第1電流指令値と前記補正値とに基づいて前記電流指令値を生成する補正部と、を含み、
前記電流ドライバの伝達関数をF(s)とした場合に、前記補正値決定部の伝達関数が(F(s)−1−1)であり、F(s)とF(s) −1 とがF(s)*F(s) −1 =1を満たす関係を有する
ことを特徴とする駆動装置。 - 前記指令値は、前記モータによって駆動される駆動対象をフィードフォワード制御するためのフィードフォワード指令値であって、
前記演算値は、前記モータによって駆動される駆動対象の制御偏差に基づいて決定されるフィードバック指令値と前記フィードフォワード指令値との和である
ことを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。 - 前記制御部は、
前記モータの電気角と前記駆動対象の回転角の検出結果である検出回転角との差である角度オフセットを求める第1位相計算部と、
前記駆動対象の目標回転角と前記角度オフセットとに基づいて補正電気角を求める第2位相計算部と、を含み、
前記第2コミュテーション演算部は、前記フィードフォワード指令値と、前記補正電気角とに基づいて前記第2電流指令値を生成する、
ことを特徴とする請求項2に記載の駆動装置。 - 前記制御部は、
前記モータの電気角と前記駆動対象の位置の検出結果である検出位置から換算される回転角との差である角度オフセットを求める第1位相計算部と、
前記駆動対象の目標位置と前記角度オフセットとに基づいて補正電気角を求める第2位相計算部と、を含み、
前記第2コミュテーション演算部は、前記フィードフォワード指令値と、前記補正電気角とに基づいて前記第2電流指令値を生成する、
ことを特徴とする請求項2に記載の駆動装置。 - 前記第1コミュテーション演算部および前記第2コミュテーション演算部は、同一の演算式に従ってコミュテーション演算を行う、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の駆動装置。 - 前記コイルの温度を計測するセンサを更に備え、
(F(s)−1−1)が前記センサによって計測された温度に基づいて変更される、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の駆動装置。 - コイルおよび磁石を有するモータを駆動する駆動装置であって、
前記コイルに電流を供給する電流ドライバと、前記電流ドライバに供給するべき電流指令値を生成する制御部と、を備え、
前記制御部は、
指令値または前記指令値を演算して得られる演算値に基づいて第1電流指令値を生成する第1コミュテーション演算部と、
前記指令値に基づいて第2電流指令値を生成する第2コミュテーション演算部と、
前記第2電流指令値に基づいて補正値を決定する補正値決定部と、
前記第1電流指令値と前記補正値とに基づいて前記電流指令値を生成する補正部と、を含み、
前記補正値決定部は、前記補正値として、前記電流ドライバに前記第1電流指令値を入力する場合よりも前記第1電流指令値と前記補正値とに基づいて生成した電流指令値を前記電流ドライバに入力した場合の方が、前記電流ドライバに対する入力と前記電流ドライバからの出力との位相差が周波数に依らずに低減される補正値を決定し、
前記電流ドライバの伝達関数をF(s)とした場合に、前記補正値決定部の伝達関数がF(s) −1 を含み、F(s)とF(s) −1 とがF(s)*F(s) −1 =1を満たす関係を有することを特徴とする駆動装置。 - 前記補正値決定部の伝達関数は、前記F(s)−1に対して所定の差を有する伝達関数であることを特徴とする請求項7に記載の駆動装置。
- 前記指令値は、前記モータによって駆動される駆動対象をフィードフォワード制御するためのフィードフォワード指令値であって、
前記演算値は、前記モータによって駆動される駆動対象の制御偏差に基づいて決定されるフィードバック指令値と前記フィードフォワード指令値との和である
ことを特徴とする請求項7又は8に記載の駆動装置。 - 前記制御部は、
前記モータの電気角と前記駆動対象の回転角の検出結果である検出回転角との差である角度オフセットを求める第1位相計算部と、
前記駆動対象の目標回転角と前記角度オフセットとに基づいて補正電気角を求める第2位相計算部と、を含み、
前記第2コミュテーション演算部は、前記フィードフォワード指令値と、前記補正電気角とに基づいて前記第2電流指令値を生成する、
ことを特徴とする請求項9に記載の駆動装置。 - 前記制御部は、
前記モータの電気角と前記駆動対象の位置の検出結果である検出位置から換算される回転角との差である角度オフセットを求める第1位相計算部と、
前記駆動対象の目標位置と前記角度オフセットとに基づいて補正電気角を求める第2位相計算部と、を含み、
前記第2コミュテーション演算部は、前記フィードフォワード指令値と、前記補正電気角とに基づいて前記第2電流指令値を生成する、
ことを特徴とする請求項9に記載の駆動装置。 - 前記第1コミュテーション演算部および前記第2コミュテーション演算部は、同一の演算式に従ってコミュテーション演算を行う、
ことを特徴とする請求項7乃至11のいずれか1項に記載の駆動装置。 - 物品を位置決めする位置決め装置であって、
前記物品を保持するステージと、
前記ステージを駆動するように構成された請求項1乃至12のいずれか1項に記載の駆動装置と、
を備えることを特徴とする位置決め装置。 - 基板上にパターンを形成するためのリソグラフィー装置であって、
請求項13に記載の位置決め装置により位置決めされる基板上にパターンを形成することを特徴とするリソグラフィー装置。 - 請求項14に記載のリソグラフィー装置によって基板にパターンを形成する工程と、
前記工程の後に前記基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
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