KR102103248B1 - 구동 장치, 위치결정 장치, 리소그래피 장치, 및 물품 제조 방법 - Google Patents

구동 장치, 위치결정 장치, 리소그래피 장치, 및 물품 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102103248B1
KR102103248B1 KR1020187008299A KR20187008299A KR102103248B1 KR 102103248 B1 KR102103248 B1 KR 102103248B1 KR 1020187008299 A KR1020187008299 A KR 1020187008299A KR 20187008299 A KR20187008299 A KR 20187008299A KR 102103248 B1 KR102103248 B1 KR 102103248B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
command value
current
correction
motor
commutation
Prior art date
Application number
KR1020187008299A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20180044362A (ko
Inventor
미츠오 히라타
마사야스 스즈키
사토시 마루야마
Original Assignee
캐논 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 캐논 가부시끼가이샤 filed Critical 캐논 가부시끼가이샤
Priority claimed from PCT/JP2016/003978 external-priority patent/WO2017038094A1/en
Publication of KR20180044362A publication Critical patent/KR20180044362A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102103248B1 publication Critical patent/KR102103248B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/402—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for positioning, e.g. centring a tool relative to a hole in the workpiece, additional detection means to correct position
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70716—Stages
    • G03F7/70725—Stages control
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70758—Drive means, e.g. actuators, motors for long- or short-stroke modules or fine or coarse driving
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/404—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P23/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control
    • H02P23/20—Controlling the acceleration or deceleration
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P6/00—Arrangements for controlling synchronous motors or other dynamo-electric motors using electronic commutation dependent on the rotor position; Electronic commutators therefor
    • H02P6/08—Arrangements for controlling the speed or torque of a single motor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Control Of Ac Motors In General (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)

Abstract

코일 및 자석을 포함하는 모터를 구동하는 구동 장치는, 상기 코일에 전류를 공급하는 전류 드라이버, 및 상기 전류 드라이버에 공급될 전류 명령값을 생성하는 제어기를 구비한다. 상기 제어기는, 명령값 및 상기 명령값을 계산함으로써 얻어진 계산값 중 하나에 기초하여 제1 전류 명령값을 생성하는 제1 커뮤테이션 연산부(8)와, 상기 명령값에 기초하여 제2 전류 명령값을 생성하는 제2 커뮤테이션 연산부(15)와, 상기 제2 전류 명령값에 기초하여 보정값을 결정하는 보정값 결정부(16), 및 상기 제1 전류 명령값과 상기 보정값에 기초하여 상기 전류 명령값을 생성하는 보정부(10)를 포함한다. 상기 전류 드라이버는 F(s)의 전달 함수를 가지며, 상기 보정값 결정부(16)는 (F(s)-1-1의 전달 함수를 갖는다.

Description

구동 장치, 위치결정 장치, 리소그래피 장치, 및 물품 제조 방법
본 발명은, 구동 장치, 위치결정 장치, 리소그래피 장치, 및 물품 제조 방법에 관한 것이다.
일본 특허 공개 제2010-286927호는 리니어 모터형 구동 스테이지에 관한 것이다. 일본 특허 공개 제2010-286927호는 리니어 모터의 코일에 흐르는 전류가 명령값에 일치하지 않고, 전류 드라이버의 특성에 의해 전류 오차가 발생하는 것을 기재하고 있다. 일본 특허 공개 제2010-286927호는 전류 오차를 보정하는 방법으로서 명령 전류의 미분 값에 게인을 곱하여 얻은 보정 항을 사용하는 기술을 기재하고 있다. 일본 특허 제3339195호는 서보 제어 장치에 관한 것이다. 일본 특허 제3339195호는 모터의 저항값 및 모터의 인덕턴스 값에 기초하여 전류 피드백의 지연 양을 보정 양으로서 계산하는 기술을 기재하고 있다.
일본 특허 공개 제2010-286927호 및 일본 특허 제3339195호에 기재된 기술에서는, 전류 루프의 지연에 의해 발생하는 오차를 보정하기 위해서 보정항 및 보정 양을 계산한다. 그러나, 그 보정 항 및 보정 양에서도 오차가 발생하고, 이는 구동 오차를 발생시킬 수 있다.
본 발명은 모터를 더 정밀하게 구동하는데 유리한 기술을 제공한다.
본 발명의 양태 중 하나는, 코일 및 자석을 포함하는 모터를 구동하는 구동 장치를 제공하며, 상기 장치는, 상기 코일에 전류를 공급하도록 구성된 전류 드라이버; 및 상기 전류 드라이버에 공급될 전류 명령값을 생성하도록 구성된 제어기를 포함하고, 상기 제어기는, 명령값 및 상기 명령값을 계산함으로써 얻어진 계산값 중 하나에 기초하여 제1 전류 명령값을 생성하도록 구성된 제1 커뮤테이션 연산부와, 상기 명령값에 기초하여 제2 전류 명령값을 생성하도록 구성된 제2 커뮤테이션 연산부와, 상기 제2 전류 명령값에 기초하여 보정값을 결정하도록 구성된 보정값 결정부, 및 상기 제1 전류 명령값과 상기 보정값에 기초하여 상기 전류 명령값을 생성하도록 구성된 보정부를 포함하며, 상기 전류 드라이버는 F(s)의 전달 함수를 갖고, 상기 보정값 결정부는 (F(s)-1-1)의 전달 함수를 갖는다.
본 발명의 추가적인 특징은 첨부된 도면을 참고한 예시적인 실시형태에 대한 이하의 설명으로부터 명확해질 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 다른 구동 장치의 구성을 도시하는 개략도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 구동 장치의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 3은 모터의 구동 프로파일을 각각 도시하는 타이밍 차트를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 구동 장치의 구성을 도시하는 개략도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 구동 장치의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 6은 F(s)의 구체적인 예를 나타내는 블록도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 위치결정 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 8은 보정값 결정부의 구체적인 예를 나타내는 블록도이다.
도 9는 시뮬레이션에서 사용한 스테이지의 구동 프로파일을 각각 도시하는 타이밍 차트를 나타낸다.
도 10a는 시뮬레이션 결과를 도시하는 타이밍 차트이다.
도 10b는 시뮬레이션 결과를 도시하는 타이밍 차트이다.
도 10c는 시뮬레이션 결과를 도시하는 타이밍 차트이다.
도 10d는 시뮬레이션 결과를 도시하는 타이밍 차트이다.
도 11은 시뮬레이션 결과를 도시하는 타이밍 차트이다.
도 12a는 시뮬레이션 결과를 도시하는 타이밍 차트이다.
도 12b는 시뮬레이션 결과를 도시하는 타이밍 차트이다.
도 13은 본 발명의 제4 실시형태에 따른 리소그래피 장치의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 14는 본 발명의 제4 실시형태에 따른 리소그래피 장치에서 실행될 수 있는 처리를 도시하는 흐름도이다.
도 15는 비교예를 설명하는 개략도이다.
도 16은 비교예를 설명하는 블록도이다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시형태를 설명한다. 이하의 식에서, 기호 "·"은 순서를 바꿀 수 있는 곱셈을 나타내고, 기호 "*"은 순서를 바꿀 수 없는 곱셈을 나타낸다.
먼저, 도 15 및 도 16을 참조하여 비교예의 구동 장치(300)를 설명한다. 비교예의 구동 장치(300)는 모터(1)를 구동하도록 구성된다. 모터(1)는 예를 들어 동기 모터로서 구성된다. 모터(1)는 복수(예를 들어, 3개)의 코일(4)과, 자석(예를 들어, 영구 자석)(5)을 갖는다. 이하에서는, 모터(1)가 3개의 코일(4)을 갖는 예, 즉 모터(1)가 3상 모터인 예를 설명한다. 그러나, 코일(4)의 개수는 특정한 수로 제한되지 않는다. 자석(5)은 모터(1)의 회전자에 제공될 수 있다. 복수의 코일(4)은 모터(1)의 고정자에 제공될 수 있다. 자석(5)의 자극 방향을 따라, 복수의 코일(4)에 전류를 흘림으로써, 회전자를 회전시키는 힘(F)을 발생시킨다. 모터(1)는 자석(5)의 자극을 검지하는 자극 센서(6)를 갖는다.
구동 장치(300)는 제어기(2')를 구비하고 있다. 제어기(2')는 커뮤테이션 연산부(8) 및 위상 계산부(7)를 갖는다. 제어기(2')는, DSP(디지털 시그널 프로세서) 등의 디지털 계산기에 의해 형성될 수 있다. 제어기(2')는, 명령값 생성부(27)로부터의 피드포워드 명령값(Iff)에 기초하여 3상의 전류 명령값을 생성하고, 그것들을 전류 드라이버(3)에 공급하는 역할을 갖는다. 피드포워드 명령값(Iff)은, 모터(1)에 의해 구동되는 구동 대상에 대해 피드포워드 제어를 행하기 위한 명령값이다. 전류 드라이버(3)는, 이 예에서는, 3상의 전류 드라이버이며, 제어기(2')로부터 공급된 3상의 전류 명령값에 따라서 모터(1)의 3개의 코일(4)에 전류를 공급한다. 전류 드라이버(3)는, 전류 제어기를 포함하고, 각 코일(4)에 흐르는 전류가 전류 명령값을 추종하도록 동작한다.
명령값 생성부(27)는, 제어기(2')의 호스트 제어기이며, 모터(1)의 구동 프로파일을 유지 또는 생성한다. 명령값 생성부(27)는, 구동 프로파일에 대응하는 피드포워드 명령값(Iff)을 생성하고, 그것을 제어기(2')에 공급한다. 도 3은 구동 프로파일의 일례를 나타내고 있다. 도 3에 예시된 구동 프로파일은, 최대 각가속도(αm) 및 최대 각속도(ωm)에서 각도 0으로부터 θm까지 모터(1)의 회전자를 구동한다. 명령값 생성부(27)는, 최대 각가속도(αm) 및 최대 각속도(ωm)의 제약 조건하에서, 목표 각도(θm)까지 회전자를 구동시키기 위한 구동 프로파일을 생성한다. 피드포워드 명령값(Iff)은, 각가속도, 모터(1)에 의해 발생되는 힘(F), 및 모터(1)에 공급되는 전류가 비례 관계에 있기 때문에, 각가속도 패턴에 게인을 곱함으로써 계산될 수 있다.
3상 모터(1)에서는, U 상, V 상, 및 W 상의 3상 코일(4)에 대하여 120°의 위상차를 갖는 사인파 전류를 공급함으로써 힘(F)을 발생시킨다. 전기각(θ)은, 120°의 위상차를 갖는 사인파 전류를 계산하기 위해서 사용된다. 전기각(θ)은, 각각의 코일(4)과 자석(5) 사이의 위치 관계에 의해 정해지기 때문에, 위상 계산부(7)는 대응하는 자극 센서(6)로부터 출력되는 신호에 기초하여 전기각(θ)을 계산한다. 제1 커뮤테이션 연산부(8)는, 위상 계산부(7)에 의해 얻어진 전기각(θ)에 기초하여, 이하에 따라서 U 상, V 상, 및 W 상의 각각의 전류 명령값(Iff_u, Iff_v, Iff_w)을 계산한다:
Figure 112018029178101-pct00001
커뮤테이션 연산부(8)에 의해 계산된 전류 명령값(Iff_u, Iff_v, Iff_w)은, D/A 컨버터(도시하지 않음)에 의해 아날로그 값으로 변환되고, 전류 드라이버(3)에 공급된다. 전류 드라이버(3)는, 전류 제어기를 포함하고, 전류 명령값(Iff_u, Iff_v, Iff_w)을 수취하며, 모터(1)의 U 상, V 상, 및 W 상 코일(4)에 대하여 각각 전류(I_u, I_v, I_w)를 공급한다. 전류 드라이버(3)의 전류 제어기와 U 상 코일(4)의 전기적인 특성에 의해, 전류 명령값(Iff_u)을 입력으로 하고 U 상 코일(4)에 흐르는 전류(I_u)를 출력으로 하는 전달 함수(U 상에 관한 전류 드라이버(3)의 전달 함수)(F(s))가 결정된다. 마찬가지로, 전류 드라이버(3)의 전류 제어기와 V 상 코일(4)의 전기적인 특성에 의해, 전류 명령값(Iff_v)을 입력으로 하고 V 상 코일(4)에 흐르는 전류(I_v)를 출력으로 하는 전달 함수(V 상에 관한 전류 드라이버(3)의 전달 함수)(F(s))가 결정된다. 마찬가지로, 전류 드라이버(3)의 전류 제어기와 W 상 코일(4)의 전기적인 특성에 의해, 전류 명령값(Iff_w)을 입력으로 하고 W 상 코일(4)에 흐르는 전류(I_w)를 출력으로 하는 전달 함수(W 상에 관한 전류 드라이버(3)의 전달 함수)(F(s))가 결정된다. 이 예에서는, U 상, V 상, 및 W 상은 전달 함수(F(s))에서 서로 동등하다. 그러나, 이들은 상이한 전달 함수를 가질 수 있다. s는 라플라스 연산자를 의미한다.
U 상, V 상, 및 W 상 코일(4)을 흐르는 각각의 전류(I_u, I_v, I_w)는 이하에 의해 주어질 수 있다:
Figure 112018029178101-pct00002
모터(1)의 U 상, V 상, 및 W 상 코일(4)에 각각의 전류(I_u, I_v, I_w)가 흐르면, 모터(1)가 힘(F)을 발생시킨다. 모터(1)의 U 상, V 상, 및 W 상 코일(4)에 전류가 흐를 때 발생하는 각각의 힘(F_u, F_v, F_w)은 비례 상수(K)를 사용하여 이하에 의해 주어진다:
Figure 112018029178101-pct00003
모터(1)에 의해 발생된 힘(F)은, U 상, V 상, 및 W 상 코일(4)에 전류가 흐를 때 발생하는 각각의 힘의 합이기 때문에, 이하에 의해 주어진다:
Figure 112018029178101-pct00004
식 (4)에서 F(s)=1이라면, 우변의 중괄호 안은 이하에 의해 주어지고:
Figure 112018029178101-pct00005
힘(F)은 이하에 의해 주어진다:
Figure 112018029178101-pct00006
그러나, F(s)≠1일 경우에는, U 상, V 상, 및 W 상 코일(4)을 흐르는 전류(I_u, I_v, I_w) 사이에 위상차(δ)가 발생한다. 식 (4)의 우변의 중괄호의 안은 이하에 의해 주어진다:
Figure 112018029178101-pct00007
따라서, 모터(1)에 의해 발생되는 힘(F)에서 오차가 발생한다. 위상차(δ)는, 전달 함수(F(s))의 주파수 특성에 의해 발생하는 지연이기 때문에, 각각 대응하는 전달 함수(F(s))에의 입력으로서의 역할을 하는 전류 명령값(Iff_u, Iff_v, Iff_w)의 주파수에 따라서 변동한다. 전류 명령값(Iff_u, Iff_v, Iff_w)은, 식 (1)에 도시하는 바와 같이, 명령값(Iff) 및 전기각(θ)에 따라서 변화한다. 이 명령값(Iff) 및 전기각(θ)은, 구동 프로파일 및 모터의 속도에 의해 변화한다. 이러한 변화에 의해, 위상차(δ)는 결코 일정한 값은 될 수 없다.
본 발명의 일부 실시형태를 이하에 설명한다. 본 발명의 실시형태는, 전달 함수(F(s)), 즉 전류의 입력/출력 특성에서의 지연에 의해 발생하는 비선형성 오차를 억제하는데 유리한 기술을 제공한다. 먼저, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 제1 실시형태를 설명한다. 상기의 비교예와 공통되는 사항은 비교예를 따르는 것으로 한다. 제1 실시형태의 구동 장치(150)는, 비교예의 구동 장치(300)의 제어기(2')를 제어기(2)로 치환한 구성을 갖는다. 제어기(2)는, 제어기(2')에 대하여, 보정값 연산부(9) 및 보정부(10)를 부가한 구성을 갖는다. 보정값 연산부(9)는, 제2 커뮤테이션 연산부(15) 및 복수(본 예에서는, 3개)의 보정값 결정부(16)를 포함한다. 제1 실시형태의 구동 장치(150)의 제어기(2)는, 비교예의 구동 장치(300)의 제어기(2')와 마찬가지로, 제1 커뮤테이션 연산부(8) 및 위상 계산부(7)를 갖는다. 제1 커뮤테이션 연산부(8) 및 위상 계산부(7)는, 비교예의 구동 장치(300)의 제어기(2')에서의 커뮤테이션 연산부(8) 및 위상 계산부(7)와 동일한 구성을 갖는다.
제2 커뮤테이션 연산부(15)는, 위상 계산부(7)에 의해 얻어진 전기각(θ)을 사용하여, 이하에 따라서 U 상, V 상, 및 W 상의 각각의 전류 명령값(Iff_u, Iff_v, Iff_w)을 제2 전류 명령값으로서 계산한다.
Figure 112018029178101-pct00008
전술한 바와 같이, 제1 커뮤테이션 연산부(8)는, 위상 계산부(7)에 의해 얻어진 전기각(θ)을 사용하여, 식 (1)에서와 같이 U 상, V 상, 및 W 상의 각각의 전류 명령값(Iff_u, Iff_v, Iff_w)을 제1 전류 명령값으로서 계산한다. 제1 실시형태에서는, 제1 커뮤테이션 연산부(8) 및 제2 커뮤테이션 연산부(15) 양자 모두에 대한 입력이 피드포워드 명령값(Iff)이며, 제1 전류 명령값과 제2 전류 명령값이 동일하다.
식 (1) 및 (8)은 동일한 계산식일 수 있다. 즉, 제1 커뮤테이션 연산부(8) 및 제2 커뮤테이션 연산부(15)는, 동일한 계산식에 따라서 커뮤테이션 연산을 행할 수 있다. 제2 커뮤테이션 연산부(15)에 의해 생성된 명령값(Iff_u, Iff_v, Iff_w)은 3개의 보정값 결정부(16)에 각각 공급된다. 3개의 보정값 결정부(16) 각각은 전달 함수(F(s)-1-1)를 갖는다. 3개의 보정값 결정부(16)는 이하에 따라서 U 상, V 상, 및 W 상의 보정값(Icv_u, Icv_v, Icv_w)을 연산한다.
Figure 112018029178101-pct00009
보정부(10)는, 제1 커뮤테이션 연산부(8)에 의해 생성된 명령값(Iff_u, Iff_v, Iff_w)과 보정값 결정부(16)에 의해 생성된 보정값(Icv_u, Icv_v, Icv_w)에 기초하여, 전류 드라이버(3)에 공급해야 할 전류 명령값을 생성한다. 보정부(10)는, 예를 들어 제1 커뮤테이션 연산부(8)에 의해 생성된 명령값(Iff_u, Iff_v, Iff_w)과 3개의 보정값 결정부(16)에 의해 생성된 보정값(Icv_u, Icv_v, Icv_w)을 가산하는 3개의 가산기를 포함할 수 있다. 3개의 가산기는, 가산에 의해, U 상, V 상, 및 W 상의 전류 명령값(Iff_u+Icv_u, Iff_v +Icv_v, 및 Iff_w+Icv_w)을 생성한다. U 상, V 상, 및 W 상 코일(4)을 흐르는 각각의 전류(I_u, I_v, I_w)는 이하에 의해 주어진다:
Figure 112018029178101-pct00010
식 (10)에 식 (8) 및 (9)를 대입하면 이하가 얻어진다:
Figure 112018029178101-pct00011
F(s) * F(s)-1 = 1이기 때문에, 식 (11)은 이하와 같이 간략화된다:
Figure 112018029178101-pct00012
비교예에서는, U 상, V 상, 및 W 상 코일(4)을 흐르는 전류(I_u, I_v, I_w) 각각은, 식 (2)에 나타낸 바와 같이 전달 함수(F(s))의 영향을 받는다. 한편, 제1 실시형태에서는, 전달 함수(F(s)-1-1)를 각각 갖는 보정값 결정부(16)와, 보정값 결정부(16)에 의해 결정되는 보정값과 제1 전류 명령값에 기초하여 전류 명령값을 생성하는 보정부(10)를 제공함으로써 F(s)이 캔슬된다. F(s)가 캔슬되기 때문에, 명령값(Iff)에 따른 전류를 모터(1)의 코일(4)에 흘릴 수 있다. 이에 의해 모터(1)로부터 발생시키고 싶은 목표 힘과 모터(1)에 의해 실제로 발생되는 힘(F)에 포함되는 오차를 0으로 하거나 감소시킬 수 있다.
이하 본 발명의 제2 실시형태를 도 4 및 도 5를 참고하여 설명한다. 제2 실시형태의 구동 장치(100)에서, 모터(1)에 의해 구동되는 구동 대상(예를 들어, 모터(1)의 회전자 또는 해당 회전자에 의해 구동되는 요소)의 제어값이 피드백된다. 더 구체적으로는, 구동 장치(100)는, 모터(1)의 회전자의 회전각을 검출하는 검출기(11), 모터(1)에 의해 구동되는 구동 대상의 제어 편차를 계산하는 편차 연산부(12), 피드백 제어기(13) 및 가산기(40)가 제1 실시형태의 구동 장치(150)에 부가된 구성을 갖는다. 검출기(11)는 예를 들어 인코더일 수 있다.
제1 위상 계산부(7)는, 제1 실시형태에서와 같이, 각각의 자극 센서(6)로부터 출력되는 신호에 기초하여 전기각(θ)을 계산한다. 제2 실시형태에서는, 제1 위상 계산부(7)는, 검출기(11)에 의해 검출된 구동 대상의 회전각의 검출 결과로서의 검출 회전각(RPOS)에 기초하여, 이하에 따라서 각도 오프셋(θo)을 더 구한다:
Figure 112018029178101-pct00013
각도 오프셋(θo)은, 모터(1)의 전기각(θ)과 모터(1)의 구동 대상의 검출 회전각(RPOS) 사이의 차이이다.
각도 오프셋(θo)은 위상 계산부(7)로부터 보정값 연산부(9)에 공급된다. 편차 연산부(12)는, 명령값 생성부(27)로부터 공급된 위치 명령값(목표 회전각)(RPOSref)과, 검출기(11)에 의해 검출된 모터(1)의 검출 회전각(RPOS) 사이의 차를 계산하고, 그 차를 피드백 제어기(13)에 공급한다. 피드백 제어기(13)는, 위치 명령값(목표 회전각)(RPOSref)과 모터(1)의 회전자의 검출 회전각(RPOS) 사이의 차를 작게 하게 하도록 모터(1)를 구동시키기 위한 피드백 명령값(Ifb)을 계산한다. 가산기(40)는, 이하에 의해 주어지는 바와 같이 피드백 명령값(Ifb)과 피드포워드 명령값(Iff)을 가산하는 연산을 행한다:
Figure 112018029178101-pct00014
가산기(40)는, 연산에 의해 얻어진 계산값을 명령값(Iref)으로서 제1 커뮤테이션 연산부(8)에 공급한다. 이상과 같이, 제2 실시형태에서는, 피드포워드 명령값(Iff)을 계산하여 얻은 계산값이 제1 커뮤테이션 연산부(8)에 공급된다. 피드포워드 명령값(Iff)은, 보정값 연산부(9) 외에, 보정값 연산부(9)의 제2 커뮤테이션 연산부(15)에도 공급된다.
제1 커뮤테이션 연산부(8)는, 위상 계산부(7)에 의해 계산되는 전기각(θ)에 따라서 모터(1)의 U 상, V 상, 및 W 상 코일(4)의 전류 명령값(Iref_u, Iref_v, Iref_w)을 계산한다. 보정값 연산부(9)는, 피드포워드 명령값(Iff) 및 위치 명령값(목표 회전각)(RPOSref)에 기초하여, 대응하는 전달 함수(F(s))에 기인해서 발생하는 힘(F)에 포함되는 오차를 0으로 하거나 저감하도록 각각의 보정값(Icv_u, Icv_v, Icv_w)을 계산한다. 보정부(10)는, 제1 커뮤테이션 연산부(8)에 의해 생성된 명령값(Iref_u, Iref_v, Iref_w)과 보정값 결정부(16)에 의해 생성된 보정값(Icv_u, Icv_v, Icv_w)에 기초하여, 전류 드라이버(3)에 공급해야 할 전류 명령값을 생성한다. 보정부(10)는, 예를 들어 제1 커뮤테이션 연산부(8)에 의해 생성된 명령값(Iref_u, Iref_v, Iref_w)과 3개의 보정값 결정부(16)에 의해 생성된 보정값(Icv_u, Icv_v, Icv_w)을 가산하는 각각의 가산기를 포함할 수 있다. 해당 가산기는, 가산에 의해, U 상, V 상, 및 W 상의 전류 명령값(Iref_u+Icv_u, Iref_v +Icv_v, Iref_w+Icv_w)을 생성한다.
이하, 도 5를 참조하여 본 실시형태에서의 효과에 대해서 설명한다. 제1 커뮤테이션 연산부(8)는, 위상 계산부(7)로부터 공급된 전기각(θ)에 기초하여, 이하에 따라서 U 상, V 상, 및 W 상의 각각의 전류 명령값(Iref_u, Iref_v, Iref_w)을 계산한다:
Figure 112018029178101-pct00015
보정값 연산부(9)는, 제2 위상 계산부(14), 제2 커뮤테이션 연산부(15), 및 3개의 보정값 결정부(16)를 포함한다. 보정값 연산부(9)는, 위치 명령값(목표 회전각)(RPOSref)과 각도 오프셋(θo)에 기초하여, 이하에 따라서 보정 전기각(θref)을 계산한다:
Figure 112018029178101-pct00016
제2 커뮤테이션 연산부(8)는, 제2 위상 계산부(7)에 의해 얻어진 보정 전기각(θref)에 기초하여, 이하에 따라서 U 상, V 상, 및 W 상의 각각의 전류 명령값(Iff_u, Iff_v, Iff_w)을 계산한다.
Figure 112018029178101-pct00017
제2 커뮤테이션 연산부(15)에 의해 생성된 명령값(Iff_u, Iff_v, Iff_w)은, 대응하는 보정값 결정부(16)에 공급된다. 각각의 보정값 결정부(16)는 전달 함수(F(s)-1-1)를 갖는다. 보정값 결정부(16)는 이하에 따라서 U 상, V 상, 및 W 상의 보정값(Icv_u, Icv_v, Icv_w)을 계산한다.
Figure 112018029178101-pct00018
보정부(10)는, 제1 커뮤테이션 연산부(8)에 의해 생성된 명령값(Iref_u, Iref_v, Iref_w)과 3개의 보정값 결정부(16)에 의해 생성된 보정값(Icv_u, Icv_v, Icv_w)을 가산한다. 이에 의해, 보정부(10)는, 보정된 U 상, V 상, 및 W 상의 명령값(Iff_u+Icv_u, Iff_v +Icv_v, Iff_w+Icv_w)을 생성한다. U 상, V 상, 및 W 상의 코일(4)을 흐르는 각각의 전류(I_u, I_v, I_w)는 이하에 의해 주어진다:
Figure 112018029178101-pct00019
식 (19)에 식 (14), (15), (17), 및 (18)을 대입하면 이하가 얻어진다:
Figure 112018029178101-pct00020
제2 실시형태에서는, 회전각(RPOS)이 피드백 제어되므로, θ=θref를 얻도록 제어가 행해진다. 따라서, 식 (20)은 이하에 의해 근사될 수 있다:
Figure 112018029178101-pct00021
제2 실시형태의 구동 장치(100)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 피드포워드 명령값(Iff)에 따른 피드포워드 제어와, 피드백 명령값(Ifb)에 따른 피드백 제어를 갖는 2자유도 제어계라고 불리는 제어계를 형성하고 있다. 피드포워드 명령값(Iff)은, 명령값 생성부(27)의 목표 패턴을 따르도록 모터(1)의 회전자를 동작시키기 위한 전류를 모터(1)에 공급하는 역할을 한다. 피드백 명령값(Ifb)은, 모터(1)의 회전 제어를 저해하는 외란을 상쇄시키는 힘을 모터(1)가 발생시키게 하는 역할을 한다. 이러한 외란이 발생하지 않는 경우, Ifb=0인 것으로 생각되기 때문에, 근사적으로 이하가 성립한다:
Figure 112018029178101-pct00022
식 (22)에 나타낸 바와 같이, 전달 함수(F(s)-1-1)를 각각 갖는 보정값 결정부(16)를 제공함으로써 F(s)이 캔슬된다. 즉, 모터(1)에 의해 구동되는 구동 대상(예를 들어, 모터(1)의 회전자 또는 해당 회전자에 의해 구동되는 요소)을 피드백 제어하는 제2 실시형태에서도, 피드포워드 명령값(Iff)에 따른 전류를 모터(1)의 코일(4)에 흘릴 수 있다. 이에 의해, 모터(1)에 의해 발생되는 힘(F)에 포함되는 오차를 0으로 하거나 저감할 수 있다.
식 (21)로부터 식 (22)로의 근사에서, 외란이 존재하지 않는다고 가정함으로써 Ifb=0이 된다. 그러나, 실제로는 모터(1)의 회전 제어를 저해하는 마찰이나 진동이 존재할 수 있다. 인코더 등으로 형성될 수 있는 검출기(11)에 대한 전기적인 노이즈도 존재할 수 있다. 단, 일반적으로, 모터의 회전 제어에서는 Iff＞Ifb가 성립되고, 피드백 명령값(Ifb)에 의해 생성된 추력 오차(모터(1)에 의해 발생되는 힘의 오차)는 충분히 작다. Iff와 Ifb 사이의 관계는 이후에 시뮬레이션을 통해서 고찰한다.
제1 커뮤테이션 연산부(8)는 피드포워드 명령값과 피드백 명령값의 양자 모두를 수신한다. 그러나, 제2 커뮤테이션 연산부(15)는 피드포워드 명령값만을 수신하고 피드백 명령값은 수신하지 않는 것이 바람직하다. 이는, 전달 함수(F(s))의 계는 입력된 값의 노이즈 성분을 증폭시키기 어려운 안정된 계이지만, 미분기를 포함하는 전달 함수(F(s)-1)의 계는 고주파 노이즈 성분을 증폭시키기 쉬운 불안정한 계이기 때문이다. 제2 커뮤테이션 연산부(15)는 피드포워드 명령값에 비하여 고주파의 노이즈 성분을 갖기가 더 쉬운 피드백 명령값을 수신하지 않기 때문에, 제2 커뮤테이션 연산부(15)로부터 노이즈 성분이 많은 보정값이 출력되는 것을 억제할 수 있다.
이어서, 전류 드라이버(3)에 입력되는 전류 명령값을 입력으로 하고 코일(4)에 흐르는 전류를 출력으로 하는 전달 함수(입력/출력 특성)(F(s))를 도출하는 방법, 및 구체적인 보정값의 결정 방법에 대해서 예시적으로 설명한다. 도 6은 전달 함수(F(s))의 구체예를 나타내는 블록도이다. 전달 함수(F(s))는, 예를 들어 감산부(31), 전류 피드백 제어기(32), 및 모터(1)의 전기 회로 특성(33)을 포함하는 전류 피드백 제어계로서 구체화될 수 있다. 전류 피드백 제어기(32)의 전달 함수를 K(s)로 하고, 모터(1)의 전기 회로 특성(33)을 나타내는 전달 함수를 G(s)로 한다. 여기서의 전달 함수(F(s))의 구체예는 일례에 지나지 않고, 전달 함수(F(s))는 다양한 다른 구성에 의해 구체화될 수 있다.
모터(1)의 전기 회로 특성(33)은, 각 코일(4)의 저항값을 R로 정의하고 코일(4)의 인덕턴스를 L로 정의하면, R과 L의 직렬 회로와 등가인 것으로 생각할 수 있다. 이 경우, 모터(1)의 전기 회로 특성(33)을 나타내는 전달 함수(G(s))는 이하에 의해 주어진 바와 같이 근사될 수 있다:
Figure 112018029178101-pct00023
전류 피드백 제어기(32)의 전달 함수(K(s))는 예를 들어 이하에 의해 주어진 바와 같이 PI 제어의 전달 함수일 수 있다:
Figure 112018029178101-pct00024
상술한 바와 같이, 도 6에 예시되는 바와 같은 전류 피드백 제어계를 형성하는 전달 함수(F(s))는 이하에 의해 주어질 수 있다:
Figure 112018029178101-pct00025
식 (18)에 식 (25)을 대입하면, 이하가 얻어진다.
Figure 112018029178101-pct00026
라플라스 연산자(s)는 미분 연산을 나타내므로, 식 (26)은 이하와 등가이다:
Figure 112018029178101-pct00027
식 (27)을 따라서 보정값(Icv_u, Icv_v, Icv_w)을 계산할 수 있다. 식 (27)의 미분 연산은, 보정값 결정부(16)에 의해 Iff_u, Iff_v, 및 Iff_w의 각각의 수치 열을 미분하는 방법에 의해 실시될 수 있다. 혹은, 식 (27)에서의 미분 연산은, Iff_u, Iff_v, 및 Iff_w의 식을 미분하여 얻은 계산식을 따르는 계산을 보정값 결정부(16)에 의해 행하는 방법에 의해 실시될 수 있다.
모터(1)의 저항값(R) 및 인덕턴스(L)의 값을 위해 설계값 또는 계측값이 사용될 수 있다. 전류 피드백 제어기(32)의 K(s)는, 모터(1)의 저항값(R) 및 인덕턴스(L)의 값의 설계값 또는 계측값에 기초하여 결정될 수 있다. 혹은, 전류 드라이버(3)에 대한 전류 명령값(Iref_u)으로부터 코일(4)에 흐르는 전류(I_u)까지의 주파수 응답을 계측하는 계측기를 제공하고, 해당 계측기에 의한 계측에 기초하여 전달 함수(F(s))를 결정할 수 있다. 더 구체적으로는, FFT 애널라이저 같이 주파수 응답을 계측할 수 있는 계측기에 의해 도 6의 입력 유닛으로부터 출력 유닛까지의 신호의 전달율을 계측하고, 그 주파수 응답에 기초하여 수치 해석 소프트웨어를 사용해서 주파수 전달 함수(F(s))의 식을 동정하는 것이 생각된다. 수치 해석 소프트웨어의 예는 MATLAB를 포함할 수 있다. MATLAB를 이용하는 경우에는, invfreqs의 커맨드를 사용함으로써 F(s) 같은 식의 계수를 구할 수 있다. 상술한 바와 같이, 주파수 응답에 의해 전달 함수를 결정하는 것이, 모터(1)의 저항값(R) 및 인덕턴스(L)의 계측값 양자 모두를 포함하기 때문에 바람직하다. 또한, 모터(1)의 각 코일(4)의 저항값(R)은 온도에 따라서 변화하기 때문에, 모터(1)의 코일(4)의 온도를 센서(30)가 계측하고, (F(s)-1-1)을 계산하는 식에서의 R의 값을 센서(30)에 의해 계측되는 온도에 따라서 변경할 수 있다.
제1 및 제2 실시형태에서는, 간단화를 위해서, 복수의 상에 대해서 동일한 전달 함수(F(s))가 사용된다. 그러나, 복수의 상은 서로 상이한 전달 함수(F(s))를 가질 수 있다.
이제 본 발명을 스테이지 장치 등의 위치결정 장치에 적용한 제3 실시형태를 설명한다. 도 7은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 위치결정 장치(50)를 나타낸다. 위치결정 장치(50)는, 예를 들어 모터(1), 제어기(2), 전류 드라이버(3), 검출기(11), 볼 나사(18), 및 스테이지(19)를 구비할 수 있다. 스테이지(19) 또는 스테이지(19)에 의해 보유지지되는 물품은 위치결정 대상물이다. 볼 나사(18)는, 회전 운동을 직선 운동으로 변환하는 운동 변환기이며, 나사 샤프트(181)와 너트(182)를 포함한다. 스테이지(19)는, 볼 나사(18)의 너트(182)에 연결되며, 모터(1)에 의해 볼 나사(18)의 나사 샤프트(181)를 회전시킴으로써 나사 샤프트(181)의 축 방향으로 구동된다. 검출기(11)는, 인코더 또는 레이저 간섭계 같이 변위를 검출하며, 스테이지(19)의 위치 검출 결과로서의 검출 위치(POS)를 검출한다. 스테이지(19)의 검출 위치(POS)는, 제어기(2)에 전송되고, 스테이지(19)가 명령 위치값(목표 위치)(POSref)을 추종하도록 구동된다.
제어기(2)는, 제2 실시형태에서와 같이, 위상 계산부(7), 보정값 연산부(9), 보정부(10), 편차 연산부(12), 피드백 제어기(13) 및 가산기(40)가 제1 실시형태의 구동 장치(150)에 부가된 구성을 갖는다. 제3 실시형태에서는, 검출기(11)는, 볼 나사(18)의 나사 샤프트(181)의 축 방향에서의 스테이지(19)의 위치(POS)를 검출한다. 위상 계산부(7)는, 모터(1)의 전기각(θ)을 계산하는 것 이외에, 전기각(θ)과 검출기(11)에 의해 검출된 스테이지(19)의 위치로부터 변환되는 모터(1)의 회전자의 회전각(2π·POS/T) 사이의 차로서의 각도 오프셋(θo)을 계산한다. 위상 계산부(7)는, 자극 센서(6)로부터 출력되는 신호에 기초하여 전기각(θ)을 계산한다. 또한, 위상 계산부(7)는 이하에 따라 각도 오프셋(θo)을 계산한다.
Figure 112018029178101-pct00028
T는, 전기각(θ)이 0 내지 2πrad까지 변화되도록 모터(1)가 회전을 했을 때에 너트(182)를 이동시킴으로써 얻어진 거리이다.
제3 실시형태의 보정값 연산부(9)는, 제2 실시형태의 보정값 연산부(9)와 동일한 구성을 갖는다. 위상 계산부(7)로부터 공급되는 각도 오프셋(θo)에 기초하여, 제3 실시형태의 보정값 연산부(9)는 이하에 따라 보정을 위해 사용되는 전기각으로서의 보정 전기각(θref)을 계산한다:
Figure 112018029178101-pct00029
제2 커뮤테이션 연산부(15) 및 보정값 결정부(16)는 제2 실시형태와 동일하다. 제2 실시형태에서와 같이, 보정값 결정부(16)는, U 상, V 상, 및 W 상의 보정값(Icv_u, Icv_v, Icv_w)을 계산할 수 있다. 단, 이하에서는, 다른 구성예를 제시하기 위해서, 전류 피드백 제어기(32)의 전달 함수(K(s))가 이하에 의해 주어지는 바와 같은 전달 함수를 갖는 예에 대해서 설명한다:
Figure 112018029178101-pct00030
모터(1)의 전기 회로 특성(33)을 나타내는 전달 함수(G(s))는 식 (23)을 따를 수 있다. 제3 실시형태에서, 도 6에 예시되는 바와 같은 전류 피드백 제어계를 형성하는 전달 함수(F(s))는 이하에 의해 주어진다:
Figure 112018029178101-pct00031
식 (31)에 식 (23) 및 (30)을 대입하면, 이하가 얻어진다.
Figure 112018029178101-pct00032
a0, a1, a2, a3, 및 a4는 an, ad, bd, cd, L, 및 R에 기초하여 계산되는 계수이다. 식 (32)으로부터, 각각의 보정값 결정부(16)의 F(s)-1-1을 계산하면, 이하가 얻어진다:
Figure 112018029178101-pct00033
k0, k1, k2, 및 k3은 a0, a1, a2, a3, 및 a4로부터 계산되는 계수이다. 식 (33)으로부터, 제3 실시형태에서의 각각의 보정값 결정부(16)는 도 8과 같은 블록도로서 표현된다. 도 8에서의 보정값 결정부(16)는, 1차 지연 필터(k0/(s+a0)), 2차 미분기(k1s2), 1차 미분기(k2s), 게인(k3), 및 가산기를 구비한다. 입력된 Iff_u가, 1차 지연 필터(k0/(s+a0)), 2차 미분기(k1s2), 1차 미분기(k2s), 및 게인(k3)을 각각 통과하게 하고, 그 출력을 가산기에 의해 가산함으로써, 보정값(Icv_u)이 계산된다. 도 8은 U 상의 보정값(Icv_u)만을 나타낸다. 그러나, V 상 및 W 상의 보정값((Icv_v, Icv_w)도 동일한 방식으로 계산될 수 있다. 이러한 보정값(Icv_u, Icv_v, Icv_w)을 명령값(Iref_u, Iref_v, Iref_w)에 가산함으로써, 모터(1)에 의해 발생되는 힘의 오차를 억제할 수 있다. 따라서, 스테이지(19)의 명령값 추종 특성을 향상시킬 수 있다. 여기에서는, 일례로서 K(s)이 2차 전달 함수일 경우를 설명했다. 그러나, K(s)의 차수가 증가하더라도, 동일한 방식으로 식을 전개함으로써 각각의 보정값 결정부(16)의 전달 함수를 얻을 수 있다. K(s)의 차수가 증가했을 경우에는, 보정값 결정부(16)에 형성되는 각각의 미분기의 차수도 증가하므로, 미분기의 차수 회만큼의 미분이 행해질 수 있도록 피드포워드 명령값(Iff)이 생성되어야 한다.
이하, 제1 및 제3 실시형태의 효과를 시뮬레이션에 의해 검증한다. 도 9는 시뮬레이션에서 사용한 스테이지(19)의 구동 프로파일을 나타낸다. 여기에서는, 스테이지(19)를 위치 0 내지 위치 1000(a. u.)까지 최대 속도 1000(a. u.)에서 이동시키는 구동을 생각한다. 스테이지(19)를 시각 0 내지 t1의 구간에서 가속시키고, 시각 t1 내지 t2의 구간에서 등속으로 이동시키며, 시각 t2 내지 t3의 구간에서 감속시킨다.
도 10a 내지 도 10d는, 제3 실시형태의 위치결정 장치(50)의 제어기(2)로부터 편차 연산부(12) 및 피드백 제어기(13)를 제거한 구성에 의해 스테이지(19)를 구동했을 때에 얻어진 시뮬레이션 결과를 나타내고 있다. 도 10a는, 보정값 연산부(9) 및 보정부(10)에 의한 보정이 있을 경우의 스테이지(19)의 위치와, 보정값 연산부(9) 및 보정부(10)에 의한 보정이 없을 경우의 스테이지(19)의 위치를 나타내고 있다. 어느 쪽의 경우에도, 위치 명령값(목표 위치)(POSref)에 따라서 스테이지(19)가 이동한다. 도 10b는, 위치 명령값(목표 위치)(POSref)과 스테이지(19)의 실제 위치 사이의 차(즉, 스테이지(19)의 위치 편차)를 나타낸다. 도 10b에서, 파선은 보정값 연산부(9) 및 보정부(10)에 의한 보정이 없을 경우의 스테이지(19)의 위치 편차를 나타내며, 실선은 보정값 연산부(9) 및 보정부(10)에 의한 보정이 있을 경우의 스테이지(19)의 위치 편차를 나타낸다. 도 10c는, 스테이지(19)를 구동하기 위한 피드포워드 명령값(Iff)을 나타낸다. 도 10d는 보정값(Icv_u, Icv_v, Icv_w)을 나타낸다. 피드포워드 명령값(Iff)의 최대값이 도 10c에 도시하는 바와 같이 10일 경우, 보정값(Icv_u, Icv_v, Icv_w)의 각각의 값은 도 10d에 도시하는 바와 같이 0.4보다 약간 더 작은 정도의 최대 진폭을 갖는다.
도 11은, 제3 실시형태의 위치결정 장치(50)에 의해 스테이지(19)를 구동했을 때에 얻어진 시뮬레이션 결과를 나타낸다. 위치 피드백 제어의 효과가 더 잘 이해될 수 있도록 주기적인 외란을 첨가해서 시뮬레이션을 행했다. 도 11에서, 파선은 보정값 연산부(9) 및 보정부(10)에 의한 보정이 없을 경우의 스테이지(19)의 위치 편차를 나타내며, 실선은 보정값 연산부(9) 및 보정부(10)에 의한 보정이 있을 경우의 스테이지(19)의 위치 편차를 나타낸다. 보정값 연산부(9) 및 보정부(10)에 의한 보정을 행함으로써, 등속 구간뿐만 아니라, 가속/감속 구간(특히, 저크(jerk)가 큰 구간)에서도, 위치 편차가 억제되고 있는 것을 알 수 있다.
도 12a는, 제3 실시형태의 위치결정 장치(50)에 의해 스테이지(19)를 구동했을 때의 피드포워드 명령값(Iff) 및 피드백 명령값(Ifb)의 시뮬레이션 결과를 나타내고 있다. 도 12a는, 보정값 연산부(9) 및 보정부(10)에 의한 보정이 있을 경우의 피드포워드 명령값(Iff) 및 피드백 명령값(Ifb)의 시뮬레이션 결과를 나타내고 있다. 피드포워드 명령값(Iff)은, 스테이지(19)의 가속 동작이나 감속 동작을 행하기 위해서, 피드백 명령값(Ifb)과 비교해서 큰 값을 갖는다. 피드백 명령값(Ifb)은, 외란에 의해 위치 편차가 발생했을 때에, 그 편차를 감소시키기 위해서 발생되므로, 피드포워드 명령값(Iff)과 비교해서 작은 값을 갖는 것이 일반적이다. 도 12b는 종축에 관해서 도 12a를 확대하여 얻은 타이밍 차트이다. 피드백 명령값(Ifb)은, 피드포워드 명령값(Iff)에 대하여 충분히 작은 것을 알 수 있다. 그로 인해, 피드백 명령값(Ifb)에 의해 발생된 추력 오차(모터(1)에 의해 발생되는 힘의 오차)는 무시할 수 있다.
제1 내지 제3 실시형태에서는, 모터(1)는 회전 모터이다. 그러나, 모터(1)는 리니어 모터일 수 있다. 모터(1)가 리니어 모터일 경우, 회전자는 가동 요소로 대체될 수 있다. 또한, 회전자의 회전각은, 가동 요소의 위치로 대체된다.
이제, 본 발명을 리소그래피 장치의 위치결정 장치에 적용한 제4 실시형태를 설명한다. 도 13은, 본 발명의 제4 실시형태에 따른 리소그래피 장치(200)를 나타낸다. 여기에서는, 리소그래피 장치(200)의 구체예를 제공하기 위해서, 리소그래피 장치(200)가 노광 장치로서 구체화된 예를 설명한다. 그러나, 리소그래피 장치(200)는, 예를 들어 임프린트 장치 또는 하전 입자 선 묘화 장치로서 구성될 수 있다.
노광 장치로서 구성된 리소그래피 장치(200)는, 원판(마스크)(22)의 패턴을 표면에 감광재를 포함하는 기판(24)에 투영함으로써 해당 감광재에 해당 패턴을 전사한다. 리소그래피 장치(200)는, 조명 광학계(20), 원판 스테이지(25), 모터(1a), 투영 광학계(23), 기판 스테이지(26) 및 모터(1b)를 구비할 수 있다. 모터(1a)는 원판 스테이지(25)를 구동하도록 구성된다. 모터(1b)는 기판 스테이지(26)를 구동하도록 구성된다. 각각의 모터(1a, 1b)는 모터(1)에 대응한다. 모터(1a, 1b)는 리니어 모터일 수 있다.
조명 광학계(20)로부터 사출된 노광광(21)은 원판 스테이지(25)에 의해 보유지지된 원판(22)을 조명한다. 투영 광학계(23)는, 조명 광학계(20)에 의해 조명된 원판(22)의 패턴을, 기판 스테이지(26)에 의해 보유지지된 기판(24)에 대하여 투영한다. 간섭계 등의 검출기(11a, 11b)가 원판 스테이지(25) 및 기판 스테이지(26)의 위치를 각각 검출한다. 검출된 위치에 대한 정보는 제어기(2)에 공급된다. 제어기(2)는, 검출기(11a, 11b)로부터 공급된 정보에 기초하여 전류 드라이버(3a, 3b)를 통해 모터(1a, 1b)를 제어하고, 원판 스테이지(25) 및 기판 스테이지(26)의 위치가 명령값 생성부(27)로부터 공급되는 피드포워드 명령값(Iff)을 추종하게 한다. 전류 드라이버(3a, 3b)는 전류 드라이버(3)에 대응한다. 피드포둬드 명령값(Iff)은, 원판 스테이지(25)의 위치를 제어하기 위한 피드포워드 명령값과, 기판 스테이지(26)의 위치를 제어하기 위한 피드포워드 명령값을 포함한다.
명령값 생성부(27)는 제어기(2)를 제어하는 호스트 제어기이다. 명령값 생성부(27)는 목표 위치(위치 명령값)(POSref)를 제어기(2)에 공급한다. 목표 위치(위치 명령값)(POSref)는, 원판 스테이지(25)의 위치를 제어하기 위한 목표 위치(위치 명령값)과, 기판 스테이지(26)의 위치를 제어하기 위한 목표 위치(위치 명령값)를 포함한다.
도 14는, 리소그래피 장치(200)에 관해서 실시될 수 있는 처리를 나타내는 흐름도이다. 단계 S201에서는, 전달 함수(F(s))를 결정하기 위한 계측을 행한다. 모터의 코일의 전기 회로 특성을 특정하기 위해서, 전술한 바와 같이, 각각의 코일(4)의 온도를 계측하는 센서를 제공할 수 있다. 단계 S202에서는, 단계 S201에서 얻은 결과에 기초하여 F(s)-1-1를 결정한다. 더 구체적으로는, 예를 들어 식 (33)에서의 k0, k1, k2, 및 k3과 같은 계수를 결정한다. 단계 S201에서 각각의 코일(4)의 온도를 계측하는 경우에는, 코일(4)의 온도에 의해 코일(4)의 저항값(R)이 변동한다. 그러므로, 그 변동량에 따라서 k0, k1, k2, 및 k3 같은 계수를 계산할 수 있다. 단계 S203에서는, 명령값 생성부(27)가 제어기(2)를 통해서 원판 스테이지(25) 및 기판 스테이지(26)를 구동하면서 노광 동작을 행한다. 이때에, 보정값 연산부(9) 및 보정부(10)에 의해 명령값을 보정함으로써, 모터(1a, 1b)에 의해 발생되는 힘의 오차를 억제할 수 있다. 이에 의해, 예를 들어 패턴의 중첩 정밀도를 향상시킬 수 있다.
이상의 설명에서, 각각의 보정값 결정부(16)의 전달 함수는 반드시 전달 함수(F(s)-1-1)일 필요는 없다. 예를 들어, 각각의 보정값 결정부(16)의 전달 함수로서, 전류 드라이버(3)가 제1 전류 명령값을 수신한 경우에 비해, 전류 드라이버(3)에 대한 입력과 전류 드라이버(3)로부터의 출력 사이의 위상차가 주파수에 관계없이 저감되는 보정값을 결정하는 전달 함수가 설정될 수 있다. 즉, 전류 드라이버(3)가 제1 전류 명령값을 수신하는 경우보다, 전류 드라이버(3)가 보정부(10)에 의해 생성된 전류 명령값을 수신하는 경우에, 모터(1)로부터 발생되는 힘(F)이 모터(1)로부터 발생시키기 원하는 목표 힘에 더 가까워지도록 전달 함수가 설정될 수 있다. 예를 들어, 전달 함수(F(s))의 역함수(F(s)-1)에 대하여 미리결정된 차를 갖는 전달 함수가 이에 적용된다.
이하, 상기의 리소그래피 장치를 사용해서 물품(예를 들어, 반도체 디바이스, 표시 디바이스, 또는 MEMS 디바이스)을 제조하는 물품 제조 방법에 대해서 설명한다. 물품 제조 방법은, 리소그래피 장치를 사용해서 기판 상에 패턴을 형성하는 패턴 형성 단계와, 해당 패턴이 형성된 기판을 처리(예를 들어, 에칭 또는 이온 주입)하는 처리 단계를 포함한다. 리소그래피 장치가 노광 장치 또는 하전 입자 선 묘화 장치일 경우에는, 패턴 형성 단계는, 기판에 감광재를 도포하는 단계, 해당 감광재에 노광 장치 또는 하전 입자 선 묘화 장치를 사용하여 잠상을 형성하는 단계, 및 해당 잠상을 현상하는 단계를 포함할 수 있다. 리소그래피 장치가 임프린트 장치인 경우에는, 패턴 형성 단계는, 기판 상에 임프린트재를 공급하는 단계, 해당 임프린트재에 다이(몰드 또는 템플릿이라고도 칭함)를 접촉시켜, 그 상태에서 해당 임프린트재를 경화시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시형태(들)는, 전술한 실시형태(들) 중 하나 이상의 기능을 실행하기 위해 저장 매체(보다 완전하게는 '비일시적 컴퓨터 판독가능 저장 매체'라 칭할수도 있음)에 기록된 컴퓨터 실행가능 명령어(예를 들어, 하나 이상의 프로그램)를 판독 및 실행하고 그리고/또는 전술한 실시형태(들) 중 하나 이상의 기능을 실행하는 하나 이상의 회로(예를 들어, 주문형 집적 회로(ASIC))를 포함하는 시스템 또는 장치의 컴퓨터에 의해, 그리고 예를 들어 전술한 실시형태(들) 중 하나 이상의 기능을 실행하기 위해 저장 매체로부터 컴퓨터 실행가능 명령어를 판독 및 실행함으로써 그리고/또는 전술한 실시형태(들) 중 하나 이상의 기능을 실행하기 위해 하나 이상의 회로를 제어함으로써 상기 시스템 또는 장치의 컴퓨터에 의해 실행되는 방법에 의해 실현될 수도 있다. 컴퓨터는 하나 이상의 프로세서(예를 들어, 중앙 처리 유닛(CPU), 마이크로 처리 유닛(MPU))를 포함할 수 있고 컴퓨터 실행가능 명령어를 판독 및 실행하기 위한 별도의 컴퓨터 또는 별도의 프로세서의 네트워크를 포함할 수 있다. 컴퓨터 실행가능 명령어는 예를 들어 네트워크 또는 저장 매체로부터 컴퓨터에 제공될 수 있다. 저장 매체는, 예를 들어 하드 디스크, 랜덤 액세스 메모리(RAM), 리드 온리 메모리(ROM), 분산형 컴퓨팅 시스템의 스토리지, 광디스크(예를 들어, 콤팩트 디스크(CD), 디지털 다기능 디스크(DVD) 또는 블루레이 디스크(BD)TM), 플래시 메모리 디바이스, 메모리 카드 등 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
본 발명을 예시적인 실시형태를 참고하여 설명하였지만, 본 발명은 개시된 예시적인 실시형태로 한정되지 않음을 이해해야 한다. 이하의 청구항의 범위는 이러한 모든 변형과 동등한 구조 및 기능을 포함하도록 최광의로 해석되어야 한다.
본 출원은 전문이 본원에 참조로 통합되는 2015년 8월 31일에 출원된 일본 특허 출원 제2015-171183호 및 2016년 8월 30일에 출원된 일본 특허 출원 제2016-168529호로부터 우선권을 주장한다.

Claims (16)

  1. 코일 및 자석을 포함하는 모터를 구동하는 구동 장치이며,
    상기 코일에 전류를 공급하도록 구성된 전류 드라이버; 및
    상기 전류 드라이버에 공급될 전류 명령값을 생성하도록 구성된 제어기를 포함하고,
    상기 제어기는,
    명령값 및 상기 명령값을 계산함으로써 얻어진 계산값 중 하나에 기초하여 제1 전류 명령값을 생성하도록 구성된 제1 커뮤테이션 연산부와,
    상기 명령값에 기초하여 제2 전류 명령값을 생성하도록 구성된 제2 커뮤테이션 연산부와,
    상기 제2 전류 명령값에 기초하여 보정값을 결정하도록 구성된 보정값 결정부, 및
    상기 제1 전류 명령값과 상기 보정값에 기초하여 상기 전류 명령값을 생성하도록 구성된 보정부를 포함하며,
    상기 전류 드라이버는 F(s)의 전달 함수를 갖고, 상기 보정값 결정부는 (F(s)-1-1)의 전달 함수를 갖는, 구동 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 명령값은 상기 모터에 의해 구동되는 구동 대상에 대해 피드포워드 제어를 행하기 위한 피드포워드 명령값이며,
    상기 계산값은, 상기 모터에 의해 구동되는 구동 대상의 제어 편차에 기초하여 결정되는 피드백 명령값과 상기 피드포워드 명령값의 합인, 구동 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 모터의 전기각과 상기 구동 대상의 회전각의 검출 결과인 검출 회전각 사이의 차인 각도 오프셋을 구하도록 구성된 제1 위상 계산부, 및
    상기 구동 대상의 목표 회전각과 상기 각도 오프셋에 기초하여 보정 전기각을 구하도록 구성된 제2 위상 계산부를 포함하며,
    상기 제2 커뮤테이션 연산부는 상기 피드포워드 명령값과 상기 보정 전기각에 기초하여 상기 제2 전류 명령값을 생성하는, 구동 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 모터의 전기각과 상기 구동 대상의 위치의 검출 결과인 검출 위치로부터 변환되는 회전각 사이의 차인 각도 오프셋을 구하도록 구성된 제1 위상 계산부, 및
    상기 구동 대상의 목표 위치와 상기 각도 오프셋에 기초하여 보정 전기각을 구하도록 구성된 제2 위상 계산부를 포함하며,
    상기 제2 커뮤테이션 연산부는 상기 피드포워드 명령값과 상기 보정 전기각에 기초하여 상기 제2 전류 명령값을 생성하는, 구동 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 커뮤테이션 연산부 및 상기 제2 커뮤테이션 연산부는 동일한 계산식에 따라서 커뮤테이션 연산을 행하는, 구동 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 코일의 온도를 계측하도록 구성된 센서를 더 포함하고,
    (F(s)-1-1)가 상기 센서에 의해 계측된 온도에 기초하여 변경되는, 구동 장치.
  7. 코일 및 자석을 포함하는 모터를 구동하는 구동 장치이며,
    상기 코일에 전류를 공급하도록 구성된 전류 드라이버; 및
    상기 전류 드라이버에 공급될 전류 명령값을 생성하도록 구성된 제어기를 포함하고,
    상기 제어기는,
    명령값 및 상기 명령값을 계산함으로써 얻어진 계산값 중 하나에 기초하여 제1 전류 명령값을 생성하도록 구성된 제1 커뮤테이션 연산부와,
    상기 명령값에 기초하여 제2 전류 명령값을 생성하도록 구성된 제2 커뮤테이션 연산부와,
    상기 제2 전류 명령값에 기초하여 보정값을 결정하도록 구성된 보정값 결정부, 및
    상기 제1 전류 명령값과 상기 보정값에 기초하여 상기 전류 명령값을 생성하도록 구성된 보정부를 포함하며,
    상기 보정값 결정부는, 상기 보정값으로서, 상기 전류 드라이버가 상기 제1 전류 명령값을 수신하는 경우보다, 상기 전류 드라이버가 상기 제1 전류 명령값과 상기 보정값에 기초하여 생성된 전류 명령값을 수신하는 경우에, 상기 전류 드라이버에 대한 입력과 상기 전류 드라이버로부터의 출력 사이의 위상차가 주파수에 관계없이 저감되는 보정값을 결정하는, 구동 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 전류 드라이버는 F(s)의 전달 함수를 가지며, 상기 보정값 결정부는 F(s)-1의 전달 함수를 갖는, 구동 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 보정값 결정부의 전달 함수는 상기 F(s)-1에 대하여 미리결정된 차를 갖는, 구동 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 명령값은, 상기 모터에 의해 구동되는 구동 대상에 대해 피드포워드 제어를 행하기 위한 피드포워드 명령값이며,
    상기 계산값은, 상기 모터에 의해 구동되는 구동 대상의 제어 편차에 기초하여 결정되는 피드백 명령값과 상기 피드포워드 명령값의 합인, 구동 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 모터의 전기각과 상기 구동 대상의 회전각의 검출 결과인 검출 회전각 사이의 차인 각도 오프셋을 구하도록 구성된 제1 위상 계산부, 및
    상기 구동 대상의 목표 회전각과 상기 각도 오프셋에 기초하여 보정 전기각을 구하도록 구성된 제2 위상 계산부를 포함하며,
    상기 제2 커뮤테이션 연산부는 상기 피드포워드 명령값과 상기 보정 전기각에 기초하여 상기 제2 전류 명령값을 생성하는, 구동 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제어기는,
    상기 모터의 전기각과 상기 구동 대상의 위치의 검출 결과인 검출 위치로부터 변환되는 회전각 사이의 차인 각도 오프셋을 구하도록 구성된 제1 위상 계산부, 및
    상기 구동 대상의 목표 위치와 상기 각도 오프셋에 기초하여 보정 전기각을 구하도록 구성된 제2 위상 계산부를 포함하고,
    상기 제2 커뮤테이션 연산부는 상기 피드포워드 명령값과 상기 보정 전기각에 기초하여 상기 제2 전류 명령값을 생성하는, 구동 장치.
  13. 제7항에 있어서,
    상기 제1 커뮤테이션 연산부 및 상기 제2 커뮤테이션 연산부는 동일한 계산식에 따라서 커뮤테이션 연산을 행하는, 구동 장치.
  14. 물품을 위치결정하는 위치결정 장치이며,
    상기 물품을 보유지지하도록 구성된 스테이지; 및
    상기 스테이지를 구동하도록 구성되며 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에서 규정된 구동 장치를 포함하는, 위치결정 장치.
  15. 기판 상에 패턴을 형성하기 위한 리소그래피 장치이며,
    상기 리소그래피 장치는 제14항에서 규정된 위치결정 장치에 의해 위치결정되는 기판 상에 패턴을 형성하는, 리소그래피 장치.
  16. 물품 제조 방법이며,
    제15항에서 규정된 리소그래피 장치에 의해 기판에 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 형성하는 단계 후에 기판을 가공하는 단계를 포함하는, 물품 제조 방법.
KR1020187008299A 2015-08-31 2016-08-31 구동 장치, 위치결정 장치, 리소그래피 장치, 및 물품 제조 방법 KR102103248B1 (ko)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015171183 2015-08-31
JPJP-P-2015-171183 2015-08-31
JPJP-P-2016-168529 2016-08-30
JP2016168529A JP6741525B2 (ja) 2015-08-31 2016-08-30 駆動装置、位置決め装置、リソグラフィー装置、および、物品製造方法
PCT/JP2016/003978 WO2017038094A1 (en) 2015-08-31 2016-08-31 Driving apparatus, positioning apparatus, lithography apparatus, and article manufacturing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180044362A KR20180044362A (ko) 2018-05-02
KR102103248B1 true KR102103248B1 (ko) 2020-04-22

Family

ID=58280545

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020187008299A KR102103248B1 (ko) 2015-08-31 2016-08-31 구동 장치, 위치결정 장치, 리소그래피 장치, 및 물품 제조 방법

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6741525B2 (ko)
KR (1) KR102103248B1 (ko)
CN (1) CN107924138B (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7148268B2 (ja) * 2018-05-01 2022-10-05 キヤノン株式会社 制御装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法
JP7024752B2 (ja) * 2019-03-20 2022-02-24 オムロン株式会社 制御システムおよび制御プログラム
DE112020000402T5 (de) * 2019-03-29 2021-10-28 Komatsu Ltd. Industriemaschine, Regelungsvorrichtung, Regelungs-Ausgleichsvorrichtung und Regelungsverfahren
JP7388158B2 (ja) 2019-11-29 2023-11-29 オムロン株式会社 処理装置、及び巻線温度算出モデルの決定方法
KR20210129597A (ko) * 2020-04-20 2021-10-28 캐논 가부시끼가이샤 구동 시스템, 리소그래피 장치 및 물품의 제조방법

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007259610A (ja) * 2006-03-24 2007-10-04 Hitachi Ltd 同期電動機駆動装置
WO2015004885A1 (ja) * 2013-07-09 2015-01-15 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 電動機の制御装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100393183B1 (ko) * 1996-10-31 2003-10-17 삼성전자주식회사 마이크로액츄에이터의상보형정전구동장치
KR20120125187A (ko) * 2011-05-06 2012-11-14 캐논 가부시끼가이샤 위치 결정 장치, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법
EP2687906A3 (de) * 2013-11-21 2015-12-02 Carl Zeiss SMT GmbH Einrichtung und Verfahren zur Steuerung der Positionierung eines verlagerbaren Einzelspiegels

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007259610A (ja) * 2006-03-24 2007-10-04 Hitachi Ltd 同期電動機駆動装置
WO2015004885A1 (ja) * 2013-07-09 2015-01-15 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 電動機の制御装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN107924138B (zh) 2020-05-12
JP2017051089A (ja) 2017-03-09
KR20180044362A (ko) 2018-05-02
JP6741525B2 (ja) 2020-08-19
CN107924138A (zh) 2018-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102103248B1 (ko) 구동 장치, 위치결정 장치, 리소그래피 장치, 및 물품 제조 방법
CN107852068B (zh) 控制磁悬浮和转矩生成的控制设备和方法
JP5447810B2 (ja) モータ駆動装置およびトルクリップル除去方法
JP5839111B2 (ja) 三相交流誘導モータの制御装置及び三相交流誘導モータの制御方法
US9543869B2 (en) Motor control apparatus, image forming apparatus having the same, and motor control method
US10126734B2 (en) Servo control apparatus for driving plurality of motors
CN111656676B (zh) 用于电力转换装置的控制装置以及电动机驱动系统
JP5322534B2 (ja) 制御装置およびモータ制御装置
CN106921323B (zh) 用于提供针对相位组的调节参量的设备、方法和数据载体
JP2010035352A (ja) 同期電動機のロータ位置推定装置
JP5074318B2 (ja) 同期電動機のロータ位置推定装置
Perera et al. DC motor inertia estimation for robust bilateral control
WO2017038094A1 (en) Driving apparatus, positioning apparatus, lithography apparatus, and article manufacturing method
JP6576111B2 (ja) 駆動システム、モータの制御方法、リソグラフィ装置および物品製造方法
KR101667908B1 (ko) 전동기의 제어장치
JP2018023203A (ja) 電動機の制御装置
JP2010022138A (ja) モータ制御装置
JP2013138559A (ja) 同期モータに取り付けられた角度センサを較正するための方法及び装置
JP2010130854A (ja) リニアモータの推力リップル補償装置およびその補償方法
JP2009106102A (ja) 誘導電動機の制御装置
JP2006121782A (ja) Ｄｃブラシレスモータのロータ角度検出方法及びｄｃブラシレスモータの制御装置
US9762167B2 (en) Computer-readable storage medium, generating method, generating apparatus, driving apparatus, processing apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article
JP2002112600A (ja) 位置センサレス永久磁石形同期電動機の制御装置
WO2022168339A1 (ja) 演算装置、電動機の制御装置、演算方法、制御方法、およびプログラム
JP2009159751A (ja) リニアモータの推力リップル補償装置とモータ制御装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant