KR100368076B1 - 적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의전극패턴 검사 장치 및 그 방법 - Google Patents

적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의전극패턴 검사 장치 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 양단에 일제히 전원을 인가한 후 전극패턴의 전기저항에 의해 발열되는 상태를 적외선 카메라로 스캔하면서 관찰함으로써 단락여부 및 개방여부를 용이하게 검사할 수 있을 뿐만 아니라 미세결함 및 결함이 발생된 위치도 정확하게 검사할 수 있는 이점이 있다.

Description

적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법{INSPECTION APPARATUS AND METHOD FOR PDP ELECTRODE PATTERN USING INFRARED CAMERAS}
본 발명은 적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 양단에 일제히 전원을 인가한 후 전극패턴의 전기저항에 의해 발열되는 상태를 적외선 카메라로 스캔하면서 관찰함으로써 단락여부 및 개방여부를 파악할 수 있도록 한 적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 PDP(Plasma Display panel;플라즈마 디스플레이 패널)는 상판 글라스와 하판 글라스 및 그 사이의 칸막이에 의해 밀폐된 유리사이에 Ne+Ar, Ne+Xe등의 가스를 넣어 양극과 음극의 전극에 의해 전압을 인가하여 네온광을 발광시켜 표시광으로 이용하는 전자표시장치를 말하는 것이다.
따라서, 플라즈마 디스플레이는 마주보는 상판 글라스와 하판 글라스의 세로 전극패턴과 가로 전극사이에 구성 교차점을 방전셀로 형성하여 방전을 온오프함으로써 갖가지 문자나 패턴을 표시한다.
PDP는 발광형으로 선명한 대형표시가 가능하기 때문에 FA(공장자동화)용으로 많이 사용되었으나 현재는 표시장치의 소형 경량화, 고성능화와 함께 퍼스널 컴퓨터 등 OA(사무자동화) 등으로 많이 활용하고 있으며 대형 패널로 표시품위가 높을 뿐만 아니라 응답속도가 빠르기 때문에 벽걸이TV로 채용되면서 수요가 급증하고 있다.
이와 같은 PDP는 상판 글라스와 하판 글라스에 형성된 전극패턴의 교차점에서 플라즈마 발생에 의한 방전에 의해 발광하도록 구성되었기 때문에 상판 글라스와 하판 글라스에 형성된 전극패턴의 전기적인 특성에 따라 완성품의 수율이 결정된다.
도 1은 일반적인 PDP의 상판 글라스와 하판 글라스에 형성된 전극패턴을 나타낸 도면으로써, (가)는 상판 글라스에 형성된 전극패턴이고, (나)는 하판 글라스에 형성된 전극패턴이다.
여기에 도시된 바와 같이 상판 글라스(10)와 하판 글라스(11)의 표면에는 다수개의 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)이 형성되어 있음을 볼 수 있다. 또한, 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)에 전원 등을 공급하기 위한 콘넥터 전극(10c)(11c)이 형성되어 있다.
이 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)은 통상, 42인치 PDP의 경우 선폭은 50㎛, 피치(pitch)는 200㎛인 반면, 선길이는 1m에 달하기 때문에 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)을 형성하는 공정에서뿐만 아니라 그 후에 반복되는 열처리와 같은 제조과정에서 배선이 끊어지거나(open) 인접한 다른 배선과 연결되는(short) 경우가 빈번히 발생한다.
따라서, PDP 제조공정의 중간중간에 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)의 양측에 형성된 콘넥터 전극(10c)(11c)을 통해 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)의 전기적인 특성을 검사하는 패턴검사 공정이 필수적으로 들어가 전극패턴(10a)(10b)(11a) (11b)의 단락여부 및 합선여부를 검사함으로써 PDP 완성품의 수율을 높일 수 있도록 한다.
도 2는 종래의 테스트 핀 블록에 의한 PDP 전극패턴의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치이다.
여기에 도시된 바와 같이 테스트 핀 블록(12)의 측면에 다수개의 테스트핀(12a)이 검사하고자 하는 PDP 전극패턴의 선폭 및 피치와 일치하도록 형성된다.
따라서, 도 1에 도시된 전극패턴을 갖는 PDP의 상판 글라스(10)나 하판 글라스(11)에 형성된 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)을 검사하고자 할 때 해당 전극패턴(10a)(11a)의 일측에 형성된 콘넥터 패턴(10c)(11c)과 해당 전극패턴(10a)(11a)의 타측 끝단에 테스트핀(12a)을 가압접촉시킨 후 콘넥터패턴(10c)(11c)에 전압을 인가한 후 타측 끝단에서 전압을 측정함으로써 해당 전극패턴(10a)의 개방 및 단락여부를 검사하게 된다.
또한, 해당 전극패턴(10a)(11a)의 양측 끝단에 테스트핀(12a)을 가압접촉시킨 후 전압을 교번하여 인가하면서 인접 전극패턴(10b)(11b)의 양측 끝단에서 전압을 측정함으로써 해당 전극패턴(10a)(11a)과 인접 전극패턴(10b)(11b)의 합선여부를 검사하게 된다.
또한, 도 3은 종래의 본 출원인이 특허 2000-28084호(2000. 05. 24)로 출원한 타이머IC에 의한 비접촉식 프로브를 이용한 비접촉 스캔방식의 검사장치를 나타낸 도면이다.
여기에 도시된 바와 같이 제 1전극패턴(P1)의 좌측에서 연장된 제 1콘넥터 전극(C1)에 제 1프로브(TP1)가 설치되고, 제 2전극패턴(P2)의 우측에서 연장된 제 2콘넥터 전극(C2)에 제 3프로브(TP3)가 설치된다. 그리고, 제 3전극패턴(P3)의 좌측에서 연장된 제 3콘넥터 전극(C3)에 제 2프로브(TP2)가 설치되고, 제 4전극패턴(P4)의 우측에서 연장된 제 4콘넥터 전극(C4)에 제 4프로브(TP4)가 설치된다.
또한, 제 1전극패턴(P1)과 제 3전극패턴(P3)의 우측에서 정전용량을 측정하기 위한 제 2비접촉식 프로브(CP2)와 제 2전극패턴(P2)과 제 4전극패턴(P4)의 좌측에서 정전용량을 측정하기 위한 제 1비접촉식 프로브(CP1)가 각각 설치된다.
위와 같이 제 1내지 제 4프로브(TP1,TP2,TP3,TP4)와 제 1내지 제 2비접촉식 프로브(CP1,CP2)가 한 조를 이뤄 PDP의 전극패턴을 검사하게 된다.
위와 같이 전극패턴에 4개의 테스트 프로브(TP1,TP2,TP3,TP4)와 2개의 비접촉식 프로브(CP1,CP2)를 설치한 상태에서 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 상태를 검사하게 된다.
도 4는 도 3에 의한 검사장치의 테스트 순서를 나타낸 도면이다.
여기에 도시된 바와 같이 Ⅰ단계에서부터 Ⅴ단계로 이루어진 사이클을 순차적으로 스캔하면서 테스트를 수행하게 된다.
먼저, Ⅰ단계에서는 기준값을 측정하게 된다. 제 1내지 제 4프로브(TP1,TP2,TP3,TP4)에 접지전압(GND) 및 전원전압(VC)을 공급하지 않은 상태에서 제 1내지 제 2비접촉식 프로브(CP1,CP2)의 출력주파수(f)를 측정한다.
다음으로, Ⅱ단계에서는 제 1전극패턴(P1)의 오픈여부를 측정하는 단계로써 제 1접지스위치(ⅠG)를 온시켜 제 1콘넥터전극(C1)에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 제 2비접촉식 프로브(CP2)에서 측정된 출력주파수(f)의 변화로 제 1전극패턴(P1)의 단락여부를 판정하게 된다. 다시말해, 제 2비접촉식 프로브(CP2)에서 측정된 정전용량값(C)이 기준값과 동일할 경우 타이머IC(81)의 출력주파수(f)가 변화없게 되어 제 1전극패턴(P1)은 끊어진 것으로 판단하고 측정된 정전용량값(C)이 기준값보다 클 경우에는 타이머IC(미도시)의 출력주파수(f)가 높아지기 때문에 정상인 것으로 판단하게 된다.
다음으로, Ⅲ단계에서는 제 1전극패턴(P1)과 제 2,3,4전극패턴(P2,P3,P4)간에 합선된 상태를 측정하는 단계로써 제 1접지스위치(ⅠG)를 온시켜 제 1콘넥터전극(C1)에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 제 2,3,4전원스위치(ⅡS,ⅢS,ⅣS)를 온시켜 제 2,3,4콘넥터전극(C2,C3,C4)에 전원전압(VC)을 인가하면서 제 2,3,4프로브(TP2,TP3,TP4)에서 전압을 측정하여 전원전압(VC)이 측정될 경우에는 모두 정상이지만, 제 2,3,4프로브(TP2,TP3,TP4) 중 적어도 어느 하나 이상의 프로브에서 접지전압(GND)이 측정될 경우에는 제 1전극패턴(P1)에 인가되는 접지전압(GND)으로 전류패스가 형성된 것으로써 제 1전극패턴(P1)과 제 2,3,4전극패턴(P2,P3,P4) 중 적어도 어느 하나이상의 전극패턴과 합선된 상태로 판단하게 된다.
다음으로, Ⅳ단계에서는 제 2전극패턴(P2)의 오픈여부를 측정하는 단계로써 제 3접지스위치(ⅢG)를 온시켜 제 2콘넥터전극(C2)에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 제 1비접촉식 프로브(CP1)에서 측정된 정전용량값(C)의 변화로 제 2전극패턴(P2)의 단락여부를 판정하게 된다. 다시말해, 제 1비접촉식 프로브(CP1)에서 측정된 정전용량값(C)이 기준값과 동일할 경우에는 타이머IC의 출력주파수(f)도 동일하기 때문에 제 2전극패턴(P2)은 끊어진 것으로 판단하고 측정된 정전용량값(C)이 기준값보다 클 경우에는 타이머IC의 출력주파수(f)가 높아지기 때문에 정상인 것으로 판단하게 된다.
다음으로, Ⅴ단계에서는 제 2전극패턴(P2)과 제 1,3,4전극패턴(P1,P3,P4)간에 합선된 상태를 측정하는 단계로써 제 3접지스위치(ⅢG)를 온시켜 제 2콘넥터전극(C2)에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 제 1,2,4전원스위치(ⅠS,ⅡS,ⅣS)를 온시켜 제 1,3,4콘넥터전극(C1,C3,C4)에 전원을 인가하면서 제 1,2,4프로브(TP1,TP2,TP4)에서 전압을 측정하여 전원전압(VC)이 측정될 경우에는모두 정상이지만, 제 1,2,4프로브(TP1,TP2,TP4) 중 적어도 어느 하나 이상의 프로브에서 접지전압이 측정될 경우에는 제 2전극패턴(P2)에 인가되는 접지전압으로 전류패스가 형성된 것으로써 제 2전극패턴(P2)과 제 1,3,4전극패턴(P1,P3,P4) 중 적어도 어느 하나이상의 전극패턴과 합선된 상태로 판단하게 된다.
이와 같이 제 1내지 제 4프로브(TP1,TP2,TP3,TP4)를 한 조로 하여 한 사이클 동안에 제 1전극패턴(P1)과 제 2전극패턴(P2)의 단락여부와 합선여부를 측정하고, 제 1내지 제 4프로브(TP1,TP2,TP3,TP4)를 다음 전극패턴으로 이동한 후 다시 동일한 방법으로 제 3전극패턴(P3)과 제 4전극패턴(P4)의 단락여부와 합선여부를 측정하는 작업을 반복하게 된다.
위와 같이 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 전기적인 특성을 테스트하기 위해 테스트 핀 블록을 사용하거나 비접촉식 프로브에 의한 스캔방식으로 측정하는 방식을 통해 전극패턴의 전기적인 특성을 측정하여 전극패턴을 검사하였다.
그런데, 플라즈마 디스플레이 패널의 상판 글라스(10)의 전극패턴(10a)은 도 5에 도시된 바와 같이 플라즈마의 발생시 전기장을 조절하기 위해 투명전극(ITO : Indium Titan Oxide, 15)위에 형성된다.
따라서, 위와 같은 테스트 방법의 기본원리는 전극패턴이 개방되었을 경우에는 전극패턴의 저항이 증가되어 전류가 흐르지 않게 되기 때문에 오픈을 측정하였고 단락되었을 경우에는 인접 전극패턴으로 전류가 흐르게 되어 인접패턴에서 전압을 측정하거나 정전용량을 측정하여 단락을 측정하였다.
그런데, 도 5에 도시된 바와 같이 상판 글라스(10)의 전극패턴(10a)은 플라즈마의 발생시 전기장의 범위를 조절하기 위한 투명전극(15)위에 형성되기 때문에 전극패턴(10a)이 마이크로 단위의 결함이 발생했을 경우에는 투명전극(15)을 통해 전류패스가 형성되어 저항의 변화가 발생한다고 해도 일반적인 저항의 공차범위내에서 변동하기 때문에 결함여부를 판단하지 못하게 된다.
예를 들어 전극패턴의 저항이 80Ω일 'A'와 같이 10㎛의 길이로 개방되었을 경우 저항의 변동량은 5Ω정도로 측정되기 때문에 이와 같은 저항값의 변화는 정상적인 전극패턴에서 전극패턴의 두께나 폭의 변화에 의해서도 변동되는 허용공차수준의 값으로 결함여부를 판단하기 어려운 값이 된다.
또한, CCD카메라에 의해 전극패턴을 확대해서 관찰할 경우에도 10㎛의 결함을 관찰하기 위해서 512×512의 해상도를 갖는 CCD카메라를 통해 관찰할 경우 10㎛의 결함을 발견하기 위해서는 5㎜×5㎜의 면적으로 관찰을 하여야 1픽셀에 10㎛가 관찰될 수 있는데 이 또한 노이즈와 혼합되어 정확하게 결함이 발생한 것인지 노이즈에 의한 것인지 확인하기 어려울 뿐만 아니라 42인치의 플라즈마 디스플레이 패널을 관찰하기 위해서는 많은 시간이 소요되어 거의 불가능하다고 할 수 있다.
이와 같이 미세한 결함이 발생했을 경우 이 결함을 검사하지 못한 상태에서 패널 모듈을 완성한 후 모든 셀에 전원을 인가하여 플라즈마를 발생시키게 되면 이 미세한 결함에 의해 결함이 발생한 부분의 픽셀이 타버려 완성된 모듈을 사용할 수 없는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 양단에 일제히 전원을 인가한 후 전극패턴의 전기저항에 의해 발열되는 상태를 적외선 카메라로 스캔하면서 관찰함으로써 단락여부 및 개방여부를 파악할 수 있도록 한 적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
또한, 본 발명의 목적은 전극패턴의 미세결함에 의해 완전히 개방되지 않은 전극패턴의 결함여부를 국부저항에 의한 발열상태로 검사할 수 있도록 한 적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
또한, 본 발명의 목적은 콘넥터 전극의 패턴 변화에도 전극패턴의 전기적인 특성 테스트를 위한 장비의 교체없이 동일한 장비로 측정할 수 있도록 한 적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
또한, 본 발명의 목적은 플라즈마 디스플레이 패널의 상판 글라스의 전극패턴에 발생된 결함의 정확한 위치를 파악할 수 있도록 한 적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
도 1은 일반적인 PDP의 상판 글라스와 하판 글라스에 형성된 전극패턴을 나타낸 도면이다.
도 2는 종래 제 1실시예의 테스트 핀 블록에 의한 PDP 전극패턴의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치이다.
도 3은 종래 제 2실시예의 타이머IC에 의한 비접촉식 프로브를 이용한 비접촉 스캔방식의 검사장치를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 의한 검사장치의 테스트 순서를 나타낸 도면이다.
도 5는 플라즈마 디스플레이 패널의 상판 전극패턴을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치에 의해 전극패턴의 개방여부를 측정하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6과 같이 연결된 상태의 등가회로도이다.
도 8은 미세한 결함이 발생한 'A'부분이 적외선 카메라의 관측상태를 예시한 도면이다.
도 9는 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치에 의해 전극패턴의 단락여부를 측정하는 상태를 나타낸 도면이다.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -
10 : 상판 글라스 11 : 하판 글라스
10a,10b,11a,11b : 전극패턴 10c,11c : 콘넥터 전극
15 : 투명전극 61, 62 : 제 1내지 제 2쇼트바
63 : 적외선 카메라
상기와 같은 목적을 실현하기 위한 적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치는 프라즈마 디스플레이 패널의 모든 콘넥터 전극이나 모든 전극패턴에 동시에 전원을 인가하기 위한 전원인가장치와, 전극패턴을 따라 스캔하면서 전극패턴의 발열상태를 관찰하기 위한 적외선 카메라로 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 방법은 플라즈마 디스플레이 패널의 일측의 모든 콘넥터 전극에 전원을 인가하고 타측의 모든 전극패턴에 전원을 인가하여 발열상태를 적외선 카메라로 스캔하면서 측정하여 개방여부를 측정하고, 플라즈마 디스플레이 패널 양측의 모든 콘넥터 전극에 전원을 인가하여 발열상태를 적외선 카메라로 스캔하면서 측정하여 단락여부를 측정하는 것을 특징으로 한다.
위와 같이 이루어진 본 발명은 전극패턴에 전원을 인가할 경우 전극패턴의 전기저항에 의해 전류가 흐름에 따라 발열을 하게 되는 데 발열상태를 적외선 카메라로 관찰할 때 미세결함일 경우에도 저항이 증가하면서도 전류가 흐르기 때문에 일반적인 전기패턴보다 더 많은 열이 발생하여 열전도되기 때문에 미세 결함일지라도 넓은 영역에서 관측되어 측정이 용이하게 된다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 또한 본 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것이며 종래 구성과 동일한 부분은 동일한 부호 및 명칭을 사용한다.
도 6은 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치에 의해 전극패턴의 개방여부를 측정하는 상태를 나타낸 도면이다.
여기에 도시된 바와 같이 상판 글라스(10)의 일측의 전극패턴(10a)에 제 1쇼트바(61)를 통해 모두 접속시키고, 전극패턴(10a)에 연장된 타측의 콘넥터전극(10c)에 제 2쇼트바(62)를 통해 모두 접속시킨다. 그리고, 제 1쇼트바(61)와 제 2쇼트바(62)에 전원전압(V)을 인가한다.
도 7은 도 6과 같이 연결된 상태의 등가회로도이다.
여기에 도시된 바와 같이 미세결함이 발생된 부분의 저항을 R이라고 하고, 일반적인 전극패턴의 저항을 r이라고 할 때 저항값은 R > r 이기 때문에 에너지는 흐르는 전류(I)가 동일할 때 저항값에 비례하게 된다. 즉, W=I2R로써 미세결함이 발생된 부분에서 전력소모가 많게 된다.
따라서, 이 전극패턴 모두에 전원을 인가한 후 적외선 카메라(63)를 통해 스캔하여 발열상태를 관측하게 되면, 'A'부분과 같이 미세한 결함이 발생한 부분에서는 투명전극(15)을 통해 전류패스가 형성되기 때문에 저항이 증가함에 따라 발열량이 증가하여 도 8에 도시된 바와 같이 미세한 결함이 발생한 'A'부분이 더욱 진하게 표시되고 이 진하게 표시되는 부분은 열전도에 의해 미세한 결함의 크기보다 넓은 영역에 걸쳐 발열하게 된다.
즉, 미세한 결함이 발생했을 경우에도 열전도에 의해 적외선 카메라(63)를 사용하여 측정할 때는 몇 배 이상의 넓이에서 관측되기 때문에 적외선 카메라(63)의 노이즈 범위에도 포함되지 않아 결함이 발생한 부분을 정확하게 찾을 수 있을 뿐만 아니라 결함이 발생된 정확한 위치도 용이하게 파악할 수 있다.
한편, 미세결함이 아니고 완전히 전극패턴(10b)이 'B'와 같이 오픈되었을 경우에는 결함이 발생한 전극패턴(10b)으로는 전류가 흐르지 않기 때문에 발열이 되지 않게 되어 쉽게 구별될 수 있다.
도 9는 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치에 의해 전극패턴의 단락여부를 측정하는 상태를 나타낸 도면이다.
상판 글라스(10)에 형성된 양측의 콘넥터 전극(10c)에 제 1쇼트바(61)와 제 2쇼트바(62)로 접속시킨 후 제 1쇼트바(61)와 제 2쇼트바(62)로 전원전압(V)을 인가하게 된다.
이와 같이 양측의 콘넥터 전극(10c)으로 전원전압(V)을 인가하게 될 경우 상판 글라스(10)의 전극패턴(10a)은 하나 걸러 하나씩 좌측과 우측으로 콘넥터 전극(10c)이 각각 연장되어 형성되기 때문에 전류패스가 형성되지 않아 전류가 흐르지 않게 되어 발열되는 패턴이 존재하지 않게 된다.
그러나, 전극패턴간에 서로 단락되었을 경우에는 전류패스가 형성되는 라인을 따라 전류가 흐르면서 발열을 하기 때문에 적외선 카메라(63)를 통해 관측할 경우 정확하게 단락된 지점을 분별해 낼 수 있게 된다.
상기한 바와 같이 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 양단에 일제히 전원을 인가한 후 전극패턴의 전기저항에 의해 발열되는 상태를 적외선 카메라로 스캔하면서 관찰함으로써 단락여부 및 개방여부를 용이하게 파악할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 전극패턴의 미세결함에 의해 완전히 개방되지 않은 전극패턴의 결함여부를 전원전압의 인가시 국부저항에 의한 발열상태를 적외선 카메라로관찰하여 정확하게 검사할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 콘넥터 전극의 패턴 변화에도 전극패턴의 전기적인 특성 테스트를 할 때 쇼트바를 통해 전원전압을 인가하면 측정을 할 수 있기 때문에 검사 장비의 교체없이 동일한 장비로 측정할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 상판 글라스의 전극패턴에 개방 및 단락된 지점의 정확한 위치를 파악할 수 있는 이점이 있다.

Claims (2)

  1. 플라즈마 디스플레이 패널의 모든 콘넥터 전극이나 모든 전극패턴에 동시에 전원을 인가하기 위한 전원인가장치와,
    상기 전극패턴을 따라 스캔하면서 상기 전극패턴의 발열상태를 관찰하기 위한 적외선 카메라
    로 이루어진 것을 특징으로 하는 적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 장치.
  2. 플라즈마 디스플레이 패널 일측의 모든 콘넥터 전극에 전원을 인가하고 타측의 모든 전극패턴에 전원을 인가하여 발열상태를 적외선 카메라로 스캔하면서 측정하여 개방여부를 측정하고, 플라즈마 디스플레이 패널 양측의 모든 콘넥터 전극에 전원을 인가하여 발열상태를 적외선 카메라로 스캔하면서 측정하여 단락여부를 측정하는 것
    을 특징으로 한 적외선 카메라를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사 방법
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