KR100358484B1 - 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치 및 그작동방법 - Google Patents

플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치 및 그작동방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치 및 그 작동방법에 관한 것으로서, 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 양단에 일제히 정전압을 인가한 후 전극패턴의 일정한 위치에서 전극패턴의 형성방향과 직각방향으로 스캔타입의 단일 프로브를 사용하여 전극패턴의 저항값에 따른 측정위치의 전압 배분값을 측정함으로써 전극패턴의 단락여부 및 개방여부를 빠른 속도로 용이하게 검사할 수 있는 이점이 있다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치 및 그 작동방법{INSPECTION APPARATUS FOR PDP ELECTRODE PATTERN AND METHOD FOR OPERATING THEREOF}
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 양단에 일제히 정전압을 인가한 후 전극패턴의 일정한 위치에서 전극패턴의 형성방향과 직각방향으로 스캔타입의 단일 프로브를 사용하여 전극패턴의 저항값에 따른 측정위치의 전압 배분값을 측정함으로써 전극패턴의 단락여부 및 개방여부를 파악할 수 있도록 한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 PDP(Plasma Display panel;플라즈마 디스플레이 패널)는 상판 글라스와 하판 글라스 및 그 사이의 칸막이에 의해 밀폐된 유리사이에 Ne+Ar, Ne+Xe 등의 가스를 넣어 양극과 음극의 전극에 의해 전압을 인가하여 네온광을 발광시켜 표시광으로 이용하는 전자표시장치를 말하는 것이다.
따라서, 플라즈마 디스플레이는 마주보는 상판 글라스와 하판 글라스의 세로 전극패턴과 가로 전극사이에 구성 교차점을 방전셀로 형성하여 방전을 온오프함으로써 갖가지 문자나 패턴을 표시한다.
PDP는 발광형으로 선명한 대형표시가 가능하기 때문에 FA(공장자동화)용으로 많이 사용되었으나 현재는 표시장치의 소형 경량화, 고성능화와 함께 퍼스널 컴퓨터 등 OA(사무자동화) 등으로 많이 활용하고 있으며 대형 패널로 표시품위가 높을 뿐만 아니라 응답속도가 빠르기 때문에 벽걸이TV로 채용되면서 수요가 급증하고 있다.
이와 같은 PDP는 상판 글라스와 하판 글라스에 형성된 전극패턴의 교차점에서 플라즈마 발생에 의한 방전에 의해 발광하도록 구성되었기 때문에 상판 글라스와 하판 글라스에 형성된 전극패턴의 전기적인 특성에 따라 완성품의 수율이 결정된다.
도 1은 일반적인 PDP의 상판 글라스와 하판 글라스에 형성된 전극패턴을 나타낸 도면으로써, (가)는 상판 글라스에 형성된 전극패턴이고, (나)는 하판 글라스에 형성된 전극패턴이다.
여기에 도시된 바와 같이 상판 글라스(10)와 하판 글라스(11)의 표면에는 다수개의 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)이 형성되어 있음을 볼 수 있다. 또한, 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)에 전원 등을 공급하기 위한 콘넥터 전극(10c)(11c)이 형성되어 있다.
이 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)은 통상, 42인치 PDP의 경우 선폭은 50㎛, 피치(pitch)는 200㎛인 반면, 선길이는 1m에 달하기 때문에 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)을 형성하는 공정에서뿐만 아니라 그 후에 반복되는 열처리와 같은 제조과정에서 배선이 끊어지거나(open) 인접한 다른 배선과 연결되는(short) 경우가 빈번히 발생한다.
따라서, PDP 제조공정의 중간중간에 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)의 양측에 형성된 콘넥터 전극(10c)(11c)을 통해 전극패턴(10a)(10b)(11a)(11b)의 전기적인 특성을 검사하는 패턴검사 공정이 필수적으로 들어가 전극패턴(10a)(10b)(11a) (11b)의 단락여부 및 합선여부를 검사함으로써 PDP 완성품의 수율을 높일 수 있도록 한다.
이와 같이 전극패턴의 단락여부 및 합선여부를 검사하기 위해 종래에는 테스트핀 블록을 전극패턴에 가압접촉하여 전기적인 특성을 측정하였으나 가압접촉에 의해 전극패턴이 손상되는 문제점이 있었다.
따라서, 전극패턴의 손상을 줄이기 위한 방법으로 본 출원인은 특허 2000-5662호(2000. 02. 07)로 출원한 "롤링와이어 프로브를 이용한 스캔방식의 검사장치 및 방법"과, 특허 2000-28084호(2000. 05. 24)로 출원한 "타이머IC에 의한 비접촉식 프로브를 이용한 비접촉 스캔방식의 PDP 전극패턴 검사장치 및 방법"을 출원한 바 있다.
그런데, 위와 같이 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 전기적인 특성을 테스트하기 위해 테스트 핀 블록을 사용하거나 비접촉식 프로브에 의한 스캔방식으로 측정할 때 모두 전극패턴의 규격에 따라 개별적으로 접촉하면서 순차적으로 전극패턴의 전기적인 특성을 측정하여 전극패턴의 전기적인 특성을 검사하였다.
이와 같이 전기적인 특성을 테스트하기 위해 비접촉식 프로브나 접촉식 프로브를 사용할 때, 다수개의 프로브를 한 조로 구성하여 테스트하기 때문에 전극패턴의 규격에 따라 테스트하기 전에 전극패턴의 길이, 간격, 개수, 글라스의 크기 등의 파라미터들을 셋팅해 주어야 하는 불편함이 있었다.
또한, 전극패턴의 규격에 따라 개별적으로 접촉하면서 순차적으로 테스트하기 때문에 전극패턴의 규격이 변경될 경우 테스트를 위한 장비의 규격도 전극패턴의 규격에 따라 교체를 해야만 하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 양단에 일제히 정전압을 인가한 후 전극패턴의 일정한 위치에서 전극패턴의 형성방향과 직각방향으로 스캔타입의 단일 프로브를 사용하여 전극패턴의 저항값에 따른 측정위치의 전압 배분값을 측정함으로써 빠른 시간내에 전극패턴의 단락여부 및 개방여부를 파악할 수 있도록 한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
또한, 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패털의 전극패턴 검사결과를 인터넷을 통해 인터넷 웹브라우져에서 모니터링할 뿐만 아니라 검사장치의 작동을 제어할 수 있도록 한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치를 제공함에 있다.
도 1은 일반적인 PDP의 상판 글라스와 하판 글라스에 형성된 전극패턴을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치를 나타낸 블록구성도이다.
도 3은 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치를 간략하게 나타낸 구성도이다.
도 4는 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치의 스캔프로브로써 나이프에지 프로브를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치의 나이프에지 프로브와 프로브 이송장치의 연결상태를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치의 작동방법을 설명하기 위해 순차적으로 도시된 흐름도이다.
도 7은 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치에서 쇼트바와 스캔프로브의 설치상태를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명에 의해 정상적인 전극패턴에서 측정된 전압배분 상태를 나타낸 등가회로도이다.
도 9는 본 발명에 의해 인접한 전극패턴과 단락된 전극패턴에서 측정된 전압배분 상태를 나타낸 등가회로도이다.
도 10은 본 발명에 의해 전극패턴에 개방 및 미세결함이 있는 전극패턴에서 측정된 전압배분 상태를 나타낸 등가회로도이다.
도 11은 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치의 출력값을 측정상태와 패턴의 상태에 따라 나타낸 그래프이다.
도 12는 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치의 다른 실시예를 나타낸 블록구성도이다.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -
10 : 상판 글라스 11 : 하판 글라스
10a,10b,11a,11b : 전극패턴 10c,11c : 콘넥터 전극
51 : 패널감지센서 52 : 패턴감지센서
53 : 작동스위치 54 : 표시부
55 : 제어부 56 : 프로브 이송수단
57 : 스캔프로브 58 : 전원발생장치
59 : 쇼트바 이송수단 61,62,63,64 : 제 1내지 제 4쇼트바
66 : 판체 67 : 몸체
70 : 인터넷접속부 81 : 판스프링
82 : 로딩장치 90 : 인터넷
100 : 컴퓨터
상기와 같은 목적을 실현하기 위한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치는 플라즈마 디스플레이 패널의 크기를 감지하기 위한 패널감지센서와, 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 전극패턴을 감지하는 패턴감지센서와, 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 다수개의 콘넥터 전극이나 다수개의 전극패턴을 동시에 접속시키기 위한 복수개의 쇼트바와, 복수개의 쇼트바에 일정한 전압을 인가하기 위한 전원발생장치와, 전극패턴에 걸리는 전압분포를 측정하기 위한 스캔프로브와, 스캔프로브를 전극패턴의 형성방향과 직각방향으로 스캔되도록 스캔프로브를 이동시키는 스캔프로브 이송수단과, 복수개의 쇼트바를 플라즈마 디스플레이 패널의 크기에 따라 이동시키는 쇼트바 이송수단과, 패널감지센서의 값을 입력받아 쇼트바 이송수단을 제어하며 전원발생장치를 작동시킬 뿐만 아니라 패턴감지센서의 값을 입력받아 프로브 이송수단을 작동시키면서 스캔프로브의 출력값을 저장하는 제어부와, 제어부의 작동을 선택하기 위한 작동스위치와, 제어부의 작동상태를 표시하기 위한 표시부로 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 인터넷을 통해 제어부의 상태를 모니터링하거나 작동상태를 제어할 수 있도록 하기 위한 웹서버가 내장된 인터넷접속부가 설치되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사의 작동방법은 제어부의 상태를 초기화하는 단계와, 패널감지센서에 의해 패널의 크기를 감지한 후 쇼트바를 이동시켜 패널의 콘넥터 전극이나 전극패턴에 접속시키는 단계와, 쇼트바에 선택적으로 전원을 인가한 후 프로브 이송수단을 통해 스캔프로브를 전극패턴의 방향과 직각방향으로 스캔하면서 해당위치에서 전극패턴에 걸리는 전압을 측정하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
위와 같이 이루어진 본 발명은 전극패턴의 양단에 정전압을 걸고 전극패턴의일정한 위치에서 전극패턴이 형성된 방향과 직각방향이 되도록 스캔하면서 전극패턴에 걸린 전압을 측정할 경우 전극패턴의 저항분포에 따라 전압분배가 일어나기 때문에 측정하는 위치의 값의 변화를 관찰하여 전극패턴의 개방상태나 단락상태를 판단할 뿐만 아니라 개방지점과 단락지점의 위치를 파악할 수 있으며, 패널감지센서에 의해 자동으로 쇼트바를 이동시켜 전극패턴을 일괄적으로 접촉하여 측정함으로써 개별적인 전극패턴의 파라미터의 입력없이 자동으로 측정이 가능하며 전극패턴의 규격변화에도 장비의 교체없이 용이하게 측정할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 또한 본 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것이며 종래 구성과 동일한 부분은 동일한 부호 및 명칭을 사용한다.
도 2는 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치를 나타낸 블록구성도이다.
여기에 도시된 바와 같이 플라즈마 디스플레이 패널이 검사장치의 테이블에 올려지게 되면 플라즈마 디스플레이 패널(미도시)의 크기를 감지하기 위한 패널감지센서(51)와, 전극패턴의 전압을 측정할 때 전극패턴이 형성된 부분만 측정하기 위해 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 전극패턴을 감지하는 패턴감지센서(52)가 설치된다.
그리고, 플라즈마 디스플레이 패널의 콘넥터 전극이나 전극패턴을 동시에 접속시키기 위해 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 내측의 콘넥터 전극을 동시에 접속시키기 위한 제 1쇼트바(61)와, 내측의 전극패턴을 동시에 접속시키기 위한 제2쇼트바(62)와, 외측의 전극패턴을 동시에 접속시키기 위한 제 3쇼트바(63)와, 외측의 콘넥터 전극을 동시에 접속시키기 위한 제 4쇼트바(64)가 설치된다.
그리고, 제 1내지 제 4쇼트바(61,62,63,64)에 일정한 정전압을 인가하기 위한 전원발생장치(58)와, 전극패턴에 걸리는 전압분포를 측정하기 위한 스캔프로브(57)가 설치된다.
또한, 스캔프로브(57)를 전극패턴의 방향과 직각방향으로 스캔되도록 스캔프로브(57)를 이동시키는 스캔프로브 이송수단(56)과, 제 3 내지 제 4쇼트바(63,64)를 플라즈마 디스플레이 패널의 크기에 따라 이동시키는 쇼트바 이송수단(59)과, 패널감지센서(51)의 값을 입력받아 쇼트바 이송수단(59)을 제어하며 전원발생장치(58)를 작동시킬 뿐만 아니라 패턴감지센서(52)의 값을 입력받아 프로브 이송수단(56)을 작동시키면서 스캔프로브(57)의 출력값을 저장하는 제어부(55)가 설치된다.
또한, 제어부(55)의 작동을 선택하기 위한 작동스위치(53)와, 제어부(55)의 작동상태를 표시하기 위한 표시부(54)로 이루어진 것을 특징으로 한다.
도 3은 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치를 간략하게 나타낸 구성도이다.
여기에 도시된 바와 같이 제 1쇼트바(61)와 제 2쇼트바(62)는 각각 상하이동이 가능하여 전극패턴에 전원을 공급하거나 차단할 수 있도록 구성되며, 제 3쇼트바(63)와 제 4쇼트바(64)는 상하좌우 이동이 가능하여 크기가 다른 상판글라스(10)와 하판글라스(11)의 크기에 따라 이동하여 전극패턴에 전원을 공급하거나 차단할수 있도록 구성된다.
그리고, 스캔프로브(57)는 전극패턴의 방향과 직각방향으로 이동하거나 상하이동이 가능하여 전극패턴과 접촉하면서 전압을 측정하거나 전극패턴을 스캔하지 않고 이동할 수 있도록 구성되어 37inch에서 65inch 까지의 상판글라스(10)와 하판글라스(11)를 검사장치의 테이블(60)에 모두 올려놓고 측정할 수 있도록 구성된다.
위에서 스캔프로브(57)는 본 출원인이 2000. 02. 07.로 출원한 특허출원 2000-5662호의 "롤링와이어 프로브를 이용한 스캔방식의 검사장치 및 방법"에 개시된 롤링와이어 프로브를 사용하거나, 본 발명에서 언급되는 나이프에지 프로브(knife edge probe)중 어느 것을 사용해도 무방하다.
나이프에지 프로브는 도 4에 도시된 바와 같이 판체(66)의 길이방향 일측단이 절곡되어 전극패턴(11a)과 선접촉이 되도록 이루어지고, 타측단이 프로브 몸체(67)에 고정되어 판체(66)의 탄성에 의해 자유롭게 상하이동을 하면서 전극패턴(11a)과 접촉되도록 이루어진다.
따라서, 전극패턴(11a)이 형성된 방향과 직각방향으로 스캔될 때 전극패턴(11a)에 손상을 주지 않고 전극패턴(11a)의 측벽을 타고 오르락내리락 하면서 전극패턴(11a)에 걸리는 전압을 측정하게 된다.
또한, 이와 같은 나이프에지 프로브는 도 5와 같이 프로브 이송수단(56)에 고정설치된 판스프링(81)과 'A'와 같이 마그네틱커플링으로 결합되어 나이프에지 프로브의 자체 무게에 의해 전극패턴과 접촉되면서 프로브 이송수단(56)에 의해 전극패턴을 스캔하게 되며, 전극패턴을 스캔하지 않고 이동할 때는 전자석에 의한 로딩장치(82)에 의해 나이프에지 프로브(57)를 들어올려 이동시킬 수 있도록 구성된다.
이와 같이 나이프에지 프로브는 마그네틱커플링에 의해 프로브 이송장치에 체결되기 때문에 분해조립이 용이하다.
위와 같이 이루어진 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치의 작동방법을 설명하기 위해 도 6의 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치의 작동방법을 설명하기 위해 순차적으로 도시된 흐름도와, 도 7의 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치에서 쇼트바와 스캔프로브의 설치상태를 나타낸 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제어부(55)의 상태를 초기화하여 프로브 이송수단(56)과 쇼트바 이송수단(59)을 초기 위치로 이동시켜 대기시키게 된다(S10). 이후 측정하고자 하는 플라즈마 디스플레이 패널을 PDP전극패턴 검사장치의 테이블(60)에 올려놓고, 작동스위치(53)를 작동시키게 되면 패널감지센서(51)에 의해 패널의 크기를 감지하면서 쇼트바 이송수단(59)이 제 3내지 제 4쇼트바(63,64)를 이동시켜 패널에 형성된 콘넥터 전극(11c)이나 전극패턴(11a) 중 어느 하나에 접속된다(S20).
본 실시예에서는 제 1쇼트바(61)와 제 3쇼트바(63)를 통해 내측의 콘넥터 전극(11c)과 외측의 전극패턴(11a)에 정전압을 인가한다(S30).
이와 같이 패널을 검사장치의 테이블에 올려놓고 작동스위치(53)만 작동시키게 되면 테스트 전에 일일이 패널의 크기 및 전극패턴의 피치, 길이 등의 각종 파라미터의 입력없이 패널감지센서(51)의 감지값에 따라 쇼트바 이송수단(59)에 의해쇼트바(63,64)를 자동으로 이동시켜 패널 크기에 맞도록 이동한 후 콘넥터 전극이나 전극패턴에 전원을 공급할 수 있도록 제 1쇼트바(61)를 내측의 콘넥터 전극과 접속시키고 제 3쇼트바(63)를 외측의 전극패턴(11a)에 접속시켜 테스트를 진행할 수 있도록 셋팅된다.
이후, 제 1쇼트바(61)와 제 3쇼트바(63)에 정전압을 인가하게 되는데 본 실시예에서는 제 1쇼트바(61)에 전원전압(Vc)을 인가하고, 제 3쇼트바(63)에 접지전압(GND)을 인가한다.
그렇지만, 제 1쇼트바(61) 및 제 2쇼트바(61)를 통해 양의 전압을 인가하고 제 3쇼트바(63) 및 제 4쇼트바(64)를 통해 음의 전압을 인가하여 테스트할 수도 있다.
이와 같이 제 1쇼트바(61)와 제 3쇼트바(63)에 정전압을 인가한 상태에서 스캔프로브(57)를 프로브 이송수단(56)을 통해 전극패턴(11a)의 방향과 직각방향으로 스캔하면서 해당위치에서 전극패턴(11a)에 걸리는 전압을 측정한다.
이와 같이 측정된 전압을 토대로 전극패턴(11a)의 단락여부와 개방여부를 판단하게 된다.
도 8은 본 발명에 의해 정상적인 전극패턴에서 측정된 전압배분 상태를 나타낸 등가회로도이다.
여기에 도시된 (가)와 (나)는 전극패턴의 제조공정상 전극패턴의 두께 등에 의해 서로 전기저항이 다른 경우로써 정상적인 전극패턴을 나타낸 등가회로도이다.
따라서, (가)의 경우는 제 1쇼트바를 통해 내측 콘넥터 전극에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 3쇼트바를 통해 외측 전극패턴에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 전극패턴의 전기저항을 80Ω이라고 할 때 스캔프로브로 측정하는 부위가 전극패턴의 중앙부위이면 전기저항은 40Ω씩 분리되어 측정되는 전압은 전원전압(Vc)의 1/2이 된다.
마찬가지로, 제 2쇼트바를 통해 내측 전극패턴에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 4쇼트바를 통해 외측 콘넥터 전극에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서도 동일하게 전원전압(Vc)의 1/2이 된다.
또한, (나)의 경우에도 마찬가지로 제 1쇼트바를 통해 내측 콘넥터 전극에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 3쇼트바를 통해 외측 전극패턴에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 전극패턴의 전기저항을 90Ω이라고 할 때 스캔프로브로 측정하는 부위가 전극패턴의 중앙부위이면 전기저항은 45Ω씩 분리되어 측정되는 전압은 전원전압(Vc)의 1/2이 된다.
마찬가지로, 제 2쇼트바를 통해 내측 전극패턴에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 4쇼트바를 통해 외측 콘넥터 전극에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서도 동일하게 전원전압(Vc)의 1/2이 된다.
이와 같이 전극패턴의 제조공정상 전기저항이 서로 다를 경우에도 균일하게 분포되어 있을 경우에는 스캔프로브로 측정하는 부위가 전극패턴의 중앙부위라면 동일하게 2분되어 전원전압(Vc)의 1/2이 되기 때문에 전극패턴 상에 전기저항이 균일하게 분포된 경우와 어느 일측에 미세결함이 발생한 경우를 구별할 수 있게 된다.
도 9는 본 발명에 의해 인접한 전극패턴과 단락된 전극패턴에서 측정된 전압배분 상태를 나타낸 등가회로도이다.
여기에 도시된 바와 같이 인접한 전극패턴간 단락되었을 경우에는 제 1내지 제 4쇼트바를 통해 전원을 공급하는 상태에 따라 서로 다른 전압값이 측정되는 것을 알 수 있다.
먼저, (가)와 (나) 같이 측정위치에서 전원전압이 인가되는 측에서 인접한 제 1전극패턴(11a)과 제 2전극패턴(11b)이 서로 단락되었을 경우를 설명한다.
(가)와 같이 제 1쇼트바를 통해 내측 콘넥터 전극에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 3쇼트바를 통해 외측 전극패턴에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 제 1쇼트바 측에서 전극패턴이 서로 단락되었을 경우 즉, 3/4지점에서 단락되었을 경우 전압분배는 제 1전극패턴(11a)과 제 2전극패턴(11b)의 중앙부위에서 전압을 측정할 때 모두 전원전압(Vc)의 2/5가 된다.
그런데, (나)와 같이 제 2쇼트바를 통해 내측 전극패턴에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 4쇼트바를 통해 외측 콘넥터 전극에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 제 1전극패턴(11a)과 제 2전극패턴(11b)의 중앙부위에서 전압을 측정하면 제 1전극패턴(11a)에서 측정되는 전압과 제 2전극패턴(11b)에서 측정되는 전압이 측정하는 위치와 서로 단락된 위치에 따라 서로 다른 값을 나타내게 된다.
즉, 전류패스가 완전하게 이루어진 제 2전극패턴(11b)에서는 단락된 지점과 측정위치에 따라 전압분배가 이루어져 측정값이 변하지만, 전류패스가 인접한 제 2전극패턴(11b)을 통해 형성된 제 1전극패턴(11a)에서는 측정위치에는 관계하지 않고 단락된 지점에만 영향을 받게 되어 측정되는 전압값에 의해 전원전압(Vc)에 가까운 전압값이 측정될 경우에는 전원전압(Vc)이 인가되는 쪽에서 단락이 발생된 것이고, 제 2전극패턴(11b)에서 측정된 전압값과 같은 전압값이 측정될 경우에는 측정하는 부위에서 단락이 발생된 것으로 판단할 수 있다.
다음으로, (다)와 (라) 같이 측정위치에서 접지전압(GND)이 인가되는 측에서 인접한 제 1전극패턴(11a)과 제 2전극패턴(11b)이 서로 단락되었을 경우를 설명한다.
(다)와 같이 제 2쇼트바를 통해 내측 전극패턴에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 4쇼트바를 통해 외측 콘넥터 전극에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 제 4쇼트바 측에서 전극패턴이 서로 단락되었을 경우 즉, 1/4지점에서 단락되었을 경우 전압분배는 제 1전극패턴(11a)과 제 2전극패턴(11b)의 중앙부위에서 전압을 측정할 때 모두 전원전압(Vc)의 3/5이 된다.
그런데, (라)와 같이 제 1쇼트바를 통해 내측 콘넥터 전극에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 3쇼트바를 통해 외측 전극패턴에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 제 1전극패턴(11a)과 제 2전극패턴(11b)의 중앙부위에서 전압을 측정하면 제 1전극패턴(1a)에서 측정되는 전압과 제 2전극패턴(11b)에서 측정되는 전압이 측정하는 위치와 서로 단락된 위치에 따라 서로 다른 값을 나타내게 된다.
즉, 전류패스가 완전하게 이루어진 제 1전극패턴(11a)에서는 단락된 지점과 측정위치에 따라 전압분배가 이루어져 측정값이 변하지만, 전류패스가 인접한 제 1전극패턴(11a)을 통해 형성된 제 2전극패턴(11b)에서는 측정위치에는 관계하지 않고 단락된 지점에만 영향을 받게 되어 측정되는 전압값에 의해 접지전압(GND)에 가까운 전압값이 측정될 경우에는 접지전압(GND)이 인가되는 쪽에서 단락이 발생된 것이고, 제 1전극패턴(11a)에서 측정된 전압값과 같은 전압값이 측정될 경우에는 측정하는 부위에서 단락이 발생된 것으로 판단할 수 있다.
도 10는 본 발명에 의해 전극패턴에 개방 및 미세결함이 있는 전극패턴에서 측정된 전압배분 상태를 나타낸 등가회로도이다.
여기에 도시된 (가)와 (나)는 전극패턴이 개방된 상태를 나타낸 등가회로도이고, (다)와 (라)는 전극패턴에 미세결함이 발생된 상태를 나타낸 등가회로도이다.
먼저, (가)와 같이 제 1쇼트바를 통해 내측 콘넥터 전극에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 3쇼트바를 통해 외측 전극패턴에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 측정하는 위치에서 제 3쇼트바 측으로 개방되었을 경우에는 전극패턴의 어느 부위에서 측정하더라도 전원전압(Vc)이 측정된다.
그리고, (나)와 같이 제 1쇼트바를 통해 내측 콘넥터 전극에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 3쇼트바를 통해 외측 전극패턴에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 측정하는 위치에서 제 1쇼트바 측으로 개방되었을 경우에는 전극패턴의 어느 부위에서 측정하더라도 접지전압(GND)이 측정된다.
마찬가지로, 제 2쇼트바를 통해 내측 전극패턴에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 4쇼트바를 통해 외측 콘넥터 전극에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서도 동일하게 결과를 얻게 된다.
위의 (가)와 (나) 같이 전극패턴이 개방되었을 경우에는 확연하게 스캔프로브를 통해 전압을 측정할 때 측정위치에서 접지전압(GND)이 인가되는 쪽으로 개방되었을 경우 전원전압(Vc)이 측정되고, 측정위치에서 전원전압(Vc)인가되는 쪽으로 개방되었을 경우 접지전압(GND)이 측정되어 개방여부와 함께 개방된 위치를 파악할 수 있게 된다.
다음으로, (다)와 같이 제 1쇼트바를 통해 내측 콘넥터 전극에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 3쇼트바를 통해 외측 전극패턴에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 측정위치에서 제 1쇼트바 측에 미세결함이 발생했을 경우, 미세결함이 발생된 부위의 전기저항을 10Ω이라고 할 때 전극패턴의 중앙부분에서 측정되는 전압은 전원전압(Vc)의 4/9가 되어 이분된 값보다 조금 떨어지게 된다.
그리고 (라)와 같이 제 1쇼트바를 통해 내측 콘넥터 전극에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 3쇼트바를 통해 외측 전극패턴에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 측정위치에서 제 3쇼트바 측에 미세결함이 발생했을 경우, 미세결함이 발생된 부위의 전기저항을 10Ω이라고 할 때 전극패턴의 중앙부분에서 측정되는 전압은 전원전압(Vc)의 5/9가 되어 이분된 값보다 조금 높게 된다.
마찬가지로, 제 2쇼트바를 통해 내측 전극패턴에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 4쇼트바를 통해 외측 콘넥터 전극에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서도 동일하게 결과를 얻게 된다.
위의 (다)와 (라) 같이 전극패턴에 미세결함이 측정하는 위치에서 전원전압(Vc) 측으로 발생되었을 경우에는 정상적인 전극패턴에서의 측정값보다 조금 낮은 전압값이 측정되고, 미세결함이 측정하는 위치에서 접지전압(GND) 측으로 발생되었을 경우에는 정상적인 전극패턴에서의 측정값보다 조금 높은 전압값이 측정되어 미세결함의 발생여부와 함께 미세결함이 발생된 위치를 파악할 수 있게 된다.
도 11은 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치의 출력값을 측정상태와 패턴의 상태에 따라 나타낸 그래프이다.
여기에 도시된 바와 같이 (가)와 (나)는 제 1쇼트바(61)에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 3쇼트바(63)에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 (1)의 방향으로 스캔하면서 측정되는 출력전압을 나타낸 그래프이고, (다)와 (라)는 제 2쇼트바(62)에 전원전압(Vc)을 인가하고 제 4쇼트바(64)에 접지전압(GND)을 인가한 상태에서 (2)의 방향으로 스캔하면서 측정되는 출력전압을 나타낸 그래프이다.
여기에서 볼 때 정상적인 전극패턴일 경우, 도 11내지 도 12에서 설명된 바와 같이 스캔프로브(57)를 (1)의 방향으로 스캔하면서 전극패턴의 중심부분에서 측정할 때 제 1쇼트바(61)와 제 3쇼트바(63)에 의해 전류패스가 형성된 1, 3, 5, 7, 9, 11, 13, 15, 17 전극패턴에서 (가)에 도시된 바와 같이 1/2Vc전압이 측정되고, 제 3쇼트바(63)에만 접촉되어 전류패스가 형성되지 않은 2, 4, 6, 8, 10, 12, 14, 16, 18 전극패턴에서는 접지전압(GND)이 측정된다.
그리고, 스캔프로브(57)를 (2)의 방향으로 스캔하면서 전극패턴의 중심부분에서 측정할 때 제 2쇼트바(62)에만 접촉된 1, 3, 5, 7, 9, 11, 13, 15, 17 전극패턴에서는 (다)에 도시된 바와 같이 전원전압(Vc)이 측정되고 제 2쇼트바(62)와 제4쇼트바(64)에 의해 전류패스가 형성된 2, 4, 6, 8, 10, 12, 14, 16, 18 전극패턴에서는 1/2Vc 전압이 측정된다.
그런데, 도면에서 보는 바와 같이 2, 7, 10, 15 전극패턴이 개방되었을 경우에는 (1)의 방향으로 스캔하면서 1/2Vc 전압이 측정되어야 함에도 불구하고 접지전압(GND)이나 전원전압(Vc)이 측정되기 때문에 7, 15 전극패턴에 대해서 개방되었다고 판단하게 된다. 또한, (2)의 방향으로 스캔하면서 1/2Vc 전압이나 전원전압(Vc)이 측정되어야 함에도 불구하고 접지전압(GND)이나 전원전압(Vc)이 측정되는 2, 7, 10 전극패턴에 대해서도 전극패턴이 개방되었다고 판단하게 된다.
또한, 도면에서 보는 바와 같이 3-4, 12-13 전극패턴이 서로 단락되었을 경우에는 (1)의 방향으로 스캔하면서 정상상태에서 접지전압(GND)이 측정되어야 하는 4, 12 전극패턴에서 일정한 전압이 측정될 때 인접한 전극패턴과 단락된 것으로 판단하게 된다. 그런다음 다시 (2)의 방향으로 스캔하면서 전원전압(Vc)이 측정되어야 하는 3, 13 전극패턴에서 중간정도의 전압이 측정될 때, (1)의 방향으로 스캔하면서 인접한 전극패턴과 단락된 것으로 검출된 4, 12 전극패턴과 서로 인접한 전극패턴간 서로 단락된 것으로 판단하게 된다.
따라서, 서로 인접한 전극패턴인 3-4 전극패턴과 12-13 전극패턴이 서로 단락된 것으로 판단하게 된다.
도 12는 본 발명에 의한 PDP전극패턴 검사장치의 다른 실시예를 나타낸 블록구성도이다.
여기에 도시된 바와 같이 플라즈마 디스플레이 패널이 검사장치의 테이블에올려지게 되면 패널의 크기를 감지하기 위한 패널감지센서(51)와, 전극패턴의 전압을 측정할 때 전극패턴이 형성된 부분만 측정하기 위해 패널에 형성된 전극패턴을 감지하는 패턴감지센서(52)가 설치된다.
그리고, 프라즈마 디스플레이 패널의 콘넥터 전극이나 전극패턴을 동시에 접속시키기 위해 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 내측의 콘넥터 전극을 동시에 접속시키기 위한 제 1쇼트바(61)와, 내측의 전극패턴을 동시에 접속시키기 위한 제 2쇼트바(62)와, 외측의 전극패턴을 동시에 접속시키기 위한 제 3쇼트바(63)와, 외측의 콘넥터 전극을 동시에 접속시키기 위한 제 4쇼트바(64)가 설치된다.
그리고, 제 1내지 제 4쇼트바(61,62,63,64)에 일정한 정전압을 인가하기 위한 전원발생장치(58)와, 전극패턴에 걸리는 전압분포를 측정하기 위한 스캔프로브(57)가 설치된다.
또한, 스캔프로브(57)를 전극패턴의 방향과 직각방향으로 스캔되도록 스캔프로브(57)를 이동시키는 스캔프로브 이송수단(56)과, 제 3 내지 제 4쇼트바(63,64)를 플라즈마 디스플레이 패널의 크기에 따라 이동시키는 쇼트바 이송수단(59)과, 패널감지센서(51)의 값을 입력받아 쇼트바 이송수단(59)을 제어하며 전원발생장치(58)를 작동시킬 뿐만 아니라 패턴감지센서(52)의 값을 입력받아 프로브 이송수단(56)을 작동시키면서 스캔프로브(57)의 출력값을 저장하는 제어부(55)가 설치된다.
또한, 제어부(55)의 작동을 선택하기 위한 작동스위치(53)와, 제어부(55)의 작동상태를 표시하기 위한 표시부(54)가 설치된다.
그리고, 인터넷(90)을 통해 제어부(55)의 상태를 모니터링하거나 작동상태를 제어할 수 있도록 하기 위한 웹서버가 내장된 인터넷접속부(70)가 설치된다.
따라서, 인터넷접속부(70)를 통해 검사장치의 제어부(55)와 연결하게 되면 인터넷(90)을 통해 원격지에서 인터넷 브라우저가 설치된 컴퓨터(100)를 사용하여 전극패턴의 검사결과를 모니터링할 수 있을 뿐만 아니라 검사장치의 작동을 제어할 수도 있게 된다.
또한, 제어부(55)의 결과를 표시하기 위해 별도의 표시부를 설치하지 않고 인터넷접속부(70)를 통해 인터넷 웹브라우져가 설치된 컴퓨터(100)를 사용하여 검사장치의 작동상태를 모니터링할 수 있게 된다.
상기한 바와 같이 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴의 양단에 일제히 정전압을 인가한 후 전극패턴의 일정한 위치에서 전극패턴의 형성방향과 직각방향으로 스캔타입의 단일 프로브를 사용하여 전극패턴의 저항값에 따른 측정위치의 전압 배분값을 측정함으로써 전극패턴의 단락여부 및 개방여부를 빠른 속도로 용이하게 검사할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 콘넥터 전극이나 전극패턴의 패턴 변화에도 전극패턴의 전기적인 특성을 테스트 할 때 쇼트바를 통해 전원전압을 인가하면 측정을 할 수 있기 때문에 검사 장비의 교체없이 동일한 장비로 측정할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 단일 프로브를 통해 전압값 만을 측정하기 때문에 간단한구성으로 검사장치를 구성할 수 있어 PDP 전극패턴의 전극패턴 검사비용을 줄일 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 측정되는 전압값에 따라 개방 및 단락된 위치를 스캔프로브의 측정하는 위치에 따라 판별할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 전극패턴에 미세한 결함이 발생한 경우에도 전극패턴의 전기저항의 분포 변화를 측정하여 결함여부를 측정할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 웹서버를 내장하여 인터넷을 통해 원격지에서 측정한 결과를 모니터링할 수 있도록 할뿐만 아니라 작동을 제어할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 별도의 표시장치 없이 인터넷 웹브라우져가 장착된 컴퓨터를 통해 웹서버에 접속하여 제어부의 작동상태를 모니터링할 수 있는 이점이 있다.

Claims (5)

  1. 플라즈마 디스플레이 패널의 크기를 감지하기 위한 패널감지센서와,
    상기 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 전극패턴을 감지하는 패턴감지센서와,
    상기 플라즈마 디스플레이 패널에 형성된 다수개의 콘넥터 전극이나 다수개의 전극패턴을 동시에 접속시키기 위한 복수개의 쇼트바와,
    상기 복수개의 쇼트바에 일정한 전압을 인가하기 위한 전원발생장치와,
    상기 다수개의 전극패턴에 걸리는 전압분포를 측정하기 위한 스캔프로브와,
    상기 스캔프로브를 상기 다수개의 전극패턴의 형성방향과 직각방향으로 스캔되도록 상기 스캔프로브를 이동시키는 스캔프로브 이송수단과,
    상기 복수개의 쇼트바를 상기 플라즈마 디스플레이 패널의 크기에 따라 이동시키는 쇼트바 이송수단과,
    상기 패널감지센서의 값을 입력받아 상기 쇼트바 이송수단을 제어하며 상기 전원발생장치를 작동시킬 뿐만 아니라 상기 패턴감지센서의 값을 입력받아 상기 프로브 이송수단을 작동시키면서 상기 스캔프로브의 출력값을 저장하는 제어부와,
    상기 제어부의 작동을 선택하기 위한 작동스위치와,
    상기 제어부의 작동상태를 표시하기 위한 표시부
    로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 스캔프로브는 나이프에지 프로브인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치
  3. 제 1항에 있어서, 인터넷을 통해 상기 제어부의 상태를 모니터링하거나 작동상태를 제어할 수 있도록 하기 위한 웹서버가 내장된 인터넷접속부를 더 포함하는 것을 특징으로 한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치.
  4. 제어부의 상태를 초기화하는 단계와,
    패널감지센서에 의해 패널의 크기를 감지한 후 쇼트바를 이동시켜 패널의 콘넥터 전극과 전극패턴에 접속시키는 단계와,
    쇼트바에 선택적으로 전원을 인가한 후 프로브 이송수단을 통해 스캔프로브를 전극패턴의 방향과 직각방향으로 스캔하면서 해당위치에서 전극패턴에 걸리는 전압을 측정하는 단계
    를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극패턴 검사장치의 작동방법.
  5. 제 4항에 있어서, 인터넷을 통해 접속한 컴퓨터를 통해 제어부의 작동결과를 모니터링하거나 작동제어하는 단계를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 패널의 전극패턴 검사장치의 작동방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100491987B1 (ko) * 2002-09-25 2005-05-30 마이크로 인스펙션 주식회사 Pdp 패널의 유전체 검사장치

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040022634A (ko) * 2002-09-09 2004-03-16 엘지전자 주식회사 비파괴 검사 방법
KR100796172B1 (ko) * 2006-07-20 2008-01-21 마이크로 인스펙션 주식회사 비접촉 싱글사이드 프로브 구조

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04179029A (ja) * 1990-11-13 1992-06-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd プラズマディスプレイの特性検査装置
KR980011606A (ko) * 1996-07-26 1998-04-30 구자홍 Pdp 전극의 단락/개방 유무 검사 장치 및 방법
KR19980017192U (ko) * 1996-09-23 1998-07-06 엄길용 대화면 프라즈마 표시 패널 전극 그라스 터치 프로브
JPH11233021A (ja) * 1998-02-10 1999-08-27 Dainippon Printing Co Ltd プラズマディスプレイパネル用基板の検査、修正方法
KR19990085013A (ko) * 1998-05-13 1999-12-06 구자홍 플라즈마 디스플레이 패널의 패턴 검사기 및 그 검사방법
KR20010004233A (ko) * 1999-06-28 2001-01-15 김영환 플라즈마디스플레이패널의 전극 결함 검사방법
KR20010011257A (ko) * 1999-07-27 2001-02-15 김순택 플라즈마 디스플레이 패널의 검사장치

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04179029A (ja) * 1990-11-13 1992-06-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd プラズマディスプレイの特性検査装置
KR980011606A (ko) * 1996-07-26 1998-04-30 구자홍 Pdp 전극의 단락/개방 유무 검사 장치 및 방법
KR19980017192U (ko) * 1996-09-23 1998-07-06 엄길용 대화면 프라즈마 표시 패널 전극 그라스 터치 프로브
JPH11233021A (ja) * 1998-02-10 1999-08-27 Dainippon Printing Co Ltd プラズマディスプレイパネル用基板の検査、修正方法
KR19990085013A (ko) * 1998-05-13 1999-12-06 구자홍 플라즈마 디스플레이 패널의 패턴 검사기 및 그 검사방법
KR20010004233A (ko) * 1999-06-28 2001-01-15 김영환 플라즈마디스플레이패널의 전극 결함 검사방법
KR20010011257A (ko) * 1999-07-27 2001-02-15 김순택 플라즈마 디스플레이 패널의 검사장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100491987B1 (ko) * 2002-09-25 2005-05-30 마이크로 인스펙션 주식회사 Pdp 패널의 유전체 검사장치

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