KR100317728B1 - 방전셀및그제조방법 - Google Patents

Abstract

방전셀의 전극위치어긋남허용도를 크게 하여 제조를 용이하게 한다.

방전셀은 한쪽의 기판(1)과 소정의 공극을 통해 이 한쪽의 기판(1)에 접합한 다른 쪽의 기판(2)으로 이루어지는 플랫패널구조를 갖고 있다. 한쪽의 기판(1)의 위에는 스트라이프형의 양극 A 및 음극 K 이 교호로 배열되어 있다. 또한, 격벽(4)이 양 기판(1),(2)사이에 개재되어 있으며, 스트라이프형으로 배열하여 기판간 공극을 구획하여 방전채널(5)을 형성한다. 양극 A 은 격벽(4)의 바로 밑에 배치되고 또한 격벽(4)의 폭치수보다 넓은 폭치수를 갖는다. 한편, 음극 K 은 인접하는 격벽 (4)의 중간에 배치되어 있다. 격벽(4)이 상대적으로 위치가 어긋나도, 플라스마방전을 지배하는 음극 K 의 노출표면적은 일정하게 유지된다.

Description

방전셀 및 그 제조방법

본 발명은 플라스마어드레스표시장치 등에 내장되는 방전셀 및 그 제조방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 직선형의 방전채널을 갖는 방전셀의 전극구조 및 그 형성방법에 관한 것이다.

직선형의 방전채널을 가진 방전셀을 내장한 플라스마어드레스표시장치가 알려져 있으며, 예를 들면 일본국 특개평 4(1992)-265931호 공보에 개시(開示)되어 있다. 본 발명의 배경을 명백하게 하기 위해, 제5도를 참조하여 종래의 구조를 간결하게 설명한다. 플라스마어드레스표시장치는 표시셀(51)과 방전셀(52)과 양자사이에 개재하는 중간기판(53)을 적층한 구조를 갖는다. 표시셀(51)은 상측의 유리기판(54)을 사용하여 구성되어 있으며, 그 내측 주면에는 열방향에 따라서 복수개의 신호전극 D 이 서로 평행으로 형성되어 있다. 유리기판(54)은 스페이서(55)를 사용하여 소정의 간극을 통해 중간기판(53)에 접착되어 있다. 간극내에는 액정층(56)이 충전되어 있다. 한편, 방전셀(52)은 하측의 유리기판(57)을 사용하여 구성되어 있다. 기판(57)의 내측 주면상에는 신호전극 D 에 직교하여 행방향으로 연재하는 플라스마전극(58)이 형성되어 있다. 이 플라스마전극(58)은 교호로 양극 A 및 음극 K 로서 기능한다. 플라스마전극(58)의 위에 따라서 격벽(59)이 형성되어 있다. 격벽 (59)의 정상부는 중간기판(53)에 접촉되어 있으며 스페이서로서의 역할을 한다. 하측의 유리기판(57)은 시일재(60)를 사용하여 중간기판(53)에 접착되어 있다. 양자의 사이에는 기밀봉지(氣密封止)된 공간이 형성된다. 이 공간은 스트라이프형의 격벽(59)에 의해 구획되어 있으며, 개개로 행주사단위로 되는 방전채널(61)을 구성한다. 개개의 방전채널(61)내에는 이온화가능한 가스가 봉입되어 있다.

제6도는 종래의 방전셀의 전극구조를 나타낸 모식적인 사시도이다. 기판 (101)의 표면에 스트라이프형으로 패터닝된 전극(102)이 형성되어 있다. 복수의 스트라이프전극(102)은 피치 P 로 배열되어 있는 동시에, 개개로 폭치수 W1 를 갖는다. 각 스트라이프전극(102)의 위에는 격벽(103)이 형성되어 있다. 복수의 스트라이프형 격벽(103)도 동일한 피치 P 로 배열되어 있는 동시에, 개개의 폭치수 W2는 스트라이프전극(102)의 폭치수 W1 보다 작게 설정되어 있다.

제6도에 대하여 피치어긋남이 생긴 상태를 나타낸 제7도를 참조하여 발명이 해결하고자 하는 과제를 설명한다. 제7도에 나타낸 스트라이프패턴은 일반적으로 마스크를 사용하여 형성된다. 전극(102)과 격벽(103)은 본래 동일한 패턴배열피 P 를 갖지만, 상이한 폭치수 W1 및 W2 를 가지고 있다. 따라서, 종래 전극(102)의 형성에 사용하는 마스크와 격벽 (103)의 형성에 사용하는 마스크는 다를 것이 사용되고 있었다. 이 경우 전극(102) 및 격벽 (103)을 서로 정합시키기 위해 , 양쪽의 마스크는 서로 같은 스프라이프패턴피치를 갖고 또한 정확하게 얼라이멘트된다.

전극이나 격벽의 형성체는 통상 스크린마스크에 의한 후막(厚議)인쇄법이 이용된다. 스크린마스크는 프레임에 스크린메시를 텐션을 가하여 붙인 것이다. 감광제가 도포된 스크린메시에 대하여 포토리소그라피를 적용하여 소정의 마스크패턴을 형성한다. 그러나 텐션이 걸려 있으므로, 다른 스크린마스크의 사이에서 스트라이프패턴의 피치 P 를 완전히 동일하게 설정하는 것은 곤란하며, 실제로는 일정한 피치오자 △P 가 포함되어 있다. 이 외에, 후막인쇄를 할 때에는 스퀴지에 의해 스크린마스크에 압력이 가해져서 변형한다. 개개의 스크린마스크에 의해 변형의 정도가 미묘하게 달라서 실제로 인쇄된 스트라이프패턴의 피치는 목표치부터 편의된다. 그러므로, 하층의 전극(102) 및 상층의 격벽(103)을 정확하게 정합하는 것은 실제상 곤란하며, 이른바 피치 어긋남이 생긴다는 과제가 있었다.

전극과 격벽의 사이에 상대적인 위치어긋남이 있으면 방전셀의 동작이 불안정해진다는 문제가 발생한다. 이 점에 대하여, 제8도는 참조하여 구체적인 치수를 들어 간결하게 설명한다. (A)는 위치어긋남이 없는 상태를 나타내고 있다. 플라스마전극(151)은 교호로 양극 A, 음극 K 으로서 기능하여 예를 들면 410㎛ 의 피치로 기판(152)상에 배열되어 있다. 각 플라스마전극의 위에 격벽(153)이 겹쳐서 형성되어 있다. 격벽의 폭치수는 120㎛ 로 설정되어 있으며, 플라스마전극(151)의 폭치수는 300㎛ 로 설정되어 있다. 인접한 격벽(153)의 사이에 직선형의 방전채널(154)이 형성되고, 그 내부에 양극 A 및 음극 K 의 일부가 노출되어 있다. 양 전극간에 소정의 전압을 인가하면 플라스마방전이 발생한다. 이 플라스마방전을 안정적으로 유지하기 위해서는 일정한 전극노출면적을 확보할 필요가 있다. 특히, 음극 K 의 노출면적이 지배적이며, 최소한 60㎛ 의 전극노출폭을 확보할 필요가 있다. 이 때, 격벽(153)과 전극(151)의 위치맞춤오차가 최대로 ±30㎛ 정도 있다고 하면, 도시한 바와 같이 격벽(153)의 양측에서 최소한 90㎛ 의 전극노출폭을 확보할 필요가 있다. 그래서, 도시한 예에서는 전극폭을 300㎛ 로 설정하고, 격벽폭을 120㎛로 설정하고 있다. 이 결과, 서로 인접하는 양극 A 과 음극 K 과의 사이의 개구폭이 110㎛ 밖에 취할 수 없게 되어, 표시장치로서 본 경우 콘트라스트가 희생된다. 그리고,(B)는 30㎛ 의 위치어긋남이 발생한 상태를 나타내고 있다. 이 경우, 방전채널 (155)에 있어서는 음극 K 의 노출폭이 필요최소한의 60㎛ 로 되어 버린다. 가령, 이 이상 위치어긋남이 생기면 방전채널(155)내에 있어서의 플라스마방전은 매우 불안정해진다. 한편, 인접한 방전채널(154)내에 있어서는 음극 K 의 노출폭이 120㎛ 에까지 증대되어 안정된 플라스마방전이 얻어진다. 이와 같이, 종래 구조에서는 격벽과 전극의 사이에 위치어긋남이 생기면 방전채널의 플라스마강도가 교호로 불균일해지므로, 표시장치 전체로서 본 경우 화질을 손상한다는 과제가 있다.

전술한 종래의 기술의 과제를 감안하여, 본 발명은 플라스마전극과 격벽과의 사이에 상대적인 위치어긋남이 생긴 경우에도 안정된 플라스마방전을 유지가능한 전극구조를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이러한 목적을 달성하기 위해 다음의 수단을 강구하였다. 즉, 본 발명에 관한 방전셀은 기본적인 구성요소로서, 한쪽의 기판과, 그 위에 교호로 배열한 스트라이프형의 양극 및 음극과, 소정의 공극을 통해 이 한쪽의 기판에 접합된 다른 쪽의 기판과, 양 기판사이에 개재하고 또한 스트라이프형으로 배열하여 이 공극을 구획하여 방전채널을 형성하는 격벽을 구비하고 있다. 특징사항으로서, 상기 양극은 격벽의 바로 밑에 배치되고 또한 격벽의 폭치수보다 넓은 폭치수를 갖는 한편, 상기 음극은 인접하는 격벽의 중간에 배치되어 있다. 또한, 본 발명에 관한 방전셀의 제조방법은, 한쪽의 기판표면에 각각 소정의 폭치수를 갖는 양극 및 음극을 교호로 소정의 간격으로 스트라이프형으로 인쇄형성하는 공정과, 이 양극의 폭치수보다 좁은 폭치수를 갖는 격벽을 양극만 겹쳐서 인쇄형성하는 공정과, 이 격벽을 통해 다른 쪽의 기판을 접합하여 양 기판사이에 이온화가능한 가스를 봉입하는 공정으로 이루어진다. 전술한 구조를 가진 방전셀 또는 전술한 제조방법에 의해 작성된 방전셀은 예를 들면 플라스마어드레스표시장치에 내장할 수 있다. 이 경우, 플라스마어드레스표시 장치는 기본적 구성요건으로서, 열 방향으로 배열한 복수의 신호전극을 구비한 표시셀과, 행방향으로 배열한 복수의 방전채널을 구비한 방전셀을 서로 겹친 플랫패널구조를 갖는다. 특징사항으로서, 방전채널은 기판상에 형성된 스트라이프형의 양극과, 양극의 사이에 형성된 스트라이프형의 음극과, 각 양극의 폭치수보다 좁은 폭치수를 갖고, 각 양극에 정합하여 형성된 격벽으로 이루어진다.

본 발명에 의하면, 음극은 인접한 격벽의 중간에 배치되고 전면적으로 노출되어 있다. 따라서, 플라스마전극과 격벽과의 사이에 상대적인 위치 어긋남이 생겨도, 통상 격벽이 음극의 영역에까지 미치는 극단의 상태는 없으므로, 최소한 음극에 대하여는 영향이 미치지 않는다. 이 결과, 위치어긋남에 관계없이, 플라스마방전에 지배적인 음극노출면적을 확보할 수 있으므로, 플라스마방전의 안정성을 개선할 수 있다. 한편, 양극에 대하여는 격벽의 바로 밑에 배치되어 있으므로, 그 양측에서 부분적으로 노출되게 된다. 따라서, 플라스마전극과 격벽과의 사이에 상대적인 위치어긋남이 생기면 양극의 노출폭에 편의가 생긴다. 그러나, 양극은 단지 전하를 디스차지할 수 있으면 되므로, 어느 정도의 노출면적이 확보되면 되고, 노출면적의 편의는 플라스마방전안정성에 대하여 그다지 영향을 미치지 않는다.

다음에, 도면을 참조하여 본 발명의 적합한 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 제1도는 본 발명에 관한 방전셀의 기본적인 구조를 나타낸 모식도이다. (A)에나타낸 바와 같이, 방전셀은 한쪽의 기판(1)과, 소정의 공극을 통해 이 한쪽의 기판(1)에 대면배치된 다른 쪽의 기판(2)으로 이루어지는 플랫패널구조를 갖고 있다. 양 기판(1) 및 (2)은 시일재(3)를 통해 서로 기밀적으로 접합되어 있다. 하측의 기판(1)의 위에는 스트라이프형의 양극 A 및 음극 K 이 교호로 배열되어 있다. 그리고, 격벽(4)이 양 기판(1),(2)의 사이에 개재되어 있다. 이 격벽(4)은 스트라이프형으로 배열하여 공극을 구획하여 방전채널(5)을 형성한다. 방전채널(5)내에는 이온화가능한 가스가 봉입되어 있다. 양극 A 은 격벽(4)의 바로 밑에 배치되고 또한 격벽(4)의 폭치수보다 넓은 폭치수를 갖고 있다. 따라서, 양극 A 의 중앙부는 격벽(4)에 의해 피복되어 있는 한편, 측에지부는 노출되어 있다. 음극 K 은 인접하는 격벽(4)의 중간에 배치되어 있으며 방전채널(5)내에서 전면적으로 노출되어 있다. 각 방전채널(5)내에서 노출된 양극 A 과 음극 K 과의 사이에 소정의 접압을 인가함으로써 플라스마방전이 발생한다.

이러한 구조를 갖는 방전셀은 다음의 공정에 의해 제조할 수 있다. 먼저 최초에, 한쪽의 기판 (1)의 표면에 각각 소정의 폭치수를 갖는 양극 A 및 음극 K 을 교호로 소정의 간격으로 스트라이프형으로 인쇄형성한다. 다음에, 양극 A 의 폭치수보다 좁은 폭치수를 갖는 격벽(4)을 양극 A 만에 겹쳐서 인쇄형성한다. 최후에, 격벽(4)을 통해 상측의 기판(2)을 기밀적으로 접합하고, 양 기판사이에 이온화가능한 가스를 봉입한다.

계속해서 (A)를 참조하여 구체적인 패턴치수관계를 예시적으로 설명한다. 제 8도의 (A)에 나타낸 종래예와의 비교를 용이하게 하기 위해, 본 실시예에 있어서도플라스마전극배열피치를 410㎛ 로 설정하고 있다. 또한, 중간의 음극 K 과 양측의 양극 A 과의 사이에 형성된 개구부의 폭치수도 55㎛ 씩으로 하여, 합계해서 제8도의 (A)에 나타낸 종래예와 같게 110㎛ 로 되도록 설정하고 있다. 이 관계에서 양극 A 의 폭치수는 220㎛ 로 되고, 음극 K 의 폭치수는 80㎛ 로 된다. 따라서, 음극 K 의 노출폭은 플라스마방전에 최소한 필요한 60㎛ 이상을 확보하고 있다. 한편, 격벽(4)의 폭치수는 120㎛ 로 설정되고, 그 양측에는 양극 A 의 노출폭 50㎛ 이 각각 확보된다.

(B)는 (A)에 나타낸 정합상태로부터 도면상 우방향으로 50㎛ 위치어긋남이 생긴 상태를 나타내고 있다. 이 경우 음극 K 의 노출폭은 전혀 변화하지 않고, 또한 개구폭도 감소되어 있지 않다. 애노드 A 의 노출폭에 대하여는 한쪽이 0 ㎛ 로 되는 한편 다른 쪽이 100㎛ 까지 확대되고, 방전채널내에 있어서는 전체로서 일정하게 유지되어 있다. 이와 같이, 최대로 50㎛ 격벽이 위치어긋나도, 음극 K 의 표면적은 영향을 받지 않으므로 방전전류는 일정하게 유지된다. 한편, 양극 A 은 단지 전하를 디스자지할 수 있으면 되므로, 1개의 음극 K 에 대하여 전체에서 소정의 표면적을 확보하면 된다. 본 예에서는 어떤 음극 K 에 대하여 좌측의 양극 A 의 표면적이 작아지면, 그만큼 우측의 표면적이 증가되어 전체의 면적은 일정하게 유지되고 있다. 이와 같이, 종래 구조에서는 위치어긋남의 허용범위가 ±30㎛ 이었던 것에 대하여, 본 발명에서는 ±50㎛ 정도 어긋나도, 방전특성 및 개구율에 대하여 전혀 악영향을 미치지 않고, 위치어긋남에 대한 허용도는 대폭적으로 개선되어 있다.

(C)는 다시 (A)에 나타낸 정합상태로부터 105㎛ 격벽이 위치어긋난 상태를 나타내고 있다. 이 경우에도 음극 K 의 노출표면적은 영향을 받지 않고, 양극 A 의 노출표면적도 전체로서 일정하게 유지되어 있다. 단, 개구폭치수에 대하여는 도면상 좌측의 부분이 격벽(4)에 의해 차폐되므로 감소된다.

(D)는 다시 (A)에 나타낸 정합상태로부터 125㎛ 위치어긋남이 생긴 상태를 나타내고 있다. 이 경우에는 음극 K 의 표면이 부분적으로 격벽(4)에 의해 피복되지만, 또한 60㎛ 의 노출폭이 확보되어 있다. 따라서, 안정적인 플라스마방전을 계속 유지할 수 있다. 이와 같이, 플라스마방전의 안정성에 한정하여 말하면, ±125㎛ 까지 위치어긋남을 허용할 수 있다. 역으로, 종래예와 마찬가지로 위치 어긋남의 오차범위를 ±30㎛ 까지 제어하면, 개구율을 그만큼 증가시킬 수 있다.

다음에, 제2도를 참조하여, 본 발명에 관한 방전셀을 내장한 플라스마어드레스표시 장치의 일실시예에 대하여 설명한다. 이 플라스마어드레스표시장치는 표시셀(11)과 방전셀(12)과 양자의 사이에 개재하는 극히 얇은 유전체시트로 이루어지는 공통의 중간기판(13)을 적층한 플랫패널구조를 갖는다. 표시셀(11)은 상측의 유리기판(14)을 사용하여 구성되어 있으며, 그 내측 주면에는 투명도전막으로 이루어지는 복수개의 신호전극 D 이 열방향에 따라서 서로 평행으로 형성되어 있다. 유리기판(14)은 스페이서(15)를 사용하여 소정의 간극을 통해 중간기판(13)에 접착되어 있다. 간극내에는 액정층(16)이 충전봉입되어 있다.

한편, 방전셀(12)은 하측의 유리기판(17)을 사용하여 구성되어 있다. 기판 (17)의 내측 주면상에는 행방향에 따라서 교호로 양극 A 과 음극 K 이 형성되어 있다. 또한, 양극 A 의 위에 따라서 격벽(18)이 형성되어 있다. 격벽(18)의 정상부는 중간기판(13)에 맞닿아 있으며 스페이서로서의 역할을 한다. 하측의 유리기판(17)은 시일재(19)를 사용하여 중간기판(13)에 접착되어 있다. 양자의 사이에는 기밀봉지된 공극이 형성된다. 이 공극은 격벽(18)에 의해 분할 또는 구획되어 있으며 개개로 방전채널(20)을 구성하여 행주사단위로 된다. 즉, 개개의 방전채널 (20)은 기판(17)상에 평행으로 형성된 1쌍의 양극 A 과, 이들 사이에 형성된 1개의 음극 K 과, 각 양극 A 의 폭치수보다 좁은 폭치수를 갖고 각 양극 A 에 정합하여 형성된 1쌍의 격벽(18)으로 구성되어 있다. 기밀의 방전채널 (20)내부에는 이온화가능한 가스가 봉입되어 있다. 가스종류는 예를 들면 헬륨,네온,아르곤 또는 이들의 혼합기체로부터 선택할 수 있다.

최후에, 제3도를 참조하여 참고를 위해 플라스마어드레스표시장치의 동작에 대하여 간결하게 설명한다. 본 도면은 표시장치에 사용되는 구동회로의 일예를 나타내고 있다. 이 구동회로는 신호회로(21)와 주사회로(22)와 제어회로(23)로 구성되어 있다. 신호회로(21)에는 신호전극 D1 내지 Dm 이 버퍼를 통해 접속되어 있다. 한편, 주사회로(22)에는 마찬가지로 버퍼를 통해 음극 K1 내지 Kn 이 접속되어 있다. 양극 A1 내지 An 은 공통으로 접지되어 있다. 음극은 주사회로(22)에 의해 선순차 주사되는 동시에, 신호회로(21)는 이것에 동기하여 각 신호전극에 아날로그 화상신호를 공급한다. 제어회로(23)는 신호회로(21)와 주사회로(22)의 동기제어를 행하는 것이다. 각 음극에 따라서 방전채널이 형성되어 행주사단위로 된다. 한편, 각 신호전극은 열구동단위로 된다. 양 단위 사이에 화소(24)가 규정된다.

제4도는 제3도에 나타낸 2개의 화소(24)를 절취하여 모식적으로 나타낸 것이다. 각 화소(24)는 신호전극 D1,D2 및 중간기판(13)에 의해 협지된 액정층(16)으로 이루어지는 샘플링커패시터와, 플라스마샘플링스위치 S1 와의 직렬접속으로 이루어진다. 플라스마샘플링스위칭 S1 는 방전채널의 기능을 등가적(等價的)으로 나타낸 것이다. 즉, 방전채널이 활성화하면 그 내부는 대략 전체적으로 애노드전위에 접속된다. 한편, 플라스마방전이 종료되면 방전채널은 부유(浮遊)전위로 된다. 샘플링스위치 S1 를 통해 개개의 화소(24)의 샘플링커패시터에 아날로그화상 신호를 기입하여 이른바 샘플링홀드를 행하는 것이다. 아날로그화상신호의 레벨에 의해 화소 (24)의 계조적(階調的)인 점등 또는 소등을 제어할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 직선형의 방전채널을 갖는 방전셀에 있어서, 양극을 격벽의 바로 밑에 배치하는 동시에, 격벽의 폭치수보다 넓게 하여 양극의 표면을 부분적으로 노출시키고 있다. 한편, 음극을 인접하는 격벽의 중간에 배치하고 그 표면을 전면적으로 노출시키고 있다. 이러한 구성에 의해 플라스마전극에 대한 격벽의 상대적인 위치어긋남허용도가 커지므로, 방전셀의 제조가 용이해지고 대형화 및 고정세화(高精細化)에 대응할 수 있다는 효과가 있다. 또한, 안정된 플라스마방전동작이 가능해지므로 표시장치로서 본 경우 화질이 향상된다는 효과가 있다. 또한, 종래와 동일한 정도의 위치어긋남허용도로 방전셀을 제조할 경우에는, 개구율를 높일 수 있으므로, 고화질화가 가능해지는 동시에 백라이트의 로파워화에 기여할 수 있다는 효과가 있다.

제l도는 본 발명에 관한 방전셀의 구조를 나타낸 모식적인 부분단면도.

제2도는 본 발명에 관한 방전셀을 사용하여 조립된 플라스마어드레스표시장치의 일예를 나타낸 모식적인 단면도.

제3도는 제2도에 나타낸 플라스마어드레스표시장치의 구동회로를 나타낸 블록도.

제4도는 제3도에 나타낸 화소를 절취하여 나타낸 모식도.

제5도는 종래의 방전셀을 내장한 플라스마어드레스표시장치의 일예를 나타낸 단면도.

제6도는 종래의 방전셀전극구조를 나타낸 사시도.

제7도는 종래의 방전셀의 제조방법의 과제를 설명하기 위한 사시도.

제8도는 마찬가지로 종래의 방전셀의 구조적인 과제를 설명하기 위한 모식도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

(1),(2) : 기판, (4) : 격벽, (5) : 방전채널, A : 양극, K : 음극

Claims (4)

1. 한쪽 기판,

   상기 한 쪽 기판 위에 교대로 배열한 스트라이프형의 양극 및 음극,

   소정의 공극을 통해 상기 한쪽 기판에 접합된 다른 쪽 기판,

   상기 두 기판 사이에 개재하고 스트라이프형으로 배열하여 상기 공극을 구획하여 방전 채널을 이루는 격벽을 포함하며,

   상기 양극은 상기 격벽의 바로 밑에 배치되고 상기 격벽의 폭보다 넓은 폭을 갖고, 상기 음극은 인접하는 상기 격벽의 중간에 배치되어 있는 방전 셀.
2. 한쪽 기판의 표면에 각각 소정의 폭을 갖는 양극 및 음극을 교대로 소정의 간격으로 스트라이프형으로 인쇄 형성하는 단계,

   상기 양극의 폭보다 좁은 폭을 갖는 격벽을 상기 양극만에 겹쳐서 인쇄 형성하는 단계, 그리고

   상기 격벽을 통해 다른 쪽 기판을 접합하고, 상기 양 기판 사이에 이온화가능한 가스를 봉입하는 단계

   를 포함하는 방전 셀의 제조방법.
3. 열방향으로 배열한 복수의 신호 전극을 구비한 표시 셀과, 행방향으로 배열한 복수의 방전 채널을 구비한 방전 셀을 서로 겹친 플랫 패널 구조를 갖는 플라스마 어드레스 표시 장치에 있어서,

   상기 방전 채널은,

   기판 상에 형성된 스트라이프형의 양극,

   상기 양극의 사이에 형성된 스트라이프형의 음극,

   상기 각 양극의 폭보다 좁은 폭을 갖고 상기 각 양극에 정합하여 형성된 격벽

   을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라스마 어드레스 표시 장치.
4. 제3항에 있어서,

   상기 각 방전 채널은,

   1쌍의 양극,

   상기 양극 사이에 위치하는 1개의 음극,

   상기 각 양극에 정합하는 1쌍의 격벽

   으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라스마 어드레스 표시 장치.