KR100272885B1

KR100272885B1 - 반사체의 제조방법 및 제조장치_

Info

Publication number: KR100272885B1
Application number: KR1019980042022A
Authority: KR
Inventors: 미쓰루 가노; 도모마사 다까쓰까; 겐지 오모떼
Original assignee: 가타오카 마사타카; 알프스 덴키 가부시키가이샤
Priority date: 1997-10-14
Filing date: 1998-10-08
Publication date: 2000-11-15
Also published as: US6193898B1; JP3565693B2; TW446844B; KR19990036943A; JPH11119013A

Abstract

대면적의 투명기체 (透明基體) 를 사용하여 동일형상의 오목볼록 표면을 지니는 반사체를 다수 개 한번에 제조할 수 있으며, 반사특성에 편차 없는 반사체를 용이하고 간결하게 양산할 수 있는 반사체의 제조방법 및 제조장치를 제공한다.

투명기체 (13) 상에 감광성 수지를 도포하여 연화상태의 감광성 수지층 (14) 을 형성하고, 이 감광성 수지층 (14) 에 대하여 상하방향으로 움직일 수 있는 형 (型 : 9) 의 오목볼록 형면 (9a) 을 눌러 붙인 상태에서, 형으로 압착된 감광성 수지부분 (16) 에 투명기체 (13) 의 하방측에서 자외선을 조사하여 감광성 수지부분 (16) 을 예비경화시킨다. 그리고, 가동형 (可動型 : 5) 을 이 예비경화한 감광성 수지층부분 (16) 으로부터 박리하고, 나아가 형으로 압착되지 않은 감광성 수지층의 소정 부분에 대하여 이 예비경화의 공정을 반복하여 실시함으로써 예비경화된 감광성 수지부분 (17,18) 을 형성하고, 감광성 수지층 (14) 의 예비경화되지 않은 부분을 에칭제거하고, 예비경화된 수지부분 (16,17,18) 을 가열하여 본경화시키고, 이어서 이들 본경화한 감광성 수지부분 (16,17,18) 의 각 표면에 금속반사막을 막형성한다.

Description

반사체의 제조방법 및 제조장치

본 발명은 반사형 액정표시장치 등에 이용되는 것으로서, 반사면에 오목볼록형상을 가지는 반사체의 제조방법 및 그 제조장치에 관한 것이다.

종래, 반사면에 오목볼록형상을 가지는 반사판의 제조방법으로서, 유리기판표면이나 유리기판상의 합성수지막표면에 대하여 유리미립자를 충돌시켜 오목볼록형상을 형성하고, 이어서 이와 같이 하여 형성된 오목볼록 표면상에 알루미늄 등으로 이루어지는 금속반사막을 형성하는 방법이나, 유리기판 표면 자체를 플루오르산으로 에칭처리하고, 이어서 이와 같이 하여 유리기판 표면에 형성된 오목볼록면에 알루미늄 등으로 이루어지는 반사성 금속막을 형성하는 방법이 있다.

그러나 이들 종래의 제조방법은 반사체의 제조조건을 일정하게 제어하기 어렵고, 제조하여 얻어지는 반사체 표면의 오목볼록 형상이 반사체마다 틀리기 쉽고, 반사특성에 편차 없는 반사체를 양산하기 어려운 문제가 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 반사특성에 편차 없는 반사체를 용이하면서 간단하게 양산하는 제조방법 및 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1 은 본 발명에 관한 반사체 제조장치의 일 실시형태를 나타내는 단면도이다.

도 2 는 본 발명에 관한 반사체 제조장치의 다른 실시형태를 나타내는 단면도이다.

도 3a 내지 3e 은 도 1 및 도 2 의 반사체 제조장치를 이용한 반사체의 제조방법을 나타내는 공정도이다.

도 4 는 도 3a 내지 3e 에 나타낸 제조방법으로 제조한 반사체를 사용한 반사형 액정표시장치를 나타내는 단면도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

2 : 기대 (基臺) 3 : 광투과창

4 : 기체이송부재 9 : 가동형 (可動型)

9a : 오목볼록 형면 (凹凸型面) 10 : 광원

13 : 투명기체 (透明基體) 14 : 감광성 수지층 (感光性樹脂層)

16,17,18 : 가공을 실시한 감광성 수지부분

본 발명의 반사체의 제조방법은 투명기체 상에 감광성 수지층을 도포하여 연화상태의 감광성 수지층에 오목볼록 형면을 가지는 형의 형면을 눌러 붙이면서 상기 투명기체의 하방측에서 광을 조사하여, 형으로 압착된 상기 감광성 수지층 부분을 예비경화시키고, 이어서 예비경화하다 상기 감광성 수지층에서 상기 형을 박리하는 공정과, 이 공정을 반복하여 상기 감광성 수지층상에 원하는 가공을 실시하고, 각각 가공을 실시한 감광성 수지부분을 제외한 감광성 수지층을 에칭 제거하는 공정과, 상기 가공을 실시한 감광성 수지부분을 가열하여 본경화하는 공정과, 이어서 각각의 본경화한 감광성 수지부분 상에 금속반사막을 형성하는 공정으로 이루어진다.

이와 같은 방법에 의해 대면적의 투명기체를 사용하여 동일형상의 오목볼록 표면을 지니는 반사체를 재현성 좋게 다수 개 한번에 제조할 수 있으며, 반사특성에 편차 없는 반사체를 용이하고 간결하게 양산할 수 있다.

또한, 본 발명의 반사체의 제조장치는 오목볼록 형면을 가지고 상하방향으로 움직일 수 있는 형과, 상기 형면의 외주형상에 맞춘 외주형상을 지니며 또한 상기 형면에 대향 배치된 광투과창을 가지는 기대와, 표면에 감광성 수지층을 도포한 투명기체를 지지하여 상기 기대와 상기 형 사이에서 수평방향으로 이동하는 기체이송부재와, 기대의 상기 광투과창을 통하여 상기 형을 향하여 광조사하는 광원으로 이루어지는 것이다.

이와 같은 구성으로 대면적의 투명기체를 사용하여 가동형 및 기대와 기체이송부재를 수평방향으로 상대이동시켜 다수의 반사체를 한번에 제조할 수 있으며, 반사체를 용이하고 간결하게 양산할 수 있다.

또한, 본 발명의 반사체의 제조장치는 오목볼록 형면을 가지고 상하방향으로 움직일 수 있는 형과, 상기 형면의 외주형상에 맞춘 외주형상을 지니는 광투과창을 간격을 두고 복수개 가지며, 상기 형에 대하여 수평방향으로 상대적으로 자유롭게 이동할 수 있는, 표면에 감광성 수지층을 도포한 투명기체를 지지하는 기대와, 이 기대의 상기 광투과창을 통하여 상기 형을 향하여 광조사하는 광원으로 이루어지는 것이다.

이와 같은 구성으로도 대면적의 투명기체를 사용하여 가동형과 기대를 수평방향으로 상대이동시켜 다수의 반사체를 한번에 용이하고 간결하게 제조할 수 있다.

실시예

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.

먼저, 본 발명의 반사체 제조장치의 일 실시형태를 도 1 에 의거하여 설명한다.

반사체 제조장치는 평판형상의 기대 (2) 를 구비하고, 기대 (2) 의 일부에 그 두께방향으로 관통한 사각형상의 광투과창 (3) 을 가지며, 광투과창 (3) 의 상방에 투명기체 (13) 를 지지하기 위한 기체이송부재 (4) 를 수평방향으로 이동할 수 있도록 설치하고 있다. 기체이송부재 (4) 는 그 두께방향으로 관통한 구멍 (5) 을 가지고 있고, 이 구멍 (5) 에 투명기체 (13) 를 지지하는 투명한 지지부재 (6) 를 끼우고 있음과 동시에 구멍 (5) 을 제외한 주연부분의 틀부 (7) 에는 투명기체 (13) 를 고정하기 위한 고정부재 (8) 를 나사 등을 사용하여 자유롭게 착탈할 수 있도록 장착하고 있다. 기체이송부재 (4) 자체는 도시 생략한 실린더 등에 의해 수평방향으로 움직이도록 되어 있다.

기체이송부재 (4) 의 상방에, 오목볼록 형면 (9a) 을 광투과창 (3) 과 대향하도록 배치한 가동형 (9) 을 상하방향으로 움직일 수 있도록 설치하고 있고, 또한 기대 (2) 의 하방에는 자외선 등의 광을 발하기 위한 광원 (10) 을 광투과창 (3) 을 향하게 하여 배열 설치하고 있다. 광투과창 (3) 은 도시예에서는 중공이지만 투명체를 매설하여도 된다. 광투과창 (3) 은 오목볼록 형면 (9a) 의 크기를 초과하지 않도록 오목볼록 형면 (9a) 의 외주형상에 맞춘 외주형상을 지니는 크기로 설정하고 있다.

기체이송부재 (4) 는 광원 (10) 에서 오목볼록 형면 (9a) 을 향하여 발하여진 광이 기체이송부재 (4) 와 기대 (2) 의 간극에서 회절 등에 의해 감광 (減光) 되지 않도록 기대 (2) 와의 간극을 가능한 한 작게 하고 있다.

광원 (10) 은 자외선 등을 발하는 자외선 램프 (11) 와 미러 (12) 로 이루어지며, 자외선 램프 (11) 및 미러 (12) 를, 미러 (12) 에서 반사된 광이 거의 평행광이 되도록 배치하고 있다.

오목볼록 형면 (9a) 은 황동제 금속판의 표면을 절삭 가공하여 오목볼록형상을 형성하여 이루어지는 것이다. 또한 지지부재 (6) 는 투명기체 (13) 상의 감광성 수지층 (14) 에 오목볼록 형면 (9a) 을 형으로 압착하는 압압력에 견딜 수 있는 강도를 지닐 필요가 있기 때문에 충분히 두꺼운 유리판을 사용할 필요가 있는데, 유리는 판두께가 두꺼울수록 자외선을 많이 흡수하기 때문에 판재로서 자외선의 흡수율이 작은 투명재료인 석영을 사용하는 것이 바람직하다. 예컨대 석영으로 이루어지는 두께 50 ㎜ 정도의 판을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 기체이송부재 (4) 의 틀부 (7) 도 강성이 높은 재료, 예컨대 철, 세라믹 등으로 구성할 필요가 있지만, 기체이송부재 (4) 전체를 도시예와는 다르게 석영 등의 투명재료로 구성하여도 된다.

가동형 (9) 에는 투명기체 (13) 에 설치한 위치정렬 마크 등을 판독하는 카메라를 설치하여도 된다. 또한 기대 (2) 와 광원 (10) 사이에는, 감광성 수지층 (14) 에 자외선을 조사하는 시간을 규정하기 위하여 기대 (2) 의 이면 (裏面) 을 따라 자유롭게 회전운동하는 셔터를 설치하여도 된다.

이어서 상기한 반사체 제조장치를 이용한 반사체의 제조방법의 일 실시형태를 도 3a 내지 3e 에 의거하여 기술한다.

먼저, 유리 등으로 이루어지는 투명기체 (13) 상에 스핀코트법 등을 이용하여 감광성 수지액을 소정 두께로 도포하고, 이어서 가열로 등의 가열장치를 사용하여 소정 온도범위에서 가열하여 연화상태의 감광성 수지층 (14) 을 막형성한다. 감광성 수지로서는 아크릴계 감광성 수지 외에, 예컨대 폴리스티렌계 감광성 수지, 아지드고무계 감광성 수지 및 이미드계 감광성 수지 등을 사용할 수 있다. 소정의 가열온도는 감광성 수지에 따라 다르지만 40 ℃ 내지 150 ℃ 가 바람직하다. 40 ℃ 미만인 경우, 감광성 수지 중에 용매가 잔류하기 때문에 후술할 공정에 있어서의 자외선의 조사시에 오목볼록 형면 (9a) 과 감광성 수지부분 (16) 의 계면에서 기포가 발생할 우려가 있고, 150 ℃ 를 넘을 경우, 수지의 유동성이 나빠져서 형으로 압착 시에 오목볼록형상을 감광성 수지부분의 표면에 충분히 전사할 수 없게 될 우려가 있다.

막형성한 투명기체 (13) 를 기체이송부재 (4) 상에 올려놓고, 고정부재 (8) 로 기체이송부재 (4) 상에 고정시켜 기체이송부재 (4) 를 가동형 (9) 에 대하여 도 1 에 나타내는 바와 같은 소정의 위치로 설정한다.

이 상태에서 도 3a 에 나타내는 바와 같이 투명기체 (13) 상의 감광성 수지층 (14) 에 가동형 (9) 의 오목볼록 형면 (9a) 을 소정의 압압력으로 눌러 붙이면서 투명기체 (13) 의 하방에 있는 광원 (10) 에서 오목볼록 형면 (9a) 을 향하여 자외선을 조사한다. 자외선은 광투과창 (3) 의 크기가 오목볼록 형면 (9a) 의 크기를 초과하지 않도록 설정하고 있으므로, 형으로 압착되어 오목볼록 형면 (9a) 의 주변부에 솟아오른 감광성 수지부분 (15) 에는 조사되지 않는다. 따라서 가공한 감광성 수지부분에만 자외선을 조사할 수 있어 이 감광성 수지부분만을 예비경화할 수 있다.

그리고 도 3b 에 나타내는 바와 같이 예비경화한 감광성 수지부분 (16) 으로부터 가동형 (9) 을 박리한다. 이와 같이 하여 예비경화 감광성 수지부분 (16) 의 표면에 오목볼록 형면 (9a) 의 표면상태를 반전시킨 형상의 오목볼록형상을 전사할 수 있다.

마찬가지로, 감광성 수지층 (14) 의 압착되지 않은 소망 영역 상에 가동형 (9) 이 위치하도록 기체이송부재 (4) 를 이동시켜 감광성 수지층 (14) 에 오목볼록 형면 (9a) 을 눌러 붙이면서 투명기체 (13) 의 하방측에서 자외선을 조사하여 가공한 감광성 수지부분 (17) 을 예비경화시킨 후, 도 3c 에 나타내는 바와 같이 이 예비경화 감광성 수지부분 (17) 으로부터 가동형 (9) 을 박리한다. 그리고, 동일한 공정을 반복함으로써 도 3d 에 나타내는 바와 같이 예비경화한 감광성 수지부분 (18) 을 형성한다.

이어서 예비경화한 감광성 수지부분 (16,17,18) 을 형성한 투명기체 (13) 를 에칭액 중에 침지시키고, 각각 형으로 압착된 감광성 수지부분 (16,17,18) 을 제외한 감광성 수지층을 에칭제거하고, 가열장치를 사용하여 감광성 수지부분 (16,17,18) 을 240 ℃ 이상으로 가열하고 본경화를 실시하여 도 3e 에 나타내는 경화수지부분 (16,17,18) 을 형성한다.

경화수지부분 (16,17,18) 의 각각의 표면에 스퍼터법 등을 이용하여 금속성 반사막을 막형성하여 반사체를 제조하고, 이어서 투명기체 (22) 를 분할함으로써, 다수개의 반사체를 동시에 제조한다. 또한, 반사체 제조 후, 상기한 바와 같이 투명기체 (13) 를 분할하지 않고 그대로 이용하고, 각 반사체의 위에 후술할 액정표시장치의 각 층을 적층하고, 그 후 투명기체를 분할하여 도 4 에 나타내는 바와 같은 액정표시장치를 제조하여도 된다.

그리고, 금속성 반사막의 막형성법으로서는 스퍼터법 외에 증착, CVD (화학기상증착), 이온 플레이팅, 무전계 도금 등을 적용할 수 있다. 또한 반사성 금속으로서 Al, Al 합금, Ag 또는 Ag 합금 등을 사용할 수 있다.

이어서, 본 발명에 관한 반사체의 제조장치의 다른 실시형태를 도 2 에 의거하여 설명한다.

이 제조장치는 평판형상의 기대 (22) 와, 이 기대 (22) 의 상방에 있어서 상하방향으로 움직일 수 있는 도 1 에 나타낸 것과 동일한 형 (9) 을, 수평방향으로 상대적으로 이동할 수 있도록 구비하고 있다. 또한 도시예는 기대 (22) 를, 도시를 생략한 실린더 등에 의해 수평방향으로 자유롭게 이동하게 하고 가동형 (9) 을 수평방향으로는 움직일 수 없도록 한 구조를 나타내고 있지만, 역배치가 되도록, 즉 가동형 (9) 을 수평방향으로도 자유롭게 이동할 수 있도록 하고 기대 (22) 를 수평방향으로 움직일 수 없도록 한 구조로 하여도 된다.

기대 (22) 는 그 두께방향으로 관통한 사각형상의 광투과창 (24a,24b,24c) 을 가지고 있고, 이들 광투과창 (24a,24b,24c) 의 각각에 투명부재 (25a,25b,25c) 를 끼움과 동시에 기대 (22) 의 표면상에 투명기체 (13) 를 고정시키기 위한 고정부재 (26) 를 나사 등을 사용하여 자유롭게 착탈할 수 있도록 장착하고 있다. 이들 광투과창은 오목볼록 형면 (9a) 의 크기를 초과하지 않도록 오목볼록 형면 (9a) 의 외주형상에 맞춘 외주형상을 지니는 크기로 설정하고 있다.

가동형 (9) 은 기대 (22) 와 대향하는 오목볼록 형면 (9a) 을 구비하고 있다. 기대 (22) 의 하방에는 기대 (22) 를 향하여 자외선 등을 발하기 위한 광원 (27) 을 설치하고 있다. 광원 (27) 도 도 1 에서 나타낸 광원 (10) 과 동일한 구조, 즉 자외선 램프 (28) 와 미러 (29) 로 이루어진다.

투명부재 (25a,25b,25c) 로서는 투명기체 (13) 상의 감광성 수지층 (14) 에 오목볼록 형면 (9a) 을 형으로 압착하는 압압력에 견딜 수 있는 강도를 지닐 필요가 있기 때문에 충분히 두꺼운 유리판을 사용할 필요가 있지만, 유리는 판두께가 두꺼울수록 자외선을 많이 흡수하기 때문에 판재로서 자외선의 흡수율이 작은 투명재료인 석영을 사용하는 것이 바람직하다. 석영으로 이루어지는 두께 50 ㎜ 정도의 판을 사용하는 것이 바람직하며, 예컨대 50 ㎜ 의 석영으로 된 판이 바람직하다. 또한, 기대 (22) 의 투명부재 (25a,25b,25c) 를 제외한 부분은 강성이 높은 재료, 예컨대 철, 세라믹 등으로 구성한다.

이 제조장치는 기대 (22) 가 도 1 에 나타낸 기대 (2) 의 기능과 기체이송부재 (3) 의 기능을 일체화시킨 구성으로 되어 있으므로, 도 1 의 장치와 비교하여 보다 간단한 장치구성으로 되어 있다.

이어서, 이 제조장치를 이용한 반사체의 제조방법의 다른 실시형태를 도 2 및 도 3a 내지 3e 에 의거하여 기술한다.

먼저, 연화상태의 감광성 수지층 (14) 을 막형성한 투명기체 (13) 를 기대 (22) 상에 올려놓고 고정부재 (26) 로 기대 (22) 상에 고정시키고, 기대 (22) 를 가동형 (9) 에 대하여 소정의 위치로 설정한다. 이 상태에서 도 3a 에 나타내는 바와 같이 투명기체 (13) 상의 감광성 수지층 (14) 에 가동형 (9) 의 오목볼록 형면 (9a) 을 소정의 압압력으로 눌러 붙이면서 투명기체 (13) 의 하방에 있는 광원 (27) 에서 오목볼록 형면 (9a) 을 향하여 자외선을 조사함으로써 형으로 압착된 감광성 수지부분만을 예비경화한다.

그리고, 도 3b 에 나타내는 바와 같이 예비경화한 감광성 수지부분 (16) 으로부터 가동형 (9) 을 박리한다.

그리고, 감광성 수지층 (14) 의 형으로 압착되지 않은 소정의 영역 상에 가동형 (9) 이 위치하도록 기대 (22) 를 이동하여, 감광성 수지층 (14) 에 오목볼록 형면 (9a) 을 눌러 붙이면서 투명기체 (13) 의 하방측에서 광을 조사하여 감광성 수지부분 (17) 을 예비경화시킨 후, 도 3c 에 나타내는 바와 같이 이 예비경화 감광성 수지부분 (17) 에서 가동형 (9) 을 박리한다. 동일한 공정을 반복함으로써 도 3d 에 나타내는 예비경화한 감광성 수지부분 (18) 을 더 형성한다.

이후, 상술한 본 발명의 일 실시형태에 관한 제조방법과 동일한 방법으로, 감광성 수지부분 (16,17,18) 을 형성한 투명기체 (13) 를 에칭액 중에 침지시키고, 각각 형으로 압착된 감광성 수지부분 (16,17,18) 을 제외한 감광성 수지층을 에칭 제거한다. 이어서, 가열장치를 사용하여 감광성 수지부분 (16,17,18) 을 가열장치에 의해 240 ℃ 이상으로 가열하고 본경화를 실시하여 도 3e 에 나타내는 경화수지부분 (16,17,18) 을 형성한다.

마지막으로 스퍼터법 등을 이용하여 본경화시킨 감광성 수지부분 (16,17,18) 의 각각의 표면에 금속성 반사막을 막형성하여 반사체를 제조함으로써 다수개의 반사체를 동시에 제조할 수 있다.

이와 같은 반사체를 가지는 반사형 액정표시장치를 도 4 에 나타낸다.

이 반사형 액정표시장치는 상측유리기판 (31) 과 하측유리기판 (32) 사이에 액정층 (34) 을 형성하고, 상측유리기판 (31) 의 상면측에 2 개의 위상차판 (35,36) 및 1 개의 편광판 (37) 을 차례로 형성하고 있다. 액정층 (34) 중의 액정은 STN 형 액정으로 되어 있다. 그리고, 하면유리기판 (32) 의 대향면에는 도 2 에 나타낸 공정으로 제조한 반사체, 즉 오목볼록부 (38a) 를 표면에 가지는 감광성 수지층 (38) 상에 Al 등의 금속막을 형성하여 이루어지는 반사막 (39) 을 형성하고 있다.

또한, 반사막 (39) 표면에 오버 코트층 (40) 을 형성하고, 이 오버 코트층 (40) 의 상면측에는 컬러 필터층 (41), 평탄화층 (42) 및 ITO 로 이루어지는 투명전극층 (43) 과 배향막 (44) 을 차례로 적층하고 있다. 한편, 상측유리기판 (31) 의 대향면에는 ITO 로 이루어지는 투명전극층 (45) 과 보호층 (46) 과 배향막 (47) 을 차례로 적층하고 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 관한 반사체의 제조방법에 의하면 연화상태의 감광성 수지층에 오목볼록 형면을 눌러 붙이면서 광조사하여 예비경화하는 공정을 반복하고, 각각 가공을 실시한 감광성 수지부분을 제외한 감광성 수지층을 에칭제거하고 가열하여 본경화시키고, 이어서 각각의 본경화한 감광성 수지부분 상에 금속반사막을 형성함으로써, 대면적의 투명기체를 사용하여 동일형상의 오목볼록 표면을 지니는 반사체를 재현성 좋게 한번에 다수 개 제조할 수 있으며, 반사특성에 편차 없는 반사체를 용이하고 간결하게 양산할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 반사체의 제조방법은 오목볼록 형면을 가지는 가동형, 광투과창을 가지는 기대, 기대와 가동형 사이에서 이들 기대와 가동형에 대하여 수평방향으로 상대적으로 이동하는 기체이송부재 및 광투과창을 통하여 가동형을 향하여 광조사하는 광원으로 이루어지므로, 대면적의 투명기체를 사용하여 가동형과 기체이송부재를 수평방향으로 상대이동시켜 상술한 감광성 수지부분의 예비경화를 연속적으로 수행할 수 있으므로, 반사체 다수 개를 연속적으로 제조할 수 있으며, 반사체를 용이하고 간결하게 양산할 수 있다.

본 발명에 관한 다른 반사체 제조장치, 즉 오목볼록 형면을 가지는 가동형, 광투과창을 간격을 두고 복수개 가지며 가동형에 대하여 수평방향으로 상대적으로 이동할 수 있는 기체지지기대, 광투과창을 통하여 가동형을 향하여 광조사하는 광원으로 이루어지는 반사체 제조장치에 의해서도 상기 반사체 제조장치와 동일하게 반사체를 용이하고 간결하게 양산할 수 있다.

Claims

투명기체 상에 감광성 수지층을 도포하여 연화상태의 감광성 수지층에 오목볼록 형면을 가지는 형의 형면을 눌러 붙이면서 상기 투명기체의 하방측에서 광을 조사하여, 형으로 압착된 상기 감광성 수지층 부분을 예비경화시키고, 이어서 예비경화된 상기 감광성 수지층에서 상기 형을 박리하는 공정과, 이 공정을 반복하여 상기 감광성 수지층상에 원하는 가공을 실시하고, 각각 가공을 실시한 감광성 수지부분을 제외한 감광성 수지층을 에칭 제거하는 공정과, 상기 가공을 실시한 감광성 수지부분을 가열하여 본경화하는 공정과, 이어서 각각의 본경화한 감광성 수지부분 상에 금속반사막을 형성하는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사체의 제조방법.
오목볼록 형면을 가지고 상하방향으로 움직일 수 있는 형과, 상기 형면의 외주형상에 맞춘 외주형상을 지니며 또한 상기 형면에 대향배치된 광투과창을 가지는 기대와, 표면에 감광성 수지층을 도포한 투명기체를 지지하여 상기 기대와 상기 형 사이에서 수평방향으로 이동하는 기체이송부재와, 기대의 상기 광투과창을 통하여 상기 형을 향하여 광조사하는 광원으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사체의 제조장치.
오목볼록 형면을 가지고 상하방향으로 움직일 수 있는 형과, 상기 형면의 외주형상에 맞춘 외주형상을 지니는 광투과창을 간격을 두고 복수개 가지며, 상기 형에 대하여 수평방향으로 상대적으로 자유롭게 이동할 수 있는, 표면에 감광성 수지층을 도포한 투명기체를 지지하는 기대와, 이 기대의 상기 광투과창을 통하여 상기 형을 향하여 광조사하는 광원으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사체의 제조장치.