KR20050121674A - 밀봉재 경화 방법 및 밀봉재 경화 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판에 도포한 밀봉재가 기판으로의 열적 영향이 적고, 밀봉재가 양호한 경화 특성을 얻을 수 있으며, 또한 밀봉재를 통해서 2장의 기판을 적층시켰을 때에 우수한 적층 특성을 얻을 수 있는 밀봉재 경화 장치를 제공한다. 본 발명은 자외선 조사 장치와 표시 패널용 유리 기판을 적재하는 노광 스테이지를 갖는 경화 장치에 있어서, 상기 자외선 조사 장치로부터 상기 표시 패널용 유리 기판에 대하여 조사되는 자외선은 경사 방향으로부터 입사되는 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

밀봉재 경화 방법 및 밀봉재 경화 장치{SEALING MATERIAL CURING METHOD AND SEALING MATERIAL CURING DEVICE}

본 발명은 밀봉재를 통해 중합된 2장의 유리 기판에 자외선을 조사하여 상기 밀봉재를 경화시키는 밀봉재 경화 방법 및 밀봉재 경화 장치에 관한 것이다.

LCD등의 액정 표시 장치의 표시 패널은 컬러 필터, 투명전극, 배향 막 등으로 구성된 제 1 유리 기판과, 박막 트랜지스터, 투명 전극, 배향 막 등으로 구성된 제 2 유리 기판의 사이에 스페이서(spacer)를 산포해서 적층시키고 액정을 봉입하여 구성되어 있다.

종래로부터 2장의 유리 기판을 적층시키기 위한 밀봉재로서 열경화형 수지가 사용되고 있었다. 그러나, 최근에는 적층시키는 데 요하는 시간을 단축하기 위해 적어도 자외선 반응성을 갖는 (자외선+열 등) 밀봉재가 사용되게 되어 있다.

자외선 반응성을 갖는 밀봉재를 사용할 경우 유리 기판의 주변부의 자외선이 차광되지 않는 위치에 밀봉재를 도포하고, 컬러 필터 등으로 구성된 유리 기판의 상방으로부터 피조사면이 균일한 조도 분포가 되도록 자외선 조사 장치를 배치하고, 메탈 헬라이드 램프, 고압 수은 램프 등의 연속 발광의 광원으로부터 자외선을 조사하여 밀봉재를 경화시키고 있었다.

최근, LCD 등의 액정 표시 장치의 대형화에 따라 유리 기판에 있어서의 표시부의 유효 면적이 증가하고, 유리 기판 상에 패턴화해서 배치되는 표시 패널의 주위까지 각종 막이나 배선이 배치되어 있다.

또한, 자외선 조사 측 상면의 유리 기판에는 컬러 필터, 투명 전극, 배향 막등 이외에 자외선을 차단하는 크롬 등으로 구성되는 프레임 상의 블랙 매트릭스(black matrix)가 표시 패널의 단부까지 배치되어 있다.

이 때문에, 종래의 조사 방법에서는 유리 기판의 상방으로부터 균일하게 자외선을 조사해도 블랙 매트릭스에 의해 차광된 밀봉재에는 자외선이 거의 조사되지 않고, 블랙 매트릭스로부터 인출된 약간의 밀봉재에만 조사됨으로써 양호한 경화 특성을 얻을 수 없다고 하는 결점이 있었다. 따라서, 2장의 유리 기판의 적층에 대한 신뢰성이 저하된다고 하는 문제가 있었다.

또한, 자외선 조사시에 발생하는 열에 의해 표시 패널의 표시부를 보호하기 위해서 조사 장치와 유리 기판의 사이(유리 기판의 수 밀리미터 상)에 크롬 등의 흑색 금속을 피착한 유리 마스크 등이 사용되어 있다. 그러나, 유리 마스크가 흑색이기 때문에 축열해 버리고, 마스크 자신의 온도가 상승됨과 아울러 마스크의 약간 하방에 위치하는 표시 패널의 온도가 상승해버린다고 하는 문제가 있다. 또한, 2장의 유리 기판에 온도차이가 생겨 변형에 의해 갭 차이가 생겨서 표시 얼룩이 발생해버린다고 하는 문제도 있다.

도 1은 본 실시 형태의 방법에 의해 형성되는 액정 표시 장치의 표시 패널의 구성을 모식적으로 나타낸 도면이다.

도 2는 액정 표시 장치의 표시 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.

도 3은 제 1 실시형태인 밀봉재 경화 장치의 구성을 나타내는 개략적인 측면도이다.

도 4는 제 1 실시형태인 밀봉재 경화 장치의 구성을 나타내는 개략적인 평면도이다.

도 5는 자외선 조사 장치의 가동 수단에 의해 조사 장치 본체(20)가 경사져 있는 상태를 도시한 도면이다.

도 6은 노광 스테이지에 적재한 표시 패널용 유리 기판과 유리 마스크의 관계를 설명하기 위한 도면이다.

도 7은 제 1 실시형태인 밀봉재 경화 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.

도 8은 제 1 실시형태의 장치와 종래 예의 장치의 실험 결과를 도시한 도면으로서, (a)는 종래 예의 특성도, (b)는 본 실시 형태의 특성도, (c)는 실험장치의 모식도이다.

도 9는 제 1 실시형태의 변형 예를 도시하는 설명도이다.

도 10은 제 1 실시형태의 다른 변형 예를 도시하는 설명도이다.

도 11은 제 2 실시형태인 밀봉재 경화 장치의 구성을 도시하는 개략적인 측면도이다.

도 12는 제 2 실시형태인 밀봉재 경화 장치의 개략적인 평면도이다.

도 13은 제 2 실시형태의 밀봉재 경화 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.

도 14는 본 발명의 다른 실시 형태를 설명하기 위한 도면이다.

본 발명은 상기 사항을 감안하여 이루어진 것으로서 기판에 도포한 밀봉재가 기판으로의 열적 영향이 적고, 밀봉재의 양호한 경화 특성을 얻을 수 있으며, 또한 밀봉재를 통해 2장의 기판을 적층시킨 경우 우수한 적층 특성을 얻을 수 있는 밀봉재 경화 방법 및 밀봉재 경화 장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 의한 밀봉재 경화 방법은 2장의 유리 기판이 자외선 반응성의 밀봉재를 통해서 중합된 표시 패널을 형성하기 위한 기판인 표시 패널용 유리 기판에 자외선을 조사하여 상기 밀봉재를 경화시키는 방법에 있어서, 상기 표시 패널용 유리 기판의 상기 밀봉재에 대하여 경사 방향으로부터 자외선을 조사하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 의한 밀봉재 경화 장치는 자외선 조사 장치와 표시 패널용 유리 기판을 적재하는 노광 스테이지를 갖는 경화 장치에 있어서, 상기 자외선 조사 장치로부터 상기 표시 패널용 유리 기판에 대하여 조사되는 자외선은 경사 방향으로부터 입사되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 의한 밀봉재 경화 방법은 기판에 자외선 반응성의 밀봉재를 도포하고, 상기 밀봉재에 자외선을 조사하여 상기 밀봉재를 경화시키는 방법에 있어서, 상기 기판의 밀봉재에 대하여 자외선을 포함하는 광을 적어도 1회 이상 펄스상으로 조사해서 상기 밀봉재를 경화시키는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 의한 밀봉재 경화 장치는 기판에 자외선 반응성의 밀봉재를 도포하고, 상기 밀봉재에 자외선을 조사하여 상기 밀봉재를 경화시키는 장치에 있어서, 자외선을 포함하는 광을 펄스상으로 조사하는 조사 수단, 및 상기 조사 수단에 의해 상기 밀봉재에 대하여 적어도 1회 이상 상기 광을 펄스상으로 조사하도록 제어하는 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

[제 1 실시 형태]

이하, 본 발명의 제 1 실시 형태를 도면에 의거하여 설명한다. 도 1은 본 실시 형태의 방법에 의해 형성되는 액정 표시 장치의 표시 패널의 구성을 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 1에 도시하는 액정 표시 장치의 표시 패널(50)은 제 1 유리 기판(1)과, 제 2 유리 기판(6)과, 제 1 유리 기판(1)과 제 2 유리 기판(6) 사이에 배치된 스페이서(12), 액정(11) 및 밀봉재(13)를 구비하고 있다. 제 1 유리 기판(1)은 박막 트랜지스터(7)와 배향 막(8) 등을 구비하여 구성되어 있다. 또한, 제 2 유리판(6)은 컬러 필터(2)와, 투명전극(3)과, 배향 막(4)과, 블랙 매트릭스(5) 등을 구비하여 구성되어 있다. 밀봉재(13)는 외주 근방에 선폭 약 1mm로 거푸집 형상으로 형성되어 있다. 또한, 도 1의 화살표 A는 액정 표시 장치의 동작시에 있어서의 백라이트로부터의 광의 방향을 나타낸다.

도 2는 액정 표시 장치의 표시 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다. 최신 제조 방법으로는 한 장의 큰 머더 유리 기판을 이용하여 복수의 액정 표시 장치의 표시 패널을 제조하고 있다. 우선, 제 1 머더 유리 기판인 TFT 기판(10a) 상에 스페이서(12)를 산포하고, 복수의 표시 패널의 외주 근방의 대응하는 위치에 밀봉재(13)를 거푸집 형상으로 도포한다. 또한, 밀봉재(13)에도 스페이서를 함유시키고 있는 경우가 있다. 이어서, 거푸집 형상으로 도포된 밀봉재(13)의 내측에 액정을 적하하고, 제 2 머더 유리 기판인 컬러 필터 기판(10b)을 중합시킨다. 이와같이하여 TFT 기판(10a)과 컬러 필터 기판(10b)이 밀봉재(13)를 통해 적층되고, 밀봉재(13)의 내측에 액정(11)을 내장한 상태에서 밀봉재 경화 공정의 표시 패널용 유리 기판(10)이 구성된다.

이어서, 밀봉재를 경화하기 위해 자외선을 조사한다. 여기에서, 자외선을 백라이트측(제 1 유리 기판측)으로부터 조사하면 액정 구동 소자 등에 자외선이 조사되어서 액정구동 소자 등의 전기적특성이 열화된다. 이 때문에, 통상, 자외선을 조사할 때에는 차광 효과를 갖는 블랙 매트릭스가 형성된 제 2 유리 기판의 측으로부터 조사한다.

그런데, 밀봉재는 블랙 매트릭스(5)의 바로 아래에 도포되지만 위치적으로는 벗어나고 있고, 거의 반이 블랙 매트릭스(5)로부터 인출되고 있지만, 반은 블랙 매트릭스에 의해 덮어져 있다. 이 때문에, 조사 장치 본체를 표시 패널용 유리 기판(10)상방에 광축이 수직이 되도록(수선으로부터의 경사각 0도) 배치해서 자외선을 조사하는 종래의 자외선 조사 방법에서는 블랙 매트릭스에 차광되어 밀봉재의 약 반에는 자외선이 도달하지 않고, 양호한 경화성을 얻을 수는 없다.

도 3은 본 실시 형태인 밀봉재 경화 장치의 구성을 나타내는 개략적인 측면도이다. 도 4는 본 실시 형태인 밀봉재 경화 장치의 구성을 나타내는 개략적인 평면도이다. 또한, 도 4의 X축은 밀봉재 경화 공정에 있는 표시 패널용 유리 기판(1O)의 길이 방향(거푸집 형상으로 도포된 밀봉재의 1변에 평행한 방향)으로 하고, Y축은 지면과 평행하고 X축과 직교하는 방향(거푸집 형상으로 도포된 밀봉재의 타변에 평행한 방향)으로 하고 있다. 50a는 거푸집 형상의 밀봉재로 둘러싸여진 부분을 나타내고, 최종적으로 표시 패널(50)의 모체가 되는 영역이다. 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시 형태의 밀봉재 경화 장치는 자외선 조사 장치 본체(이하, 단지 조사 장치 본체라고도 한다)(20)와, 조사 장치 본체(20)의 하방에 배치된 유리 마스크(27)와, 표시 패널용 유리 기판(10)의 양측부에 배치된 한 쌍의 보조 반사경(28)과, 조사 장치 본체(20)의 이동이나 점등 등을 제어하는 제어부(30)와, 표시 패널용 유리 기판(10)을 적재하는 노광 스테이지(40)를 구비하고 있다. 조사 장치 본체(20)는 섀시(21)와, 섀시(21)내에 배치된 단면 형상이 포물선상 또는 타원상 등으로 형성된 오목 기둥면 형상의 반사경(22)과, 반사경(22)의 내측에 배치 된 자외선을 조사하는 자외선 램프(23)와, 저면 개구부에 형성된 석영 유리 판(24)과, 열선 컷 필터(cut filter)(25)를 갖는다. 반사경(22)으로서는 알루미늄제의 것 또는 자외선을 선택적으로 반사하는 특성을 갖는 막을 형성한 것을 사용할 수 있다. 자외선 램프(23)로부터의 방사 광은 직접 또는 반사경(22)에 의해 반사되어서 대부분의 자외선이 하방으로 방사된다. 또한, 일부의 자외선은 램프 길이 방향의 경사 하방으로 방사되도록 되어 있다. 또한 석영 유리(24)의 하방에 설치된 열선 컷 필터(25)에 의해 열선으로서의 적외선이 흡수된다.

밀봉재 경화 장치의 조사 장치 본체(20)의 하방에는 표시 패널용 유리 기판(10)이 반송장치 등을 통해서 전공정으로부터 반입되어 일련의 경화 처리를 행한 후에 후공정에 반출되도록 되어 있다. 또한, 표시 패널용 유리 기판(10)의 상방에는 약간의 공간을 통해서 유리 마스크(27)가 배치되어 있다.

도 5는 자외선 조사 장치의 가동 수단에 의해 조사 장치 본체(20)가 경사져 있는 상태를 도시한 도면이다. 본 실시 형태의 밀봉재 경화 장치(밀봉재 경화 방법)는, 도 5에 도시한 바와 같이, 조사 장치 본체(20)의 중심축과 평판상의 표시 패널용 유리 기판(10)에 수직인 직선이 이루는 각도 θ를 소정의 범위, 예를 들면 0°<θ≤45°의 범위로 선정해서 경사지도록 구성하고, 경사 방향에서 표시 패널용 유리 기판(10)에 자외선을 조사한다. 도 5에서는 조사 장치 본체(20)의 중심축은 표시 패널용 유리 기판(10)에 수직의 직선에 대하여 약 30도 경사져 있다. 또한, 도 5중 28은 표시 패널용 유리 기판(10)에 걸쳐 평행하게 배치된 한 쌍의 보조 반사경이며, 고순도 알루미늄 등의 자외선 반사재로 형성되어 있다. 이 보조 반사경(28)은 조사 장치 본체의 길이 방향의 경사 하방에 발생되는 불필요한 광을 반사하여 밀봉재에 조사하기 위한 것이다. 이 보조 반사경(28)은 소정의 각도로 배치함으로써 반사 특성을 보다 높여서 밀봉재를 효율적으로 경화시킬 수 있다. 예를 들면, 보조 반사경(28)에 의해 도 5의 지면에 수직의 방향으로 광을 반사함으로써 밀봉재를 효율적으로 경화시킬 수 있다.

도 6은 노광 스테이지에 적재한 표시 패널용 유리 기판과 유리 마스크의 관계를 설명하기 위한 도면이다. 조사 장치 본체(20)의 하방에는 유리 마스크(27)가 표시 패널용 기판(10)의 상방에 수 밀리미터의 간격을 두고 배치되어 있다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 유리 마스크(27)의 일부(영역 50a의 액정이 봉입되어 있는 표시 부분)에 알루미늄 증착막 등의 광반사특성을 갖는 막(27a)을 형성함으로써 방사 광에 의한 마스크의 과도한 온도상승을 방지하고, 표시 패널용 유리 기판의 온도상승이나 열에 의한 변형의 발생을 방지할 수 있다.

이어서, 제 1 실시형태의 동작에 대해서 도 7에 의거하여 설명한다. 도 7은 표시 패널용 유리 기판의 밀봉재 경화 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 도7(a)은 조사 장치 본체의 가동전의 정지 상태를 나타내는 도면이고, 조사 장치 본체의 중심축과 표시 패널용 유리 기판은 거의 수직으로 유지되어 있다. 이 상태에서, 우선, 조사 장치 본체(20)로부터 자외선을 표시 패널용 유리 기판에 조사해서 주변부의 블랙 매트릭스로부터 인출된 밀봉재를 경화하여 임시 택킹(tacking)한다.

이어서, 도 7(b),도 7(c)에 도시한 바와 같이 조사 장치 본체가 가동 수단에 의해 회동해서 조사 장치 본체의 중심축과 표시 패널용 유리 기판에 수직의 직선이 이루는 각도θ가, 예를 들면 30°이 되는 위치에 정지한다. 이와 같이, 조사 장치 본체를 경사지게 한 상태에서 표시 패널용 유리 기판에 자외선을 조사한다. 또한, 도 7(d)에 도시한 바와 같이, 조사 장치 본체를 경사지게 한 상태에서 표시 패널용 유리 기판에 걸쳐 횡 방향(X축 방향)으로 이동시키면서 자외선을 조사하고, 도 7(e)까지 이동해서 정지한다. 이에 따라, 표시 패널용 유리 기판에 패턴화되어서 배치된 복수의 표시 패널로 되는 부분의 각 거푸집 형상의 밀봉재에 대하여 자외선이 조사된다. 도 7(a)∼(e)에 나타내는 왕로(往路)의 자외선 조사에 의해, 주로, 각 거푸집 형상의 밀봉재 중 X축에 평행한 변의 밀봉재와, 각 거푸집 형상의 밀봉재의 Y축에 평행한 2변 중 조사 장치 본체의 이동방향에 있어서 앞쪽에 위치하는 밀봉재에 대해서는 충분한 자외선이 조사된다. 그러나, 왕로의 자외선 조사만으로는 각 거푸집 형상의 밀봉재의 Y축에 평행한 2변 중 조사 장치 본체의 이동방향에 있어서 전방 측에 위치하는 밀봉재에 대해서는 블랙 매트릭스가 존재하므로 충분한 자외선을 조사할 수 없다.

조사 장치 본체가 도 7(e)에 도시하는 위치까지 이동해서 왕로의 자외선의 조사를 종료하면 거기에서 일시정지하고, 조사 장치 본체의 조사 각도를 도 7(f),도 7(g)에 나타낸 바와 같이 왕로시와는 반전시켜, 즉 대칭이 되도록 회동시켜서(30°×2), 조사 장치 본체를 왕로의 경우와는 역방향으로 경사지게 한다. 이 상태에서 표시 패널용 유리 기판에 대하여 복귀로의 자외선조사를 한다. 도 7(h)에 나타낸 바와 같이, 조사 장치 본체를 경사지게 한 상태에서 표시 패널용 유리 기판에 걸쳐 횡방향(X축 방향)으로 이동시키면서 표시 패널용 유리 기판의 거푸집 형상의 밀봉재에 자외선을 조사한다. 조사 장치 본체가 도 7(i)에 나타내는 위치까지 이동하여 복귀로의 자외선의 조사를 종료하면, 조사 장치 본체는 회동하여 경사 상태로부터 도 7(j)에 나타낸 바와 같이 조사 장치 본체의 중심축이 표시 패널용 유리 기판에 거의 수직이 되는 위치로 복귀하고, 당초의 위치로 되돌아온다. 이에 따라, 1회의 왕복 조사가 종료된다. 복귀로의 자외선 조사에 의해 왕로에서 충분한 자외선을 조사할 수 없었던 상기 밀봉재에 대하여도 충분한 자외선을 조사할 수 있다.

이러한 반복 동작을 밀봉재가 경화할 때까지 되풀이하게 된다. 또한, 반복 횟수는 사용하는 램프나 밀봉재에 따라 미리 설정해 두도록 해도 좋다. 또한, 2회째 이후의 반복 동작을 할 때에는 임시 택킹 동작은 생략한다.

또한, 조사 장치 본체와 표시 패널용 유리 기판의 경사각도를 설정하기 위한 회동 및 조사 장치 본체의 이동은 조사 장치 본체를 경사, 이동하는 일 없이 반송장치 등에 있어서 표시 패널용 유리 기판을 경사지게 하거나, 이동하거나 하면서 조사 장치 본체로부터 자외선을 조사하도록 구성해도 좋다.

또한, 조사 장치 본체를 이동해서 자외선을 조사할 때에 표시 패널용 유리 기판의 주변부 중 조사량이 적은, 이동방향에 평행한 주변부로의 자외선조사를 충분히 행하기 위해서 조사 장치 본체의 이동방향과 평행하게 고순도 알루미늄 판을 이용하여 측면측의 보조 반사경을 설치하고 있다. 이 한 쌍의 보조 반사경에 의해 조사 장치 본체로부터의 직접 광이 도달하지 않는 기판의 양단면(도 7의 앞쪽의 단부면과 뒤쪽의 단부면)에 대하여 자외선을 반사시켜 경사 방향으로부터 조사할 수 있다.

상기한 바와 같이 해서, 표시 패널용 유리 기판 상에 패턴화된 복수의 표시 패널로 되는 부분의 주변부의 단부면의 내부에 경사 방향으로부터 자외선을 조사하여 블랙 매트릭스의 바로 아래의 밀봉재를 효율적으로 경화시킬 수 있다.

또한, 노광 스테이지 등의 표시 패널용 유리 기판을 적재하는 장소에 자외선반사재를 형성함으로써 표시 패널용 유리 기판을 투과한 자외선이 반사되어, 이 반사광에 의해 밀봉재는 하방으로부터도 조사되므로 기판상의 배선 등의 파인 패턴(fine pattern)으로 차광되는 부분도 효율적으로 조사 가능해진다. 이 반사재에는 고순도 알루미늄 등이 사용된다.

또한, 유리 마스크에 광 반사 특성을 갖는 처리를 행함으로써 방사광에 의한 유리 마스크의 축열을 막고, 유리 마스크 하방의 표시 패널용 유리 기판의 온도상승이나 변형을 억제할 수 있다. 이 광 반사 특성을 갖는 처리는 고순도 알루미늄 증착등으로 실시할 수 있다.

이어서, 본 실시형태에 의한 표시 패널용 유리 기판의 밀봉재 경화 시험 결과에 대해서 설명한다. 시험 조건은 아래와 같다.

·자외선램프: 메탈 헬라이드 램프[이와사키 전기(주)에서 제작한 M08-L41]

·자외선 조사 장치: 콜드 미러(cold mirror) 집광 조사기[이와사키 전기(주)에서 제작한 UE081-401-01C]

·기판에 대한 조사 각도: 0° 및 30°

·보조 반사경: 고순도 알루미늄 판

·조도계: 이와사키 전기(주)에서 제작한 UVPF-A1/PD-365

·자외선 조도: 1OOmW/cm²

·조사 시간: 35초

·표시 패널용 유리 기판: LCD용 기판(50mm×50mm)

·밀봉재: 교리쯔 화학 산업(주)에서 제작한 월드 록 No.D70E3

·경화성 평가: 밀봉재의 경화 심도와 반응율

여기에서, 경화 심도라는 것은 블랙 매트릭스의 단부를 기준으로 했을 때의 기판 내부 방향의 거리를 말한다. 또한 반응율이라는 것은 밀봉재의 분자구조로 존재하는 이중결합의 량을 측정해서 백분률로 표시한 것이다. 반응율이 100%부근까지 도달해 있으면 경화했다고 판단할 수 있다.

상기 시험장치의 평면도를 도 8(c)에 모식적으로 나타낸다.

1000mm ×1000mm의 기판[도 8(c)의 점선으로 나타내는 부분)의 단부에 50mm×50mm의 LCD용 기판을 적재하여 상기 기판상에 메탈 헬라이드 램프를 내장한 자외선 조사 장치를 배치하고, 소정각도에서 조사했을 경우의 경화 심도에 대한 반응율을 측정했다. 또한, LCD용 기판은 반정도의 면에 블랙 매트릭스를 형성하고, 기판의 중앙부에 밀봉재를 도포했다. 또한, 도면 중 A, B, C, D는 자외선의 조사 방향(4방향)을 나타낸다.

도 8(a) 및 도 8(b)에 조사 각도(장치의 경사 각도)가 0도 및 30도인 경우의 측정 결과를 나타낸다.

조사 각도가 0, 즉 기판에 대하여 수직으로 자외선을 조사할 경우 각방향으로부터의 반응율은 경화 심도가 150∼400μm에서는 반응율이 40% 미만이다. 이에 대하여, 조사 각도가 30도, 즉 기판에 대하여 경사 방향으로부터 자외선을 조사할 경우 C방향으로부터는 경화 심도가 900μm에서도 반응율은 90% 이상이며, 기타 방향으로부터도 150∼400μm에서는 반응율은 90%이다. 즉, 900μm 이하의 영역에서는 어느 쪽의 방향으로부터의 방사로도 반응율60% 이상인 것을 확인할 수 있었다.

이에 따라, 유리 기판의 단부로부터 400μm 내부에서도 반응율은 약 90% 이상이라고 하는 양호한 경화 특성이 인정된다. 또한, 적층특성도 간단하게 박리됨이 없이 충분한 적층 강도를 갖는 것이 확인되었다.

이어서, 본 실시형태에서는 유리 마스크의 표면 일부에 광반사 특성을 갖는 처리를 실시하고 있지만 그 실험 결과에 대해서 종래 예와 대비해서 설명한다. 상기한 바와 같이, 이 종류의 경화 장치에서는 자외선 조사시에 자외선 및 열로부터 표시 패널부를 보호하기 위해서 조사 장치 본체와 유리 기판 사이에 유리 마스크가 배치된다.

시험장치는 상기 밀봉재 경화 시험장치를 이용하여 마스크 자체의 온도 및 그 하방에 배치하는 LCD기판의 온도를 측정했다. 측정 결과는 표 1과 같다.

본 실시 형태의 유리 마스크는 그 저면에 크롬 처리, 상면에 경면 알루미늄 처리를 실시하고 있다. 한편, 종래 제품은 그 표면에 크롬 처리 만을 실시하고 있다.

자외선 조사 장치의 바로 아래에 상기 유리 마스크를 설치하고, 마스크 하방으로 LCD기판을 배치하고, 자외선을 100, 150, 200mW/cm²의 조도에서 약 60초 조사했을 경우의 각각의 온도상승(deg)을 열전대에서 측정했다.

표 1에 도시한 바와 같이, 경면처리를 함으로써 유리 마스크 자체의 온도상승을 억제할 수 있다. 또한, LCD기판의 온도상승을 억제하고, 기판의 상면과 저면의 온도차이를 작게 할 수 있고, 변형 등의 발생을 방지할 수 있는 것을 확인했다.

표 1

(주) 단위: deg

이어서, 본 실시 형태의 변형 예에 대해서 설명한다. 본 실시 형태의 변형 예로서는, 도 9에 나타낸 바와 같이, 자외선 조사 장치의 조사 각도를 항상 변화시키면서 기판상을 이동해서 자외선을 조사하는 장치(방법)가 있다. 예를 들면, 유리 기판과 자외선 조사 장치가 이루는 각도 θ를 ―90°<θ<90°의 범위에서 항상 가변시키면서 자외선조사를 행하도록 한다.

또한, 도 10에 나타나 있는 바와 같이, 자외선 조사 장치를 소정 각도 경사지게 하여 고정하고, 자외선 조사 장치를 수평방향으로 회전시키면서 자외선조사 한다. 또한, 유리 기판을 수평 방향으로 회전시키고, 자외선 조사하는 장치 및 방법이 고려된다.

상기 제 1 실시 형태에 의하면 표시 패널용 유리 기판의 밀봉재에 대하여 블랙 매트릭스 등을 피해서 경사지면서부터 자외선을 조사하므로 효율적으로 확실하게 밀봉재를 경화시킬 수 있다.

또한, 조사 장치 본체를 왕복 이동할 때에 왕로와 복귀로에서 경사각도를 반전시켜 자외선을 조사함으로써 왕로의 조사로 블랙 매트릭스의 음으로 들어가서 자외선을 조사할 수 없었던 밀봉재에 대하여는 복귀로에서 자외선을 조사해서 경화시킬 수 있다.

또한, 밀봉재 경화 장치내에 보조 반사경을 배치함으로써 조사 장치 본체로부터 직접 조사되는 자외선이 적고, 거푸집 형상의 밀봉재중 X축으로 평행하게 도포된 밀봉재에 대하여도 충분하게 자외선을 조사해서 경화시킬 수 있다.

또한, 노광 스테이지에 형성한 자외선 반사재에 의해 유리 기판을 투과한 자외선을 반사시켜서 밀봉재의 하방으로부터 조사시키므로 배선 등의 파인 패턴으로 차광되는 부분의 밀봉재도 경화시킬 수 있다.

또한, 유리 마스크의 일부에 광 반사 처리를 행하고, 방사광에 의한 마스크의 온도상승을 억제하고, 마스크 하방의 유리 기판의 온도상승을 억제하고, 변형 등의 발생을 방지할 수 있는 등의 이점이 있다.

[제2실시형태]

이어서, 본 발명의 제 2 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 11은 본 실시 형태인 밀봉재 경화 장치의 구성을 나타내는 개략적인 측면도, 도 12는 본 실시 형태인 밀봉재 경화 장치의 개략적인 평면도이다. 또한, 도 12의 X축은 밀봉재 경화 공정에 있는 표시 패널용 유리 기판(10)의 길이 방향(거푸집 형상의 밀봉재의 1변에 평행한 방향)으로 하고, Y축은 지면과 평행으로 또한 X축과 직교하는 방향(거푸집형상의 밀봉재의 타변에 평행한 방향)으로 하고 있다. 50a은 거푸집 형상의 밀봉재로 둘러싸여진 부분을 나타내고, 최종적으로 표시 패널(50)의 모체가 되는 영역이다. 또한, 제 2 실시형태에 있어서, 제 1 실시형태와 마찬가지의 기능을 갖는 것에는 동일 부호 또는 대응하는 부호를 붙임으로써 그 상세한 설명을 생략한다. 도 11 및 도 12에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 밀봉재 경화 장치는 조사 장치 본체(200), 노광 스테이지(40)(도시되지 않음), 및 제어부(300)를 구비하고 있다. 조사 장치 본체(200)는 섀시(21)와, 섀시(21)내에 배치된, 단면형상이 포물선 형상 또는 타원 형상 등으로 형성된 오목 기둥면 형상의 반사경(22)과, 반사경(22)의 내측에 배치된 자외선을 포함하는 광을 펄스상으로 조사하는 램프(230)와, 석영유리판(24)을 갖는다.

제어부(300)는 조사 장치 본체(200)의 이동이나 램프(23)에 공급하는 펄스상의 전압을 제어한다. 램프(230)에는, 예를 들면 크세논 가스를 봉입한 직관 형상의 램프를 사용할 수 있다. 이 램프(230)는 1초간에 수 회∼수십 회의 간격으로 발광시킬 수 있고, 1 회당 발광 시간은 수십 μsec∼수 msec이다. 램프(230)로부터 방사되는 광은 유리의 투과율과 밀봉재의 감도에 따른, 적어도 300nm이상의 자외선을 포함하는 광이다. 조사 장치 본체(200)의 저면 개구부에 형성된 석영유리판(24)은 조사 장치 본체(200)의 내부로부터 먼지가 표시 패널용 유리 기판(10)상에 낙하하는 것을 방지하기 위한 것이다. 또한, 이 석영유리판(24) 대신에 적외선을 흡수하는 열선 컷 필터를 배치해도 좋고, 석영유리판과 열선 컷 필터의 양쪽을 설치하더라도 좋다.

본 실시 형태의 밀봉재 경화 장치의 조사 장치 본체(200)는 밀봉재 경화 공정에 있는 표시 패널용 유리 기판(10)의 상방 또는 하방, 바람직하게는 경사 상방 또는 경사 하방으로부터 자외선을 포함하는 광을 펄스상으로 조사하도록 구성하는 것이 바람직하다. 또한, 본 실시 형태의 조사 장치 본체(200)의 경사각은 시험의 결과 약 15도 정도가 최적인 것을 알았다.

이어서, 본 실시 형태의 밀봉재 경화 장치의 동작을 설명한다. 본 실시 형태의 밀봉재 경화 장치의 하방으로 표시 패널용 유리 기판(10)이 반송장치(도시되지 않음) 등을 통해서 전공정으로부터 반입되어, 본 장치에 의해 일련의 밀봉재 경화 처리를 한 후에 후공정으로 반출된다.

도 13은 본 실시 형태의 밀봉재 경화 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 본 실시 형태에서는 우선, 거푸집 형상으로 형성된 4변의 밀봉재 중 X축에 직교하는 밀봉재를 경화시킨다. 도 13(a)에 도시한 바와 같이, 조사 장치 본체(200)를 X축에 직교하는 밀봉재 중 가장 좌측에 위치하는 밀봉재의 경사 상방으로 이동해서 정지한다. 이어서, 제어부(300)로부터 펄스상의 전압을 공급해서 램프(230)를 발광시켜 이 밀봉재에 자외선을 포함하는 광을 펄스상으로 조사한다. 이어서, 램프(230)를 소등하고, 도 13(b)에 도시한 바와 같이, 조사 장치 본체(200)를 X축에 걸쳐 도의 우측으로 이동하고, 조사 장치 본체(200)를 X축에 직교하는 밀봉재 중 좌측으로부터 두번째에 위치하는 밀봉재의 경사 상방으로 이동해서 정지한다. 그리고, 상기한 바와 같이, 제어부(300)로부터 펄스상의 전압을 공급하여 램프로부터 1초간에 수 회∼수십 회의 펄스 상의 광을 조사한다. 이렇게 하여, 조사 장치 본체(200)를 순차적으로, X축 방향으로 이동하고, 각 거푸집 형상의 4변의 밀봉재 중 X축에 직교하는 밀봉재에 펄스상의 자외선을 조사하여 밀봉재를 경화시킨다.

이어서, 거푸집 형상으로 형성된 4변의 밀봉재 중 X축에 평행한 밀봉재를 경화시키기 위해서 X축에 직교하는 모든 밀봉재에 자외선을 조사해서 경화시킨 후, 조사 장치 본체(200) 또는 표시 패널용 유리 기판(10)을 90도 회전한다. 조사 장치본체(200)를 90도 회전하였다고 하면, 우선, 도 12에 있어서 표시 패널용 유리 기판(10)의 우측에 위치하는 영역(50a)의 거푸집 형상의 밀봉재 중, X축에 평행하고 동 도면의 하측에 위치하는 변의 밀봉재에 펄스상의 자외선을 조사해서 경화시킨다. 이어서, 조사 장치 본체(200)를 Y축 방향으로 이동해서 정지하고, 동 영역(50a)의 거푸집 형상의 밀봉재 중 X축에 평행하고 동 도면의 상측에 위치하는 변의 밀봉재에 펄스상의 자외선을 조사해서 경화시킨다. 마찬가지로 해서, 도 12에 있어서, 표시 패널용 유리 기판(10)의 좌측에 위치하는 영역(50a)의 거푸집 형상의 밀봉재에 펄스 상의 자외선을 조사해서 경화시킨다. 이에 따라, 도 12에 있어서의 좌우 거푸집 형상의 밀봉재를 모두 경화시킬 수 있다. 또한, 조사 장치 본체(200)의 이동중에는 램프(230)를 점등하지 않는다.

이어서, 본 실시 형태의 밀봉재 경화 장치를 이용하여 밀봉재의 경화 시험을 했을 때의 시험 결과의 일례에 대해 설명한다. 본 실시 형태의 시험 조건은 이하 와 같다.

·램프: 펄스드 크세논 램프(pulsed xenon lamp) X 1등[이와사키 전기(주)제작의 PXL80-L22]

5샷(shot)/sec, 80J

·조사기(반사경): 알루미늄 집광

·조사 거리: 1OOmm(램프 표면∼표시 패널용 유리 기판의 표면까지)

·표시용 유리 기판에 대한 조사 각도:15도

·조도계: UVPX-Gl [이와사키 전기(주)제작]

·표시 패널용 유리 기판: LCD용 무 알칼리 유리(50mm×50mm×1 mm)

·밀봉재: 유리 기판 적층용 밀봉재

·평가 방법: 밀봉재 반응율

또한, 비교 대조를 위해 행한 종래 방법의 시험 조건은 이하와 같다.

·램프: 메탈 헬라이드 램프×1등[이와사키 전기(주)제작의 M08-L41]

·조사기(반사경): 콜드 미러 집광

·조사 거리: 4OOmm(램프 표면∼표시 패널용 유리 기판의 표면까지)

·기판에 대한 조사 각도: 15도

·조도계: UVPF-A1/PD-365[이와사키 전기(주) 제작]

·표시 패널용 유리 기판: LCD용 무 알칼리 유리(50mm×50mm×1 mm)

·밀봉재: 유리 기판 적층용 밀봉재

·평가 방법: 밀봉재 반응율

또한, 제 1 실시 형태에서는 광원에 메탈 헬라이드 램프를 이용하여 연속 방전시키고 있었지만, 본 실시 형태에서는 펄스 조사 전용으로 개발되어 있는 펄스 발광용 펄스드 크세논 램프를 사용하고 있다. 원리적으로 크세논 램프가 아니면 펄스상으로 발광시킬 수는 없기 때문이다. 또한, 통상의 램프의 경우, 전력을 와트(W)로 표시하지만, 펄스 조사의 경우는 간헐적인 방전이 되기 때문에 와트로 표시하지 않으므로 램프에 투입하는 전기적 에너지(주울 J)로 표시하고 있다.

상기의 본시험에서는 무알칼리 유리에 밀봉재를 도포해서 중합시켜고, 밀봉재의 일부가 차광되도록 차광 테이프를 붙이고, 조사 시간을 변경하면서 밀봉재의 깊이 방향의 반응율을 관찰했다. 측정 결과는 하기의 표 2에 나타내는 바와 같이다.

표 2

여기에서, 밀봉재의 깊이라고 하는 것은 밀봉재의 외측을 기준으로 해서 유리 수평면에 걸쳐 밀봉재의 내측 방향으로 들어간 거리를 말한다. 표 2중의 800μm는 밀봉재의 가장 깊은 곳(내측의 단부 가장자리)까지의 거리이다. 반응율은 제 1 실시형태와 마찬가지이다. 또한, 밀봉재의 내측으로 갈수록 광은 입사하기 어렵게 되므로 당연 굳어지기 어려워진다. 또한, 본 실시 형태는 상기의 시험에서 사용한 램프나 조건 등에 한정되나 것은 아니다.

표 2에서 알 수 있는 바와 같이, 상기의 본 시험에 의하면 종래 방법보다도 단시간에, 또한 깊게 경화시킬 수 있는 것을 확인할 수 있었다. 종래, 예를 들면 30초 조사에서 얻을 수 있었던 특성은 본 실시 형태에 의하면 5초에서 달성할 수 있다. 또한, 밀봉재 부분 이외의 온도는 종래 약 50℃(온도상승 25deg)이었지만, 본 실시 형태는 27℃(동 2deg)이었다. 밀봉재 도포부에서도 본 실시 형태는 약 45℃(동 20deg)이며, 종래 방법보다도 열적인 영향이 대단히 적은 것을 확인할 수 있었다.

상기의 본 실시 형태에 의하면, 경화시키는 밀봉재의 부분에만 펄스상으로 자외선을 조사하고, 다른 부분에는 광을 조사하지 않으므로 종래의 장치에서 자외선이 액정에 닫지 않도록 하기 위해서 설치되어 있었던 유리 마스크는 불필요해 지고, 또한 종래의 장치에 비해 전력 절약화를 도모할 수 있다. 또한, 조사하는 광을 펄스상으로 함으로써 연속 발광시키는 종래의 장치에 비해 고조도의 광을 조사할 수 있어 더욱 온도상승의 저감을 도모할 수 있다.

또한, 상기의 본 실시 형태에 의하면, 램프에 공급하는 전력, 예를 들면 펄스 전압의 최고 값 또는 1회의 조사시에 공급하는 펄스의 수나 펄스의 폭을 조정함으로써 밀봉재의 재질, 도포량, 경화 상황, 위치 등에 따라 적량의 자외선을 조사해서 밀봉재를 효율적으로 확실하게 경화시킬 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는 거푸집상의 밀봉재의 각 변에 대응하는 위치에서 일단 멈추어서 자외선을 조사하므로 머더 유리 기판상에 배치한 표시 패널의 수가 많아지면 종래의 연속 조사 방법에 비해 합계 처리 시간이 길어질 경우가 있지만, 이 경우에도 복수대의 조사 장치를 사용하면 일 개소 마다 정지해서 조사해도 합계 처리 시간을 종래 방법과 대략 같은 방법으로 할 수 있다. 또한, 조사 장치를 정지하지 않고, 이동하면서 소정의 타이밍에서 펄스상으로 조사하는 것도 가능하다. 이 방법에 의하면, 합계 처리 시간은 종래 방법과 같게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 제 2 실시 형태에 의하면, 필요한 장소에만 광을 조사하므로 에너지 손실이나 열적 영향이 대단히 적고, 또한 광을 펄스상으로 조사하므로 대단히 높은 조도가 얻어지고, 밀봉재의 경화 속도가 향상되고, 생산성이 향상된다.

또한, 제 2 실시 형태에 의하면, 표시 패널용 유리 기판에 대하여 경사로부터 조사함으로써 더욱 경화 특성이 향상된다.

또한, 제 2 실시 형태에 의하면, 밀봉재의 위치나 경화 상황에 따라 조사 수단에 공급하는 전력을 조정함으로써 균일한 경화 특성이 얻어진다.

또한, 본 발명은 상기의 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 그 요지의 범위내에서 여러 변형이 가능하다. 예를 들면, 대형의 표시 패널용 유리 기판의 밀봉재를 경화시킬 때에는, 도 14에 도시한 바와 같이, 복수의 램프(230)를 지그재그상으로 배치하여 펄스 상의 자외선을 조사하도록 하여도 좋다. 또한, 도 14는 본 발명의 다른 실시형태를 나타내는 개략적인 평면도이며, 상기한 제 2 실시형태의 도 12(제 1 실시형태의 도 4)에 대응하는 것이다. 따라서, 도 14에 있어서 도 12와 동일한 기능을 갖는 것에는 동일 부호를 붙임으로써 그 상세한 설명을 생략한다.

또한, 제 2 실시 형태에 있어서 제 1 실시 형태와 마찬가지로 조사 장치 본체를 밀봉재의 상방에 수직으로 배치해서 자외선을 조사하고, 밀봉재를 우선, 가경화시킨 후에 본경화 시켜도 좋다.

이상과 같이, 본 발명은 차광 부분의 하측에 도포된 밀봉재에 대하여 경사 방향으로부터 자외선을 조사함으로써 그 밀봉재를 효과적으로 경화할 수 있으므로 액정 표시 장치에 사용하는 표시 패널의 밀봉재의 경화에 이용할 수 있다.

Claims (12)

1. 2장의 유리 기판이 자외선 반응성의 밀봉재를 통해 중합된, 표시 패널을 형성하기 위한 기판인 표시 패널용 유리 기판에 자외선을 조사해서 상기 밀봉재를 경화시키는 방법에 있어서:

   직관 형상의 램프를 갖는 자외선 조사 장치를 상기 표시 패널의 외측 근방에 대응하는 위치에 도포된 거푸집 형상의 상기 밀봉재의 대향하는 한쌍의 변에 거의 평행이 되도록 배치하고,

   상기 자외선 조사 장치 또는 상기 표시 패널용 유리 기판을 경사지게 하고,

   상기 자외선 조사 장치 또는 상기 표시 패널용 유리 기판을 왕복 이동하고, 또한 반전시에 상기 자외선 조사 장치 또는 상기 표시 패널용 유리 기판을 왕로시와 대칭의 각도로 경사지게 하여 이동하면서

   상기 표시 패널용 유리 기판의 상기 밀봉재에 대하여 경사 방향으로부터 자외선을 조사하는 것을 특징으로 하는 밀봉재 경화 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 표시 패널용 유리 기판에 패턴화된 표시 패널이 되는 부분의 주변부가 차광되고, 상기 차광 부분에 도포된 자외선 반응성의 밀봉재를 경화하는 것을 특징으로 하는 밀봉재 경화 방법.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 표시 패널용 유리 기판은 표시 패널이 되는 부분을 복수개 갖고, 복수의 상기 차광 부분이 상기 표시 패널용 유리 기판의 자외선이 조사되는 쪽의 유리 기판에 형성되고, 상기 차광 부분 밑에 도포된 밀봉재에 대하여 상기 표시 패널용 유리 기판에 수직의 방향으로부터 소정의 각도만큼 기울어진 경사방향으로부터 자외선을 조사하는 것을 특징으로 하는 밀봉재 경화 방법.
4. 자외선 조사 장치 및 표시 패널용 유리 기판을 적재하는 노광 스테이지를 갖는 밀봉재 경화 장치에 있어서:

   상기 자외선 조사 장치는 직관상의 램프를 갖는 것이며, 상기 표시 패널의 외측 근방에 대응하는 위치에 도포된 거푸집 형상의 상기 밀봉재의 대향하는 한쌍의 변에 대하여 거의 평행이 되도록 배치되고,

   상기 자외선 조사 장치 또는 상기 표시 패널용 유리 기판을 경사지게 하고,

   상기 자외선 조사 장치 또는 상기 표시 패널용 유리 기판을 왕복 이동하고, 또한 반전시에 상기 자외선 조사 장치 또는 상기 표시 패널용 유리 기판을 왕로시와 대칭의 각도로 기울여서 이동하면서,

   상기 자외선 조사 장치로부터 상기 표시 패널용 유리 기판의 밀봉재에 대하여 자외선을 경사 방향으로부터 조사하는 것을 특징으로 하는 밀봉재 경화 장치.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 자외선 조사 장치와 상기 노광 스테이지의 공간부의 측면에 보조 반사경을 배치하는 것을 특징으로 하는 밀봉재 경화 장치.
6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,

   상기 노광 스테이지의 상기 표시 패널용 유리 기판이 적재되는 장소에 자외선 반사재를 형성하는 것을 특징으로 하는 밀봉재 경화 장치.
7. 제 4 항 내지 제 6 항 중의 어느 한 항에 있어서,

   상기 자외선 조사 장치와 상기 표시 패널용 유리 기판의 사이에 배치한 유리 마스크의 표면의 일부가 광반사 특성을 갖도록 처리하는 것을 특징으로 하는 밀봉재 경화 장치.
8. 제 4 항 내지 제 7 항 중의 어느 한 항에 있어서,

   상기 자외선 조사 장치를 왕복이동하는 가동 기구, 및 왕로와 복귀로에서 조사 각도를 반전하는 각도 반전 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 밀봉재 경화 장치.
9. 기판에 자외선 반응성의 밀봉재를 도포하고, 상기 밀봉재에 자외선을 조사하여 상기 밀봉재를 경화시키는 방법에 있어서:

   상기 기판의 밀봉재에 대하여 자외선을 포함하는 광을 적어도 1회 이상 펄스상으로 조사하여 상기 밀봉재를 경화시키는 것을 특징으로 하는 밀봉재 경화 방법.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 기판은 액정 표시 장치의 표시 패널에 사용하는 표시 패널용 유리 기판이며, 상기 표시 패널의 외측 근방에 대응하는 위치에 도포된 거푸집 형상의 밀봉재에 대하여 자외선을 포함하는 광을 펄스상으로 조사하는 적어도 1개 이상의 조사 수단을 상기 거푸집 형상의 밀봉재의 각 변에 대응하는 위치에 순차적으로 이동시켜서 상기 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 밀봉재 경화 방법.
11. 기판에 자외선 반응성의 밀봉재를 도포하고, 상기 밀봉재에 자외선을 조사하여 상기 밀봉재를 경화시키는 장치에 있어서:

    자외선을 포함하는 광을 펄스상으로 조사하는 조사 수단, 및

    상기 조사 수단에 의해 상기 밀봉재에 대하여 적어도 1회 이상 상기 광을 펄스상으로 조사하도록 제어하는 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 밀봉재 경화 장치
12. 제 11 항에 있어서,

    상기 기판은 액정 표시 장치의 표시 패널에 사용하는 표시 패널용 유리 기판이며, 상기 제어 수단은 상기 표시 패널의 외측 근방에 대응하는 위치에 도포된 거푸집 형상의 밀봉재에 대하여 상기 조사 수단을 상기 거푸집 형상의 밀봉재의 각 변에 대응하는 위치에 순차적으로 이동시켜서 상기 광을 펄스상으로 조사하는 것을 특징으로 하는 밀봉재 경화 장치.