KR20200141644A - 약액 경화 장치 - Google Patents

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Abstract

약액 경화 장치는 사각형 구조를 갖는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 것으로써, 제1 경화부, 제2 경화부, 제3 경화부, 제어부를 포함할 수 있다. 상기 제1 경화부는 상기 기판의 제1 변에 대응하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 제1 변 및 상기 제1 변과 마주하는 제2 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제2 경화부는 상기 제1 변과 수직하는 제3 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제3 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제3 경화부는 상기 제3 변과 마주하는 제4 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제어부는 상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부의 온/오프(on/off)를 제어하도록 구비될 수 있다.

Description

약액 경화 장치{APPARATUS FOR CURING DROPLET}
본 발명은 약액 경화 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 사각형 구조를 갖는 기판에 도포시킨 약액, 특히 사각형 구조를 갖는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 약액 경화 장치에 관한 것이다.
유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 사각형 구조를 갖는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키는 공정을 수행할 수 있다. 즉, 기판의 제1 변 내지 제4 변을 따라 블랙 매트릭스(black matrix) 등과 같은 기능을 갖는 약액을 도포 및 경화시키는 공정을 수행할 수 있는 것이다.
관련 기술들에 따르면, 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액에 대한 경화는 기판의 제1 변 내지 제4 변 중에 어느 하나의 변(제1 변)에 대응하는 길이를 갖는 자외선(UV) 램프를 경화부로 구비하는 경화 장치를 사용함에 달성할 수 있다.
이에, 기판의 제1 변으로부터 제1 변과 수직하는 제3 변 및 제4 변을 따라 제1 변과 마주하는 제2 변까지 경화부가 지나가도록 하여 자외선을 조사함으로써 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있는 것이다.
그러나 기판의 제1 변으로부터 제2 변까지 경화부가 지나가기 때문에 기판의 액티브 영역에도 자외선이 조사될 수 있고, 그 결과 기판의 액티브 영역에 대한 손상이 발생할 수도 있다.
그리고 자외선 램프의 경우에는 영역별로 온/오프(on/off) 제어가 불가하기 때문에 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액의 경화시 액티브 영역에서의 자외선 조사를 차단할 수도 없는 것이 현실이다.
본 발명의 일 과제는 사각형 구조를 갖는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액의 경화시 기판의 액티브 영역에는 자외선 조사를 차단할 수 있는 약액 경화 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 과제는 사각형 구조를 기판의 액티브 영역에 도포시킨 약액에 대한 경화 또는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액에 대한 경화를 선택적으로 수행할 수 있는 약액 경화 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치는 사각형 구조를 갖는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 것으로써, 제1 경화부, 제2 경화부, 제3 경화부, 제어부를 포함할 수 있다. 상기 제1 경화부는 상기 기판의 제1 변에 대응하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 제1 변 및 상기 제1 변과 마주하는 제2 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제2 경화부는 상기 제1 변과 수직하는 제3 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제3 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제3 경화부는 상기 제3 변과 마주하는 제4 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제어부는 상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부의 온/오프(on/off)를 제어하도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 경화부의 양쪽 단부 각각에 이웃하면서 상기 제1 변으로부터 상기 제2 변으로 상기 경화가 이루어지는 방향을 기준으로 상기 제1 경화부보다 선행하도록 배치될 수 있다. 이에, 상기 제어부는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 변을 지나 상기 제3 변 및 상기 제4 변을 통과할 때에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부를 온시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제1 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제1 변을 통과한 후에는 상기 제1 경화부를 오프시키고, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제3 변 및 상기 제4 변을 지나 상기 제2 변을 통과할 때에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부를 오프시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제2 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키도록 제어할 수 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치는 사각형 구조를 갖는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 것으로써, 제1 경화부, 제2 경화부, 제3 경화부, 제어부를 포함할 수 있다. 상기 제1 경화부는 상기 기판의 제1 변에 대응하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 제1 변 및 상기 제1 변과 마주하는 제2 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제2 경화부는 상기 제1 변과 수직하는 제3 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제3 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제3 경화부는 상기 제3 변과 마주하는 제4 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제어부는 상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부의 온/오프(on/off)를 제어하도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 경화부의 양쪽 단부 각각에 이웃하면서 상기 제1 변으로부터 상기 제2 변으로 상기 경화가 이루어지는 방향을 기준으로 상기 제1 경화부보다 후행하도록 배치될 수 있다. 이에, 상기 제어부는 상기 제1 경화부가 상기 제1 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키고, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 변을 지나 상기 제2 변 및 상기 제3 변을 통과할 때에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부를 온시키면서 상기 제1 경화부를 오프시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제2 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키도록 제어할 수 있다.
상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치는 사각형 구조를 갖는 기판에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 것으로써, 제1 경화부, 제2 경화부, 제3 경화부, 제어부를 포함할 수 있다. 상기 제1 경화부는 상기 기판의 제1 변에 대응하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 제1 변 및 상기 제1 변과 마주하는 제2 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제2 경화부는 상기 제1 변과 수직하는 제3 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제3 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제3 경화부는 상기 제3 변과 마주하는 제4 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제어부는 상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부의 온/오프(on/off)를 제어하도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 경화부의 양쪽 단부 각각에 이웃하면서 상기 제1 변으로부터 상기 제2 변으로 상기 경화가 이루어지는 방향을 기준으로 상기 제1 경화부보다 선행하도록 배치될 수 있다. 이에, 상기 제어부는 상기 기판에 도포시킨 약액 전체를 경화시킬 경우에는 상기 제1 경화부만을 온시키도록 제어하고, 상기 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 선택적으로 경화시킬 경우에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 변을 지나 상기 제3 변 및 상기 제4 변을 통과할 때에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부를 온시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제1 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제1 변을 통과한 후에는 상기 제1 경화부를 오프시키고, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제3 변 및 상기 제4 변을 지나 상기 제2 변을 통과할 때에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부를 오프시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제2 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키도록 제어할 수 있다.
상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치는 사각형 구조를 갖는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 것으로써, 제1 경화부, 제2 경화부, 제3 경화부, 제어부를 포함할 수 있다. 상기 제1 경화부는 상기 기판의 제1 변에 대응하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 제1 변 및 상기 제1 변과 마주하는 제2 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제2 경화부는 상기 제1 변과 수직하는 제3 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제3 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제3 경화부는 상기 제3 변과 마주하는 제4 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제어부는 상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부의 온/오프(on/off)를 제어하도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 경화부의 양쪽 단부 각각에 이웃하면서 상기 제1 변으로부터 상기 제2 변으로 상기 경화가 이루어지는 방향을 기준으로 상기 제1 경화부보다 후행하도록 배치될 수 있다. 이에, 상기 제어부는 상기 기판에 도포시킨 약액 전체를 경화시킬 경우에는 상기 제1 경화부만을 온시키도록 제어하고, 상기 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 선택적으로 경화시킬 경우에는 상기 제1 경화부가 상기 제1 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키고, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 변을 지나 상기 제2 변 및 상기 제3 변을 통과할 때에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부를 온시키면서 상기 제1 경화부를 오프시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제2 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키도록 제어할 수 있다.
언급한 실시예들에 있어서, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부는 상기 제1 경화부의 양쪽 단부 각각으로부터 상기 제1 경화부의 중심 쪽으로 이동할 수 있도록 구비될 수 있다.
언급한 실시예들에 있어서, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부는 동일한 길이를 가지면서 상기 제3 변(또는 상기 제4 변)보다 짧은 길이를 갖도록 구비될 수 있다.
언급한 실시예들에 있어서, 상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부는 자외선(UV) 램프로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 사각형 구조를 갖는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액의 경화시 기판의 액티브 영역에는 자외선 조사를 차단할 수 있기 때문에 보다 안정적으로 경화 공정을 수행할 수 있을 것이다. 이에, 본 발명의 약액 경화 장치는 디스플레이 소자의 제조시 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따르면, 사각형 구조를 기판의 액티브 영역에 도포시킨 약액에 대한 경화 또는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액에 대한 경화를 선택적으로 수행할 수 있기 때문에 장치적 구성에 대한 효율성의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2 내지 도 5는 도 1의 약액 경화 장치에 구비되는 제어부를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 6은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 7은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 8 내지 도 10은 도 2의 약액 경화 장치에 구비되는 제어부를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치(100)는 디스플레이 소자의 제조시 기판(10) 상에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 것으로써, 특히 사각형 구조를 갖는 기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 블랙 매트릭스 등과 같은 기능을 갖도록 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 것이다. 즉, 사각형 구조를 갖는 기판(10)의 에지 영역에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치(100)는 제1 경화부(21), 제2 경화부(23), 제3 경화부(25), 제어부(27) 등을 포함할 수 있다.
기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액의 경화는 주로 자외선(UV)을 조사함에 의해 달성할 수 있다. 따라서 제1 경화부(21), 제2 경화부(23), 제3 경화부(25) 모두는 자외선 램프로 이루어질 수 있다.
제1 경화부(21)는 제1 변(17) 내지 제4 변(15) 중 어느 하나의 변에 대응하는 길이를 갖도록 구비될 수 있다. 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치(100)에서의 제1 경화부(21)는 기판(10)의 제1 변(17)에 대응하는 길이를 갖도록 구비될 수 있다.
이에, 제1 경화부(21)는 제1 변(17)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있을 뿐만 아니라 제1 변(17)과 마주하는 제2 변(19)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있을 것이다.
그리고 제1 경화부(21)는 제1 변(17)으로부터 제1 변(17)과 수직하는 제3 변(13) 및 제4 변(15)을 따라 제2 변(19)까지로 지나가도록 구비될 수 있기 때문에 제1 변(17) 및 제2 변(19)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있을 뿐만 아니라 기판(10)의 액티브 영역(11)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수도 있을 것이다.
즉, 제1 경화부(21)는 후술하는 온/오프의 제어를 통하여 제1 변(17) 및 제2 변(19)에 도포시킨 약액만을 경화시킬 수 있거나 또는 기판(10)의 액티브 영역(11)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있도록 구비될 수 있는 것이다.
제2 경화부(23)는 제1 변(17)과 수직하는 제3 변(13)에 대응하도록 구비될 수 있다. 이에, 제2 경화부(23)는 제3 변(13)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따르면, 제2 경화부(23)는 제3 변(13)의 길이보다 짧은 길이를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 제3 변(13)에 도포시킨 약액을 경화시킬 때에는 제2 경화부(23)를 사용하여 기판(10)의 제3 변(13)을 따라 자외선을 조사할 수 있을 것이다.
제3 경화부(25)는 제3 변(13)과 마주하는 제4 변(15)에 대응하도록 구비될 수 있다. 이에, 제3 경화부(25)는 제4 변(15)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따르면, 제3 경화부(25)는 제4 변(15)의 길이보다 짧은 길이를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 제4 변(15)에 도포시킨 약액을 경화시킬 때에는 제3 경화부(25)를 사용하여 기판(10)의 제4 변(15)을 따라 자외선을 조사할 수 있을 것이다.
그리고 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)는 서로 동일한 길이를 갖도록 구비될 수 있다. 따라서 예시적인 실시예들에 따른 경화 장치에 있어서, 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25) 각각은 서로 동일한 길이를 가지면서 제3 변(13) 및 제4 변(15) 각각에 비해 짧은 길이를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
본 발명의 약액 경화 장치(100)는 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)를 고정시킨 상태에서 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25) 아래로 기판(10)이 지나가도록 기판(10)을 이송시킴으로써 기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 따라서 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25) 각각이 제3 변(13) 및 제4 변(15) 각각에 비해 짧은 길이를 갖더라도 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제3 변(13) 및 제4 변(15)을 따라 자외선을 조사할 수 있을 것이다.
이와 달리, 기판(10)을 고정시킨 상태에서 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 기판(10) 상부를 지나가도록 이송시킴으로써 기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 마찬가지로, 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25) 각각이 제3 변(13) 및 제4 변(15) 각각에 비해 짧은 길이를 갖더라도 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제3 변(13) 및 제4 변(15)을 따라 자외선을 조사할 수 있을 것이다.
또한, 기판(10)과 함께 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)를 이송시킴에 의해서도 기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치(100)는 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제1 경화부(21)의 양쪽 단부 각각에 이웃하면서 제1 변(17)으로부터 제2 변(19)으로 경화가 이루어지는 방향을 기준으로 제1 경화부(21)보다 선행하도록 배치될 수 있다. 즉, 기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액의 경화시 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제1 경화부(21)에 비해 먼저 기판(10)을 경유하는 배치 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
그리고 제어부(27)는 제1 경화부(21), 제2 경화부(23), 및 제3 경화부(25)의 온/오프(on/off)를 제어하도록 구비될 수 있다.
이하, 도 1의 약액 경화 장치에 구비되는 제어부를 설명하기로 한다.
그리고 도 1의 약액 경화 장치를 사용하는 약액의 경화에서는 제1 경화부(21), 제2 경화부(23), 및 제3 경화부(25)를 고정시킨 상태에서 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25) 아래로 기판(10)이 지나가도록 기판(10)을 이송시킬 수 있을 것이다.
도 2 내지 도 5는 도 1의 약액 경화 장치에 구비되는 제어부를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
먼저 도 2를 참조하면, 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25) 아래로 기판(10)이 지나가도록 할 수 있다. 따라서 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 기판(10)의 제1 변(17)을 지나 제3 변(13) 및 상기 제4 변(15)을 통과할 수 있을 것이다.
제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 기판(10)의 제1 변(17)을 지나 제3 변(13) 및 상기 제4 변(15)을 통과할 때 제어부(27)는 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)를 온시키도록 제어할 수 있다. 이에, 제3 변(13) 및 제4 변(15)에 도포시킨 약액의 경화가 먼저 이루어질 수 있을 것이다.
그리고 도 3을 참조하면, 기판(10)을 계속적으로 이송시킴에 따라 제1 경화부(21)가 기판(10)의 제1 변(17)을 통과할 수 있을 것이다.
제1 경화부(21)가 제1 변(17)을 통과할 때 제어부(27)는 제1 경화부(21)를 온시키도록 제어할 수 있다. 이에, 제1 변(17)에 도포시킨 약액의 경화가 이루어질 수 있을 것이다. 특히, 제1 경화부(21)가 기판(10)의 제1 변(17)에 대응하는 길이를 갖도록 구비될 수 있기 때문에 제1 경화부(21)를 사용하여 제1 변(17)에 자외선을 한 번만 조사하여도 제1 변(17)에 도포시킨 약액의 경화를 달성할 수 있을 것이다.
계속해서 도 4를 참조하면, 기판(10)을 계속적으로 이송시킴에 따라 제1 경화부(21)가 기판(10)의 제1 변(17)을 통과하여 기판(10)의 제1 변(17)을 완전히 지나갈 수 있을 것이다.
제1 경화부(21)가 제1 변(17)을 통과한 후에는 제어부(27)는 제1 경화부(21)를 오프시키도록 제어할 수 있다. 아울러, 제어부(27)는 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 계속적으로 온되도록 제어할 수 있다.
이에, 제3 변(13) 및 제4 변(15)을 따라 온 상태를 유지하는 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 지나감으로써 제3 변(13) 및 제4 변(15)에 도포시킨 약액은 계속해서 경화가 이루어질 수 있다. 반면에, 제1 경화부(21)는 오프 상태로 제어되기 때문에 제1 경화부(21)가 기판(10)의 액티브 영역(11)을 지나감에도 불구하고 기판(10)의 액티브 영역(11)에 자외선이 조사되지 않을 것이다.
그리고 도 5를 참조하면, 기판(10)을 계속적으로 이송시킴에 따라 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제3 변(13) 및 제4 변(15)을 지나 제2 변(19)을 통과할 수 있을 것이다.
이에, 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제3 변(13) 및 제4 변(15)을 완전히 지나감에 따라 제어부(27)는 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)를 오프시키도록 제어할 수 있다.
아울러 제1 경화부(21)가 제2 변(19)을 통과할 수 있을 것이다. 제1 경화부(21)가 제2 변(19)을 통과할 때 제어부(27)는 제1 경화부(21)를 온시키도록 제어할 수 있다. 이에, 제2 변(19)에 도포시킨 약액의 경화가 이루어질 수 있을 것이다. 마찬가지로, 제1 경화부(21)가 기판(10)의 제2 변(19)에 대응하는 길이를 갖도록 구비될 수 있기 때문에 제1 경화부(21)를 사용하여 제2 변(19)에 자외선을 한 번만 조사하여도 제2 변(19)에 도포시킨 약액의 경화를 달성할 수 있을 것이다.
그리고 제어부(27)는 제1 경화부(21)가 제2 변(19)을 완전히 통과한 후에는 제1 경화부(21)가 오프되도록 제어할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 사각형 구조를 갖는 기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액의 경화시 제어부(27)를 사용하여 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)의 온/오프를 제어함으로써 기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액만을 경화시킴과 아울러 기판(10)의 액티브 영역(11)에는 자외선 조사를 차단할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 약액 경화 장치(100)는 기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액을 경화시킬 때 기판(10)의 액티브 영역(11)에는 자외선이 조사되지 않도록 함으로써 보다 안정적인 경화 공정의 수행을 제공할 수 있을 것이다.
그리고 이상에서는 제1 경화부(21), 제2 경화부(23), 및 제3 경화부(25)를 고정시킨 상태에서 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25) 아래로 기판(10)이 지나가도록 기판(10)을 이송시키는 것에 대하여 설명하고 있지만, 이와 달리 기판(10)을 고정시킨 상태에서 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)를 이송시킬 경우에도 동일한 구성을 가질 것이다.
또한, 도 1의 약액 경화 장치(100)는 액티브 영역(11)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있게도 구비될 수 있을 것이다.
즉, 제어부(27)를 사용하여 제1 경화부(21)는 온 상태를 유지하고, 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)는 오프 상태를 유지하도록 제어한 상태에서 제1 변(17)으로부터 제2 변(19)을 따라 제1 경화부(21)를 사용하여 기판(10)에 자외선을 조사함으로써 액티브 영역(11)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있는 것이다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치(100)는 사각형 구조를 기판(10)의 액티브 영역(11)에 도포시킨 약액에 대한 경화 또는 기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액에 대한 경화를 선택적으로 수행할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 약액 경화 장치(100)는 약액에 대한 경화를 선택적으로 수행할 수 있기 때문에 장치의 효율적인 사용을 제공할 수 있을 것이다.
이하, 도 1의 약액 경화 장치를 응용하는 구조에 대하여 설명하기로 한다. 이하에서는 도 1의 약액 경화 장치와 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 6은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 6을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치(100)는 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제1 경화부(21)의 중심 쪽으로 이동할 수 있도록 구비될 수 있다.
이에, 도 6에서의 약액 경화 장치(100)는 제1 경화부(21)의 길이에 대응하는 기판(10)보다 작은 크기를 갖는 기판(제2 기판)의 경화도 용이하게 적용할 수 있을 것이다.
즉, 제2 기판(50)의 제1 변(17)에 대응하는 길이를 갖도록 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25) 사이의 거리를 조절함으로써 제2 기판(50)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있을 것이다.
이와 같이, 도 6의 약액 경화 장치(100)는 다양한 크기를 갖는 기판에 도포시킨 약액의 경화를 용이하게 수행할 수 있을 것이다.
즉, 다양한 크기를 갖는 기판의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액을 용이하게 경화시킬 수 있을 것이다. 또한, 제1 경화부(21)에 의해서는 제2 기판(50)의 액티브 영역(11)에 도포시킨 약액의 경화도 용이하게 수행할 수 있을 것이다.
도 7은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 7을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치(100)는 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제1 경화부(21)의 양쪽 단부 각각에 이웃하면서 제1 변(17)으로부터 제2 변(19)으로 경화가 이루어지는 방향을 기준으로 제1 경화부(21)보다 후행하도록 배치될 수 있다.
그리고 도 7에서의 약액 경화 장치(100)는 언급한 바와 같이 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제1 경화부(21)보다 후행하고, 이에 따라 제어부(27)에 의한 제어 구성을 제외하고는 도 1에서의 약액 경화 장치(100)와 동일한 구성을 가질 수 있다.
이하, 도 7의 약액 경화 장치에 구비되는 제어부를 설명하기로 한다.
마찬가지로, 도 7의 약액 경화 장치(100)를 사용하는 약액의 경화에서도 제1 경화부(21), 제2 경화부(23), 및 제3 경화부(25)를 고정시킨 상태에서 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25) 아래로 기판(10)이 지나가도록 기판(10)을 이송시킬 수 있을 것이다.
도 8 내지 도 10은 도 2의 약액 경화 장치에 구비되는 제어부를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
먼저 도 8을 참조하면, 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25) 아래로 기판(10)이 지나가도록 할 수 있다. 제1 경화부(21)가 제1 변(17)을 통과할 수 있을 것이다.
이때, 제어부(27)는 제1 경화부(21)를 온시키도록 제어할 수 있다. 이에, 기판(10)의 제1 변(17)에 도포시킨 약액의 경화가 먼저 이루어질 수 있을 것이다.
마찬가지로, 제1 경화부(21)가 기판(10)의 제1 변(17)에 대응하는 길이를 갖도록 구비될 수 있기 때문에 제1 경화부(21)를 사용하여 제1 변(17)에 자외선을 한 번만 조사하여도 제1 변(17)에 도포시킨 약액의 경화를 달성할 수 있을 것이다.
그리도 도 9를 참조하면, 기판(10)을 계속적으로 이송시킴에 따라 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 기판(10)의 제3 변(13) 및 제4 변(15)을 통과할 수 있을 것이다.
제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제3 변(13) 및 제4 변(15)을 통과할 때 제어부(27)는 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)를 온시키도록 제어할 수 있다. 이에, 제3 변(13) 및 제4 변(15) 각각에 도포시킨 약액의 경화가 이루어질 수 있을 것이다.
특히, 제1 경화부(21)가 제1 변(17)을 통과함과 아울러 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제3 변(13) 및 제4 변(15)을 통과, 즉, 제1 경화부(21)가 제1 변(17)을 통과한 이후에는 제어부(27)는 제1 경화부(21)를 오프시키도록 제어할 수 있다.
이와 같이, 제1 경화부(21)가 제1 변(17)을 통과한 후에는 제어부(27)는 제1 경화부(21)를 오프시키도록 제어할 수 있다. 아울러, 제어부(27)는 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 계속적으로 온되도록 제어할 수 있다.
이에, 제3 변(13) 및 제4 변(15)을 따라 온 상태를 유지하는 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 지나감으로써 제3 변(13) 및 제4 변(15)에 도포시킨 약액은 계속해서 경화가 이루어질 수 있다. 반면에, 제1 경화부(21)는 오프 상태로 제어되기 때문에 제1 경화부(21)가 기판(10)의 액티브 영역(11)을 지나감에도 불구하고 기판(10)의 액티브 영역(11)에 자외선이 조사되지 않을 것이다.
계속해서 도 10을 참조하면, 기판(10)을 계속적으로 이송시킴에 따라 제1 경화부(21)가 기판(10)의 제1 변(17)을 통과할 수 있을 것이다.
이와 같이, 제1 경화부(21)가 제2 변(19)을 통화할 때 제어부(27)는 제1 경화부(21)를 온시키도록 제어할 수 있다. 이에, 제2 변(19)에 도포시킨 약액의 경화가 이루어질 수 있을 것이다. 마찬가지로, 제1 경화부(21)가 기판(10)의 제2 변(19)에 대응하는 길이를 갖도록 구비될 수 있기 때문에 제1 경화부(21)를 사용하여 제2 변(19)에 자외선을 한 번만 조사하여도 제2 변(19)에 도포시킨 약액의 경화를 달성할 수 있을 것이다.
그리고 제1 경화부(21)가 제1 변(17)을 통과한 후에는 제어부(27)는 제1 경화부(21)를 오프시키도록 제어할 수 있다. 아울러, 제어부(27)는 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 계속적으로 온되도록 제어할 수 있다.
계속해서, 기판(10)을 계속적으로 이송시킴에 따라 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제3 변(13) 및 제4 변(15)을 지나 제2 변(19)을 통과할 수 있을 것이다.
이에, 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제3 변(13) 및 제4 변(15)을 완전히 지나감에 따라 제어부(27)는 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)를 오프시키도록 제어할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)가 제1 경화부(21)에 후행하는 구조를 가질 경우에도 사각형 구조를 갖는 기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액의 경화시 제어부(27)를 사용하여 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)의 온/오프를 제어함으로써 기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액만을 경화시킴과 아울러 기판(10)의 액티브 영역(11)에는 자외선 조사를 차단할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 약액 경화 장치(100)는 기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액을 경화시킬 때 기판(10)의 액티브 영역(11)에는 자외선이 조사되지 않도록 함으로써 보다 안정적인 경화 공정의 수행을 제공할 수 있을 것이다.
그리고 이상에서도 제1 경화부(21), 제2 경화부(23), 및 제3 경화부(25)를 고정시킨 상태에서 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25) 아래로 기판(10)이 지나가도록 기판(10)을 이송시키는 것에 대하여 설명하고 있지만, 이와 달리 기판(10)을 고정시킨 상태에서 제1 경화부(21), 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)를 이송시킬 경우에도 동일한 구성을 가질 것이다.
마찬가지로, 도 6의 약액 경화 장치(100)는 액티브 영역(11)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있게도 구비될 수 있을 것이다.
즉, 제어부(27)를 사용하여 제1 경화부(21)는 온 상태를 유지하고, 제2 경화부(23) 및 제3 경화부(25)는 오프 상태를 유지하도록 제어한 상태에서 제1 변(17)으로부터 제2 변(19)을 따라 제1 경화부(21)를 사용하여 기판(10)에 자외선을 조사함으로써 액티브 영역(11)에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있는 것이다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 경화 장치(100)는 사각형 구조를 기판(10)의 액티브 영역(11)에 도포시킨 약액에 대한 경화 또는 기판(10)의 제1 변(17) 내지 제4 변(15)에 도포시킨 약액에 대한 경화를 선택적으로 수행할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 약액 경화 장치(100)는 약액에 대한 경화를 선택적으로 수행할 수 있기 때문에 장치의 효율적인 사용을 제공할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 도포 장치 및 약액 도포 방법은 액정 표시 소자, 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 11 : 액티브 영역
13 : 제3 변 15 : 제4 변
17 : 제1 변 19 : 제2 변
21 : 제1 경화부 23 : 제2 경화부
25 : 제3 경화부 27 : 제어부
50 : 제2 기판
100 : 약액 경화 장치

Claims (16)

  1. 사각형 구조를 갖는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 약액 경화 장치에 있어서,
    상기 기판의 제1 변에 대응하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 제1 변 및 상기 제1 변과 마주하는 제2 변에 도포시킨 약액을 경화시키는 제1 경화부; 상기 제1 변과 수직하는 제3 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제3 변에 도포시킨 약액을 경화시키는 제2 경화부; 상기 제3 변과 마주하는 제4 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키는 제3 경화부; 및 상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부의 온/오프(on/off)를 제어하도록 구비되는 제어부를 포함하고, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 경화부의 양쪽 단부 각각에 이웃하면서 상기 제1 변으로부터 상기 제2 변으로 상기 경화가 이루어지는 방향을 기준으로 상기 제1 경화부보다 선행하도록 배치될 때,
    상기 제어부는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 변을 지나 상기 제3 변 및 상기 제4 변을 통과할 때에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부를 온시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제1 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제1 변을 통과한 후에는 상기 제1 경화부를 오프시키고, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제3 변 및 상기 제4 변을 지나 상기 제2 변을 통과할 때에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부를 오프시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제2 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부는 상기 제1 경화부의 양쪽 단부 각각으로부터 상기 제1 경화부의 중심 쪽으로 이동할 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부는 동일한 길이를 가지면서 상기 제3 변(또는 상기 제4 변)보다 짧은 길이를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부는 자외선(UV) 램프로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  5. 사각형 구조를 갖는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 약액 경화 장치에 있어서,
    상기 기판의 제1 변에 대응하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 제1 변 및 상기 제1 변과 마주하는 제2 변에 도포시킨 약액을 경화시키는 제1 경화부; 상기 제1 변과 수직하는 제3 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제3 변에 도포시킨 약액을 경화시키는 제2 경화부; 상기 제3 변과 마주하는 제4 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키는 제3 경화부; 및 상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부의 온/오프(on/off)를 제어하도록 구비되는 제어부를 포함하고, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 경화부의 양쪽 단부 각각에 이웃하면서 상기 제1 변으로부터 상기 제2 변으로 상기 경화가 이루어지는 방향을 기준으로 상기 제1 경화부보다 후행하도록 배치될 때,
    상기 제어부는 상기 제1 경화부가 상기 제1 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키고, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 변을 지나 상기 제2 변 및 상기 제3 변을 통과할 때에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부를 온시키면서 상기 제1 경화부를 오프시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제2 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부는 상기 제1 경화부의 양쪽 단부 각각으로부터 상기 제1 경화부의 중심 쪽으로 이동할 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부는 동일한 길이를 가지면서 상기 제3 변(또는 상기 제4 변)보다 짧은 길이를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  8. 제5 항에 있어서,
    상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부는 자외선(UV) 램프로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  9. 사각형 구조를 갖는 기판에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 약액 경화 장치에 있어서,
    상기 기판의 제1 변에 대응하는 길이를 갖고, 상기 제1 변으로부터 상기 제1 변과 마주하는 상기 제2 변으로 이동하면서 상기 기판에 도포시킨 약액을 경화시키는 제1 경화부; 상기 제1 변과 수직하는 제3 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제3 변에 도포시킨 약액을 경화시키는 제2 경화부; 상기 제3 변과 마주하는 제4 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키는 제3 경화부; 및 상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부의 온/오프(on/off)를 제어하도록 구비되는 제어부를 포함하고, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 경화부의 양쪽 단부 각각에 이웃하면서 상기 경화가 이루어지는 방향을 기준으로 상기 제1 경화부보다 선행하도록 배치될 때,
    상기 제어부는 상기 기판에 도포시킨 약액 전체를 경화시킬 경우에는 상기 제1 경화부만을 온시키도록 제어하고, 상기 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 선택적으로 경화시킬 경우에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 변을 지나 상기 제3 변 및 상기 제4 변을 통과할 때에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부를 온시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제1 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제1 변을 통과한 후에는 상기 제1 경화부를 오프시키고, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제3 변 및 상기 제4 변을 지나 상기 제2 변을 통과할 때에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부를 오프시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제2 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부는 상기 제1 경화부의 양쪽 단부 각각으로부터 상기 제1 경화부의 중심 쪽으로 이동할 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  11. 제9 항에 있어서,
    상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부는 동일한 길이를 가지면서 상기 제3 변(또는 상기 제4 변)보다 짧은 길이를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  12. 제9 항에 있어서,
    상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부는 자외선(UV) 램프로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  13. 사각형 구조를 갖는 기판에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 약액 경화 장치에 있어서,
    상기 기판의 제1 변에 대응하는 길이를 갖고, 상기 제1 변으로부터 상기 제1 변과 마주하는 상기 제2 변으로 이동하면서 상기 기판에 도포시킨 약액을 경화시키는 제1 경화부; 상기 제1 변과 수직하는 제3 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제3 변에 도포시킨 약액을 경화시키는 제2 경화부; 상기 제3 변과 마주하는 제4 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키는 제3 경화부; 및 상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부의 온/오프(on/off)를 제어하도록 구비되는 제어부를 포함하고, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 경화부의 양쪽 단부 각각에 이웃하면서 상기 경화가 이루어지는 방향을 기준으로 상기 제1 경화부보다 후행하도록 배치될 때,
    상기 제어부는 상기 기판에 도포시킨 약액 전체를 경화시킬 경우에는 상기 제1 경화부만을 온시키도록 제어하고, 상기 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 선택적으로 경화시킬 경우에는 상기 제1 경화부가 상기 제1 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키고, 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부가 상기 제1 변을 지나 상기 제2 변 및 상기 제3 변을 통과할 때에는 상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부를 온시키면서 상기 제1 경화부를 오프시키고, 상기 제1 경화부가 상기 제2 변을 통과할 때에는 상기 제1 경화부를 온시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부는 상기 제1 경화부의 양쪽 단부 각각으로부터 상기 제1 경화부의 중심 쪽으로 이동할 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  15. 제13 항에 있어서,
    상기 제2 경화부 및 상기 제3 경화부는 동일한 길이를 가지면서 상기 제3 변(또는 상기 제4 변)보다 짧은 길이를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
  16. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부는 자외선(UV) 램프로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 경화 장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230010553A (ko) * 2021-07-12 2023-01-19 유버 주식회사 스캔식 광 경화기

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003222884A (ja) * 2002-01-31 2003-08-08 Nef:Kk 液晶表示パネルのシール剤硬化方法及び硬化装置
KR20050004351A (ko) * 2003-07-02 2005-01-12 삼성전자주식회사 Ｌｃｄ기판의 노광 장치
JP2005099783A (ja) * 2003-08-28 2005-04-14 Shibaura Mechatronics Corp 紫外光照射装置及び照射方法
KR20050121674A (ko) * 2005-08-18 2005-12-27 이와사키 덴끼 가부시키가이샤 밀봉재 경화 방법 및 밀봉재 경화 장치
KR100780367B1 (ko) * 2006-12-22 2007-11-30 (주)리드 액정표시패널용 기판의 밀봉재 경화장치 및 이를 이용한경화방법
KR20140118782A (ko) * 2013-03-31 2014-10-08 호야 칸데오 옵트로닉스 가부시키가이샤 광 조사 장치

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003222884A (ja) * 2002-01-31 2003-08-08 Nef:Kk 液晶表示パネルのシール剤硬化方法及び硬化装置
KR20050004351A (ko) * 2003-07-02 2005-01-12 삼성전자주식회사 Ｌｃｄ기판의 노광 장치
JP2005099783A (ja) * 2003-08-28 2005-04-14 Shibaura Mechatronics Corp 紫外光照射装置及び照射方法
KR20050121674A (ko) * 2005-08-18 2005-12-27 이와사키 덴끼 가부시키가이샤 밀봉재 경화 방법 및 밀봉재 경화 장치
KR100780367B1 (ko) * 2006-12-22 2007-11-30 (주)리드 액정표시패널용 기판의 밀봉재 경화장치 및 이를 이용한경화방법
KR20140118782A (ko) * 2013-03-31 2014-10-08 호야 칸데오 옵트로닉스 가부시키가이샤 광 조사 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230010553A (ko) * 2021-07-12 2023-01-19 유버 주식회사 스캔식 광 경화기

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