JP2003222884A - 液晶表示パネルのシール剤硬化方法及び硬化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 貼り合わせた一対の基板間のずれを防止し、
広範囲の照射エリアでも一定の紫外線の照度分布が得ら
れ、基板とマスクを容易に分離すること等が可能で、液
晶パネルの生産効率、品質を向上させることのできるシ
ール剤硬化方法及び硬化装置を提供する。 【解決手段】 紫外線遮光板２を位置決めして重ね合わ
せ位置まで搬送し、重ね合わせ位置における紫外線遮光
板２の位置データを記憶して位置決め位置まで搬送し、
一方の基板１ａに液晶材料１ｃを滴下し、他方の基板１
ｄに紫外線硬化型のシール剤１ｂを塗布して貼り合わさ
れた一対の基板１を位置決めして重ね合わせ位置まで搬
送し、重ね合わせ位置における一対の基板１の位置デー
タを記憶し、これらの位置データを比較して一対の基板
１の位置を調整し、一対の基板１に紫外線遮光板２を位
重ね合わせ、両者１、２に紫外線を照射して他方の基板
１に塗布されたシール剤１ｂを硬化させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
シール剤硬化方法及び硬化装置に関し、特に、液晶モニ
タ付機器等に用いられる液晶表示パネルを滴下工法で貼
り合わせた基板間のシール部分を一括硬化させるシール
剤硬化方法及び硬化装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１２は、従来の液晶表示パネルの滴下
工法の製造工程図を示し、（ａ）の滴下装置によってシ
ール剤を塗布するとともに、液晶を滴下して貼り合わ
せ、（ｂ）の硬化装置によって紫外線を照射してシール
剤を硬化させ、（ｃ）のオーブンによって本硬化が行わ
れる。この種のシール剤硬化装置では、貼り合わせた基
板間のシール部分を均一に硬化させることが重要な要素
の一つとなる。そのため、通常、第１の基板上に紫外線
硬化型シール剤を所定のパターンに形成した後、シール
剤に囲まれた領域に液晶を滴下し、真空中で第２の基板
を貼り合わせ、基板の片側面に紫外線遮光板（以下「マ
スク」という）を密着させ、マスクを介して紫外線照射
装置より紫外線を照射する手法が採用されている。

【０００３】また、特開平９−７３０９６号公報に記載
の液晶表示素子の製造方法では、図１３に示すように、
液晶表示素子１０１の製造工程において、シール剤１０
１ｂの硬化を行うにあたって、内面に各々配光膜を形成
し、ラビング処理を施した一対のガラス基板１０１ｃ
（または１０１ｄ）の対向面に紫外線硬化型樹脂からな
るシール剤１０１ｂを塗布し、他方のガラス基板１０１
ｄの対向面に液晶材料を滴下して貼り合わせる。ここ
で、液晶表示素子１０１に紫外線１０３ａを照射するた
めの紫外線照射装置１０３には、反射板１０３ｂが設け
られ、ガラス基板１０１ｃ側から液晶表示素子１０１の
全面に紫外線１０３ａが照射される。

【０００４】さらに、紫外線照射装置１０３と液晶表示
素子１０１との間には、液晶表示素子１０１と接触する
ように遮光マスク１０２を配置している。遮光マスク１
０２は、透明性基板１０２ａに遮光膜１０２ｂを形成し
たものであり、シール剤１０１ｂのパターンに応じて遮
光膜１０２ｂのパターンが決定される。尚、透明性基板
１０２ａはガラス製であって、板厚が４ｍｍ以上である
と熱等の影響で反ったりせず、また、遮光膜１０２ｂは
黒色インキでパターン化して形成される。紫外線照射装
置１０３から照射された紫外線１０３ａは、遮光マスク
１０２の遮光膜１０２ｂが形成されていない透明部１０
２ｅを透過してシール剤１０１ｂのみに照射され、シー
ル剤１０１ｂが硬化する。尚、シール剤１０１ｂと遮光
マスク１０２のパターン合わせについては、紫外線１０
３ａの漏れによって局部的に液晶や配光膜に紫外線１０
３ａが照射され、配向乱れやしきい値むらを起こさない
程度の精度が必要である。

【０００５】また、図１４に示すように、従来の他のシ
ール剤硬化装置２１１は、位置制御手段としてのＸＹθ
テーブル２０８、紫外線照射装置２０３、マスクガラス
２０２、及び中央部がガラスで構成された透明基準板２
１４の他、透明基準板２１４を駆動する図示しないボー
ルスプライン、加圧シリンダ、ＣＦセットテーブル、及
び使用者がアライメント時等に使用する顕微鏡等で概略
構成される。

【０００６】そして、使用者が、ＸＹθテーブル２０８
を引き出し、駆動基板を保持し、ＣＦセットテーブルに
対向基板をセットした後、ＣＦセットテーブルを回転し
て駆動基板上にセットする。次に、ＸＹθテーブル２０
８を所定位置まで移動し、加圧シリンダによってボール
スプラインを経て、透明基準板２１４を下方に移動す
る。さらに、使用者は顕微鏡等を用いて透明基準板２１
４の下方に位置するＸＹθテーブル２０８を、Ｘ、Ｙ、
θ方向に制御して液晶表示パネル２０１を加圧しつつ、
前述のアライメントマークを基準とするアライメントを
行う。そして、ＸＹθテーブル２０８を所定の位置まで
加圧することにより、液晶表示パネル２０１のセルギャ
ップを最適に制御し、紫外線照射装置２０３によりマス
クガラス２０２をマスクとして紫外線光を照射してシー
ル剤の一括硬化を行う。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のシ
ール剤硬化装置等においては、紫外線照射装置より照射
される紫外線の中に熱線も含まれているので、基板の照
射面側と基板の保持側とで温度差が発生し、貼り合わせ
た２枚の基板の膨張の程度が異なるため、基板間にずれ
が生じるおそれがあるという問題があった。また、紫外
線照射装置と基板との間に熱線フィルタと基板保持板に
冷却機能を付加して温度コントロールをした場合でも、
熱線フィルタを設置した紫外線照射装置での照射時の基
板温度は、照射時間４０秒で基板の照射面とその反対面
で約８℃の差が生じ、シール剤にもよるが、熱線フィル
タによってカットされる波長域にシール剤自身の硬化波
長域も一部入っているため、照射時間が倍以上必要にな
り温度差が広がるという問題があった。

【０００８】また、第２の問題点として、従来のシール
剤硬化装置等においては、特に大型の基板を扱うような
場合には、照射エリアが広いため、紫外線照射装置の紫
外線照射ランプが１灯しか存在しなかったり、紫外線照
射装置のランプ寿命による影響で照射時間も一定になら
ないこともあるため、紫外線照射装置から照射される紫
外線の照度分布がばらつき、シール剤の硬化時間にずれ
が生じ、未硬化の部分が発生するおそれがあるという問
題があった。

【０００９】さらに、従来のシール剤硬化装置等におい
ては、基板の表示エリアへの紫外線による影響を防ぐた
め、基板の紫外線照射面側にマスクを重ね合わせてい
る。このマスクは、透明ガラスに紫外線を遮光する部分
に遮光膜を形成したもので、この状態で基板にマスクを
重ね合わせると、基板とマスクとの間が密接になり、基
板とマスクを分離することが困難になるという問題があ
った。尚、基板とマスクの間に透明基準板を配置する従
来例もあるが、その厚み分だけ紫外線の回り込み（反
射）が発生し、表示面への悪影響を及ぼすおそれがある
という問題があった。

【００１０】また、従来は、紫外線による影響を防止す
るにあたって、紫外線の照射エリアを狭くすることが重
要であるため、基板とマスクの重ね合わせ精度が要求さ
れるが、品種交換時に生じるマスク交換（位置合わせ）
に長時間を要するという問題もあった。

【００１１】さらに、第５の問題点として、人手作業に
より基板の供給、位置出し、回収とマスクの重ね合わせ
を行っているため、マスクの重ね合わせ時のずれによっ
て基板の品質がばらつくおそれがあった。また、各作業
に時間を要するので、量産のためには、シール剤硬化装
置が複数台必要になり、設備費用が増大するという問題
もあった。

【００１２】そこで、本発明は、上記従来のシール剤硬
化装置等における問題点に鑑みてなされたものであっ
て、貼り合わせた一対の基板間のずれを防止することが
でき、広範囲の照射エリアが存在する場合であっても一
定の紫外線の照度分布が得られ、基板とマスクを容易に
分離すること等が可能で、液晶パネルの生産効率を向上
させ、品質を向上させることも可能な液晶表示パネルの
シール剤硬化方法及び硬化装置を提供することを目的と
する。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、一対の基板の一方に液晶材
料を滴下し、他方に紫外線硬化型のシール剤を塗布し、
該一対の基板を貼り合わせ、前記シール剤に対応する部
分を残して遮光し、紫外線を照射して前記シール剤を硬
化させる液晶表示パネルのシール剤硬化方法において、
シール剤に対応する部分を残して遮光するための紫外線
遮光板を位置決めして重ね合わせ位置まで搬送し、該重
ね合わせ位置における該紫外線遮光板の位置データを記
憶して前記位置決め位置まで搬送し、一方の基板に液晶
材料を滴下し、他方の基板に紫外線硬化型のシール剤を
塗布して貼り合わされた一対の基板を位置決めして重ね
合わせ位置まで搬送し、該重ね合わせ位置における該一
対の基板の位置データを記憶し、該重ね合わせ位置にお
ける前記一対の基板の位置データと前記紫外線遮光板の
位置データとを比較して該重ね合わせ位置における前記
一対の基板の位置を調整し、該重ね合わせ位置における
前記一対の基板に、前記紫外線遮光板を前記位置決め位
置から該重ね合わせ位置まで搬送して重ね合わせ、該重
ね合わされた一対の基板及び紫外線遮光板に紫外線を照
射して前記他方の基板に塗布されたシール剤を硬化させ
ることを特徴とする。

【００１４】また、請求項２記載の発明は、一対の基板
の一方に液晶材料を滴下し、他方に紫外線硬化型のシー
ル剤を塗布し、該一つの基板を貼り合わせ、前記シール
剤に対応する部分を残して遮光し、紫外線を照射して前
記シール剤を硬化させる液晶表示パネルのシール剤硬化
装置であって、シール剤に対応する部分を残して遮光す
るための紫外線遮光板、及び一方の基板に液晶材料を滴
下し、他方の基板に紫外線硬化型のシール剤を塗布して
貼り合わされた一対の基板を位置決めする位置決め手段
と、前記紫外線遮光板及び一対の基板を、前記位置決め
位置から重ね合わせ位置まで搬送する搬送手段と、該重
ね合わせ位置における前記紫外線遮光板及び一対の基板
の位置データを記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶
された前記紫外線遮光板及び一対の基板の位置データを
比較して前記一対の基板または前記紫外線遮光板の位置
を調整する調整手段と、重ね合わされた一対の基板及び
紫外線遮光板に紫外線を照射して前記他方の基板に塗布
されたシール剤を硬化させる紫外線照射手段と、装置全
体を制御する制御手段とを備えることを特徴とする。

【００１５】そして、請求項１または請求項２記載の液
晶表示パネルのシール剤硬化方法または硬化装置によれ
ば、一対の基板及び紫外線遮光板を位置決めして重ね合
わせ位置まで搬送して両者を重ね合わせ、重ね合わせ位
置における両者の位置データを記憶し、これらの位置デ
ータを比較して両者の位置を調整することができるた
め、紫外線遮光板の重ね合わせ時のずれを最小限に抑え
ることができ、液晶表示パネルの品質のばらつきを低減
することができる。また、一対の基板及び紫外線遮光板
の位置決めから重ね合わせまでの工程を自動化すること
により、１台のシール剤硬化装置により液晶表示パネル
を量産することができる。

【００１６】請求項３記載の発明は、請求項２記載の液
晶表示パネルのシール剤硬化装置において、前記搬送手
段は、前記一対の基板を保持する保持板を備え、該保持
板は、内部に前記一対の基板の加熱冷却手段を備えるこ
とを特徴とする。

【００１７】請求項３記載の発明によれば、保持板の内
部に設けた加熱冷却手段によって一対の基板を加熱冷却
することにより、紫外線照射時に発生する基板の温度上
昇の際、基板の表裏で約５℃以上の温度差を生じさせな
いようにすることができるため、貼り合わせた一対の基
板間のずれを防止することができる。

【００１８】請求項４記載の発明は、請求項２記載の液
晶表示パネルのシール剤硬化装置において、前記紫外線
照射手段は、紫外線光量計と、紫外線発光ランプから前
記一対の基板に照射される紫外線の光量を調整する補助
ミラーとを備え、前記紫外線光量計によって測定される
紫外線光量に応じて前記補助ミラーの位置を調整するこ
とを特徴とする。

【００１９】請求項４記載の発明によれば、紫外線光量
計によって測定される紫外線光量に応じて補助ミラーの
位置を調整することにより、一定の紫外線の照度分布が
得られ、液晶表示パネルの品質を向上させることができ
る。また、広範囲のエリアを照射できるように紫外線照
射装置のランプを複数灯使用した場合でも、紫外線照射
部の内部に各々のランプに反応する紫外線光量計を設置
することにより、紫外線照射面の照度を一定にすること
ができる。紫外線照射装置のランプから発生する紫外線
の照度を紫外線光量計で感知し、照度設定値との差分を
紫外線照射装置の制御にフィードバックすることで粗調
整を行い、微調整として補助ミラーの一部の角度を可変
とすることで常に一定の照度を得ることもできる。

【００２０】請求項５記載の発明は、請求項２記載の液
晶表示パネルのシール剤硬化装置において、前記記憶手
段は、前記一対の基板及び前記紫外線遮光板を重ね合わ
せる前と重ね合わせた後で、各々に配置したアライメン
トマークを読み取る撮像手段を備えることを特徴とす
る。

【００２１】請求項５記載の発明によれば、一対の基板
及び紫外線遮光板にアライメントマークを配置し、両者
を重ね合わせる前と重ね合わせた後でアライメントマー
クを読み取ることにより、重ね合わせ状態を確認するこ
とができる。

【００２２】請求項６記載の発明は、請求項２乃至５の
いずれかに記載の液晶表示パネルのシール剤硬化装置に
おいて、前記紫外線遮光板の前記基板との接触面に紫外
線を遮光する遮光膜を成膜して該遮光膜の断面形状を溝
型とするか、または、前記紫外線遮光板と前記基板との
間にスペーサを介装したことを特徴とする。

【００２３】請求項６記載の発明によれば、紫外線遮光
板の遮光膜の断面形状を溝型とするか、紫外線遮光板の
前記基板との間にスペーサを介装したため、基板と紫外
線遮光板との間に空気の巡回層ができ、基板と紫外線遮
光板とが吸着状態（真空状態）になって分離が困難にな
ることを防止することができる。

【００２４】請求項７記載の発明によれば、請求項２乃
至６のいずれかに記載の液晶表示パネルのシール剤硬化
装置において、前記位置決め手段における前記紫外線遮
光板の位置決め位置を複数設けたことを特徴とする。

【００２５】請求項７記載の発明によれば、複数の紫外
線遮光板の位置決め位置を設けたため、液晶表示パネル
の生産途中での品種を切り替える必要性が生じた場合で
も容易に対応することができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】次に、本発明にかかる液晶表示パ
ネルのシール剤硬化方法及び硬化装置の実施の形態の具
体例を図面を参照しながら説明する。

【００２７】図１は、本発明にかかる液晶表示パネルの
シール剤硬化装置の一実施例を示し、このシール剤硬化
装置は、大きく分けて、基板１をころを介して搬送する
ローダ部３０と、アライメント機能を有し、基板１と、
この基板１の表示エリア１ｆ（図１１参照）への紫外線
による影響を防ぐためのマスク２とを重ね合わせた状態
でクランプする搬送部７０と、基板１とマスク２を個別
にＸ、Ｙ方向に位置決めする位置決め部５０と、ローダ
部３０と搬送部７０との間で基板１を搬送するととも
に、マスク２のための位置決め部５０と搬送部７０との
間でマスク２を搬送するハンドラ部４０と、基板１とマ
スク２のアライメントマーク１ｅ、２ｃ（図１１参照）
を読み取るカメラ部６０と、基板１とマスク２とを重ね
合わせた状態で紫外線を照射する紫外線の照射部８０
と、紫外線の照射が終了した基板をカセット内に収納す
るアンローダ部９０とで構成される。

【００２８】次に、図２乃至図７を参照しながら各機構
部について詳細に説明する。

【００２９】ローダ部３０は、図２に示すように、モー
タ３２と、このモータ３２の動力をベルトを介してころ
３１に伝達してコンベア方式にて基板１を搬送するコン
ベア部３０ａと、同様のコンベア機能を備え、基板１の
巾方向をクランプするクランプシリンダ３３と、基板１
を水平方向に反転させる反転シリンダ３４を備えた反転
部３０ｂとで構成される。

【００３０】図３に示すように、ハンドラ部４０は、基
板１（図１参照）を吸着するパッド４３と、パッド４３
を上下移動させる上下シリンダ４２と、基板１及びマス
ク２（図１１参照）の移動手段としてパルスモータ駆動
のスライダ４１とで構成され、基板１をローダ部３０
（図２参照）の反転部３０ｂ側のクランプ位置と搬送部
７０（図５参照）の保持板７３との間で、また、マスク
２を位置決め部５０のマスク２側の位置決め位置と搬送
部７０の保持板７３との間で吸着搬送する。

【００３１】位置決め部５０は、図４に示すように、マ
スクステージ５３上のマスク２をシリンダ５２によって
駆動される回転自在なローラ５１によって外形位置決め
する機構と、搬送部７０（図５参照）の保持板７３上の
基板１をシリンダ５２で駆動される回転自在なローラ５
１によって外形位置決めする機構とで構成される。

【００３２】図４に示すように、カメラ部６０は、ＸＹ
Ｚ方向の微調整ができるＸＹＺステージ６１の上に画像
処理のカメラ６２が取り付けられ、カメラ６２にレンズ
６３が取り付けられ、レンズ６３によって平面画像を取
り込む。同様の構成で２ヶ所にカメラ部６０が設置さ
れ、基板１及びマスク２のアライメントマーク２ｃ（図
１１参照）の位置データを取り込む。本実施例では、カ
メラ６２を水平方向に並置した例を示したが、垂直方向
に並置してもよい。

【００３３】図５及び図６に示すように、搬送部７０
は、基板１側の位置決め位置から紫外線照射部８０の照
射位置まで、基板１及びマスク２を搬送するスライドテ
ーブル７１と、このスライドテーブル７１の上に取り付
けられ、カメラ部６０で取り込んだアライメントデータ
によってＸＹθ方向に移動するＸＹθステージ７２と、
ＸＹθステージ７２の上に設けられ、加熱冷却機能を有
する保持板７３とで構成される。加熱冷却機能は、ヒー
タと恒温水による温度コントロール、またはＳＭＣ製の
加熱冷却板による制御によって発揮される。また、保持
板７３は、基板１を吸着保持するための吸着孔が穿設さ
れた吸着板７３ａと、加熱冷却機能を有する放熱板７３
ｂとで構成される。放熱板７３ｂの加熱冷却機能は、ヒ
ータ７３ｃと恒温水配管７３ｄ内を流れる恒温水による
温度制御、またはＳＭＣ製の加熱冷却板による制御によ
って発揮される。また、保持板７３の上で吸着保持した
基板１の上にマスク２をハンドラ部４０で重ね合わせた
後マスク２を保持するための爪７５と、爪７５を移動さ
せるクランプシリンダ７４とが設けられる。

【００３４】図７及び図８に示すように、紫外線照射部
８０は、搬送部７０の走行位置に開口エリアを備えるボ
ックス８１と、このボックス８１の開口エリアを塞ぐよ
うに上下移動するシャッター８２と、シャッター８２の
駆動源としてのシリンダ８３と、ボックス８１の内部に
配置され、紫外線発光ランプ８４ａを装備した紫外線灯
具８４と、紫外線灯具８４より発光する紫外線の不要な
波長域をカットするフィルタボックス８５と、照射エリ
アに均一な紫外線照度を与えるための補助ミラー８６
と、補助ミラー８６の下部に図８（ａ）の矢印方向に回
転可能に支持され、パルスモータ８８によって駆動され
る可動ミラー８７と、補助ミラー８６の下面に設けられ
た紫外線光量計８９とで構成される。

【００３５】図９に示すように、アンローダ部９０は、
基板１（図１１参照）のための収納カセット５を保持す
る受け台９１と、受け台９１を固定し図示しないパルス
モータによって駆動されるＺスライダ９２と、ローダ部
３０（図２参照）の反転部３０ｂ側のころ３１と同一高
さに配置されたころ９４にモータ９５の動力をベルトに
よって伝達するコンベア部９３とで構成され、基板１の
収納は、カセット５の上段より順次行われる。

【００３６】次に、上記構成を有するシール剤硬化装置
の動作について図１０を中心に参照しながら説明する。

【００３７】まず、ステップＳ１において、図９（ａ）
に示す受け台９１上にカセット５をセットした後、Ｚス
ライダ９２によってカセット５の最上段位置がころ９４
の搬送位置になるように受け台９１を下降させる。

【００３８】次に、ステップＳ２において、図４に示す
ように、マスクステージ５３の上にセットしたマスク２
を、シリンダ５２によって駆動される回転自在なローラ
５１によって外形位置決めする。そして、図３のハンド
ラ部４０のパッド４３によってマスク２を図５に示す搬
送部７０の保持板７３上に搬送する。この状態で保持板
７３がマスク２を吸着保持した後、図４のカメラ部６０
のカメラ６２によってマスク２のアライメントマーク２
ｃの位置を画像処理し、アライメントマーク２ｃの重心
点かパターンマッチングによってＸＹ座標の位置データ
を取り込む。このとき、面積データも一緒に取り込む。
アライメントマーク２ｃの位置が読み取られたマスク２
は、前記動作の逆の動作によって元の位置に戻り、外形
位置決めされる。

【００３９】次に、ステップＳ３において、図２のコン
ベア部３０ａのころ３１の上に投入した基板１を、モー
タ３２の駆動によって反転部３０ｂの所定位置まで搬送
し、クランプシリンダ３３によって基板１の巾方向をク
ランプする。その後、図３のハンドラ部４０のパッド４
３によって図５の搬送部７０の保持板７３上に搬送す
る。図４において、基板１をシリンダ５２によって駆動
される回転自在なローラ５１によって外形位置決めを行
い、図５の保持板７３によって基板１を吸着保持する。

【００４０】そして、ステップＳ４において、図４のカ
メラ部６０のカメラ６２によって基板１のアライメント
マーク１ｅの位置を画像処理し、アライメントマーク１
ｅの重心点によってＸＹ座標の位置データを取り込む。
次に、前記マスク２のアライメントマーク位置との差分
だけ、図５のＸＹθステージ７２によって基板１をＸＹ
θ方向に移動させる。

【００４１】次に、ステップＳ５において、アライメン
ト動作の終了した基板１上に外形位置決めをしたマスク
２を図３のハンドラ部４０のパッド４３によって搬送し
て重ね合わせる。そして、ステップＳ６において、この
状態で、図５のクランプシリンダ７４で駆動される爪７
５によってマスク２をクランプする。図４のカメラ部６
０のカメラ６２によって、基板１とマスク２が重ね合わ
された状態（図１１（ｃ）参照）のアライメントマーク
１ｅ、２ｃの画像処理を行う。マスク２のアライメント
マーク２ｃにマスクをかけた時の面積データとマスク２
のアライメント動作によって取り込んだ面積データとを
比較し、面積の増加によって基板１とマスク２の重ね合
わせ位置を確認する。例えば、重ね合わせ状態が図１１
（ｄ）の状態であった場合には、基板１のアライメント
マーク１ｅの形状が丸形から丸形の下側が削られた形状
になる。すなわち、面積データが減少しているので、基
板１とマスク２の重ね合わせがずれたことになる。

【００４２】ステップＳ６において基板１とマスク２と
が良好に重ね合わされている場合には、ステップＳ７に
移動し、基板１を図５の搬送部７０のスライドテーブル
７１によって紫外線照射位置まで移動し、図７のシリン
ダ８３で駆動されるシャッター８２を下降させ、紫外線
照射時に紫外線の漏れを防ぐ。紫外線照射位置に移動し
た基板１に、事前に設定された積算光量値（または照射
時間）に達するまで紫外線照射部８０の紫外線灯具８４
によって紫外線を照射する。補助ミラー８６の側面に取
り付けた紫外線光量計８９によって１秒毎の照度値を測
定し、基板１のシール剤１ｂが未硬化になることを防止
する。

【００４３】また、紫外線照射時に発生する温度上昇に
合わせて加熱冷却機能を有する保持板７３によって基板
１の吸着面側を温め、基板１の表裏の温度差をなくして
いる。照度分布は、紫外線灯具８４の配置によって多少
の違いは発生するが、図８（ａ）の状態のように補助ミ
ラー８６と可動ミラー８７の内面が同一位置の場合、そ
の照度分布は、図８（ｂ）のようになり、両端（紫外線
発光ランプ８４ａと平行な方向）で照度が中心より高い
傾向になる。この現象は、可動ミラー８７の部分で反射
する紫外線が、基板１の両端部分に集光するためと考え
られる。図８（ａ）の矢印方向にパルスモータ８８によ
って可動ミラー８７を移動させ紫外線の集光を減らす動
作をすることで図８（ｄ）の照度分布が得られ、約５％
の改善が達成される。

【００４４】次に、ステップＳ８において、重ね合わせ
た基板１、マスク２を、図５の搬送部７０のスライドテ
ーブル７１によって元の位置に戻し、爪７５を元の位置
に戻し、マスク２を図３のハンドラ部４０によって、図
４の位置決め部５０のマスクステージ５３上に戻す。そ
して、マスク２を、位置決め部５０のローラ５１によっ
て外形位置決めする。マスク２を分離する際に、マスク
２の遮光膜２ｂの形状が複数の溝型になっていることで
基板１との間に空気の層ができ分離しやすくなってい
る。また、図１１（ｂ）に示したスペーサ２ｄを基板１
とマスク２との間に介装することによって同様の効果を
得ることができる。

【００４５】次に、ステップＳ９において、図５の搬送
部７０のＸＹθステージ７２が元の位置に戻った後、マ
スク２を分離した基板１を、図３のハンドラ部４０のパ
ッド４３によって図２の反転部３０ｂのころ３１上に搬
送する。クランプシリンダ３３で基板１の巾方向をクラ
ンプし、搬送方向がアンローダ部９０（図９参照）の側
に向くように反転シリンダ３４によって反転する。反転
部３０ｂのモータ３２とアンローダ部９０のモータ９５
を駆動し、各々のころ３１、９４を回転し、基板１の搬
送を行い、カセット５に収納する。基板１の収納が終了
すると、Ｚスライダ９２でカセット５を１ピッチ上昇さ
せ、次の基板１の収納に備える。

【００４６】尚、上記実施例においては、図１１（ｂ）
に示すように、マスク２を基板１に重ね合わせたときに
接触する面にスペーサ２ｄを塗布するが、耐熱製のテー
プを使用することもできる。この際、テープの厚さは、
０．１ｍｍ以下のものが望ましい。テープの貼付位置
は、遮光膜２ｂ内のエリアであればどこでもよいが、図
５の搬送部７０の爪７５がクランプしたときにガラス２
ａが割れない位置にするのが望ましい。

【００４７】また、図１のマスク２の位置決め位置を複
数設置することにより、品種の混在生産が可能になる。
設置方向は、ハンドラ４０の搬送方向が望ましいが、そ
の直角方向でもよい。これは、直角方向に移動するスラ
イダを設置することで可能になる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる液
晶表示パネルのシール剤硬化方法及び硬化装置によれ
ば、貼り合わせた一対の基板間のずれの防止、一定の紫
外線の照度分布、基板とマスクとの容易な分離等が可能
となり、液晶パネル等の生産効率を向上させ、品質を向
上させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるシール剤硬化装置の一実施例を
示す斜視図である。

【図２】図１のシール剤硬化装置のローダ部を示す斜視
図である。

【図３】図１のシール剤硬化装置のハンドラ部を示す斜
視図である。

【図４】図１のシール剤硬化装置の位置決め部及びカメ
ラ部を示す斜視図である。

【図５】図１のシール剤硬化装置の搬送部を示す斜視図
である。

【図６】（ａ）は図５の搬送部を示す断面図、（ｂ）は
（ａ）の放熱板を示す断面図である。

【図７】図１のシール剤硬化装置の紫外線照射部を示す
斜視図である。

【図８】（ａ）は図７の紫外線照射部を示す断面図、
（ｂ）は（ａ）の状態での照度分布を示すグラフ、
（ｃ）は図７の紫外線照射部の可動ミラーの動作説明
図、（ｄ）は（ｃ）の状態での照度分布を示すグラフで
ある。

【図９】図１のシール剤硬化装置のアンローダ部を示す
斜視図である。

【図１０】図１のシール剤硬化装置の動作フローを示す
図である。

【図１１】本発明にかかるシール剤硬化装置で取り扱う
基板及びマスクを示す図であって、（ａ）は基板の平面
図、（ｂ）はマスクの平面図、（ｃ）及び（ｄ）は基板
及びマスクのアライメントマークを示す平面図、（ｅ）
は（ｂ）の部分拡大図である。

【図１２】従来の液晶表示パネルの滴下工法を説明する
ための製造工程図である。

【図１３】従来のシール剤硬化装置の一例を示す構成図
である。

【図１４】従来のシール剤硬化装置の他の例を示す断面
図である。

【符号の説明】

１ 基板 １ａ 基板 １ｂ シール剤 １ｃ 液晶材料 １ｄ 基板 １ｅ アライメントマーク １ｆ 表示エリア ２ マスク ２ａ ガラス ２ｂ 遮光膜 ２ｃ アライメントマーク ２ｄ スペーサ ５ 収納カセット ３０ ローダ部 ３０ａ コンベア部 ３０ｂ 反転部 ３１ ころ ３２ モータ ３３ クランプシリンダ ３４ 反転シリンダ ４０ ハンドラ部 ４１ スライダ ４２ 上下シリンダ ４３ パッド ５０ 位置決め部 ５１ ローラ ５２ シリンダ ５３ マスクステージ ６０ カメラ部 ６１ ＸＹＺステージ ６２ カメラ ６３ レンズ ７０ 搬送部 ７１ スライドテーブル ７２ ＸＹθステージ ７３ 保持板 ７３ａ 吸着板 ７３ｂ 放熱板 ７３ｃ ヒータ ７３ｄ 恒温水配管 ７４ クランプシリンダ ７５ 爪 ８０ 紫外線照射部 ８１ ボックス ８２ シャッター ８３ シリンダ ８４ 紫外線灯具 ８４ａ 紫外線発光ランプ ８５ フィルタボックス ８６ 補助ミラー ８７ 可動ミラー ８８ パルスモータ ８９ 紫外線光量計 ９０ アンローダ部 ９１ 受け台 ９２ Ｚスライダ ９３ コンベア部 ９４ ころ ９５ モータ

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA01 FA03 FA04 FA16 FA17 FA24 FA30 GA01 HA01 HA03 MA20 2H089 NA05 NA37 NA39 NA44 NA45 NA60 QA12 QA16 TA01 TA04 TA06 TA13

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の基板の一方に液晶材料を滴下し、
   他方に紫外線硬化型のシール剤を塗布し、該一対の基板
   を貼り合わせ、前記シール剤に対応する部分を残して遮
   光し、紫外線を照射して前記シール剤を硬化させる液晶
   表示パネルのシール剤硬化方法において、 シール剤に対応する部分を残して遮光するための紫外線
   遮光板を位置決めして重ね合わせ位置まで搬送し、該重
   ね合わせ位置における該紫外線遮光板の位置データを記
   憶して前記位置決め位置まで搬送し、 一方の基板に液晶材料を滴下し、他方の基板に紫外線硬
   化型のシール剤を塗布して貼り合わされた一対の基板を
   位置決めして重ね合わせ位置まで搬送し、該重ね合わせ
   位置における該一対の基板の位置データを記憶し、 該重ね合わせ位置における前記一対の基板の位置データ
   と前記紫外線遮光板の位置データとを比較して該重ね合
   わせ位置における前記一対の基板の位置を調整し、 該重ね合わせ位置における前記一対の基板に、前記紫外
   線遮光板を前記位置決め位置から該重ね合わせ位置まで
   搬送して重ね合わせ、 該重ね合わされた一対の基板及び紫外線遮光板に紫外線
   を照射して前記他方の基板に塗布されたシール剤を硬化
   させることを特徴とする液晶表示パネルのシール剤硬化
   方法。
2. 【請求項２】 一対の基板の一方に液晶材料を滴下し、
   他方に紫外線硬化型のシール剤を塗布し、該一つの基板
   を貼り合わせ、前記シール剤に対応する部分を残して遮
   光し、紫外線を照射して前記シール剤を硬化させる液晶
   表示パネルのシール剤硬化装置であって、 シール剤に対応する部分を残して遮光するための紫外線
   遮光板、及び一方の基板に液晶材料を滴下し、他方の基
   板に紫外線硬化型のシール剤を塗布して貼り合わされた
   一対の基板を位置決めする位置決め手段と、 前記紫外線遮光板及び一対の基板を、前記位置決め位置
   から重ね合わせ位置まで搬送する搬送手段と、 該重ね合わせ位置における前記紫外線遮光板及び一対の
   基板の位置データを記憶する記憶手段と、 該記憶手段に記憶された前記紫外線遮光板及び一対の基
   板の位置データを比較して前記一対の基板または前記紫
   外線遮光板の位置を調整する調整手段と、 重ね合わされた一対の基板及び紫外線遮光板に紫外線を
   照射して前記他方の基板に塗布されたシール剤を硬化さ
   せる紫外線照射手段と、 装置全体を制御する制御手段とを備えることを特徴とす
   る液晶表示パネルのシール剤硬化装置。
3. 【請求項３】 前記搬送手段は、前記一対の基板を保持
   する保持板を備え、該保持板は、内部に前記一対の基板
   の加熱冷却手段を備えることを特徴とする請求項２記載
   の液晶表示パネルのシール剤硬化装置。
4. 【請求項４】 前記紫外線照射手段は、紫外線光量計
   と、紫外線発光ランプから前記一対の基板に照射される
   紫外線の光量を調整する補助ミラーとを備え、前記紫外
   線光量計によって測定される紫外線光量に応じて前記補
   助ミラーの位置を調整することを特徴とする請求項２記
   載の液晶表示パネルのシール剤硬化装置。
5. 【請求項５】 前記記憶手段は、前記一対の基板及び前
   記紫外線遮光板を重ね合わせる前と重ね合わせた後で、
   各々に配置したアライメントマークを読み取る撮像手段
   を備えることを特徴とする請求項２記載の液晶表示パネ
   ルのシール剤硬化装置。
6. 【請求項６】 前記紫外線遮光板の前記基板との接触面
   に紫外線を遮光する遮光膜を成膜して該遮光膜の断面形
   状を溝型とするか、または、前記紫外線遮光板と前記基
   板との間にスペーサを介装したことを特徴とする請求項
   ２乃至５のいずれかに記載の液晶表示パネルのシール剤
   硬化装置。
7. 【請求項７】 前記位置決め手段における前記紫外線遮
   光板の位置決め位置を複数設けたことを特徴とする請求
   項２乃至６のいずれかに記載の液晶表示パネルのシール
   剤硬化装置。