KR20100079840A - 자외선 경화장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 자외선 경화장치에 관한 것으로, 본 발명의 자외선 경화장치는 기판에 도포된 실링재를 경화하기 위해 상기 기판의 상부에 위치하는 적어도 하나 이상의 경화모듈, 상기 경화모듈이 설치되어 상기 경화모듈을 상기 기판에 도포된 상기 실링재의 경화위치까지 제 1 방향으로 이동 가능하도록 신축되는 제 1 방향 이동부, 상기 제 1 방향 이동부가 연결되어 상기 제 1 방향 이동부가 상기 실링재를 경화시키기 위해 제 2 방향으로 이동 가능하도록 신축되는 제 2 방향 이동부를 포함함으로써, 다른 크기의 기판에 대해서도 탄력적으로 경화공정을 실시할 수 있어 편의성 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

자외선 경화장치{ULTRA VIOLET CURING APPARATUS}
본 발명은 자외선 경화장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 합착 대상 기판에 도포된 실링재를 경화함에 있어, 다른 크기의 기판에 대해서도 탄력적으로 사용이 가능하도록 하여 사용의 편의성이 증대되는 자외선 경화장치에 관한 것이다.
엘시디(LCD) 평판표시장치는 컬러필터기판과, TFT 기판을 각각 별도로 제작한 후 두 기판을 합착함으로써 완성된다. 컬러필터(Color filter)기판에는 블랙매트릭스 및 컬러필터와 같은 패턴(Pattern)이 형성되어 있다. TFT 기판에는 TFT 회로와 TFT 회로에 의하여 동작하는 액정이 도포되어 있다.
한편, 두 기판의 합착을 위해서는 이들의 사이에 실링재(SEALANT)가 위치하고, 이를 경화시키는 경화공정이 실시되는데, 이때 사용되는 장치를 자외선 경화장치라 한다.
자외선 경화장치는 별도의 장치인 경우가 있으며, 이 경우 두 기판을 합착하는 합착장치 내에서 가 경화를 실시한 후 독립된 장치에서 완전 경화를 실시하게 된다. 경화장치는 기판의 사이즈(size)가 대형화됨에 따라 동반하여 대형화 되는 추세이다. 그러나 종래의 경화장치는 하나의 특정 기판에 대해 자외선 경화가 가능한 형태로 제작되어 있어, 다른 크기의 기판에 대한 공정이 어려운 문제가 있다.
본 발명은 다른 크기의 기판에 대해서도 탄력적인 자외선 경화가 가능한 자외선 경화장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 자외선 경화장치는 자외선 경화장치에 있어서, 기판에 도포된 실링재를 경화하기 위해 상기 기판의 상부에 위치하는 적어도 하나 이상의 경화모듈, 상기 경화모듈이 설치되어 상기 경화모듈을 상기 기판에 도포된 상기 실링재의 경화위치까지 제 1 방향으로 이동 가능하도록 신축되는 제 1 방향 이동부, 상기 제 1 방향 이동부가 연결되어 상기 제 1 방향 이동부가 상기 실링재를 경화시키기 위해 제 2 방향으로 이동 가능하도록 신축되는 제 2 방향 이동부를 포함한다.
상기 제 1 방향 이동부는, 상기 경화모듈이 설치되는 제 1 이동프레임, 상기 제 1 이동프레임이 신축 가능하도록 지지하는 제 1 고정프레임, 상기 경화모듈을 상기 제 1 이동프레임 상에서 이동 가능하게 하는 제 1 구동 액추에이터, 상기 제 1 고정프레임 상에서 상기 제 1 이동프레임을 신축 가능하게 하는 제 1 신축 액추 에이터를 포함하고, 상기 제 2 방향 이동부는 상기 제 1 이동 프레임 또는 상기 제 1 고정프레임 중 어느 하나에 연결되어 수직 상태를 이루며 신축되는 제 2 이동프레임, 상기 제 2 이동프레임이 신축 가능하도록 지지하는 제 2 고정프레임, 상기 제 2 이동프레임을 상기 제 2 고정프레임 상에서 이동 가능하게 하는 제 2 구동 액추에이터, 상기 제 2 고정 프레임에 상에서 상기 제 2 이동프레임을 신축 가능하게 하는 제 2 신축 액추에이터를 포함한다.
상기 제 1 방향 이동부 또는 상기 제 2 방향 이동부에는 상기 자외선램프의 높이를 조절하기 위한 높이 조절장치를 포함한다.
상기 제 1 방향 이동부는 상기 기판의 X축 방향을 따라 이동하고, 상기 제 2 방향 이동부는 상기 기판의 Y축 방향을 따라 이동할 수 있으며, 상기 제 1 방향 이동부는 상기 기판의 Y축 방향을 따라 이동하고, 상기 제 2 방향 이동부는 상기 기판의 X축 방향을 따라 이동할 수 있다.
상기 경화모듈은 자외선이 발생되는 자외선램프, 상기 자외선램프의 하부측에 위치하는 광학 렌즈를 포함하며, 다른 형태로 상기 자외선램프와 상기 광학렌즈의 사이에 위치하는 마스크를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 자외선 경화장치는 다른 크기의 기판에 대해서도 탄력적으로 경화공정을 실시할 수 있어 편의성 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.
도 1은 본 실시예에 따른 자외선 경화장치를 도시한 사시도이고, 도 2 및 도 3은 본 실시예에 따른 자외선 경화장치의 주요부분 확대 사시도이다.
도 1내지 도 3에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 자외선 경화장치(100)는 기판(G)에 도포된 실링재(S, Sealant)를 경화하기 위해 기판(G)의 상부에 위치하는 적어도 하나 이상의 경화모듈(210)을 구비한다.
경화모듈(210)은 경화모듈(210)이 설치되어, 기판(G)에 도포된 실링재(S)의 경화위치까지 제 1 방향으로 이동 가능하도록 신축되는 제 1 방향 이동부(200)를 구비하고 있으며, 경화모듈(210)을 기판(G)에 대해 제 2 방향으로 이동 가능하도록 신축되는 제 2 방향 이동부(300)를 구비한다.
제 2 방향 이동부(300)는 제 1 방향 이동부(200)에 수직상태로 설치된다.
제 1 방향 이동부(200)는 기판(G)의 상부에서 경화모듈(210)이 이동 가능하도록 설치되는 제 1 이동프레임(212)과 제 1 이동 프레임(212)이 신축 가능하도록 지지하는 제 1 고정 프레임(214)을 구비한다.
제 1 이동프레임(212)에는 경화모듈(210)을 제 1 이동프레임(212) 상에서 이동 가능하게 하는 제 1 구동 액추에이터(216, M1)가 설치된다. 제 1 구동 액추에이터(216)는 모터 등을 사용할 수 있다.
또한, 제 1 이동프레임(212)에는 제 1 구동 액추에이터(216)의 구동력을 전달하기 위한 감속기(400)가 설치되어 있으며, 감속기(400)에는 경화모듈(210)이 연 결되어 이동할 수 있도록 볼 스크루(Ball screw)와 같은 형태의 구동축(410)이 설치된다.
제 1 고정프레임(214)에는 제 1 고정프레임(214) 상에서 제 1 이동프레임(212)을 신축 가능하게 구동시키기 위한 제 1 신축 액추에이터(218, M2)가 설치되며, 제 1 이동프레임(112)이 얹혀지는 무빙블록(280, Moving Block)을 구비한다.
제 1 신축 액추에이터(218)는 감속기(400)에 연결되어 동력을 전달하고, 감속기(400)에는 볼 스크루와 같은 형태의 구동축(410)이 연결되며, 구동축(410)에는 제 1 이동프레임(212)이 설치된 무빙블록(280)이 연결되어 제 1 이동프레임(212)은 제 1 고정프레임(214) 상에서 이동 가능하게 된다.
그리고 제 2 방향 이동부(300)는 경화모듈(210)을 제 1 방향 이동부(200)와 수직한 방향으로 이동시키기 위한 것으로, 제 1 이동 프레임(212) 또는 제 1 고정프레임(214) 중 어느 하나에 연결되는 제 2 이동프레임(312)을 구비한다. 본 실시예에서는 제 2 이동프레임(312)에 제 1 고정프레임(214)이 연결된 상태로 설명하기로 한다.
제 2 이동프레임(312)에는 제 1 고정 프레임(214)이 제 2 이동프레임(312) 상에서 이동할 수 있도록 제 2 구동 액추에이터(316, M3)가 설치된다. 제 2 이동 프레임(312)에는 상술한 바와 같은 무빙블록(280)이 구비되어 제 1 고정프레임(214)이 설치되며, 감속기(400) 및 구동축(410) 또한 동일한 형태가 구비된다.
제 2 이동프레임(312)은 제 2 고정프레임(314)에 설치되어 제 2 방향으로 신 축되며, 이를 위해 제 2 고정프레임(314)에는 제 2 신축 액추에이터(318, M4)가 설치된다.
제 1 방향 이동부(200) 및 제 2 방향 이동부(300)는 평면상에서 상호 수직하는 상태로 이동하면 되는 형태이면 어떠한 형태로도 가능하다. 예를 들어, 제 1 방향 이동부(200)가 X방향을 이동하게 설치한다면 제 2 방향 이동부(300)는 Y방향을 이동하도록 설치하면 되고, 제 1 방향 이동부(200)가 Y방향을 따라 이동하게 한다면 제 2 방향 이동부(300)는 X방향을 이동하는 형태로 설치하여 사용하면 되는 것이다.
이하에서는 본 실시예에 따른 자외선 경화장치(100)의 작동에 대하여 도 4a 및 도 4b와 도 5a 및 도 5b를 통해 설명한다.
도 4a 및 도 4b의 경우 기판(G1)은 비교적 작은 크기(size)의 기판에 해당된다. 기판(G1)이 경화를 위해 위치하게 되면, 크기에 따라 제 1 방향 이동부(200)와 제 2 방향 이동부(300)가 이동해야 하는 거리에 해당하도록 설정된다. 그 거리는 작은 크기의 기판(G1)의 실링재(S1,S1') 사이의 거리에 해당한다. 도 4a와 같은 경우 경화모듈(210)은 제 1 방향 이동부(200)의 제 1 이동 프레임(212) 상에서 이동하면 되고, 제 2 방향 이동부(300)의 제 2 이동 프레임(312) 상에서 이동하며 경화를 실시하면 된다.
도 4a와 같이 기판(G1)이 위치하면, 경화모듈(210)은 기판(G1)의 어느 한쪽 실링재(S1) 부분부터 경화를 시작하게 된다. 이후 제 1 구동 액추에이터(216)의 작 동으로 우측으로(도시된 도면 기준) 이동하며 나머지 실링재(S1')까지 경화하게 된다.
이렇게 하여 제 1 방향 예를 들어, X방향에 대한 경화가 완료되면, 제 2 방향 이동부(300)의 제 2 이동 프레임(312)에 설치된 제 1 고정 프레임(214)은 제 2 구동 액추에이터(316)의 작동으로 제 1 방향에 수직한 Y 방향의 실링재 부분을 경화하게 된다.
도 5a 및 도 5b와 같이 크기가 큰 기판(G2)일 경우 경화모듈(210)은 제 1 방향 이동부(200)의 제 1 이동 프레임(212) 및 제 1 고정 프레임(214) 상에서 이동하게 되고, 제 2 방향 이동부(300)의 제 2 이동 프레임(312) 및 제 2 고정 프레임(314) 상에서 이동하게 된다.
도 5a에서와 같이 경화모듈(210)은 기판(G2)의 어느 한쪽 실링재 부분(S2) 상에서 경화를 시작하게 된다. 이후 제 1 구동 액추에이터(216)의 작동으로 제 1 이동 프레임(212) 상에서 이동하며(도시된 도면을 기준으로 우측) 실링재를 경화한다. 제 1 구동 액추에이터(216)가 작동하여 제 1 이동 프레임(212)의 마지막 부분까지 경화모듈(210)이 이동하게 되면, 제 1 신축 액추에이터(218)가 작동하여 제 1 이동 프레임(212)을 이동시키고, 이에 따라 경화모듈(210)은 계속해서 경화를 하여 도 5b와 같이 기판(G2)의 다른 실링재 부분(S2')까지 경화를 하게 된다.
다른 방법으로 먼저 제 1 신축 액추에이터(218)를 작동시켜 제 1 이동 프레임(212)이 이동할 수 있도록 하여 경화를 시작하고, 제 1 이동 프레임(212)이 제 1 고정 프레임(214)의 마지막 부분까지 이동하게 될 경우 제 1 구동 액추에이터(216)를 작동시켜 경화모듈(210)을 이동시키는 방법이 있을 수 있다.
제 2 방향 이동부(300)는 제 1 방향 이동부(200)의 작동 후 또는 제 1 방향 이동부(200) 보다 먼저 작동시킬 수 있다.
이 경우 제 1 고정 프레임(214)을 이동시키기 위한 제 2 구동 액추에이터(316)를 작동시켜 제 2 이동 프레임(312) 상에서 제 1 고정 프레임(214)을 제 2 방향으로 이동시키며 경화를 실시하게 된다.
제 1 고정 프레임(214)이 제 2 이동 프레임(312)의 마지막 부분에 이를 경우 제 2 신축 액추에이터(318)를 작동시켜 제 2 이동 프레임(312)이 제 2 고정 프레임(314) 상에서 이동하도록 하여 제 1 고정 프레임(214)을 이동시키게 된다.
도 6은 본 실시예의 자외선 경화장치(100)에서 경화모듈(210)을 나타낸 것으로, 자외선램프(610)와 광학렌즈(230)를 포함한 형태를 나타낸 것이다. 이 경우 자외선램프(610)는 여러 개를 사용하여 기판에 대응하도록 할 수 있다.
도 7은 다른 형태의 경화모듈(210)을 나타낸 것으로, 챔버(500)의 내측 또는 외측에 설치되는 자외선램프(600), 자외선램프(600)의 하부측에 설치되어 자외선의 일정부분이 투과되도록 패턴(800)이 형성된 마스크(700) 및 패턴을 통과한 자외선의 초점을 집중시키기 위한 광학렌즈(230)를 포함한 형태를 나타낸 것이다. 이 경우 자외선램프(600)는 면 발광 형태를 사용하여 기판의 전체 면적에 대응할 수 있 다. 미설명 부호 900은 기판이 안착되는 스테이지이다.
도 1은 본 실시예에 따른 자외선 경화장치의 사시도이다
도 2 및 도 3은 본 실시예에 따른 자외선 경화장치의 주요부분 확대 사시도이다.
도 4a, 도 4b, 도 5a 및 도 5b는 본 실시예에 따른 자외선 경화장치의 작동상도이다.
도 6 및 도 7은 본 실시예에 따른 자외선 경화장치 중 경화모듈을 나타낸 다른 실시예이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
201 : 경화모듈 212 : 제 1 이동 프레임
214 : 제 1 고정 프레임 216 : 제 1 구동 액추에이터
218 : 제 1 신축 액추에이터 312 : 제 2 이동 프레임
314 : 제 2 고정 프레임 316 : 제 2 구동 액추에이터
318 : 제 2 신축 액추에이터

Claims (6)

  1. 자외선 경화장치에 있어서,
    기판에 도포된 실링재를 경화하기 위해 상기 기판의 상부에 위치하는 적어도 하나 이상의 경화모듈;
    상기 경화모듈이 설치되어 상기 경화모듈을 상기 기판에 도포된 상기 실링재의 경화위치까지 제 1 방향으로 이동 가능하도록 신축되는 제 1 방향 이동부; 및
    상기 제 1 방향 이동부가 연결되어 상기 제 1 방향 이동부가 상기 실링재를 경화시키기 위해 제 2 방향으로 이동 가능하도록 신축되는 제 2 방향 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 방향 이동부는
    상기 경화모듈이 설치되는 제 1 이동프레임,
    상기 제 1 이동프레임이 신축 가능하도록 지지하는 제 1 고정프레임,
    상기 경화모듈을 상기 제 1 이동프레임 상에서 이동 가능하게 하는 제 1 구동 액추에이터,
    상기 제 1 고정프레임 상에서 상기 제 1 이동프레임을 신축 가능하게 하는 제 1 신축 액추에이터를 포함하고,
    상기 제 2 방향 이동부는 상기 제 1 이동 프레임 또는 상기 제 1 고정프레임 중 어느 하나에 연결되어 수직 상태를 이루며 신축되는 제 2 이동프레임,
    상기 제 2 이동프레임이 신축 가능하도록 지지하는 제 2 고정프레임,
    상기 제 2 이동프레임을 상기 제 2 고정프레임 상에서 이동 가능하게 하는 제 2 구동 액추에이터,
    상기 제 2 고정 프레임에 상에서 상기 제 2 이동프레임을 신축 가능하게 하는 제 2 신축 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 방향 이동부는 상기 기판의 X축 방향을 따라 이동하고, 상기 제 2 방향 이동부는 상기 기판의 Y축 방향을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 방향 이동부는 상기 기판의 Y축 방향을 따라 이동하고, 상기 제 2 방향 이동부는 상기 기판의 X축 방향을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 경화모듈은 자외선이 발생되는 자외선램프, 상기 자외선램프의 하부측에 위치하는 광학 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 경화모듈은 자외선램프, 상기 자외선램프의 하부측에 위치하는 광학렌즈, 상기 자외선램프와 상기 광학렌즈의 사이에 위치하는 마스크를 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선 경화장치.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160021470A (ko) 2014-08-18 2016-02-26 강우석 자외선 경화장치
CN105824154A (zh) * 2016-05-31 2016-08-03 京东方科技集团股份有限公司 一种封框胶固化装置和使用方法
KR20210120130A (ko) * 2014-01-21 2021-10-06 카티바, 인크. 전자 장치 인캡슐레이션을 위한 기기 및 기술
US11633968B2 (en) 2008-06-13 2023-04-25 Kateeva, Inc. Low-particle gas enclosure systems and methods
US11926902B2 (en) 2008-06-13 2024-03-12 Kateeva, Inc. Method and apparatus for load-locked printing

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100746828B1 (ko) * 2001-05-15 2007-08-07 엘지전자 주식회사 유기 전계발광 소자의 봉지장치 및 방법
KR100609055B1 (ko) * 2003-07-02 2006-08-09 삼성전자주식회사 Ｌｃｄ기판의 노광 장치

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11633968B2 (en) 2008-06-13 2023-04-25 Kateeva, Inc. Low-particle gas enclosure systems and methods
US11926902B2 (en) 2008-06-13 2024-03-12 Kateeva, Inc. Method and apparatus for load-locked printing
KR20210120130A (ko) * 2014-01-21 2021-10-06 카티바, 인크. 전자 장치 인캡슐레이션을 위한 기기 및 기술
US11489119B2 (en) 2014-01-21 2022-11-01 Kateeva, Inc. Apparatus and techniques for electronic device encapsulation
KR20160021470A (ko) 2014-08-18 2016-02-26 강우석 자외선 경화장치
CN105824154A (zh) * 2016-05-31 2016-08-03 京东方科技集团股份有限公司 一种封框胶固化装置和使用方法
CN105824154B (zh) * 2016-05-31 2018-12-25 京东方科技集团股份有限公司 一种封框胶固化装置和使用方法

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