KR100235169B1 - 액티브 매트릭스 기판 - Google Patents

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KR100235169B1
KR100235169B1 KR1019960033915A KR19960033915A KR100235169B1 KR 100235169 B1 KR100235169 B1 KR 100235169B1 KR 1019960033915 A KR1019960033915 A KR 1019960033915A KR 19960033915 A KR19960033915 A KR 19960033915A KR 100235169 B1 KR100235169 B1 KR 100235169B1
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히로히꼬 니시끼
다까유끼 시마다
아쯔시 반
나오후미 곤도
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마찌다 가쯔히꼬
샤프 가부시키가이샤
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Abstract

액티브 매트릭스 기판에는, 절연성 기판 위에 형성된 게이트 배선 및 데이터 배선 각각의 일단측에 게이트 배선용 멀티 단락 배선으로 이루어진 게이트 베선용 멀티단락 배선군과, 데이터 배선용 멀티 단락 배선으로 이루어진 데이터 배선용 멀티 단락 배선군이 형성되어 있다.
각 게이트 배선과 각 게이트 배선용 멀티 단락 배선은, 인접하는 배선 끼리가 다른 게이트 배선용 멀티 단락 배선으로 단락하도록 접속되어 있다.
표시 패널의 보조 용량의 방시에 의하지 않고, 게이트 배선간이나 데이터 배선간의 리크 불량 까지도 판별할 수 있는 전기적 검사나, 결함의 수정, 수정후 수정 여부의 판정을 용이하면서 저렴하게 행하는 것이 가능하며, 정전기 대책을 충분히 행할 수가 있다.

Description

액티브 매트릭스 기판
본 발명은 액정 표시 장치 등에 이용되는 액티브 매트릭스 기판에 관한 것으로, 특히 절연성 기판상에 각각 복수개의 게이트 배선과 데이터 배선이 상호 교차되어 배치되며, 각 교차 부분에 화소 구동 소자가 배치되어 있는 액티브 매트릭스 기판에 관한 것이다.
액정 표시 장치로서는, 소위 액티브 매트릭스 기판을 이용한 것이 알려져 있다.
액티브 매트릭스 기판이라는 것은, 상호 교차하는 복수개씩의 게이트 배선과 데이터 배선과 함께 화소 구동 소자를 기판에 형성한 것이다.
제5도에서, 종래의 액티브 매트릭스 기판의 개략 구성을 나타낸다.
액티브 매트릭스 기판은, 글래스 등의 투명한 절연성 기판(30)을 가지고 있다.
이 절연성 기판(30) 위에 복수개의 게이트 배선(31a…)으로 이루어진 게이트 배선군(31)과, 복수개의 데이터 배선(32a…)으로 이루어진 데이터 배선군(32)이 상호 교차한 상태에서 배설되어 있다.
기판 중앙부에는, 표시 영역(2점 쇄선)(33)이 형성되어 있다.
이 표시 영역(2점 쇄선)(33)은 게이트 배선(31)과 데이터 배선(32a)의 각 교차 부분에 형성된 화소 구동 소자를 가지고 있다.
이 표시 영역(33)의 구체적인 구성을, 본 발명의 설명도인 제3a도 및 3(b)를 참조하여 설명한다.
제3a도는 화소 TFT(24)의 평면도이다.
화소 TFT(24)는 일 화소부분의 화소 구동 소자이다.
제3b도는 제3a도의 X-X′선에서 화살표 방향으로 본 단면도이다.
이와 같은 화소 TFT(24)는 이하와 같이 하여 형성된다.
먼저, 절연성 기판(8)상에 Ta(탄탈륨) 박막 등으로 게이트 배선(la)이 형성된다.
이어서, 게이트 절연막(9), TFT 활성층으로 이루어진 비정형 실리콘층(10)이 순서대로 형성된다.
그 후, 정형 실리콘층(10)이 패터닝된다.
다음에 TFT(24)에 인접하는 영역에 ITO(인듐 주석 산화물)막을 이용하여 화소 전극(11)이 형성된다.
그후에, 화소 TFT(24)에 인접하는 데이터 배선(2a), 소스 전극(12), 드레인 전극(130으로 이루어지는 Ta박막 등이 형성되어 패터닝된다.
그런데, 액티브 매트릭스 기판에는, 표시 장치에 조립되기까지의 동안에 핸들링 등으로 발생된 정전기에 의해, 화소 TFT나 게이트 베선(31a)과 데이터 배선(32a)이 교차한 배선 교차부의 절연막이 파손되는, 소자 파손이 종종 발생하게 된다.
따라서, 액티브 매트릭스 기판에서는, 정전기에 의한 소자 파손을 방지하는 것이 매우 중요하게 된다.
액티브 매트릭스 기판에는, 제5도에서 나타낸 바와 같이, 각 게이트 배선(31a) 및 가 데이터 배선(32a)의 일 단부측에는, 게이트 배선 단자부(34) 및 데이터 배선 단자부(35)가 각각 형성되어 있다.
종래에는, 이 게이트 배선 단자부(34) 및 데이터 배선 단자부(35)의 더 앞쪽을 기판 외주부를 따라서 연속하여 설치한 1개의 링상 단락 배선(36)으로 단락시켜 정전기를 방지하도록 한 연구가 실시되고 있다.
그런데, 이 링상 단락 배선(36)는 표시 패널 완성 이후, 표시 모듈을 실장하기 전에, 분단 라인(일점 쇄선)(37)에서 절연성 기판(30)의 외주부마다 절단되게 되어, 액티브 매트릭스 기판은 제6도에서 나타낸 바와 같은 상태가 된다.
이것은, 완성된 표시 패널에 표시 모듈을 실장하기 전에, 이하에서 나타낸 바와 같이, 표시 패널에 대하여 행해지는, 각 종의 전기적 검사, 결함의 수정, 및 수정 여부의 판정을 행하기 위한 것이다.
더 상세하게는, 각 게이트 배선(31a)이나 각 데이터 배선 (32a)에 단일의 신호를 입력하여 단선 등의 판별을 행하는 제1단계의 간단한 전기적 검사는, 표시 패널을 형성하는 과정에서, 링상 단락 배선(36)의 게이트 배선군(31)이 단락하고 있는 부분과, 데이터 배선군(32)이 단락하고 있는 부분을 절단하고 있는 것으로 실현할 수 있다.
그런데, 게이트 배선간의 리크 불량이나 배선간의 리크 불량을 검출하는 제2단계의 더욱 상세한 전기적 검사에서는, 인접한 게이트 배선간과 인접한 데이터 배선간에 개별의 신호를 입력할 필요가 있다.
그러나, 링상 단락 배선(36)을 여전히 가지고 있는 상태에서는, 게이트 배선군(31)과 데이터 배선군(32)에 단일의 신호를 입력할 수 밖에 없기 때문에, 검사가 불가능하다.
더구나, 보조 용량의 방식에 Cs on Gate 방식을 이용한 TFT-LCD(Liquid Crystal Display)에서는, 게이트 배선군(31)에 단일의 신호를 입력하여 구동하면, 인접한 게이트 배선(31a)에 모두 동일한 신호가 입력되기 때문에, 잘 표시시킬 수가 없는 문제도 있다.
또한, 점 결함의 수정 방법의 하나로, 화소 전극이 그 화소 전극 자신의 데이터 배선(32a)과 리크하고 있는 경우는, 레이저 등에 의해 일부러 화소 전극과 데이터 배선(32a)간의 리크량을 크게 하여 주위의 화소 전극과 동일한 신호를 입력하는 것에 의해 결함 화소를 두드러지지 않게 한다.
일부에서 「C변환」이라고 부르는 수정 방법이 있다.
그런데, 이 수정 방법을 이용하는 경우, 화소 전극이 화소 전극 자신의 데이터 배선(32a) 이외의 데이터 배선(32a)과 리크하고 있는 경우는 수정할 수가 없다.
그러나, C변환에 의한 수정을 행하는 데에는, 화소 전극이 그 데이터 배선(32a)과 리크하고 있는지를 확인할 필요가 있다.
결국에는, 링상 단락 배선(36)을 절단할 필요가 있다.
또한, 결함을 수정하는 경우, 특히 게이트 배선(31a)과 데이터 배선(32a)간의 리크 불량을 수정하는 경우, 그 리크 장소를 특정하는 것이 중요하게 된다.
그러나, 링상 단락 배선(36)을 여전히 가지고 있을때의 간단한 전기적 검사에서는, 게이트 배선군(31)이나 데이터 배선군(32)에 단일의 신호밖에 입력할 수 없기 때문에, 리크 개소가 복수개 존재하는 경우는 명백한 리크 장소의 개수가 실제의 리크 장소의 개수 보다 크게 증가하여 버린다.
예를 들면, 리크 개소가 4포인트 존재하면, 게이트 배선(31a)과 데이터 배선(32a)의 교차부는 16포인트가 된다.
예를 들어, 실제의 리크 장소를 용이하게 특정할 수가 없다.
따라서, 실제의 리크 장소를 용이하게 특정하기 위해서는, 링상 단락 배선(36)을 완전히 절단해야만 한다.
또한, 종래, 선결함의 수정을 행하는 데에는, 제6도에서 나타낸 바와 같이, 예비 배선(38a, 38b)를 설치하여 두고, 결함이 있는 데이터 배서(32a)을 에이저 등으로 예비배선(38a, 38b)으로 단락하게 함으로써 수정하고 있다.
이 선 결함의 수정 여부를 판정하기 위해서는, 예비 배선(38a, 38b)의 접속 저항을 판정할 필요가 있다.
이것을 행하는 데에는, 예비 배선 단자부(39a, 39b) 간의 저항을 판정하면 돼지만, 이를 위해서도 링상 단락 배선(36)을 완전하게 절단할 필요가 있다.
상기한 바와 같이, 종래의 액티브 매트릭스 기판의 구조에서는, 간단한 전기적 검사이외의 상세한 전기적 검사나 결함 수정등은, 링상 단락 배선(36)을 절단한 후에 실장할 수 밖에 없다.
이를 위해서 전술한 바와 같이, 링상 단락 배선(36)을 절단한 후의 전기적 검사나 결함 수정, 후공정으로의 운반, 구동용 모듈을 실장하는 공정에서 정전기가 생기고, 이 정전기에 의한 소자 파손이 생기게 되는 문제가 있다.
또한, 링상 단락 배선(36)을 절단한 후에, 게이트 배선과 데이터 배선 간의 리크 불량을 검출하는 전기적 검사나 결함의 수정, 및 결함 수정의 여부를 판정하기 위한 예비 배선(38a, 38b)의 접속 저항의 판정을 행하는 데에는, 게이트 배선(31a)이나 데이터 배선932a)의 단자부(34,35)등 각각에 직접 프로브를 설치하여 검사할 필요가 있다.
이 때문에, 검사를 행하는 데에 많은 시간과 노력, 및 경비를 필요로 하게 된다.
본 발명의 목적은, 데이터 배선의 리크 불량을 판정할 수 있는 전기적 검사 및 결함의 수정, 수정후의 수정 여부의 판정을 용이하며 저렴하게 행하는 것이 가능한, 소자 파손의 우려가 적은 정전기 대책이 이루어진 액티브 매트릭스 기판을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 표시 패널의 보조 용량의 방식에 의하지 않고, 게이트 배선간의 리크 불량까지도 판정할 수 있는 전기적 검사가 가능한, 소자 파손의 우려가 적은 정전기 대책이 이루어진 액티브 매트릭스 기판을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 상기 제1 및 제2 목적을 동일하게 달성할 수 있는, 정전기 대책이 충분히 이루어진 액티브 매트릭스 기판을 제공하는 데에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 제1 액티브 매트릭스 기판은, 절연성 기판과, 상기 기판상에 배치되며, 각각 배선으로서 복수개의 데이터 배선과 복수개의 게이트 배선을 포함하고, 상기 데이터 배선과 게이트 배선이 교차부에서 교차하는, 데이터 배선군 및 게이트 배선군과, 상기 각 교차부에서 형성된 화소 구동 소자와, 데이터 배선군의 일 단부측에 설치되어, 인접하는 배선 끼리가 다른 단락 배선으로 단락되도록 단락 배선을 단락하는 복수개의 단락 배선을 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.
상기의 구성에 의하면, 단락 배선군에서, 정전기에 의한 소자 파손이 효과적으로 방지된다.
또한, 단락 배선군의 각 단락 배선에 다른 신호를 입력하는 것으로, 각 다락 배선을 거쳐, 인접하는 데이터 배선에 다른 신호를 입력할 수 있다.
그러나, 정전기 대책을 실시한 상태에서, 데이터 배선간의 리크를 식별 가능한 전기적 검사, 화소 전극과 데이터 배선 간에 리크가 발생할 경우의 C변환이라고 칭하는 수정, 및 예비 배선군을 이용한 선 결함의 수정 여부의 판정이 가능하게 된다.
그러나, 이 경우, 단락 배선군을 이용하여, 데이터 배선의 단자부의 각각에 프로브를 설치하지 않고도 전기적 검사를 행할 수 있기 때문에, 전기적 검사나 결함의 수정등에 걸리는 시간과 경비를 감소할 수 있다.
제2 액티브 매트릭스 기판은, 절연성의 기판과, 상기 기판상에 배치되며 각각 복수개의 데이터 배선과 복수개의 게이트 배선을 포함하고, 상기 데이터 배선과 게이트 배선이 교차부에서 교차하는 데이터 배선군 및 게이트 배선군과, 상기 각 교차부에 형성된 교차부에서 형성된 화소 구동 소자와, 게이트 배선군의 일단부측에 설치되어, 인접하는 게이트 배선끼리가 다른 단락 배선에서 단락하도록, 게이트 배선을 단락시키는 복수개의 단락선을 포함하는 단락 배선군을 포함하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.
상기 구성에 의하면, 단락 배선군에서, 정전기에 의한 소자 파손이 효과적으로 방지 된다.
또한, 단락 배선군의 각 단락 배선에 다른 신호를 입력함으로써, 각 단락 배선을 거쳐, 인접하는 게이트 배선에 다른 신호를 입력할 수 있다.
따라서, 정전기 대책을 실시한 상태에서, 게이트 배선간 리크를 식별할 수 있는 전기적 검사가 가능하고, 또한 예를 들어 표시 패널의 보조 용량의 방식으로서 Cs on Gate방식을 이용 하여도, 전기적 검사를 행하는 것이 가능하게 된다.
그러나, 이 경우, 단락 배선군을 이용함으로써, 게이트 배선의 단자부의 각각에 프로브를 설치하지 않고도 전기적 검사를 행할 수 있기 때문에, 전기적 검사나 결함의 수정 등에 소요되는시간과 경비를 절감할 수 있다.
제3 액티브 매트릭스 기판은, 절연성 기판과, 상기 기판상에 배치되며, 각각 복수개의 데이터 배선과 복수개의 데이터 배선을 포함하여, 상기 데이터 배선과 게이트 배선이 교차부에서 교차하는, 데이터 배선군 및 게이트 배선군과, 상기 각 교차부에 형성된 화소 구동 소자와, 데이터 배선군의 일 단부측에 설치되어, 인접하는 데이터 배선 끼리가 다른 단락 배선에서 단락하도록, 데이터 배선을 단락하는 복수개의 단락 배선을 포함하는 단락 배선군과, 게이트 배선군의 일 단부측에 설치되어, 인접하는 게이트 배선 끼리가 다른 단락 배선에서 단락하도록, 게이트 배선을 단락하는 복수개의 단락 배선을 포함하는 단락 배선군을 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.
상기 구성에 의하면, 상기 제1 및 제2 구성을 구비하고 있기 때문에, 단락 배선군에서 정전기에 의한 소자 파손을 효과적으로 방지하면서, 패널의 보조 용량의 방식에 의하지 않고, 데이터 배선간 리크나 게이트 배선간 리크를 식별할 수 있는 전기적 검사나, 결함의 수정, 수정의 여부를 판정하는 것이 가능하다. 여기에다가, 인접하는 데이터 배선과 인접하는 게이트 배선 각각에 다른 신호를 입력할 수 있기 때문에, 예를 들어 데이터 배선과 게이트 배선 간의 리크가 복수 개소에서 발생하고, 명백한 리크 장소가 다수개 있어도 실제의 리크 장소를 용이하게 특정할 수 있다.
따라서, 본 액티브 매트릭스 기판을 이용하여 구성된 표시 패널에 있어서는 표시 모듈을 실장한 이후 정전기 대책을 위한 단락 배선군을 절단할 수 있게 된다.
이 때문에, 검사 공정만이 아니라 실장 공정에서의 정전기에 의한 소자 파손도 방지할 수 있고, 액티브 매트리스 기판에서의 소자 파손을 확식하게 방지할 수 있다.
그리고, 이 경우에도, 데이터 배선이나 게이트 배선의 단자부의 각각에 프로브를 설치하지 않고도 전기적 검사를 행할 수 있기 때문에 전기적 검사나 결함의 수정에 소요되는 시간과 경비를 절감할 수 있다.
제1도은 본 발명의 일 실시 형태에서의 액티브 매트릭스 기판의 요부를 모식적으로 나타낸 설명도.
제2도는 상기 액티브 매트릭스 기판의 평면을 모식적으로 나타낸 설명도.
제3a도는 데이터 배선과 게이트 배선의 교차 부분에 설치된 화소 구동 소자의 평면도.
제3b도는 제3a도에서의 X-X′선 화살표 방향에서 본 단면도.
제4a도는 제1도의 Y-Y′선 화살표 방향에서 본 단면도.
제4b도는 제1도의 Z-Z′선 화살표 방향에서 본 단면도.
제5도는 종래의 액티브 매트릭스 기판의 평면을 모식적으로 본 설명도.
제6도은 제5도의 액티브 매트릭스 기판의 요부를 모식적으로 본 설명도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 게이트 배선군 2 : 데이터 배선군
3 : 표시 영역 6 : 게이트 배선용 멀티 단락 배선군
7 : 데이터 배서용 멀티 단락 배군 8 : 절연성 기판
11 : 화소 전극
본 발명의 일 실시 형태에 대해서 설명하면, 이하와 같다.
본 실시 형태에서 액티브 매트릭스 기판에서는, 제2도에서 나타낸 바와 같이, 글래스등으로 이루어진 투명한 절연성 기판(8)상에 복수의 게이트 배선(la:)으로 이루어진 게이트 배선군(1)과 복수의 데이터 배선(a:)으로 이루어진 데이터 배선군(2)이 게이트 배선(1a)과 데이터 베선(2a0이 상호 교차하도록 배치되어 있다.
그리고, 절연성 기판(8)의 중앙부에는, 게이트 배선(1a)과 데이터 배선(2a)의 각 교차 부분에 형성된 화소 구동 소자를 포함하는 표시 영역(3)이 있다.
표시 영역(3)의 구체적인 구성의 일 예를 제3a도 및 제3b도에서 나타내고 있다.
제3a도는 일 화소 부분의 화소 구동 소자인 화소 TFT(24)의 평면도이다.
제3b도는 제3a도의 X-X′선 화살표 방향에서 본 단면도이다.
이와 같은 화소 TFT(24)는 먼저, 절연성 기판(8) 상에 Ta(탄타륨) 박막등으로 게이트 배선(1a)이 형성되고, 다음에 게이트 절연막(9), TFT 활성층으로 이루어진 비정형 실리콘층(10)이 순서대로 성막된다.
그 후 비정형 실리콘층(10)이 패터닝 된다.
다음에, 화소 TFT(24)에 인접하는 영역에, ITO(인듐 주석 산화물)막을 이용하여 화소 전극(11)이 형성되고, 그 후에 화소 TFT(24)에 접속되는 데이터 배선(2a), 소스 전극(12), 드레인 전극(13)으로 이루어지는 Ta박막 등이 형성되어 패터닝 된다.
또한, 제3a도에서는, 절연막(9)이 기재되어 있지 않다.
또한, 제2도에서 나타낸 바와 같이, 각 게이트 배선(1a) 및 각 데이터 배선(2a)의 일단측에는, 게이트 배선 단자부(4) 및 데이터 배선 단자부(5)가 형성되어 있고 이들은 각각 절연성 기판(8)의 외주를 따라 연속하여 형성된 1개의 링상 단락 배선(14)으로 단락되어 있다.
그리고, 본 액티브 매트릭스 기판에서는, 상기 링상 단락 배선(14)으로부터 기판 내 주측에, 게이트 배선용 멀티 단락 배선군(6)과, 데이터 배선용 멀티 단락 배선군(7)이 형성되어 있다.
게이트 배선군(1) 및 데이터 배선군(2)이 상기 링상 단락 배선(14)으로 단락되기 전에, 이들 게이트 배선용 멀티 단락 배선군(6), 데이터 배선용 멀티 단락 배선군(7)으로 각각 단락되어 있다.
게이트 배선용 멀티 단락 배선군(6)은, 게이트 배선(1a)의 길이 방향과 직교하는 방향으로 연장된 게이트 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b)으로 이루어진다.
데이터 배선용 멀티 단락 배선군(7)은 데이터 배선(2a)의 길이 방향과 직교하는 방향으로 연장된 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)로 이루어진다.
여기에서, 게이트배선군(1) 및 데이터 배선군(2)은, 이들이 형성된 영역에 따라 몇 개의 블록으로 분할 되어 있다.
그리고, 게이트 배선용 멀티 단락 배선군(6) 및 데이터 배선용 멀티 단락 배선군(7)은 그 블럭마다 형성되어 있다.
제1도의 요부 확대도에서 나타낸 바와 같이, 게이트 배선군(1)과 게이트 배선용 멀티 단락 배선군(6)은, 콘택트 C에서 인접하는 게이트 배선(1a) 끼리가 다른 게이트 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b)으로 단락하도록 접속되어 있다.
동일하게, 데이터 배선군(2)과 데이터 배선용 멀티 단락 배선군(7)도 콘택트 C에서 인접하는 데이터 배선(2a) 끼리가 다른 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)으로 단락하도록 접속 되어 있다.
또한, 본 액티브 매트릭스 기판의 경우는, 스트라이프 배열을 전제로 하기 때문에, 데이터 배선(2a)은 2개 걸러 동일한 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)으로 단락되어 있다.
제4a도는 제1도에서의 Y-Y′선 화살표 방향으로 본 단면도이다.
제4b도는 제1도에서의 Z-Z′선 화살표 방향으로 본 단면도이다.
데이터 배선용 멀티 단락 배선군(7) 및 게이트 배선용 멀티 단락 배선군(6)은 제4a도 및 제4b도에서 나타낸 바와 같이, 게이트 배선(1a)을 형성할 때에, 동일한 박막을 이용하여 동시에 형성되어 있다.
제4a도에서 나타낸 바와 같이, 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)과 데이터 배선(2a)과의 전기적 접속은, 콘택트 홀 H을 거쳐 행해지고 있다.
더욱 자세하게는, 게이트 절연막(9)에서, 접속하게 되는 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)과 데이터 배선(2a)이 중첩되는 부분에, 전기적 접촉을 취하기 위한 콘택트 홀 H을 미리 형성하고 둔다.
그 후에, 데이터 배선(2a)을 형성한다.
이에 의해, 접속해야 하는 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)(여기에선 7b)과 데이터 배선(2a)를 콘택트 C에서 전기적으로 접속시키고 있다.
한편, 제4b도에서 나타낸 바와 같이, 게이트 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b)과 각 게이트 배선(1a)과의 전기적 접속은 이하와 같다. 즉 게이트 절연막(9)에서, 게이트 배선 단자부(4) 부분(도면중에서 좌측) 및 접속하게 되는 게이트 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b)과 게이트 배선(1a)의 연장선이 중첩하는 부분(도면중에서 우측)의 양측에 콘택트 홀 H을 형성한다.
그리고, 콘택트 브리지(15)의 일부를 도면중 우측의 콘택트 C에서 게이트 배선용 멀티 단락 배선(6b)과 접촉시켜, 다른 일부를 도면 좌측의 콘택트 C에서 게이트 배선(1a)과 접촉시키고 있다. 이와 같이하여, 게이트 배선용 멀티단락 배섬(6a,6b)과 각 게이트 배선(1a)이 전기적으로 접속되어 있다.
여기에서도, 콘택트 홀 H을 거쳐 전기적인 접촉이 행해지고 있는 부분을 콘택트 C로 나타내고 있다.
이와 같이 하여 형성하는 것으로, 게이트 배선용 멀티 단락 배선군(6) 및 데이터 배선용 멀티 단락 배선군(7)을 표시 영역(3)의 외주부에 형성하는 것이 가능하게 된다.
또한, 여기에선, 게이트 배선용 멀티 단락 배선군(6) 및 데이터 배선용 멀티 단락 배선군(7)은, 게이트 배선군(1)을 형성할 때에 형성되지만, 데이터 배선군(2)을 형성할 때에 데이터 배선군(2)과 동일한 박막을 이용하여 형성하여도 좋다.
또한, 제1도에서 나타낸 바와 같이, 게이트 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b) 및 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)에는 한 쪽으로부터 신호가 입력되도록 되어 있다.
각 게이튼 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b) 및 각 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)에는 검사 신호를 입력하기 위한 검사 패드(검사 입력부) (도면중에서 사선으로 표시)(16a,16b,17a,17b,17c)가 각각 설치되어 있다.
또한, 본 액티브 매트릭스 기판에는, 데이터 배선(2a)의 불량으로 인한 선 결함을 수정하기 위한 2개의 예비 배선(19a,19b)도 블러 마다 형성되어 있다.
이들 예비 배선(19a,19b)에는, 예비 배선 단자부(525a, 25b)과 함게, 예비 배선(19a,19b)의 접속 저항을 검사하기 위한 검사 패드(도면중, 사선으로 표시)(18a,18b)가 형성되어 있다.
그리고, 본 액티브 매트릭스 기판에서는, 상기 게이트 배선측 검사 패드(61a,16b) 및 데이터 배선측 검사 패드(17a,17b,17c, 18a,18b)는 제2도에서 나타낸 바와 같이, 각각 유니트화 되어 검사 패트 유니트(20, 21)(도면중 사선으로 나타냄)을 구성하고 있다.
그러나, 각 검사 패드 유니트(20, 21)는 두 개의 블록 사이에서 공유되도록 되어 있다.
이와 같은 구성을 가지는 액터브 매트릭스 기판에서, 실제로 전기적 검사나 수정을 행할 때의 순서를 이하에서 설명한다.
먼저, 제2도에서 나타낸 링상 단락 배선(14)을 이용하여, 간단한 전기적 검사를 행한다.
그리고, 간단한 전기적 검사가 종료하면, 일점 쇄선으로 나타낸 분단 라인(22)으로 링상 단락 배선(14)을 절연성 기판(8)의 외주부마다 절단하여, 제1도에서 나타낸바와 같은 상태가 된다.
그리고, 게이트 배선용 검사 패드(16a,16b)와 데이터 배선용 검사 패드(17a,17b,17c)로부터 각각 검사 신호를 입력한다.
이에 의해, 게이트 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b) 및 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)을 거쳐 각 게이트 배선(1a) 및 각 데이터 배선(2a)의 각 인접하는 것 끼리에 다른 신호를 입력하고, 게이트 배선간 리크나 데이터 배선간 리크의 식별이 가능한 상세한 전기적 검사를 행한다.
또, 화소 전극(11)(제3a도 참조)과 데이터 배선(2a) 간의 리크가 있는 경우는, 데이터 배선용 검사 패드(17a,17b,17c)로부터 검사 신호를 입력한다.
이에 의해, 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)를 거쳐, 각 데이타 배선(2a)이 인접하는 것 끼리에 다른 신호가 입력된다.
그리고, 점 결함이 화소 전극(11)과 그 화소 전극(11) 자신의 데이터 배선(2a)과의 리크인지를 식별하고, 전술한 C 변환에 의한 수정이 가능한지의 여부를 판단한다.
그리고, 수정이 가능한 경우는 동시에 수정도 행하고, C 변환에 의한 수정을 행한 화소가 표시상 볼 수 없게 됐는지, 흑점이 됐는지를 판단한다.
또한, 게이트 배선(1a)과 데이터 배선(2a)과의 리크 불량을 수정하는 경우에는, 게이트 배선용 검사 패드(16a,16b)와 데이터 배선용 검사 패드(17a,17b,17c)로부터 각각 다른 신호를 입력한다.
이에 의해, 게이트 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b) 및 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)를 거쳐 각 게이트 배선(1a) 및 각 데이터 배선(2a)이 각각 인접하는 것 끼리에 다른 신호를 입력하여, 실제의 리크 장소를 특정한다.
또한 선 결합을 수정한 이후에, 결함 수정의 여부를 판정하기 위한 예비 배선(19a,19b)의 접속 저항을 측정하는 경우에는, 예비 배선용 검사 패드(18a,18b)를 이용하여 측정한다.
그리고, 상세한 전기적 검사나 결함의 수정 등이 종료했을 때, 최후에 표시 패널에 구동용 모듈을 실장하기 직전, 또는 실장한 후에 제1도에서 나타낸 제2 분단 라인(23)에서 절연성 기판(8)마다 게이트 배선용 멀티 단락 배선군(6)과 데이터 배선용 멀티 단락 배선군(7)을 절단한다.
이상과 같이, 본 실시 형태의 액티브 매트릭스 기판에서는, 링상 단락 배선(14)로부터 기판 내주측에 게이트 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b)으로 이루어진 게이트 배선용 멀티 단락 배선군(6)과 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)으로 이루어진 데이터 배선용 멀티 단락 배선군(7)이 형성되어 있다.
그리고, 각 게이트 배선(1a)과 각 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b), 및 각 데이터 배선(2a)과 각 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)과는 인접하는 게이트 배선 끼리가 다른 게이트 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b)으로 단락하도록, 인접하는 데이터 배선 끼리가 다른 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)으로 각각 단락하도록 접속되어 있다.
이에 의해서, 게이트 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b)이나 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b 7c)에 의해서, 정전기에 의한 소자 파손을 효과적으로 방지하면서, 이하와 같은 전기적 검사, 결함의 수정, 수정후의 수정 여부의 판정이 행해진다.
더욱 상세하게, 게이트 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)에 다른 신호를 입력하는 것으로, 인접하는 데이터 배선(2a)에 다른 신호를 입력하는 것이 가능하게 되고 데이터 배선간 리크를 식별할 수 있는 상세한 전기적 검사를 행할 수가 있다.
동일하게, 게이트 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b)에 다른 신호를 입력하는 것으로, 인접하는 게이트 배선(1a)에 다른 신호를 입력하는 것이 가능하게 되고, 보조 용량의 방식에 의하지 않고, 게이트 배선간 리크를 식별할 수 있는 전기적 검사를 행할 수 있다.
또한 인접하는 데이터 배선(2a)에 다른 신호가 입력될 수 있어, 화소 전극(11)과 데이터 배선(2a) 간에 리크가 발생했을 경우, 화소 전극(11)이 그 데이터 배선(2a)과 리크하고 있는지가 용이하게 판단될 수 있게 되어, 전술한 C 변환이라고 칭하는 수정을 행할 수 있다.
또한 예비 배선(19a,19b)를 이용한 선 결함의 수정시 수정의 여부 판정을 행할 수도 있다.
또한 인접한 데이터 배선(2a) 끼리와 인접하는 게이트 배선(1a) 끼리의 각각에 다른 신호를 입력할 수 있기 때문에, 예를 들어 데이터 배선(2a)과 게이트 배선(1a)간의 리크가 복수 개소에서 발생하고 명백한 리크 장소가 다수 있다고 해도, 실제의 리크 장소를 용이하게 특정할 수 있다.
그러나, 게이트 배선용 멀티 단락 배선군(6) 및 데이터 배선용 멀티 단락 배선군(7)을 이용하는 것으로, 종래와 같은 단자부 각각에 프로브를 설치하지 않고도 전기적 검사를 행할 수 있기 때문에, 전기적 검사나 결함의 수정 등에 소요되는 비용을 절감할 수 있다.
상세히 말해서, 종래에는 단자부 각각에 프로브를 설치하여, 게이트 배선간이나 데이터 배선간의 리크 불량을 식별하는 전기적 검사를 행하고 있었다.
이에 대해, 본 액티브 매트릭스 기판의 구성을 채용하게 되면, 이 전기적 검사를 단락 배선을 여전히 가지고 있는 상태에서, 용이하고 저렴하게 행하는 것이 가능하게 되고, 전기적 검사, 결함 수정, 후공정에의 운반시 정전기에 의한 소자 파손을 방지할 수 있다.
그리고 특히, 구동용 모듈을 실장하고 나서, 정전기 대책을 위한 게이트 배선용 멀티 단락 배선(6a,6b) 및 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)를 절단할 수 있다.
이를 위해, 검사 공정에서의 소자 파손만이 아니라, 실장 공정에서의 정전기에 의한 소자 파손을 방지라는 것이 가능하고, 정전기에 의한 소자 파손을 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 본 액티브 매트릭스 기판의 경우에는, 게이트 배선용 멀티 단락 배선군(6) 및 데이터 배선용 멀티 단락 배선군(7)에의 신호 입력은, 한 쪽측으로부터의 입력이고, 더구나 두 개의 블록 사이에 검사 패드(16a,16b,17a,17b,17c)를 공유하도록 되어 있기 때문에, 검사 패드수를 삭감한 구성으로 되어 있다.
또한, 한 쪽으로부터 입력하는 경우는, 양측으로부터 입력하는 경우에 비하여 검사 패드수가 적게 된다는 이점이 있지만, 그 만큼 검사 신호의 연기가 일어나기 쉽기 때문에, 양측으로부터 입력하는 구성으로 하여도 좋다.
또, 본 액티브 매트릭스 기판에선, 게이트 배선측의 검사 패드(16a,16b), 데이터 배선측의 검사 패드(71a,17b,17c, 18a,18b)는 각각 유니트화되어 있다.
이를 위해, 종래는 기종 마다 만들어져 있는 검사 장치의 프로브에 호환성을 가지게 할 수 있다.
또, 본 액티브 매트릭스 기판에서는, 게이트 배선용 멀티 단락 배선군(6), 데이터 배선용 멀티 다나락 배선군(7)이 블럭 마다 분할되어 형성되어 있다.
이 때문에, 블록 마다 검사가 가능하게 된다.
특히, 게이트 배선(1a)과 데이터 배선(2a)간의 리크가 복수 개소에서 발생할 경우의 리크 장소를 특정하는 작업이 보다 효과적으로 행해진다.
또한, 상기 배선군을 블록 마다 형성하는 것에 의해, 데이터 배선용 멀티 단락 배선군(7)과 데이터 배선군(2) 간의 용량에 의한 신호의 지연을 저감할 수도 있다.
또한, 본 액티브 매트릭스 기판의 경우, 스트라이프 배열을 전제로 하고 있기 때문에, 데이터 배선군(2)의 각 데이터 배선(2a)은, 2개 걸러 동일한 데이터 배선용 멀티 단락 배선(7a,7b,7c)으로 단락되어 잇다.
이에 대해, 각 데이터 배선이 색 마다 분할되어 형성되어 있는 경우에는, 동일한 색의 데이터 배선을 동일한 데이터 배선용 멀티 단락 배선에 접속하면, 각 데이터 배선이 데이타 배선용 멀티 단락 배선으로 단락되는 상태에서도 단색 검사가 가능하게 된다.
또한, 데이터 배선용 멀티 단락 배선을 이용하여 단색 검사를 행하는 경우, 상기 배선군은 특히 블록 마다 분할할 필요는 없다.
그리고, 발명의 상세한 설명의 항에서 이루어진 구체적인 실시 태양, 또는 실시예는 어디까지나 본 발명의 기술적 내용을 명확하게 하는 것으로서, 이와 같은 구체적 예에서만 한정하여 협의로 해석될 것이 아니라, 본 발명의 정신과 다음에 기재하는 특허 청구 범위내에서 여러 가지로 변경하여 실시할 수 있는 것이다.

Claims (13)

  1. 절연성 기판과, 상기 기판상에 배치되며, 각각 배선으로서 복수개의 데이터 배선과 복수개의 게이트 배선을 포함하고, 상기 데이터 배선과 게이트 배선이 교차부에서 교차하는, 데이터 배선군 및 게이트 배선군으로 이루어진 두 개의 배선군과 상기 각 교차부에서 형성된 화소 구동 소자와, 상기 두 개의 배선군중에서 적어도 한 쪽 배선군의 일 단부측에 설치되어, 그 배선군내에서 인접하는 배선 끼리가 다른 단락 배선으로 단락되도록 상기 배선을 단락하는 복수개의 단락 배선을 가지는 단락 배선군을 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 단락 배선군은, 상기 데이타 배선군의 일 단부측에 설치되어 인접하는 데이터 배선 끼리가 다른 단락 배선으로 단락되도록, 데이터 배선을 단락하는 복수개의 단락 배선을 포함하는 단락 배선군인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 기판.
  3. 제1항에 있어서, 상기 단락 배선군은, 상기 게이트 배선군의 일 단부측에 설치되어, 인접하는 게이트 배선 끼리가 다른 단락 배선으로 단락되도록, 게이트 배선을 단락하는 복수개의 단락 배선을 포함하는 단락 배선군인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 기판.
  4. 제1항에 있어서, 모든 배선에 상기 단락 배선을 거쳐 접속되어, 모든 배선을 단락시키는 링형상 단락 배선부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 기판.
  5. 제1항에 있어서, 단락 배선군이 설치된 배선군의 배선이 단부로부터 순서대로 제1그룹, 제2 그릅, … , 제n 그룹, 제1 그룹, 제2 그룹, … , 제n 그룹으로 분류되고, 상기 단락 배선은 n개 있고, 상기 n개의 단락 배선중 ⅰ번째(ⅰ=1, 2, …, n)가 상기 배선의 제ⅰ그룹으로 단락하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 기판.
  6. 제5항에 있어서, 각 단락 배선은, 단락 배선군이 설치된 배선의 길이 방향과 직교하는 방향으로 연장하는 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 기판.
  7. 제1항에 있어서, 상기 각 배선군은, 그것이 형성된 영역에 따라서 복수의 블록으로 분류되어 있고, 상기 단락 배선군이 상기 블록 마다 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트리스 기판.
  8. 제1항에 있어서, 상기 단락 배선을 피복하는 절연막이 설치되고, 상기 절연막중, 단락 배선과 배선이 중첩되는 부분에 전기적 접촉을 취하기 위한 콘택트 홀 H가 형성되고, 상기 콘택트 홀 H에서 배선이 단락 배선에 중첩되어 전기적으로 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 기판.
  9. 제1항에 있어서, 단락 배선과 배선을 피복하는 절연막이 설치되고, 절연막상에 전도체의 콘택트 브리지가 설치되고, 상기 절연막중 배선과 콘택트 브리지가 중첩되는 부분에 전기적 접촉을 취하기 위한 콘택트 홀 H1이 형성되고, 상기 절연막중 단락 배선과 콘택트 브리지가 중첩되는 부분에 전기적 접촉을 취하기 위한 콘택트 홀 H2이 형성되고, 콘택트 홀 H1에서 배선이 콘택트 브리지와 중첩되어 전기적으로 접촉되고, 콘택트 홀 H2에서 단락 배선이 콘택트 브리지와 중첩되어 전기적으로 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 기판.
  10. 제1항에 있어서, 단락 배선에 전압을 인가하여 상기 배선의 접속 불량을 검사하는 검사 신호를 입력하기 위한 검사 입력부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 기판.
  11. 제10항에 있어서, 상기 각 배선군은, 이것이 형성된 영역에 따라서 복수의 블럭으로 분류되어 있고, 상기 검사 입력부가 상기 블록중 복수의 블록에서 공유되고 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 기판.
  12. 제1항에 있어서, 상기 단락 배선군은, 데이터 배선군의 일 단부측에 설치되어, 인접하는 데이터 배선 끼리가 다른 단락 배선으로 단락되도록, 데이터 배선을 단락하는 복수개의 단락 배선을 포함하는 단락 배선군과, 게이트 배선군의 일 단부측에 설치되어, 인접하는 게이트 배선 끼리가 다른 단락 배선으로 단락되도록. 게이트 배선을 단락하는 복수개의 단락 배선을 포함하는 단락 배선군인 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 기판.
  13. 제12항에 있어서, 상기 데이터 배선은, 단부로부터 순서대로 제1 그룹, 제2 그룹, … 제nd그룹, 제1 그룹, 제2 그룹, … ,제,nd그룹으로 분류되며, 데이터 배선을 단락시키는 단락 배선은 nd개이고, nd개의 단락 배선중 ⅰ번째(ⅰ=1, 2, … ,nd)가 상기 데이터 배선의 제ⅰ그룹으로 단락되고, 상기 게이트 배선은, 단부로부터 순서대로 제1 그룹, 제2 그룹, … ,제ng그룹, 제1그룹, 제2 그룹, … , ng그룹으로 분류되며, 게이트 배선을 단락시키는 단락 배선은 ng개 있고 ng개의 단락 배선중 j번째(j=1, 2, … , ng)가 상기 게이트 배선의 제j 그룹으로 단락되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스 기판.
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