KR100188071B1

KR100188071B1 - 표시장치의 제조방법

Info

Publication number: KR100188071B1
Application number: KR1019950011242A
Authority: KR
Inventors: 시게오 이토; 미키오 요코야마; 다케시 도네가와; 유우지 우치다; 데루오 와타나베
Original assignee: 니시무로 아츠시; 후다바 덴시 고교 가부시키가이샤
Priority date: 1994-05-10
Filing date: 1995-05-09
Publication date: 1999-06-01
Also published as: US5564958A; FR2719943B1; KR950034360A; JPH07302545A; FR2719943A1; JP2832510B2

Abstract

수명특성을 비약적으로 향상시킬 수 있는 표시장치의 제조방법을 제공하는 것.

표시장치(2)를 챔버(1) 내에 배열설치하고, 표시장치(2) 내를 약 10^-7Torr 정도의 압력으로 될때까지 배기한다. 뒤이어 밸브(7)를 열어 가스봄베(8)로부터 환원성 가스를 표시장치(2) 내로 도입하고, 밸브(7)를 닫고 이 상태를 수분간 홀드한다.

더욱, 표시장치(2) 내를 약 10^-5Torr 정도의 압력으로 될때까지 배기한다.

이 환원성 가스 도입공정과 환원성 가스 배기공정을, 예를 들면 8회 반복하여 행한후, 챔버(1) 내를 약 300 ℃로 유지하면서 약 6시간 정도 배기한후, 배기관 또는 시일링 덮개를 시일링함으로써 내부가 고진공으로 된 표시장치(2)를 얻도록 한다.

Description

표시장치의 제조방법

제1도는 본 발명의 실시예 1을 설명하기 위한 진공배기공정을 행하는 장치를 도시하는 도면.

제2도는 본 발명의 실시예 1의 온도프로필을 도시하는 도면.

제3도는 본 발명의 실시예 1의 가스클리닝의 흐름을 도시하는 도면.

제4도는 본 발명의 실시예 2의 가스클리닝의 흐름을 도시하는 도면.

제5도는 가스클리닝의 작용효과를 설명하기 위한 ESCA 분석에 의한 분석결과를 도시하는 도면.

제6도는 가스클리닝의 작용효과를 설명하기 위한 수명특성(잔존율)을 도시하는 도면.

제7도는 가스클리닝에 의한 I-V 특성의 변화를 도시하는 도면.

제8도는 종래의 제조방법을 설명하기 위한 진공배기공정을 행하는 장치를 도시하는 도면.

제9도는 종래의 제조방법의 온도프로필을 도시하는 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 가열히터 내장 챔버 2 : 표시장치

3 : 헤드 4, 6, 7, 9, 14 : 밸브

5 : 매니폴드 8 : 가스봄베

10, 15 : 드라이펌프 11 : 게이트밸브

13 : 터보분자펌프

[산업상의 이용분야]

본 발명은, 전자방출수단과 전자방출수단에서 방출된 전자에 의하여 발광되는 발광수단을 구비하는 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.

[종래의 기술]

종래의 표시장치의 제조방법을 제8도를 참조하면서 설명하지만, 그 도면에 도시하는 장치는 진공배기공정을 행하기 위한 장치이고, 표시장치내를 시일링(封止) 할 수 있는 압력으로 될때까지 진공배기하는 작업을 행하고 있다.

이 도면에서, 전자를 방출하는 캐소드가 형성된, 예를 들면 글라스제의 캐소드기판과, 방출된 전자를 포집하는 아노드가 형성된, 예를 들면 글라스제의 아노드기판을 서로 소정의 간격을 갖도록 봉착함으로써 표시장치(102)는 제작되어 있고 표시장치(102)는 가열히터를 내장하는 챔버(101)내에 배열설치되어 있음과 동시에, 표시장치(102) 내를 진공으로 하기 위하여 설치되어 있는 배기관이 진공배기장치의 헤드(103)에 장착되어 있다. 이 종래예의 경우, 표시장치(102)를 배열설치할 수 있는 헤드(103)가 설치되어 있다.

상기 헤드(103)는 각각 밸브(104)를 통해서 매니폴드(105)에 연결되어 있고, 매니폴드(105)는 밸브(112) 및 밸브(106)를 통해서 드라이펌프(107)에 연결되어 있다.

또 매니폴드(105)는 게이트밸브(108)에 연결되어 있고, 게이트밸브(108)는 터보분자펌프(110)에 연결되어 있다. 또 터보분자펌프(110)는 밸브(111)를 통해서 드라이펌프(107)에 연결되어 있다.

이 진공배기를 행하는 장치의 동작을 설명하면, 캐소드와 아노드가 수납된 표시장치(102)를 챔버(101)내에 배설하고, 그 배기관을 헤드(103)에 장착한다. 그리고 밸브(112)를 열어 매니폴드(105)에 드라이펌프(107)를 연결하여 매니폴드(105), 밸브(104), 헤드(103), 배기관을 사이에 두고 표시장치(102) 내를 진공으로 스키밍(荒引)을 한다. 스키밍에 의하여 표시장치(102)내의 압력이 어느정도 내려가면 밸브(112)를 닫고, 게이트밸브(108)를 열어 터보분자펌프(110)를 매니폴드(105)에 연결하고, 매니폴드(105), 밸브(104), 헤드(103), 배기관을 통해서 표시장치(102) 내를 진공으로 배기한다. 이 경우, 밸브(111)를 열어 드라이펌프(107)에 의하여 터보분자펌프(110)를 백업(back up)하고 있다.

게이트밸브(108)를 열음과 동시에, 가열히터를 작동시켜 챔버(101)내가 약 350℃로 될때까지 가열하고, 챔버(101) 내의 온도가 약 350℃에 도달하면, 이 온도를 유지하도록 하고 있다.

그리고, 이 상태대로 수시간 배기를 계속함으로써 표시장치(102) 내가 약 10^-7Torr 정도의 압력으로 되도록 배기하고, 그 후 배기관을 시일링함으로써 내부가 고진공으로 된 표시장치(102)를 얻도록 하고 있다.

이 공정에 있어서의 온도프로필은 제9도에 도시하는 바와 같이, 스키밍후에 챔버(101)에 내장된 가열히터를 작동시켜 온도를 상승시킴으로써, 챔버(101) 내가 약 350℃로 되면 이 온도에서 수시간 지속하도록 한다. 그리고, 배기를 계속하는 상태에서 서서히 온도를 내리면서, 소정의 압력으로 된 곳에서 배기관을 시일링 하는 것이다.

이와 같이, 표시장치(102)는 가스가 방출되기 쉽도록 베이킹되면서 내부의 배기가 행해지고 있다.

이와 같이 하여 작성된 표시장치에 있어서는, 베이킹하면서 고진공으로 빼고 있기는 하지만, 수명특성(잔존율)이 그다지 좋지 않다라는 결함이 있다. 더욱, 고진공으로 하는데 장시간을 소비한다라는 결점도 있다.

상기 수명특성이 나쁜것은, 표시관(102) 내부의 방출가스의 배기가 불충분이라고 생각된다. 표시장치에는 형광체나 각종 전극재료를 사용하고 있고, 이들의 재료가 가스를 흡착하고 있다고 생각된다. 그러나 이들의 재료에 흡착된 가스는 베이킹에 의하여도 방출되기 어렵고, 시일링후에 표시장치(102)를 작동시켰을때에 이들의 재료로부터 가스가 방출되고, 이 방출가스에 의하여 내부의 전자방출원 등이 오염되어 수명특성이 악화하는 것이라고 생각된다.

이를 해결하는 표시장치의 제조방법이 일본국 특개평 2-299129호 공보에 제안되어 있다. 이 제조방법은 진공배기공정시에 표시장치에 통전을 행함으로써 전자방출원을 활성화함과 동시에, 전자방출원으로부터 방출시킨 전자로 아노드를 두드림으로써 흡착된 가스를 방출시키려고 하는 것이다.

[발명이 해결하려고 하는 과제]

그러나, 상기 종래의 제조방법에 있어서도 표시장치내의 가스를 충분히 방출할 수 없으며, 표시장치의 수명특성을 실용단계까지 향상시킬 수 없었다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 표시장치의 제조방법은 진공외위기(外器) 내에 전자방출수단을 구비한 평형표시장치를 가열챔버내에 넣고, 해당표시장치를 베이킹 하면서 표시장치내를 진공배기하고 진공배기한 표시장치내에 가스를 도입하여 홀드하는 공정과, 이어서, 상기 표시장치내의 가스를 진공배기하는 공정을 반복하여 행하도록 하고 있다.

또, 본 발명의 표시장치의 제조방법은 적어도 전자방출수단을 구비하는 표시장치의 제조에 있어서, 상기 표시장치내를 진공배기한후에 상기 표시장치를 베이킹하면서 상기 전자방출수단에 통전하는 공정과, 상기 표시장치내에 가스를 도입하고 홀드하는 공정과, 상기 표시장치내를 진공배기하는 공정을 여러번 반복하여 행하도록 한 것이다.

더욱, 구체적으로는 상기 가스를 환원성의 가스로 하도록 한 것이다. 그리고, 상기와 같이 진공배기한 후 대기에 노출시키지 않으면서 시일링압력까지 진공배기한 후, 시일링을 행하도록 하여 표시장치를 제조하도록 한 것이다.

[작용]

본 발명에 의하면, 가스를 도입하는 공정과, 계속하여 진공배기하는 공정을 반복하여 행함으로써 내부에 흡착된 가스를 용이하게 방출할 수 있어 수명 특성을 향상시킬 수가 있다. 이 경우, 가스를 환원성 가스로 하면, 내부의 산화한 부분을 환원시킴으로써 흡착된 가스를 방출하기 쉽게 할 수 있기 때문에 보다 효과적이다.

더욱이, 표시장치에 통전하여 배기하는 통전배기공정을 부가하여 가스를 도입하는 공정과, 이어서 진공배기하는 공정의 3공정을 반복하여 행함으로써, 내부에 흡착된 가스를 더욱 용이하게 방출할 수 있으며 가스를 환원성 가스로 함으로써 흡착된 가스의 대부분을 방출할 수 있기 때문에, 지금까지 얻을 수 없었던 긴 수명의 표시장치를 제조할 수가 있다.

또, 수명이 향상될 뿐아니라, 전류-전압 특성이 비약적으로 향상되기 때문에, 보다 고휘도의 표시장치를 얻을 수 있다.

[실시예]

본 발명의 제조방법의 실시예 1을 제1도를 참조하면서 설명하지만, 그에 앞서서 제1도에 도시하는 진공배기공정을 행하는 장치를 설명한다.

이 도면에서, 전자를 방출하는 캐소드가 형성된, 예를 들면 유리제의 캐소드 기판과, 캐소드로부터 방출된 전자를 포집하는 아노드가 형성된, 예를 들면 글라스제의 아노드 기판을 서로 소정의 간격을 갖도록 봉착함으로써 표시장치(2)가 제작되어 있고, 표시장치(2)는 가열히터를 내장하는 챔버내에 배설되어 있음과 동시에 표시장치(2)를 진공으로 하기 위하여 설치되어 있는 배기관이 진공배기장치의 헤드(3)에 장착되어 있다. 이 실시예의 경우, 표시장치(2)를 2개 동시에 진공으로 배기할 수 있도록, 챔버(1) 내에 표시장치(2)를 복수배열설치할 수 있음과 동시에, 헤드(3)는 복수 설치되어 있다.

복수개의 헤드(3)는 각각 밸브(4)를 사이에 두고 매니폴드(5)에 연결되어 있고, 매니폴드(5)는 유량조정밸브(6) 및 밸브(7)를 사이에 두고 가스봄베(8)에 연결되어 있음과 동시에 밸브(9)를 사이에 두고 제 1 드라이펌프(10)에 연결되어 있다.

또 매니폴드(5)는 게이트밸브(11)에 연결되어 있고, 게이트 밸브(11)는 터보분자펌프(13)에 연결되어 있다. 또 터보분자펌프(13)는 밸브(14)를 사이에 두고 제 2 드라이펌프(15)에 연결되어 있다.

다음에, 이 진공배기를 행하는 장치에 의한 실시예 1의 제조방법을 설명하면, 캐소드기판과 아노드기판이 수납된 용기로 이루어지는 표시장치(2)를 챔버(1) 내에 배열 설치하고, 그 배기관을 헤드(3)에 장착한다. 그리고 밸브(9)를 열고 매니폴드(5)에 제 1 드라이펌프(10)를 연결하여 매니폴드(5), 밸브(4), 헤드(3), 배기관을 사이에 두고 표시장치(2) 내를 진공으로 스키밍을 한다. 스키밍에 의하여 표시장치(2) 내의 압력이 어느정도 내려가면, 밸브(9)를 닫고, 게이트밸브(11)를 열어 터보분자펌프(13)를 매니폴드(5)에 연결하여, 매니폴드(5), 밸브(4), 헤드(3), 배기관을 사이에 두고 표시장치(2) 내를 진공을 배기한다. 이 경우, 밸브(14)를 열어 제 2 드라이펌프(15)에 의하여 터보분자펌프(13)를 백업하고 있다.

게이트밸브(11)를 열음과 동시에, 가열히터를 작동시켜 챔버(1) 내를 가열하여 약 350℃의 온도까지 상승시킨다. 그리고, 그 상태대로 배기를 계속함으로써 표시장치(2) 내를 약 10^-7Torr정도의 압력이 될때까지 배기한다.

그리고, 챔버(1) 내의 온도를 약 350℃에 유지하면서, 게이트밸브(11)를 닫음과 동시에, 밸브(7)를 열어 가스봄베(8)로부터 환원성 가스를 표시장치(2) 내에 도입한다.

이 경우, 유량조정밸브(6)를 조정하여 환원성 가스의 유량을 조절하면서 표시장치(2) 내의 압력이 10^-2~ 500 Torr의 압력이 될때까지 환원성 가스를 도입한다.

환원성 가스 도입후, 밸브(7)를 닫고 이 상태를 수분간 홀드한다.

그리고, 필요에 따라 제 1 드라이펌프(10)에 의한 스키밍을 행하고, 뒤이어 게이트밸브(11)를 열어 터보분자펌프(13)를 매니폴드(5)에 연결하여 매니폴드(5), 밸브(4), 헤드(3) 배기관을 사이에 두고 표시장치(2) 내를 약 10^-5Torr 정도의 압력으로 될때까지 배기 한다.

상기한 환원성 가스 도입공정과 환원성 가스 배기공정을 10회 이하, 예를 들면 8회 반복하여 행한다. 그 후 챔버(1) 내를 약 300℃로 유지하면서 표시장치(2) 내의 압력이 약 10^-7Torr로 되도록 약 6시간 정도 배기하면서 배기관 또는 시일링덮개를 시일링함으로써, 내부가 고진공으로 된 표시장치(2)를 얻도록 한다.

이상이, 본 발명의 제조방법의 실시예 1이지만, 이 제조방법에 있어서 온도프로필은 제2도에 도시하는 바와 같이, 표시장치(2) 내를 스키밍을 한후, 챔버(1)에 내장된 가열히터를 작동시켜 챔버(1) 내의 온도가 약 350℃ 되도록 가열한다 .이 온도상태를 약 30분 지속하도록 하지만, 이 시간내에 상기 환원성 가스 도입공정과 환원성 가스 배기공정이 예를 들면 8회 반복된다. 그리고 배기를 계속하면서 서서히 온도를 내려 약 10^-7Torr 의 압력으로 되었을때 배기관(시일링덮개)를 시일링하도록 한다.

이와 같이, 표시장치(2) 내에 환원성 가스를 도입하여 홀드함으로써, 도입된 환원성 가스에 의하여 표시장치(2) 내부의 산화된 부분이 환원되어, 가스방출이 행해지게 (이하, 「가스클리닝」이라 함) 된다. 더욱 이 경우, 표시장치(2)로부터 가스가 방출되기 쉽도록 표시장치(2)는 베이킹되면서 배기되어 있고, 상기한 실시예 1의 제조방법에 의하여 제조하면, 표시장치의 수명특성을 현격히 향상시킬 수 있게 된다.

여기서, 상기 가스클리닝의 작용효과를 제5도 내지 제7도를 사용하여 설명하지만, 이 경우의 표시장치는 전계방출형 캐소드를 구비한다.

제5도는 가스클리닝을 행한 경우와, 행하지 않은 경우오 표시장치(2) 내의 캐소드등을 형성하고 있는 몰리브덴(Mo)에 있어서 ESCA 분석에 의한 분석결과를 도시하고 있고, 가로축은 결합에너지(binding energy), 세로축은 상대강도 N(E)/E이다.

제5(a)도는 가스클리닝을 행하지 않는 경우이고, 금속몰리브덴 Mo(Metal)의 결합에너지 228[eV]의 스펙트럼과 몰리브덴의 산화물(MoO₂, MoO₃)의 스펙트럼이 큰 강도로 되어 있음이 확인된다. 이는 몰리브덴에 산소가 흡착되어 몰리브덴의 산화물로 된 사실을 표시하고 있다.

동 도면(b) 은 가스클리닝을 행한 경우이고, 금속몰리브덴 Mo(Metal)의 결합에너지 228[eV]의 스펙트럼이 보다 큰 강도로 되어, 몰리브덴의 산화물(MoO₂, MoO₃)의 스펙트럼이 작은 강도로 되어 있는 사실로부터, 환원성 가스에 몰리브덴을 산화하고 있는 산소가 흡착되는 사실로부터, 몰리브덴의 산화물이 환원되어, 금속몰리브덴으로 된 사실을 알 수 있다.

더욱, 금속몰리브덴과 몰리브덴의 산화물과의 사이의 스펙트럼은 어느 몰리브덴도 출현하는 스펙트럼이고, 이 경우 특별한 의미는 없다.

이들의 측정결과로부터, 가스클리닝에 의하여 몰리브덴에 흡착되어 있는 가스가 방출되는 것을 알 수 있다.

제6도는 표시장치의 수명특성(잔존율)을 도시하는데, 가로축이 동작시간이고, 세로축은 상대아노드전류(Relative anode current)를 백분율로 도시하고 있다.

이 도면에서, 위의 2개의 곡선으로 도시하는 특성이 가스클리닝을 행하는 본 발명의 제조방법에 의한 표시장치의 전자방출수단의 수명특성(잔존율)이고, 아래의 3개의 곡선으로 도시하는 특성이 가스클리닝을 행하지 않는 종래의 제조방법에 의한 표시장치의 전자방출수단 수명특성(잔존율)이다.

이 수명특성(잔존율)을 보면, 종래의 제조방법에 의한 표시장치에서는, 5시간 정도의 동작에 의하여 전자방출수단의 잔존율은 약 2할로 감소하지만, 본 발명의 제조방법에 의한 표시장치에서는 80시간의 작동에 의하더라도 약 8할 이상의 전자방출수단의 잔존율로 할 수 있어, 가스클리닝을 행하면 수명이 현격하게 신장됨을 알 수 있다.

제7도는 가스클리닝에 의한 I-V특성의 변화를 도시하는 도면이고, 가로축은 게이트전압(Gate Voltage), 세로축은 아노드전류(Anode Current)이다.

이 도면에서, 검은 동그라미로 연결하여 도시하는 I-V특성이 가스클리닝을 행하는 본 발명의 제조방법에 의한 표시장치의 특성이고, 흰 동그라미로 연결하여 도시하는 I-V특성이 가스클리닝을 행하지 않는 종래의 제조방법에 의한 표시장치의 특성이고, 게이트 전압이 전자방출 개시전압을 초과하는 아노드전류를 흐르게 하면, 본 발명에 의한 제조 방법에 의한 표시장치에는 큰 아노드전류의 흐름을 알 수 있다. 이는 결합에너지가 작은 금속몰리브덴이 많아지고, 몰리브덴제의 전자방출수단에서 전자가 방출되기 쉬워졌기 때문이라 생각된다. 예를 들면, 게이트전압을 120[V]로 하였을때에 종래의 제조방법에 의한 표시장치에서는 600[㎂] 밖에 흐르지 않는 아노드전류가, 본 발명의 제조방법에 의한 표시장치에서는 약 3배의 1600[㎂]를 초과하는 아노드전류로 할 수 있기 때문에, 본 발명에 있어서는 표시장치의 휘도를 현격히 향상시킬 수 있음을 알 수 있다.

더욱, 수명특성을 향상할 수 있는 본 발명의 제조방법의 실시예 2를 다음에 설명한다.

실시예 2의 제조방법도 제1도에 도시하는 장치에 의하여 실시할 수 있지만, 실시예 2의 경우는 챔버(1) 내에 수납되어 있는 배기중의 표시장치(2)를 작동시키는 전원 및 그 배선이 더욱 필요로 된다.

상기한 실시예 1의 제조방법과 실시예 2의 제조방법과의 상위를 제3도 및 제4도를 참조하면서 설명한다. 상기한 실시예 1의 제조방법과 실시예 2의 제조방법은 여러번 반복해서 행해지는 가스클리닝 방법이 다르다. 즉 실시예 1에 있어서는 제3도에 도시하는 바와 같이 약 10^-7Torr 까지 배기한후, 환원성가스를 도입하여 홀드하는 공정(21)을 경유하여, 도입한 환원성 가스를 배기공정(22)에 의하여 배기하고 있다. 그리고 이 공정(21)과 공정(22)을 여러번 반복함으로써, 가스클리닝을 행하고 있다.

그러나, 이와 같은 가스클리닝을 행하더라도 표시장치(2) 내의 가스가 충분히 방출되지 않는 경우가 있었다.

여기서, 제4도에 도시하는 실시예 2에 있어서는 표시장치(2) 내를 약 10^-7Torr까지 배기한후, 통전배기공정(23)에 있어서 표시소자(2) 내를 배기하면서 수분간 통전을 행하고, 그후 환원성 가스를 10^-2~ 500 Torr의 압력으로 될때까지 도입하여 수분간 홀드하는 공정(24)을 경유하여 도입한 환원성 가스를 배기공정(25)에 의하여 약 10^-7Torr까지 배기하고 있다. 그리고, 이 통전배기공정(23) 내지 배기공정(25)을, 예를 들면 여러번 반복함으로써 가스클리닝을 행하도록 하고 있다.

그리고, 가스클리닝을 종료한후, 챔버(1) 내를 약 300℃로 유지하면서 약 6시간 정도 배기하여, 배기관 혹은 시일링덮개를 시일링하여 내부가 고진공으로 된 표시장치(2)를 완성시키고 있다.

상기한 실시예 2에 의하면, 고진공으로 된 상태에서 표시장치(2) 내의 전자방출원인 캐소드에 통전되기 때문에, 캐소드가 활성화됨과 동시에, 캐소드로부터 방출된 전자가 아노드를 두드리기 때문에, 내부에 흡착되어 있는 가스가 방출되기 쉬워지고, 더욱 계속 하여 환원성 가스를 도입하고 있기 때문에 보다 더 표시장치(2) 내의 가스를 방출할 수 있어 수명특성을 보다 향상시킬 수가 있다.

더욱, 본 발명의 실시예 1 및 실시예 2의 제조방법에 있어서, 클리닝시에 표시장치(2) 내에 도입하는 가스는 환원성 가스에 한하지 않고, 약환원성의 CO, CO₂등의 가스를 사용하여도 좋다.

또 Ar 등의 불활성 가스를 도입하더라도 표시장치 내부의 가스방출을 행할 수가 있다.

더욱, CH₄, C₂H₆등의 가스를 도입하면, 표시장치가 전계방출형 캐소드를 구비하는 경우는 그의 이미터콘의 선단에 카본이 부착함으로써 가공함수(work fuction)가 저하하고 이미터전류가 크게 되는 효과가 있다.

상기 표시장치는 전계방출형 캐소드를 구비하는 표시장치에 한정되지 않고, 형광표시관일지라도 좋다.

[발명의 효과]

본 발명의 제조방법은 이상과 같이 가스를 도입하는 공정과, 이어서 진공배기하는 공정을 반복하여 행하고 있기 때문에, 내부에 흡착된 가스를 용이하게 방출할 수가 있고, 수명특성을 충분히 향상할 수가 있다. 이 경우, 가스를 환원성 가스로 하면, 내부의 산화한 부분을 환원시킴으로써 흡착된 가스를 방출할 수 있기 때문에 보다 효과적이다.

더욱 표시장치에 통전을 하여 배기하는 공정에 부가하여, 가스를 도입하는 공정과, 이어서 진공배기하는 공정의 3개의 공정을 반복하여 행함으로써 내부에 흡착된 가스를 더욱 용이하게 방출할 수 있고, 또한 가스를 환원성 가스로 함으로써 지금까지 얻을 수 없었던 긴 수명의 표시장치를 제조할 수가 있다.

또 수명이 향상될 뿐만 아니라 표시장치의 전류-전압 특성이 비약적으로 향상되기 때문에 보다 고휘도의 표시장치를 얻을 수가 있다.

Claims

진공외위기내에 전자방출수단을 구비한 평형표시장치를 가열챔버내에 넣고, 해당표시 장치를 베이킹하면서 표시장치내를 진공배기하고, 진공배기한 표시장치내에 가스를 도입하여 홀드하는 공정과, 이어서 상기 표시장치내의 가스를 진공배기하는 공정을 반복하여 행하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
적어도 전자방출수단을 구비한 표시장치의 제조에 있어서, 상기 표시장치내를 진공 배기한후에 상기 표시장치를 베이킹하면서, 상기 전자방출수단에 통전하는 공정과, 상기 표시장치내에 가스를 도입하여 홀드하는 공정과, 상기 표시장치내를 진공배기하는 공정을 여러번 반복하여 행하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 가스를 환원성의 가스로 한 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 공정종료후에 대기에 노출시키지 않으면서 시일링압력까지 진공배기한후, 시일링을 행하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.