JPH07302545A - 表示装置の製造方法 - Google Patents
表示装置の製造方法Info
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- JPH07302545A JPH07302545A JP6119675A JP11967594A JPH07302545A JP H07302545 A JPH07302545 A JP H07302545A JP 6119675 A JP6119675 A JP 6119675A JP 11967594 A JP11967594 A JP 11967594A JP H07302545 A JPH07302545 A JP H07302545A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 寿命特性を飛躍的に向上することができる表
示装置の製造方法を提供すること。 【構成】 表示装置２をチャンバー１内に配設し、表示
装置２内を約１０-7Torr程度の圧力になるまで排気す
る。次いで、バルブ７を開けてガスボンベ８から還元性
ガスを表示装置２内に導入し、バルブ７を閉じこの状態
を数分間ホールドする。さらに、表示装置２内を約１０
-5Torr程度の圧力となるまで排気する。この還元性ガス
導入工程と還元性ガス排気工程とを、例えば８回繰り返
して行った後、チャンバー１内を約３００℃に保ちなが
ら約６時間程度排気してから、排気管あるいは封止蓋を
封止することにより内部が高真空とされた表示装置２を
得るようにする。
示装置の製造方法を提供すること。 【構成】 表示装置２をチャンバー１内に配設し、表示
装置２内を約１０-7Torr程度の圧力になるまで排気す
る。次いで、バルブ７を開けてガスボンベ８から還元性
ガスを表示装置２内に導入し、バルブ７を閉じこの状態
を数分間ホールドする。さらに、表示装置２内を約１０
-5Torr程度の圧力となるまで排気する。この還元性ガス
導入工程と還元性ガス排気工程とを、例えば８回繰り返
して行った後、チャンバー１内を約３００℃に保ちなが
ら約６時間程度排気してから、排気管あるいは封止蓋を
封止することにより内部が高真空とされた表示装置２を
得るようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子放出手段と電子放
出手段から放出された電子により発光される発光手段と
を備える表示装置の製造方法に関するものである。
出手段から放出された電子により発光される発光手段と
を備える表示装置の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の表示装置の製造方法を図８を参照
しながら説明するが、この図に示す装置は真空排気工程
を行うための装置であり、表示装置内を封止できる圧力
になるまで真空排気する作業を行っている。この図に於
て、電子を放出するカソードが形成された、例えばガラ
ス製のカソード基板と、放出された電子を捕集するアノ
ードが形成された、例えばガラス製のアノード基板と
を、互いに所定の間隙を有するよう封着することにより
表示装置１０２は作製されており、表示装置１０２は加
熱ヒータを内蔵するチャンバー１０１内に配設されてい
ると共に、表示装置１０２内を真空にするために設けら
れている排気管が真空排気装置のヘッド１０３に装着さ
れている。この従来例の場合、表示装置１０２を配設で
きるヘッド１０３が設けられている。
しながら説明するが、この図に示す装置は真空排気工程
を行うための装置であり、表示装置内を封止できる圧力
になるまで真空排気する作業を行っている。この図に於
て、電子を放出するカソードが形成された、例えばガラ
ス製のカソード基板と、放出された電子を捕集するアノ
ードが形成された、例えばガラス製のアノード基板と
を、互いに所定の間隙を有するよう封着することにより
表示装置１０２は作製されており、表示装置１０２は加
熱ヒータを内蔵するチャンバー１０１内に配設されてい
ると共に、表示装置１０２内を真空にするために設けら
れている排気管が真空排気装置のヘッド１０３に装着さ
れている。この従来例の場合、表示装置１０２を配設で
きるヘッド１０３が設けられている。
【０００３】前記ヘッド１０３はそれぞれバルブ１０４
を介してマニホールド１０５に連結されており、マニホ
ールド１０５はバルブ１１２及びバルブ１０６を介して
ドライポンプ１０７に連結されている。また、マニホー
ルド１０５はゲートバルブ１０８に連結されており、ゲ
ートバルブ１０８はターボ分子ポンプ１１０に連結され
ている。また、ターボ分子ポンプ１１０はバルブ１１１
を介してドライポンプ１０７に連結されている。
を介してマニホールド１０５に連結されており、マニホ
ールド１０５はバルブ１１２及びバルブ１０６を介して
ドライポンプ１０７に連結されている。また、マニホー
ルド１０５はゲートバルブ１０８に連結されており、ゲ
ートバルブ１０８はターボ分子ポンプ１１０に連結され
ている。また、ターボ分子ポンプ１１０はバルブ１１１
を介してドライポンプ１０７に連結されている。
【０００４】この真空排気を行う装置の動作を説明する
と、カソードとアノードとが収納された表示装置１０２
をチャンバー１０１内に配設し、その排気管をヘッド１
０３に装着する。そして、バルブ１１２を開いてマニホ
ールド１０５にドライポンプ１０７を連結してマニホー
ルド１０５、バルブ１０４、ヘッド１０３、排気管を介
して表示装置１０２内を真空に荒引きする。荒引きによ
り表示装置１０２内の圧力がある程度下がってきたら、
バルブ１１２を閉じ、ゲートバルブ１０８を開けてター
ボ分子ポンプ１１０をマニホールド１０５に連結して、
マニホールド１０５、バルブ１０４、ヘッド１０３、排
気管を介して表示装置１０２内を真空に排気する。この
場合、バルブ１１１を開いてドライポンプ１０７により
ターボ分子ポンプ１１０をバックアップしている。
と、カソードとアノードとが収納された表示装置１０２
をチャンバー１０１内に配設し、その排気管をヘッド１
０３に装着する。そして、バルブ１１２を開いてマニホ
ールド１０５にドライポンプ１０７を連結してマニホー
ルド１０５、バルブ１０４、ヘッド１０３、排気管を介
して表示装置１０２内を真空に荒引きする。荒引きによ
り表示装置１０２内の圧力がある程度下がってきたら、
バルブ１１２を閉じ、ゲートバルブ１０８を開けてター
ボ分子ポンプ１１０をマニホールド１０５に連結して、
マニホールド１０５、バルブ１０４、ヘッド１０３、排
気管を介して表示装置１０２内を真空に排気する。この
場合、バルブ１１１を開いてドライポンプ１０７により
ターボ分子ポンプ１１０をバックアップしている。
【０００５】ゲートバルブ１０８を開けると同時に、加
熱ヒータを作動させてチャンバー１０１内が約３５０℃
になるまで加熱し、チャンバー１０１内の温度が約３５
０℃に達したら、この温度を保つ様にしている。そし
て、この状態のまま数時間排気を続けることにより表示
装置１０２内が約１０-7Torr程度の圧力となるよう排気
し、その後排気管を封止することにより内部が高真空と
された表示装置１０２を得るようにしている。
熱ヒータを作動させてチャンバー１０１内が約３５０℃
になるまで加熱し、チャンバー１０１内の温度が約３５
０℃に達したら、この温度を保つ様にしている。そし
て、この状態のまま数時間排気を続けることにより表示
装置１０２内が約１０-7Torr程度の圧力となるよう排気
し、その後排気管を封止することにより内部が高真空と
された表示装置１０２を得るようにしている。
【０００６】この工程における温度プロファイルは図９
に示すように、荒引き後にチャンバー１０１に内蔵され
た加熱ヒータを作動させて温度を上昇させていき、チャ
ンバー１０１内が約３５０℃となったらこの温度が数時
間持続するようにする。そして、排気を続けながら徐々
に温度を下げていき、所定の圧力となったところで排気
管を封止するのである。このように、表示装置１０２は
ガスが放出されやすくなるようにベーキングされながら
内部の排気が行われている。
に示すように、荒引き後にチャンバー１０１に内蔵され
た加熱ヒータを作動させて温度を上昇させていき、チャ
ンバー１０１内が約３５０℃となったらこの温度が数時
間持続するようにする。そして、排気を続けながら徐々
に温度を下げていき、所定の圧力となったところで排気
管を封止するのである。このように、表示装置１０２は
ガスが放出されやすくなるようにベーキングされながら
内部の排気が行われている。
【０００７】このようにして作成された表示装置におい
ては、ベーキングしながら高真空に引いているものの、
寿命特性（残存率）が余り良くないという欠点がある。
さらに、高真空にするのに長時間を費やすという欠点も
ある。前記寿命特性が悪いのは、表示管１０２内部の放
出ガスの排気が不十分と考えられる。表示装置内には蛍
光体や各種電極材料を用いており、これらの材料がガス
を吸着しているものと考えられる。しかしながら、これ
らの材料に吸着されたガスはベーキングによっても放出
されにくく、封止後に表示装置１０２を作動させたとき
にこれらの材料からガスが放出され、この放出ガスによ
り内部の電子放出源等が汚染されて寿命特性が悪化する
ものと考えられる。
ては、ベーキングしながら高真空に引いているものの、
寿命特性（残存率）が余り良くないという欠点がある。
さらに、高真空にするのに長時間を費やすという欠点も
ある。前記寿命特性が悪いのは、表示管１０２内部の放
出ガスの排気が不十分と考えられる。表示装置内には蛍
光体や各種電極材料を用いており、これらの材料がガス
を吸着しているものと考えられる。しかしながら、これ
らの材料に吸着されたガスはベーキングによっても放出
されにくく、封止後に表示装置１０２を作動させたとき
にこれらの材料からガスが放出され、この放出ガスによ
り内部の電子放出源等が汚染されて寿命特性が悪化する
ものと考えられる。
【０００８】これを解決する表示装置の製造方法が、特
開平２−２９９１２９号公報に提案されている。この製
造方法は真空排気工程時に、表示装置に通電を行うこと
により電子放出源を活性化すると共に、電子放出源から
放出させた電子でアノードを叩くことにより吸着された
ガスを放出させようとするものである。
開平２−２９９１２９号公報に提案されている。この製
造方法は真空排気工程時に、表示装置に通電を行うこと
により電子放出源を活性化すると共に、電子放出源から
放出させた電子でアノードを叩くことにより吸着された
ガスを放出させようとするものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の製造方法においても表示装置内のガスを十分に放出
することができず、表示装置の寿命特性を実用段階まで
向上することができなかった。そこで、本発明は寿命特
性を飛躍的に向上することができる表示装置の製造方法
を提供することを目的としている。
来の製造方法においても表示装置内のガスを十分に放出
することができず、表示装置の寿命特性を実用段階まで
向上することができなかった。そこで、本発明は寿命特
性を飛躍的に向上することができる表示装置の製造方法
を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の表示装置の製造方法は、少なくとも電子放
出手段を備える表示装置の製造に際し、前記表示装置内
を真空排気した後に前記表示装置をベーキングしなが
ら、前記表示装置内にガスを導入しホールドする工程
と、続いて前記表示装置内を真空排気する工程とを数回
繰り返し行うようにしたものである。
に、本発明の表示装置の製造方法は、少なくとも電子放
出手段を備える表示装置の製造に際し、前記表示装置内
を真空排気した後に前記表示装置をベーキングしなが
ら、前記表示装置内にガスを導入しホールドする工程
と、続いて前記表示装置内を真空排気する工程とを数回
繰り返し行うようにしたものである。
【００１１】また、本発明の表示装置の製造方法は、少
なくとも電子放出手段を備える表示装置の製造に際し、
前記表示装置内を真空排気した後に前記表示装置をベー
キングしながら、前記電子放出手段に通電する工程と、
前記表示装置内にガスを導入しホールドする工程と、前
記表示装置内を真空排気する工程とを数回繰り返し行う
ようにしたものである。
なくとも電子放出手段を備える表示装置の製造に際し、
前記表示装置内を真空排気した後に前記表示装置をベー
キングしながら、前記電子放出手段に通電する工程と、
前記表示装置内にガスを導入しホールドする工程と、前
記表示装置内を真空排気する工程とを数回繰り返し行う
ようにしたものである。
【００１２】更に、具体的には、前記ガスを還元性のガ
スとするようにしたものである。そして、前記のように
真空排気した後、大気にさらすことなく封止圧力まで真
空排気した後、封止を行うようにして表示装置を製造す
るようにしたものである。
スとするようにしたものである。そして、前記のように
真空排気した後、大気にさらすことなく封止圧力まで真
空排気した後、封止を行うようにして表示装置を製造す
るようにしたものである。
【００１３】
【作用】本発明によれば、ガスを導入する工程と、続い
て真空排気する工程とを繰り返し行うことにより内部に
吸着されたガスを容易に放出することができ、寿命特性
を向上することができる。この場合、ガスを還元性ガス
とすると、内部の酸化した部分を還元することにより吸
着されたガスを放出しやすくすることができるため、よ
り効果的である。
て真空排気する工程とを繰り返し行うことにより内部に
吸着されたガスを容易に放出することができ、寿命特性
を向上することができる。この場合、ガスを還元性ガス
とすると、内部の酸化した部分を還元することにより吸
着されたガスを放出しやすくすることができるため、よ
り効果的である。
【００１４】更に、表示装置に通電して排気する通電排
気工程を付加してガスを導入する工程と、続いて真空排
気する工程との３工程を繰り返し行うことにより、内部
に吸着されたガスをさらに容易に放出することができ、
加えてガスを還元性ガスとすることにより、吸着された
ガスの大部分を放出することができるため、今までに得
られなかった長寿命の表示装置を製造することができ
る。また、寿命が向上するだけでなく、電流−電圧特性
が飛躍的に向上するため、より高輝度の表示装置を得る
ことができる。
気工程を付加してガスを導入する工程と、続いて真空排
気する工程との３工程を繰り返し行うことにより、内部
に吸着されたガスをさらに容易に放出することができ、
加えてガスを還元性ガスとすることにより、吸着された
ガスの大部分を放出することができるため、今までに得
られなかった長寿命の表示装置を製造することができ
る。また、寿命が向上するだけでなく、電流−電圧特性
が飛躍的に向上するため、より高輝度の表示装置を得る
ことができる。
【００１５】
【実施例】本発明の製造方法の第１実施例を図１を参照
しながら説明するが、そのまえに図１に示す真空排気工
程を行う装置の説明を行う。この図に於て、電子を放出
するカソードが形成された、例えばガラス製のカソード
基板と、カソードから放出された電子を捕集するアノー
ドが形成された、例えばガラス製のアノード基板とを互
いに所定の間隙を有するよう封着することにより表示装
置２は作製されており、表示装置２は加熱ヒータを内蔵
するチャンバー１内に配設されていると共に、表示装置
２内を真空にするために設けられている排気管が真空排
気装置のヘッド３に装着されている。この実施例の場
合、表示装置２を２つ同時に真空に排気できるように、
チャンバー１内には表示装置２を複数配設できると共
に、ヘッド３は複数設けられている。
しながら説明するが、そのまえに図１に示す真空排気工
程を行う装置の説明を行う。この図に於て、電子を放出
するカソードが形成された、例えばガラス製のカソード
基板と、カソードから放出された電子を捕集するアノー
ドが形成された、例えばガラス製のアノード基板とを互
いに所定の間隙を有するよう封着することにより表示装
置２は作製されており、表示装置２は加熱ヒータを内蔵
するチャンバー１内に配設されていると共に、表示装置
２内を真空にするために設けられている排気管が真空排
気装置のヘッド３に装着されている。この実施例の場
合、表示装置２を２つ同時に真空に排気できるように、
チャンバー１内には表示装置２を複数配設できると共
に、ヘッド３は複数設けられている。
【００１６】複数本のヘッド３はそれぞれバルブ４を介
してマニホールド５に連結されており、マニホールド５
は流量調整バルブ６及びバルブ７を介してガスボンベ８
に連結されていると共に、バルブ９を介して第１ドライ
ポンプ１０に連結されている。また、マニホールド５は
ゲートバルブ１１に連結されており、ゲートバルブ１１
はターボ分子ポンプ１３に連結されている。また、ター
ボ分子ポンプ１３はバルブ１４を介して第２ドライポン
プ１５に連結されている。
してマニホールド５に連結されており、マニホールド５
は流量調整バルブ６及びバルブ７を介してガスボンベ８
に連結されていると共に、バルブ９を介して第１ドライ
ポンプ１０に連結されている。また、マニホールド５は
ゲートバルブ１１に連結されており、ゲートバルブ１１
はターボ分子ポンプ１３に連結されている。また、ター
ボ分子ポンプ１３はバルブ１４を介して第２ドライポン
プ１５に連結されている。
【００１７】次に、この真空排気を行う装置による第１
実施例の製造方法を説明すると、カソード基板とアノー
ド基板とが収納された容器からなる表示装置２をチャン
バー１内に配設し、その排気管をヘッド３に装着する。
そして、バルブ９を開いてマニホールド５に第１ドライ
ポンプ１０を連結してマニホールド５、バルブ４、ヘッ
ド３、排気管を介して表示装置２内を真空に荒引きす
る。荒引きにより表示装置２内の圧力がある程度下がっ
てきたら、バルブ９を閉じ、ゲートバルブ１１を開けて
ターボ分子ポンプ１３をマニホールド５に連結して、マ
ニホールド５、バルブ４、ヘッド３、排気管を介して表
示装置２内を真空に排気する。この場合、バルブ１４を
開いて第２ドライポンプ１５によりターボ分子ポンプ１
３をバックアップしている。
実施例の製造方法を説明すると、カソード基板とアノー
ド基板とが収納された容器からなる表示装置２をチャン
バー１内に配設し、その排気管をヘッド３に装着する。
そして、バルブ９を開いてマニホールド５に第１ドライ
ポンプ１０を連結してマニホールド５、バルブ４、ヘッ
ド３、排気管を介して表示装置２内を真空に荒引きす
る。荒引きにより表示装置２内の圧力がある程度下がっ
てきたら、バルブ９を閉じ、ゲートバルブ１１を開けて
ターボ分子ポンプ１３をマニホールド５に連結して、マ
ニホールド５、バルブ４、ヘッド３、排気管を介して表
示装置２内を真空に排気する。この場合、バルブ１４を
開いて第２ドライポンプ１５によりターボ分子ポンプ１
３をバックアップしている。
【００１８】ゲートバルブ１１を開けると同時に、加熱
ヒータを作動させてチャンバー１内を加熱して約３５０
℃の温度まで上昇させる。そして、この状態のまま排気
を続けることにより表示装置２内を約１０-7Torr程度の
圧力になるまで排気する。そして、チャンバー１内の温
度を約３５０℃に保ちながら、ゲートバルブ１１を閉じ
ると共に、バルブ７を開けてガスボンベ８から還元性ガ
スを表示装置２内に導入する。この場合、流量調整バル
ブ６を調整して還元性ガスの流量を調節しながら、表示
装置２内の圧力が１０-2〜５００Torrの圧力となるまで
還元性ガスを導入する。還元性ガス導入後、バルブ７を
閉じこの状態を数分間ホールドする。
ヒータを作動させてチャンバー１内を加熱して約３５０
℃の温度まで上昇させる。そして、この状態のまま排気
を続けることにより表示装置２内を約１０-7Torr程度の
圧力になるまで排気する。そして、チャンバー１内の温
度を約３５０℃に保ちながら、ゲートバルブ１１を閉じ
ると共に、バルブ７を開けてガスボンベ８から還元性ガ
スを表示装置２内に導入する。この場合、流量調整バル
ブ６を調整して還元性ガスの流量を調節しながら、表示
装置２内の圧力が１０-2〜５００Torrの圧力となるまで
還元性ガスを導入する。還元性ガス導入後、バルブ７を
閉じこの状態を数分間ホールドする。
【００１９】そして、必要に応じ第１ドライポンプ１０
による荒引きを行い、次いでゲートバルブ１１を開けて
ターボ分子ポンプ１３をマニホールド５に連結して、マ
ニホールド５、バルブ４、ヘッド３、排気管を介して表
示装置２内を約１０-5torr程度の圧力となるまで排気す
る。前記した還元性ガス導入工程と還元性ガス排気工程
とを１０回以下、例えば８回繰り返して行う。その後、
チャンバー１内を約３００℃に保ちながら表示装置２内
の圧力が約１０-7Torrになるよう約６時間程度排気して
から、排気管あるいは封止蓋を封止することにより、内
部が高真空とされた表示装置２を得るようにする。
による荒引きを行い、次いでゲートバルブ１１を開けて
ターボ分子ポンプ１３をマニホールド５に連結して、マ
ニホールド５、バルブ４、ヘッド３、排気管を介して表
示装置２内を約１０-5torr程度の圧力となるまで排気す
る。前記した還元性ガス導入工程と還元性ガス排気工程
とを１０回以下、例えば８回繰り返して行う。その後、
チャンバー１内を約３００℃に保ちながら表示装置２内
の圧力が約１０-7Torrになるよう約６時間程度排気して
から、排気管あるいは封止蓋を封止することにより、内
部が高真空とされた表示装置２を得るようにする。
【００２０】以上が本発明の製造方法の第１実施例であ
るが、この製造方法における温度プロファイルは図２に
示すように、表示装置２内を荒引き後、チャンバー１に
内蔵された加熱ヒータを作動させてチャンバー１内の温
度が約３５０℃となるように加熱する。この温度状態を
約３０分持続するようにするが、この時間内に前記還元
性ガス導入工程と還元性ガス排気工程とが、例えば８回
繰り返えされる。そして、排気を続けながら徐々に温度
を下げていき、約１０-7Torrの圧力となったところで排
気管（封止蓋）を封止するようにする。
るが、この製造方法における温度プロファイルは図２に
示すように、表示装置２内を荒引き後、チャンバー１に
内蔵された加熱ヒータを作動させてチャンバー１内の温
度が約３５０℃となるように加熱する。この温度状態を
約３０分持続するようにするが、この時間内に前記還元
性ガス導入工程と還元性ガス排気工程とが、例えば８回
繰り返えされる。そして、排気を続けながら徐々に温度
を下げていき、約１０-7Torrの圧力となったところで排
気管（封止蓋）を封止するようにする。
【００２１】このように、表示装置２内に還元性ガスを
導入してホールドすることにより、導入された還元性ガ
スにより表示装置２内部の酸化された部分が還元され
て、ガス放出が行われる（以下、「ガスクリーニング」
と云う）ようになる。なおこの場合、表示装置２からガ
スが放出されやすくなるように表示装置２はベーキング
されながら排気されており、前記した第１実施例の製造
方法により製造すると、表示装置の寿命特性を格段に向
上することができるようになる。
導入してホールドすることにより、導入された還元性ガ
スにより表示装置２内部の酸化された部分が還元され
て、ガス放出が行われる（以下、「ガスクリーニング」
と云う）ようになる。なおこの場合、表示装置２からガ
スが放出されやすくなるように表示装置２はベーキング
されながら排気されており、前記した第１実施例の製造
方法により製造すると、表示装置の寿命特性を格段に向
上することができるようになる。
【００２２】そこで、前記ガスクリーニングの作用効果
を図５ないし図７を用いて説明するが、この場合の表示
装置は電界放出型カソードを備えるものとしている。図
５はガスクリーニングを行った場合と、行わなかった場
合の表示装置２内のカソード等を形成しているモリブデ
ン（Ｍｏ）におけるＥＳＣＡ分析による分析結果を示し
ており、横軸は結合エネルギー（binding energy）、縦
軸は相対強度Ｎ（Ｅ）／Ｅである。図５（ａ）はガスク
リーニングを行なわない場合であり、金属モリブデンＭ
ｏ（Metal ）の結合エネルギー２２８［ｅＶ］のスペク
トルと、モリブデンの酸化物（ＭｏＯ2 ，ＭｏＯ3 ）の
スペクトルとが大きい強度となっている事が確認でき
る。これは、モリブデンに酸素が吸着されてモリブデン
の酸化物とされた事を示している。
を図５ないし図７を用いて説明するが、この場合の表示
装置は電界放出型カソードを備えるものとしている。図
５はガスクリーニングを行った場合と、行わなかった場
合の表示装置２内のカソード等を形成しているモリブデ
ン（Ｍｏ）におけるＥＳＣＡ分析による分析結果を示し
ており、横軸は結合エネルギー（binding energy）、縦
軸は相対強度Ｎ（Ｅ）／Ｅである。図５（ａ）はガスク
リーニングを行なわない場合であり、金属モリブデンＭ
ｏ（Metal ）の結合エネルギー２２８［ｅＶ］のスペク
トルと、モリブデンの酸化物（ＭｏＯ2 ，ＭｏＯ3 ）の
スペクトルとが大きい強度となっている事が確認でき
る。これは、モリブデンに酸素が吸着されてモリブデン
の酸化物とされた事を示している。
【００２３】同図（ｂ）はガスクリーニングを行った場
合であり、金属モリブデンＭｏ（Metal ）の結合エネル
ギー２２８［ｅＶ］のスペクトルがより大きい強度とさ
れて、モリブデンの酸化物（ＭｏＯ2 ，ＭｏＯ3 ）のス
ペクトルが小さい強度とされている事から、還元性ガス
にモリブデンを酸化している酸素が吸着される事によ
り、モリブデンの酸化物が還元されて、金属モリブデン
とされた事がわかる。なお、金属モリブデンとモリブデ
ンの酸化物との間のスペクトルはどちらのモリブデンで
も出現するスペクトルであって、この場合特別の意味は
ない。これらの測定結果から、ガスクリーニングにより
モリブデンに吸着されているガスを放出できる事がわか
る。
合であり、金属モリブデンＭｏ（Metal ）の結合エネル
ギー２２８［ｅＶ］のスペクトルがより大きい強度とさ
れて、モリブデンの酸化物（ＭｏＯ2 ，ＭｏＯ3 ）のス
ペクトルが小さい強度とされている事から、還元性ガス
にモリブデンを酸化している酸素が吸着される事によ
り、モリブデンの酸化物が還元されて、金属モリブデン
とされた事がわかる。なお、金属モリブデンとモリブデ
ンの酸化物との間のスペクトルはどちらのモリブデンで
も出現するスペクトルであって、この場合特別の意味は
ない。これらの測定結果から、ガスクリーニングにより
モリブデンに吸着されているガスを放出できる事がわか
る。
【００２４】図６は表示装置の寿命特性（残存率）を示
すが、横軸が動作時間であり、縦軸が相対アノード電流
（Relative anode current）を百分率で示している。こ
の図に於て、上の２本の曲線で示す特性がガスクリーニ
ングを行う本発明の製造方法による表示装置の電子放出
手段の寿命特性（残存率）であり、下の３本の曲線で示
す特性がガスクリーニングを行なわない従来の製造方法
による表示装置の電子放出手段の寿命特性（残存率）で
ある。この寿命特性（残存率）を見ると従来の製造方法
による表示装置では、５時間程度の動作により電子放出
手段の残存率は約２割に減少してしまうが、本発明の製
造方法による表示装置では８０時間の作動によっても約
８割以上の電子放出手段の残存率とすることができ、ガ
スクリーニングを行えば寿命を格段に伸ばせることがわ
かる。
すが、横軸が動作時間であり、縦軸が相対アノード電流
（Relative anode current）を百分率で示している。こ
の図に於て、上の２本の曲線で示す特性がガスクリーニ
ングを行う本発明の製造方法による表示装置の電子放出
手段の寿命特性（残存率）であり、下の３本の曲線で示
す特性がガスクリーニングを行なわない従来の製造方法
による表示装置の電子放出手段の寿命特性（残存率）で
ある。この寿命特性（残存率）を見ると従来の製造方法
による表示装置では、５時間程度の動作により電子放出
手段の残存率は約２割に減少してしまうが、本発明の製
造方法による表示装置では８０時間の作動によっても約
８割以上の電子放出手段の残存率とすることができ、ガ
スクリーニングを行えば寿命を格段に伸ばせることがわ
かる。
【００２５】図７はガスクリーニングによるＩ−Ｖ特性
の変化を示す図であり、横軸はゲート電圧（Gate Volta
ge）縦軸はアノード電流（Anode Current ）である。こ
の図に於て、黒丸で連結して示すＩ−Ｖ特性がガスクリ
ーニングを行う本発明の製造方法による表示装置の特性
であり、白丸で連結して示すＩ−Ｖ特性がガスクリーニ
ングを行なわない従来の製造方法による表示装置の特性
であり、ゲート電圧が電子放出開始電圧を越えてアノー
ド電流が流れ出すと、本発明による製造方法による表示
装置には大きなアノード電流が流れる事がわかる。これ
は、結合エネルギーが小さい金属モリブデンが多くな
り、モリブデン製の電子放出手段から電子が放出されや
すくなったためと考えられる。例えば、ゲート電圧を１
２０［Ｖ］とした時に従来の製造方法による表示装置で
は６００［μＡ］しか流れないアノード電流が、本発明
の製造方法による表示装置では約３倍の１６００［μ
Ａ］を越えるアノード電流とすることができ、このため
本発明に於ては表示装置の輝度を格段に向上できる事が
わかる。
の変化を示す図であり、横軸はゲート電圧（Gate Volta
ge）縦軸はアノード電流（Anode Current ）である。こ
の図に於て、黒丸で連結して示すＩ−Ｖ特性がガスクリ
ーニングを行う本発明の製造方法による表示装置の特性
であり、白丸で連結して示すＩ−Ｖ特性がガスクリーニ
ングを行なわない従来の製造方法による表示装置の特性
であり、ゲート電圧が電子放出開始電圧を越えてアノー
ド電流が流れ出すと、本発明による製造方法による表示
装置には大きなアノード電流が流れる事がわかる。これ
は、結合エネルギーが小さい金属モリブデンが多くな
り、モリブデン製の電子放出手段から電子が放出されや
すくなったためと考えられる。例えば、ゲート電圧を１
２０［Ｖ］とした時に従来の製造方法による表示装置で
は６００［μＡ］しか流れないアノード電流が、本発明
の製造方法による表示装置では約３倍の１６００［μ
Ａ］を越えるアノード電流とすることができ、このため
本発明に於ては表示装置の輝度を格段に向上できる事が
わかる。
【００２６】さらに、寿命特性を向上する事のできる本
発明の製造方法の第２実施例を次に説明する。第２実施
例の製造方法も、図１に示す装置により実施することが
できるが、第２実施例の場合は、チャンバー１内に収納
されている排気中の表示装置２を作動させる電源及びそ
の配線がさらに必要となる。前記した第１実施例の製造
方法と第２実施例の製造方法との相違を図３及び図４を
参照しながら説明する。前記した第１実施例の製造方法
と第２実施例の製造方法とは数回繰り返し行われるガス
クリーニング方法が異なる。すなわち、第１実施例に於
ては図３に示す様に約１０-7Torrまで排気した後、還元
性ガスを導入してホールドする工程２１を経て、導入し
た還元性ガスを排気工程２２により排気している。そし
て、この工程２１と工程２２とを数回繰り返す事によ
り、ガスクリーニングを行っている。
発明の製造方法の第２実施例を次に説明する。第２実施
例の製造方法も、図１に示す装置により実施することが
できるが、第２実施例の場合は、チャンバー１内に収納
されている排気中の表示装置２を作動させる電源及びそ
の配線がさらに必要となる。前記した第１実施例の製造
方法と第２実施例の製造方法との相違を図３及び図４を
参照しながら説明する。前記した第１実施例の製造方法
と第２実施例の製造方法とは数回繰り返し行われるガス
クリーニング方法が異なる。すなわち、第１実施例に於
ては図３に示す様に約１０-7Torrまで排気した後、還元
性ガスを導入してホールドする工程２１を経て、導入し
た還元性ガスを排気工程２２により排気している。そし
て、この工程２１と工程２２とを数回繰り返す事によ
り、ガスクリーニングを行っている。
【００２７】しかしながら、このようなガスクリーニン
グを行っても表示装置２内のガスが十分放出されない場
合があった。そこで、図４に示す第２実施例においては
表示装置２内を約１０-7Torrまで排気した後、通電排気
工程２３に於て表示素子２内を排気しながら数分間通電
を行い、その後還元性ガスを１０-2〜５００Torrの圧力
となるまで導入して、数分間ホールドする工程２４を経
て、導入した還元性ガスを排気工程２５により約１０-7
Torrまで排気している。そして、この通電排気工程２３
ないし排気工程２５を、例えば数回繰り返す事により、
ガスクリーニングを行うようにしている。そして、ガス
クリーニングを終了後、チャンバー１内を約３００℃に
保ちながら約６時間程度排気して、排気管あるいは封止
蓋を封止して内部が高真空とされた表示装置２を完成さ
せている。
グを行っても表示装置２内のガスが十分放出されない場
合があった。そこで、図４に示す第２実施例においては
表示装置２内を約１０-7Torrまで排気した後、通電排気
工程２３に於て表示素子２内を排気しながら数分間通電
を行い、その後還元性ガスを１０-2〜５００Torrの圧力
となるまで導入して、数分間ホールドする工程２４を経
て、導入した還元性ガスを排気工程２５により約１０-7
Torrまで排気している。そして、この通電排気工程２３
ないし排気工程２５を、例えば数回繰り返す事により、
ガスクリーニングを行うようにしている。そして、ガス
クリーニングを終了後、チャンバー１内を約３００℃に
保ちながら約６時間程度排気して、排気管あるいは封止
蓋を封止して内部が高真空とされた表示装置２を完成さ
せている。
【００２８】前記した第２実施例によれば、高真空とさ
れた状態で表示装置２内の電子放出源であるカソードに
通電されるため、カソードが活性化されると共に、カソ
ードから放出された電子がアノードを叩くため、内部に
吸着されているガスが放出されやすくなり、さらに続け
て還元性ガスを導入しているためより表示装置２内のガ
スを放出することができ、寿命特性をより向上すること
ができる。
れた状態で表示装置２内の電子放出源であるカソードに
通電されるため、カソードが活性化されると共に、カソ
ードから放出された電子がアノードを叩くため、内部に
吸着されているガスが放出されやすくなり、さらに続け
て還元性ガスを導入しているためより表示装置２内のガ
スを放出することができ、寿命特性をより向上すること
ができる。
【００２９】なお、本発明の第１実施例及び第２実施例
の製造方法に於て、クリーニング時に表示装置２内に導
入するガスは還元性ガスに限らず、弱還元性のＣＯ，Ｃ
Ｏ2等のガスを用いてもよい。また、Ａｒ等の不活性ガ
スを導入しても表示装置内部のガス放出を行うことがで
きる。さらに、ＣＨ4 ，Ｃ2 Ｈ6 等のガスを導入する
と、表示装置が電界放出型カソードを備える場合は、そ
のエミッタコーンの先端にカーボンが付着する事により
仕事関数が低下し、エミッション電流が大きくなる効果
がある。前記表示装置は電界放出型カソードを備える表
示装置に限らず、蛍光表示管であってもよい。
の製造方法に於て、クリーニング時に表示装置２内に導
入するガスは還元性ガスに限らず、弱還元性のＣＯ，Ｃ
Ｏ2等のガスを用いてもよい。また、Ａｒ等の不活性ガ
スを導入しても表示装置内部のガス放出を行うことがで
きる。さらに、ＣＨ4 ，Ｃ2 Ｈ6 等のガスを導入する
と、表示装置が電界放出型カソードを備える場合は、そ
のエミッタコーンの先端にカーボンが付着する事により
仕事関数が低下し、エミッション電流が大きくなる効果
がある。前記表示装置は電界放出型カソードを備える表
示装置に限らず、蛍光表示管であってもよい。
【００３０】
【発明の効果】本発明の製造方法は以上のようにガスを
導入する工程と、続いて真空排気する工程とを繰り返し
行っているため、内部に吸着されたガスを容易に放出す
ることができ、寿命特性を十分向上することができる。
この場合、ガスを還元性ガスとすると、内部の酸化した
部分を還元することにより吸着されたガスを放出するこ
とができるためより効果的である。
導入する工程と、続いて真空排気する工程とを繰り返し
行っているため、内部に吸着されたガスを容易に放出す
ることができ、寿命特性を十分向上することができる。
この場合、ガスを還元性ガスとすると、内部の酸化した
部分を還元することにより吸着されたガスを放出するこ
とができるためより効果的である。
【００３１】更に、表示装置に通電をして排気する工程
を付加して、ガスを導入する工程と、続いて真空排気す
る工程との３つの工程を繰り返し行うことにより、内部
に吸着されたガスをさらに容易に放出することができ、
加えてガスを還元性ガスとすることにより、今までに得
られなかった長寿命の表示装置を製造することができ
る。また、寿命が向上するだけでなく、表示装置の電流
−電圧特性が飛躍的に向上するため、より高輝度の表示
装置を得ることができる。
を付加して、ガスを導入する工程と、続いて真空排気す
る工程との３つの工程を繰り返し行うことにより、内部
に吸着されたガスをさらに容易に放出することができ、
加えてガスを還元性ガスとすることにより、今までに得
られなかった長寿命の表示装置を製造することができ
る。また、寿命が向上するだけでなく、表示装置の電流
−電圧特性が飛躍的に向上するため、より高輝度の表示
装置を得ることができる。
【図１】本発明の第１実施例を説明するための真空排気
工程を行う装置を示す図である。
工程を行う装置を示す図である。
【図２】本発明の第１実施例の温度プロファイルを示す
図である。
図である。
【図３】本発明の第１実施例のガスクリーニングのフロ
ーを示す図である。
ーを示す図である。
【図４】本発明の第２実施例のガスクリーニングのフロ
ーを示す図である。
ーを示す図である。
【図５】ガスクリーニングの作用効果を説明するための
ＥＳＣＡ分析による分析結果を示す図である。
ＥＳＣＡ分析による分析結果を示す図である。
【図６】ガスクリーニングの作用効果を説明するための
寿命特性（残存率）を示す図である。
寿命特性（残存率）を示す図である。
【図７】ガスクリーニングによるＩ−Ｖ特性の変化を示
す図である。
す図である。
【図８】従来の製造方法を説明するための真空排気工程
を行う装置を示す図である。
を行う装置を示す図である。
【図９】従来の製造方法の温度プロファイルを示す図で
ある。
ある。
１ 加熱ヒータ内蔵チャンバー ２ 表示装置 ３ ヘッド ４，６，７，９，１４ バルブ ５ マニホールド ８ ガスボンベ １０，１５ ドライポンプ １１ ゲートバルブ １３ ターボ分子ポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内田 裕治 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内 (72)発明者 渡辺 照男 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 少なくとも電子放出手段を備える表示装
置の製造に際し、前記表示装置内を真空排気した後に前
記表示装置をベーキングしながら、前記表示装置内にガ
スを導入しホールドする工程と、続いて前記表示装置内
を真空排気する工程とを数回繰り返し行うことを特徴と
する表示装置の製造方法。 - 【請求項２】 少なくとも電子放出手段を備える表示装
置の製造に際し、前記表示装置内を真空排気した後に前
記表示装置をベーキングしながら、前記電子放出手段に
通電する工程と、前記表示装置内にガスを導入しホール
ドする工程と、前記表示装置内を真空排気する工程とを
数回繰り返し行うことを特徴とする表示装置の製造方
法。 - 【請求項３】 前記ガスを還元性のガスとしたことを特
徴とする請求項１あるいは２記載の表示装置の製造方
法。 - 【請求項４】 請求項１記載あるいは請求項２記載の工
程終了後に、大気にさらすことなく封止圧力まで真空排
気した後、封止を行うことを特徴とする表示装置の製造
方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6119675A JP2832510B2 (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 表示装置の製造方法 |
| US08/437,786 US5564958A (en) | 1994-05-10 | 1995-05-09 | Method for manufacturing display device |
| KR1019950011242A KR100188071B1 (ko) | 1994-05-10 | 1995-05-09 | 표시장치의 제조방법 |
| FR9505533A FR2719943B1 (fr) | 1994-05-10 | 1995-05-10 | Procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6119675A JP2832510B2 (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 表示装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07302545A true JPH07302545A (ja) | 1995-11-14 |
| JP2832510B2 JP2832510B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=14767275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6119675A Expired - Fee Related JP2832510B2 (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 表示装置の製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5564958A (ja) |
| JP (1) | JP2832510B2 (ja) |
| KR (1) | KR100188071B1 (ja) |
| FR (1) | FR2719943B1 (ja) |
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| US6860779B2 (en) | 1998-05-18 | 2005-03-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing airtight vessel and image-forming apparatus using airtight vessel |
| KR100585244B1 (ko) * | 1998-06-29 | 2006-06-01 | 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 | 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법 |
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| JP3129226B2 (ja) * | 1997-03-25 | 2001-01-29 | 日本電気株式会社 | 電界放出型冷陰極搭載装置の製造方法 |
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1994
- 1994-05-10 JP JP6119675A patent/JP2832510B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-05-09 US US08/437,786 patent/US5564958A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-05-09 KR KR1019950011242A patent/KR100188071B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-05-10 FR FR9505533A patent/FR2719943B1/fr not_active Expired - Fee Related
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| KR950034360A (ko) | 1995-12-28 |
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