FR2805663A1 - Procede de nettoyage par plasma d'un ecran plat de visualisation - Google Patents

Abstract

L'invention concerne un procédé de nettoyage par plasma d'au moins une électrode (5, 14) d'un écran plat de visualisation à effet de champ, consistant à provoquer la génération d'un plasma dans un espace interne (13) séparant deux plaques parallèles (6, 10) constituant respectivement le fond et la surface de l'écran et portant chacune au moins une électrode, avant de mettre cet espace interne sous vide et de le clore définitivement.

Description

PROCÉDÉ <B>DE</B> NETTOYAGE <B>PAR</B> PLASMA D'UN ÉCRAN PLAT <B>DE</B> VISUALISATION La présente invention concerne un écran plat de visua lisation à effet de champ (FET), par exemple, à micropointes. Elle s'applique plus particulièrement à la fabrication d'un tel écran et, plus précisément, à une étape de nettoyage par plasma à laquelle est généralement soumise au moins une des électrodes de l'écran.

Classiquement, un écran plat du type auquel se rapporte la présente invention est constitué de deux plaques externes espacées généralement rectangulaires, par exemple en verre. Une plaque constitue la surface de l'écran tandis que l'autre consti tue le fond de l'écran, par exemple pourvu des moyens d'émission. Ces deux plaques sont assemblées au moyen d'un joint de scelle ment périphérique, en étant distantes l'une de l'autre pour ména ger un espace interne isolé de l'extérieur. L'air de cet espace interne est généralement pompé pour y faire le vide, ou cet espace contient une atmosphère neutre (gaz rare).

La figure 1 représente, par une vue en coupe partielle et schématique, un exemple de structure classique d'un écran plat couleur à micropointes du type auquel se rapporte la présente invention.

Un tel écran à micropointes est essentiellement consti tué d'une cathode 1 à micropointes 2 et d'une grille d'extraction 3 pourvue de trous 4 correspondant aux emplacements des micro pointes. La cathode 1 est placée en regard d'une anode cathodo- luminescente 5 dont un substrat de verre 6 constitue par exemple la surface d'écran.

Le principe de fonctionnement et un mode de réalisation particulier d'un écran à micropointes sont décrits, par exemple, dans le brevet américain n 4940916 du Commissariat à l'Énergie Atomique.

La cathode 1 est organisée en colonnes et est consti tuée, sur un substrat par exemple en verre 10, conducteur de cathode généralement organisée en mailles à partir d'une couche conductrice. Les micropointes 2 sont généralement réalisées sur une couche résistive 11 déposée sur les conducteurs de cathode et sont disposées à l'intérieur des mailles définies par les conduc teurs de cathode. La figure 1 représente partiellement l'inté rieur d'une maille et les conducteurs de cathode n'apparaissent pas sur cette figure. La cathode 1 est associée à la grille 3 qui est organisée en lignes. Cette grille 3 est déposée sur la plaque de cathode avec interposition d'une couche isolante 12. L'inter section d'une ligne de la grille 3 et d'une colonne de la cathode 1 définit généralement un pixel de l'écran.

Ce dispositif utilise le champ électrique créé entre la cathode 1 et la grille 3 pour que des électrons soient extraits des micropointes 2. Ces électrons sont ensuite attirés par des éléments luminophores 7 de l'anode 5 si ceux-ci sont convenable- ment polarisés. Dans le cas d'un écran couleur tel qu'illustré par la figure 1, l'anode 5 est, par exemple, pourvue de bandes alternées d'éléments luminophores 7r, 7g, 7b correspondant à cha cune des couleurs (rouge, verte, bleue). Les bandes peuvent être séparées les unes des autres par un isolant 8. Les éléments lumi- nophores 7 sont déposés sur des électrodes 9, constitués de ban des correspondantes d'une couche conductrice (transparente si l'anode constitue la surface de l'écran) telle que de l'oxyde d'indium et d'étain (ITO). Les ensembles des bandes rouges, bleues, vertes sont par exemple alternativement polarisés par rapport à la cathode 1 pour que les électrons extraient des micropointes 2 d'un pixel de la cathode-grille soient alternati vement dirigés vers les éléments luminophores 7 en vis-à-vis de chacune des couleurs. Dans le cas d'un écran monochrome, l'anode 5 porte des éléments luminophores de même couleur organisés selon un plan unique ou selon deux ensembles de bandes alternées pola risés le cas échéant séparément.

D'autres structures de cathode-grille et d'anode que celles décrites ci-dessus peuvent être rencontrées. Par exemple, les éléments luminophores de l'anode peuvent être répartis en motifs élémentaires correspondant aux tailles des pixels de l'écran. L'anode peut en outre, tout en étant constituée de plu sieurs ensembles de bandes ou de motifs élémentaires d'éléments luminophores, ne pas être commutée par ensembles de bandes ou de motifs. Toutes les bandes ou motifs sont alors à un même poten tiel, par exemple, en étant portés par un plan conducteur. On parle alors d'anode "non-commutée" par opposition aux anodes com mutées où les couleurs sont polarisées alternativement. Côté cathode-grille, on peut prévoir plusieurs grilles ayant des rôles respectifs d'extraction et de focalisation.

Quelle que soit la structure des électrodes portées par les substrats 10 et 6, la technique d'assemblage de l'écran est sensiblement la même. La cathode-grille et l'anode sont réalisées séparément sur les deux substrats ou plaques 10 et 6, puis sou mises toujours séparément à différents traitements de dégazage et de nettoyage avant d'être assemblées l'une à l'autre par un joint périphérique de scellement. La figure 2 représente, schématique- ment et en coupe, la structure classique d'un écran à micro pointes du type auquel se rapporte la présente invention. A la figure 2, l'ensemble cathode-grille, porté par le substrat 10, est désigné par la référence commune 14. De même, l'anode 5, por tée par le substrat 6, est représentée sous une forme simplifiée.

L'assenblage des plaques 6 et 10 est généralement effectué de la manière suivante. On commence par coller, généralement sur la cathode-grille 14, des espaceurs 16 destinés à définir l'espace inter-électrodes 13. Ces espaceurs 16 sont, par exemple, consti tués de billes de verre régulièrement réparties pour que l'épaisseur de l'espace 13 entre les plaques 6 et 10 soit sensi blement constant. On fait alors subir à la cathode-grille 14 un traitement thermique sous vide ayant pour objet de provoquer un dégazage de la cathode et une évaporation de la colle des espa- ceurs 16. Un traitement similaire est souvent appliqué, avant l'assemblage, à l'anode 5.

Selon le procédé d'assemblage auquel se rapporte la présente invention, on prévoit un tube de pompage 17 sur la face libre d'une des plaques (par exemple, la plaque 10). Ce tube 17 est, par exemple, en verre et est scellé par une extrémité ouverte au droit d'un trou formé dans la plaque 10 pour établir une communication avec l'espace 13. Selon ce procédé, le tube 17 sert à faire le vide dans l'espace 13 après assemblage des pla ques 6 et 10. Le tube 17 est généralement placé dans un coin de la plaque 10 hors de sa surface utile. Une fois les deux plaques 6 et 10 assemblées l'une à l'autre au moyen du joint périphérique 15, la structure obtenue est soumise, par l'intermédiaire du tube 17, à un pompage à chaud qui a pour rôle de provoquer un dégazage de l'espace 13. Une fois le vide fait dans l'espace interne de l'écran, le tube 17 est fermé à son extrémité libre, généralement après y avoir introduit un élément de piégeage d'impuretés 18 communément appelé "getter". Le rôle de ce getter 18 est d'absor ber les pollutions susceptibles d'apparaître pendant le fonction nement ultérieur de l'écran. A la figure 2, le tube 17 a été représenté fermé, c'est-à-dire une fois l'écran terminé.

Des structures d'écran plat du type auquel se rapporte l'invention, pourvues de tubes de pompage de l'espace interne sont décrites, par exemple, dans la demande de brevet français n 2 761 196 de la demanderesse.

Avant assemblage des plaques 6 et 10 entre elles, celles-ci peuvent être soumises individuellement à des étapes de nettoyage par plasma. En particulier, les essais bénéfiques d'un plasma d'hydrogène sur une cathode à micropointes sont bien connus de la technique. Le plasma. d'hydrogène est alors utilisé pour nettoyer les micropointes afin d'améliorer leur capacité d'émission ultérieure. D'autres procédés connus prévoient de net toyer les micropointes à l'aide d'un plasma de gaz neutre (par exemple, d'argon). Côté anode, il est également connu de soumet tre, en fin de fabrication, les plaques d'anode à un nettoyage par plasma.

Dans tous les cas, les plaques d'anode et/ou de cathode sont placées dans une enceinte d'un appareil de nettoyage par plasma.

La figure 3 représente, de façon très schématique, la structure d'un tel appareil de nettoyage classique.

La plaque de l'écran devant être traitée (par exemple la plaque 6) d'anode est introduite dans une enceinte 20 de l'ap pareil en reposant sur une première paroi 21 de celui-ci. A l'op posé de la paroi 21 dans l'enceinte 20 est située une contre- électrode 22 propre à l'appareillage de nettoyage. Cette contre- électrode est à distance (généralement de plusieurs centimètres) de l'anode 5 dont les diverses connexions électriques sont reliées pour être polarisées, par rapport à l'électrode 22, par une source de tension continue 23. L'enceinte 20 est associée par une pompe à vide 24 communiquant avec l'enceinte par l'intermé diaire d'une tubulure 25. De plus, une amenée 26 de gaz de net toyage, pourvue d'une vanne 28 de commande, est reliée à un réservoir 27 de ce gaz. En outre, l'appareillage est pourvu d'un système de commande (non représenté) propre à synchroniser le fonctionnement de l'appareil de nettoyage pour forcer la généra tion d'un plasma de façon parfaitement classique.

Un inconvénient de la technique actuelle de nettoyage par plasma de la cathode et/ou de l'anode d'un écran plat de visualisation est lié au fait que, une fois le nettoyage terminé, la plaque traitée est recontaminée à sa sortie de l'enceinte 20 jusqu'à son assemblage avec l'autre plaque de l'écran. En effet, sauf à prévoir des transferts sous vide ou sous atmosphère neutre entre les différents postes de traitement de l'écran, ce qui est en pratique délicat, les couches consécutives de la cathode- grille ou de l'anode portées par la plaque correspondante sont remises à l'air jusqu'à l'assemblage, ce qui entraîne une nou velle pollution.

La présente invention vise à pallier les inconvénients des procédés de fabrication connus utilisant une étape de net toyage par plasma d'au moins une des électrodes d'un écran plat de visualisation.

L'invention vise, plus particulièrement, à proposer un nouveau procédé de fabrication, mettant en oeuvre au moins une étape de nettoyage par plasma d'une des électrodes de l'écran, qui élimine tous risques de contamination ultérieure de cette électrode.

L'invention vise en outre à proposer une solution qui soit compatible avec un procédé d'assemblage hors vide de l'écran plat de visualisation, c'est-à-dire un procédé dans lequel l'écran est remis à l'air entre l'assemblage des plaques et la fermeture de son tube de pompage.

La présente invention vise en outre à proposer une solution qui ne nécessite aucun outillage supplémentaire par rap port aux outillages habituellement nécessaires pour la fabrica tion des écrans.

Pour atteindre ces objets, la présente invention pré voit un procédé de nettoyage par plasma d'au moins une électrode d'un écran plat de visualisation à effet de champ, qui consiste à provoquer la génération d'un plasma dans un espace interne sépa rant deux plaques parallèles constituant respectivement le fond et la surface de l'écran et portant chacune au moins une élec trode, avant de mettre cet espace interne sous vide et de le clore définitivement.

Selon un mode de mise en oeuvre de la présente inven tion, on provoque une émission électronique par une plaque de cathode de l'écran pendant le nettoyage par plasma.

Selon un mode de mise en oeuvre de la présente inven tion, on organise l'émission électronique dans un balayage ligne. Selon un mode de mise en oeuvre de la présente inven tion, appliqué à un écran plat dont une anode est pourvue de plu sieurs conducteurs polarisables individuellement, on polarise les conducteurs d'anode de façon non simultanée.

Selon un mode de mise en oeuvre de la présente inven tion, les tensions de polarisation des électrodes de l'écran sont choisies en fonction de l'épaisseur de l'espace interne inter- électrodes.

La présente invention prévoit également un procédé d'assemblage d'un écran plat de visualisation avec ménagement d'un espace interne entre deux plaques parallèles constituant respectivement le fond et la surface de l'écran et portant chacune au moins une électrode, qui consiste, avant fermeture et mise sous vide de l'espace interne par obturation d'au moins un tube de pompage, à effectuer au moins une étape de nettoyage par plasma.

Selon un mode de mise en oeuvre de la présente inven tion, on effectue plusieurs étapes successives d'établissement d'un plasma dans l'espace interne et de pompage par l'intermé diaire de tube de pompage pour évacuer les espèces polluantes.

ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi. lesquelles les figures 1 à 3 qui ont été décrites précédemment sont destinées à exposer l'état de la technique et le problème posé ; et la figure 4 représente un écran plat de visualisation au cours d'une étape de nettoyage par plasma selon la présente invention.

Les mêmes éléments ont été désignés par les mêmes réfé rences aux différentes figures. Pour des raisons de clarté, les représentations des figures ne sont pas à l'échelle et seuls les éléments qui sont nécessaires à la compréhension de l'invention ont été représentés aux figures et seront décrits par la suite. En particulier, les constitutions respectives des outillages nécessaires aux amenées de gaz et au pompage sous vide ainsi que celles des circuits électroniques de commande permettant la mise en oeuvre des procédés de nettoyage par plasma ne seront pas détaillées pour être, soit parfaitement connues, soit parfaite ment réalisables en utilisant des moyens connus à partir des indications fonctionnelles données dans la présente description.

Une caractéristique de la présente invention est d'uti liser l'écran lui-même en tant que chambre à plasma. Ainsi, selon la présente invention, on utilise le volume interne 13 de l'écran et ses électrodes comme appareil de nettoyage par plasma d'au moins une de ses électrodes.

On tire ainsi profit du fait que, une fois assemblé, un écran plat de visualisation à micropointes comporte tous les élé ments nécessaires à la génération d'un plasma. On notera toute fois que, à la différence des écrans dits à plasma, il s'agit là d'un plasma ayant uniquement pour objectif de nettoyer les élec trodes de l'écran et non de participer à l'affichage. On tire alors également profit de l'existence d'un tube de pompage ou analogue pour permettre la mise sous vide de l'espace interne après nettoyage, ainsi que l'introduction d'un gaz de nettoyage.

La figure 4 illustre, de façon très schématique un mode de mise en oeuvre du procédé de nettoyage par plasma selon la présente invention. Cette figure reprend, par une vue en coupe, les différents éléments constitutifs de l'écran représenté sché- matiquement en figure 2, à la différence près que l'écran y est ici représenté avec le tube de pompage 17 ouvert. Par conséquent, pour la mise en oeuvre du procédé de nettoyage de l'invention, le tube de pompage 17 doit ne pas encore avoir été obturé. Cepen dant, le reste de l'assemblage de l'écran est effectué, c'est-à- dire que les plaques 6 et 10 sont assemblées l'une à l'autre au moyen du joint périphérique de scellement 15, l'espace interne 13 étant défini par les espaceurs 16. Par conséquent, selon la présente invention, les pla ques de cathode-grille et d'anode sont soumises à toutes les éta pes de fabrication classiques à l'exception des éventuelles éta pes de nettoyage par plasma. De plus, l'assemblage de l'écran s'effectue encore de façon classique pour ce qui concerne la mise en place des espaceurs, les dégazages éventuels et le scellement périphérique de l'écran. Une fois dans cet état, l'écran est alors soumis au procédé de nettoyage par plasma de l'invention. Pour cela, et comme l'illustre la figure 4, le tube de pompage 17 est raccordé, par l'intermédiaire d'une jonction étanche 30 (par exemple, un presse-étoupe) à une conduite 31 d'une installation de nettoyage selon l'invention. Cette conduite 31 est, à son autre extrémité, reliée à deux vannes 32 et 33 communiquant res pectivement avec un réservoir 34 de gaz de nettoyage pour le plasma et avec une pompe à vide 35 par des conduites 36 et 37. Les vannes 32 et 33, le réservoir 34 et la pompe à vide 35 sont commandés, par exemple, par un système central 38 échangeant des informations avec ces constituants par l'intermédiaire de liai sons, respectivement 39, 40, 41 et 42. Selon l'invention, le sys tème central 38 est également relié électriquement (par des lignes 43 et 44, le cas échéant multifilaires) à des connecteurs (non représentés) de raccordement électrique de la cathode, de la grille et de l'anode de l'écran plat de visualisation à traiter.

Selon l'invention, on utilise la polarisation des élec trodes de l'écran pour générer le plasma. Lors de l'étape de net toyage, la vanne 33 est fermée tandis que la vanne 32 d'amenée du gaz de nettoyage est ouverte et la polarisation adéquate de la cathode-grille par rapport à l'anode permet la génération du plasma de nettoyage. Une fois le nettoyage terminé, on pompe alors les gaz contenus dans l'espace interne 13 et on y fait le vide au moyen de la pompe 35 avant de fermer le tube de pompage 17 de façon classique. Par exemple, cette fermeture du tube peut être effectuée à chaud en faisant fondre le tube localement et en y appliquant une pression mécanique, ou à froid si celui-ci est associé à un élément en métal ductile comme cela est décrit dans la demande de brevet français nO 2 761 196 susmentionnée.

On notera que tout autre méthode de nettoyage par plasma pourra être mise en oeuvre. Par exemple, on pourra effectuer le nettoyage en mode "dynamique", c'est-à-dire sous balayage d'un flux de gaz à ioniser. Dans ce cas, le tube 17 (ou un autre tube débouchant dans l'espace interne) est utilisé pour introduire et pomper simultanément le gaz du plasma.

Selon un mode mis en oeuvre préféré de la présente invention, la polarisation des électrodes s'effectue de différen tes façons selon le type de nettoyage (anode ou cathode) souhaité et le plasma utilisé.

Selon un premier exemple de mise en oeuvre, les élec trodes de cathode et de grille sont court-circuitées et polari sées simultanément par la liaison 43 tandis que la ou les élec trodes d'anode 5 sont polarisées ensemble par la liaison 44. La différence de potentiels appliquée entre la cathode et l'anode est de l'ordre de quelques centaines de volts ce qui est parfai tement compatible avec les tensions pour lesquelles est prévu l'écran en fonctionnement et, en particulier, l'espace inter- électrodes 13.

Le choix des potentiels de polarisation et des pres sions gaz dans l'espace inter-électrodes dépendent de l'épaisseur de cet espace et le procédé de nettoyage par plasma est adapté en conséquence.

En effet, un problème particulier qui se pose lors de l'utilisation de l'écran lui-même en tant qu'enceinte de plasma est lié à la faible épaisseur de l'espace inter-électrodes 13. Dans une machine de nettoyage classique du type de celle illus trée schématiquement par la figure 3, la distance séparant les deux électrodes est généralement de plusieurs centimètres pour un -2 -1 fonctionnement sous des pressions de l'ordre de 10 à 10 pascals. Dans un écran plat, le faible espace inter-électrodes (inférieur à 1 centimètre et, le plus souvent, inférieur à 5 mil limètres) nécessite des pressions nettement plus élevées. Par exemple, pour un espace inter-électrodes de moins de 1 millimè tre, on prévoira des pressions de l'ordre de 102 à 104 pascals.

Selon un mode de mise en oeuvre préféré de la présente invention, plus particulièrement destiné au cas où l'espace inter-électrodes est faible (moins de 1 millimètre), on utilise l'émission d'électrons par les micropointes de la cathode pour favoriser l'ionisation du plasma et réduire ainsi la pression gazeuse nécessaire. Dans ce cas, on tire profit du fait que toutes les connexions électriques de la cathode, de la grille et de l'anode sont accessibles individuellement sur l'écran terminé et on polarise les différentes électrodes de façon adéquate au moyen du système 38. On notera que, si besoin, on peut même effectuer un balayage de l'émission électronique. Un avantage est alors que le plasma est rendu plus stable et que l'on minimise le risque de voir apparaître des arcs localisés dans le plasma., ce qui risquerait d'endommager l'écran.

Différents modes de mise en oeuvre particuliers de l'invention seront décrits ci-après. Ces modes de mise en oeuvre différent essentiellement par les polarisations appliquées aux électrodes de l'écran pour la mise en oeuvre du procédé de net toyage par plasma en fonction, notamment, de la distance inter- électrodes disponible et de l'électrode (anode ou cathode) que l'on souhaite nettoyer.

Selon un premier mode de mise en oeuvre, plus particu lièrement destiné au cas ou la distance anode-cathode est suf fisamment grande (par exemple, de l'ordre du centimètre), on considère que l'on peut y entretenir un plasma sans émission électronique. On applique alors, entre la cathode et la grille, une tension choisie pour être inférieure à la tension d'émission minimale (généralement, de l'ordre de 50 Volts). Par exemple, on choisira une tension nulle en reliant ensemble les électrodes de grille et de cathode.

Pour un nettoyage de la cathode, on applique, entre anode et cathode, une tension de valeur absolue supérieure ou égale à la tension d'initiation du plasma et telle que le poten- tiel de l'anode est supérieur au potentiel de la cathode. Puis, une tension supérieure ou égale à la tension d'entretien du plasma est maintenue entre l'anode et.la cathode. Pendant cette étape, le gaz amené par la conduite 31 et le tube de pompage 17 se transforme en plasma. Les espèces ionisées positives vont bombarder la cathode pour la nettoyer. Le plasma est maintenu pendant une durée nécessaire au nettoyage de la cathode.

Pour un nettoyage de l'anode, on applique, entre anode et cathode, une tension de valeur absolue supérieure ou égale à la tension d'initiation du plasma et telle que le potentiel de la cathode est supérieur au potentiel de l'anode (la tension cathode-grille étant toujours telle que les micropointes n'émettent pas). Puis, on maintient une tension de valeur absolue supérieure ou égale à la tension d'entretien du plasma entre la cathode et l'anode de façon à assurer la transformation du gaz de nettoyage en plasma. Les espèces ionisées positives vont alors bombarder l'anode pour la nettoyer et, comme précédemment, le plasma est maintenu pendant la durée nécessaire au nettoyage.

Selon un deuxième mode de mise en oeuvre, plus particu lièrement destiné au cas ou l'espace inter-électrode est de faible dimension (par exemple, inférieur au millimètre), on uti lise les capacités d'émission électronique de l'écran pour favo riser la création du plasma. Toutefois, un problème qui se pose alors est que, dans un aussi faible espace inter-électrode, le plasma sera difficilement stable. Par conséquent, selon l'in vention, l'émission électronique s'effectue dans un balayage (par exemple le balayage ligne classique de l'affichage). On obtient ainsi un déplacement du plasma dans tout l'écran, ce qui permet d'éviter les phénomènes d'instabilité.

Pour un nettoyage de la cathode, on provoque une émis sion des micropointes, par exemple, en appliquant une tension cathode-grille (comprise entre 50 et 80 Volts). Les lignes de grille sont balayées avec une fréquence de balayage choisie en fonction des caractéristiques de stabilité du plasma. Pour chaque ligne, on applique une tension positive supérieure ou égale à la tension d'initiation du plasma entre l'anode et la cathode. Puis, on applique une tension positive supérieure ou égale à la tension d'entretien du plasma entre l'anode et la cathode pour obtenir la transformation du gaz de nettoyage en plasma. Les électrons alors émis par les micropointes adressées sont attirés par l'anode. Les espèces ionisées positives vont bombarder la cathode pour la nettoyer. Comme précédemment, la durée de balayage du plasma dépend du temps nécessaire au nettoyage de la cathode.

Pour un nettoyage de l'anode, on prévoit encore une émission des micropointes mais en appliquant une tension négative de valeur absolue supérieure ou égale à la tension d'initiation du plasma, puis supérieure ou égale à la tension d'entretien du plasma entre la cathode et l'anode. Pendant cette étape, les électrons émis par les pointes adressées retombent sur la cathode et les espèces ionisées positives vont alors bombarder l'anode pour la nettoyer.

On notera que, dans le cas d'une anode dite commutée, c'est-à-dire pourvue de plusieurs tracés de conducteurs d'anode polarisables individuellement (par exemple, une anode trichrome telle qu'illustrée par la figure 1), on pourra également tirer profit d'un adressage, par exemple séquentiel, de l'anode pour améliorer la stabilité du plasma. Un tel adressage est bien entendu combinable avec le balayage des lignes, côté cathode.

Un avantage de la présente invention est qu'aucune remise à l'air n'est nécessaire entre le nettoyage par plasma de l'anode et/ou de la cathode et la fermeture sous vide de l'espace interne de l'écran. Ainsi, on évite toute contamination des élec trodes de l'écran.

Un autre avantage de la présente invention est que l'on peut passer d'une phase de nettoyage de l'anode à une phase de nettoyage de la cathode par une simple inversion de polarité de la tension anode-cathode.

De préférence, si le nettoyage s'effectue en mode "statique", les phases de nettoyage sont répétées plusieurs fois, c'est-à-dire que l'on effectue successivement plusieurs fois une introduction de gaz, un nettoyage par plasma et un pompage par la pompe à vide 35 pour évacuer les espèces polluantes. on veillera cependant à ce que la pression de gaz pendant les phases de nettoyage par plasma soit maintenue sensiblement constante.

En mode dynamique (balayage du gaz à ioniser), la pres sion sera également, de préférence, maintenue sensiblement constante.

Bien entendu, la présente invention est susceptible de diverses variantes et modifications qui apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, le choix du gaz de nettoyage (par exemple, de l'argon, de l'hydrogène ou autre) est à la portée de l'homme du métier de la même manière que pour un nettoyage par plasma classique dans une installation séparée. De même, l'adaptation des potentiels de polarisation des électrodes dans la mise en oeuvre du procédé de l'invention est à la portée de l'homme du métier à partir des indications fonctionnelles données ci-dessus. En particulier, celui-ci veillera à maintenir une différence de potentiels entre la grille et la cathode qui permette soit un blocage de l'émission électronique soit, à l'inverse, une émis sion électronique (le cas échéant dans un balayage ligne).

En outre, on notera que la mise en oeuvre de l'inven tion est compatible avec tous les systèmes de fermeture de tube de pompage connus ainsi que toutes les formes données à ces tubes. Par exemple, bien que l'invention ait été décrite ci- dessus en relation avec un tube de pompage perpendiculaire au plan de l'écran, on notera que ce tube de pompage pourra être en variante parallèle au plan de l'écran. De même, l'invention s'applique également au cas où l'espace interne communique avec plusieurs tubes de pompage.

Claims (7)

REVEMICATIONS

1. Procédé de nettoyage par plasma d'au moins une élec trode (5, 14) d'un écran plat de visualisation à effet de champ, caractérisé en ce qu'il consiste à provoquer la génération d'un plasma dans un espace interne (13) séparant deux plaques paral lèles (6, 10) constituant respectivement le fond et la surface de l'écran et portant chacune au moins une électrode, avant de met tre cet espace interne sous vide et de le clore définitivement.

2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il consiste à provoquer une émission électronique par une pla que de cathode (10) de l'écran pendant le nettoyage par plasma.

3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il consiste à organiser l'émission électronique dans un balayage ligne.

4. Procédé selon la revendication 2 ou 3, appliqué à un écran plat dont une anode est pourvue de plusieurs conducteurs polarisables individuellement, caractérisé en ce qu'il consiste à polariser les conducteurs d'anode de façon non simultanée.

5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les tensions de polarisation des élec trodes de l'écran sont choisies en fonction de l'épaisseur de l'espace interne inter-électrodes (13).

6. Procédé d'assemblage d'un écran plat de visualisa tion avec ménagement d'un espace interne (13) entre deux plaques parallèles constituant respectivement le fond et la surface de l'écran et portant chacune au moins une électrode (5, 14), carac térisé en ce qu'il consiste, avant fermeture et mise sous vide de l'espace interne par obturation d'au moins un tube de pompage (17), à effectuer au moins une étape de nettoyage par plasma selon l'une quelconque des revendications 1 à 5.

7. Procédé d'assemblage selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il consiste à effectuer plusieurs étapes successives d'établissement d'un plasma dans l'espace interne (13) et de pompage par l'intermédiaire de tube de pompage (17) pour évacuer les espèces polluantes.