KR0171230B1

KR0171230B1 - 액정 표시 장치의 제조방법

Info

Publication number: KR0171230B1
Application number: KR1019950011876A
Authority: KR
Inventors: 쇼이치 구라우치; 히토시 하토
Original assignee: 사또오 후미오; 가부시기가이샤 도시바
Priority date: 1994-05-18
Filing date: 1995-05-15
Publication date: 1999-03-20
Also published as: US6043857A; US6120943A; TW426806B; KR950033602A; US5681675A

Abstract

착색 수용기재층의 각 화소에 대응하는 부분마다 선택적으로 자외선을 조사함으로써, 그 부분만이 활성화되며, 그 부분은 자외선이 조사되지 않은 다른 부분에 비하여 컬러 필터의 착색 재료의 수용성(피착색성 또는 흡수성)이 향상된다. 또는, 착색 수용기재층의 재료로서 자외선 경화형 수지를 이용하여 자외선을 조사한 부분을 경화시켜서 그 부분을 수용층의 얼룩무늬의 패턴으로 하여 다른 부분은 경화시키지 않고서 제거할 수 있다. 각 화소에 대응하는 부분에만 형성된 수용층에 컬러 필터의 착색 재료를 투사하여 그 부분에만 선택적으로 착색할 수 있다.

Description

액정 표시 장치의 제조 방법

제1도는 본 발명의 제조 방법에 의하여 형성된 제1실시예의 액정 표시 장치의 구조를 도시하는 도면.

제2도는 본 발명의 제조 방법에 의하여 형성된 제2실시예의 액정 표시 장치의 구조를 도시하는 도면.

제3a도는 본 발명의 제조 방법에 의하여 형성된 제3실시예의 액정 표시 장치의 구조를 도시하는 평면도.

제3b도는 본 발명의 제조 방법에 의하여 형성된 제3실시예의 액정 표시 장치의 구조를 도시하는 단면도.

제4도는 본 발명의 제조 방법에 의하여 형성된 제4실시예의 액정 표시 장치의 구조를 도시하는 도면.

제5도는 본 발명의 제조 방법에 관한 자외선의 조사 강도 및 조사 시간을 도시하는 도면.

제6도는 제5실시예의 액정 표시 장치의 구조의 개요를 도시하는 단면도.

제7도는 제5실시예의 액정 표시 장치의 제조 공정의 개요를 도시하는 도면.

제8도는 제5실시예의 액정 표시 장치의 제조 공정의 개요를 도시하는 도면.

제9도는 제6실시예의 제조 방법에 의하여 형성되는 액정 표시 장치의 구조의 개요를 도시하는 단면도.

제10도는 제6실시예의 액정 표시 장치의 제조 공정의 개요를 도시하는 도면.

제11도는 제7실시예의 제조 공정의 개요를 도시하는 도면.

제12도는 제8실시예의 제조 공정의 개요를 도시하는 도면.

제13도는 제10실시예의 제조 방법에 의하여 제조되는 액정 표시 장치의 구조의 개요를 도시하는 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1, 5 : 유리기판 2 : 주사전극

3, 9 : 배향막 4 : 주사전극기판

6 : 차광층 7 : 컬러필터

8 : 신호전극 10 : 신호전극기판

11 : 밀봉재 12 : 스페이서

13 : 액정층 201 : 대향 전극

202 : 대향기판 204 : 화소 전극

205 : TFT 206 : TFT 어레이 기판

207, 302 : 보호층 303 : 소스전극

701 : 착색 수용 기재층 702 : 포토 마스크

703, 706 : 수용층 1002, 1004 : 잉크제트 장치

1102, 1103 : 수지재료막

본 발명은 액정 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다. 특히 착색부주변의 번짐이 없는 컬러 필터를 구비하여 선명하고 고화질의 컬러 화상 표시가 가능한 액정 표시 장치를 실현하기 위한 제조 방법에 관한 것이다.

일반적으로 액정 표시 장치는 서로 대향 배치되어 화소를 형성하는 전극을 각각 구비한 2장의 전극기판이 간극을 두고 대향 배치되며, 그 간극에 주위가 밀봉되고 액정층이 협지되어 그 주요부가 구성되고 있다.

이러한 액정 표시 장치의 구조는 단순 매트릭스형 액정 표시 장치에도 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치에도 적합하다.

액정 표시 장치중에서도 특히 화면에 임의의 컬러 화상을 표시할 수 있는 액정 표시 장치에는 일반적으로 컬러 필터가 이용된다.

컬러 필터는 2장의 전극기판중 적어도 어느 한쪽의 기판에 R·G·B(빨강·초록·파랑)나 Y·M·C(옐로우·마젠타·시안)와 같은 삼원색, 또는 컬러 표시를 가능하게 하는 복수색의 색상의 착색 셀이 각 화소마다 대응하여 배열되어 있다.

예컨대, 단순 매트릭스 구동 방식의 컬러형 도트 매트릭스형 액정 표시 장치에서는 가로 방향에 띠형태로 패터닝된 주사 전극을 구비한 주사 전극기판과, 컬러 필터 및 세로 방향에 띠형태로 패터닝된 신호 전극을 구비한 신호 전극기판을, 주사 전극과 신호 전극이 거의 직각으로 교차하도록 그들 사이에 간극(셀 갭)을 두고 대향 배치되며, 그 간극에 액정 조성물을 협지시켜서 기판의 주위를 밀봉한 구조로 형성되어 있다.

또한, 액티브 매트릭스 구동 방식의 컬러형 액정 표시 장치에는 예컨대 비결정 실리콘(이하, a-Si로 약칭)을 반도체층과 박막 트랜지스터(이하 TFT로 약칭)을 스위칭 소자로서 이용하는 동시에, 그것에 접속된 화소 전극과 주사선 및 신호선을 구비한 TFT 어레이기판과 이 TFT 어레이기판에 대면하여 화소 전극과의 사이에 간극을 두고 대향 배치된 대향 전극을 구비한 대향기판을 구비하고 있으며, 예컨대 R·G·B 와 같은 삼원색의 각각에 대응하는 색 셀을 각 화소마다 배치하여 구성되는 컬러 필터가 어느 한쪽의 기판상에 형성되어 있다.

그리고, 상기의 간극에 주위를 밀봉하여 액정 조성물이 주입되어 액정층이 형성되어 있다. 액정층으로서는 일반적으로 정 또는 부의 유전율 이방성을 갖는 네마틱형 액정이 이용된다.

네마틱형 액정에 의한 광의 편파면의 선회성을 이용하여 각 화소마다 광의 편파면의 선회를 제어하여, 액정 셀을 상하로부터 협지하는 2장의 편광판의 편광 효과와 더불어 액정 셀을 투과하는 광의 투과/차단을 제어하여 화상을 표시한다.

이러한 컬러 화상 표시를 행하는 액정 표시 장치에서는 일반적으로 컬러 필터가 이용된다.

컬러 필터의 제조 방법으로서는 피착색층에 안료를 분산하여 컬러 필터를 형성하는 안료 분산법, 피착색층에 염료를 분산하여 컬러 필터를 형성하는 염료 분산법 또는 전착에 의하여 컬러 필터를 형성하는 전착법 또는 오목판이나 오프셋판과 같은 인쇄판을 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 잉크로서 기판상에 인쇄하여 컬러 필터를 형성하는 인쇄법등이 제안되어 있고, 이미 실용화되어 있는 것도 있다.

그렇지만, 이러한 종래의 제조 방법은 어느것이나 컬러 필터의 제조 공정에 포토패브리케이션(photofabrication) 공정을 다용하고 있기 때문에 컬러 필터의 제조 공정이 극히 번잡하게 되는 문제가 있다.

그리고, 점점 미세화되는 화소 사이즈에 대응하기 위해서는 더욱 포토패브리케이션 공정의 정밀도가 요구되지만, 이것을 정밀도가 좋고 또한 고수율로 제조하는 것은 용이하지 않은 문제가 있다.

또한 인쇄법에 있어서는 컬러 필터를 형성할 때에는 포토리소그래피등의 기술은 직접적으로는 이용되지 않지만, 인쇄판의 제조가 번잡하므로 상기와 같은 문제가 발생한다. 더구나 인쇄법에서는 더욱 미세한 화소 치수에 대응한 정확한 컬러 필터의 형성이 실제상으로 곤란한 문제도 있다.

그래서, 상기와 같은 포토리소그래피 공정을 이용하지 않는 미세한 컬러 필터의 제조 방법으로서 잉크 제트 장치를 이용하여 착색 재료를 수용층에 투사하여 컬러 필터를 형성하는 제조 방법이 제안되어 있다.

그러나, 상기의 잉크 제트 방식으로 컬러 필터를 제조하는 경우, 종래는 투사된 착색 재료가 피착된 착색 부분의 주변부에 인접하는 다른 색의 착색 재료와 색이 서로 섞여서 번짐이 생기므로, 선명한 색의 재현이 곤란한 문제가 있었다.

이 때문에, 잉크 제트 장치에 의하여 극히 양호한 처리량으로 컬러 필터의 형성이 가능하게 되더라도 얻어진 컬러 필터의 색재현성은 낮다. 따라서, 그러한 종래의 잉크 제트 방식에 의한 컬러 필터를 이용한 액정 표시 장치에서의 컬러 화상의 색재현성 및 표시 품위가 낮아지는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은 제조 공정이 간단하고, 고처리량으로 제조할 수 있으며, 또한 주변부의 색 번짐이 없는 각 화소마다의 색 재현성이 양호한 컬러 필터를 구비한 고품위의 컬러 화상 표시가 가능한 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것에 있다.

상기한 바를 실현하기 위하여 본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법은 기본적으로 다음과 같은 구성을 채용하고 있다.

즉, 제1기관상에 제1전극을 형성하는 공정과, 상기 제1전극에 대향 배치되어 화소를 형성하는 제2전극을 제2기판상에 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판중 적어도 한쪽의 기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층중 상기 각 화소에 대응하는 부분의 컬러 필터용 착색 재료에 대한 수용성을 다른 부분보다도 향상시켜서 수용층을 형성하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.

여기서, 상기의 착색 수용기재층중 각 화소에 대응하는 부분의 컬러 필터용 착색 재료에 대한 수용성을 다른 부분보다도 향상시키는 방법으로는 상기의 착색 수용기재층에 자외선을 조사하는 것이 주요한 방법으로 먼저 첫번째로 들 수 있다.

그리고 이외에도 예컨대 착색 수용기재층을 가열하는 자외선이외의 에너지빔을 착색 수용기재층에 조사하거나 또는 착색 수용기재층에 소위 사출성형처리를 실시하여, 그 착색 수용기재층에서의 컬러 필터용 착색 재료에 대한 수용성을 향상시킬 수 있다.

또한, 착색 수용기재층의 재료로서 자외선 경화형 수지를 이용하여 화소부(즉 컬러 필터로서의 각 색 셀에 대응하는 부분)마다에 대하여 선택적으로(즉 그 부분만)자외선 조사를 행함으로써, 그 부분의 착색 수용기재층을 경화시키는 동시에 착색 재료에 대한 수용성을 향상시킬 수 있다.

그리고 경화된 부분은 용제에 대하여 내성이 높아진다. 한편, 자외선이 조사되지 않고 미경화 되어 있는 부분은 용제에 대하여 용이하게 녹는다. 따라서, 미경화 부분을 용제에 의하여 제거하고, 경화된 부분만을 선택적으로 남길 수 있다. 즉, 컬러 필터의 각 색 셀을 형성하는데 필요한 부분만 선택적으로 수용층을 형성할 수 있다.

상기와 같은 필요 부분만에 대한 자외선의 선택적인 조사는 포토마스크를 이용하여 행해도 좋다.

혹은 그 선택적 조사는 소위 패턴 제너레이터라고 불리는 노광기를 이용하여 행해도 좋다. 이 패턴 제너레이터는 빛을 출사하는 전면에 조리개가 설치되어 있으며 이 조리개의 개구의 형상을 변화시켜서 노광 패턴을 제어하는 노광기이다.

혹은 그 선택적 조사는 차광층을 셀프 얼라인의 마스크로서 이용하여 행해도 좋다.

혹은 그 선택적 조사는 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치의 제조 방법인 경우에는 주사선 및 신호선을 셀프 얼라인의 마스크로서 이용하여 행해도 좋다.

또한 비화소부를 덮기 위한 차광층의 패터닝은 상기한 바와 같이하여 형성된 컬러 필터 또는 수용층을 셀프 얼라인의 마스크로서 이용한 포토리소그래피 공정에 의하여 행할 수도 있다.

또 상기와 같은 컬러 필터의 형성 및 차광층의 형성은 단순 매트릭스형의 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서도, 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서도 적용가능하다.

또는 액정 패널과는 별도의 기판상에 개별적으로 형성되는 컬러 필터의 형성에 대하여도 본 발명이 적용가능한 것은 물론이다.

또한, 상기와 같은 본 발명에 관한 제조 방법에 의하여 제조되는 컬러 필터는 유리기판과 같은 기판을 기저로서 그 위에 형성된 화소 전극과 같은 전극위에 배치해도 좋고, 또는 그 전극의 아래(또는 기판상)에 배치해도 좋다. 단지, 전극의 아래에 컬러 필터를 배치하는 경우에는 그 전극을 형성하기 이전에 수용층을 착색하여 컬러 필터를 완성시켜 두어야 함은 물론이다.

또는, 컬러 필터를 끼워 그 상하에 각각 전극을 배치해도 좋다. 특히, 컬러 필터를 액티브 매트릭스 기판측에 배치하는 경우, 컬러 필터의 아래에 배치한 전극을 이용하여 보조 용량등을 형성할 수 있으며, 컬러 필터상의 전극을 화소 전극으로서 이용할 수 있다. 이러한 점에서 컬러 필터의 상하에 전극을 배설하는 것이 바람직하다

또한, 상기의 착색 수용기재층에 대한 자외선 조사 및 컬러 필터의 착색은 컬러 필터의 복수색의 각 색마다 분리하여 하나의 색 씩 순서대로 행해도 좋다.

또는 한번의 자외선 조사 및 착색 공정으로 컬러 필터의 복수색의 모든 색에 걸쳐서 착색해도 좋다.

처리량이 양호하다고 하는 점에서는 한번에 착색하는 것이 바람직하고, 보다 미세한 화소의 정확하고 번짐이 없는 착색을 행하기 위해서는 각 색마다 분리하여 행하는 것이 바람직하다.

상기와 같은 본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서는 착색 수용기재층의 각 화소에 대응하는 부분마다 선택적으로 자외선을 조사함으로써, 그 부분만이 활성화되며 그 부분은 자외선이 조사되지 않은 다른 부분에 비하여 컬러 필터의 착색 재료의 수용성(피착색성 또는 흡수성)이 향상된다.

또는, 착색 수용기재층의 재료로서 자외선 경화형 수지를 이용하여 자외선을 조사한 부분을 경화시켜서 그 부분을 수용층의 얼룩무늬의 패턴으로 하여 다른 부분은 경화시키지 않고 제거할 수 있다.

상기와 같은 방법에 의하여 각 화소에 대응하는 부분마다 컬러 필터의 착색 재료를 투사하여 그 부분에 선택적으로 착색할 수 있다. 한편, 화소이외의 영역은 착색 재료가 피착되지 않으므로, 화소의 주변부 및 인접하는 화소끼리의 간극부분에는 착색 재료끼리의 번짐 현상이 생기지 않는다.

따라서, 각 화소마다 효과적으로 그 주위가 분리된 착색 셀을 구비한 컬러 필터를 형성할 수 있다. 그 결과, 각 화소마다의 주변부에서의 번짐이 없는 양호한 컬러 표시가 가능한 액정 표시 장치를 실현할 수 있다.

여기서, 상기의 착색 수용기재층의 재료 즉, 자외선 노광에 의하여 활성화되어 착색 재료에 대한 수용성이 향상되는 재료로서는 예컨대 폴리비닐알콜(PVA), 카제인, 아크릴, 에폭시 변성 아크릴 등이 적합하다.

또한, 폴리실란은 자외선 노광에 의하여 노광된 부분만이 착색 재료에 대하여 수용성을 나타내므로, 이것을 적합하게 이용할 수 있다.

또한, 자외선 경화형 수지층의 재료로서는 예컨대 천연 단백기재에 중크롬산을 첨가한 감광액, 아크릴, 에폭시 변성 아크릴 또는 PVA의 어느것에 대하여 감광성을 부여한 것을 적합하게 이용할 수 있다.

또한, 착색 재료로서는 상기의 수용층에 대한 염색성이 양호한 착색재료로서 일반적으로 컬러 필터의 염색법이나 안료분산법에 의한 제조로 실용되고 있는 염료나 안료를 이용할 수 있다.

또한, 상기의 수용층의 층두께로서는 컬러 필터로서 요구되는 착색성(분광투과율등)이나 이용하는 착색 재료의 종류에 의해서도 좌우되지만, 일반적으로 실용에 적합한 컬러 필터를 형성하는 경우, 0.2μm~4.0μm로 설정하는 것이 바람직하다

그리고, 상의 자외선의 종류 즉, 파장 및 강도로서는 상기와 같은 수용층이나 착색 재료의 조건하에서 250nm~420nm의 파장, 또한 강도가 5mW/㎠~100mW/㎠의 자외선을 적합하게 이용할 수 있다.

그리고, 상기와 같은 자외선의 조사 시간으로서는 상기와 같은 수용층의 재질이나 착색 재료의 조건하에서 조사된 부분의 착색 수용기재층을 활성화시키는 경우에는 5초~80초로 설정하는 것이 바람직하다.

또한, 자외선이 조사된 부분의 자외선 경화형 수지층을 경화시키는 경우에는 그 공정 온도는 150℃~250℃로 설정하는 것이 바람직하다.

상기와 같은 착색 수용기재층의 재질 및 착색 재료의 재질의 조건하에서 착색 수용기재층의 두께와 자외선의 파장 및 강도와 조사 시간을 여러 가지로 변경한 경우의 자외선이 조사된 부분의 착색 수용기재층의 활성화 또는 경화에 적합한 영역을 제5도에 도시하였다. 제5도에 있어서 각 층두께의 곡선상에서 그 우측에 걸친 영역의 자외선 조사 조건을 각각의 층두께마다 적합한 조사 조건으로서 이용할 수 있다.

상술한 바와 같이 각 화소에 대응하는 부분의 착색 수용기재층마다 자외선을 조사함에 있어서는 먼저 기판상의 거의 전면을 덮도록 착색 수용기재층을 형성한 후, 그 착색 수용기재층중 각 화소에 대응하는 부분마다 예컨대 LSI제조용 스테퍼 노광 장치등을 이용하여 스텝 앤드 리피트로 선택적으로 자외선을 조사해 가는 방법 등이 있다.

또는, 각 화소마다 그 주변부를 피복하도록 패터닝된 소위 블랙 매트릭스라고 불리는 차광층을 마스크로서 이용하고, 이 차광층에서는 피복되어 있지 않은 노출되어 있는 부분에 자외선을 조사하도록 해도 좋다. 이와 같이 차광층을 셀프 얼라인의 마스크로서 이용하여 각 화소에 대하여 자외선의 선택적인 조사를 행할 수 있다.

따라서 각 화소의 주변부의 번짐을 억제하여 양호한 화상 재현성을 실현할 수 있는 컬러 필터의 제조 공정을 대폭 간소화할 수 있다.

혹은, 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치인 경우는 각 화소는 일반적으로 주사선과 신호선으로 형성되는 격자로 둘러싸인 부분의 내측마다 화소가 형성되어 있다. 그래서, 이러한 주사선과 신호선으로 형성된 격자를 셀프 얼라인의 마스크로서 이용하고, 이 격자로부터 노출되어 있는 부분의 착색 수용기재층에 선택적으로 자외선을 조사함으로써, 자외선의 조사 공정을 대폭 간소화할 수 있다.

이와 같이, 자외선이 조사된 각 화소에 대응한 부분의 착색 수용기재층에는 착색 재료에 의한 착색이 촉진되는 한편, 인접하는 화소끼리의 간극부분에 대해서는 극히 완만하게 밖에 착색되지 않는다. 혹은 상기의 간극부분에는 수용층이 형성되어 있지 않다. 따라서 인접하는 화소끼리의 사이의 부분에서의 다른 색의 착색 재료끼리의 혼합이 발생하는 것을 극히 효과적으로 해소할 수 있다. 그 결과, 각 화소마다 번짐이 없는 컬러 필터를 구비하여 선명한 화상 표시가 가능한 액정 표시 장치를 간단하게 제조하는 것이 가능하다.

[실시예 1]

제1실시예에서는 본 발명의 기술을 단순 매트릭스형 액정 표시 장치에 적용한 것, 차광층을 마스크로서 이용하여 착색 수용기재층의 각 화소부에 대하여 자외선을 조사하여 그 부분을 활성화한 것, 컬러 필터상에 전극을 배설한 것을 특징으로 한다.

제1도는 본 발명에 관한 제1실시예의 액정 표시 장치의 제조 방법에 의하여 제조된 액정 표시 장치의 구조를 도시하는 단면도이다.

이 액정 표시 장치는 유리기관(1)상에 제1전극으로서 주사 전극(2)과, 그 주사 전극(2)위를 포함하는 기판의 거의 전면을 덮도록 형성된 배향막(3)을 구비한 주사 전극기판(4)과, 유리기판(5)상에 각 화소끼리가 인접하는 간극 부분을 덮도록 차광성 재료로 형성된 차광층(6)과, 각 화소마다 R·G·B 의 각 색 셀이 배설된 컬러 필터(7)와, 그 위에 주사 전극(2)에 대하여 간극을 두고 거의 직교하도록 나란히 설치된 제2전극으로서의 신호 전극(8)과, 이 신호 전극(8)을 포함하는 기판의 거의 전면을 덮도록 형성된 배향막(9)을 구비한 신호 전극기판(10)과, 주사 전극기판(4)과 신호 전극기판(10)과의 사이의 밀봉재(11) 및 스페이서(12)에 의하여 지지된 기판간극(소위 셀 갭)에 밀봉재(11)로 주위를 밀봉하여 봉입·협지된 액정층(13)으로 그 주요부가 형성되어 있다.

또, 제1도에 있어서는 도시의 간결화를 위하여 밀봉재(11)가 형성된 기판 주변부로부터 수화소분의 단면 형상을 도시하였다. 실제로는 더욱 다수의 화소가 형성되어 있다.

유리기판(1)은 외형 치수가 150mm×210mm이고 두께 1.0mm의 평판형인 유리기판이다. 또한 유리기판(5)은 외형 치수가 160mm×220mm이고 두께 1.0mm의 평판형인 유리기판이다.

차광층(6)은 각 화소의 주변 부분에 설치된 차광성이 높은 예컨대 크롬막 또는 흑색 염료를 유기수지막에 분산하여 이루어지는 재료막으로 형성된 차광막이다. 이 차광층(6)은 인접하는 각 색 셀마다의 주위의 윤곽끼리의 간극을 차광하기 위하여 설치되어 있다. 또한, 이 차광층(6)의 패턴으로 둘러싸인 부분마다 컬러 필터의 각 색 셀이 각각 수납되도록 형성되어 있다.

본 발명에 관한 액정 표시 장치에 있어서는 이러한 차광층(6)의 패턴 내부마다 잉크 제트 방식으로 착색 재료가 피착되고 컬러 필터가 형성되어 있다. 그리고 잉크 제트 방식에 의한 착색시에 차광층(6)의 패턴이 마스크로서 이용되며, 셀프 얼라인으로 수용층에 자외선이 조사된다. 이와 같이, 수용층의 각 색 셀에 대응하는 영역마다 선택적으로(그 부분만) 자외선을 조사하는 것으로, 각 색 셀마다 착색 재료가 피착될 때에 인접하는 색 셀끼리의 경계 영역에서의 다른 착색 재료의 색끼리가 혼색되는 것을 피할 수 있다. 그 결과, 색 재현성이 극히 양호한 화상 표시를 실현할 수 있다.

다음에, 이러한 제1실시예의 액정 표시 장치의 제조 방법을 설명한다.

유리기판(5)상에 차광성인 동시에 직시했을 때에 흑색계로 보이는 재료를 이용하여 차광층(6)의 재료막을 형성하고, 이것을 각 화소 영역마다 창패턴이 열리도록 패터닝하여 차광층(6)을 형성한다.

그 차광층(6)위를 포함하는 기판(5)의 일주면의 거의 전면을 덮도록 착색 재료에 대하여 수용성이 높은 착색 수용기재층을 스핀 코팅법으로 도포한다.

그리고 기판(5)의 착색 수용기재용층이 형성된 주면과는 반대측의 주면에서 자외선을 조사한다. 이 때, 각 색 셀에 대응하는 부분마다 창패턴이 형성된 차광층(6)이 마스크로서 작용하며 각 색 셀마다 선택적으로 자외선이 착색 수용기재층에 조사된다.

그 자외선이 조사된 부분의 착색 수용기재층은 활성화된다. 따라서 그러한 각 색 셀에 대응하는 부분의 착색 수용기재층은 착색되기 쉬워진다. 그래서, 이러한 활성화된 수용층에 대하여 R·G·B 의 삼원색에 각각 대응하는 착색 재료를 잉크 제트 장치를 이용하여 물방울 형태로 투사한다.

상기한 바와 같이 자외선이 조사되었을 때에 활성화하는 수용층의 형성 재료로서는 PVA를 적합하게 이용할 수 있다. 그리고, 이 수용층의 층두께는 본 실시예에서는 2.0μm으로 설정하였다. 1화소의 치수는 100μm(가로)×300μm(세로)이다.

또한, 착색 재료로서는 종래의 염색법이나 안료분산법에 의한 컬러 필터의 제조에 일반적으로 이용되는 것과 같은 염료나 안료를 적합하게 이용할 수 있다. 본 실시에에서는 착색 재료로서 C. I. Acid Red 114, C. I. Reactive Green 7, C. I. Acid Blue 83(모두 닛뽄 가야쿠 제품)을 이용하였다.

이렇게 하여 수용층에서의 활성화된 각 색 셀에 대응하는 부분마다에 대하여 착색 재료를 피착시켜서 각 색 셀마다 착색을 실시하여 컬러 필터(7)를 형성한다.

계속하여, 그 컬러 필터(7)상에 스퍼터법에 의하여 ITO막(투명 도전막)을 형성하고 이것을 통상의 방법으로 에칭하여 신호 전극(8)을 패턴 형성한다.

한편, 우리기판(1)상에 신호 전극(8)과 같은 재료를 이용하여 주사 전극(2)을 패턴 형성한다. 주사 전극(2) 및 신호 전극(8)은 이후의 공정에서 서로 직각으로 교차하여 그 교차 부분마다 액정층을 끼워 각 화소를 형성하도록 배치된다.

본 실시예에 있어서는 신호 전극(8)은 640개, 주사 전극(2)은 400개 각각 형성하였다.

이와 같이 각 전극이 형성된 신호 전극기판(10) 및 주사 전극기판(4) 각각의 전극이 형성된 주면상에 각각의 전극을 포함하는 주면의 거의 전면을 덮도록 폴리이미드 박막을 형성한 후, 러빙 배향 처리를 행하여 배향막(9), 배향막(3)을 각각 형성한다. 이 때, 액정층(13)으로서는 TN형 액정을 이용하였으므로, 배향막(9) 및 배향막(3)의 배향 방향이 서로 직교하도록 러빙 처리를 행하였다.

그리고, 우리기판(5)의 주변을 따라서 액정 주입구의 부분을 제외한 4변에 밀봉재(11)를 인쇄 형성한다. 이 밀봉재(11)은 양 기판을 접합하기 위한 접착제로서도 이용된다.

그리고, 셀 갭을 유지하기 위하여 스페이서(12)를 신호 전극기판(10)의 배향막(9)상에 살포하였다. 이 스페이서(12)로서는 입경 6.5gm의 세키스이화인 케미칼사 제품의 미크로펄을 이용하였다.

그리고 양 기판 각각의 배향막(9,3)끼리가 간극을 두고 대향하고, 또한 이때 각각의 배향막끼리의 러빙 방향이 직교하도록 신호 전극기판(10)과 주사 전극기판(4)을 간극을 두고 대향 배치하고, 가열하여 상기의 접착제를 겸한 밀봉제(11)를 경화시켜서 양 기판을 맞추어 붙인다.

이렇게 하여 빈 셀 상태의 액정 셀을 형성한 후, 주입구(도시 생략)로부터 액정 조성물로서 ZLI-1565(E.Merk사 제품)에 S811를 0.1wt% 첨가한 것을 주입하여 액정 셀내에 액정층(13)으로서 협지시키고, 주입구를 밀봉재(도시 생략)로 밀봉하여 본 발명의 제1실시예의 액정 표시 장치를 완성한다. 주입구의 밀봉재로서는 예컨대 자외선 경화수지를 이용하면 좋다.

또, 본 발명에 관한 자외선의 선택적인 조사 방법으로서는 이것만으로 한정되지 않음은 말할 필요도 없다.

이외에도 예컨대 차광층(6)을 이용하지 않는 경우 또는 차광층(6)이 자외선에 대하여 투과하는 재질인 경우에는 차광층을 마스크로서 이용할 수는 없다. 그래서, 그러한 경우에는 예컨대 LSI제조용 노광 장치 및 포토마스크 등을 이용하여 각 화소의 색 셀에 대응하는 부분에 선택적으로 자외선을 조사하도록 해도 좋다.

[실시예2]

본 제2실시예에 있어서는 본 발명의 기술을 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치에 적용한 것, 차광층 및 착색 수용기재층을 대향기판상에 배설하여 컬러 필터를 대향기판상에 형성한 것, 차광층을 마스크로서 이용하여 이 마스크로 덮지 않고 노출되어 있는 착색 수용기재층의 각 화소부에 대하여 자외선을 조사하여 그 부분을 활성화한 것, 컬러 필터상에 전극을 배설한 것을 주요한 특징으로 한다.

제2도는 제2실시예의 액정 표시 장치의 구조의 개요를 도시하는 단면도이다. 또, 제2도에 있어서는 제1도와 같은 구성 요소에는 동일한 부호를 부여하여 도시하고 있다.

본 제2실시예의 액정 표시 장치는 유리기판(5)상에 각 색 셀마다 창형태의 빈 곳이 열려진 격자 형태 패턴의 차광층(6)과, 그 차광층(6)의 각 격자마다 각각 색 셀이 형성된 컬러 필터(7)와, 그 컬러 필터(7)위를 덮도록 형성된 대향 전극(201)과, 이 대향 전극(201)의 거의 전면을 덮도록 형성된 배향막(9)을 구비한 대향기판(202)과, 이 대향기판(202)에 대향 배치되는 유리기판(1)상에 형성된 주사선(도시 생략) 및 신호선(203)과, 주사선 및 신호선(203)에 접속되어 화소 전극(204)에 대한 전압 인가를 스위칭 제어하는 스위칭 소자로서의 TFT(205)와, 상기의 신호선(203), TFT(205)또는 화소 전극(204)이 형성된 측의 기판주면의 거의 전면을 덮도록 형성되어 있는 배향막(3)을 구비한 TFT 어레이 기판(206)과, 이들 양 기판(202, 206)의 주위를 밀봉하는 동시에 양 기판을 간극을 두고 대향하도록 접합하는 밀봉재(11)와, 이들 양 기판의 간극(셀 갭)에 주위를 밀봉재(11)로 밀봉하여 협지된 액정층(13)과, 셀 갭을 유지하기 위한 스페이서(12)로 그 주요부가 구성되어 있다.

다음에 본 실시예의 액정 표시 장치의 제조 공정의 개요를 나타낸다.

유리기판(5)상에 산화 크롬과 크롬의 적층막을 형성한다. 통상의 에칭법을 이용하여 각 색 셀에 대응하는 부분마다 창패턴을 열고, 격자 형태의 패턴(즉 블랙 매트릭스)로서 차광층(6)을 형성한다. 그리고 그것을 덮도록 카제인을 재료로 이용하여 착색 수용기재층을 2.0μm의 막두께로 롤코팅법에 의하여 막을 형성한다.

그리고, 유리기판(5)의 차광층(6)등이 형성된 측과는 반대측의 주면에서 자외선을 착색 수용기재층에 조사한다. 이 때, 상기의 크롬으로 이루어지는 차광층(6)이 마스크로서 작용하므로, 차광층(6)의 각 화소에 대응한 부분에 열려진 개구부, 바꾸어 말하면 각 색 셀에 대응하는 부분의 착색 수용기재층에 셀프 얼라인으로 선택적으로 자외선이 조사된다. 이와 같이 자외선이 조사된 부분의 착색 수용기재층이 활성화된다.

이렇게 하여 활성화된 부분의 수광층에 대하여 잉크 제트 장치를 이용하여 R·G·B의 삼원색의 착색 재료를 각각 피착시켜서 수용층을 착색하여 컬러 필터(7)을 형성한다.

그리고, 롤코팅법을 이용하여 1.2μm의 막두께의 보호층(207)을 형성한다. 또한 그 보호층(207)상에 150nm의 막두께의 ITO막을 스퍼터법에 의하여 형성한다. 이 ITO막이 공통 전극인 대향 전극(201)이 된다. 이렇게 하여 대향기판(202)이 형성된다.

한편, 일반적인 TFT를 형성하는 공정을 이용하여 유리기판(1)상에 주사선(도시 생략) 및 신호선(203)을 매트릭스상에 직교하도록 형성한다. 그리고 그 교차 부분마다 TFT(205)를 형성한다. 그리고 이 TFT(205)에 접속되어 인가 전압이 스위칭되도록 각 화소에 대응하는 부분마다 화소 전극(204)을 형성한다. 그리고 이들 화소 전극(204)이나 TFT(205)가 형성된 측의 주면위를 덮도록 배향막(3)을 형성한다. 그리고 이 배향막(3)의 표면에 러빙 배향 처리를 실시하여 TFT 어레이 기판(206)을 형성한다.

계속하여, 대향기판(202)측의 대향 전극(201)상의 거의 전면을 덮도록 배향막(9)을 형성한다. 그 표면에 상기의 배향막(3)의 러빙 방향과의 거의 직교하는 방향에 러빙 배향 처리를 실시한다.

그리고, 대향기판(202)의 유리기판(5)의 주변을 따라서 밀봉재(11)를 주입구(도시 생략)를 제외하고 인쇄 형성한다. 그리고 이 밀봉재(11)를 이용하여 대향기판(202)과 TFT 어레이 기판(206)을 간극을 유지하면서 대향 배치하여 접합한다.

이렇게 하여 빈 셀 상태에 형성된 액정 셀의 셀 갭에는 셀 갭을 화면내에 균일하게 유지하기 위한 스페이서(12)가 협지되어 있다. 이 셀 갭에 주입구(도시 생략)로부터 액정 조성물로서 ZLI-1565(E.Merk 사 제품)에 S811을 0.1wt% 첨가한 것을 주입한다. 그리고 주입구를 자외선 경화수지로 밀봉하여 액정층(13)을 형성한다. 이렇게 하여 본 발명에 관한 제2실시예의 액티브 매트릭스형의 액정 표시 장치가 완성된다.

본 제2실시예에 있어서도 차광층(6)을 마스크로서 이용하여 각 색 셀에 대응하는 부분마다의 수용층에 대하여 셀프 얼라인으로 선택적으로 자외선을 조사하여 그 부분을 활성화하는 것으로, 착색 재료를 피착시키기 쉽게 할 수 있다. 그 결과, 각 색 셀마다 착색 재료를 피착시킬 때에 경계 영역에서의 번짐이 없는 컬러 필터를 형성할 수 있다. 그 결과, 화상의 색 재현성을 비롯한 표시 품위가 양호한 액정 표시 장치를 실현할 수 있다.

[실시예 3]

본 제3실시예에 있어서는 본 발명의 기술을 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치에 적용한 것, 착색 수용기재층을 TFT어레이 기판상에 배설하여 컬러 필터를 TFT 어레이 기판상에 형성한 것, 주사선 및 신호선을 마스크로서 이용하여 이 마스크로 덮여지지 않고 노출되어 있는 착색 수용기재층의 각 화소부에 자외선을 조사하여 그 부분을 활성화한 것, 컬러 필터상에 화소 전극을 배설한 것, 차광층을 컬러 필터의 형성후에 TFT어레이 기판상에 형성한 것을 주요한 특징으로 한다.

제3도는 본 발명에 관한 제3실시예의 액정 표시 장치를 도시하는 도면이다. 제3a도는 그 평면도, 제3b도는 그 단면도이다.

또, 제3도에 있어서는 제1 및 제2실시예와 동일한 구성요소에는 동일한 번호를 부여하여 도시하고 있다.

유리기판(1)상에 주사선(301) 및 이 주사선(301)에 직교하는 신호선(203)을 매트릭스 형태로 배설한다. 그리고 주사선(301)과 신호선(203)과의 교차 부분 부근마다 그 양쪽에 각각 접속되는 TFT(205)를 형성한다. 이 TFT(205)의 형성은 통상의 포토리소그래피를 이용한 제조 방법으로 행할 수 있다.

그리고, 착색 수용기재층을 롤 코팅법에 의하여 막두께 2μm로 형성한다. 이후, 유리기판(1)의 TFT(205). 주사선(301) 및 신호선(203)등이 형성된 주면과는 반대측의 주면측에서 자외선을 조사한다. 이 때 신호선(203)이나 주사선(301)이 마스크로서 작용하므로, 신호선(203) 및 주사선(301)으로 덮어져 있지 않은 노출된 부분에만 선택적으로 자외선이 조사된다. 그리고, 자외선이 선택적으로 조사된 부분만이 활성화되어 착색 재료가 피착되기 쉬워지며, 그 부분이 수용층이 된다.

계속하여, 잉크 제트 장치를 이용하여 잉크 제트법에 의하여 R·G·B의 삼원색의 착색 재료를 상기의 수용층에 투사한다. 그 착색 재료가 피착된 부분이 착색되어 컬러 필터가 형성된다.

이 때, 각 색마다의 착색 재료는 수용층중 전술의 자외선이 조사되어 활성화된 색 셀에 대응하는 부분마다 수용된다. 한편, 각 색 셀끼리의 경계 영역은 활성화되어 있지 않으므로, 그 경계 영역에는 착색 재료는 완만하게밖에 수용되지 않는다. 따라서 각 화소의 주위(경계 영역)의 번짐을 억제하여 각 색 셀부분마다 선택적으로 착색 재료를 피착시킬 수 있다. 그 결과, 색 재현성이 양호한 컬러 필터(7)를 형성할 수 있다.

이어서, 컬러 필터(7)위를 덮도록 유기 재료에 흑색 안료를 분산시킨 유기 수지막을 롤 코팅법으로 형성한다. 그리고 각 화소(색 셀)에 대응하는 부분마다 개구를 패터닝하여 격자 형태 패턴의 차광층(6)을 형성한다. 이 차광층(6)은 각 화소의 주변을 덮어서 차광하는 동시에 TFT(205)의 광전 효과에 의한 오동작을 막기 위하여 설치되는 것이다. 또한, 인접하는 화소 전극(204)끼리를 단락시키지 않도록 절연성이 높은 재료를 이용할 필요도 있다. 따라서, 이 차광층(6)을 형성하는 흑색 안료로서는 차광성이 높고 또한 직시하였을 때에 물이 들거나 반사가 없는 빛을 양호하게 흡수하는 재료이고, 또한 절연성이 높은 재료를 이용하는 것이 바람직하다.

계속하여, TFT어레이 기판(206)의 TFT(205)등의 구조물이 형성된 측의 주면의 거의 전면을 덮도록 1.2μm의 막두께의 보호층(302)을 롤 코팅법으로 형성한다.

이어서, 각 색 셀부분에 대응한 부분마다 배치되어 각 화소를 형성하는 화소 전극(204)으로서, TFT(205)의 소스 전극(303)에 일단이 접속된 화소 전극(204)을 형성한다. 이 화소 전극(204)은 두께 150nm의 ITO막을 스퍼터법에 의하여 형성하여 각 화소 영역마다 얼룩무늬로 패터닝하여 형성된다.

계속하여, 배향막 재료를 보호층(302)위의 거의 전면을 덮도록 형성한다. 그리고, 그 표면에 러빙 배향 처리를 실시하여 배향막(3)을 형성한다.

한편, 대향기판(202)측에서는 유리치판(5)상에 투명 도전막을 형성하고, 이것을 패터닝하여 대향 전극(201)을 형성한다. 또한 이 대향 전극(201)상의 거의 전면을 덮도록 배향막(9)을 형성한다. 또한 배향막(9)의 표면에 러빙 배향 처리를 실시하여 대항기판(202)을 형성한다.

이어서, 대향기판(202)의 유리기판(5)의 주변 부분을 따라서 접착제를 겸한 밀봉재(11)를 주입구(도시 생략)를 제외하고 인쇄 형성한다.

그리고, 대향기판(202)과 TFT 어레이 기판(206)을 밀봉재(11)를 통하여 셀 갭을 유지하면서 대향 배치한다. 그리고, 양 기판(202, 206)을 가열하는 동시에 압력을 인가하여 이들 양 기판(202, 206)을 접합한다. 이 때 셀 갭의 면내에 균일성을 유지하기 위하여 양 기판 사이의 셀 갭에는 스페이서(12)가 협지되어 있다. 스페이서(12)로서는 입경 6μm의 세키스이 화인 케미칼사 제품의 미크로펄을 살포하고 있다.

이렇게 하여 형성된 빈 셀 상태의 액정 셀의 셀 갭에 액정 조성물을 주입한다. 이 액정 조성물로서는 ZLI-1565(E.Merk사 제품)에 S811을 0,1wt% 첨가한 것을 이용하였다. 이 액정 조성물을 주입구로부터 주입한 후, 주입구를 자외선 경화수지로 밀봉하여 본 발명에 관한 제3실시예의 액정 표시 장치를 얻는다.

이와 같이, TFT 어레이 기판측에 컬러 필터가 설치된 액정 표시 장치에 있어서도 본 발명의 기술을 효과적으로 적용하는 것이 가능하다.

[실시예 4]

이 제4실시예에 있어서는 본 발명의 기술을 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치에 적용한 것, 착색 수용기재층을 TFT 어레이 기판상에 배설하여 컬러 필터를 TFT 어레이 기판상에 형성한 것, 주사선 및 신호선을 마스크로서 이용하여 이 마스크로 덮여져 있지 않고 노출되어 있는 착색 수용기재층의 각 화소부에 자외선을 조사하여 그 부분을 경화한 뒤, 경화하지 않은 부분은 용제를 이용하여 제거하여 필요한 위치에만 수용층을 패턴 형성한 것, 컬러 필터상에 화소 전극을 배설한 것, 차광층을 컬러 필터의 형성 후에 TFT 어레이 기판상에 형성한 것을 주요한 특징으로 한다.

이러한 제조 방법으로 제작되는 제4실시예의 액정 표시 장치의 단면 구조의 개요를 제4도에 도시한다. 또 제4도에 있어서는 전술의 제3실시예에 있어서의 제3도와 같은 부위에 관해서는 동일한 부호를 부여하여 도시하고 있다.

유리기판(1)상에 주사선(301) 및 이 주사선(301)에 직교하는 신호선(203)을 매트릭스상에 배설한다. 그리고, 주사선(301)과 신호선(203)과의 교차 부분 부근마다 그 양쪽에 각각 접속되는 TFT(205)를 형성한다. 이 TFT(205)의 형성은 통상의 포토리소그래피를 이용한 제조 방법으로 행할 수 있다.

그리고, 착색 수용기재층을 형성한다. 이 착색 수용기재층의 재료로서는 상기의 제1~제3실시예와는 달리 예컨대 라디칼 중합형인 아크릴계의 자외선 경화형 수지등을 이용한다. 이 자외선 경화형 수지로서는 컬러 필터의 착색 재료에 의한 고착색성이 양호하고, 또한 자외선이 조사되어 경화된 부분은 선택적으로 경화되는 동시에 경화되어 있지 않은 부분은 간단하게 용제등으로 제거 가능한 재료를 적합하게 이용할 수 있다.

이러한 자외선 경화형 수지로서는 예컨대, 천연 단백기재에 중크롬산을 첨가한 감광액, 아크릴, 에퍽시 변성 아크릴 또는 PVA에 감광성을 부여한 것을 적합하게 이용할 수 있다. 본 실시예에 있어서는 아크릴에 감광성을 부여한 것을 이용하였다.

상기와 같은 착색 수용기재층으로서 롤 코팅법에 의하여 2μm의 막두께의 자외선 경화형 수지막을 형성한다.

계속하여, 유리기판(1)의 TFT(205), 주사선(301) 및 신호선(203)등이 형성된 주면과는 반대측의 주면측에서 자외선 경화형 수지층에 대하여 자외선을 조사한다. 이 때, 신호선(203)이나 주사선(301)이 자외선에 대한 마스크로서 작용한다. 따라서 자외선 경화형 수지로 이루어지는 착색 수용기재층중, 신호선(203) 및 주사선(301)으로 덮어져 있지 않은 노출된 부분에만 선택적으로 자외선이 조사된다. 이 자외선이 선택적으로 조사된 부분만이 경화하하여 용제에 대하여 용융되기 어려워진다. 그래서 자외선이 조사되지 않고 경화되어 있지 않은 상태의 부분 즉, 인접하는 각 화소 사이 부분은 용제를 이용하여 제거할 수 있다. 이렇게 하여 각 화소에 대응하는 부분마다 얼룩무늬로 수용층을 형성할 수 있다.

이어서, 잉크 제트 장치를 이용하여 R·G·B의 삼원색의 착색 재료를 수용층에 투사하여 컬러 필터를 형성한다.

이 때, 각 색마다의 착색 재료는 전술한 바와 같이 주위를 에칭 제거하여 색 셀에 대응한 위치에 얼룩무늬마다 형성된 수용층에 수용된다. 한편, 각 색 셀끼리의 사이 부분에는 수용층은 없으므로, 이 부분은 착색되지 않는다. 따라서, 각 화소의 주위(경계 영역)의 번짐을 억제하여 각 색 셀마다 선택적으로 착색 재료를 피착시킬 수 있다. 그 결과, 색 재현성이 양호한 컬러 필터(7)를 형성할 수 있다.

계속하여, 각 화소에 대응한 위치에 TFT(205)의 소스 전극(303)에 일단이 접속되는 화소 전극(204)을 형성한다. 이 화소 전극(204)은 ITO막을 150nm의 두께에 스퍼터법을 이용하여 형성하여 각 화소마다 얼룩무늬의 패턴으로서 위치하도록 패터닝하여 형성한다.

이어서, 컬러 필터(7) 및 화소 전극(204)상에 유기재료에 흑색 안료를 분산시킨 유기 수지막을 롤 코팅법으로 형성한다. 그리고, 각 화소(색 셀)에 대응하는 부분마다 창패턴을 열어 격자 형태의 차광층(6)을 형성한다.

계속하여, 배향막 재료를 화소 전극(204)등이 형성된 측의 TFT어레이 기판(206)상의 거의 전면을 덮도록 형성한다. 그리고, 그 표면에 러빙 배향 처리를 실시하여 배향막(3)을 형성한다.

한편, 대향기관(202)측에서는 유리치판(5)상에 투명 도전막을 형성하여 대향 전극(201)을 형성한다. 또한 이 대향 전극(201)상의 거의 전면을 덮도록 배향막(9)을 형성한다. 그리고, 배향막(9)의 표면에 러빙 배향처리를 실시한다. 이렇게 하여 대향기판(202)를 형성한다.

계속하여, 대향기판(202)의 유리기판(5)의 주변 부분을 따라서 접착제를 겸한 밀봉재(11)을 주입구(도시 생략)를 제외하고 인쇄 형성한다.

그리고, 대향기판(202)과 TFT어레이 기판(206)을 밀봉재(11)를 통하여 셀 갭을 유지하면서 대향 배치하여 가열하는 동시에 압력을 인가하여 양쪽을 접합한다. 이 때, 셀 갭의 면내 균일성을 유지하기 위하여 양 기판사이의 셀 갭에는 스페이서(12)가 협지되어 있다. 스페이서(12)로서는 입경 6μm의 세키스이 화인 케미칼사 제품의 미크로펄을 살포하였다.

이렇게 하여 형성된 빈 셀 상태의 액정 셀의 셀 갭에 액정 조성물을 주입한다. 액정 조성물로서는 ZLI-1565(E.Merk사 제품)에 S811을 0.1wt% 첨가한 것을 주입구로부터 주입하였다. 그 후, 주입구를 자외선 경화수지로 밀봉하여 본 발명에 관한 제4실시예의 액정 표시 장치를 얻는다.

이와 같이 본 발명에 의하면, 번잡한 포토리소그래피 공정을 증가하지 않고 간단한 제조 방법에 의하여 각 색 셀(각 화소)의 주변부에서의 색 번짐이 없는 컬러 필터를 구비한 액정 표시 장치를 제조할 수 있다.

[실시예 5]

본 제5실시예에 있어서는 화소 전극을 컬러 필터다도 미리 유리기판상에 배설하여 그 화소 전극상에 컬러 필터를 배설한 것, 화소부에 대응하는 위치마다 개구가 패터닝된 포토마스크를 이용하여 이 포토마스크의 차광 패턴으로 덮지 않고 개구로부터 노출되어 있는 착색 수용기재층에 대하여 자외선을 조사하여 그 부분을 활성화하여 수용층을 형성한 것을 주요한 특징으로 한다.

제6도는 제5실시예의 액정 표시 장치의 구조의 개요를 도시하는 단면도이다. 또한, 제7도, 제8도는 그 제조 공정의 개요를 도시하는 도면이다. 또, 제6,7,8도에 있어서는 제2~4의 실시예와 같은 구성 요소에는 동일 부호를 부여하여 도시하고 있다.

유리기판(1)상에 주사선(301) 및 이 주사선(301)에 직교하는 신호선(203)을 매트릭스 형태로 배설한다. 그리고 주사선(301)과 신호선(203)과의 교차 부분 부근마다 그 양쪽에 각각 접속되는 TFT(205)를 형성한다. 이 TFT(205)의 형성은 통상의 포토리소그래피를 이용한 제조 방법으로 행할 수 있다. 그리고, 스퍼터법을 이용하여 두께 150nm의 ITO막을 형성한다. 그리고, 각 화소에 대응한 위치마다 얼룩무늬의 패턴의 화소 전극(204)을 형성한다.

그리고, 주사선(301), 신호선(203) 또는 TFT(205)를 포함하는 유리기판(1)상의 거의 전면을 덮는 층간 절연막(601)을 형성한다.

계속하여, 층간 절연막(601) 위를 덮도록 유기 재료에 흑색 안료를 분산시킨 유기수지막을 롤 코팅법으로 형성한다. 그리고, 각 화소(색 셀)에 대응하는 부분마다 개구 (창 패턴)을 패터닝하여 격자 형태의 차광층(6)을 형성한다. 또, 이 차광층(6)은 대향기판측에 배치해도 좋고, 또는 TFT(205)나 화소 전극(204) 보다도 아래의 층 (유리기판(1)근처의 층)에 형성해도 좋다.

이어서, 제7a도에 도시한 바와 같이 착색 수용기재층(701)을 롤 코팅법에 의하여 막두께 2μm로 형성한다. 그리고, 유리기판(1)의 TFT(205), 주사선(301) 또는 신호선(203)등이 형성된 주면측에서 포토마스크(702)를 통하여 자외선을 조사한다.

이 때, 포토마스크(702)에는 TFT(205) 및 비화소부를 덮은 차광 패턴이 형성되어 있다. 따라서 그 차광 패턴에 차광되지 않고 노출되어 있는 부분의 착색 수용기재층(701)에만 자외선이 선택적으로 조사되고, 그 부분이 활성화되어 제7b도에 도시하는 것과 같이 수용층(703)이 형성된다.

계속하여, 제7c도에 도시하는 바와 같이 잉크 제트 장치를 이용하여 잉크 제트법에 의하여 R·G·B 의 삼원색의 착색 재료(704)를 상기의 수용층(703)에 투사한다. 이것에 의하여 착색 재료(704)가 피착된 부분이 착색되어 컬러 필터(7)가 형성된다.

이 때, 각 색마다의 착색 재료(704)는 전술한 자외선 조사에 의하여 활성화된 색 셀(705)마다의 수용층(703)에 유효하게 수용된다. 한편, 각 색 셀(705)끼리의 경계 영역(706)은 활성화되어 있지 않으므로, 그 부분에는 착색 재료(704)는 완만하게밖에 수용되지 않는다. 또는 거의 수용되지 않는다. 따라서 각 색 셀(705)을 형성하여야 할 부분에 선택적으로 각 화소의 주위(경계 영역)의 번짐을 억제하여 착색 재료(704)를 피착시킬 수 있다. 그 결과, 색 재현성이 양호한 컬러 필터(7)을 형성할 수 있다.

이어서, 배향막 재료를 TFT 어레이 기판(206)위의 거의 전면을 덮도록 형성하고 그 표면에 러빙 배향 처리를 실시하여 배향막(3)을 형성한다.

한편, 대향기판(202)측에서는 유리기판(5)상에 투명 도전막을 형성하여 이것을 패터닝하여 대향 전극(201)을 형성한다. 다시 이 대향 전극(201)상의 거의 전면을 덮도록 배향막(9)을 형성한다. 그리고, 배향막(9)의 표면에 러빙 배향 처리를 실시하여 대향기판(202)이 형성된다.

이어서, 대향기판(202)의 유리기판(5)의 주변 부분에 따라서 접착제를 겸한 밀봉재(11)를 주입구(도시 생략)를 제외하고 인쇄 형성한다. 그리고, 대향기판(202)과 TFT 어레이 기판(206)을 밀봉재(11)을 통하여 셀 갭을 유지하면서 대향 배치하여 가열하는 동시에 압력을 인가하여 양쪽을 접합한다. 이 때, 셀 갭의 면내 균일성을 유지하기 위하여 양 기판 사이의 셀 갭에는 스페이서(12)가 협지되어 있다. 스페이서(12)로서는 입경 6μm의 세키스이 화인 케미칼사 제품의 미크로펄을 살포하고 이다.

이렇게 하여 형성된 빈 셀 상태의 액정 셀의 셀 갭에 주입구로부터 액정 조성물로서 ZLI-1565(E.Merk사 제품)에 S811을 0.1wt% 첨가한 것을 주입하고 그 후, 주입구를 자외선 경화수지로 밀봉하여 본 발명에 관한 제5실시예의 액정 표시 장치가 완성된다.

또, 제8도에 도시하는 바와 같이 상기의 착색 수용기재층(701)을 자외선 경화형 수지로 형성하고(제8a도), 이 자외선 경화형 수지로 구성되는 착색 수용기재층에 상기와 같이 자외선을 조사하여 각 화소에 대응하는 착색이 필요한 부분(즉, 색 셀(705)의 부분)은 경화하여 남게 되는 한편, 불필요 부분인 경계 부분(706)은 용제 등으로 제거하는 것으로, 각 화소에 대응한 색 셀(706)의 부분에만 수용층(703)을 형성하고 (제8b도), 이 수용층(703)을 착색해도 좋다(제8b도).

이러한 제5실시예의 제조 방법에 의하면, 제3실시예와 같은 착색 수용기재층에 대한 이면 노광이 곤란한 경우 등에도 임의의 패턴으로 정확하게 자외선을 선택적 조사를 할 수 있다. 예컴대, ITO와 같은 자외선에 대해서는 투명성이 낮은 경향에 있는 재료로 화소 전극을 컬러 필터보다도 하층에 형성한 경우에 착색 수용기재층에 대한 제3실시예와 같은 화소 전극을 통하여 이면 노광이 곤란해지는 경우도 고려할 수 있다. 그러나, 본 실시예와 같이 표면에서 노광하면, 상기와 같은 문제를 해소할 수 있다. 또한, 차광층, 주사선, 신호선 또는 TFT 등으로 차광되어 있는 부분에도 컬러 필터의 색 셀을 형성하고 싶은 경우 등에도, 본 실시예의 제조 방법에 의하여 그들 임의의 위치의 착색 수요기재층에 자외선을 선택적으로 조사할 수 이다. 그 결과가, 색 번짐이 없고 소망하는 패턴의 색 셀이 배열된 컬러 필터를 형성할 수 잇다.

또, 상기의 화소 전극(204)은 컬러 필터(7)의 하층에 형성하였지만, 이것을 컬러 필터의 상층에 형성해도 좋은 것은 물론이다.

또한, 이 제5실시예에서 나타낸 액정 표시 장치의 제조 방법중, 특히 컬러 필터의 제조 방법은 액티브 매트릭스형 액정 표시 장치뿐만 아니라, 단순 매트릭스형 액정 표시 장치의 제조 방법에도 적용 가능하다.

[실시예 6]

본 제6실시예에 있어서는 컬러 필터뿐 만 아니라 차광층에 관해서도 착색 수용기재층의 소정 위치를 흑색계 염료로 착색함으로써 형성된 것, 착색 수용기재층의 각 화소 부분에 대한 자외선의 선택적 조사를 포토마스크를 이용하여 행한 것을 특징으로 한다.

제9도는 제6실시예의 제조 방법에 의하여 형성되는 액정 표시 장치의 구조의 개요를 도시하는 단면도이다. 제10도는 그 제조 공정의 개요를 도시하는 도면이다. 또 제9,10도에 있어서는 제1~제5실시예와 같은 부분에는 같은 부호를 부여하여 도시하고 있다.

상기 액정 표시 장치는 기본적으로는 제1실시예의 액정 표시 장치와 유사하지만, 특히 차광층(6)이 그 부분의 수용층(706)을 착색하여 컬러 필터(7)와 동일층으로 형성된 것을 특징으로 하고 이다.

즉, 유리기판(1)상에 제1전극으로서 주사 전극(2)과, 그 주사전극(2)위를 포함하는 기판의 거의 전면을 덮도록 형성된 배향막(3)으로 그 주요부가 형성되어 있는 주사 전극기판(4)과, 유리기판(5)상에 각 화소끼리가 인접하는 간극부분을 덮도록 수용층을 흑색계 염료 또는 안료로 착색하여 형성된 차광층(6)과, 동일층에 각 화소부마다 R·G·B의 각 색 셀이 배설된 컬러 필터(7)와, 그 위에 주사 전극(2)에 대하여 간극을 두고 거의 지하도록 열설된 제2전극으로서의 신호 전극(8)과, 이 신호 전극(8)을 포함하는 기판의 거의 전면을 덮도록 형성된 배향막(9)을 구비한 신호 전극기판(10)과, 주사 전극기판(4)과 신호 전극기판(10) 사이의 밀봉재(11) 및 스페이서(12)에 의하여 지지된 기판간극(소위 셀 갭)에 밀봉재(11)로 주위가 밀봉되어 봉입 중간점 협지된 액정층(13)으로 그 주요부가 형성되어 있다.

유리기판(1)은 외형 치수가 150mm×210mm이고 두께 1.0mm의 평판형인 유리기판이다. 또한, 유리기판(5)은 외형 치수가 160mm×220mm이고 두께 1.0mm의 평판형인 유리기판이다.

차광층(6)은 인접하는 각 화소(색 셀)마다의 주위의 윤곽끼리의 간극 즉, 경계 영역을 차광하기 위하여 그 부분의 수용층(706)을 착색하여 형성되어 있다. 그리고, 이 차광층(6)의 패턴으로 둘러싸인 각 격자내마다 각 색 셀(705)이 각각 수납되도록 그 부분의 수용층(703)이 착색되어 있다.

본 발명에 관한 액정 표시 장치에 있어서는 이와 같이 컬러 필터(7)뿐 만 아니라, 차광층(6)에 관해서도 그것을 형성하는 부분의 착색 수용기재층(701)에 포토마스크(702)를 이용하여 선택적으로 자외선을 조사하여 그 부분을 수용층(706)으로 한 후(제10a도), 잉크 제트 방식에 의하여 상기의 수용층(706)에 흑색계의 착색재료(1001)를 잉크 제트 장치(1002)로 투사하여 차광층(6)을 형성한다.(제10b도).

계속하여, 착색 수용기재층(701)으로서 남아 있는 각 색 셀에 대응하는 부분에 자외선을 조사하는 것으로, 그 각 색 셀에 대응하는 부분을 컬러 필터의 착색 재료를 수용하는 수용층(703)으로 한다(제10c도).

그리고, 각 색의 착색 재료(1003)를 수용층(703)에 대하여 잉크제트장치 (1004)로 투사하여 컬러 필터(7)를 형성한다.(제10d도).

이 때, 인접하는 색 셀(705)끼리의 경계 영역에서의 다른 착색 재료의 색끼리가 혼색될 가능성이 있는 부분에는 상기의 차광층(6)이 이미 형성되어 있으므로, 그 부분의 색번짐을 피할 수 있다. 그 결과가, 색 재현성이 극히 양호한 화상 표시를 실현할 수 있다.

[실시예 7]

본 제7실시예에 있어서는 컬러 필터를 형성한 후에 그 컬러 필터가 형성된 기판상에 흑색계의 염료 또는 안료를 첨가한 감광성 수지재료막을 형성하여 컬러 필터를 마스크로서 이용하여 감광성 수지재료막을 노광하여 이것을 현상하고 차광층을 형성하는 것을 특징으로 하고 있다.

따라서, 본 제7실시예의 제조 방법은 차광층의 형성이전에 컬러 필터를 본 발명에 관한 잉크 제트법으로 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법이면, 어느것에도 적용할 수 있는 것은 이론적으로도 분명하다. 따라서 본 실시예에 있어서는 설명의 간결화를 도모하기 위하여 액정 표시 소자 및 컬러 필터의 구조나 그 제조 방법에 관해서는 상기의 각 실시예를 참조하는 것으로 하고, 컬러 필터의 형성 공정이후의 차광층의 형성 공정을 중심으로 하여 이하에 설명한다.

제11도는 본 실시예의 제조 방법의 주요부를 도시하는 도면이다. 또, 제11도에 있어서는 제1~제6실시예와 같은 부분에는 동일 부호를 부여하여 도시하고 있다.

수용층(703)을 착색하여 컬러 필터(7)의 각 색 셀(705)이 형성된 기판(1101)(제11a도)상의 거의 전면에 차광층(6)을 형성하기 위한 감광성 수지 재료막(1102)으로서 아크릴계 자외선 경화형 수지에 흑색계 안료를 함유 중간점 분산시킨 재료를 예컨대 스핀 코터 장치로 도포한다.(제11b도).

계속하여, 기판(1101)상의 컬러 필터(7)의 각 색 셀(705)이 형성된 주면과는 반대측의 주면 즉, 이면에서 자외선을 조사한다. 이 때, 컬러 필터(7)의 각 색 셀(705)이 마스크로서 작용하여 자외선을 흡수 및 일부 반사하여 그 투과를 차단한다. 따라서, 이 색 셀(705)에 겹친 부분의 감광성 수지재료막(1102)에는 자외선이 충분히는 조사되지 않고 미경화 상태가 된다. 한편, 색 셀(705)이 없는 부분 즉, 색 셀(705)끼리의 사이의 경계 영역(또는 환언하면 비화소부와 거의 동일한 부분)의 감광성 수지재료막(1103)에만 자외선이 충분히 조사되어 그 분이 경화하여 상기의 아크릴계 자외선 경화형 수지를 현상하는 현상액(또는 용해하는 용제)에 대하여 내성이 된다(제11c도).

이렇게 하여 노광된 감광성 수지재료막(1103) 및 미노광의 감광성 수지재료막(1102)을 현상액 또는 용제를 이용하여 현상 또는 불필요 부분의 용해 제거를 행한다. 이렇게 하여 색 셀(705)끼리의 사이의 경계 영역(환언하면 비화소부와 거의 동일한 부분)을 차광하는 차광층(6)을 형성할 수 있다.

또, 상기의 기판(1101)은 유리기판상에 컬러 필터가 형성된 만큼의 구조의 기판이라도 좋다. 또는 예컨대 주사선, 신호선, TFT 또는 화소 전극등이 형성된 TFT 어레이 기판이라도 좋다. 또는 단순 매트릭스형 액정 표시 장치용 주사 전극등의 전극이 형성된 전극기판이라도 좋다.

또한, 상기 실시예에서는 가모강성 수지재료막(1102)으로서 아크릴계 자외선 경화하형 수지에 흑색계 안료를 함유 중간점 분산시킨 것을 이용하였지만, 이외에도 일반적인 소위 포토레지스트로서 이용되는 감광성 수지막중에 흑색계 염료를 혼입하는 등 차광성이 부여된 감광성 수지재료막이나 자외선이외의 광에 감광하는 감광성 수지재료막 등을 이용해도 좋다.

[실시예 8]

본 제8실시예에 있어서는 착색 수용기재층에 자외선을 조사하여 필요 부분을 경화하고 불필요 부분은 제거하여 수용층을 형성한 후에 그 수용층이 형성된 기판상에 흑색계의 염료 또는 안료를 첨가한 감광성 수지재료막을 형성하고, 수용층을 마스크로서 이용하여 감광성 수지재료막을 노광하여 이것을 현상하고, 차광층을 형성하는 것을 특징으로 하고 있다. 더구나 이 때, 차광층을 컬러 필터보다보 높은 두께로 형성함으로써, 그 차광층에 의하여 각 색 셀의 주위를 둘러싸고, 인접하는 색 셀끼리의 착색 번짐을 막는 격벽으로서 이용하는 것도 특징으로 하고 있다.

따라서, 본 제8실시예의 제조 방법은 차광층의 형성이전에 본 발명에 관한 수용층을 각 색 셀마다 패턴 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법이면, 어느것에도 적용할 수 있는 것은 이론적으로도 분명하다. 따라서, 본 실시예에 있어서는 설명의 간결화를 도모하기 위하여 액정 표시 소자 및 컬러 필터의 구조나 그 제조 방법에 관해서는 상기의 각 실시예를 참조하는 것으로 하여 수용층을 형성한 공정이후의 차광층의 형성 공정을 중심으로 하여 이하에 설명한다.

제12도는 본 실시예의 제조 방법의 주요부를 도시하는 도면이다. 또, 제12도에 있어서는 제1~제7실시예와 같은 구성요소에는 동일한 부호를 부여하여 도시하고 있다.

수용층(703)이 형성된 기판(1101)(제12a도)위의 거의 전면에 차광층(6)을 형성하기 위한 감광성 수지재료막(1102)으로서 아크릴계 자외선 경화형 수지에 흑색계 안료를 함유 중간점 분산시킨 재료를 막형태로 예컨대 스핀 코팅 장치로 도포한다(제12b도).

이어서, 기판(1101)상의 수용층(703)이 형성된 주면과는 반대측의 주면 즉, 이면에서 자외선을 조사한다(제11c도). 이 때, 수용층(703)이 마스크로서 작용하여 자외선을 흡수 및 일부 반사하여 그 투과를 차단한다. 따라서, 이 수용층(703)에 겹친 부분의 감광성 수지재료막(1102)에는 자외선이 충분히는 조사되지 않는다. 한편, 수용층(703)이 없는 부분(환언하면 비화소부와 거의 동일한 부분)의 감광성 수지재료막(1103)에만 자외선이 충분히 조사되고, 그 부분이 경화하여 상기의 아크릴계 자외선 경화형 수지를 현상하는 현상액(또는 용해하는 용제)에 대하여 내성이 된다. 더구나 이 때, 수용층(703)에 있어서는 이면측에서도 자외선이 조사되므로, 수용층(703)은 그 이면측이 경화가 다시 충분하게 되며, 또한 이면측의 착색성도 다시 향상된다.

이렇게 하여 노광된 감광성 수지재료막(1102)을 현상액(또는 용제)을 이용하여 현상(또는 불필요한 부분의 용해 제거)를 행하여 수용층(703)끼리의 사이의 경계 영역(환언하면 비화소부와 거의 동일한 부분)을 차광하는 차광층(6)을 형성할 수 있다(제11d도).

계속하여, 감광성 수지재료막(1102)이 제거되어 다시 노출된 수용층(703)에 대하여 각 색중 각각 소정의 색의 착색 재료(1003)를 투사하여 각 색 셀(705)을 형성하여 컬러 필터(7)가 완성된다(제11e도).

또, 상기의 기판(1101)은 유리기판상에 수용층(703)이 형성된 만큼의 구조의 기판이라도 좋다. 또는 이것에 덧붙여서, 예컨대 주사선, 신호선, TFT또는 화소 전극등이 형성된 TFT 어레이 기판이라도 좋고, 또는 단순 매트릭스형 액정 표시 장치용 주사 전극과 같은 전극이 형성된 전극기판이라도 좋다.

[실시예 9]

전술한 제2실시에에 있어서는 자외선을 조사한 부분을 활성화하고 그 부분의 수용성(착색성)을 향상시켜 착색 재료를 피착시켜서 컬러 필터를 형성하는 경우를 도시하였다. 본 제9실시예에 있어서는 제2실시예에 있어서의 자외선을 조사한 부분을 활성화할 뿐만 아니라, 그 부분을 경화시켜서 그 외의 자외선이 조사되지 않은 부분은 용제등으로 제거하여 각 화소부마다 수용층을 예컨대 얼룩무늬로 형성하는 경우에 관해서 도시한다. 또, 이 제9실시예에 있어서의 상기의 제2실시예와 같은 각 부분에는 제2실시예와 같은 부호 및 용어를 이용하여 제2도를 참조하여 설명한다.

즉, 제2실시예와 같이, 차광층(6)을 형성하여 그 위를 포함하는 기판위를 덮도록 착색 수용기재층을 막두께 2.0μm의 막두께로 형성한다. 그리고, 차광층(6)을 마스크로서 이용하여 각 색 셀에 대응하는 부분마다의 착색 수용기재층에 셀프 얼라인으로 선택적으로 자외선을 조사한다. 이와 같이, 선택적으로 자외선이 조사된 부분마다의 수광층이 활성화된다.

계속하여, H₂O에 수산화칼룸을 1% 첨가한 용액을 이용하여 현상 처리를 행하여 노광되어 있지 않은 부분의 착색 수용기재층을 제거한다.

계속하여, 상기의 현상 처리로 제거되지 않고 남은 수용층을 180℃로 1시간에 걸쳐서 소성한다.

이렇게 하여 활성화되는 동시에 각 화소부마다 얼룩무늬로 패터닝된 수용층에 대하여 잉크 제트 장치를 이용하여 잉크 제트법에 의하여 R·G·B의 삼원색의 착색 재료를 각각 피착시켜서 수광층을 착색하여 컬러 필터(7)를 형성할 수 있다.

[실시예 10]

전술한 제2실시예에 있어서는 산화크롬과 크롬의 적층막을 이용하여 차광층(6)을 형성하고, 이 위를 덮도록 착색 수용기재층을 형성하여 기판의 착색 수용기재층이 형성된 주면과는 반대측의 이면에서 자외선을 조사하여 차광층(6)을 마스크로서 이용하여 각 화소부를 노광하는 경우를 도시하였다.

이 제10실시예에 있어서는 기판상에 착색 수용기재층을 형성한 후에 차광층(6)을 흑색 수지재료로 형성하고, 이 차광층(6)을 마스크로서 이용하여 기판의 착색 수용기재층이 형성된 주면측에서 자외선을 조사하여 각 화소부를 노광하는 경우에 관하여 도시한다. 제13도는 제10실시예의 제조 방법에 의하여 제조되는 액정표시 장치의 구조의 개요를 도시하는 도면이다.

또, 이 제10실시예에 있어서의 상기의 제2실시예와 같은 각 부분에는 제2실시예와 같은 부호 및 용어를 이용하여 제2도 및 제13도를 참조하면서 본 실시예의 액정 표시 장치가 제2실시예와 다른 점을 중심으로 하여 설명한다.

유리기판(5)상에 카제인을 재료로 이용하여 롤 코팅법에 의하여 착색 수용기재층을 막두께 2.0μm의 막두께로 형성한다.

그리고, 감광성 아크릴수지에 카본·블랙을 분산시킨 흑색수지를 스핀 코팅법으로 형성한다. 그리고, 이것을 예컨대 소정의 차광을 패턴이 이미지된 포토마스크를 이용하여 노광하여 현상 처리를 행하여 흑색수지로 구성되는 차광층(6)을 형성한다.

계속하여, 유리기판(5)의 차광층(6) 등이 형성된 측의 주면에서 자외선을 착색 수용기재층에 조사한다. 이 때, 상기의 흑색수지로 구성되는 차광층(6)이 마스크로서 작용하므로, 차광층(6)의 각 화소에 대응한 부분에 열려진 개구부, 환언하면 각 색 셀에 대응하는 부분마다의 착색 수용기재층에 셀프 얼라인으로 선택적으로 자외선이 조사된다. 이와 같이 선택적으로 자외선이 조사된 부분마다의 수광층이 활성화된다. 그리고, 그 후의 컬러 필터의 착색 공정이후의 공정은 제2실시예 등과 같이 행할 수 있다.

[실시예 11]

전술의 제3실시예에 있어서는 TFT 어레이 기판형인 주사선 및 신호선을 마스크로서 이용하여 착색 수용기재층중 각 화소부를 포함하는 각 색 셀마다 선택적으로 자외선을 조사하는 경우를 도시하였다.

본 제11실시예에 있어서는 자외선을 조사할 때의 마스크로서 주사선 및 신호선 대신에 포토마스크를 이용하여 기판의 이면이 아닌 착색 수용기재층이 형성된 측의 주면에서 자외선을 조사하는 경우에 관하여 도시한다.

또, 본 제11실시예에 있어서의 상기의 제2실시예등과 같은 각 부분에는 제2실시예와 같은 부호 및 용어를 사용하고, 본 실시예의 액정 표시 장치가 제2실시예와 다른 점을 중심으로 하여 제2도를 참조하면서 설명한다.

제3실시예와 같이 착색 수용기재층을 형성한다. 그 후, 각 화소를 포함하여 각 색 셀에 대응하는 부분마다 개구를 구비한 패턴이 그려진 포토마스크를 이용하여 착색 수용기재층이 형성된 면측에서 그 착색 수용기재층에 대하여 자외선을 조사한다. 이 때, 포토마스크의 차광 패턴에 의하여 피복된 부분의 착색 수용기재층은 미노광이 되고, 개구가 열려진 부분 즉, 각 색 셀에 대응하는 부분의 착색 수용기재층은 노광되며, 그 부분의 수용성이 향상되는 동시에 경화한다. 그리고, 미경화부를 용재등으로 제거하여 수용층을 형성할 수 있다.

[실시예 12]

전술의 제4실시예에 있어서는 TFT어레이 기판형인 주사선 및 신호선을 마스크로서 이용하여 착색 수용기재층중 각 화소부를 포함하는 각 색 셀마다 선택적으로 자외선을 조사하는 경우를 도시하였다.

자외선을 조사할 때의 마스크로서는 주사선 및 신호선 대신에 포토마스크를 이용하여 기판의 이면이 아닌 착색 수용기재층이 형성된 측의 주면에서 자외선을 조사할 수 있다. 이러한 본 실시예의 제조 방법에 의하면, 상기의 제11실시예와 같이 포토마스크의 차광 패턴에 의하여 착색 수용기재층중 각 화소부를 포함하는 각 색 셀마다 선택적으로 자외선을 조사하여 수용층을 형성할 수 있다.

또, 이상의 각 실시예에 있어서 수용층에 대한 자외선의 선택적 조사에 있어서는 자외선 조사의 작업 분위기를 일반적인 통상의 온도 및 통상의 압력의 작업 분위기보다도 높은 농도의 산소를 포함하는 분위기로 함으로써, 자외선 조사에 의한 수용층의 활성화 또는 경화를 더욱 촉진시키는 것도 가능하다.

또한, 상기 실시예에서는 청색 재료로서 R·G·B 의 삼원색의 잉크를 이용하는 경우에 관하여 도시하였지만, 본 발명은 이러한 삼원색만으로 한정되지 않음은 물론이다. 이외에도 예컨대 Y·M·C (옐로우·마젠타·시안)과 같은 삼원색에 대응하는 착색 재료(잉크)를 이용해도 좋은 것은 물론이다. 다만, 이 때 이용하는 착색 재료에 대하여 수용성이 양호한 재질의 수용층을 선택하여 이용하는 것이 바람직한 것은 물론이다.

Claims

제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 상기 제1전극에 대향 배치되어 화소를 형성하는 제2전극을 제2기판상에 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 한쪽의 기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층중 상기 화소에 대응하는 부분의 컬러 필터용 착색 재료에 대한 수용성을 다른 부분보다도 향상시켜서 수용층을 형성하는 궁정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 상기 제1전극에 대향 배치되어 화소를 형성하는 제2전극을 제2기관상에 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 한쪽의 기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층에 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 컬러 필터용 착색 재료를 수용하는 수용층으로 하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제2항에 있어서, 상기 착색 수용기재층에 자외선을 조사하기 이전에 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 상기 착색 수용기재층이 형성된 쪽의 기판상에 인접하는 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정과, 상기 차광층을 마스크로서 이용하여 상기 착색 수용기재층의 상기 화소에 대응하는 부분에 선택적으로 자외선을 조사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 상기 제1전극에 대향 배치되어 화소를 형성하는 제2전극을 제2기판상에 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 한쪽의 기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층중 상기 화소에 대응하는 부분에 선택적으로 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 그 외의 조사되지 않은 부분보다도 컬러 필터의 착색 재료에 대한 수용성이 높은 수용층으로 하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제4항에 있어서, 상기 착색 수용기재층에 자외선을 조사하기 이전에 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 상기 착색 수용기재층이 형성된 쪽의 기판상에 인접하는 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정과, 상기 차광층을 마스크로서 이용하여 상기 착색 수용기재층의 상기 화소에 대응하는 부분에 선택적으로 자외선을 조사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 상기 제1전극에 대향 배치되어 화소를 형성하는 제2전극을 제2기판상에 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 한쪽의 기판상에 자외선 경화형 수지로 구성되는 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층중 상기 화소에 대응하는 부분에 선택적으로 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 경화시키는 동시에 상기 부분을 조사되지 않은 부분보다도 컬러 필터용 착색 재료에 대하여 수용성이 높은 수용층으로 하는 공정과, 상기 착색 수용기재층중 상기 자외선이 조사되지 않은 부분을 제거하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 상기 컬러 필터용 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 제1기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제6항에 있어서, 상기 착색 수용기재층에 자외선을 조사하기 이전에 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 상기 착색 수용기재층이 형성된 쪽의 기판상에 인접하는 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정과, 상기 차광층을 마스크로서 이용하여 상기 착색 수용기재층의 상기 화소에 대응하는 부분에 선택적으로 자외선을 조사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 상기 제1전극에 대향 배치되어 화소를 형성하는 제2전극을 제2기판상에 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 한쪽의 기판상에 인접하는 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮눈 차광층을 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 상기 차광층이 형성된 쪽의 기판상에 상기 차광층위를 포함하는 기판위를 덮는 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 차광층을 마스크로서 이용하여 상기 착색 수용기재층의 상기 화소에 대응하는 부분에 선택적으로 상기 착색 수용기재층이 형성된 주면과는 반대측의 주면에서 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 조사되지 않은 부분보다도 컬러 필터의 착색 재료에 대한 수용성이 높은 수용층으로 하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 상기 제1전극에 대향 배치되어 화소를 형성하는 제2전극을 제2기판상에 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 한쪽의 기판상에 인접하는 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 상기 차광층이 형성된 쪽의 기판상에 상기 차광층위를 포함하는 기판위를 덮는 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 차광층을 마스크로서 이용하여 상기 착색 수용기재층의 상기 화소에 대응하는 부분에 선택적으로 상기 착색 수용기재층이 형성된 주면과는 반대측의 주면에서 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 경화시키는 동시에 상기 부분을 그 외의 조사되지 않은 부분보다도 컬러 필터의 착색 재료에 대한 수용성이 높은 수용층으로 하는 공정과, 상기 착색 수용기재층중 상기 자외선이 조사되지 않은 부분을 제거하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하고 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 서로 교차하도록 배열된 복수의 주사선과 복수의 신호선과 상기 주사선 및 상기 신호선의 교차부마다 형성되어 상기 주사선 및 상기 신호선에 접속된 스위칭 소자와 상기 스위칭 소자마다 접속된 화소 전극을 배설하여 스위칭 소자 어레이기판을 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판에 대하여 간극을 두고 대향 배치되는 대향 전극을 제2기판상에 배설하여 대향기판을 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층에 대하여 포토마스크를 통하여 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 컬러 필터용 착색 재료를 수용하는 수용층으로 하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판 및 대향기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 서로 교차하도록 배열된 복수의 주사선과 복수의 신호선과 상기 주사선 및 상기 신호선의 교차부마다 형성되어 상기 주사선 및 상기 신호선에 접속된 스위칭 소자와 상기 스위칭 소자마다 접속된 화소 전극을 배설하여 스위칭 소자 어레이기판을 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판에 대하여 간극을 두고 대향 배치되는 대향 전극을 제2기판상에 배설하여 대향기판을 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층에 대하여 포토마스크를 통하여 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 조사되지 않은 부분보다도 컬러 필터의 착색 재료에 대한 수용성이 높은 수용층으로 하는 공정과, 상기 착색 수용기재층중 상기 자외선이 조사되지 않은 부분을 제거하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판 및 대향기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제10항에 있어서, 상기 컬러 필터상에 제2화소 전극을 형성하는 공정과, 상기 제2화소 전극과 상기 컬러 필터 아래의 상기 화소 전극을 전기적으로 접속하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제11항에 있어서, 상기 컬러 필터상에 제2화소 전극을 형성하는 공정과, 상기 제2화소 전극과 상기 컬러 필터 아래의 상기 화소 전극을 전기적으로 접속하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제10항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 스위칭 소자 어레이기판상에 인접하는 상기 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제11항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 스위칭 소자 어레이기판상에 인접하는 상기 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제12항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 스위칭 소자 어레이기판상에 인접하는 상기 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 서로 교차하도록 배열된 복수의 주사선과 복수의 신호선과 상기 주사선 및 상기 신호선의 교차부마다 형성되어 상기 주사선 및 상기 신호선에 접속된 스위칭 소자와 상기 스위칭 소자마다 접속된 화소 전극을 배설하여 스위칭 소자 어레이기판을 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판에 대하여 간극을 두고 대향 배치되는 대향 전극을 제2기판상에 배설하여 대향기판을 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 복수의 주사선과 상기 복수의 신호선을 마스크로서 이용하고, 상기 마스크로 덮지 않고 노출되어 있는 착색 수용기재층에 선택적으로 상기 착색 수용기재층이 형성된 주면과는 반대측의 주면에서 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 그 외의 조사되지 않은 부분보다도 컬러 필터용 착색 재료에 대하여 수용성이 높은 수용층으로 하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판 및 대향기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 서로 교차하도록 배열된 복수의 주사선과 복수의 신호선과 상기 주사선 및 상기 신호선이 교차부마다 형성되어 상기 주사선 및 상기 신호선에 접속된 스위칭 소자와 상기 스위칭 소자마다 접속된 화소 전극을 배설하여 스위칭 소자 어레이기판을 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판에 대하여 간극을 두고 대향 배치되는 대향 전극을 제2기판상에 배설하여 대향기판을 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판상에 자외선 경화형 수지로 이루어진 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 복수의 주사선과 복수의 신호선을 마스크로서 이용하고, 상기 마스크로 덮지 않고 노출되어 있는 착색 수용기재층에 선택적으로 상기 착색 수용기재층이 형성된 주면과는 반대측의 주면에서 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 경화시키는 동시에 상기 부분을 조사되지 않은 다른 부분보다도 컬러 필터용 착색 재료에 대하여 수용성이 높은 수용층으로 하는 공정과, 상기 착색 수용기재층 중 상기 자외선이 조사되지 않은 부분을 제거하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이 기판 및 대향기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제17항에 있어서, 상기 컬러 필터상에 제2화소 전극을 배설하는 공정과, 상기 컬러 필터 아래의 상기 화소 전극과 상기 제2화소 전극을 전기적으로 접속하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판 및 대향기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제18항에 있어서, 상기 컬러 필터상에 제2화소 전극을 배설하는 공정과, 상기 컬러 필터 아래의 상기 화소 전극과 상기 제2화소 전극을 전기적으로 접속하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판 및 대향기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제2항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 한쪽의 기판상에 인접하는 상기 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제17항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 스위칭 소자 어레이기판상에 인접하는 상기 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정을 표함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제18항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 스위칭 소자 어레이기판상에 인접하는 상기 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 상기 제1전극에 대하여 간극을 두고 대향 배치되어 화소를 형성하는 제2전극을 제2기판상에 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 한쪽의 기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층에 자외선을 조사하여 컬러 필터를 형성하기 위한 착색 재료 및 차광층을 형성하기 위한 착색 재료에 대한 상기 착색 수용기재층의 수용성을 상기 자외선의 조사 이전보다도 향상시켜서 상기 착색 수용기재층을 수용층으로 하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터를 형성하기 위한 착색 재료 및 차광층을 형성하기 위한 착색 재료를 각각 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 상기 화소를 덮는 위치마다에는 컬러 필터를 형성하여 각 인접하는 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 위치에는 차광층을 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 제2기판을 상기 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제4항에 있어서,상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 컬러 필터를 포함하는 기판위를 덮도록 차광층 형성용 차광성을 갖는 감광성 재료막을 형성하는 공정과, 상기 컬러 필터를 마스크로서 이용하여 상기 기판의 상기 컬러 필터가 배설된 주면과는 뒤쪽의 주면에서 광을 상기 감광성 재료막에 조사한 후, 이것을 현상하여 상기 감광성 재료막 중 상기 광으로 노광한 부분은 남기고, 상기 컬러 필터에 의하여 상기 노광이 차단된 부분은 제거하여, 상기 컬러 필터가 배설되어 있지 않은 인접하는 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 차광하는 차광층을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제6항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 컬러 필터를 포함하는 기판위를 덮도록 차광층 형성용의 차광성을 갖는 감광성 재료막을 형성하는 공정과, 상기 컬러 필터를 마스크로서 이용하여 상기 기판의 상기 컬러 필터가 배설된 주면과는 뒷쪽의 주면에서 광을 상기 감광성 재료막에 조사한 후, 이것을 현상하여 상기 감광성 재료막 중 상기 광으로 노광한 부분은 남기고, 상기 컬러 필터에 의하여 상기 노광이 가려진 부분은 제거하여, 상기 컬러 필터가 배설되어 있지 않은 인접하는 상기 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 차광하는 차광층을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제6항에 있어서, 상기 수용층을 형성한 후에 상기 수용층을 착색하기 이전에 상기 수용층을 포함하는 기판위를 덮도록 차광층 형성용의 차광성을 갖는 감광성 재료막을 형성하는 공정과, 상기 기판의 상기 수용층이 배설된 주면과는 뒷쪽의 주면에서 광을 상기 감광성 재료막에 조사하여 상기 감광성 재료막 중 상기 수용층에 차단되는 일없이 상기 광으로 노광된 부분은 남기고, 상기 수용층에 차단되는 일없이 상기 광으로 노광된 부분은 남기고, 상기 수용층에 의하여 상기 노광이 차단된 부분은 제거하여 상기 수용층이 배설되어 있지 않은 인접하는 상기 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 차광하는 차광층을 형성하는 공정과, 상기 차광층을 형성한 후에 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제2항에 있어서, 상기 착색 수용기재층을 형성한 후에 상기 착색 수용기재층에 상기 자외선을 조사하기 이전에 상기 착색 수용기재층상에 인접하는 상기 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 차광하는 동시에 상기 각 화소상에는 개구를 구비한 격자 형태의 차광층을 형성하는 공정과, 상기 차광층을 마스크로서 이용하고, 상기 차광층으로 덮지 않고 노출되어 있는 부분의 상기 착색 수용기재층에 자외선을 조사하고, 상기 부분을 선택적으로 컬러 필터용 착색 재료를 수용하는 수용층으로 하는 공정과, 상기 수용층중 상기 차광층에 의하여 간막이된 상기 각 개구내 마다에 대하여 컬러 필터의 착색 재료를 잉크 제트 장치를 이용하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제2항에 있어서, 상기 수용층을 형성한 후에 상기 수용층을 착색하기 이전에 상기 수용층을 포함하는 기판위를 덮도록 차광층 형성용의 차광성을 갖는 감광성 재료막을 형성하는 공정과, 상기 기판의 상기 수용층이 배설된 주면과는 뒷쪽의 주면에서 광을 상기 감광성 재료막에 조사하고, 상이 감광성 재료막 중 상기 수용층에 차단되는 일없이 상기 광으로 노광된 부분은 남기고, 상기 수용층에 의하여 상기 노광이 차단된 부분은 제거하여 상기 수용층이 배설되어 있지 않은 인접하는 상기 화소의 사이의 부분인 비화소부를 차광하는 동시에, 상기 화소상에는 개구를 구비한 격자 형태의 차광층을 형성하는 공정과, 상기 수용층중 상기 차광층에 의하여 간막이된 상기 각 개구 마다에 대하여 컬러 필터의 착색 재료를 잉크 제트 장치를 이용하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 제2기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 컬러 필터용 착색 재료에 대한 상기 착색 수용기재층중 화소에 대응하는 부분의 수용성을 다른 부분보다도 향상시켜서 수용층을 형성하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 상기 컬러 필터용 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하여 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 컬러 필터위를 포함하는 상기 제2기판상에 제2전극을 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 제2기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층의 상기 화소에 대응하는 부분에 선택적으로 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 컬러 필터용 착색 재료를 수용하는 수용층으로 하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하여 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 컬러 필터위를 포함하는 상기 제2기판상에 제2전극을 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제31항에 있어서, 상기 착색 수용기재층에 자외선을 조사하기 이전에 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 상기 착색 수용기재층이 형성된 쪽 기판상에 인접하는 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정과, 상기 차광층을 마스크로서 이용하여 상기 착색 수용기재층 중 상기 화소에 대응하는 부분에 선택적으로 자외선을 조사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 제2기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층중 화소에 대응하는 부분에 선택적으로 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 그 외의 조사되지 않은 부분보다도 컬러 필터의 착색 재료에 대한 수용성이 높은 수용층으로 하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 컬러 필터위를 포함하는 상기 제2기판상에 제2전극을 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제33항에 있어서, 상기 착색 수용기재층에 자외선을 조사하기 이전에 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 상기 착색 수용기재층이 형성된 쪽의 기판상에 인접하는 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정과, 상기 차광층을 마스크로서 이용하여 상기 착색 수용기재층의 상기 화소에 대응하는 부분에 선택적으로 자외선을 조사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 제2기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층 중 상기 화소에 대응하는 부분에 선택적으로 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 경화시키는 동시에 상기 부분을 조사되지 않은 부분보다도 컬러 필터용 착색 재료에 대하여 수용성이 높은 수용층으로 하는 공정과, 상기 착색 수용기재층 중 상기 자외선이 조사되지 않은 부분을 제거하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 컬러 필터위를 포함하는 상기 제2기판상에 제2전극을 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제35항에 있어서, 상기 착색 수용기재층에 자외선을 조사하기 이전에 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 상기 착색 수용기재층이 형성된 쪽의 기판상에 인접하는 상기 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정과, 상기 차광층을 마스크로서 이용하여 상기 착색 수용기재층의 상기 화소에 대응하는 부분에 선택적으로 자외선을 조사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 서로 교차하도록 배열된 복수의 주사선과 복수의 신호선과 상기 주사선 및 상기 신호선의 교차부마다 형서오디어 상기 주사선 및 상기신호선에 접속된 스위칭 소자를 배설하는 공정과, 상기 제1기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 복수의 주사선과 복수의 신호선을 마스크로서 이용하고, 상기 마스크로 덮지 않고 노출되어 있는 착색 수용기재층에 선택적으로 상기 착색 수용기재층이 형성된 주면과는 반대측의 주면에서 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 그 외의 조사된 부분보다도 컬러 필터용 착색 재료에 대하여 수용성이 높은 수용층으로 하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 컬러 필터위를 포함하는 화소에 대응하는 부분에 상기 스위칭 소자에 접속되는 화소 전극을 배설하여 스위칭 소자 어레이기판을 형성하는 공정과, 상기 화소 전극에 대하여 간극을 두고 대향 배치되는 대향 전극을 제2기판상에 배설하여 대향기판을 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판 및 상기 대향기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 서로 교차하도록 배열된 복수의 주사선과 복수의 신호선과 상기 주사선 및 상기 신호선의 교차부마다 형성되어 상기 주사선 및 상기 신호선에 접속된 스위칭 소자를 배설하는 공정과, 상기 제1기판상에 자외선 경화형 수지로 이루어진 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 복수의 주사선과 복수의 신호선을 마스크로서 이용하고, 상기 마스크로 덮어지지 않고 노출되어 있는 착색 수용기재층에 선택적으로 상기 착색 수용기재층의 형성된 주면과는 반대측의 주면에서 자외선을 조사하여, 상기 자외선이 조사된 부분을 경화시키는 동시에 상기 부분을 조사되지 않은 다른 부분보다도 컬러 필터용 착색 재료에 대하여 수용성이 높은 수용층으로 하는 공정과, 상기 착색 수용기재층중 상기 자외선이 조사되지 않은 부분을 제거하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 컬러 필터위를 포함하는 상기 화소에 대응하는 부분마다 상기 스위칭 소자에 접속되는 화소 전극을 배설하여 스위칭 소자 어레이기판을 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판에 대하여 간극을 두고 대향 배치되는 대향 전극을 제2기판상에 배설하여 대향기판을 형성하는 공정과, 상기 스위칭 소자 어레이기판 및 상기 대향기판을 상기 간극을 두고 대향 배치하고, 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제37항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 제1기판상에 인접한 상기 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제38항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 제1기판상에 인접한 상기 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 차광층을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 제2기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층에 자외선을 조사하여 컬러 필터 및 차광층을 형성하기 위한 착색 재료에 대한 수용성을 상기 자외선의 조사 이전보다도 향상시켜서 상기 착색 수용기재층을 수용층으로 하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터를 형성하기 위한 착색 재료 및 차광층을 형성하기 위한 착색 재료를 각각 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 비하소를 덮는 위치에는 컬러 필터를 형성하여 인접한 화소끼리의 사이의 부분인 비화소부를 덮는 위치에는 차광층을 형성하는 공정과, 상기 제1전극에 간극을 두고 대향 배치되어 화소를 형성하는 제2전극을 상기 컬러 필터위를 포함하는 상기 제2기판상에 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제25항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 컬러 필터가 형성된 기판상에 상기 제1전극 또는 상기 제2전극 중 한쪽을 상기 컬러 필터보다도 위의 층으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제26항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 컬러 필터가 형성된 기판상에 상기 제1전극 또는 상기 제2전극 중 한쪽을 상기 컬러 필터보다도 위의 층으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제27항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 컬러 필터가 형성된 기판상에 상기 제1전극 또는 상기 제2전극 중 한쪽을 상기 컬러 필터보다도 위의 층으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제28항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 컬러 필터가 형성된 기판상에 상기 제1전극 또는 상기 제2전극 중 한쪽을 상기 컬러 필터보다도 위의 층에 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제29항에 있어서, 상기 컬러 필터를 형성한 후에 상기 컬러 필터가 형성된 기판 상에 상기 제1전극 또는 상기 제2전극 중 한쪽을 상기 컬러 필터보다도 위의 층으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 상기 제1전극에 대향 배치되어 화소를 형성하는 제2전극을 제2기판상에 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 한쪽의 기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층의 화소에 대응하는 부분에 일괄적으로 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 컬러 필터용 복수색의 착색 재료를 수용하는 수용층으로 하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 상기 컬러 필터의 착색 재료를 각 색마다 상기 수용층의 각 색 셀에 대응하는 위치 마다에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1기판상에 제1전극을 형성하는 공정과, 상기 제1전극에 대향 배치되어 화소를 형성하는 제2전극을 제2기판상에 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판 중 적어도 한쪽의 기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층 중 컬러 필터용 복수색의 착색 재료의 하나의 색에 대응하는 화소에 자외선을 조사하고, 상기 부분을 상기 컬러 필터용 착색 재료의 하나의 색을 수용하는 수용층으로 하고, 잉크 제트 장치를 이용하여 상기 컬러 필터의 착색 재료 중의 하나의 색을 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하는 착색 공정을 상기 컬러 필터용 복수색의 착색 재료의 모든 색에 걸쳐서 각각 행하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 상기 제1기판 및 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양 기판의 주위를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
투명기판상에 착색 수용기재층을 형성하는 공정과, 상기 착색 수용기재층에 자외선을 조사하고, 상기 자외선이 조사된 부분을 컬러 필터용 착색 재료를 수용하는 수용층으로 하는 공정과, 잉크 제트 장치를 이용하여 컬러 필터의 착색 재료를 상기 수용층에 대하여 투사하고, 상기 수용층을 착색하여 컬러 필터를 형성하는 공정과, 제1전극이 형성된 제1기판과 제2전극이 형성된 제2기판을 간극을 두고 대향 배치하고, 상기 양 기판의 둘레를 밀봉하여 상기 간극에 액정층을 봉입하여 액정 표시소자를 형성하는 공정과, 상기 컬러 필터가 형성된 투명기판을 상기 액정 표시 소자에 부착설치 하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.