KR0155240B1 - 정전형 변환수단의 구동장치 - Google Patents

정전형 변환수단의 구동장치 Download PDF

Info

Publication number
KR0155240B1
KR0155240B1 KR1019950058268A KR19950058268A KR0155240B1 KR 0155240 B1 KR0155240 B1 KR 0155240B1 KR 1019950058268 A KR1019950058268 A KR 1019950058268A KR 19950058268 A KR19950058268 A KR 19950058268A KR 0155240 B1 KR0155240 B1 KR 0155240B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
capacitance
electrostatic
converting means
piezoelectric vibrator
amplifier
Prior art date
Application number
KR1019950058268A
Other languages
English (en)
Other versions
KR960024282A (ko
Inventor
요시로우 도미가와
Original Assignee
요시로우 도미가와
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 요시로우 도미가와 filed Critical 요시로우 도미가와
Publication of KR960024282A publication Critical patent/KR960024282A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0155240B1 publication Critical patent/KR0155240B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R3/00—Circuits for transducers, loudspeakers or microphones
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
    • H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
    • H03B5/32—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00—Electrostatic transducers
    • H04R19/02—Loudspeakers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

본 발명의 압전진동자(1)는 교류구동전원(5)에 의하여 정전압으로 구동된다. 압전진동자(1)의 제동용량(Cd)과 등가적인 정전용량(Cs) 및 정전용량(Cs)에 흐르는 전류의 위상을 180도 변화시키는 위상변환수단(6)을, 압전진동자(1)에 병렬로 접속한다. 이에 의하여 제동용량(Cd)에 흐르는 전류를 등가적으로 상쇄할 수가 있고, 또는 저감할 수 있어, 소비전류를 저감시킬 수 있다. 또, 코일을 부가하지 않기 때문에, 용량(Cs)에 의한 전류상쇄 효과는 주파수에 의존하지 않는다. 따라서, 교류구동전원(5)으로 부터의 구동전력의 주파수가 압전진동자의 공진주파수와 어긋났을 경우에도 전력절약 효과는 동일하게 발휘될 수 있다.

Description

정전형 변환수단의 구동장치
제1도는 제1 본 발명을 설명하기 위한 것으로, 압전 진동자가 정전압 구동되고 있을 때의 등가회로도.
제2도는 제1도에 나타낸 제1 본 발명의 실시예를 나타낸 회로도.
제3도는 제1 본 발명의 변형예를 나타낸 회로도.
제4도는 제1 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 회로도.
제5도는 제1 본 발명의 또 다른 실시예를 나타낸 회로도.
제6도는 제2 본 발명을 설명하는 것으로, 압전진동자가 정전류 구동되고 있을 때의 등가회로도.
제7도는 제6도에 나타낸 제2 본 발명의 변형예를 나타낸 회로도.
제8도는 제2 본 발명의 실시예를 나타낸 회로도.
제9도는 제8도의 회로를 더욱 상세히 나타낸 회로도.
제10도는 제3 본 발명의 실시예를 나타낸 회로도.
제11도(a)는 제10도의 실시예에서의 주파수와 전류 특성을 나타낸 선도, (b)는 제10도에 나타낸 실시예에서의 주파수와 위상특성을 나타낸 선도.
제12도는 제3 본 발명의 실시예를 나타낸 선도.
제13도는 제3 본 발명의 다른 구성예를 나타낸 등가회로도.
제14도는 제4 본 발명의 실시예를 나타낸 선도.
제15도(a)는 압전진동자가 공진주파수에서 구동되고 있을 때의 등가회로도, (b)는 압전 진동자가 직렬 공진 상태로 되었을 때의 등가회로도.
제16도(a)는 정전변환기가 구동되고 있는 상태를 나타낸 설명도, (b)는 그 등가회로도.
제17도는 (a)는 압전진동자의 회로도, (b)는 압전진동자가 공진주파수에서 구동되고 있을 때의 등가회로도.
제18도는 압전진동자가 진동할 때의 주파수와 어드미턴스의 특성선도.
제19도는 제동용량을 상쇄하는 종래의 구동장치의 회로도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 압전 진동자 3 : 직렬공진부
4 : 병렬공진부 6, 8 : 위상변환수단
11, 20 : 증폭기 30 : 정전변환기
31 : 고정측의 평면전극 32 : 가동측의 평면전극
Cd, Co : 제동용량 Cs : 정전용량
본 발명은 압전트랜스, 압전모터 또는 진동형 자이로스코프등에 사용되는 압전진동자 또는, 평면전극이 간극을 두고 대면하여 구성된 정전변환기 등의 정전형 변환수단을 구동하는 구동장치에 관한 것으로, 특히 압전 진동자의 제동용량이나 정전변환기의 용량성분에서의 구동전력의 소비를 저감시키고 또는 상쇄하여 전력절감 구동을 가능하게 한 압전진동자의 구동장치에 관한 것이다.
제17도(a)는 정전형 변환수단의 일예인 압전진동자(1)를 나타내고, 제17도(b)는 압전진동자(1)가 공진점 부근에서 진동하고 있을 때의 등가회로를 나타내고 있다. 압전진동자(1)는 공진점 부근의 극히 좁은 주파수 범위내에서 진동하고 있을 때에 제17도(b)에 나타낸 등가회로로 나타낼 수가 있다.
Rm, Cm, Lm의 직렬공진부(3)는 압전진동자(1)의 공진을 등가적으로 나타내고 있다. 상기 직렬공진부(3)를 포함하는 병렬공진부(4)내에서의 Cd는 압전진동자(1)의 제동용량 성분이다. 제18도는 압전진동자(1)의 어드미턴스 특성을 나타낸 것이고, fa는 직렬공진부(3)의 공진주파수(이하, 공진주파수라 함), fb는 병렬공진부(4)의 공진주파수(이하 반(反) 공진주파수라 함)를 나타내고 있다.
압전진동자(1)를 구동할 때, 제동용량(Cd)에 흐르는 전류는 압전진동자의 진동에 기여하지 않는 전류가 된다.. 제동용량(Cd)에 전류를 공급하고 있기 때문에 구동전류로서는 압전진동자(1)를 공진시키는데 필요한 전력에 더하여 제동용량(Cd)에서 소비되는 전력을 공급하게 되어 구동전원 용량이 커진다.
제19도는 압전진동자(1)를 공진주파수(fa)에서 구동시킬 때에 제동용량(Cd)에 흐르는 전류를 등가적으로 상쇄하기 위한 종래의 회로를 나타내고 있다.
이 종래예에서는 인덕턴스(Ld)를 가지는 코일이 압전 진동자(1)에 병렬로 접속되어 있다.
여기서 직렬공진부(3)의 임피던스(Zm)는 식(1)로 표시된다.
제19도에 나타낸 교류구동전원(5)은 정전압원이고, 압전진동자(1)에 걸리는 전압을 V라 하면, 압전진동자(1)와 인덕턴스(Ld)에 흐르는 전류(I)는 식(2)로 표시된다.
압전 진동자(1)를 공진점(fa)으로 진동 구동하기 위해서는 식(3)이 성립하는 Ld를 병렬로 접속할 필요가 있고, 이 조건하에서만 전류(I)가 식(4)에 나타낸 것이 된다.
식(3)에 나타낸 인덕턴스(Ld)를 가지는 코일이 압전진동자(1)에 병렬로 접속되면, 압전진동자(1)의 제동용량(Cd)이 등가적으로 상쇄된다. 제동용량(Cd)에 흐르는 전류가 소거됨으로써 구동전원의 전원용량을 저감할 수 있게 된다.
그러나, 제19도에 나타낸 회로에 있어서, 압전진동자(1)의 제동용량(Cd)을 상쇄하기 위하여, 상기 식(3)의 조건을 만족시키는 인덕턴스(Ld)를 설치하는 것이 필요하다. 식(3)에 나타낸 조건을 만족하기 위한 인덕턴스(Ld)는 (구동주파수 f)2× (제동용량(Cd))에 반비례한다. 특히 구동주파수(f)에 대해서는 그 2승에 반비례하는 것이 된다. 이 때문에 압전진동자(1)가 공진주파수(fa)로부터 벗어난 주파수로 구동되었을 경우, 구동주파수와 공진주파수(fa)와의 차가 커짐에 따라, 인덕턴스(Ld)에 의하여 제동용량(Cd)을 상쇄할 수 있는 비율이 2차 공선적으로 저하되게 된다.
또, 일반적으로 인덕턴스(Ld)를 설정하기 위한 코일은, 저항(R)이나 정전용량(콘덴서)(C)등의 다른 전자부품에 비하여 형상이 크고, 따라서 코일을 회로에 포함시키면 장치의 소형화가 어렵게 된다. 또 상기 식(3)을 만족하고 또는 만족시키는데 가까운 인덕턴스(Ld)를 설정하기 위해서는, 사용하는 압전진동자에 맞추어 인덕턴스의 가변조정이 필요하게 된다. 그러나 인덕턴스는 저항(R)이나 정전용량(C)에 비하여 가변조정에 적합하지 않다.
또, 압전진동자와 동일한 정전형 변환수단의 일종인 정전변환기는, 좁은 간극을 두고 마주보는 평면전극을 가지는 것이다. 이 전극간에 전압을 부여하면 상기 간극이 변화하도록 동작하고, 반대로 상기 간극이 변화하도록 하는 외력을 가하면 전극간의 전압이 변한다. 이 정전변환기의 등가회로는 압전진동자와 동일하다. 따라서, 이 정전변환기에 있어서도 그 용량성분이 구동전력을 소비하여, 소비전력이 커진다고 하는 압전진동자와 완전히 동일한 문제점을 가지고 있다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위한 것으로, 인덕턴스를 사용하는일 없이 압전진동자의 제동용량에 걸리는 전력, 또는 정전변환기의 용량 성분에 걸리는 전력을 상쇄 또는 저감시킬 수가 있고, 구동주파수에 의존하지 않고 전력절약 효과가 작용하는 회로를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
또 본 발명은 구동전원의 전력절약화, 또는 일반적으로 대형의 전자부품인 인덕턴스를 사용하지 않으므로써 회로의 소형화를 실현할 수 있도록 하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명은 정전형 변환수단에 교류전력을 가하여 진동을 발생시키는 구동장치에 있어서, 상기 정전형 변환수단의 용량성분을 상쇄 또는 저감시키기 위한 정전용량이, 정전변환수단에 병렬 또는 직렬로 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 정전형 변환수단은 예를 들면 전기 왜곡변환기인 압전진동자 또는 평면전극이 미소한 간극을 두고 대향하는 정전변환기등이다. 상기 용량성분은 압전진동자의 경우에는 제동용량이고, 정전변환기의 경우는 대향전극간의 용량 성분이다.
또, 본 발명은 정전형 변환수단에 교류전력을 가하여 진동을 발생시키는 구동장치에 있어서, 상기 정전형 접속된 정전용량과 이 정전용량에 흐르는 전류의 위상을 180도 변화시키는 위상변환수단이 설치되어 상기 정전용량과 위상 변환수단에 의하여 정전형 변환수단의 용량성분에 흐르는 전류 또는 용량성분에 걸리는 전압이 상쇄 또는 저감되는 것을 특징으로 하는 것이다.
예를 들면, 정전형 변환수단의 일예인 압전진동자가 정전압으로 구동될 때에는 정전용량 및 위상변환수단이 압전진동자와 병렬로 접속된다. 또, 압전진동자가 정전류로 구동될 때에는 정전용량 및 위상변환수단이 압전진동자와 직렬로 접속된다.
또, 본 발명은 정전형 변환수단에 전압을 가하여 진동을 발생시키는 구동장치에 있어서, 상기 정전형 변환수단의 일단에 가해지는 전압을 증폭하는 증폭기와, 이 증폭기의 증폭출력단과 정전형 변환수단의 상기 일단과의 사이에 접속된 정전용량을 가지는 것을 특징으로 하는 것이다.
상기에 있어서, 상기 정전용량이 정전형 변환수단의 용량성분의 대략 1/N배일 때에 증폭기의 증폭도가 대략 (N+1)배인 것이 바람직하다.
또, 본 발명은 정전형 변환수단의 용량성분과 저항성분을 포함하는 주파수 선택회로와, 이 주파수 선택회로를 정귀환 루우프로 배치된 증폭기를 가지고, 상기 주파수 선택회로에서 결정되는 주파수에 의하여 자력 발진하는 것을 특징으로 한다.
또 상기 주파수 선택회로에서는, 증폭기의 정귀환 루우프내에 저항과 정전용량이 접속되고, 정전형 변환수단의 일단이 증폭기의 비반전 입력부에 접속된 것이 된다.
본 발명에서는 압전진동자등의 정전형 변환수단에 정전용량이 접속되고, 이 정전용량에 걸리는 전압 또는 전류에 의하여 예를 들면 압전진동자의 제동용량(Cd)등의 용량성분이 상쇄되거나 또는 저감된다. 정전형 변환수단을 진동시킬 때에, 제동용량(Cd)등의 용량성분에서의 전력소비를 상쇄 또는 저감시킬 수 있기 때문에, 전력절약 구동이 가능하게 된다. 또, 코일을 사용하고 있지 않기 때문에 정전형 변환수단의 구동주파수와 공진주파수에 차가 생겨도, 용량성분의 저감효과가 제19도에 나타낸 종래예와 같이 대폭으로 저감되는 일이 없어, 어떠한 구동주파수이더라도 용량성분의 상쇄 또는 저감효과를 발휘할 수 있다. 또, 코일을 사용하지 않기 때문에 회로를 소형화 할 수 있다. 또, 정전용량의 용량치를 가변함으로써, 사용하는 압전진동자에 맞추어 용량성분의 상쇄 또는 저감의 설정이 가능하고, 조정설정도 용이하다.
상기 수단에서는 정전형 변환수단의 용량성분과 거의 같게 한 정전용량이 사용되고, 바람직하게는 정전용량에 흐르는 전류의 위상이 위상변환수단에서 180도 변화된다. 이에 의하여 제동용량등의 용량성분에 가해지는 전력을 상쇄 또는 저감시키는 것이 가능하게 된다.
또, 본 발명에서는 정전형 변환수단에 전압이 가해지는 것에 있어서, 정전형 변환수단의 전압을 증폭시키는 증폭수단과, 이 증폭기에 직렬로 접속되고 또 정전변환수단에 접속되는 정전용량이 설치된다. 이 장치에서는 증폭기에서 증폭된 전압에 의거하여 정전용량을 흐르는 전류가, 압전진동자의 제동용량등을 흐르는 전류를 저감하도록 기능한다.
특히, 정전용량의 용량치를 압전진동자의 제동용량등의 용량성분의 거의 (1/N)배로 하고, 상기 증폭기의 전압증폭도를 (N+1)배로 설정함으로써 제동용량등에 가해지는 전력을 상쇄할 수 있게 된다.
또, 본 발명의 정전형 변환수단의 구동장치는, 증폭기(OP앰프)와 이 증폭기의 정귀환 루우프(정귀환 경로)에 주파수 선택회로를 설치하고, 이 주파수 선택회로에, 정전형 변환수단의 용량성분과 저항성분, 더욱 상세하게는 공진상태(직렬공간)로 된 정전형 변환수단의 용량성분과 저항성분을 포함시킴으로써 정전형 변환수단의 공진점 부근에서 자력 발진시키는 것으로서 구성할 수 있다.
이 구동장치는 빈 브리지(Wien bridge) 발진회로의 원리를 사용한 것이다. 이 발진회로에서의 주파수 선택회로는 예를 들면 서로 직렬로 접속되어 증폭기의 정귀환 루우프내에 포함되는 제1용량과 제1저항과, 서로 병렬로 접속되어 증폭기의 반전입력측에 접속되는 제2용량과 제2저항으로 구성할 수 있다. 여기서, 상기 제2용량과 제2저항을, 공진점 부근에서 구동되는 정전형 변환수단으로 치환함으로써 정전형 변환수단의 용량성분과 저항성분을 결정요소로 한 주파수에 의한 자력 발진회로를 구성할 수 있다.
또, 상기 주파수 선택회로에서는 제1과 제2 각각의 용량이 하이패스 필터와 로우패스 필터로서 기능하여, 증폭기의 입출력간에서의 밴드패스 필터가 구성되어 자력발진의 주파수가 결정된다. 여기서, 압전진동자 등의 정전형 변환수단의 공진주파수와, 상기 주파수 선택회로에서 결정되는 자력발진의 주파수에 차가 생기는 일이 있다. 따라서, 제14도에 나타낸 바와 같이, 정전형 변환수단에 부가용량(C')과 부가저항(R')을 병렬 또는 직렬로 접속하고, 이 부가용량과 부가저항으로 상기 로우패스 필터와 하이패스 필터의 커트 오프 주파수를 조정하면 정전형 변환기의 공진 주파수에서, 자력발진이 행해지게 된다.
또, 증폭기의 부귀환 루우프에 증폭률을 설정하는 저항을 설정함으로써 자력발진의 진폭을 안정시킬 수 있게 된다.
본 발명에서의 정전형 변환수단은, 압전진동자와 평판전극이 대향한 정전변환기가 있으나, 이하의 실시예에서는 먼저 압전진동자을 일예로 하여 설명한다.
제1도는 제1 본 발명을 나타낸 회로블럭도이다. 이 회로블럭도는 압전진동자(1)가 공진점 부근에서 공진하고 있을 때의 등가회로를 포함하는 것으로 하여 나타내고 있다.
제1도에서는 압전진동자(1)에 부가하는 용량이 되는 정전용량(Cs)과, 위상변환수단(6)이 직렬로 접속되고, 이 직렬로 접속된 것이 압전진동자(1)에 병렬로 접속되어 있다. 위상변환수단(6)은 정전용량(Cs)을 흐르는 전류의 위상을 180도 변화시키는 것이다.
정전용량(Cs)에 흐르는 전류의 위상이 위상변환수단(6)에 의하여 180도만 시프트(변화)되면, 정전용량(Cs)과 위상변환수단(6)과의 회로에서의 어드미턴스는 (-jωCs)로 표시된다. 따라서 교류구동전원(5)으로부터 압전진동자(1)에 가해지는 전압을 V라 하면, 압전진동자(1) 및 정전용량(Cs)에 흐르는 전류(I)는 식(5)가 된다.
식(5)에 나타낸 바와 같이, 정전용량(Cs)이 제동용량(Cd)과 대략 등가라고 하면, I=(1/Zm)V가 되어, 구동전원(5)에서 본 경우, 제동용량(Cd)에 관한 전류가 등가적으로 상쇄된다. 이 경우, 제동용량(Cd)을 상쇄하는 조건은 Cs=Cd이고, 제19도에 나타낸 인덕턴스(Ld)를 사용한 회로에서의 식(3)에 나타낸 상쇄조건과 같은 구동주파수 f(f=ω/2π)의 함수가 되지 않는다. 즉 Cs=Cd를 만족시킬 때는 주파수 의존성은 없고, 모든 주파수 영역에서 제동용량(Cd)을 등가적으로 상쇄할 수 있다. 또 정전용량(Cs)의 용량치의 조정도 인덕턴스에 비해서는 훨씬 용이하게 되어 부품의 크기도 작기 때문에 회로의 소형화가 실현될 수 있다. 또한, 압전진동자(1)에 부가적으로 접속하는 정전용량(Cs)이 제동용량(Cd)에 완전히 일치하지 않아도 제동용량(Cd)의 영향을 저감하는 효과를 기대할 수 있다.
제1도에 블럭도로 나타낸 제1 본 발명은, 제2도에 나타낸 회로에 의하여 실현할 수 있다.
제2도에 나타낸 실시예에서는 정전용량(Cs) 및 위상변환수단(위상시프터)(6)이 압전진동자(1)에 병렬로 접속되어 있다. 이 회로에 있어서, 압전진동자(1)의 제동용량(Cd)과 거의 같은 정전용량(Cs)을 접속하면, 식(5)에 나타낸 바와 같이 교류 구동전원으로부터 제동용량(Cd)에 가해지는 전력을 저감할 수 있다.
또, 상기 제1발명에서는 제3도에 나타낸 바와 같이, 제1도의 회로상의 a점과 b점 사이에 복수의 정전용량(Cs1, Cs2, … Csn)을 설정함으로써 구성할 수 있다. 이 경우 각각의 정전용량에 위상변환수단(6a, 6b, …, 6n)이 직렬로 접속되고, 또 모든 위상변환수단 및 용량을 통과하는 전류를 가산하는 가산기(7)가 설치된다. 이 경우, 식(6)에 나타내는 바와 같이 정전용량(Cs1, Cs2, …, Csn)을 가산한 것이 제1도에 나타낸 1개의 용량(Cs)에 상당한다.
또, 제4도와 제5도는 상기 제1 본 발명에 있어서, 위상 변환수단(6)으로써 OP앰프를 사용한 예이다. 어느 것이나, OP앰프를 사용한 예이다. 어느 것이나 OP앰프를 반전증폭기로 사용한 것으로서, 정전용량(Cs)을 흐르는 전류의 위상이 180도 변환되는 것으로 되어 있다. 제4도와 제5도에 나타낸 구동장치에 있어서도, 제1도에 나타낸 회로와 마찬가지로 제동용량(Cd)에 흐르는 전류를 상쇄하거나, 또는 저감할 수 있다.
제6도는 제2 본 발명의 회로블럭도이다.
제6도는 교류구동전원(5)이 정전류원이고, 압전진동자가 반공진주파수(fb)(제18도 참조) 부근에서 공진구동될 때의 등가회로를 나타내고 있다.
압전진동자(1)에는 정전용량(Cs) 및 위상변환수단(8)이 직렬로 접속되어 있다. 위상변환수단(8)은 정전용량(Cs)에 흐르는 전류의 위상을 180도 만큼 시프트(변화)시키는 것이다.
정전용량(Cs)를 흐르는 전류의 위상이, 위상변환수단(8)에 의하여 180도 변화하는 결과, 정전용량(Cs)과 위상변환수단(8)이 존재하는 c-d점 간의 임피던스는 -(1/jωCs)가 된다. 따라서 c점의 전위를 V라 하면, 정전류원인 교류구동전원(5)으로부터 가해지는 전류(I)와 전압(V)과의 관계는 식(7)로 나타낸 바와 같다.
식(7)에 나타낸 바와 같이, 정전용량(Cs)이 제동용량(Co)와 등가라고 하면, V=(1/y'm)·I이 되어, 제동용량(Co)에 걸리는 전압이 회로상에서 등가적으로 상쇄되어, 제동용량(Co)에서 전력이 소비되지 않게 된다. 또한, 식(7)에서는 정전용량(Cs)이 제도용량(Co)과 엄밀하게 등가가 아니더라도 제동용량(Co)에 의하여 소비되는 전압이 정전용량(Cs)의 값에 따른 분만큼 저감되는 것을 알 수 있다.
또, 식(7)로부터 알 수 있는 바와 같이, 정전용량(Co)에 걸리는 전압을 상쇄 또는 저감시키는 조건은 용량치 Co와 Cd가 같은 것이어서 주파수에 의존하지 않는다. 따라서, 압전진동자(1)가 반드시 반공진주파수(fb)에서 구동되고 있지 않고, 구동주파수가 반공진의 주파수(fb)로부터 어긋나 있어도 정전용량(Cs)에 의하여, 정전용량(Co)에 걸리는 전압을 저감시키는 효과는 동일하게 발휘될 수 있다.
또, 제7도에 나타낸 바와 같이, c-d점간에 복수의 정전용량(Cs1, Cs2, …, Csn)을 병렬로 접속하고, 각각의 용량에 흐르는 전류의 위상을 180도 변화시키는 위상변환수단(8n, 8b, …, 8n)을 설치하고, 각 정전용량(Cs1, Cs2, …, Csn)에 흐르는 전류를 가산하는 가산기(9)를 설치하고, 이 회로를 제6도에 나타낸 c-d간에 설치해도 좋다.
제7도에 나타낸 각각의 정전용량(Cs1, Cs2, …, Csn)과 제6도에 나타낸 용량(Cs)과의 관계는 식(6)에 나타낸 것과 같다.
제6도의 블럭도에 나타낸 제2 본 발명은 제8도 및 제9도의 회로에 의하여 실시할 수 있다. 제9도는 제8도에 나타낸 회로를 더 구체적으로 나타낸 것이다.
제8도에 나타낸 회로에서는 교류구동전원(5)이 정전류원이다. 제9도에서 정전류원의 교류구동전원(5)중의 정전류회로만을 나타내고 있다. 정전류원으로부터 가해지는 전류는 전류-전압 변환회로(8a)에 의하여 전압으로 변환되나, 이 전류-전압 변환회로(8a)가 위상변환수단이 되어 전류의 위상이 180도 변화된다. 전류-전압 변환회로(8a)에 의하여 변환된 전압은 정전류회로(8b)에 의하여 정전류가 되어 압전진동자(1)에 가해진다.
제8도와 제9도에 나타낸 회로의 동작은 제6도에 나타낸 바와 같고, 식(7)에 기재한 바와 같이, 제동용량(Co)에 걸리는 전압이 정전용량(Cs)에 의하여 회로상에서 상쇄 또는 저감된다. 또, 코일을 사용하지 않기 때문에 구동장치가 소형화될 수 있다. 또, 정전용량(Cs)에 의한 제동용량(Co)에 걸리는 전압의 상쇄 또는 저감에서는, 주파수 의존성이 없기 때문에 교류구동전원(5)으로부터 가해지는 구동전력의 주파수가 반공진주파수(fb)로부터 어긋나도 제동용량(Co)에 걸리는 전압의 상쇄 또는 저감효과를 발휘할 수 있다.
제10도는 제3 본 발명을 나타낸 회로블럭도이다. 제10도에서는 압전진동자(1)가 공진주파수(fa) 부근에서 공진하고 있을 때의 등가회로를 나타내고 있다.
제10도에 나타낸 회로에서는 압전진동자(1)의 한쪽의 전극이 어스쪽에 접속되거나, 또는 소정의 전위에 설정되어 있다. 교류구동전원(5)은 한쪽이 어스쪽에 접촉되고, 다른쪽에 압전진동자(1)의 다른쪽의 전극에 접속되어 있다.
또, 압전진동자(1)의 다른쪽의 전극(c점), 즉 교류구동전원(5)에 의하여 전압(V)이 가해지는 측에서는 정전용량(Cs)과 증폭기(11)가 직렬로 접속된 루우프회로(귀환회로)가 접속되어 있다. 이 증폭기(11)는 정전용량(Cs)에 걸리는 전압을 증폭하는 것이다. 정전용량(Cs)은 증폭기(11)의 증폭 출력단에 접속되고, 다시 압전진동자(1)의 전력공급단(c점)에 접속되어 있다.
정전용량(Cs)이 압전진동자(1)의 제동용량(Cd)의 (1/N)배일 때, 상기 증폭기(11)의 전압증폭도는 대략 (N+1)배인 것이 바람직하다. 이때 제10도에 나타낸 바와 같이 정전용량(Cs)에 걸리는 전압(c-d간 전압)은 N·V가 된다.
제10도에 나타낸 바와 같이 압전진동자(I)의 한쪽의 전극측이 접지되어 있는 회로에 있어서, 교류구동전원(5)으로부터 c점에 유입되는 전류를 i, 정전용량(Cs)으로부터 c점에 유입하는 전류를 i1으로 한다. 또, 압전진동자(1)의 직렬공진부(3)의 임피던스를 Zm라 하고, 거기에 유입되는 전류를 i2, 제동용량(Cd)에 흐르는 전류를 i3라 한다. 또, c점으로부터 증폭기(11)에 흐르는 전류 i4는 미소하기 때문에 무시한다. 각 전류(i1, i2, i3, i)는 각각 식(8), (9), (10), (11)로 표시된다.
상기 식(6), (7), (8), (9)로부터 i에 대하여 풀면 식(12)가 된다.
상기 식(13)의 조건이 성립할 때, i는 이하의 식(14)에 나타낸 것이 되고 i는 i2와 같게 된다.
즉 교류구동전원(5)으로부터의 출력전류(i)는 압전진동자(1)의 직렬공진부(3)의 임피던드(Zm)에만 흐르고 진동에 기여하지 않는 제동용량(Cd)에 흐르지 않게 된다. 즉, 교류구동전원(5)으로부터의 구동전류는 제동용량(Cd)에 의하여 소비되지 않게 된다.
상기 식 14로부터, 압전진동자(1)에 흐르는 전류(i)의 위상(θ)을 구하면, 식 15에 나타낸 바와 같다.
식(14)와 식(15)가 성립할 때의 진동주파수와 전류(i)와의 관계를 11도(a)에 나타내고, 진동주파수와 전류의 위상(θ)과의 관계를 제11도(b)에 나타낸다.
제3 발명에서는 제1 본 발명과 마찬가지로 제동용량(Cd)에 흐르는 구동전류를 상쇄하는 조건은 식(13)이고, 이것은 정전용량(Cs)과 증폭기(11)의 증폭도(N)의 함수로 주어지고, 구동주파수(f)의 함수로는 되지 않는다. 즉, 제동용량(Cd)에 흐르는 전류를 상쇄하는 조건은 진동주파수에 의존하지 않는다.
또, 제동용량(Cd)을 상쇄하기 위한 정전용량(Cs)의 조정은 배리 갭 또는 트리머 타입의 가변정전용량을 사용하는 것이 가능하고, 이것은 종래의 인덕턴스(Ld)의 조정보다는 훨씬 용이하다. 또 회로의 소형화가 실현될 수 있다. 또, 정전용량(Cs)를 고정하고, 증폭기(11)의 증폭도(N) 또는 (N+1)를 가변저항으로 조정해도 동일한 효과가 얻어지기 때문에, 더 한층의 소형화가 도모된다. 또, 증폭기(11)의 증폭도와 정전용량(Cs)과의 관계는 (N+1)과 (1/N)이 엄밀하게 일치하고 있을 필요는 없다. 이 관계가 엄밀하게 일치하고 있지 않아도, 압전진동자(1)의 제동용량(Cd)에 흐르는 전류를 저감시킬 수가 있어, 전력절약 구동에 효과를 발휘할 수 있다.
또, 제10도 회로의 목적은 제동용량(Cd)에 흐르는 전류(i3)를, 정전용량(Cs)을 흐르는 전류(i1)에 의하여 상쇄 또는 저감시키는 점에 있다. 따라서, 예를 들면 증폭기(11)가 설치되지 않는 경우에, d점에 (N+1)V에 동등 또는 이것에 근사한 값을 가함으로써 동일한 효과를 발휘할 수 있다. 즉, 정전용량(Cs)을 가지는 루우프회로와, 정전용량(Cs)에 루우프 전류를 흐르게 하기 위한 전압부여수단을 설치해 두면, 제10도와 동일한 효과를 기대할 수 있다.
상기 제10도에 나타낸 제3 본 발명은 제12도에 나타낸 회로에 의하여 실현될 수 있다.
제12도에서는 압전진동자(1)의 한쪽 전극측이 어스측에 접속되고, 다른쪽의 전극측에 교류구동전원(5)이 접속되어 있다. 또, 교류구동전원(5)으로부터의 전압(V)이 가해지는 c점에, 정전용량(Cs)과 증폭기(OP앰프)(11)가 직렬로 접속된 루우프회로가 접속되어 있는데, 증폭기(OP앰프)(11)의 전압증폭도는 저항(Ri)과 (Rf)에 의하여 설정된다.
정전용량(Cs)이 제동용량(Cd)의 (1/N)일 때, 증폭기(11)에서의 전압증폭도(게인)를 식(16)에 나타낸 바와 같이 설정하면, 상기와 같이 제동용량(Cd)에 흐르는 전류를 상쇄할 수 있다.
상기에서 예를 들면 한쪽의 저항(Rf)을 가변저항기로 하면, 정전용량(Cs)을 고정하고 저항(Rf)의 저항치를 가변함으로써 용이하게 동일한 효과가 얻어진다.
또, 제3 본 발명은 제10도에 나타낸 구성에 한정되지 않고, 제13도에 나타낸 구성에 의해서도 실시 가능하다.
제13도에서는 교류구동전원(5)으로부터 압전진동자(1)의 비 어스측의 전극(c'점)에 구동전력을 공급하는 경로로부터 다시 분기되는 경로가 설치되고, 이 분리경로에 증폭기(11)와 정전용량(Cs)이 직렬로 접속되어 설치되고, 또 정전용량(Cs)이 c'점에 접속된 것으로 되어 있다. 이 실시예에서도 압전진동자(1)의 전극에 가해지는 구동전압(V)이 증폭기(11)에 의하여 (N+1)배로 증폭되는 것이 되어, 증폭기(11)의 증폭출력단이 정전용량(Cs)을 거쳐 상기 c'점에 접속된다.
제13도는 제10도와 동종의 압전진동자의 구동장치인데, 교류구동전원(5)으로부터 c'점에 가해지는 전류를 i, 직렬공진부와 제동용량(Cd)에 흐르는 전류를 각각 i2와 i3, 정전용량(Cs)을 흐르는 전류를 i1'라 하면, 각 전류의 관계는 식(11)에 있어서, i1을 i1'로 치환한 것과 동일하다.
따라서, 제13도의 구동장치에 있어서도, 식(13)에 나타낸 조건, 즉 정전용량(Cs)이 제동용량(Cd)의 (1/N)배가 되는 조건을 만족하면, 구동전력의 공급전류(i)가 제동용량(Cd)에 의하여 소비되지 않고, 효율적인 압전진동자의 구동이 가능하게 된다.
제14도는 제4 본 발명을 나타낸 회로도이다.
압전진동자(1)의 구동회로(25)의 증폭기(OP앰프)(20)에는, 전압증폭의 이득을 설정하는 저항 R3과 R4를 포함하는 부귀환 회로블럭(21) 및 저항(R1)과 정전용량(Cs)과 압전진동자(1)로 구성되는 정귀환 회로블럭(22)이 접속되어 있다.
부귀환 블럭(21)은 증폭기(20)의 전압증폭 이득을 높게 설정하여 자력발진의 진폭을 안정화시키는 회로이고, 증폭기(20)의 출력단으로부터 저항(R3)을 거쳐 반전 입력단자에 이르는 부귀환 경로가 형성되어 있다. 또 저항(R4)은 증폭기(20)의 반전 입력단자에 접속되어 있다.
정귀환 회로블럭(22)은 주파수 선택회로이고, 압전진동자(1)의 일단이 어스 접속되고 타단이 증폭기(20)의 비반전 입력단자에 접속되고, 또 증폭기(20)의 출력단으로부터 정전용량(Cs)과 저항(R1)을 거쳐 증폭기(20)의 비반전 입력단자에 이르는 정귀환 경로(정귀환 루우프)가 구성되어 있다.
제15도(a)는 압전진동자(1)를 공진주파수(fa)로 구동시켰을 때의 등가회로이다. 공진주파수(fa)에서는, Lm과 Cm가 직렬공진이 되어 제15도(b)에 나타낸 회로와 등가로 된다. 제15도(b)의 등가회로에서의 공진주파수(fa)는 식(17)로 구해진다.
제14도의 회로(여기서는 부가용량(C')와 부가용량(R')가 설치되어 있지 않은 회로를 상정한다)에 있어서, 압전진동자(1)를 제15도(b)에 나타낸 직렬공진시의 등가회로로 치환하여 회로해석을 행한 결과를 이하에 나타낸다.
제14도의 각각의 전압 ei와 ei'를 eo등과의 관계로 구하며 식(18)이 된다.
증폭기(20)의 증폭도가 충분히 큰 것이라 하면 ei=ei'이고, 식(19)과 같이 된다.
증폭조건은 식(20)으로 표시되고, 주파수조건은 식(21)로 표시된다.
여기서, 진폭조건 및 주파수 조건을 만족하는 각 파라미터(R1, R3, R4, Cs)를 선택함으로써 이 회로는 자력발진회로가 된다.
한편, 식(21)에 나타낸 주파수 조건은 압전진동자(1)의 공진주파수(fa)에 있어서, Cs와 R1에 의하여 제동용량(Cd)가 상쇄되고 있는 것을 의미하고 있다. 따라서, 제14도에서는 상기 파라미터(R1, R3, R4, Cs)를 진폭조건, 주파수 조건을 만족하도록 선택함으로써 Cs, R1에 의한 압전진동자(1)의 제동용량(Cd)의 등가저감회로의 응용으로써 압전진동자(1)를 사용한 발진회로를 구성할 수가 있다.
즉, 이 자력발진회로는 빈 브리지 발진회로의 원리를 사용한 것이다. 빈 브리지 발진회로는 증폭기(OP앰프)(27)에 정귀환을 걸음으로써 발진을 발생시키는 것인데, 이 자력발진 주파수는 주파수 선택회로인 정귀환회로블럭(22)에 의하여 결정된다. 정귀환회로 블럭(22)(주파수 선택회로)에서는 제1용량(Cs)과 제1저항(R1)이 정귀환 루우프내에서 직렬로 접속되고, 또 제15도(b)에 나타낸 등가회로가 되는 압전진동자(1)의 제동용량(Cd)이 제2용량이고, Rm가 제2저항이 된다. 이것은 서로 병렬이고, 증폭기(20)의 비반전 입력측에 접속되는 것으로 된다. 주파수 선택회로(22)에서는 제1용량(정전용량)(Cs)가 하이패스 필터로서 작용하고, 제2용량(제동용량)(Cd)이 로우패스필터로서 작용한다. 증폭기(20)의 정귀환 경로에서의 하이패스 필터와 로우패스 필터로 구성되는 밴드패스 필터에 의하여 자력 발진의 주파수가 결정된다.
또한, 부귀환회로부 블럭(21)은 증폭기(20)의 전압증폭기의 이득을 충분히 높게 설정하여, 자력발진의 진폭 안정화회로로서 기능하는 것으로 된다.
여기서, 압전진동자(1)의 공진주파수는 식(17)로 결정되고, 이것은 압전진동자(1)의 가동시의 인덕턴스성분(Lm)과 용량성분(Cm)으로 결정된다. 이 공진주파수와, 상기 주파수 선택회로에서 결정되는 자력발진 주파수가 반드시 일치하지 않는 경우가 있다.
이 경우에는 제14도에 나타낸 바와 같이 압전진동자(1)에, 병렬인 부가용량(C')과 부가저항(R')을 설정하고, 각각의 용량치와 저항치를 조정하거나 또는 선택하는 것이 바람직하다. 이 경우, 부가용량(C')이 상기 로우패스 필터의 컷오프(차단) 주파수를 조정하도록 작용하고, 부가저항(R')이 상기 하이패스 필터의 컷오프 주파수를 조정하도록 작용한다. 그 결과, 자력발진회로(25)의 자력발진 주파수와, 압전진동자(1)의 공진주파수를 일치시키거나 또는 근사시키도록 보정할 수가 있다.
다음에, 상기 각 실시예에서는 어느 것이나, 정전형 변환수단으로서 압전진동자을 나타내고 있는데, 제16도(a)에 나타낸 바와 같은 정전변환기(30)에 대한 구동장치에 대해서도 마찬가지로 실시할 수 있다. 제16도(a), (b)는 제10도에 나타낸 실시예와 같은 회로에 의하여 정전변환기(30)를 구동하고 있는 상태를 나타낸다.
이 정전변환기(30)는 고정측의 평면전극(31)과 가동측의 평면전극(32)이, 미소간극(d)을 두고 대향한 것이다. 전극 31과 32의 대향면적을 A, 전극간에 가해지는 바이어스 전압을 E, 전극간에 가해지는 입력전압(구동전압)을 V, 전극간의 공기층의 유전율을 ε이라 하면, 입력전압(V)에 의하여 전극(31)과 (32)의 사이에 작용하는 정전구동력(f)은 식(22)으로 표시된다.
여기서, 정전변환기(30)가 구동되고 있는 상태에서의 등가회로는 제16도(b)에서 부호 30a로 표시된다. 이것은 제10도에 나타낸 바와 같이 압전진동자가 공진점에서 공진하고 있을 때와 등가의 것이 된다. 제16도(b)에서 Ca는 전극 31과 32간의 용량성분이다. 또, R은 가동전극(32)의 기계적인 구동저항, L는 가동전극(32)의 기계적인 지지에 의한 스프링정수, C는 기계적인 탄성지지에 의한 점성 저항이다. 정전변환기(30)의 구동에 있어서도, 구동전류는 용량성분(Ca)에 의하여 소비되게 하고, 이것은 가동전극(32)의 구동에 기여하지 않는 전류소비분이다.
따라서, 제16도(a), (b)에 나타낸 실시예에서는, 제10도에 나타낸 것과 같은 루우프회로를 부가하고, 정전용량(Cs)의 (1/N)배로 하고, 증폭기(11)의 증폭도를 (N+1)배로 설정함으로써, 압전진동자에 있어서의 구동장치와 동일하게 하여 용량성분(Ca)에서의 소비전류를 저감 또는 상쇄할 수 있게 하고 있다.
또, 제1도 내지 제9도에 나타낸 위상변환수단을 설치한 구동회로 및 제14도에 나타낸 자력발진을 이용한 구동장치도 정전변환기(30)의 구동장치로서 사용할 수가 있다.
또, 본 발명의 정전형 변환수단의 구동장치는, 압전 트랜스의 1차측에 접속되는 회로, 또는 압전모터의 구동장치로서 실현할 수 있다. 또는 진동형 자이로스코프나 가속도 센서의 구동장치로서 사용할 수 있다. 진동형 자이로스코프에서는 예를 들면 에린버등의 항탄성 재료를 압전진동자에 의하여 진동시키고, 또는 압전진동자 그 자체를 진동시켜, 이것을 회전계내에 설치하여 코리올리력에 의하여 탄성재료를 구동방향과 다른 후방으로 진동시켜, 검출용의 압전소자에 의해 코리올리력에 의한 진동이 검출되어 회전계의 각속도가 구해진다. 이 진동형 자이로스코프에서의 상기 압전진동자의 구동장치로서 본 발명을 적용할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에서는 압전진동자등의 정전형 변환수단을 구동할 때에, 정전형 변환수단의 용량성분에 가해지는 전력을 상쇄할 수가 있기 때문에, 구동전원의 소형화가 실현될 수 있다. 또 실시예와 같이 인덕턴스를 사용하지 않기 때문에 구동주파수에 의존성이 없고, 조정이 용이함과 동시에 회로의 소형화가 도모된다. 한편, 등가적인 캔슬조건이 완전하게 만족되지 않는 경우에도, 제동용량등의 용량성분의 등가적인 저감에 의한 구동전력의 전력절약화를 기대할 수 있다.
또, 증폭기의 주파수 선택회로에 의하여 자력발진회로를 구성하고, 이 주파수 선택회로에 공진점 부근에서 정전형 변환수단의 용량성분과 저항성분을 포함시킴으로써 정전형 변환수단을 공진점 부근에서 구동할 수 있어, 효율적인 구동이 가능하게 된다. 또 부가용량과 부가저항을 설치함으로써 정전형 변환수단의 공진점과 일치 또는 근사한 주파수에서의 자력발진이 가능하게 된다.
또 증폭기의 부귀환 루우프에 증폭률을 높게 설정하는 저항을 포함시킴으로써 안정된 진폭의 자력발진이 가능하게 된다.

Claims (8)

  1. 정전형 변환수단에 교류전력을 가하여 진동을 발생시키는 구동장치에 있어서, 상기 정전형 변환수단의 용량성분을 상쇄 또는 저감시키기 위한 정전용량이 정전형 변환수단에 병렬 또는 직렬로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 정전형 변환수단의 구동장치.
  2. 정전형 변환수단에 교류전력을 가하여 진동을 발생시키는 구동장치에 있어서, 상기 정전형 변환수단에 접속된 정전용량과 이 정전용량에 흐르는 전류의 위상을 180도 변화시키는 위상변환단이 설치되고, 상기 정전용량과 위상변환수단에 의하여 정전형 변환수단의 용량성분에 흐르는 전류 또는 용량성분에 걸리는 전압이 상쇄 또는 저감되는 것을 특징으로 하는 정전형 변환수단의 구동장치.
  3. 제2항에 있어서, 정전용량 및 위상변환수단이, 정전형 변환수단과 병렬로 접속되는 것을 특징으로 하는 정전형 변환수단의 구동장치.
  4. 제2항에 있어서, 정전용량 및 위상변환수단이, 정전형 변환수단과 직렬로 접속되는 것을 특징으로 하는 정전형 변환수단의 구동장치.
  5. 정전형 변환수단에 전압을 가하여 진동을 발생시키는 구동장치에 있어서, 상기 정전형 변환수단의 일단에 가해지는 전압을 증폭하는 증폭기와, 이 증폭기의 증폭 출력단과 정전형 변환수단의 상기 일단과의 사이에 접속된 정전용량을 가지는 것을 특징으로 하는 정전형 변환수단의 구동장치.
  6. 제5항에 있어서, 정전용량이 정전형 변환수단의 용량성분의 대략 1/N배일 때에, 증폭기의 증폭도가 대략 (N+1)배인 것을 특징으로 하는 정전형 변환수단의 구동장치.
  7. 정전형 변환수단의 용량성분과 저항성분을 포함하는 주파수 선택회로와, 이 주파수 선택회로를 정귀환 루우프에 배치한 증폭기를 가지고, 상기 주파수 선택회로에서 결정되는 주파수에 의하여 자력발진하는 것을 특징으로 하는 정전형 변환수단의 구동장치.
  8. 제7항에 있어서, 주파수 선택회로에서는, 증폭기의 정귀환 루우프내에 저항과 정전용량이 접속되고, 정전형 변환수단의 일단이 증폭기의 비반전 입력부에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 정전형 변환수단의 구동장치.
KR1019950058268A 1994-12-28 1995-12-27 정전형 변환수단의 구동장치 KR0155240B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34013394 1994-12-28
JP94-340133 1994-12-28
JP7079569A JPH08233581A (ja) 1994-12-28 1995-03-09 静電型変換手段の駆動装置
JP95-79569 1995-03-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960024282A KR960024282A (ko) 1996-07-20
KR0155240B1 true KR0155240B1 (ko) 1998-12-01

Family

ID=26420588

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950058268A KR0155240B1 (ko) 1994-12-28 1995-12-27 정전형 변환수단의 구동장치

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5712598A (ko)
JP (1) JPH08233581A (ko)
KR (1) KR0155240B1 (ko)
CN (1) CN1132852A (ko)
DE (1) DE19548041C2 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050090995A (ko) * 2002-12-10 2005-09-14 코닌클리즈케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. 변환기 및 이를 포함하는 전자 장치
DE102005036872B4 (de) * 2005-08-02 2016-03-24 Vega Grieshaber Kg Vorrichtung zur Vibrations-Füllstand-Grenzstanderfassung und Verfahren zur Vibrations-Füllstand-Grenzstanderfassung
CN103227612B (zh) * 2013-05-15 2016-05-11 中国科学院半导体研究所 Mems振荡器
US10165358B2 (en) 2014-12-11 2018-12-25 Semiconductor Components Industries, Llc Transducer controller and method therefor

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3731230A (en) * 1971-12-17 1973-05-01 Motorola Inc Broadband circuit for minimizing the effects of crystal shunt capacitance
JPS53127709A (en) * 1977-04-13 1978-11-08 Morita Mfg Driving system for transducer with resonance circuit
GB2003364B (en) * 1977-08-24 1982-03-03 Post Office Electroacoustic transducer for a microphone
US4227158A (en) * 1979-02-01 1980-10-07 The Singer Company Multifrequency control from a single crystal
US4393373A (en) * 1981-03-16 1983-07-12 Fuji Electrochemical Co., Ltd. Piezoelectric audible sound generator
JPH0763676B2 (ja) * 1986-04-03 1995-07-12 超音波工業株式会社 超音波発振装置
GB2197157A (en) * 1986-11-08 1988-05-11 Syrinx Innovations Integrating amplifiers
US4782309A (en) * 1987-06-26 1988-11-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Bilateral frequency adjustment of crystal oscillators
US4888566A (en) * 1989-04-19 1989-12-19 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Temperature compensated stable duty cycle crystal oscillator apparatus
US5047734A (en) * 1990-05-30 1991-09-10 New Sd, Inc. Linear crystal oscillator with amplitude control and crosstalk cancellation
US5113153A (en) * 1991-05-20 1992-05-12 International Business Machines Corporation High-frequency monolithic oscillator structure for third-overtone crystals
US5136263A (en) * 1991-06-24 1992-08-04 At&T Bell Laboratories Harmonic oscillator
DK170196B1 (da) * 1993-04-07 1995-06-06 Brueel & Kjaer As Fremgangsmåde og kobling til at reducere den harmoniske forvrængning af en kapacitiv transducer

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08233581A (ja) 1996-09-13
KR960024282A (ko) 1996-07-20
CN1132852A (zh) 1996-10-09
US5712598A (en) 1998-01-27
DE19548041A1 (de) 1996-07-11
DE19548041C2 (de) 1999-04-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100223687B1 (ko) 정전형 변환수단의 용량성분 저감회로 및 정전형 변환수단의 구동장치 및 검출장치
US6763726B2 (en) Mechanical force sensor
KR20040086789A (ko) 진동형 각속도 센서
JP2001308677A (ja) 電気信号用フィルタ
JP2009510878A (ja) ピエゾ抵抗共振器に基づく発振器
KR0155240B1 (ko) 정전형 변환수단의 구동장치
JP2008066799A (ja) 発振器
JP2005039768A (ja) 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器
US8373513B2 (en) Compensated micro/nano-resonator with improved capacitive detection and method for producing same
JP6220618B2 (ja) 共振回路及び発振回路
JP4930769B2 (ja) 発振器
JPH07270165A (ja) 振動ジャイロ装置
JP3450077B2 (ja) 電磁変換型振動子の制動インダクタンス低減回路
JPH0643929B2 (ja) 振動式力検出器
JPH06148231A (ja) ヨーレートセンサの温度補償方法及び温度補償装置
JPH0949736A (ja) 振動型ジャイロスコープの駆動装置
JP4449383B2 (ja) 発振回路
JP2000283764A (ja) 角速度検出装置
KR100275536B1 (ko) 마이크로 자이로용 구동회로
JP6212343B2 (ja) 共振回路及び発振回路
JPH07260493A (ja) 振動ジャイロにおける角速度検出回路
JPH10227643A (ja) 振動ジャイロ
JP4411492B6 (ja) 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器と情報通信機器
JP4411492B2 (ja) 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器と情報通信機器
JPH0854239A (ja) 振動ジャイロ

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20011228

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee