JP2009510878A - ピエゾ抵抗共振器に基づく発振器 - Google Patents
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Abstract
発振器回路は、共振周波数をそれぞれ有する第1及び第2のピエゾ抵抗共振器(1、2)を具え、各ピエゾ抵抗共振器は、当該ピエゾ抵抗共振器を駆動する入力端を有するとともに、この入力端が当該ピエゾ抵抗共振器とは異なる方のピエゾ抵抗共振器の出力端に直接結合され、増幅器及び移相器を設けずにそれぞれのピエゾ抵抗共振器の抵抗により帰還が行われるようになっている。この発振器回路によれば、移相を行うための他の素子を必要とせずに、帰還を達成しうる。このことは、より大きな集積化を容易にでき、従って、費用を廉価にしうる簡単な回路を用いうることを意味する。ピエゾ抵抗共振器を用いることにより、外部結晶の必要性を回避でき、より大きな集積化及び費用の低廉化を達成しうる。
Description
本発明は、発振器回路及びこのような発振器回路を有するMEMS構造に関するものであり、更にはこれらの製造及び動作方法に関するものである。
ある種の結晶、代表的には水晶はピエゾ電気(圧電)性を呈し、このことは、結晶面に力を加えた場合に、結晶が電圧を発生することを意味する。これとは逆に、電圧を結晶に印加することにより、結晶を機械的に変形させる。この結晶を用いて発振器を形成することは知られている。結晶が増幅器回路の帰還経路内に配置されることにより、結晶は、主として結晶の大きさに応じた周波数で発振し始める。これは、結晶が増幅器又はインバータ付近で並列経路内に配置された並列共振回路である。
ピエゾ抵抗性に基づくMEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)技術を用いてセンサを形成することも知られている。ピエゾ抵抗性圧力センサにおける検出材料はシリコン基板中に形成された振動板であり、この振動板は圧力を加えることにより湾曲する。この湾曲によって振動板の結晶格子に変形が生じる。この変形が振動板上に配置されたピエゾ抵抗のバンド構造を変化させ、これにより材料の抵抗率を変化させる。この変化は、抵抗のドーパントの種類に応じて増大又は減少としうる。
しかし、このようなピエゾ抵抗共振素子はしばしば発振器としては用いられない。その理由は、ピエゾ抵抗素子の出力に90°の移相がある為に、通常の帰還構造が有効とならない為である。この移相は移相器により補償しうる。
国際公開(WO)第2004/053431号には、静電(容量性)アクチュエーション及びピエゾ抵抗式読み出しを用いる共振器を採用した発振器が開示されている。しかし、不都合なことに、ピエゾ抵抗式読み出しによると、その共振周波数で入力信号と出力信号との間でπ/2だけ移相してしまう。従って、容量性又はピエゾ電気式読み出しの場合に発振を生ぜしめる、共振器の出力をその入力端に直接帰還させることができない。
国際公開第2004/053431号
本発明の目的は、改善した発振器回路及びこのような発振器回路を有するMEMS構造を提供することにあり、更にはこれらの製造及び動作方法を提供することにある。
本発明の第1の観点によれば、共振周波数をそれぞれ有する第1及び第2のピエゾ抵抗共振器を具える発振器回路であって、各ピエゾ抵抗共振器は、当該ピエゾ抵抗共振器を駆動する入力端を有するとともに、この入力端が当該ピエゾ抵抗共振器とは異なる方のピエゾ抵抗共振器の出力端に結合され、それぞれのピエゾ抵抗共振器の抵抗により帰還が行われるようになっている発振器回路を提供する。この本発明は、各共振器の入力及び出力間の移相を利用し、移相を行うための他の素子を必要とすることなしに、帰還を可能にしうる。このことは、より大きな集積化を容易にし、従って、費用を廉価にしうる簡単な回路を用いうるということを意味する。ピエゾ抵抗共振器を用いることにより、外部結晶の必要性を回避でき、より大きな集積化及び低価格化を可能にする。
本発明の第1の観点の一例では、ピエゾ抵抗共振器の出力を増幅することなしにそれぞれの入力端に直接供給しうる。
本発明の第1の観点による例では、共振器の各々をMEMS構造として形成しうる。
本発明の第1の観点の一例によれば、ピエゾ抵抗共振器を互いに並列に配置しうる。この場合、各共振器が直列結合抵抗又はチョークコイルを有し、各出力をそれぞれの共振器とその直列結合抵抗又はチョークコイルとの間から取り出すようにしうる。
本発明の第1の観点による例では、各ピエゾ抵抗共振器が細長振動部材を有し、この細長振動部材をその長手軸線に沿って振動するように配置するようにしうる。又、各ピエゾ抵抗共振器が、それぞれの入力端に結合されて細長振動部材を駆動する静電駆動電極を有するようにしうる。本発明の特定の例によれば、細長振動部材が、この細長振動部材の本体よりも10倍以上幅広である幅広端部を有し、この幅広端部が静電駆動電極として用いられるようにしうる。
本発明の第1の観点による発振器回路は、4ボルトよりも低い駆動電圧に対し用いるのに適するようにしうる。この発振器回路は、特にバッテリ附勢装置に対する現存の低電圧回路に対し用いうるようにしうる。
本発明の他の観点によれば、共振周波数をそれぞれ有する第1及び第2のピエゾ抵抗共振器を具える集積化発振器であって、各ピエゾ抵抗共振器は、当該ピエゾ抵抗共振器を駆動する入力端を有するとともに、この入力端が当該ピエゾ抵抗共振器とは異なる方のピエゾ抵抗共振器の出力端に結合され、それぞれのピエゾ抵抗共振器の抵抗により帰還が行われるようになっている集積化発振器を提供する。この集積化発振器はバッテリ附勢装置に用いることができる。
本発明は更に、本発明の第1の観点による発振器回路又は本発明の第2の観点による集積化発振器を有するバッテリ附勢装置を提供する。
互いに組み合わせることができ、且ついかなる観点とも組み合わせることができる更なる特徴を以下に説明する。他の利点は特に他の従来技術にも及ぶ当該技術の当業者にとって明らかである。又、本発明の特許請求の範囲から逸脱することなしに、種々の変形を達成しうる。従って、本発明の実施例の形態は例示的なものであり、本発明の範囲を制限するものではない。
本発明がいかに具体化されるかを、以下に添付図面を参照して例示的に説明する。
添付図面を参照して本発明を特定の実施例につき説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲によってのみ制限されるものである。又、図面は線図的なものであって、本発明はこれらの図面に限定されるものではない。更に、図面は説明の都合上誇張して示す場合があり、実際のものに正比例して描いていない。明細書及び特許請求の範囲において、「具える」又は「有する」という用語は、他の素子等を排除するものではない。更に、「第1」、「第2」、「第3」等は同様な素子を区別するために用いるものであり、必ずしも順番を表わすものではなく、適切な状況の下では交換できるものであり、本発明の実施例は他の順番で動作しうるものである。
本発明の実施例では、MEMS発振器のような発振器回路を形成するのにピエゾ抵抗効果を利用している。本発明の観点では、発振器回路は、第1及び第2のピエゾ抵抗共振器を有し、各ピエゾ抵抗共振器の入力端は、他のピエゾ抵抗共振器の出力端に結合されている。本発明の実施例は、特別な材料、例えば、ピエゾ電気材料を用いることなく、一般的な半導体、例えば、シリコンの処理技術を用いて実現しうる。従って、単一のチップ発振器を小型にしうる。本発明による発振器回路は、発振器の性能及び電力消費量の双方又はいずれか一方に悪影響を及ぼすことなく、縮小でき、高発振周波数となる小型の発振器回路が得られる。予測ノイズレベルは、1mWの電力消費量で−145dBc /Hzよりも小さくでき、通常の水晶発振器の性能に匹敵しうるものである。低電圧で装置に給電を行ない、この装置をバッテリ給電分野に適したものとする持続発振を達成しうる。従って、本発明による発振器回路は、バッテリ附勢装置に用いうる。更に、幾つかの実施例では、容量性の(MEMS)発振器又はピエゾ電気(水晶)に基づく発振器の場合のように、発振を持続させるのに増幅器を必要としない。
注目すべき追加の特徴には、出力が増幅されることなしにそれぞれの入力端に直接供給されるということが含まれる。他の実施例には増幅を含め、更なる利点が得られるようにしうる。本発明の実施例によれば、ピエゾ抵抗共振器の各々をMEMS構造として形成しうる。本発明の実施例によれば、これらのピエゾ抵抗共振器を並列に配置し、各ピエゾ抵抗共振器が抵抗又はチョークコイルのような直列結合インピーダンスを有し、各出力は、それぞれのピエゾ抵抗共振器と、その直列結合インピーダンス、例えば、抵抗又はチョークコイルとの間から取り出すようにしうる。
各ピエゾ抵抗共振器は細長振動部材を有し、この細長振動部材をその長手軸線に沿って振動するように配置する。ピエゾ抵抗共振器は、これらのそれぞれの入力端に結合されて細長振動部材を駆動する静電駆動電極を有しうる。本発明の実施例によれば、細長振動部材を、静電駆動電極として用いるためにこの細長振動部材の本体よりも10倍以上幅広とした幅広端部を有するようにしうる。
本発明の実施例による発振器回路は、現存の低電圧回路、特にバッテリ附勢装置に対し用いうるようにするために、4ボルトよりも低い駆動電圧に対し用いるのに適するようにしうる。
図1は、本発明の実施例による発振器回路のレイアウトを示しており、この場合2つのピエゾ抵抗共振器を用いて単一共振器のπ/2の移相を補償している。この発振器回路は、2つの並列分岐より成る。各分岐は、例えば、国際公開第2004/053431号公報に記載されているようにピエゾ抵抗共振器を構成する共振抵抗1(R0 +dR2 )又は2(R0 +dR1 )と、これに直列に接続された固定抵抗とより成る。ピエゾ抵抗共振器1及び2が周波数ωで振動している場合、これらの抵抗値は、
R1,2 =R0 (1+αsin ωt)
で与えられる。ここで、α=dRmax /R0 である。従って、固定抵抗の値をR0 とした場合、電圧V1,2 は次式(1)により与えられる。
R1,2 =R0 (1+αsin ωt)
で与えられる。ここで、α=dRmax /R0 である。従って、固定抵抗の値をR0 とした場合、電圧V1,2 は次式(1)により与えられる。
この場合、V1 が分岐2におけるピエゾ抵抗共振器に帰還され、これにより、共振周波数ω0 でdR2 にΦ1 =−π/2の移相を生じる。dR2 とV2 との間の位相差Φ2 は、式(1)によると、ゼロである。V2 が分岐1におけるピエゾ抵抗共振器に帰還されると、この場合もdR1 における位相がV2 に対しΦ3 =−π/2だけ移相される。式(1)によると、dR1 とV1 との間にΦ4 =πの移相が生じる。ループ全体にわたる全移相量は、
Φtot =Φ1 +Φ2 +Φ3 +Φ4 =0
であり、その結果、ループ利得が
G(ω0 )=V1 /V2 =1
である場合に、持続発振が達成される。
Φtot =Φ1 +Φ2 +Φ3 +Φ4 =0
であり、その結果、ループ利得が
G(ω0 )=V1 /V2 =1
である場合に、持続発振が達成される。
図1に示す発振器回路は、図4に示すように、固定抵抗をチョークコイルCH1及びCH2で置き換えることにより更に改善することができる。この場合、消費電力が少なくなる。その理由は、これらのコイルでは電力が消費されない為である。この場合、V1 及びV2 は次式(2)で与えられる。
V1 =−Vdcαsinωt ; V2 =Vdc(1+αsinωt ) (2)
V1 =−Vdcαsinωt ; V2 =Vdc(1+αsinωt ) (2)
図4に示す回路に対する共振時のループ利得は、電圧V1,2 の結果としての抵抗値の相対変化
dR/R1,2 =αsinωt
により決定される。電圧V1,2 は、次式(3)の大きさの静電気力Felを共振器に発生させる。
Fel=V1,2 Vdcε0 bh/2g2 (3)
ここで、図5に示すように、bは電極の幅であり、hは電極の高さであり、gは電極と共振器との間のギャップである。この図5は、幅tの2つの梁(ビーム)より成る本体を有する細長振動部材を装置が有していることを示しており、この本体の一端には、より一層大きな幅bを有する幅広端部が設けられている。この幅広端部は正方形として示しているが、静電駆動電極として用いるための他の形状も可能である。静電気力Felは共振器の梁に次式(4)の大きさの歪みεを発生させる。
ε=Fel/2E・t・h (4)
dR/R1,2 =αsinωt
により決定される。電圧V1,2 は、次式(3)の大きさの静電気力Felを共振器に発生させる。
Fel=V1,2 Vdcε0 bh/2g2 (3)
ここで、図5に示すように、bは電極の幅であり、hは電極の高さであり、gは電極と共振器との間のギャップである。この図5は、幅tの2つの梁(ビーム)より成る本体を有する細長振動部材を装置が有していることを示しており、この本体の一端には、より一層大きな幅bを有する幅広端部が設けられている。この幅広端部は正方形として示しているが、静電駆動電極として用いるための他の形状も可能である。静電気力Felは共振器の梁に次式(4)の大きさの歪みεを発生させる。
ε=Fel/2E・t・h (4)
共振時には、εはQ値に応じて増倍される。抵抗値の相対変化は歪みに比例し、次式(6)で与えられる。
dR/R=Kε (6)
ここで、Kはピエゾ抵抗ゲージ率である。式(2)、(5)及び(6)を組み合わせることにより、次式(7)及び(8)が得られる。
dR/R=Kε (6)
ここで、Kはピエゾ抵抗ゲージ率である。式(2)、(5)及び(6)を組み合わせることにより、次式(7)及び(8)が得られる。
(100)軸に平行に配向されたn型の1Ω‐cmのシリコンで処理したSi共振器の場合には、E=130GPa及びK=−151である。Q=105 であるものと仮定すると(文献:Mattila 氏等著、Sensors and Actuatirs A,3204(2002)1-6 参照)、次式(10)が得られる。
g=0.2μm及びVdc=3.6V(=バッテリ電圧)であるものと仮定すると、次式(11)が得られる。
b/t>12 (11)
この値は生産能力の範囲内にある。従って、持続発振をバッテリ電圧で達成しうる。
b/t>12 (11)
この値は生産能力の範囲内にある。従って、持続発振をバッテリ電圧で達成しうる。
図6に示すように、ピエゾ抵抗共振器1及び2の共振周波数は、その幾何学的形状をモデリングすることにより、スプリング定数k、プルーフマスm及び共振周波数ω0 が次式(12)で与えられるマススプリングシステムとして近似させることができる。
共振器にx、y及びz方向で倍率γを乗じると、共振周波数ω0 はγ-1倍となることが式(12)から分かる。発振条件は倍率γに依存しないことは、式(9)から分かる。従って、持続発振は共振器の大きさに依存せず、共振器を小型に形成して発振周波数を高くすることができると結論付けられる。この結論は、容量性のMEMS発振器に対しては適用されない。容量性の共振器の場合、その寸法が減少すると、そのインピーダンスが増大する。この場合、発振周波数が高くなった際に発振を持続させるには、増幅器利得を大きくする必要がある。
発振器のノイズレベルは、抵抗に発生されるジョンソン‐ナイキストノイズにより決定され、
V2 noise=4kB TR0 ・Δf
で与えられる。又、平均電圧振幅V1,2 は、
で与えられる。発振器の時間平均電力消費量は、
で与えられる。その結果、ノイズレベルは、次式(13)により与えられる。
V2 noise=4kB TR0 ・Δf
で与えられる。又、平均電圧振幅V1,2 は、
T=300K、P=1mW及びαmax >0.1を仮定することにより、位相ノイズレベル(=全ノイズレベルの半分)<−145dBcが得られ、これは水晶発振器のノイズレベル性能に匹敵する。式(13)から明らかなように、ノイズレベルは共振器の大きさに依存しない。このことは、ピエゾ抵抗共振器の大きさを変えても、ノイズレベルは変化しないことを意味する。この特性により、位相ノイズレベルを劣化させずに、又は電力消費量を増大させずに高周波動作を可能にする。
上述したところでは、本発明の装置に対し、好適実施例、特定の構成及び材料を説明したが、本発明の範囲及び精神を逸脱することなく、形態及び細部において種々の変更が可能である。
Claims (11)
- 共振周波数をそれぞれ有する第1及び第2のピエゾ抵抗共振器を具える発振器回路であって、各ピエゾ抵抗共振器は、当該ピエゾ抵抗共振器を駆動する入力端を有するとともに、この入力端が当該ピエゾ抵抗共振器とは異なる方のピエゾ抵抗共振器の出力端に結合され、それぞれのピエゾ抵抗共振器の抵抗により帰還が行われるようになっている発振器回路。
- 請求項1に記載の発振器回路において、出力が増幅されずにそれぞれの入力端に直接供給されるようになっている発振器回路。
- 請求項1又は2に記載の発振器回路において、各ピエゾ抵抗共振器がMEMS構造として形成されている発振器回路。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載の発振器回路において、前記第1及び第2のピエゾ抵抗共振器が互いに並列に配置されている発振器回路。
- 請求項4に記載の発振器回路において、各ピエゾ抵抗共振器が、直列結合抵抗又はチョークコイルを有し、それぞれのピエゾ抵抗共振器とその直列結合抵抗又はチョークコイルとの間から各出力が取り出されるようになっている発振器回路。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の発振器回路において、各ピエゾ抵抗共振器が細長振動部材を有し、この細長振動部材が当該細長振動部材の長手軸線に沿って振動するように配置されている発振器回路。
- 請求項6に記載の発振器回路において、各ピエゾ抵抗共振器が、これらのそれぞれの入力端に結合されて前記細長振動部材を駆動するようにした静電駆動電極を有している発振器回路。
- 請求項7に記載の発振器回路において、前記細長振動部材が、この細長振動部材の本体よりも10倍以上幅広である幅広端部を有し、この幅広端部が静電駆動電極として用いられるようになっている発振器回路。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の発振器回路において、この発振器回路は4ボルトよりも低い駆動電圧で用いるのに適している発振器回路。
- 共振周波数をそれぞれ有する第1及び第2のピエゾ抵抗共振器を具える集積化発振器であって、各ピエゾ抵抗共振器は、当該ピエゾ抵抗共振器を駆動する入力端を有するとともに、この入力端が当該ピエゾ抵抗共振器とは異なる方のピエゾ抵抗共振器の出力端に結合され、それぞれのピエゾ抵抗共振器の抵抗により帰還が行われるようになっている集積化発振器。
- 請求項10に記載の集積化発振器又は請求項1〜9のいずれか一項に記載の発振器回路を有するバッテリ附勢装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP05109061 | 2005-09-30 | ||
PCT/IB2006/053413 WO2007036852A1 (en) | 2005-09-30 | 2006-09-21 | Oscillator based on piezoresistive resonators |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009510878A true JP2009510878A (ja) | 2009-03-12 |
Family
ID=37734987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008532929A Withdrawn JP2009510878A (ja) | 2005-09-30 | 2006-09-21 | ピエゾ抵抗共振器に基づく発振器 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7750745B2 (ja) |
EP (1) | EP1935088A1 (ja) |
JP (1) | JP2009510878A (ja) |
CN (1) | CN101273521B (ja) |
TW (1) | TW200729709A (ja) |
WO (1) | WO2007036852A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7898148B2 (en) * | 2005-09-30 | 2011-03-01 | Nxp B.V. | Oscillator based on piezoresistive resonators |
WO2008146244A1 (en) * | 2007-06-01 | 2008-12-04 | Nxp B.V. | Mems resonators |
WO2008149298A1 (en) * | 2007-06-04 | 2008-12-11 | Nxp B.V. | Pressure gauge |
US8686714B2 (en) | 2008-08-08 | 2014-04-01 | Nxp, B.V. | Electromechanical transducer and a method of providing an electromechanical transducer |
CN102177654B (zh) * | 2008-10-08 | 2015-11-25 | Nxp股份有限公司 | 振荡器器件 |
EP2282404A1 (en) * | 2009-08-03 | 2011-02-09 | Nxp B.V. | Frequency selection and amplifying device |
US8816567B2 (en) | 2011-07-19 | 2014-08-26 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Piezoelectric laterally vibrating resonator structure geometries for spurious frequency suppression |
TWI519066B (zh) * | 2012-06-28 | 2016-01-21 | 清華大學 | 微機電共振器及其訊號處理方法以及製造方法 |
CN113114106A (zh) * | 2021-04-21 | 2021-07-13 | 中国科学院半导体研究所 | 基于压阻检测的谐振器单元及系统 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004053431A2 (en) * | 2002-12-10 | 2004-06-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Transducer and electronic device |
US6894586B2 (en) * | 2003-05-21 | 2005-05-17 | The Regents Of The University Of California | Radial bulk annular resonator using MEMS technology |
US7898148B2 (en) * | 2005-09-30 | 2011-03-01 | Nxp B.V. | Oscillator based on piezoresistive resonators |
-
2006
- 2006-09-21 JP JP2008532929A patent/JP2009510878A/ja not_active Withdrawn
- 2006-09-21 CN CN200680035650.3A patent/CN101273521B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-09-21 WO PCT/IB2006/053413 patent/WO2007036852A1/en active Application Filing
- 2006-09-21 US US12/088,722 patent/US7750745B2/en active Active
- 2006-09-21 EP EP06809369A patent/EP1935088A1/en not_active Withdrawn
- 2006-09-27 TW TW095135808A patent/TW200729709A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1935088A1 (en) | 2008-06-25 |
WO2007036852A1 (en) | 2007-04-05 |
US7750745B2 (en) | 2010-07-06 |
CN101273521B (zh) | 2012-07-25 |
US20080231385A1 (en) | 2008-09-25 |
CN101273521A (zh) | 2008-09-24 |
TW200729709A (en) | 2007-08-01 |
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---|---|---|---|
A761 | Written withdrawal of application |
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