JP6212343B2 - 共振回路及び発振回路 - Google Patents

Description

本発明は、共振回路及び発振回路に関するものである。

従来、共振周波数が異なる複数の水晶振動子を用いることにより、単一の水晶振動子で調整可能な周波数範囲よりも広い周波数範囲で発振周波数を調整できる反共振回路が知られている（例えば、特許文献１を参照）。

図７は、従来の反共振回路４００の構成例を示す。図７において、反共振回路４００は、交流信号源４３０の出力抵抗４４０と負荷抵抗４５０とに接続されている。

反共振回路４００は、出力抵抗４４０と負荷抵抗４５０との間における異なる経路に接続された水晶振動子４１１及び水晶振動子４２１を備える。水晶振動子４１１が接続された第１の経路には、減衰器４１２、インダクタ４１３及びキャパシタ４１４が直列に設けられている。水晶振動子４１１は、インダクタ４１３とキャパシタ４１４との接続点とグランドとに接続されている。同様に、水晶振動子４２１が接続された第２の経路には、減衰器４２２、インダクタ４２３及びキャパシタ４２４が直列に設けられている。水晶振動子４２１は、インダクタ４２３とキャパシタ４２４との接続点とグランドとに接続されている。

水晶振動子４１１及び水晶振動子４２１は、それぞれ異なる共振周波数を有しており、キャパシタ４１４及びキャパシタ４２４を介して互いに接続されている。これにより、反共振回路４００は、水晶振動子４１１の共振周波数と水晶振動子４２１の共振周波数との間の周波数において共振する。減衰器４１２及び減衰器４２２の減衰率を変化させることにより、反共振回路４００の反共振周波数が変化する。

特開２００７−２９５２５６号公報

ところで、水晶振動子、ＭＥＭＳ（Micro-Electro-Mechanical Systems）振動子等の高いＱを有する共振子の共振周波数は、ｆ_Ｌ＝（１／２π）√｛（Ｃ_１＋Ｃ_Ｌ）／Ｌ_１Ｃ_１Ｃ_Ｌ｝で表される。ここで、Ｃ_１は振動子の等価回路のモーショナルキャパシタンス、Ｃ_Ｌは負荷容量、Ｌ_１は振動子の直列インダクタンスである。

Ｃ_１が比較的小さいＭＥＭＳ振動子を用いた発振回路においては、振動子に印加するバイアス電圧を調整することによって周波数の調整が行われる。しかし、集積回路や個別部品において実現できる数ｐＦオーダーの容量値に対してＣ_１が非常に小さい振動子を発振回路に用いた場合は、Ｃ_Ｌ＞＞Ｃ_１の関係に基づいてｆ_Ｌ＝（１／２π）√（１／Ｌ_１Ｃ_１）と近似できるので、共振周波数は、振動子が有するＬ_１及びＣ_１に基づいて定められる。したがって、上記の振動子を発振回路に用いる場合には、振動子の共振周波数の温度特性が、そのまま発振周波数の温度特性に反映されてしまう。

特に、ＭＥＭＳ振動子の共振周波数の温度特性は−３０ｐｐｍ／℃程度であり、温度変化に対する周波数変化範囲が比較的大きい。したがって、ＭＥＭＳ振動子を用いた発振回路においては、バイアス電圧を調整するだけでは、温度変化を相殺して安定した発振周波数を得ることが困難である。

図７に示した反共振回路４００においては、単一のＭＥＭＳ振動子のバイアス電圧を調整する場合よりも広い周波数範囲で反共振周波数を変化させることができる。しかし、反共振回路４００において、反共振周波数におけるＱの値を発振回路に用いることができる程度に大きな値にするために、インダクタ４１３及びインダクタ４２３のインダクタンス値を十分に大きな値にしなければならなかった。具体的には、特許文献１においては、インダクタ４１３及びインダクタ４２３のインダクタンス値として２７μＨが例示されている。

しかし、インダクタは、温度変化に応じてインダクタンス値が大きく変化する。また、振動子のばらつきに応じてインダクタンス値を調整することも困難である。したがって、インダクタを用いた共振回路においては、安定した発振周波数の発振信号を得ることができなかった。さらに、μＨオーダーのインダクタンス値を有するインダクタは、集積回路に内蔵することが困難であった。したがって、従来の反共振回路４００を用いて、安定した発振周波数の発振信号を得られる発振回路を、低コストで量産することができなかった。

そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、振動子の共振周波数と異なる周波数で共振させることができる共振回路及び発振回路を提供することを目的とする。

本発明の第１の実施態様に係る共振回路は、第１共振周波数で共振する第１振動子及び第２振動子と、入力された不平衡信号を第１平衡信号に変換し、前記第１振動子と前記第２振動子との間で前記第１平衡信号を入出力する第１変換部と、を有する第１振動部と、前記第１共振周波数と異なる第２共振周波数で共振する第３振動子及び第４振動子と、前記不平衡信号を第２平衡信号に変換し、前記第３振動子と前記第４振動子との間で前記第２平衡信号を入出力する第２変換部と、を有し、前記第１振動部と並列に接続された第２振動部と、前記第１振動子、前記第２振動子、前記第３振動子及び前記第４振動子の等価回路定数を調整する調整部と、を備える。

前記調整部は、例えば、前記第１振動子、前記第２振動子、前記第３振動子及び前記第４振動子に印加する直流電圧を変化させることにより、前記等価回路定数を調整する。また、前記第１振動子、前記第２振動子、前記第３振動子及び前記第４振動子は、例えば、静電駆動型ＭＥＭＳ振動子である。

前記第１振動子は、例えば、入力の振動位相及び出力の振動位相が同相であり、前記第２振動子は、入力の振動位相及び出力の振動位相が逆相である。前記第１振動子及び前記第２振動子は、容量が等しい等価並列容量をそれぞれ有し、前記第３振動子及び前記第４振動子は、容量が等しい等価並列容量をそれぞれ有してもよい。

本発明の第２の実施態様に係る発振回路は、上記の共振回路と、前記共振回路の入出力間に設けられた増幅回路と、を備える。

本発明に係る発振回路によれば、振動子の共振周波数と異なる周波数で共振させることができるという効果を奏する。

第１の実施形態に係る共振回路の構成を示す。 第１の実施形態に係る第１振動部の等価回路を示す。 第１の実施形態に係る振動子の利得の周波数特性の一例を示す。 第１の実施形態に係る振動部の利得の周波数特性の一例を示す。 第１の実施形態に係る共振回路の利得の周波数特性の一例を示す。 第２の実施形態に係る発振回路の構成例を示す。 第２の実施形態に係る発振回路の利得の周波数特性の一例を示す。 従来の発振回路の構成例を示す。

＜第１の実施形態＞

［共振回路１の構成］
図１は、第１の実施形態に係る共振回路１の構成を示す図である。共振回路１は、第１振動部１０と、第２振動部２０と、調整部３０と、入力端子４０と、出力端子５０とを備える。

第１振動部１０は、第１振動子１１、第２振動子１２及び第１変換部１３を有する。第１振動子１１及び第２振動子１２は、第１共振周波数ｆｒ_１で共振する。第１振動子１１及び第２振動子１２は、例えば、複数の電極の内側に円盤状の振動体が設けられており、ワイングラスモードで振動する静電駆動型ＭＥＭＳ振動子である。

第１振動子１１は、複数の電極１１０（電極１１０ａ、電極１１０ｂ、電極１１０ｃ、電極１１０ｄ）を有する。また、第１振動子１１は、複数の電極１１０の内側に設けられた振動体１１１を有する。第１振動子１１においては、電極１１０ａに印加された高周波電圧に応じて、振動体１１１が所定の周波数で振動し、共振信号が電極１１０ｂ、電極１１０ｃ及び電極１１０ｄから出力される。

同様に、第２振動子１２は、複数の電極１２０（電極１２０ａ、電極１２０ｂ、電極１２０ｃ、電極１２０ｄ）を有する。また、第２振動子１２は、複数の電極１２０の内側に設けられた振動体１２１を有する。第２振動子１２においては、電極１２０ａに印加された高周波電圧に応じて、振動体１２１が所定の周波数で振動し、共振信号が電極１２０ｂ、電極１２０ｃ及び電極１２０ｄから出力される。

第１振動子１１の４つの電極のうち、互いに隣接する電極からは、互いに逆位相の共振信号が出力され、互いに対向する電極からは、互いに同位相の共振信号が出力される。図１においては、電極１１０ａに入力される信号と同位相の共振信号が出力される電極１１０ｃ、及び電極１２０ａに入力される信号と逆位相の共振信号が出力される電極１２０ｂが、出力端子５０に接続されている。すなわち、第１振動子１１は、入力の振動位相と出力の振動位相とが同相であり、第２振動子１２は、入力の振動位相と出力の振動位相とが逆相である。

第１変換部１３は、入力された不平衡信号を第１平衡信号に変換し、第１振動子１１と第２振動子１２との間で第１平衡電流を入出力する。具体的には、第１変換部１３は、入力側が入力端子４０に接続されており、グランドを基準電位とする不平衡信号の入力を受ける。第１変換部１３は、出力側が第１振動子１１及び第２振動子１２に接続されている。第１変換部１３の正側端子は電極１１０ａに接続されており、負側端子は電極１２０ａに接続されている。第１変換部１３の正側端子から出力された電流は、電極１１０ａ、電極１１０ｃ、電極１２０ｂ及び電極１２０ａを介して、第１変換部１３の負側端子に入力される。

第２振動部２０は、入力端子４０と出力端子５０との間で、第１振動部１０と並列に接続されている。第２振動部２０は、第３振動子２１、第４振動子２２及び第２変換部２３を有する。第３振動子２１及び第４振動子２２は、第１共振周波数と異なる第２共振周波数ｆｒ_２で共振する。第３振動子２１及び第４振動子２２は、第１振動子１１及び第２振動子１２と同様に、例えば、複数の電極の内側に円盤状の振動体が設けられており、ワイングラスモードで振動するＭＥＭＳ振動子である。第２変換部２３は、不平衡信号を第２平衡信号に変換し、第３振動子２１及び第４振動子２２との間で第２平衡電流を入出力する。本実施形態において、第１振動部１０及び第２振動部２０は、共振周波数が異なる以外の点では、同等の構成を有する。

調整部３０は、第１振動子１１、第２振動子１２、第３振動子２１及び第４振動子２２の等価回路定数を調整する。具体的には、調整部３０は、第１振動子１１、第２振動子１２、第３振動子２１及び第４振動子２２のそれぞれに直流の静電駆動電圧を印加する。第１振動子１１、第２振動子１２、第３振動子２１及び第４振動子２２のそれぞれは、静電駆動電圧が印加されると、等価回路定数が変化する。調整部３０は、第１振動子１１及び第２振動子１２に、同一の静電駆動電圧Ｖｐ１を印加し、第３振動子２１及び第４振動子２２に、静電駆動電圧Ｖｐ２を印加する。

静電駆動電圧が大きくなると、第１振動子１１、第２振動子１２、第３振動子２１及び第４振動子２２の等価直列キャパシタンスが大きくなり、等価直列抵抗及び等価直列インダクタンスが小さくなる。具体的には、静電駆動電圧がｎ倍になると、等価直列キャパシタンスは約ｎ^２倍になり、等価直列抵抗は約１／ｎ^２になる。したがって、調整部３０が出力する静電駆動電圧に応じて、第１振動子１１、第２振動子１２、第３振動子２１及び第４振動子２２のそれぞれが有する等価直列キャパシタンス、等価直列抵抗及び等価直列インダクタンスを変化させることができる。

静電駆動電圧を変化させても、第１振動子１１、第２振動子１２、第３振動子２１及び第４振動子２２のそれぞれの単体の共振周波数はほとんど変化しない。しかし、共振回路１においては第１振動部１０と第２振動部２０とが互いに並列に接続されているので、調整部３０が、第１振動子１１及び第２振動子１２に印加する静電駆動電圧と、第３振動子２１及び第４振動子２２に印加する静電駆動電圧とを変化させることで、共振回路１の反共振周波数は、第１共振周波数と第２共振周波数との間で変化する。

図２は、第１の実施形態に係る第１振動部１０の等価回路図である。第２振動部２０の等価回路図も同様である。第１変換部１３は、第１振動子１１に電流を流す電流源１３１、及び第２振動子１２から電流を引き込む電流源１３２を有する。
第１振動子１１は、等価並列キャパシタ１１２、等価直列抵抗１１３、等価直列インダクタ１１４、等価直列キャパシタ１１５、及びトランス１１６を有する。トランス１１６は、結合係数が−１である。等価並列キャパシタ１１２は、等価直列抵抗１１３の一端と、トランス１１６の一端とに接続されている。

同様に、第２振動子１２は、等価並列キャパシタ１２２、等価直列抵抗１２３、等価直列インダクタ１２４、等価直列キャパシタ１２５、及びトランス１２６を有する。第２振動子１２は、第１振動子１１と逆相で振動するので、トランス１２６の結合係数が１である点で、トランス１１６と異なる。等価並列キャパシタ１２２は、等価直列抵抗１２３の一端と、トランス１２６の一端とに接続されている。

ここで、等価並列キャパシタ１１２の容量は、等価並列キャパシタ１２２の容量と等しい。第１振動子１１の振動位相と第２振動子１２の振動位相とが逆相なので、図２においては、電流源１３１が出力した電流が、第１振動子１１及び第２振動子１２を介して電流源１３２へと流れ、等価並列キャパシタ１１２による作用と等価並列キャパシタ１２２による作用とが打ち消し合う。その結果、等価並列キャパシタ１１２及び等価並列キャパシタ１２２が、第１振動部１０の周波数特性に影響しない。

他方、等価直列抵抗１１３、等価直列インダクタ１１４及び等価直列キャパシタ１１５から構成される第１直列アーム、並びに、等価直列抵抗１２３、等価直列インダクタ１２４及び等価直列キャパシタ１２５から構成される第２直列アームは、互いに逆相で駆動される。しかし、トランス１１６の極性とトランス１２６の極性とが逆になっているので、第１直列アームを流れる電流と第２直列アームを流れる電流とが打ち消し合うことなく、第１直列アームを流れる電流と第２直列アームを流れる電流とを加算した電流が、出力端子５０へと出力される。

上述のとおり、調整部３０が出力する静電駆動電圧により、等価直列抵抗１１３、等価直列インダクタ１１４及び等価直列キャパシタ１１５、並びに等価直列抵抗１２３、等価直列インダクタ１２４及び等価直列キャパシタ１２５の電気的特性が変化するので、静電駆動電圧に応じて、各周波数において第１直列アームを流れる電流と第２直列アームを流れる電流とが変化する。その結果、静電駆動電圧に応じて、各周波数において第１振動部１０から出力される電流も変化する。

第２振動部２０も、第１振動部１０と同等の特性を有し、第３振動子２１及び第４振動子２２は、容量が等しい等価並列容量をそれぞれ有する。そして、第３振動子２１及び第４振動子２２は、それぞれ逆の位相で振動する。したがって、調整部３０から出力される静電駆動電圧に応じて、各周波数において第２振動部２０から出力される電流が変化する。その結果、静電駆動電圧に応じて、各周波数において第１振動部１０から出力される電流と第２振動部２０から出力される電流との比が変化することで、共振回路１の反共振周波数が変化する。

図３Ａは、第１振動部１０及び第２振動部２０に用いられる振動子単体での利得の周波数特性例である。具体的には、第２振動子１２、並びに第４振動子２２の利得の周波数特性を示す図である。図３Ｂは、第１振動部１０及び第２振動部２０の利得の周波数特性を示す図である。図３Ａにおける実線は第２振動子１２の周波数特性、点線は第４振動子２２の周波数特性を示す。第２振動子１２及び第４振動子２２の利得の周波数特性には、利得が大きくなる共振点と利得が小さくなる反共振点（減衰ノッチ）が存在することがわかる。

第２振動子１２の共振周波数ｆｒ_１は約５１．９０ＭＨｚであり、反共振周波数ｆａ_１は約５１．９１ＭＨｚである。また、第４振動子２２の共振周波数ｆｒ_２は約５２．１０ＭＨｚであり、反共振周波数ｆｒ_２は、約５２．１１ＭＨｚである。すなわち、第２振動子１２及び第４振動子２２の共振周波数と反共振周波数との関係は、ｆｒ_１＜ｆａ_１＜ｆｒ_２＜ｆａ_２である。

図３Ｂにおける実線は第１振動部１０の周波数特性、点線は第２振動部２０の周波数特性である。第１振動部１０の共振周波数は、第１振動子１１及び第２振動子１２の共振周波数ｆｒ_１に等しく、第２振動部２０の共振周波数は、第３振動子２１及び第４振動子２２の共振周波数ｆｒ_２に等しいことがわかる。また、上述のとおり、等価並列キャパシタ１１２による作用と等価並列キャパシタ１２２による作用とが打ち消し合うことにより、第１振動部１０及び第２振動部２０の周波数特性においては、反共振点が存在しないことがわかる。

図４は、第１振動部１０及び第２振動部２０に印加する静電駆動電圧を変化させた場合の、共振回路１の利得の周波数特性を示す図である。第１振動部１０に印加する静電駆動電圧をＶｐ１、第２振動部２０に印加する静電駆動電圧をＶｐ２とすると、図４は、左から順に、（ａ）Ｖｐ１＝３Ｖ、Ｖｐ２＝１０Ｖ、（ｂ）Ｖｐ１＝５Ｖ、Ｖｐ２＝１０Ｖ、（ｃ）Ｖｐ１＝７Ｖ、Ｖｐ２＝１０Ｖ、（ｄ）Ｖｐ１＝１０Ｖ、Ｖｐ２＝１０Ｖ、（ｅ）Ｖｐ１＝１０Ｖ、Ｖｐ２＝７Ｖ、（ｆ）Ｖｐ１＝１０Ｖ、Ｖｐ２＝５Ｖ、（ｇ）Ｖｐ１＝１０Ｖ、Ｖｐ２＝３Ｖの場合の周波数特性を示している。

共振回路１においては、第１振動部１０及び第２振動部２０が並列接続されているので、減衰ノッチが生じている。Ｖｐ１＝Ｖｐ２の場合には、共振回路１の減衰ノッチが、第１振動部１０の共振周波数ｆｒ_１と第２振動部２０の共振周波数ｆｒ_２との中間の周波数に生じていることがわかる。また、Ｖｐ１＜Ｖｐ２の場合には、共振回路１の減衰ノッチが、第１振動部１０の共振周波数ｆｒ_１に近い周波数に生じていることがわかる。また、Ｖｐ１＞Ｖｐ２の場合には、共振回路１の減衰ノッチが、第２振動部２０の共振周波数ｆｒ_２に近い周波数に生じていることがわかる。

［第１の実施形態における効果］
以上のとおり、第１の実施形態に係る共振回路１によれば、第１振動部１０及び第２振動部２０においては、互いに逆相で振動する複数のＭＥＭＳ振動子が並列接続されているので、複数のＭＥＭＳ振動子の等価並列キャパシタンスが打ち消される。したがって、第１振動部１０及び第２振動部２０のそれぞれが有するＭＥＭＳ振動子に印加する静電駆動電圧を変化させることで、共振回路１の減衰ノッチが生じる周波数を、第１振動部１０の共振周波数と第２振動部２０の共振周波数との間で変化させることが可能になる。

特に、共振回路１においては、集積回路に内蔵することが困難な素子を使用することなく、ＭＥＭＳ振動子に印加する静電駆動電圧を変化させることで減衰ノッチが生じる周波数を変化させることができる。したがって、周波数を柔軟に変化させることができる共振回路の小型化を実現できるという効果を奏する。

＜第２の実施形態＞
図５は、第２の実施形態に係る発振回路１００の構成を示す図である。発振回路１００は、第１の実施形態に係る共振回路１を含む負帰還回路２と、共振回路１の入出力間に設けられた増幅回路３と、を備える。

負帰還回路２は、共振回路１と、ゲイン調整部６０と、共振回路１及びゲイン調整部６０と並列に設けられた抵抗７０とを有する。ゲイン調整部６０は、例えば、増幅回路３のゲインを補完する増幅器である。負帰還回路２は、増幅回路３の出力信号を負帰還することにより、共振回路１の共振周波数の発振信号を増幅回路３から出力させる。

増幅回路３は、演算増幅器８０及び抵抗９０を有する。増幅回路３は、負帰還回路２からの負帰還を受けて、共振回路１の共振周波数の信号を増幅することにより、発振信号を出力する。

図６は、第１振動部１０及び第２振動部２０に印加する静電駆動電圧を変化させた場合の、発振回路１００の利得の周波数特性を示す図である。第１振動部１０に印加する静電駆動電圧をＶｐ１、第２振動部２０に印加する静電駆動電圧をＶｐ２とすると、図６は、左から順に、（ａ）Ｖｐ１＝３Ｖ、Ｖｐ２＝１０Ｖ、（ｂ）Ｖｐ１＝５Ｖ、Ｖｐ２＝１０Ｖ、（ｃ）Ｖｐ１＝７Ｖ、Ｖｐ２＝１０Ｖ、（ｄ）Ｖｐ１＝１０Ｖ、Ｖｐ２＝１０Ｖ、（ｅ）Ｖｐ１＝１０Ｖ、Ｖｐ２＝７Ｖ、（ｆ）Ｖｐ１＝１０Ｖ、Ｖｐ２＝５Ｖ、（ｇ）Ｖｐ１＝１０Ｖ、Ｖｐ２＝３Ｖの場合を示している。

Ｖｐ１＝Ｖｐ２の場合には、発振回路１００の発振周波数が、第１振動部１０の共振周波数と第２振動部２０の共振周波数との中間の周波数になることがわかる。また、Ｖｐ１＜Ｖｐ２の場合には、発振回路１００の発振周波数が、第１振動部１０の共振周波数に近い周波数になることがわかる。また、Ｖｐ１＞Ｖｐ２の場合には、発振回路１００の発振周波数が、第２振動部２０の共振周波数に近い周波数になることがわかる。

［第２の実施形態における効果］
以上のとおり、第２の実施形態に係る発振回路１００によれば、第１振動部１０及び第２振動部２０のそれぞれが有するＭＥＭＳ振動子に印加する静電駆動電圧を変化させることで、発振回路２の発振周波数を、第１振動部１０の共振周波数と第２振動部２０の共振周波数との間で変化させることが可能になる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

１・・・共振回路、２・・・負帰還回路、３・・・増幅回路、１０・・・第１振動部、１１・・・第１振動子、１２・・・第２振動子、１３・・・第１変換部、２０・・・第２振動部、２１・・・第３振動子、２２・・・第４振動子、２３・・・第２変換部、３０・・・調整部、４０・・・入力端子、５０・・・出力端子、６０・・・ゲイン調整部、７０・・・抵抗、８０・・・演算増幅器、９０・・・抵抗、１００・・・発振回路、１１０・・・電極、１１１・・・振動体、１１２・・・等価並列キャパシタ、１１３・・・等価直列抵抗、１１４・・・等価直列インダクタ、１１５・・・等価直列キャパシタ、１１６・・・トランス、１２０・・・電極、１２１・・・振動体、１２２・・・等価並列キャパシタ、１２３・・・等価直列抵抗、１２４・・・等価直列インダクタ、１２５・・・等価直列キャパシタ、１２６・・・トランス、１３１・・・電流源、１３２・・・電流源、４００・・・反共振回路、４１１・・・水晶振動子、４１２・・・減衰器、４１３・・・インダクタ、４１４・・・キャパシタ、４２１・・・水晶振動子、４２２・・・減衰器、４２３・・・インダクタ、４２４・・・キャパシタ、４３０・・・交流信号源、４４０・・・出力抵抗、４５０・・・負荷抵抗

Claims (5)

1. グランドを基準とする不平衡信号の入力を受ける入力端子と、
   第１共振周波数で共振する、入力の振動位相と出力の振動位相とが同相の第１振動子及び入力の振動位相と出力の振動位相とが逆相の第２振動子と、
   前記入力端子に入力された前記不平衡信号を第１平衡信号に変換し、前記第１平衡信号に基づく電流を前記第１振動子に出力し、前記第１平衡信号に基づく電流を前記第２振動子から受ける第１変換部と、
   を有する第１振動部と、
   前記第１共振周波数と異なる第２共振周波数で共振する、入力の振動位相と出力の振動位相とが同相の第３振動子及び入力の振動位相と出力の振動位相とが逆相の第４振動子と、
   前記不平衡信号を第２平衡信号に変換し、前記第２平衡信号に基づく電流を前記第３振動子に入力し、前記第２平衡信号に基づく電流を前記第４振動子から受ける第２変換部と、
   を有し、前記第１振動部と並列に接続された第２振動部と、
   前記第１振動子、前記第２振動子、前記第３振動子及び前記第４振動子の等価回路定数を調整する調整部と、
   前記第１振動子、前記第２振動子、前記第３振動子及び前記第４振動子のそれぞれから出力される共振信号を出力する出力端子と、
   を備える共振回路。
2. 前記調整部は、前記第１振動子、前記第２振動子、前記第３振動子及び前記第４振動子に印加する直流電圧を変化させることにより、前記等価回路定数を調整する、
   請求項１に記載の共振回路。
3. 前記第１振動子、前記第２振動子、前記第３振動子及び前記第４振動子は、静電駆動型ＭＥＭＳ振動子である、
   請求項２に記載の共振回路。
4. 前記第１振動子及び前記第２振動子は、容量が等しい等価並列容量をそれぞれ有し、
   前記第３振動子及び前記第４振動子は、容量が等しい等価並列容量をそれぞれ有する、
   請求項１から３のいずれか１項に記載の共振回路。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載の共振回路と、
   前記共振回路の入出力間に設けられた増幅回路と、
   を備える発振回路。