KR0149531B1 - 서보 실린더장치 - Google Patents

서보 실린더장치

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KR0149531B1
KR0149531B1 KR1019940026135A KR19940026135A KR0149531B1 KR 0149531 B1 KR0149531 B1 KR 0149531B1 KR 1019940026135 A KR1019940026135 A KR 1019940026135A KR 19940026135 A KR19940026135 A KR 19940026135A KR 0149531 B1 KR0149531 B1 KR 0149531B1
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cylinder
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ball screw
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유키오 데라오
히로미치 가지카와
가오루 스즈키
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다카다 요시유키
에스엠씨 가부시키가이샤
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    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/26—Locking mechanisms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
    • B23Q5/36—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission in which a servomotor forms an essential element

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Abstract

압축공기는 실린더챔버(64)내로 유입되어 피스톤(20)을 목표위치에 근접하게 변위시킨다.
그다음, 볼스크루축(22)은 전기모터(26)에 의해 그 축선에 대하여 회전되어 피스톤(20을 목표위치로 조금씩 움직인다.
피스톤(20)이 목표위치에 도달하면, 볼스크루축(22)은 브레이크 메카니즘에 의해 정지되어 피스톤(20)을 목표위치에 정확하게 유지시킨다. 전기모터(26)의 구동축(28)은 볼스크루축(22)에 평행하게 뻗어서, 서보 실린더장치(10)의 전체길이를 단축시킨다.
압축공기를 실린더챔버(864) 및 브레이크 메카니즘으로 공급하는 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14,34)는 실린더 조립체에 일체로 연결되어 피스톤(20)이 신속하고 정확하게 변위되고 정지되게 하기 위하여 파이프가 짧아지도록 한다.

Description

서보 실린더장치
제1도는 본 발명의 실시예 1에 따른 서보 실린더장치의 유압회로 배열의 회로도.
제2도는 실시예 1에 따른 서보 실린더장치의 실린더 조립체의 사시도.
제3도는 실시예 1에 따른 서보 실린더장치의 실린더 조립체의 부분 단면도.
제4도는 실시예 1에 따른 서보 실린더장치의 실린더 조립체의 피스톤 및 결합된 부품의 일부확대 단면도.
제5도는 실시예 1에 따른 서보 실린더장치의 실린더 조립체의 디스크 브레이크 메카니즘 및 결합된 부품의 일부 확대 단면도.
제6도는 실시예 1에 따른 서보 실린더 장치의 연속작동의 타이밍 챠트.
제7도는 본 발명의 실시예 2에 따른 서보 실린더장치의 실린더 조립체의 부분 단면도.
제8도는 본 발명의 실시예 3에 따른 서보 실린더장치의 유압회로 배열의 회로도.
제9도는 실시예 3에 따른 서보 실린더장치의 실린더 조립체의 부분 단면도.
제10도는 실시예 3에 따른 서보 실린더장치의 연속작동의 타이밍 챠트.
[발명의 배경]
[발명의 분야]
본 발명은 압축유체와 소형모터에 의해 피스톤을 변위시킴으로써 이 피스톤을 원하는 위치에 정확하게 정지시키는 실린더에 관한 것이며, 보다 상세히는 피스톤을 정확하게 제어하기 위하여 밸브가 이러한 실린더에 일체로 정착되는 서보 실린더장치에 관한 것이다.
[관련기술에 대한 설명]
지금까지는 실린더의 피스톤 로드의 말단 끝에 고정되는 테이블상의 공작물을 변위 시키는 액츄에이터가 알려져 왔다. 어떤 액츄에이터 구조물은 공압하에서 축선방향으로 변위시키기 위하여 실린더 챔버내에 둘러싸여지는 피스톤에 연결된 피스톤로드를 가지고 있다. 다른 한 액츄에이터 설계에 의하면, 피스톤로드는 피스톤로드를 변위시키기 위하여 전기모터 등에 의해 회전되는 볼스크루에 연결되어 있다.
전자의 액츄에이터 구조물은 큰 출력을 발생시킬 수 있으므로 무거운 공작물을 변위시킬 수 있다. 그러나, 공기가 압축가능한 유체이므로 공작물을 정확하게 위치시키는 것은 곤란하다.
후자의 액츄에이터 설계는 전기모터가 전기적으로 제어되므로 공작물을 정확한 위치에 정지시킬 수 있다. 그러나, 무거운 공작물이 반송되어 위치된다면, 큰 출력을 발생시킬 수 있는 전기모터를 사용하는 것이 필요하며, 이러한 전기모터는 필연적으로 부피가 크다.
상시 종래의 액츄에이터의 결점을 고려하여, 압력하에서 가공물이 정지될 위치 부근의 영역으로 공작물을 반송하는 실린더와, 이 영역으로부터 공작물을 이동시켜 제위치에 정확하게 정시시키는 전기모터를 갖춘 하이드리드형 액츄에이터 시스템이 제안되었다.
사용되는 전기모터가 소형으로 될 수 있으므로, 이 제안된 하이브리드형 액츄에이터 시스템도 또한 소형으로 될 수 있다. 제안된 하이브리드형 액츄에이터 시스템은 공작물을 원하는 위치에 정확하게 정지시킬 수 있다는 점에서도 유리한다.
이 제안된 하이브리드형 액츄에이터 시스템은 공압을 실린더로 공급하고 실린더로부터 방출하기 위하여 유체통로내에 배치된 솔레노이드 작동식 방향제어밸브를 가진다.
공작물을 정지시키기 위한 브레이크 메카니즘이 또한 공압하에서 작동된다면, 이 브레이크 메카니즘은 솔레노이드 작동식 방향제어 밸브와 합체된다. 실린더와 그 솔레노이드 작동식 방향제어밸브 사이의 간격 또는 브레이크 메카니즘과 그 솔레노이드 작동식 방향제어밸브 사이의 간격이 증가함에 따라, 공압작용이 솔레노이드 작동식 방향제어밸브로부터 실린더 또는 브레이크 메카니즘에 도달하는데 걸리는 시간도 또한 증가된다.
이 증가된 간격은 실린더 또는 브레이크 메카니즘에 과도하게 긴 응답시간을 유발한다. 브레이크 메카니즘이 긴 응답시간을 가진다면, 피스톤이 제동되는데에 비교적 긴 시간주기를 가지며, 피스톤이 브레이크 메카니즘에 의해 정지되는데 있어 정확도가 더 낮게 되는 경향이 있다. 다른 하나의 문제점은 실린더, 브레이크 메카니즘과 그 솔레노이드 작동식 방향제어밸브 사이에 연결된 배관시스템이 복잡하다는 것이다.
액츄에이터 시스템의 피스톤이 수직방향으로 조작되는 경우에, 액츄에이터에 의해 반송되는 공작물은 정전시 또는 유압공급 중단시 갑자기 떨어질 수 있다.
이 액츄에이터 시스템에서, 전기모터는 볼스크루에 직접 연결된다. 그래서 피스톤 로드에 연결된 피스톤로드, 볼스크루 및 전기모터의 구동축은 상호간에 연속하여 연결된다. 이러한 연속하여 연결된 축배열은 액츄에이터 시스템이 설치조건에 있어서 너무나 긴 축선방향 치수를 가지다는 점에서 불리하다.
[발명의 개요]
따라서, 본 발명의 목적은 실린더 및 브레이트 메카니즘의 응답시간을 단축하기 위하여 솔레노이드 작동식 방향제어밸브와 실린더 및 브레이크 메카니즘을 상호 연결시켜 단순화된 배관이 되는 비교적 짧은 파이프를 갖추고 있는 서보 실린더장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 하나의 목적은 정전시 또는 유압공급 중단시 공작물을 본래위치에 유지시킬 수 있는 비교적 단순한 브레이크 메타니즘을 갖는 서보 실린더 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 하나의 목적은 제한된 축선방향 치수를 가지며 공작물을 매우 정확하게 위치시킬 수 있는 서보 실린더장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 이루기 위하여, 본 발명에 따라 실린더 조립체내에 형성된 실린더 챔버에 변위가능하게 배치된 피스톤, 피스톤에 고정된 한끝과 실린더 챔버의 외부에 노출된 반대끝을 갖춘 피스톤로드, 실린더챔버에 유압을 공급하는 압력공급수단, 피스톤과 맞물리는 볼스크루축, 볼스크루축에 연결된 전기모터, 및 피스톤을 설정위치에 유지시키기 위하여 볼스크루축이 회전하지 않도록 제동하는 브레이크 수단을 갖추고 있으며, 이 피스톤은 실린더챔버에 공급된 유압하에서 목표위치에 근접하게 변위되로록 배열되며, 그에 따라 볼스크루축은 전기모터에 의해 회전되어 피스톤을 목표위치로 조금씩 움직이며, 피스톤이 목표위치에 도달하면 볼스크루축은 브레이크 수단에 의하여 회전하지 않도록 제동되어 피스톤을 목표위치에 정지시키는 서보 실린더장치에 있어서, 전기모터는 볼스크루축에 평행하게 뻗어있는 구동축을 갖추고 있으며, 제1회전수단은 볼스크루축의 한 끝에 연결되며, 제2회전수단은 구동축에 연결되며, 회전전단수단은 제1 및 제2회전수단 사이에 연결되는 것을 특징으로 하는 서보 실린더장치가 제공된다.
제1 및 제2회전수단은 풀리를 각각 포함할 수 있으며, 회전전달수단은 풀리의 둘레에 걸린 타이밍밸트를 포함할 수 있다.
브레이크수단은 유압을 가함에 따라 볼스크루축을 해제하고 유압을 제거함에 따라 볼스크루축을 제동하는 브레이크 메카니즘, 및 작동신호에 따라 브레이크 메카니즘에 유압공급을 연결하여 유압을 가하며 비작동신호에 따라 브레이크 메카니즘으로부터 유압을 제거하는 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어밸브를 포함하며, 이 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어밸브는 실린더 조립체에 일체로 장착된다.
브레이크 메카니즘은 볼스크루축의 둘레에 배치된 디스크, 볼수크루축의 둘레에 배치된 브레이크 실린더, 불스크룩의 둘레에 배치되어 브레이크 실린더내에서 공급된 유압하에 변위되는 브레이크 피스톤, 및 브레이크 피스톤을 디스크에 대하여 눌러지도록 수직으로 가압하는 탄성수단을 포함할 수 있으며, 유압이 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어 밸브로부터 브레이크 실린더에 공급될 때 브레이크 피스톤이 탄성부재의 가압에 대하여 디스크로부터 이격될 수 있도록 배열된다.
압력공급수단은 유압을 실린더챔버의 로드측 챔버에 공급하는 솔레노이드 작동식 방향제어밸브, 및 로드측 챔버와 솔레노이드 작동식 방향제어밸브를 상호연결하는 유체통로를 포함할 수 있다.
압력공급수단은 유압을 피스톤 로드로부터 떨어진 실린더 챔버의 헤드측 챔버에 공급하는 솔레노이드 작동식 방향제어밸브, 및 헤드측 챔버와 솔레노이드 작동식 방향제어밸브를 상호연결하는 유체통로를 또한 포함하고 있다.
선택적으로, 압력공급수단은 유압을 실린더 챔버의 로드측 챔버로 공급하는 제1솔레노이드 작동식 방향제어밸브, 로드측 챔버와 제1솔레노이드 작동식 방향제어밸브를 상호연결하는 제1유체통로, 유압을 로드측 챔버로부터 떨어진 실린더챔버의 헤드측 챔버에 공급하는 제2솔레노이드 작동식 방향제어밸브, 및 헤드측 챔버와 제2솔레노이드 작동식 방향제어밸브를 상호연결하는 유체통로를 포함할 수 있으며, 제1 및 제2솔레노이드 작동식 방향제어밸브는 실린더 조립체상의 실질적으로 동일한 위치에 일체로 장착된다.
제1 및 제2유체통로는 실질적으로 동일한 유효단면적을 가질 수 있다.
실린더 조립체는 실린더챔버의 로드측 챔버의 외부에 배치된 로드커버와 로드측 챔버로부터 떨어진 실린더챔버의 헤드측챔버의 외부에 배치된 헤드커버를 갖출 수 있으며, 압력공급수단이 로드커버 또는 헤드커버내에서 일체로 장착된다.
선택적으로, 실린더 조립체는 로드측챔버의 외부에 배치된 로드커버를 갖출 수 있으며, 유압을 로드측 챔버에 공급하는 솔레노이드 작동식 방향제어밸브가 로드커버내에 일체로 장착된다.
선택적으로, 실린더 조립체는 헤드측 챔버의 외부에 배치된 헤드커버를 갖출 수 있으며, 유압을 헤드측 챔버에 공급하는 솔레노이드 작동식 방향제어밸브가 헤드커버내에 일체로 장착된다.
선택적으로, 실린더 조립체는 헤드측챔버의 외부에 배치된 헤드커버, 로드측 챔버의 외부에 배치된 로드커버를 갖출 수 있으며, 브레이크 수단과 제2솔레노이드 작동식 방향제어밸브가 헤드커버내에 배치되며, 제1솔레노이드 작동식 방향제어밸브가 로드커버내에 배치된다.
상기 배열에 의하면, 전기모터의 구동축은 볼스크루축에 평행하게 뻗어있으며, 제1 및 제2회전수단은 볼스크루축과 구동축의 각각의 끝에 연결되며, 회전전달수단은 제1 및 제2회전수단 사이에 연결되어 전기모터로부터 볼스크루축을 통하여 피스톤에 구동력을 전달한다. 전기모터가 볼스크루축의 끝에 위치되지 않으므로, 서보 실린더 장치의 축선방향 치수는 감소된다.
브레이크 메카니즘으로 유압을 공급하는 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어밸브는 실린더 조립체에 일체로 장착된다. 그래서, 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향 제어밸브로부터 브레이크 메카니즘으로 뻗어있는 유체통로는 단축되어 제어신호에 대한 브레이크 메카니즘의 응답시간을 개선한다. 그래서 피스톤은 개선된 응답시간으로 브레이크 메카니즘에 의해 원하는 위치에 매우 정확하게 정된다.
이 브레이크 메카니즘은 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어밸브로부터 공급되는 유압의 감소시 피스톤을 제동한다. 유압의 공급이 유압공급중단 또는 정전으로 인해 차단될 때, 브레이크 메카니즘은 작동되어 피스톤을 제동한다. 서보 실린더 장치가 수직으로 조작되어 공작물을 수직으로 반송할지라도, 이 공작물은 유체공급중단시 또는 정전시 갑자기 떨어지는 것이 방지된다.
제1 및 제2솔레노이드 작동식 방향제어밸브는 실린더 조립체상의 실질적으로 위치에 일체로 장착되며, 로드측 실린더와 제1솔레노이드 작동식 방향제어밸브를 상호연결하는 제1유체통로 및 헤드측 실린더와 제2솔로노이드 작동식 방향제어밸브를 상호연결하는 제2유체통로는 실린더 조립체내에 배치된다. 따라서 제1 및 제2솔레노이드 작동식 방향제어밸브로부터 유압공급원으로 뻗어있는 파이프는 단축되어 단순해진다.
본 발명의 상기목적, 특징 및 이점은 바림직한 실시예를 예시하는 첨부도면을 참조하여 이하의 상세한 설명으로부터 명백하게 알 수 있을 것이다.
[바람직한 실시예의 상세한 설명]
[실시예 1]
제1도는 본 발명의 실시예 1에 따른 서보 실린더장치(10)르 도시한다.
제1도에 도시된 바와같이, 압축공기 공급원으로부터의 압축공기는 솔레노이드 작동식 방향제어밸브형 및 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어밸브형의 전자공압식 레귤레이터를 통한여 실린더 조립체(16)로 공급되거나, 또는 선택적으로 실린더 조립체(16)로부터의 압축공기가 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)를 통하여 대기로 방출되어, 공작물(W)을 지지하는 피스톤로드(18)에 연결된 피스톤(20)을 수직으로 변위시킨다.
피스톤(20)의 수직운동시, 피스톤(20)과 맞물리는 볼스크루축(22)은 회전된다. 볼스크루축(22)의 회전은 전기모터(26)의 구동축(28)과 타이밍밸트(24)를 통하여 인코더(30)로 전달되어, 피스톤(20)의 축선방향 변위를 나타내는 출력신호를 발생시킨다. 피스톤(20)이 임의의 위치에 도달하면, 제어기(32)는 전자공압식 레귤레이터(13)의 설정압력을 공작물(W)의 정하중만을 지탱하는 압력으로 변환시키는 신호를 전달하며, 또한 구동신호를 전기모터(26)로 전달한다. 그결과, 전기모터(26)는 전원을 받아 볼스크루축(22)을 회전시켜서 피스톤(20)을 변위시킨다.
제어기(32)는 피스톤(20)이 인코더(30)로부터의 출력신호에 의거하여 원하는 위치에 도달했음을 확인하면, 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(34)를 작동시키는 신호를 발생하며, 이것은 브레이크 메카니즘(36)을 작동시켜 피스톤(20)을 정지시킨다.
서보 실린더장치(10)의 실린더 조립체(16)는 이하에 상세하게 설명될 것이다.
제2도의 도시된 바와같이, 실린더 조립체(16)는 헤드커버(40), 실린더튜브(42), 로드커버(44) 및 공작물(W)과 맞물리는 테이블(46)과 결합된다.
제3도에 도시된 바와같이, 실린더 조립체(16)는 공기를 실린더튜브(42)로 공급하는 공압공급메카니즘(48), 볼스크루축(22)을 회전시키는 볼스크루축 회전메카니즘(50), 피스톤(20)을 정지시키기 위해 볼스크루축(22)을 제동하는 디스크 브레이크 메카니즘(36) 및 회전하지 않도록 테이블(46)을 파지메카니즈즘을 갖추고 있다.
공압공급 메카니즘(48)은 압축공기 공급원(12)과 연통하는 전자공압식 레귤레이터(13) 및 이 전자공압식 레귤레이터(13)와 연통하는 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)를 포함하고 있으며, 이 전자공압식 레귤레이터(13)와 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)는 헤드커버(40)내에 둘러싸여 있다. 실리더튜브(42)는 그 안에 한정된 실린더챔버(64)를 갖추고 있으며, 이것은 피스톤(20)에 의해 로드커버(44)의 측면상의 제1챔버(64a)와 헤드커버(40)의 측면상의 제2챔버(64b)로 분할된다. 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)는 실린더튜브(42)내에 형성된 이음판(60)과 통로(62)를 통하여 로드커버(44)에 가까운 실린더챔버(64)의 제1챔버(64a)와 연통되어 유지된다. 실린더튜브(42)는 헤드커버(40)에 가까운 제2챔버(64b)와 연통하는 통로(66)를 가지며, 이 통로(66)는 대기에 통기되어 있다.
제3도에 도시된 바와같이, 볼스크루축 회전메카니즘(50)에 있어서, 볼스크루축(22)은 각이진 볼베어링(70)에 의해 헤드커버(40)내에 회전가능하고 축선방향으로 이동가능하게 지지된다. 볼스크루축(22)은 그 바깥쪽 표면에 형성된 스크루나사(72)를 가지며 이것은 실린더챔버(64)내에 둘러싸여 있다.
이 볼스크루축(22)은 헤드커버(40)내에 위치된 복수의 연속적인 소직경부와 하나의 대직경부를 갖추고 있으며, 또한 풀리(74)가 그 최소직경 끝에 장착된다. 볼스크루축(22)은 볼(도시되지 않음)을 통하여 피스톤(20)내에 끼워맞춰진 몸체(78)와 맞물려 유지된다. 제4도에 도시된 바와같이 댐퍼(80a,80b)는 로드커버(44) 및 헤드커버(40)와 각각 면하는 피스톤(20)의 각각의 축선방향으로 대향인 끝상에 장착되며, 자석(82)과 피스톤 패킹(84)은 실린더챔버(64)의 내주표면과 미끄럼 접촉하여 유지된 피스톤(20)의 외주표면내에서 형성된 각각의 홈내에 끼워맞춰진다.
자석(82)은 피스톤(20)의 위치오차를 검출하기 위하여 실린더튜즈(42)의 외주면상에 위치된 센서와 결합하여 사용된다.
헤드커버(40)는 볼스크루축(22)에 팽행한 전기모터(26)와 이 전기모터(26)의 구동축(28)의 끝에 장착된 풀리(86)를 둘러싸고 있다. 구동축(28)의 각도위치를 검출하는 인코더(30)는 전기모터(26)상에 장착되며 그 구동축(28)에 연결된다.
제5도에 도시된 바와같이, 디스크 브레이크 메카니즘(36)은 헤드커버(40)내에 형성되는 구멍(100)내에 배치된 요소를 포함하여, 여기에 각이진 볼베어링이 배치된다. 이 구멍(100)은 풀리(74)로부터 각이진 볼베어링(70)쪽으로 직경이 연속적으로 작아지는 제1 및 제2부분을 갖추고 있다. 디스크 브레이크 메카니즘(36)은, 구멍(100)의 제1부분의 바닥에 견고하게 장착되며 볼스크루축(22)쪽으로 뻗어있는 방사상 안쪽부분(102a)을 갖춘 방사상 L-형 단면의 브레이크 실린더(102)와, 브레이크 실린더(102)의 내주면에 대하여 미끄럼가능하게 지지되며 볼스크루축(22)으로부터 떨어지게 뻗어있는 방사상 바깥쪽부분(104a)을 갖춘 실질적으로 방사상 L-형 단면의 피스톤(104)을 구비하고 있다. 브레이크 실린더(102)의 방사상 안쪽부분(102a)은 피스톤(104)의 방사상 바깥쪽부분(104a)과 풀리(74)쪽으로 향한 피스톤(104)의 축선방향 끝에 고정된 브레이크부재(106)와의 사이에 축선방향으로 배치된다. 방사상 바깥쪽부분(104a)이나 브레이크부재(106)는 브레이크 실린더(102)의 방사상 안쪽부분(102a)에 대하여 인접하게 되어 피스톤(74)의 축선방향운동을 제한한다. 스페이스(108)는 피스톤(104)과 브레이크 실린더(102) 사이에 형성되며, 브레이크 실린더(102)의 내주면에 대하여 미끄럼가능하게 유지되는 피스톤(104)의 외주면에 형성된 각각의 홈내에 끼워맞춰지는 피스톤패킹(114a,114b)에 의해 밀봉된다. 압축공기공급원(12)과 연통하는 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(34)는 헤드커버(40) 및 브레이크 실린더(102)내에 각각 형성되는 통로(110,112)를 통하여 스페이스(108)와 연통하여 유지된다.
베어링지지구(116)는 구멍(100)의 제2부분의 바닥에 견고하게 장착된다.
스프링(104)은 베어링지지구(116)와 피스톤(104) 사이에 축선방향로 배치된 코일스프링(118)에 의하여 풀리(74)쪽으로 즉, 화살표(21)에 의해 표시된 방향으로 이동하도록 수직으로 가압된다.
다른 하나의 도우넛형 디스크 브레이크부재(122)는 지지부재(120)에 의해 브레이크 실린더(102) 상에 축선방향으로 지지된다.
디스크 브레이크(128)는 볼스크루축(22)의 둘레에 배치된 슬리브(26)와 슬리브키이(124)를 통하여, 풀 리가 장착된 끝부근의 볼스크루축(22)상에 장착된다. 브레이크 디스크(128)는 브레이크부재(122)에 회전가능하게 인접하며, 브레이크부재(106)는 브레이크 디스크(128)에 인접하게 위치된다.
제3도에 도시된 바와같이, 파지 메카니즘(52)은 피스톤로드(18)에 의해 축선방향으로 변위될 수 있는 테이블(46)이 피스톤로드(18)와 회전하지 않도록 한다.
피스톤로드(18)는 중공실린더의 형상이며, 로드커버(44)에 면하는 피스톤(20)의 끝부분에 나사끝을 갖추고 있다.
피스톤 로드(18)는 구멍(130)의 내벽면과 접촉하지 않는 볼스크루축(22)을 동축으로 둘러싸는 내부구멍(130)을 갖추고 있다.
축부재(132)는 로드커버(44)부근의 피스톤로드(18)의 한끝이 나사화되어, 볼트(도시되지 않음) 등에 의해 테이블(46)에 고정된다. 가이드로드(134a,134b)는 로드커버(44)의 대향 측면상에 장착된 각각의 볼부시(136a,136b)에 의해 축선방향으로 미끄럼 가능하게 지지되며, 로드커버(44)의 끝에 장착되는 플랜지(138)내에 형성된 구멍(140a,140b)을 통하여 각각 삽입된다.
헤드커버(40)는 제어기(32)로부터 제어 및 전원공급신호를 공급하기 위한 터미널(142,144)을 지지하는 터미널 베이스(146)를 둘러싸고 있다. 공작물(W)을 상방향으로 변위시키는, 즉 피스톤(20)을 위치(X1)로부터 위치(X2)(제6도참조)로 변위시키는 서보 실린더장치(10)의 작동은 제6도를 참조하여 이하에서 설명될 것이다.
피스톤(20)이 위치(X1)에 정지되면(시간 to에서 시간 t1까지), 전기공압식 레귤레이커(13)는 공작물(W), 피스톤로드(18) 및 피스톤(20)의 정하중을 지지하기 위하여 압력(PO)으로 설정되며, 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)는 작동되고, 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(34)는 비작동된다. 그결과 압력(PO)은 제1챔버(64a)내에서 발달되어 공작물(W), 및 피스톤(20)을 확실하계 지지한다. 디스크 브레이크 메카니즈(36)내의 스페이스(108)가 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(34)를 통하여 대기로 통기되므로, 피스톤(104)은 코일스프링(118)의 복원중에 방향(Z1)으로 변위되어 브레이크 디스크(128)에 대하여 브레이크부재(106)를 누른다. 브레이크 디스크(128)는 브레이브부재(106,222) 사이에서 파지되어 볼스크루축(22)을 회전하지 않도록 잠근다.
피스톤(20)을 위치(X2)쪽으로 변위시키기 위하여, 제어기(32)는 압력(PO)에서 압력(P1) (P1PO)으로 전환시키는 신호를 전기공압식 레귤레이터(13)에 공급하며, 또한 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(34)를 작동시키는 신호를 전달한다. 그 결과, 압축공기 공급원(12)은 디스크 브레이크 메카이즘(36)내의 스페이스(108)와 연통되어 압축공기를 스페이스(108)내로 공급한다. 피스톤(104)은 제5도의 2점 쇄선으로 표시된 바와같이 화살표(Z2)로 표시된 방향으로 코일스프링(118)의 가압에 대하여 변위된다.
브레이크부재(106)는 디스크 브레이크(128)로부터 이격되어 이스크 브레이크 메카니즘(36)이 작동되지 않도록 한다. 피스톤(20)은 실린더챔버(64)내에서 변위가능한다.
압력(P1)하의 압축공기는 전기공압식 레귤레이터(13)로부터 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)를 통하여 제1챔버(64a)로 유입되어 피스톤(20)을 방향(Z1)으로 변위시킨다.
이때, 볼스크루축(22)과 몸체(78)가 볼을 통하여 상호 맞물림되어 유지되므로, 피스톤(20)은 모멘트에 따르며, 즉 볼스크루축(22)에 대하여 회전한다. 그러나, 피스톤로드(18)를 통하여 피스톤(20)에 연결되는 테이블(46)상에 장착된 가이드로드(134a,134b)가 각각의 구멍(140a,140b)을 통하여 삽입되므로 피스톤(20)은 실제 회전되지 않는다. 그래서, 피스톤(20)이 축선방향으로 변위되면, 볼스크루축(22)은 그 축선에 대하여 회전된다. 볼스크루축(22)의 회전은 헤드커버(40), 타이빙벨트(24) 및, 풀리(36)에 밀접한 볼스크루축(22)의 끝위의 풀리(74)를 통하여 모터(26)의 구동축에 전달된다. 그결과, 구동축(28)의 각도변위는 피스톤(20)의 축선방향변위에 따라 인코더(30) 및 제어기(32)에 의해 검출된다.
제어기(32)가, 시간(t2)에서, 피스톤(20)이 정지되는 위치(X2)로부터 간격(ε1)만큼 이격되는 전환위치에 피스톤(20)이 도달했음을 검출하면, 제어기(32)는 압력(P1)에서 압력(PO)으로 전환하는 신호를 전기공압식 레귤레이터(13)에 공급하며, 또한 전기모터(26)에 전원을 가하는 신호를 전달한다. 그 결과, 압력(PO)은 제1챔버(64a)내에서 작용하여 피스톤(20) 및 공작물(W)의 정하중만을 지지한다. 그러나 전기모터(26)가 전원을 받으므로, 피스톤(20)은 풀리(86), 타이밍벨트(24), 풀리(74), 및 볼스크루축(22)을 통하여 저속으로 간격(ε1)만큼 변위된다.
시간(t3)에서 위치(X2)에 피스톤(20)이 도달했음이 인코더(30) 및 제어기(32)에 의해 검출되면, 제어기(32)는 전기모터(26) 및 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(34)에 전원을 가하지 않는 신호를 전달한다.
스페이스(108)내의 압축공기는 통라(112,110) 및 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(34)를 통하여 대기로 방출된다.
따라서, 피스톤(104)은 2점 쇄선위치로부터 실선위칠의 방향(Z1)으로 변위되어 브레이크부재(106,222) 사이에 파지되는 브레이크 디스크(128)에 대하여 브리이크부재(106)를 누른다.
볼스크루축(22)은 회전되지 않도록 잠겨져, 피스톤(20)이 정지되어 위치(X2)에 정확하게 유지되도록 한다.
피스톤(20)을 위치(X2)로부터 위치(X1)로 변위시키기 위하여, 제어기(32)는 시간(t4)에서 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(34)를 작동시키는 신호와 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)를 작동시키지 않는 신호를 공급한다. 압축공기는 스페이스(108)로 유입되어 브레이크부재(106)를 브레이크디스크(128)로부터 떨어뜨린다. 그래서 디스크 브레이크 메카니즘(36)은 작동되지 않는다. 제1챔버(64a)가 대기로 통기되므로 즉, 제1챔버(64a) 내의 압력이 압력(PO)에서 압력(P2)로 떨어지므로, 피스톤(20)은 공작물(W)의 중량 때문에 방향(Z2)으로 변위된다.
제어기(32)가, 시간(t5)에서, 피스톤(20)이 정지될 위치(X1)로부터 간격(ε1)만큼 이격되는 전환위치에 피스톤(20)이 도달했음을 검출하면, 제어기(32)는 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)를 작동시키는 신호와 전기모터(26)에 전원을 가하는 신호를 공급한다. 그 결과, 압력(PO)은 제1챔버(64a)내에서 다시 발달되어 피스톤(20)과 공작물(W)의 정하중만을 지지한다. 그러나, 전기모터(26)가 전원을 받았으므로, 피스톤(20)은 방향(Z2)으로 변위된다.
제어기(32)가, 시간(t6)에서, 피스톤(20)이 위치(X1)에 도달했음을 검출하면, 제어기(32)는 전기모터(26) 및 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(34)의 양자를 작동시키지 않는 신호를 전달한다.
스페이스(108)내의 압축공기는 대기로 방출되고, 브레이크 디스크(128)는 코일스프링(118)의 가압에 의하여 브레이크부재(106,122)로 파지되어, 볼스크루축(22)이 회전하지 않도록 잠그며, 그리하여 피스톤(20)은 위치(X1)에 정확하게 유지된다.
서보 실린더장치(10)인 한, 이것은 공압의 제거시 피스톤로드(22)를 제동하기 위한 디스크 브레이크 메카니즘(36)과 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(34)를 포함한다.
따라서, 공작물(W)은 압축공기 공급원의 고장(12) 또는 전원공급 중단으로 인해 공압이 공급되지 않을때라도 안전위치에 유지될 수 있다.
서보 실린더장치(10)에 있어서, 전기공압식 레귤레이터(13) 및 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14,34)는 헤어커버(40)내에 장착된다. 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)는 통로(62)를 통해서만 제1챔버(64a)와 연통하여, 전기공압식 레귤레이터(13)나 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)에 의해 야기된 공압의 어떠한 변화도 피스톤(20)에 신속하게 전달될 수 있다. 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(34)가 헤드커버(40)내의 디스크 브레이크 메카니즘(36)에 밀접하게 위치되어 있으므로, 압축공기는 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(34)에 의해 스페이스(108)로 공급되고 또한 이로부터 신속하게 방출될 수 있으며, 그결과 피스톤(20)은 원하는 위치에 정확하게 정지될 수 있다.
또한, 전기모터(26)의 볼스크루축(22) 및 구동축(28)이 상호간에 평행하게 놓여있고, 구동력이 풀리(74,86) 및 타이밍벨트(24)를 통하여 양축사이에서 전달될 수 있으므로, 서보 실린더장치(10)의 축선방향 치수는 비교적 작다. 피스톤(20)이 대기에 통기된 제1챔버(64a)와 함께 방향(Z2)으로 변위되는 때 (시간(t4)에서 시간(t5)까지)를 제외하고는, 제1챔버(64a)내의 압력은 공작물(W)과 피스톤(20)의 정하중을 지지하기 위한 압력(PO)이상으로 설정된다. 따라서, 전기모터(26)는 비교적 작은 구동력으로 피스톤(20)을 변위시킬 수 있다.
그결과, 전기모터(26)는 크기가 작아질 수 있고, 풀리(74,86) 사이의 간격이 단축될 수 있고, 타이밍벨트(24)가 상당히 짧아질 수 있고, 타이밍벨트(24)의 신축 및 타이밍벨트(24)와 풀리(74,86)간의 미끄러짐으로 인한 오차가 감소될 수 있다.
스프로킷 및 체인 또는 와이어는 풀리(74,86) 및 타이밍벨트(24)대신에 사용될 수있다.
공작물(W)이 비교적 가벼우면, 중력에 의해 방향 (Z2)으로 떨어지지 않는다.
이러한 결점을 피하기 위해, 실린더챔버(64)의 제2챔버(64b)와 왑축공기 공급원(12)은 제1도의 파단선으로 표시된 바와같이 압축공기 공급원(12)에 연결된 압력감소밸브(150)와 통로(66)에 의해 상호 연통되어 유지될 수 있다. 이러한 수정된 배열로 인해, 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)가 작동되지 않아 제1챔버(64a)를 대기에 통기시킬때라도, 공압이 전시간동안 압력감소밸브(15) 및 통로(66)를 통하여 제2챔버내에 가해지므로, 피스톤(20)은 제1 및 제2챔버(64a,64b)내의 공압차이에 근거한 방향(Z2)으로 변위될 수 있다.
상기의 예시된 실시예에서, 파지 메카니즘(52)과 테이블(46)을 가이드로드(134a,134b)와 회전하지 않도록 파지한다. 그러나 피스톤(20)과 테이블(46)이 회전되는 것을 방지하기 위하여 피스톤로드(18)는 스플라인을 가질 수 있으며, 로드커버(44)는 피스톤로드(18)의 각각의 스플라인을 수용하는 슬롯을 가질 수 있다.
[실시예 2]
제7도는 본 발명의 실시예 2에 따른 서보 실린더장치의 실린더 조립체(16a)를 도시한다. 실린더 조립체(16a)에서, 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)와 제1챔버(64a)사이의 간격은 더 단축된다. 실시예 1의 부품과 동일한 제7도에 도시된 이들 부품은 동일한 참조부호로 표시되므로 더 이상 상세하게 설명하지 않을 것이다.
전기공압식 레귤레이터(13) 및 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)는 로드커버(44)상에 장착되며, 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)는 통로(152)를 통하여 제1챔버(64a)와 연통한다. 그래서, 아무런 통로도도 실린더튜브(42)내에 형성될 필요가 없어, 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)와 제1챔버(64a) 사이의 간격이 더 단축된다.
따라서 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14)의 전환에 대한 피스톤(20)의 응답속도는 개선된다. 실시예 2에 따른 서보 실린더장치의 다른 상세한 구조는 실시예 1에 따른 서보 실린더장치와 동일하다.
[실시예 3]
제8도는 본 발명의 실시예 2에 따른 서보 실린더장치의 유압회로 배열을 도시한다. 제8도에 도시된 서보 실린더장치에서, 전기공압식 레귤레이터(13b) 및 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14b)는 제1도에 도시된 압력조절밸브(150)를 대신하기 위해 부가된다.
또한, 제8도에 도시된 서보 실린더장치는 전기공압식 레귤레이터(13a) 및 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14a)를 가지며, 이것은 각각 제1도의 전기공압식 레귤레이터 및 솔레노이드 작동식 발향제어밸브(14)에 해당된다.
제9도는 실시예 3에 따른 서보 실린더 장치의 실린더 조립체를 도시한다.
제9도는 도시된 바와같이, 전기공압식 레귤레이터(13a,13b) 및 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14a,14b)는 헤드커버(40)내에 장착된다. 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14b)는 통로(66)(제1도참조)가 실린더튜브(42)내에 형성되지 않은 상태로, 통로(65)를 통하여 제2챔버(64b)와 연통한다. 통로(65)는 실린더튜브(42)내에 형성된 통로(62)와 실질적으로 동일한 유효단면적을 갖는다.
실시예 1와 동일한 제8도 및 제9도에 도시된 다른 상세한 구조는 동일한 참조부호로 표시되며, 더 이상 상세하게 설명되지 않을 것이다.
제8도 및 제9도에 도시된 서보 실린더장치는 실시예 1에 따른 서보 실린더장치와 동일한 방식으로 작동하여 제10도의 위치(X2)로부터 위치(X1)로 피스톤(20)을 변위시킨다.
제10도에 도시된 바와같이, 위치(X2)로부터 위치(X1)로 피스톤(20)을 변위시키기 위하여, 제어기(32)는 시간(t4)(제6도참조)에서 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14b,34)를 작동시키는 신호를 공급한다. 압축공기는 스페이스(108)로 유입되어, 브레이크부재(106)를 브레이크 디스크(128)로부터 떨어지게 한다. 그래서 디스크 브레이크 메카니즘(36)은 작동되지 않는다.
제2챔버(64b)내의 압력은 압력(P1)으로 되어, 피스톤(20)을 방향(Z2)으로 변위시킨다.
제어기(32)가, 시간(t5)에서, 피스톤(20)이 정지될 위치 (X1)로부터 간격(ε1)만큼 이격된 전환위치에 도달했음을 검출하면, 제어기(32)는 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14b)를 작동시키지 않는 신호와 전기모터(26)에 전원을 가하는 신호를 공급한다.
그 결과, 제2챔버내의 압력은 압력(PO)으로 감소한다. 피스톤(20)은 전기모터(26)에 의해 방향(Z2)으로 변위된다.
제어기(32)가, 시간(t6)에서, 피스톤(20)이 위치 (X1)에 도달했음을 검출하면, 제어기(32)는 전기모터(26) 및 솔레노이드 작동식 제어밸브(34)의 양자에 전원을 공급하지 않는 신호를 전달한다. 스페이스(108) 내의 압축공기는 대기로 방출되고, 브레이크 디스크(128)는 코일스프링(118)의 가압하에 브레이크부재(106,222)에 의해 파지되며, 그래서 볼스크루축(22)을 회전하지 않도록 잠근다. 피스톤(20)은 위치(X1)내에 정확하게 멈추어 유지된다.
실시예 3에 따른 서보 실린더장치는 공작물(W)이 가볍더라도 피스톤(20)을 방향(Z2)으로 변위시킬 수 있다. 제1 및 제2챔버(64a,64b)와 연통하는 통로(62,61,65)가 헤드커버(40)의 한측면에서 개방되므로, 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14a,14b)는 헤드커버(40)상에 일체로 장착될 수 있다. 따라서, 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14a,14b) 및 전기공압식 레귤레이터(13a,13b)로부터 압축공기 공급원(12)으로 뻗어있는 파이프는 길이가 단축되어 구조가 단순해질 수 있다.
통로(62,61,65)는 통로(61,62)의 유효단면적이 통로(65)의 유효단면적과 도일하도록 형성된다. 그래서, 공기가 압력하에 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(14a,14b)로부터 제1 및 제2챔버(64a,64b)로 공급될 때 야기되는 압력손실은 서로 실질적으로 동일하며, 피스톤(20)이 변위되는 속도가 용이하게 제어될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 상세하게 도시되어 설명되었지만, 첨부된 특허청구의 범위의 영역을 벗어나지 않는한 여러변경과 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.

Claims (12)

  1. 실린더 조립체(16)내에 형성된 실린더챔버(64)에 변위가능하게 배치된 피스톤(20), 상기 피스톤에 고정된 한끝과 상기 실린더챔버의 외부에 노출된 반대끝을 갖춘 피스톤로드(18), 상기 실린더챔버에 유압을 공급하는 압력공급수단, 상기 피스톤과 맞물리는 볼스크루축(22), 상기 볼스크루축에 연결된 전기모터(26), 및 상기 피스톤을 설정위치에 유지시키기 위하여 상기 볼스크루축이 회전하지 않도록 제동하는 브레이크 수단을 갖추고 있으며, 상기 피스톤은 상기 실린더챔버에 공급된 유압하에서 목표위치에 근접하게 변위되도록 배열되며, 그에 따라 상기 볼스크루축은 상기 전기모터에 의해 회전되어 상기 피스톤을 상기 목표위치로 조금씩 움직이며, 상기 피스톤이 상기 목표위치에 도달하면 상기 볼스크루축은 상기 브레이크 수단에 의하여 회전하지 않도록 제동되어 피스톤을 목표위치에 정지시키는 서보 실린더장치(10)에 있어서 상기 전기모터는 상기 볼스크루축에 평행하게 뻗어있는 구동축을 갖추고 있으며, 제1회전수단은 상기 볼스크루축의 한 끝에 연결되며, 제2회전수단은 상기 구동축에 연결되며, 회전전달수단은 상기 1 및 제2회전수단 사이에 연결되는 것을 특징으로 하는 서보 실린더 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2회전수단은 풀리(74,86)를 각각 포함하고 있으며, 상기 회전전달수단은 상기 풀리의 둘레에 걸린 타이밍벨트(24)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 서보 실린더장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 브레이크수단은 유압을 가함에 따라 상기 볼스크루축을 해제하고 유압을 제거함에 따라 볼스크루축을 제동하는 브레이크 메카니즘(36), 및 작동신호에 따라 상기 브레이크 메카니즘에 유압공급을 연결하여 유압으르 가하며 비작동 신호에 따라 상기 브레이크 메카니즘으로부터 유압을 제거하는 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어밸브를 포함하며, 상기 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어밸브는 실린더 조립체에 일체로 장착되는 것을 특징으로 하는 서보 실린더장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 브레이크 메카니즘(36)은 상기 볼스크루축의 둘레에 배치된 디스크(128), 상기 볼스쿠루축의 둘레에 배치된 브레이크 실린더(102), 상기 볼스크루축의 둘레에 배치되어 브레이크 실린더에 공급된 유압하에 변위되는 브레이크 피스톤(104), 및 상기 브레이크 피스톤을 상기 디스크에 대하여 눌러지도록 수직으로 가압하는 탄성수단(118)을 포함하고 있으며, 유압이 상기 수직폐쇄 솔레노이드 작동식 방향제어 밸브로부터 상기 브레이크 실린더에 공급될 때 상기 브레이크 피스톤이 상기 탄성부재의 가압에 대하여 상기 디스크로부터 이격될 수 있도록 배열디는 것을 특징으로 하는 서보 실린더장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 압력공급수단은 유압을 상기 실린더챔버의 로드측 챔버에 공급하는 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(13), 및 상기 로드측 챔버와 상기 솔레노이드 작동식 방향제어밸브를 상호연결하는 유체통로(610로 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 서보 실린더장치.
  6. 제3항에 있어서, 상기 압력공급수단은 유압을 상기 피스톤 로드로부터 떨어진 상기 실린더 챔버의 헤드측 챔버에 공급하는 솔레노이드 작동식 방향제어밸브(13b), 및 상기 헤드측 챔버와 상기 솔레노이드 작동식 방향제어 밸브를 상호연결하는 유체통로(65,152)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 서보 실린더장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 압력공급수단은 유압을 상기 실린더 챔버의 로드측 챔버로 공급하는 제1솔레노이드 작동식 방향제어밸브(13a), 상기 로드측 챔버와 상기 제1솔레노이드 작동식 방향제어밸브를 상호연결하는 제1유체통로(61), 유압을 상기 로드측 챔버로부터 떨어진 상기 실린더챔버의 헤드측 챔버에 공급하는 제2솔레노이드 작동식 방향제어밸브(13a) , 및 상기 헤드측 챔버와 상기 제2솔레노이드 작동식 방향제어밸브를 상호연결하는 제2 유차통로(65)를 포함하고 있으며, 상기 제1 및 제2솔레노이드 작동식 방향제어밸브는 상기 실린더 조립체상의 동일한 위치에 일체로 정착되는 것을 특징으로 하는 서보 실린더장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2유체통로는 동일한 유효단면적을 가지는 것을 특징으로 하는 서보 실린더장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 실린더 조립체는 상기 실린더챔버의 로드측 챔버의 외부에 배치된 로드커버(44)와 상기 로드측 챔버로부터 떨어진 상기 실린더챔버의 헤드측챔버의 외부에 배치된 헤드커버(40)를 갖추고 있으며, 상기 압력공급수단은 상기 로드커버 또는 상기 헤드커버내에 일체로 장착되는 것을 특징으로 하는 서보 실린더장치.
  10. 제5항에 있어서, 상기 실린더 조립체는 상기 로드측쳄버의 외부에 배치된 로드커버(44)를 갖추고 있으며, 유압을 상기 로드측 챔버에 공급하는 상기 솔레노이드 작동식 방향제어밸브는 상기 로드커버내에 일체로 장착되는 것을 특징으로 하는 서보 실린더 장치.
  11. 제6항에 있어서, 상기 실린더 조립체는 상기 헤드측 챔버의 외부에 배치된 헤드커버(40)를 갖추고 있으며, 유압을 상기 헤드측 챔버에 공급하는 상기 솔레노이드 작동식 방향제어밸브는 상기 헤드커버내에 일체로 장착되는 것을 특징으로 하는 서보 실린더 장치.
  12. 제7항에 있어서, 상기 실린더 조립체는 상기 헤드측챔버의 외부에 배치된 헤드커버(40) 및 상기 로드측 챔버의 외부에 배치된 로드커버(44)를 갖추고 있으며, 상기 브레이크 수단과 상기 제2솔레노이드 작동식 방향제어밸브는 상기 헤드커버내에 배치되며, 상기 제1솔레노이드 작동식 방향제어밸브는 상기 로드커버내에 배치되는 것을 특징으로 하는 서보 실린더 장치.
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