DE3620969A1

DE3620969A1 - Praezisionszufuehrmechanismus

Info

Publication number: DE3620969A1
Application number: DE19863620969
Authority: DE
Inventors: Kazunori Iwamoto
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1985-06-24
Filing date: 1986-06-23
Publication date: 1987-01-02
Also published as: US4854444A; DE3620969C2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Präzisionszu führmechanismus, genauer gesagt einen Präzisionszuführ mechanismus zur Bewegung eine Objektes über einen rela tiv langen Hub und zur Positionierung des Objektes mit ho her Genauigkeit. Beispielsweise kann der erfindungsgemäß ausgebildete Zuführmechanismus in eine mit einem beweg lichen Tisch versehene Zuführvorrichtung einer Belichtungs vorrichtung, Testvorrichtung, Prüfvorrichtung o. ä. einge baut werden, die bei der Herstellung von Halbleitervor richtungen, wie beispielsweise integrierten Schaltungen, integrierten in großem Maßstab etc., Ver wendung finden.

Bei der Herstellung der vorstehend beschriebenen Halb leitervorrichtung finden diverse Geräte zum Formen, Untersuchen oder Prüfen von feinen Mustern, beispiels weise den Mustern von integrierten Schaltungen mit großem Maßstab, Verwendung. Ein Beispiel hierfür ist eine Muster druckbelichtungsvorrichtung, die vom Licht, Elektronen strahlen oder Röntgenstrahlen Gebrauch macht. Bei diesen Geräten zur Herstellung der Halbleitervorrichtungen wird ein Halbleiterplättchen, bei dem es sich um ein Werk stück und/oder eine Maske oder eine Strichplatte handelt, die für die Musterübertragung dient, von einem beweg lichen Tisch gehalten und durch eine geradlinige Zuführung des Tisches genau positioniert. Bei einer Vorrichtung zur Zuführung eines derartigen beweglichen Tisches ist ein relativ großer Bewegungshub erforderlich. Aus diesem Grunde ist die Tischzuführvorrichtung normalerweise mit einem Zuführmechanismus versehen, der eine Grobzufuhr zum Vorrücken des Tisches in eine Position in der Nach barschaft eines Zielgebietes oder einer beabsichtigten Stopposition mit einer höheren Geschwindigkeit, jedoch einer niedrigeren Positionierungsgenauigkeit und eine Feinzufuhr zur Zuführung des grobpositionierten Tisches in die beabsichtigte Stopposition mit hoher Genauigkeit durchführen kann. Die Fig. 1 und 2 zeigen Beispiele einer derartigen Tischzuführvorrichtung, wobei Fig. 1 eine Zuführvorrichtung vom Doppelwellenzuführspindel typ und Fig. 2 eine Zuführvorrichtung vom Einwellen differentialzuführspindeltyp zeigen.

Bei dem in Fig. 1 dargestellten Doppelwellenzuführ spindeltyp wird ein Tisch 404 durch Führungsschienen 402, die an einer Basis 401 montiert sind, mit Hilfe von Führungslagern 403 geradlinig bewegbar gelagert. Eine Zuführspindel 404 für eine Grobbewegung, die mit Hilfe einer Lagereinheit 405 von der Basis 401 gelagert wird, kämmt mit einer Zuführmutter 407 des Tisches 404. Die Zuführspindel 404 wird durch einen Antriebsmotor 408 für die Grobzuführung drehbar angetrieben. Zusätzliche Führungsschienen 409 sind am Tisch 404 montiert, über die ein Tisch 411 mit der Hilfe von Führungslagern 410 geradlinig bewegbar gelagert wird. Eine Zuführspindel 413 für eine Feinbewegung, die mit Hilfe einer Lagereinheit 412 vom Tisch 404 gelagert wird, kämmt mit einer Zuführ mutter des Tisches 411. Die Zuführmutter 413 wird von ei nem Antriebsmotor 415 für die Feinzufuhr drehbar angetrie ben. Mit Hilfe einer derartigen Doppelwellenzuführspindel einheit, bei der zwei Zuführspindeln 406 und 413 Ver wendung finden, lassen sich Grob- und Feinbewegungen des Tisches 411 durchführen.

Bei dem in Fig. 2 dargestellten Einwellendifferential spindeltyp wird ein Tisch 504 durch Führungsschienen 502, die an einer Basis 501 montiert sind, und durch Führungs lager 503 geradlinig gelagert. Eine Zuführwelle 505, die mit Hilfe von nicht gezeigten Lagern von der Basis 501 gelagert wird, ist mit Zuführspindelabschnitten 506 und 507 versehen, die eine geringe Differenz in ihren jeweili gen Gewindesteigungen aufweisen. Einer (506) der Zuführ spindelabschnitte kämmt mit einer Zuführmutter 508 des Tisches 504, während der andere Zuführspindelabschnitt 507 mit einer Differentialmutter 510 kämmt, die durch den Einfluß einer Wechselkupplung 509 wahlweise relativ zur Basis 501 oder der Zuführwelle 505 unbeweglich gemacht wer den kann. Die Zuführwelle 505 kann durch einen Antriebs motor 511 in Drehungen versetzt werden, der mit Hilfe von nicht gezeigten Führungseinrichtungen nur in der Richtung der Achse der Zuführwelle 505 beweglich ist. Wenn die Differentialmutter 510 durch die Kupplungsvor richtung 509 fest mit der Zuführwelle 505 gekoppelt ist, kann sich die Mutter 510 innerhalb der Kupplungsvor richtung relativ zur Basis frei drehen. Folglich bewirkt jede vollständige Umdrehung des Motors 511 eine Schnell zuführung des Tisches 504 um eine Größe, die der Steigung des Gewindes des Zuführspindelabschnittes 506 entspricht. Wenn die Differentialmutter 510 anderer seits durch die Kupplungseinrichtung 509 an der Basis 501 fixiert ist, bewirkt jede vollständige Umdrehung des Motors eine Bewegung der Zuführwelle 505 mit dem Motor in der entgegengesetzten Richtung und um eine Größe, die der Steigung des Gewindes des Zuführspindelabschnittes 507 entspricht. Folglich wird bei einer Umdrehung des Mo tors 511 der Tisch 504 genau um eine Strecke zugeführt, die dem Unterschied in der Steigung zwischen den beiden Zuführspindelabschnitten 506 und 507 entspricht.

Diese herkömmlich ausgebildeten Vorrichtungen besitzen jedoch einige Nachteile. Bei den in den Fig. 1 und 2 dargestellten Vorrichtungen ist der Schwerpunkt des Tisches nicht auf der mittleren Achse der Zuführspindel angeordnet. Mit anderen Worten, der Schwerpunkt des Tisches befindet sich nicht auf der Kraftangriffslinie. Dies führt dazu, daß bei einer vertikalen Anordnung der Basis ( d. h. der Tisch soll in einer vertikalen Ebene bewegt werden) eine auskragende Last auf die Führungs lager einwirkt, die ein unerwünschtes Drehmoment zwischen den Führungsschienen und den Führungslagern hervorruft. Hierdurch wird die Lebensdauer der Lager verkürzt sowie die Führungsgenauigkeit verringert. Wenn es erforderlich ist, den Tisch im Vakuum anzuordnen, besteht darüberhinaus die Möglichkeit eines Festfressens der Führungsschiene oder der Führungslager aufgrund der Verdampfung des ver wendeten Schmieröles. Auch muß der Motor vakuumfest ausgebildet sein. Wenn man zur Vermeidung von derartigen Problemen den Motor und den Zuführspindelmechanismus, deren Aufbau so kompliziert ist, daß eine Vakuumabdichtung über herkömmlich ausgebildete Bälge o. ä. äußerst schwierig ist, außerhalb der Vakuumkammer anordnet und einen Antriebsübertragungsmechanismus zur Übertragung der Be wegung der Zuführspindel auf den Tisch, der in der Vakuumkammer mit Hilfe der Führungsschienen geführt wird, verwendet, führt die Notwendigkeit der Anordnung des Grobbewegungs zuführspindelmechanismus und des Feinbewegungszuführ spindelmechanismus außerhalb der Vakuumkammer zu einem großen Raumbedarf außerhalb der Kammer, der größer ist als die Gesamtlänge des erforderlichen Hubes des Tisches.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Tuschzu führvorrichtung zu schaffen, die einen Aufbau aufweist, bei dem der Schwerpunkt des Tisches auf der Wirkungs linie der Kraft angeordnet werden kann.

Die Erfindung bezweckt ferner die Schaffung einer Tisch zuführvorrichtung mit einem Aufbau, bei dem mindestens ein Grobbewegungszuführmechanismusabschnitt innerhalb einer Vakuumkammer angeordnet werden kann, ohne die vorstehend erwähnten Probleme, beispielsweise Fest fressen u. ä., zu verursachen.

Erfindungsgemäß soll ferner eine Tischzuführvorrichtung zur Verfügung gestellt werden, die einen einfachen Auf bau und eine hohe Positionierungsgenauigkeit besitzt, wobei der von der Vakuumkammer vorstehende Abschnitt kompakt gehalten wird.

Schließlich soll erfindungsgemäß eine Tischzuführ vorrichtung geschaffen werden, bei der die Notwendig keit von flexiblen Rohren für die Zuführung/Abführung eines Betriebsmittels in/von einer strömungsmittelbe tätigten Zylindereinrichtung in Fortfall kommt.

Die vorstehend genannte Aufgabe wird durch eine Vor richtung zur Zuführung eines Tisches in einer Richtung gelöst, die die folgenden Bestandteile umfaßt: Eine erste Antriebseinrichtung zur Zuführung des Tisches in einer relativ groben Weise, die einen Kolben und einen Zylinder besitzt, die in einer Einheit kombiniert sind, eine Verriegelungseinrichtung zum wahlweisen Ver hindern einer Relativbewegung zwischen dem Kolben und dem Zylinder mindestens in dieser Richtung und eine zweite Antriebseinrichtung zur Zuführung des Tisches in einer relativ feinen Weise mit Hilfe des Kolbens und des Zylinders.

Weiterbildungen des Erfindungsgegenstandes gehen aus den Unteransprüchen hervor.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungs beispielen in Verbindung mit der Zeichnung im einzelnen erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Seitenansicht, die in schematischer Weise ein Beispiel einer herkömmlich aus gebildeten Tischzuführvorrichtung zeigt;

Fig. 2 eine Ansicht ähnlich Fig. 1, die ein anderes Ausführungsbeispiel einer herkömm lich ausgebildeten Tischzuführvorrichtung betrifft;

Fig. 3 eine teilweise abgeschnittene perspektivische Ansicht einer Tischzuführvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 4 eine Vorderansicht, die eine Ausführungs form einer Klemmeinrichtung zeigt, die bei der Ausführungsform der Fig. 3 Verwendung findet;

Fig. 5 einen Schnitt, der eine Ausführungsform einer Vakuumabdichtung für einen größeren Abschnitt einer Tischzuführvorrichtung ge mäß einer Ausführungsform der Erfindung zeigt;

Fig. 6 eine Vorderansicht einer anderen Aus führungsform einer Klemmeinrichtung;

Fig. 7 eine Vorderansicht einer weiteren Aus führungsform einer Klemmeinrichtung;

Fig. 8 eine perspektivische Ansicht, die einen Hauptbestandteil der Klemmeinrichtung der Fig. 7 zeigt;

Fig. 9 einen Schnitt durch eine kombinierte Kolben- und Zylindereinheit, die bei der Ausführungsform der Fig. 3 Anwendung fin det;

Fig. 10 eine teilweise abgeschnittene perspektivische Ansicht, die eine Tischzuführvorrichtung ge mäß einer weiteren Ausführungsform der vor liegenden Erfindung zeigt;

Fig. 11 einen Schnitt durch eine kombinierte Kolben- und Zylindereinheit, die einen Hauptbestand teil der Ausführungsform der Fig. 10 aus macht; und

Fig. 12 einen Schnitt durch den Innenaufbau einer Kolbenstange, die bei einer Tischzuführ vorrichtung gemäß einer weiteren Ausführungs form der Erfindung Anwendung findet.

Die erfindungsgemäß ausgebildete Tischzuführvorrichtung umfaßt bei einer Ausführungsform eine Grobbewegungszu führeinrichtung, eine Feinbewegungszuführeinrichtung und eine Klemmeinrichtung. Die Grobbewegungszuführeinrichtung besitzt eine kombinierte Kolben- und Zylindereinheit, die in der Lage ist, den Tisch mit einer höheren Geschwindig keit und über einen relativ groben Hub unter dem Ein fluß der Zuführung/Abführung von Strömungsmitteldruck geradlinig zu bewegen. Die Klemmeinrichtung ist so ange ordnet, daß sie wahlweise die Relativbewegung zwischen einem Kolben und einem Zylinder der Kolben-Zylinder einheit der Grobbewegungszuführeinrichtung blockiert oder verhindert. Die Feinbewegungszuführeinrichtung um faßt einen Zuführspindelmechanismus, der in der Lage ist, den Tisch mit einer niedrigeren Geschwindigkeit und über einen erforderlichen Hub mit Hilfe der Kolben- Zylindereinheit, die sich in einem Zustand befindet, in der sie durch die Klemmeinrichtung verriegelt ist, gerad linig zu bewegen.

Die Kolben-Zylindereinheit ist zwischen dem Tisch und dem Zuführspindelmechanismus angeordnet. Bei einer be vorzugten Ausführungsform ist der Kolben der Kolben- Zylindereinheit fest mit dem Zuführspindelmechanismus gekoppelt, während der Zylinder dieser Einheit fest mit dem Tisch gekoppelt ist. Bei einer anderen bevorzugten Ausführungsform sind der Kolben und der Zylinder jeweils fest mit dem Tisch und dem Zuführspindelmechanismus ge koppelt.

Die Klemmeinrichtung kann bei der Grobbewegungszuführung die Relativbewegung zwischen dem Kolben und dem Zylinder, d. h. den Normalbetrieb der Kolben-Zylindereinheit, unter dem Einfluß des Strömungsmitteldrucks ermöglichen. Bei der Feinbewegungszuführung macht die Klemmeinrichtung den Kolben und den Zylinder relativ zueinander unbeweg lich, so daß die Kolben-Zylindereinheit lediglich die Antriebskraft des Zuführspindelmechanismus für die Fein bewegung des Tisches überträgt.

Bei der Tischzuführvorrichtung gemäß der vorstehend be schriebenen bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird die Grobbewegungszuführeinrichtung durch eine kombinierte Kolben- und Zylindereinheit gebildet. Dadurch wird sichergestellt, daß die Grobbewegungszu führeinrichtung innerhalb des Tisches selbst und insbe sondere auf einer Mittelachse angeordnet ist, die sich durch den Schwerpunkt des Tisches erstreckt, ohne daß hierdurch der Aufbau kompliziert wird. Die Grob bewegungszuführeinrichtung kann ferner in einfacher Weise innerhalb einer Vakuumkammer angeordnet werden, da sämtliche Bestandteile, wie beispielsweise eine Kolben stange, Klemmelemente, Führungsschienen etc., so ein fach ausgebildet sind, daß die Vakuumabdichtung für diese Teile leicht durchführbar ist, und zwar beispiels weise mit Hilfe von Bälgen o. ä. Dies macht es wiederum möglich, daß die Grobbewegungszuführeinrichtung, die den Tisch über nahezu den gesamten Hub der Zuführvorrichtung bewegt, so innerhalb der Kammer angeordnet werden kann, daß der Zuführspindelmechanismus für die Feinbewegungs zuführung außerhalb der Kammer angeordnet werden kann. Somit kann der Abschnitt der Zuführvorrichtung, der außer halb der Kammer angeordnet wird, kompakt ausgebildet sein. Darüberhinaus besitzt die kombinierte Kolben- und Zylinder einheit, die eine Betätigungseinheit für die Grobbewegungs zuführung bildet, selbst einen einfachen Aufbau im Ver gleich zu einem Zuführmechanismus von Zuführspindeltyp. Nichts desto trotz kann eine hohe Positionierungsgenauig keit aufrechterhalten werden, da die abschließende Po sitionierung des Tisches in bezug auf die gewünschte Stopposition durch einen Zuführspindelmechanismus der Feinbewegungszuführeinrichtung mit hoher Genauigkeit erreicht wird.

in Fig. 1 ist eine Tischzuführvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt.

Bei dieser Ausführungsform wird ein Tisch 1 zur Lagerung eines Halbleiterplättchens o. ä. in geführter Weise durch lineare Führungsschienen 2 a und 2 b zur Durchführung ei ner geradlinigen Bewegung in Richtung der x-Achse ge lagert. Innerhalb des Tisches 1 ist eine kombinierte Kolben- und Zylindereinheit 3 angeordnet, deren Zylinder seite fest mit dem Tisch 1 verbunden ist. Die Einheit 3 bildet eine Grobbewegungszuführeinrichtung für den Tisch 1 und kann den Tisch 1 unter dem Einfluß eines Strömungsmitteldrucks, der über eine Strömungsmittel zuführ/Abzugseinrichtung 41 ihrem Zylinder zugeführt oder von diesem Zylinder abgeführt wird, und mit Hilfe von flexiblen Rohren 6 a und 6 b relativ zu einer Kolben stange 5 der Einheit 3 bewegen. Am Tisch 1 ist eine Klemmvorrichtung 4 fest montiert, die eine Durchgangs bohrung aufweist, in die die Kolbenstange 5 gleitend eingefaßt ist. Die Klemmvorrichtung 4 kann den Tisch 1 nach Beendigung der Grobpositionierung durch die Grob bewegungszuführung mit der Einheit 3 verriegeln, d. h. den Tisch 1 und die Kolbenstange 5 wahlweise miteinander verriegeln. Mit Hilfe eines Kugelgelenkes 11 ist eine Feinbewegungszuführstange 12 mit einem gegabelten Ab schnitt am freien Ende der Kolbenstange 5 verbunden. Der gegabelte Abschnitt der Stange 12 besitzt Enden, die an einem Gehäuseblock 13, der eine Feinbewegungszuführ mutter 8 aufweist, befestigt sind. Die Zuführmutter 8 wird über eine geeignete Einrichtung relativ zum Ge häuseblock 13 unbeweglich gemacht und kämmt mit einer Feinbewegungszuführspindel 7, die durch eine Lagerein heit 10 gelagert wird. Ein Antriebsmotor 9 besitzt eine Antriebswelle, die mit der Zuführspindel 7 so ver bunden ist, daß durch eine Drehung der Antriebswelle des Motors 9 die Zuführspindel 7 gedreht wird. Eine Drehung der Zuführspindel 7 bewirkt mit Hilfe der gegabelten Stange 12 und des Gelenkes 11 eine Feinbewegung der Kolbenstange 5.

Fig. 4 zeigt Einzelheiten der Klemmvorrichtung 4. Bei dieser Ausführungsform wird die Vorrichtung durch eine elektromagnetische Klemmvorrichtung gebildet, die eine Solenoidbetätigungseinheit 14, ein elastisches Futter 15 und eine gleichmäßig genutete Befestigungsbuchse oder Spaltbuchse 14 besitzt, die lose am Außenumfang der Kolben stange 5 angebracht ist. Die Buchse 16 besitzt im Querschnitt im wesentlichen C-Form und wirkt als Brems schuh zur gleichmäßigen Aufbringung einer Bremskraft auf die Kolbenstange 5. Das Futter 15 bewirkt unter dem Einfluß der Solenoidbetätigungseinheit 14 eine Ver ringerung des Durchmessers der Buchse 16, so daß auf diese Weise eine Brems- oder Befestigungskraft auf die Kolbenstange 5 aufgebracht wird. Wenn sich das Futter außer Betrieb befindet, wird die den Durchmesser redu zierende Kraft, die auf die Buchse 16 einwirkt, freige geben, wobei dieser Effekt durch die Elastizität des Futters selbst bewirkt wird.

Wenn bei der Klemmvorrichtung 4 die Solenoidbetätigungs einheit 14 deaktiviert wird, kann die Kolbenstange 5 frei innerhalb der Buchse 16 gleiten. Wenn andererseits die Solenoidbetätigungseinheit 14 mit Hilfe einer Spannungsquelle 42 aktiviert wird, reduziert das elastische Futter 15 den Durchmesser der Buchse 16, was zur Folge hat, daß die Kolbenstange 5 fest arretiert wird. Die vom Futter 15 auf die Buchse 16 aufgebrachte Kraft zur Durchmesserreduzierung erzeugt eine im wesent lichen gleichmäßige Reibungsklemmkraft, mit der der ge samte Umfang der Kolbenstange beaufschlagt wird. Folg lich wird die Kolbenstange 5 durch eine gleichmäßig ver teilte Klemmkraft arretiert, so daß eine unerwünschte Beschädigung der Kolbenstange verhindert wird.

Bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform der erfindungsgemäß ausgebildeten Tischzuführvorrichtung kann der Antriebsmotor 9 beispielsweise durch ein be kanntes Servoverriegelungsverfahren in vorbereitender Weise verriegelt werden, damit die Grobbewegungszuführung des Tisches 1 verwirklicht werden kann, um auf diese Weise eine Drehbewegung der Zuführspindel 7 relativ zur Zuführmutter 8, die über geeignete Einrichtungen relativ zum Gehäuseblock 13 drehfest gemacht wird, zu verhindern. Hierdurch kann die Kolbenstange 5 in einer speziellen Position zu diesem Zeitpunkt unbeweglich gehalten werden. Danach wird der Strömungsmitteldruck (in einer Größen ordnung von 5-7 kg/cm²) mit Hilfe der Rohre 6 a und 6 b der Kolben-Zylindereinheit 3 zugeführt und/oder von die ser abgeführt. Hierdurch wird die Zylinderseite der Ein heit 3, d. h. der damit verbundene Tisch 1, derart vorwärts oder rückwärts bewegt, daß die Grobzuführung des Tisches 1 über einen gewünschten Hub realisiert wird. Wenn der Tisch 1 eine Position erreicht, die innerhalb eines vor gegebenen Toleranzbereichs für die Grobpositionierung liegt und sich in der Nachbarschaft der gewünschten Stopp position (Zielposition) befindet, wird die Solenoidbe tätigungseinheit 14 der Klemmvorrichtung 4 aktiviert, um die Bewegung des Tisches 1 zu stoppen. Hierdurch wird die Grobpositionierung des Tisches 1 beendet.

Danach wird die Feinzuführung durchgeführt. Zu diesem Zweck wird die Klemmvorrichtung 4 in ihrem Betriebszu stand, bei dem die Solenoidbetätigungseinheit 14 in aktiviertem Zustand gehalten wird, gehalten. Danach wird der Motor 9 angetrieben, so daß die Zuführspindel 7 um eine gewünschte Anzahl von Umdrehungen gedreht wird. Zu diesem Zeitpunkt wird die Zuführmutter 8 relativ zum Gehäuseblock 13 fixiert gehalten. Daher bewirkt jede vollständige Umdrehung der Zuführspindel 7 eine Zuführ bewegung des Gehäuseblocks 13 um eine Strecke, die der Steigung der Spindel 7 entspricht. Diese Bewegung des Blocks 13 wird mit Hilfe der Stange 12 und des Gelenkes 11 auf die Kolbenstange 5 und die Klemmvorrichtung 4 über tragen, so daß der Tisch 1 eine Feinzufuhr erfährt. Der vorstehend beschriebene Übergang von der Grobbewegungs zuführung zur Feinbewegungszuführung einschließlich der Erregung der Solenoidbetätigungseinheit 14 wird in Ab hängigkeit von Befehlssignalen gesteuert, die von einer nicht gezeigten zentralen Prozeßeinheit (CPU) zugeführt werden.

Bei der Ausführungsform der Fig. 3 sind die Kolbenstange 5, die Zuführeinheit einschließlich der gegabelten Stange 12, der Gehäuseblock 13 und die Zuführmutter 8 sowie die Zuführspindel 7 alle koaxial angeordnet. Auf der Achse dieser koaxialen Anordnung befinden sich der Schwerpunkt des Tisches 1. Darüberhinaus sind die Mittelachsen dieser koaxialen Bestandteile einschließlich der Führungschie nen 2 a und 2 b alle im wesentlichen in der gleichen Ebene angeordnet. Mit anderen Worten, bei dieer Ausführungs form kann die Wirkungslinie der Kraft durch den Schwerpunkt des Tisches 1 verlaufen. Dies hat zur Folge, daß selbst bei einer vertikalen Anordnung (Verschiebung in einer ver tikalen Ebene) des Tisches 1 eine unerwünschte Drehbe wegung durch vorkragende Lasten, die sich auf die Führungsschienen und ihre Lager auswirken kann, minimal gehalten werden kann.

Darüberhinaus erleichtert die vorstehend beschriebene Aus führungsform der Tischzuführvorrichtung die Einführung derselben in eine Vakuumkammer. Die Vorrichtung kann in einfacher Weise in der Vakuumkammer angeordnet wer den, indem lediglich die folgenden Modifikationen durchge führt werden müssen: Es wird ein Schmieröl mit langsamer Verdampfung für die Führungsschienen 2 a und 2 b verwendet; die Gleitfläche der Kolbenstange der Kolben-Zylinder einheit 3 wird vakuumdicht gemacht; der Abschnitt des Mechanismus, der die Bestandteile aufweist, die an der Zuführspindelseite des Gelenks 11 angeordnet sind, wird außerhalb der Vakuumkammer (d. h. in der Atmosphäre) angeordnet; und derjenige Abschnitt des Mechanismus, der die Bestandteile umfaßt, die an der Tischseite der Kolbenstange 5 angeordnet sind, wird innerhalb der Vakuumkammer angeordnet. Somit sind nahezu alle Bestand teile, die zur Grobbewegungszuführung beitragen, in der Vakuumkammer angeordnet. Daher kann der aus der Kammer vorstehende Abschnitt der Vorrichtung äußerst kompakt gestaltet werden.

Darüberhinaus kann in einem Fall, bei dem die Führungs schienen 2 a und 2 b, die Klemmvorrichtung 4, die Kolben stange 5 und die Rohre 6 a und 6 b (wenn alle in die Vakuum kammer eingeführt sind) mit Hilfe von Bälgen 31 und 32 und O-Ringen 33 und 34 vakuumdicht gemacht worden sind, wie in Fig. 5 gezeigt, eine unerwünschte Verdampfung des Schmieröles in wirksamer Weise verhindert werden. Somit kann lediglich durch Hinzufügung dieser einfachen Dichtungselemente die Zuführvorrichtung zu einer solchen gemacht werden, die für den Einsatz in einer Hochvakuum kammer äußerst geeignet ist.

Fig. 6 zeigt eine weitere Ausführungsform der Klemm vorrichtung 4. Bei dieser Ausführungsform wird die Vorrichtung 4 durch eine federartige Klemmvorrichtung gebildet, die eine Scheibenzylindereinheit 114, welche eine einzige positive Bewegung ausführt, eine Universal futtereinheit 115, eine Druckfeder 117 und eine Buchse 16 umfaßt, die ähnlich ausgebildet ist wie die in Fig. 4 gezeigte Buchse. Die Scheibenzylindereinheit 114 funktioniert als Antriebseinrichtung zum Lösen der Klemm kraft und wird nachfolgend beschrieben. Die Futterein heit 115 besitzt vier längliche Futterelemente, die je weils im Querschnitt eine viereckige Form besitzen, wie in Fig. 6 gezeigt. Die Futterelemente dieser Einheit 115 reduzieren durch die von der Feder 117 aufgebrachte Kraft den Durchmesser der Buchse 16, wobei diese Kraft mit Hilfe eines Hebels 118 und eines Preßstößels 120 aufgebracht wird. Die Futtereinheit 115 hebt ferner ge gen die von der Feder 117 aufgebrachte Kraft die auf die Buchse 16 ausgeübte Durchmesserverringerungskraft auf, wenn die Scheibenzylindereinheit 14 betätigt wird. Mit 119 ist eine Stange der Scheibenzylinderein heit 114 bezeichnet, die mit einem Ende des Hebels 118 gekoppelt und um die die Feder 117 lose montiert ist. Das andere Ende des Hebels 118 ist mit einem Ende des Preßstößels 120 gekoppelt, während das andere Ende des Preßstößels 120 mit der Universalfuttereinheit 115 verbunden ist. Mit 121 ist ein Gehäuse zur Aufnahme der Futterelemente der Einheit 115 bezeichnet. Sämtliche der vorstehend beschriebenen Bestandteile werden durch eine gemeinsame Basis 122 gelagert. Im Betrieb wird Strömungsmitteldruck von einer Strömungsmittelversorgungs einrichtung 43 der Scheibenzylindereinheit 114 zugeführt. Die Einheit 114 erzeugt hierbei eine Klemmaufhebungskraft, um die Stange 119 in Fig. 6 nach links zu verschieben und dadurch die Feder 117 zusammenzudrücken. Hierdurch wird die Klemmkraft aufgehoben, so daß die Kolbenstange 5 frei innerhalb der Buchse 16 gleiten kann. Wenn andererseits die Beaufschlagung der Scheibenzylinderein heit 114 mit Strömungsmitteldruck unterbrochen wird, wird die von der Feder 117 aufgebrachte Kraft (oder Rückzugs kraft) wirksam und verschiebt die Stange 119 in Fig. 6 nach rechts, so daß der Hebel 118 im Uhrzeigersinn be wegt wird. Die Bewegung des Hebels 118 im Uhrzeigersinn bewirkt eine Bewegung des Preßstößels 120 nach links, die wiederum kleine Verschiebungen der Futterelemente der Einheit 115 in den durch Pfeile in Fig. 6 angedeuteten Richtungen verursacht. Mit anderen Worten, die Futter elemente werden in wesentlichen im Uhrzeigersinn bewegt, wie in Fig. 6 gezeigt. Durch diese Bewegungen der Futter elemente wird der Durchmesser der Buchse 16 reduziert, wodurch die Kolbenstange 5 fixiert wird.

Bei dieser Ausführungsform wird das Gehäuseelement 121, über das die Futterelemente der Einheit 115 beweg lich gehalten werden, mit Hilfe der Basis 122 über den Zylinder der Kolben-Zylindereinheit (Fig. 3) so gelagert, daß es eine Relativbewegung in radialen Richtungen zum Zylinder ausführen kann, d. h. in Richtung senkrecht zur Achse der Kolben-Zylindereinheit 3. Hierbei bewirkt die auf die Buchse 16 von der Futtereinheit 115 aufge brachte Durchmesserverringerungskraft eine Reibklemm kraft, die gleichmäßig über den gesamten Umfang der Kolben stange 5 verteilt ist, so daß die Kolbenstange 5 durch eine gleichmäßig verteilte Klemmkraft fixiert wird. Genauer gesagt, die auf die Kolbenstange 5 aufgebrachte Klemmkraft wirkt in bezug auf die Kolbenstange 5 als Zentripetalkraft. Das Gehäuseelement 121 (Basis 122) ist in der Lage, sich nach dem Klemmvorgang der Futterelemente in irgendeiner radialen Richtung relativ zum Zylinder zu verschieben. Hierdurch wird eine unerwünschte Auf bringung von abweichenden Lasten auf die Kolbenstange 5 zum Zeitpunkt des Klemmvorganges verhindert. Folglich kann die Klemmgenauigkeit (die Genauigkeit in bezug auf das Halten der Stange 5 in einer gewünschten Position) beträchtlich verbessert werden. Ferner wird eine uner wünschte Beschädigung der Kolbenstange 5 vermieden. Schließlich ist es bei dieser Ausführungsform nicht er forderlich, zum Klemmzeitpunkt der Scheibenzylinder einheit 114 den Strömungsmittelpunkt zuzuführen. Daher kann die von außen der Vorrichtung zuzuführende Energie reduziert werden. Auch wird die Erzeugung von Wärme in der Klemmvorrichtung verhindert, so daß die nutzbare Lebensdauer der Vorrichtung erhöht wird.

Fig. 7 zeigt eine weitere Ausführungsform der Klemm vorrichtung 4. Bei diesem Ausführungsbeispiel besitzt die Klemmvorrichtung ein elastisches Element oder Feder element 216 mit einer im wesentlichen zylindrischen Form, piezoelektrische Vorrichtungen 214 und eine Klemm einheit, die einen Preßblock 217 und einen V-förmigen Kraftleiterblock 218 aufweist. Das zylindrische Ele ment 216 ist lose an der Kolbenstange 5 befestigt und weist einen in drei Abschnitte unterteilten Endab schnitt auf. Die Klemmeinheit ist in der Lage, mit Hilfe der Verlängerung der piezoelektrischen Vorrichtungen 214, wenn an diese von einer Spannungsbeaufschlagungsein richtung 44 elektrische Spannungen angelegt werden, den Durchmesser des unterteilten Abschnittes des zylindrischen Elementes 216 zu verringern. Genauer gesagt, diese Be standteile sind in einem Gehäuselement 215 aufgenommen, das vom Zylinder der Kolben-Zylindereinheit 3 (Fig. 3) für eine Relativbewegung in radialen Richtungen zum Zylinder (d. h. in Richtung senkrecht zur Zylinderachse) gelagert wird, und zwar beispielsweise mit Hilfe von ge eigneten elastischen Einrichtungen. Die piezoelektrischen Vorrichtungen 214 werden mit Hilfe von Stellschrauben 219 vom Gehäuseelement 215 gelagert. Einzelheiten des zylindrischen Elementes 216 sind in Fig. 8 dargestellt.

Wenn bei der Klemmvorrichtung 4 dieser Ausführungsform die piezoelektrischen Vorrichtungen 214 nicht erregt sind, kann die Kolbenstange 5 im zylindrischen Element 216 frei gleiten. Wenn die piezoelektrischen Vorrichtungen 214 andererseits durch Anlegen der Spannungen von der Spannungsbeaufschlagungseinrichtung 44 erregt werden, weitet sich jede piezoelektrische Vorrichtung 214 um ein Maß aus, das im Bereich von einigen bis zu einigen Zehntel µm liegt. Hierdurch wird das zylindrische Element 213 zwischen dem Preßblock 217 und dem V-Block 218 in drei Richtungen zusammengepreßt. Folglich wird der Durch messer des unterteilten Abschnittes des zylindrischen Elementes 216 zur Fixierung der Stange 5 verringert. Zu diesem Zeitpunkt bewirkt die Durchmesserverringerungs kraft aufgrund der Erweiterung der piezoelektrischen Vorrichtungen 214 Reibklemmkräfte, die in drei Richtungen von den Blöcken 217 und 218 auf den Mittelpunkt der Stange 5 einwirken. Somit wirkt die Befestigungskraft als Zentripetalkraft auf die Kolbenstange. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist das Gehäuseelement 215 in der Lage, sich nach dem Klemmvorgang der Klemmeinheit in irgendeiner radialen Richtung relativ zum Zylinder zu verschieben. Hierdurch wird eine unerwünschte Auf bringung von abweichenden Lasten auf die Kolbenstange 5 zum Klemmzeitpunkt verhindert. Dadurch kann die Klemm genauigkeit verbessert und eine unerwünschte Beschädigung der Kolbenstange 5 verhindert werden. Die piezoelektrische Vorrichtung ist kompakt und besitzt ein geringes Gewicht, wobei sie jedoch trotzdem eine ausreichende Kraft erzeugt. Daher kann die Klemmvorrichtung 4 dieser Ausführungsform sehr kompakt ausgebildet werden, obwohl sie trotzdem eine ausreichend große Klemmkraft erzeugt.

Fig. 9 ist eine Schnittansicht, die schematisch den Innen aufbau der Kolben-Zylindereinheit 3 der Tischzuführvor richtung der Fig. 3 zeigt. Wie in Fig. 9 dargestellt, umfaßt die Einheit 3 einen Kolben 3 a, der mit einem Ende der Kolbenstange 5 verbunden ist. Der Kolben 3 a ist gleitend innerhalb eines Zylinders 3 b beweglich. Am Kol ben 3 a sind Dichtungsringe 3 c vorgesehen, so daß das Innere des Zylinders 3b über den Kolben 3 a in zwei Zylinder kammern 3 d und 3 e aufgeteilt wird. Nippel 14 a und 14 b sind an den gegenüberliegenden Endabschnitten des Zylinders 3 b montiert, um die Betriebsmittel den Zylinderkammern 3 d und 3 e zuzuführen oder von diesen abzuführen.

Anhand der Fig. 10 bis 12 wird nunmehr eine Tischzuführ vorrichtung gemäß einer weiteren Ausführungsform der Er findung beschrieben.

Diese Ausführungsform entspricht der Ausführungsform der Fig. 3. In Fig. 10 sind Elemente, die eine ähnliche oder eine entsprechende Funktion besitzen wie die Ele mente der Ausführungsform der Fig. 3, mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Ein Hauptunterschied der vor liegenden Ausführungsform besteht im Einsatz einer kombi nierten Kolben- und Zylindereinheit, die in den Fig. 10 und 11 das Bezugszeichen 30 trägt. Wie in Fig. 10 dar gestellt, wird der Tisch 1 durch lineare Führungsschienen 2 a und 2 b in geführter Weise gelagert, so daß er eine geradlinige Bewegung in Richtung der y-Achse durchführen kann. Die Kolben- und Zylindereinheit 30 ist innerhalb des Tisches 1 angeordnet und besitzt den in Fig. 11 dar gestellten Aufbau. Die Zylinderseite der Einheit 30 ist fest mit dem Tisch 1 verbunden. Wie in Fig. 11 gezeigt, umfaßt die Einheit 30 einen Kolben 30 a, einen Zylinder 30 b und eine Kolbenstange 50, die ein Ende aufweist, das mit dem Kolben 30 a verbunden ist, und die sich durch eine im Zylinder 30 b ausgebildete Durchgangsbohrung 30 f erstreckt. Mit Ausnahme der vorstehend erwähnten Durch gangsbohrungen 30 f ist der Zylinder 30 b mit keinem Loch oder keiner Öffnung versehen, die sich zur Außenseite des Zylinders 30 b erstreckt. Die Kolbenstange 50 weist ein hohles wellenförmiges Element mit offenen Enden auf. Das Innere der Kolbenstange 50 bildet einen Betriebs mittelzuführ/Abzugskanal 50 b zur Zuführung/Abführung von Strömungsmitteldruck in eine Zylinderkammer 30 e bzw. von dieser Zylinderkammer, die an der Zylinderkopf seite ausgebildet ist. Ein Rohr 51 mit kleinem Durch messer ist in der hohlen Kolbenstange 50 fest montiert. Die Bohrung dieses Rohres bildet einen Betriebsmittel zuführ/Abzugskanal 50 a zur Zuführung/Abführung von Strömungsmitteldruck in eine andere Zylinderkammer 30 d bzw. von dieser Kammer, die an der Kolbenstangenseite des Zylinders 30 b ausgebildet ist. Die auf diese Weise in der Kolbenstange 50 gebildeten Kanäle 50 a und 50 b stehen mit entsprechenden Nippeln 60 a und 60 b, die an einem Gelenk 15 ausgebildet sind, das am Ende der Kolbenstange 50 montiert ist, in Strömungsmittelver bindung. Die Nippel 16 a und 16 b stehen wiederum in Strömungsmittelverbindung mit einer gemeinsamen Strömungs mitteldruckversorgungsquelle 41.

Die Kolben-Zylindereinheit 30 bildet die Grobbewegungs zuführeinrichtung für den Tisch 1. Unter dem Einfluß des Strömungsmitteldruckes, der mit Hilfe der Kanäle 50 a und 50 b in der Kolbenstange 50 zugeführt oder abgezogen wird, bewegt die Einheit 30 den Tisch 1 relativ zur Kolbenstange 50. Der Tisch 1 besitzt eine Klemmvorrichtung 4, die fest am Tisch 1 angebracht ist und die Kolbenstange 50 umgibt. Wie bei der Ausführungsform der Fig. 3 kann die Klemm vorrichtung 4 der vorliegenden Ausführungsform den Tisch 1 nach Beendigung der Grobpositionierung am Ende der Grob bewegungszuführung durch die Einheit 30 verriegeln. Mit anderen Worten, die Klemmvorrichtung 4 blockiert wahlweise die Relativbewegung zwischen dem Tisch 1 und der Kolben stange 5. Mit Hilfe des Gelenkes 15 ist mit dem Ende der Kolbenstange 5 eine Feinbewegungszuführstange 12 verbunden, die einen gegabelten Abschnitt aufweist. Die freien Enden des gegabelten Abschnittes der Stange 12 sind fest an einem Gehäuseblock 13 angebracht, der eine Feinbewegungs zuführmutter 8 aufweist. Die Mutter ist über geeignete Einrichtungen relativ zum Gehäuseblock 13 unbeweglich ge macht und kämmt mit einer Feinbewegungszuführspindel 70, die durch eine Lagereinheit 10 drehbar gelagert wird. Ein Ende der Zuführspindel 7 ist mit einer Ausgangs welle eines Antriebsmotors 9 verbunden, so daß durch den Antrieb des Motors 9 die Zuführspindel 7 in Drehungen ver setzt wird. Hierdurch wird eine geradlinige Feinbewegung der Kolbenstange 50 mit Hilfe der Zuführmutter 8, des Ge häuseblocks 13, der gegabelten Stange 12 und des Gelenkes 15 erreicht.

Die Funktionsweise dieser Tischzuführvorrichtung, d. h. die Grobzuführung und Feinzuführung des Tisches 1, entspricht im wesentlichen der der Ausführungsform der Fig. 3.

Bei der vorliegenden Ausführungsform ist das in der Kolben stange 50 vorgesehene Rohr 51 vorzugsweise innerhalb der Stange 50 fixiert. Durch diese Fixierung werden unerwünschte Vibrationen des Rohres 51 in der Stange 50 verhindert.

Fig. 12 zeigt ein Ausführungsbeispiel in bezug auf die Fixierung der Rohres 51. Wie dort gezeigt, wird die Kolben stange durch ein hohles wellenförmiges Element 150 ge bildet, das eine Bohrung aufweist, in die ein weiteres hohles wellenförmiges Element 151 eingepaßt ist. Das wellenförmige Element 151 besitzt einen Außendurchmesser, der so ausgebildet ist, daß es eng in die Bohrung des hohlen wellenförmigen Elementes 150 eingepaßt ist. Die äußeren Abschnitte des wellenförmigen Elementes 151 sind teilweise über dessen Gesamtlänge abgeschnitten, wie aus Fig. 12 hervorgeht. Somit bildet die Bohrung des wellen förmigen Elementes 151 einen Kanal 50 a, der dem in Fig. 11 gezeigten Kanal 50 a entspricht, während die abge schnittenen Abschnitte Kanäle 50 b bilden, die dem in Fig. 11 gezeigten Kanal 50 b entsprechen. Auch ist bei dem in 12 gezeigten Ausführungsbeispiel das hohle wellen förmige Element 151 eng in die Bohrung der Kolbenstange 150 eingepaßt. Somit werden unerwünschte Vibrationen des inneren Rohres innerhalb des äußeren Rohres voll ständig verhindert.

Die vorliegende Erfindung wurde vorstehend anhand von Aus führungsbeispielen beschrieben, bei denen die Kolben- Zylindereinheit 3 oder 30 zur Bewegung des Tisches 1 mit Hilfe von Strömungsmitteldruck (unter Druck gesetztes Strömungsmittel) angetrieben wurde. Als Medium für diesen Strömungsmitteldruck kann Druckluft Verwendung finden. Wenn die Last des Tisches nicht so groß und die erforder liche Zuführgeschwindigkeit nicht so hoch ist, kann die Einheit 3 oder 30 auch durch Entlüften bzw. Vakuumbe tätigung angetrieben werden. Hierzu kann einer der Strömungsmittelzuführ/Abführkanäle der vorstehend beschrie benen Ausführungsformen zur Atmosphäre hin geöffnet werden, während der andere Kanal an eine Druckreduzierein richtung angeschlossen werden kann, um auf diese Weise den Druck im letztgenannten Kanal auf ein Niveau zu re duzieren, das unter atmosphärischem Druck liegt (d. h. innerhalb eines Bereiches von 1 kg/cm² max.). Eine solche Ausführungsform ist besonders wirksam, um ein Strömungs mitteldruckleck am Dichtungselement 30 g (Fig. 11) für die Kolbenstange zu reduzieren, wenn die Zuführvor richtung in einer Vakuumkammer verwendet wird.

Erfindungsgemäß wird somit eine Vorrichtung zur Zuführung eines Tisches in einer Richtung vorgeschlagen, die die folgenden Bestandteile aufweist: Ein erstes Antriebs system zur relativ groben Zuführung des Tisches, das einen Kolben und einen Zylinder aufweist, die in einer Einheit miteinander kombiniert sind, ein Verriegelungs system zum wahlweisen Verhindern einer Relativbewegung zwischen dem Kolben und dem Zylinder zumindest in der vorstehend erwähnten Richtung und ein zweites Antriebs system zum relativ feinen Zuführen des Tisches mit Hilfe des Kolbens und des Zylinders.

Claims

1. Vorrichtung zur Zuführung eines Tisches in einer be stimmten Richtung, gekennzeichnet durch:
eine erste Antriebseinrichtung für eine relative Grob zuführung des Tisches (1), die einen Kolben (3 a, 30 a) und einen Zylinder (3 b, 30 b) aufweist, die in einer Ein heit (3, 30) miteinander kombiniert sind;
eine Verriegelungseinrichtung (4) zum wahlweisen Ver hindern einer Relativbewegung zwischen dem Kolben und dem Zylinder mindestens in dieser bestimmten Richtung; und
eine zweite Antriebseinrichtung für eine relative Fein zuführung des Tisches (1) mit Hilfe des Kolbens (3 a, 30 a) und des Zylinders (3 b, 30 b).

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verriegelungseinrichtung (4) mindestens relativ zu der bestimmten Richtung am Zylinder (3 b, 30 b) fixiert und in der Lage ist, einen solchen Abschnitt der Kolben- und Zylindereinheit (3, 30), der als Einheit mit dem Kolben (3 a, 30 a) bewegbar ist, festzuklemmen, um auf diese Weise eine Relativbewegung zwischen dem Kolben und dem Zylinder zu verhindern.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verriegelungseinrichtung (4) eine Einrichtung (14) zur Erzeugung einer elektromagnetischen Kraft zum Festklemmen des Abschnittes der Kolben- und Zylinder einheit (3, 30) aufweist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verriegelungseinrichtung (4) eine Feder (117) aufweist, die eine wirksame Kraft zum Festklemmen des Abschnittes der Kolben- und Zylindereinheit (3, 30) aus übt, sowie eine Einrichtung (114) zum Erzeugen einer gegen die von der Feder (117) ausgeübte Kraft wirken den Kraft zur Freigabe des Klemmeingriffes des Abschnit tes der Kolben- und Zylindereinheit (3, 30).

5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verriegelungseinrichtung (4) eine piezoelektri sche Vorrichtung (214) und eine Einrichtung (44) zur Erregung der piezoelektrischen Vorrichtung (214) zur Erzeugung einer Klemmkraft aufweist.

6. Vorrichtung zur Zuführung eines Tisches, gekennzeich net durch:
eine Zylindereinrichtung (30 b), die als Einheit mit dem Tisch (1) bewegbar ist;
eine Kolbeneinrichtung (30 a), die innerhalb der Zylin dereinrichtung (30 b) bewegbar ist; und
ein stangenförmiges Element (50), das als Einheit mit der Kolbeneinrichtung (30 a) ausgebildet und mit einem Element gekoppelt ist, daß außerhalb der Zylinderein richtung (30 b) angeordnet ist, und das einen Strömungs mittelzuführ/-abführkanal aufweist, der im stangenför migen Element ausgebildet ist, um Strömungsmittel in die Zylindereinrichtung (30 b) einzuführen oder von die ser abzuführen.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Zylindereinrichtung (30 b) einen Innenraum auf weist, der von der Kolbeneinrichtung (30 a) in zwei Zy linderkammern (30 d, 30 e) aufgeteilt wird, und daß das stangenförmige Element (50) zwei Kanäle (50 a, 50 b) be sitzt, die in Strömungsmittelverbindung mit den beiden Zylinderkammern (30 d, 30 e) stehen.

8. Kombinierter Kolben- und Zylindermechanismus, gekenn zeichnet durch:
eine Zylindereinrichtung (3 b, 30 b);
eine Kolbeneinrichtung (3 a, 30 a), die innerhalb der Zy lindereinrichtung bewegbar ist; und
ein stangenförmiges Element (5, 50) zur Verbindung der Kolbeneinrichtung mit einem Element, daß außerhalb der Zylindereinrichtung angeordnet ist, wobei in dem stan genförmigen Element ein Kanal zur Zuführung/Abführung von Strömungsmittel in die bzw. von der Zylinderein richtung vorgesehen ist.

9. Vorrichtung zur Zuführung eines in einer Kammer ent haltenen Tisches in einer bestimmten Richtung, gekenn zeichnet durch:
eine erste bewegliche Einrichtung, die als Einheit mit dem Tisch in dieser Richtung bewegbar ist;
eine zweite bewegliche Einrichtung, die mit der ersten beweglichen Einrichtung gekoppelt ist und dazu eine Re lativbewegung zu der bestimmten Richtung ausführt;
eine Einrichtung zum Einstellen der Relativlage der ersten und zweiten beweglichen Einrichtung zu der be stimmten Richtung;
eine Einrichtung zum wahlweise Verriegeln der zweiten beweglichen Einrichtung in der bestimmten Richtung; und
einen Balg, der entweder mit dem Tisch oder der ersten beweglichen Einrichtung und mit einer Wand der Kammer verbunden ist, so daß er mindestens einen Abschnitt der zweiten beweglichen Einrichtung in einem Raum, der vom Tisch oder der ersten beweglichen Einrichtung und von der Wand und dem Balg gebildet wird, aufnimmt und dadurch diesen Abschnitt der zweiten beweglichen Ein richtung vom restlichen Abschnitt der Kammer isoliert.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß in der den Raum begrenzenden Wand eine Öffnung aus gebildet ist, die sich zur Außenseite der Kammer hin öffnet.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich net, daß die zweite bewegliche Einrichtung einen Ab schnitt aufweist, der sich durch die Öffnung zur Aus senseite der Kammer hin erstreckt.

12. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich net, daß die Einstelleinrichtung einen Abschnitt be sitzt, der sich durch die Öffnung zur Außenseite der Kammer hin erstreckt.

13. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich net, daß die Verriegelungseinrichtung eine Einrichtung für eine relative Feinbewegung der zweiten beweglichen Einrichtung in der bestimmten Richtung umfaßt.

14. Vorrichtung zur Zuführung einen in einer Kammer enthaltenen Tisches in einer bestimmten Richtung, ge kennzeichnet durch:
eine Zylindereinrichtung, die als Einheit mit dem Tisch in dieser Richtung bewegbar ist;
eine Kolbeneinrichtung, die in bezug auf die bestimmte Richtung relativ zu der Zylindereinrichtung bewegbar ist;
eine Einrichtung zur Zuführung/Abführung von Strömungs mittel in die bzw. von der Zylindereinrichtung;
ein stangenförmiges Element, das mit der Kolbeneinrich tung verbunden ist und sich aus der Zylindereinrichtung erstreckt;
eine Feinantriebseinrichtung zur Durchführung einer re lativen Feinbewegung des stangenförmigen Elementes in der bestimmten Richtung, die eine Antriebskraft auf das stangenförmige Element von außerhalb der Kammer ausübt; wobei das stangenförmige Element einen Abschnitt besitzt, der sich durch eine in einer Wand der Kammer ausgebil dete Öffnung zur Außenseite der Kammer hin erstreckt; und
eine Einrichtung zum Abdichten der Öffnung, durch die sich der Abschnitt des stangenförmigen Elementes er streckt, und dadurch zum Isolieren der Kammer der Außenseite.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich net, daß die Dichtungseinrichtung einen Balg umfaßt.

16. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich net, daß die Strömungsmittelzuführ/-abführeinrichtung mit Hilfe der Öffnung Strömungsmittel von der Außensei te der Kammer zuführen bzw. zur Außenseite der Kammer abführen kann.