JP3247554B2 - 基板搬送装置およびこれを用いた露光装置 - Google Patents

基板搬送装置およびこれを用いた露光装置

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JP3247554B2 JP18893394A JP18893394A JP3247554B2 JP 3247554 B2 JP3247554 B2 JP 3247554B2 JP 18893394 A JP18893394 A JP 18893394A JP 18893394 A JP18893394 A JP 18893394A JP 3247554 B2 JP3247554 B2 JP 3247554B2
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    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
    • G03F7/7075—Handling workpieces outside exposure position, e.g. SMIF box

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体露光装置等にお
いてマスクやウエハ等基板をこれらの位置決めステージ
等に搬送するための基板搬送装置およびこれを用いた露
光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体露光装置等においては、マスクや
ウエハ等基板を所定の収納位置または待機位置からハン
ドによってマスクステージやウエハステージに搬送し、
これらのウエハチャックに吸着させて露光光等に対する
位置決めを行なう。また、近年では荷電粒子蓄積リング
放射光（ＳＯＲ光）等を用いたＸ線露光装置が開発され
ており、このような露光装置においては、減圧室内で垂
直にウエハを保持する縦型の位置決めステージが用いら
れている。
【０００３】図７は縦型の位置決めステージにウエハを
供給する基板搬送装置の一従来例を示すもので、これ
は、ウエハＷ0 の外周縁の近傍を真空吸着力によって吸
着するハンド１０１と、これと一体であるハンド支持体
１０２を、図示しないウエハステージのウエハチャック
１０３の吸着面１０３ａに垂直な方向（Ｚ軸方向）に案
内する一対のガイド棒１０４ａ，１０４ｂと、支持体１
０２に設けられたねじ穴に螺合するねじ棒１０５と、こ
れを回転させるパルスモータ１０５ａを有し、ハンド支
持体１０２はねじ棒１０５の回転によって一対の側板１
０６ａ，１０６ｂの間をガイド棒１０４ａ，１０４ｂに
沿って往復移動する。ハンド１０１は、ウエハチャック
１０３の吸着面１０３ａの前方側の側板１０６ａに近接
する位置で図示しないコンベア等からウエハＷ0 を受け
取ったのちにウエハチャック１０３の後方側の側板１０
６ｂに向かって移動し、この過程でハンド１０１からウ
エハチャック１０３にウエハＷ0 の受け渡しが行なわ
れ、ハンド１０１が前記と逆に移動する過程で露光済み
のウエハがウエハチャック１０３からハンド１０１に受
け渡される。
【０００４】ハンド支持体１０２の底部には遮光部材１
０２ａが一体的に設けられており、ハンド支持体１０２
とともに移動する遮光部材１０２ａの移動路には、ま
ず、ウエハチャック１０３からその前方側に最も遠い位
置とウエハチャック１０３からその後方側に最も遠い位
置にそれぞれ第１および第２のストロークリミットセン
サ１０７ａ，１０７ｂが配設され、その内側に第１およ
び第２の位置センサ１０８ａ，１０８ｂが配設され、ハ
ンド１０１とウエハチャック１０３の間でウエハＷ0 の
受け渡しを行なう位置には近接センサ１０９が配設され
ている。
【０００５】各ストロークリミットセンサ１０７ａ，１
０７ｂは遮光部材１０２ａがこれを横切ることでパルス
モータ１０５ａのコントローラに異常信号を発生してパ
ルスモータ１０５ａすなわちハンド１０１を緊急停止す
るように構成され、各位置センサ１０８ａ，１０８ｂは
ハンド１０１がその走行路の両端すなわちＺ軸方向に走
行を開始する原点位置および前記と逆の方向に走行を開
始する逆進開始位置に達したことを検出するフォトセン
サであり、また、近接センサ１０９は、前述のようにウ
エハＷ0 の受け渡しを行なうウエハ受け渡し位置に配設
され、ハンド１０１が前記走行路を走行する過程で前記
ウエハ受け渡し位置を中心として所定の領域内にあると
きにこれを検知するフォトセンサであり、パルスモータ
１０５ａの暴走等によって予定のタイミングより早くハ
ンド１０１がウエハ受け渡し位置に近づいたときやハン
ド１０１の吸着解除のタイミングに誤動作が生じたとき
異常信号を発生し、ハンド１０１を緊急停止する安全装
置として機能する。
【０００６】すなわち、各ストロークリミットセンサ１
０７ａ，１０７ｂはハンド１０１が前記原点位置または
前記逆進開始位置を越えて各側板１０６ａ，１０６ｂに
干渉するのを防ぎ、各位置センサ１０８ａ，１０８ｂ
は、パルスモータ１０５ａの駆動パルス数からハンド１
０１の原点位置と逆進開始位置の間の走行距離を検出す
る計数回路に接続され、該計数回路は各位置センサ１０
８ａ，１０８ｂの出力によって駆動パルス数の計数を開
始する。
【０００７】また、近接センサ１０９は、前述のように
ハンド１０１がウエハ受け渡し位置を挟んで所定の領域
内に位置したときにこれを検出する。
【０００８】図８はコンベア等からウエハＷ0 を受け取
ったハンド１０１が前述の原点位置からウエハチャック
１０３に向かって走行しながらこれにウエハＷ0 を受け
渡し、露光を終了したウエハをウエハチャック１０３か
ら受け取って原点位置まで戻る工程と各ストロークリミ
ットセンサ１０７ａ，１０７ｂ、各位置センサ１０８
ａ，１０８ｂおよび近接センサ１０９の出力のタイミン
グを説明するもので、まず、原点位置Ｐ1 において計数
回路によるパルスモータ１０５ａの駆動パルス数の計数
が開始される。計数回路はハンド１０１の走行中の現在
位置を逐次図示しないコンピュータに送信し、コンピュ
ータは予め設定されたプログラムに従ってハンド１０１
とウエハチャック１０３のそれぞれの吸着開始と吸着解
除を以下のように行なう。
【０００９】ウエハＷ0 を吸着したハンド１０１が原点
位置Ｐ1 から所定距離だけ走行してウエハチャック吸着
開始位置Ｐ2 に達するとウエハチャック１０３の吸着が
開始され、そこからハンド１０１がさらに所定距離だけ
走行してハンド吸着解除位置Ｐ4 に達するとハンド１０
１の吸着が解除される。ハンド１０１がウエハチャック
吸着開始位置Ｐ2 からハンド吸着解除位置Ｐ4 へ移動す
る間にウエハ受け渡し位置Ｐ0 においてウエハＷ0 の受
け渡しが行なわれ、ウエハＷ0 をウエハチャック１０３
に受け渡したハンド１０１はひき続きＺ軸方向に移動し
て逆進開始位置Ｐ6 で停止する。
【００１０】他方ウエハＷ1 を受け取ったウエハチャッ
ク１０３は前述のウエハステージの駆動によって図示し
ない所定の露光位置へ移動し、ウエハの露光が終了した
のちに再びウエハ受け渡し位置にもどる。続いて、逆進
開始位置Ｐ6 のハンド１０１が原点位置Ｐ1 に向かって
駆動され、逆進開始位置Ｐ6 から所定距離だけ走行して
ハンド吸着開始位置Ｐ5 に達するとハンド１０１の吸着
が開始され、ハンド１０１がさらに原点位置Ｐ1 に向か
って走行しウエハチャック吸着解除位置Ｐ3 に達すると
ウエハチャック１０３の吸着が解除される。ハンド１０
１がハンド吸着開始位置Ｐ5 からウエハチャック吸着解
除位置Ｐ3 に走行する間にウエハ受け渡し位置Ｐ0 にお
いてウエハの受け渡しが行なわれ、ウエハチャック１０
３からウエハを受け取ったハンド１０１はひき続き走行
して原点位置Ｐ1 で停止する。
【００１１】ハンド１０１が原点位置Ｐ1 と逆進開始位
置Ｐ6 を越えてストロークエンドＥ 1 ，Ｅ2 に達したと
きはストロークリミットセンサ１０７ａ，１０７ｂによ
ってパルスモータ１０５ａのコントローラに異常信号が
発生され、これによってパルスモータ１０５ａが緊急停
止される。
【００１２】また、ハンド１０１が原点位置Ｐ1 と逆進
開始位置Ｐ6 の間を走行する間に近接センサ１０９の作
動領域Ｅ0 に突入しても、計数回路に対する駆動パルス
数の設定ミスあるいはハンド１０１の暴走等によって計
数回路が出力しないときは、パルスモータ１０５ａのコ
ントローラに異常信号が発生されてハンド１０１が緊急
停止される。これによって、ウエハチャック１０３にウ
エハＷ0 が衝突して破損したり、あるいはウエハチャッ
ク１０３の吸着が開始されずにウエハＷ0 が脱落するの
を防ぐ。また、ハンド１０１がウエハの受け渡しを終え
たのち近接スイッチ１０９の作動領域Ｅ0 内を走行する
間に受け渡し側の吸着解除が行われなかったときも、パ
ルスモータ１０５ａのコントローラに異常信号が発生さ
れてハンド１０１が緊急停止されウエハが破損するのを
防ぐように構成されている。
【００１３】このように、ハンド１０１とウエハチャッ
ク１０３の間で自動的にウエハＷ0の受け渡しを行なう
とともに、ハンド１０１のオーバーランや予定された吸
着解除のタイミング等に誤動作等が発生したときにはハ
ンド１０１を緊急停止させることでウエハの脱落や破損
を防ぐ工夫がなされている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、前述のように、受け渡し側の吸着解除
のタイミングを設定するためにまずウエハ受け渡し位置
を高精度で検出しなければならず、このために極めて高
精度で高価な計測装置が必要である。また、ウエハの脱
落や破損を防ぐためにハンドを緊急停止する安全装置が
近接センサを用いるものであり、ウエハ受け渡し位置に
対する近接センサの配設位置を厳密に管理する必要があ
るが、近接センサの組み付けにおいてその配設位置を厳
密に設定するには熟練した技能と多くの人手を必要とす
るために組立作業が複雑になり、その結果、製造コスト
の大幅な上昇を招く。また、Ｘ線露光装置等においては
減圧チャンバ内でウエハの受け渡しが行なわれるため、
減圧によってハンドの支持体やウエハチャックが変形
し、これによって近接センサの配設位置がずれて安全装
置の信頼性が大きく損なわれるおそれもある。
【００１５】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであって、高価な計測装置や組み
付けが複雑な近接スイッチ等を必要とせず、従って組み
立てコストやサービスコストが低く、しかもウエハの脱
落や破損を防ぐための安全対策も万全である基板搬送装
置およびこれを用いた露光装置を提供することを目的と
するものである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の基板搬送装置は、減圧手段によって減圧さ
れる吸着面に基板を縦にして保持する第１および第２の
基板保持手段と、前記第１の基板保持手段を前記第２の
基板保持手段の前記吸着面に交差する走行路に沿って走
行させる駆動手段と、前記第１および前記第２の基板保
持手段の前記吸着面の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記圧力検出手段の出力に基づいて前記第１および前記
第２の基板保持手段の前記減圧手段を制御する制御手段
を有し、前記基板を縦にしたままの状態で、前記第１お
よび前記第２の基板保持手段間で前記基板の受け渡しを
行なう基板搬送装置であって、前記吸着面に前記基板を
保持した状態で前記圧力検出手段の出力が所定のしきい
値を超えて変化したとき、前記駆動手段を緊急停止させ
ることを特徴とする。
【００１７】圧力検出手段の出力が所定のしきい値を超
えたとき、異常信号を発生する異常信号発生手段を有す
るとよい。
【００１８】
【００１９】
【作用】第１の基板保持手段が走行路に沿って走行する
間に第１および第２の基板保持手段の間で基板の受け渡
しが行なわれ、その位置は圧力検出手段の出力の変化に
よって検出される。例えば、第２の基板保持手段が基板
の受け取り側であるときは、その吸着面の圧力が所定の
真空吸着力に到達したときの第１の基板保持手段の位置
を基板受け渡し位置と判定し、これに基づいて第１およ
び第２の基板保持手段の吸着開始や吸着解除のタイミン
グを設定する。従って、吸着開始や吸着解除のタイミン
グを設定するために高価な計測装置を用いて基板の受け
渡し位置を検出する必要はない。
【００２０】誤動作によって第１の基板保持手段の吸着
面の吸着解除が行なわれなかったときは、第１の基板保
持手段に引きづられて基板が第２の吸着面から離れるた
めにその圧力が所定の真空吸着力から上昇する。そこ
で、第２の基板保持手段の吸着面の圧力が所定の上限に
達したときの圧力検出手段の出力に基づいて異常信号を
発生させて第１の基板保持手段の走行を緊急停止させれ
ば、基板の損傷を未然に防ぐことができる。
【００２１】また、第２の基板保持手段による吸着が開
始される前に第１の基板保持手段が暴走し、このために
基板が第２の基板保持手段に衝突したときは、第１の基
板保持手段の吸着面から基板が引き離されるために第１
の基板保持手段の吸着面の圧力が所定の真空吸着力から
上昇する。そこで、第１の基板保持手段の吸着面の圧力
が所定の上限に達したときの圧力検出手段の出力に基づ
いて異常信号を発生させて第１の基板保持手段の走行を
緊急停止させれば、基板の損傷や脱落を未然に防ぐこと
ができる。
【００２２】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００２３】図１は一実施例による基板搬送装置を説明
する説明図であって、これはＳＯＲ光等のＸ線を露光光
とする露光装置に用いられるもので、基板であるウエハ
Ｗ1の外周縁の近傍を所定の真空吸着力によって吸着す
る第１の基板保持手段であるハンド１と、これと一体で
あるハンド支持体２を、第２の基板保持手段であるウエ
ハステージのウエハチャック３の吸着面３ａに垂直な方
向（Ｚ軸方向）に案内する一対のガイド棒４ａ，４ｂ
と、ハンド支持体２に設けられたねじ穴に螺合するねじ
棒５と、これを回転させる駆動手段であるパルスモータ
５ａを有し、ハンド支持体２はねじ棒５の回転によって
一対の側板６ａ，６ｂの間をガイド棒４ａ，４ｂに沿っ
て往復移動する。ハンド１は、ウエハチャック３の吸着
面３ａの前方側の側板６ａに近接する位置で図示しない
コンベア等からウエハＷ1 を受け取ったのちにウエハチ
ャック３の後方側の側板６ｂに向かって移動し、この過
程でハンド１からウエハチャック３にウエハＷ1 の受け
渡しが行なわれる。ハンド１が前記と逆に移動する過程
では露光済みのウエハがウエハチャック３からハンド１
に受け渡される。なお、ウエハの露光は、ウエハを受け
取ったウエハチャック３を図示上方の露光位置へ移動さ
せ、図示しない露光手段である光源からの露光光をマス
クを経てウエハに照射することによって行なわれる。
【００２４】ハンド支持体２の底部には遮光部材２ａが
一体的に設けられており、ハンド支持体２とともに移動
する遮光部材２ａの移動路には、まず、ウエハチャック
３からその前方側に最も遠い位置とウエハチャック３か
らその後方側に最も遠い位置にそれぞれ第１および第２
のストロークリミットセンサ７ａ，７ｂが配設され、そ
の内側に第１および第２の位置センサ８ａ，８ｂが配設
され、各ストロークリミットセンサ７ａ，７ｂは遮光部
材２ａがこれを横切ることでパルスモータ５ａのコント
ローラに異常信号を発生してパルスモータ５ａすなわち
ハンド１を緊急停止するように構成され、また、各位置
センサ８ａ，８ｂはハンド１がその走行路の原点位置お
よび逆進開始位置に達したことを検出するフォトセンサ
である。すなわち、各ストロークリミットセンサ７ａ，
７ｂはハンド１が前記原点位置または前記逆進開始位置
を越えて各側板６ａ，６ｂに干渉するのを防ぎ、各位置
センサ８ａ，８ｂはパルスモータ５ａの駆動パルス数か
らハンド１の原点位置と逆進開始位置の間の走行距離を
検出する計数回路に接続され、該計数回路は各位置セン
サ８ａ，８ｂの出力によって駆動パルス数の計数を開始
する。
【００２５】ハンド１の吸着面１ａには、ハンド支持体
２の内部配管に接続された減圧手段であるハンド真空ラ
イン９によって所定の真空吸着力が発生され、ハンド１
の吸着面１ａの圧力はハンド真空ライン９の途中に配設
されたハンド圧力センサ９ａによって検出される。同様
に、ウエハチャック３の吸着面３ａにもウエハチャック
３の内部配管に接続された減圧手段であるウエハチャッ
ク真空ライン１０によって所定の真空吸着力が発生さ
れ、ウエハチャック３の吸着面３ａの圧力も、ウエハチ
ャック真空ライン１０の途中に配設されハンド圧力セン
サ９ａとともに圧力検出手段を構成するウエハチャック
圧力センサ１０ａによって検出される。
【００２６】ハンド圧力センサ９ａとウエハチャック圧
力センサ１０ａの出力は、図５に示すように、それぞれ
アンプ５１を介して基板搬送装置の制御手段であるＣＰ
Ｕ（コンピュータ）５７に入力されるとともに、異常信
号発生手段である異常判別回路Ｍ1 のコンパレータ５２
に導入され、コンパレータ５２は、セレクタ５４を経て
パルスモータ５ａのコントローラ５８の異常信号入力端
＋ＥＬ、−ＥＬに接続される。
【００２７】ＣＰＵ５７は、パルスモータ５ａの駆動パ
ルス数から走行路におけるハンド１の現在位置を検出す
るとともに予めハンド圧力センサ９ａやウエハチャック
圧力センサ１０ａの出力から基板受け渡し位置であるウ
エハ受け渡し位置を検知してこれを記憶し、所定のタイ
ミングでハンド真空ライン９とウエハチャック真空ライ
ン１０の開閉弁等に吸着開始や吸着解除の指令を発生す
る。他方、異常判別回路Ｍ1 は、後述のように設定され
る第１および第２の異常電圧値Ｖａ，ＶｂをＣＰＵ５７
の出力に基づいて感知したときにコントローラ５８に異
常信号を発生してパルスモータ５ａを緊急停止させるよ
うに構成される。
【００２８】すなわち、ＣＰＵ５７は、前述のコンベア
等からハンド１がウエハＷ1 を受け取って原点位置に到
達すると前述の計数回路による駆動パルス数の計数を開
始し、原点位置から逆進開始位置に向かう走行路におけ
るハンド１の現在位置を検出し、所定のタイミングでウ
エハチャック真空ライン１０によるウエハチャック３の
吸着を開始させるとともに、ウエハチャック圧力センサ
１０ａの出力に基づいてウエハＷ1 の受け渡しが完了し
たことを確認したうえでハンド真空ライン９によるハン
ド１の吸着を解除する受け渡し工程およびこれと逆にウ
エハチャック３からハンド１へウエハを受け渡す工程を
自動的に行なうものである。
【００２９】次に、ＣＰＵ５７と、異常判別回路Ｍ1 に
ついて詳しく説明する。まず、ウエハチャック３の吸着
面３ａにウエハＷ1 が接触すると、ウエハチャック圧力
センサ１０ａの出力は、図２の曲線（ａ）に沿って雰囲
気圧力Ｐｃから受取側真空吸着力Ｐｒまで減少する。こ
のときのハンド１の現在位置がウエハ受け渡し位置Ｏで
あり、図５のＡ／Ｄコンバータ５６を介してＣＰＵ５７
に記憶され、ＣＰＵ５７は所定のタイミングでハンド１
の吸着を解除する。
【００３０】他方、ウエハ受け渡し位置Ｏに到るまでは
ハンド１がウエハＷ1 を吸着した状態であるため、ハン
ド圧力センサ９ａの出力は、図３に示すように、受渡側
真空吸着力Ｐｄに維持される。ハンド１がウエハ受け渡
し位置Ｏに到達するとＣＰＵ５７がウエハチャック圧力
センサ１０ａの出力によってウエハの受け渡しが完了し
たことを確認したうえでハンド１の吸着を解除し、ハン
ド圧力センサ９ａの出力は直ちに雰囲気圧力Ｐｃまで上
昇する。
【００３１】ところが、計数回路のパルス数設定ミスや
ハンド１の暴走等の異常によってハンド１がウエハ受け
渡し位置Ｏを越えたときは、ハンド１の吸着解除が行な
われずにウエハチャック３との衝突によってウエハＷ1
がハンド１から引き離されるため、ハンド圧力センサ９
ａの出力が図３の曲線（ｂ）に沿って上昇する。そこ
で、ハンド１がウエハ受け渡し位置Ｏから第１のオーバ
ーラン許容量Ｌ1 だけオーバーランしてハンド圧力セン
サ９ａの出力が図３の曲線（ｂ）上の上限である異常圧
力値Ｐａに上昇したときを異常発生とみなして図５に示
すコンパレータ５２のハンド圧力センサ９ａ接続側の第
１の異常電圧値Ｖａに設定する。
【００３２】また、ハンド１がウエハ受け渡し位置Ｏを
過ぎてもハンド真空ライン９の吸着が解除されないとき
はウエハＷ1 がハンド１に引きづれて変形してウエハチ
ャック３の吸着面３ａから離れるため、ウエハチャック
圧力センサ１０ａの出力が図２の曲線（ｂ）に沿って上
昇する。そこで、ハンド１がウエハ受け渡し位置Ｏを第
２のオーバーラン許容量Ｌ2 だけ過ぎてウエハチャック
圧力センサ１０ａの出力が図２の曲線（ｂ）上の上限で
ある異常圧力値Ｐｂに達したときを異常発生とみなして
図５に示すコンパレータ５２のウエハチャック圧力セン
サ１０ａ接続側の第２の異常電圧値Ｖｂに設定する。
【００３３】ウエハチャック３に受け渡されたウエハＷ
1 の露光が終了してハンド１が逆進開始位置から原点位
置に向かって走行し、ウエハチャック３からハンド１に
ウエハの受け渡しが行なわれる工程においては、ハンド
１が受け取り側、ウエハチャック３が受け渡し側である
から、前記と逆の異常発生を検知する必要がある。そこ
で、図５のコンパレータ５２のハンド圧力センサ９ａ接
続側とウエハチャック圧力センサ１０ａ接続側のそれぞ
れに第１、第２の異常電圧値Ｖａ，Ｖｂを設定する。
【００３４】なお、各ストロークリミットセンサ７ａ，
７ｂの出力も異常判別回路Ｍ1 のセレクタ５４に導入さ
れ、ＣＰＵ５７の出力に基づいてコントローラ５８の異
常信号入力端＋ＥＬ、−ＥＬに入力される。これによっ
て、ハンド１が走行路の原点位置または逆進開始位置を
越えて各ストロークエンドに達したときにもパルスモー
タ５ａが緊急停止するように構成される。
【００３５】ハンド１とウエハチャック３の間のウエハ
Ｗ1 の受け渡しは以下のように行なわれる。図４の矢印
Ａで示すようにハンド１がウエハＷ1 を吸着して逆進開
始位置へ向かって走行し、ウエハチャック３にウエハＷ
1 を受け渡す工程においては、前述のように、ハンド１
が原点位置から所定距離だけ走行したときにＣＰＵ５７
の指令でウエハチャック３の吸着が開始され、ウエハチ
ャック圧力センサ１０ａの出力からＣＰＵ５７がウエハ
の受け渡しを完了したことを確認したうえでハンド１の
吸着を解除する。このように、ＣＰＵ５７に設定された
プログラムに従ってウエハＷ1 の受け渡しが正常に行な
われるときは、異常判別回路Ｍ1 のセレクタ５４には、
異常信号を検出するコンパレータ５２からの出力がない
ため、コントローラへの停止信号は入力されない。
【００３６】ハンド１の暴走等によってウエハチャック
３の吸着が開始されずにウエハＷ1がウエハチャック３
の吸着面３ａに衝突したときは、ハンド圧力センサ９ａ
の出力が第１の異常電圧値Ｖａを越えるため、異常判別
回路Ｍ1 からコントローラ５８に異常信号が発生され、
パルスモータ５ａが緊急停止する。このとき、ハンド１
はウエハＷ1 を吸着したままたわみ、ウエハ受け渡し位
置Ｏを第１のオーバーラン許容量Ｌ1 だけ越えた逆進開
始位置側の第１の緊急停止位置Ｄａで停止する。このよ
うにして、ハンド１のオーバーランによってウエハＷ1
が損傷したり、ウエハチャック３の吸着が開始されない
うちにハンド１の吸着が解除されてウエハＷ1 が脱落す
る事故を防ぐことができる。
【００３７】また、ハンド１が吸着解除を行なうことな
くウエハ受け渡し位置Ｏを越えて第２のオーバーラン許
容量Ｌ2 だけ逆進開始位置側の第２の緊急停止位置Ｄｂ
まで走行したときは、ウエハチャック圧力センサ１０ａ
の出力が第２の異常電圧値Ｖｂを越えるため、異常判別
回路Ｍ1 からコントローラ５８に異常信号が発生され、
パルスモータ５ａが緊急停止される。このようにして、
ウエハＷ1 の破損を防ぐことができる。
【００３８】ウエハチャック３からハンド１にウエハを
受け渡すときには、上記と逆に、原点位置側の第１、第
２の緊急停止位置Ｒａ，Ｒｂでハンド１の走行が停止さ
れる。
【００３９】本実施例によれば、ハンドとウエハチャッ
クの間でウエハの受け渡しを行なうときにハンドの暴走
や吸着開始および吸着解除のタイミングの誤動作によっ
てウエハが脱落したり損傷するのを確実に防ぐことがで
きる。加えて、ウエハ受け渡し位置をハンド圧力センサ
とウエハチャック圧力センサの出力によって判別するも
のであるために、ウエハ受け渡し位置を検出するための
高価な計測装置等を必要とせず、また、設定位置を厳密
に管理しなければならない近接センサ等を取り付ける必
要もない。従って基板搬送装置の低コスト化を大きく促
進できる。さらに、基板搬送装置を減圧室等に配設する
場合でもウエハ受け渡し位置を正確に検出できるため、
ＣＰＵに設定されるウエハ受け渡しのタイミングが不正
確になるおそれがない。また、ウエハの脱落や損傷を防
ぐ機能が低下するおそれもない。
【００４０】図６は一変形例による異常判別回路Ｍ2 を
示し、これは、コンパレータ５２と同様のコンパレータ
６２に受取側真空吸着力Ｐｒと受渡側真空吸着力Ｐｄに
基づいて設定された第１、第２のしきい値であるしきい
電圧値Ｖｒ，Ｖｄを設定し、コンパレータ６２を、ハン
ド１が第１、第２のオーバーラン許容量Ｌ1 、Ｌ2 を走
行する間の駆動パルス数を記憶したカウンタ６１と駆動
パルス数を設定する為のラッチ６３を介してセレクタ５
４に接続したものであり、ラッチ６３はＣＰＵ５７の出
力に基づいて設定される。すなわち、ハンド１からウエ
ハチャック３にウエハＷ1 を受け渡す工程において所定
のタイミングでウエハチャック３の吸着が開始されない
ときは、ＣＰＵ５７の出力によって第１のオーバーラン
許容量Ｌ1 に相当する駆動パルス数がラッチ６３に設定
されているので、第１の緊急停止位置Ｄａにおいてハン
ド圧力センサ９ａの出力が受渡側真空吸着力Ｐｄを越え
ていることを感知して異常信号が発生されハンド１が緊
急停止する。また、ウエハの受け渡しが終了したときウ
エハチャック圧力センサ１０ａの出力がコンパレータ６
２の第１のしきい値Ｖｒを越えているため、カウンタ６
１が駆動パルス数を計数可能であり、この状態でウエハ
チャック圧力センサ１０ａの出力が上昇すると、第２の
オーバーラン許容量Ｌ2 に相当する駆動パルス数がカウ
ントされたところでカウンタ６１から異常信号が発生さ
れ、ハンド１が緊急停止するように構成されている。
【００４１】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。
【００４２】高価な計測装置や組み付けが複雑な近接ス
イッチ等を必要とせず、従って組み立てコストやサービ
スコストが安価であり、しかもウエハの脱落や破損を防
ぐための安全対策も万全である。その結果、安価で高性
能な基板搬送装置を実現し、これを用いた露光装置等の
低コスト化および高性能化に役立つ。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施例による基板搬送装置を説明する説明図
である。
【図２】ウエハの受け取り側であるときのハンドまたは
ウエハチャックの吸着面の圧力の変化を説明するグラフ
である。
【図３】ウエハの受け渡し側であるときのハンドまたは
ウエハチャックの吸着面の圧力の変化を説明するグラフ
である。
【図４】ウエハのウエハ受け渡し位置とハンドの緊急停
止位置を説明する図である。
【図５】異常判別回路を説明する図である。
【図６】一変形例による異常判別回路を説明する図であ
る。
【図７】従来例による基板搬送装置を説明する説明図で
ある。
【図８】図７の装置のハンドの走行路と各センサの出力
の関係を説明する図である。
【符号の説明】
Ｗ1 ウエハ Ｍ1 ，Ｍ2 異常判別回路 １ ハンド ２ ハンド支持体 ３ ウエハチャック ５ａ パルスモータ ７ａ，７ｂ ストロークリミットセンサ ８ａ，８ｂ 位置センサ ９ ハンド真空ライン ９ａ ハンド圧力センサ １０ ウエハチャック真空ライン １０ａ ウエハチャック圧力センサ ５７ ＣＰＵ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２Ｊ (56)参考文献 特開 平４−106951（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−65854（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−46846（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B25J 13/08 B25J 15/06 B65G 49/07 G03F 7/20 521 H01L 21/027

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 減圧手段によって減圧される吸着面に基
    板を縦にして保持する第１および第２の基板保持手段
    と、前記第１の基板保持手段を前記第２の基板保持手段
    の前記吸着面に交差する走行路に沿って走行させる駆動
    手段と、前記第１および前記第２の基板保持手段の前記
    吸着面の圧力を検出する圧力検出手段と、前記圧力検出
    手段の出力に基づいて前記第１および前記第２の基板保
    持手段の前記減圧手段を制御する制御手段を有し、前記
    基板を縦にしたままの状態で、前記第１および前記第２
    の基板保持手段間で前記基板の受け渡しを行なう基板搬
    送装置であって、前記吸着面に前記基板を保持した状態
    で前記圧力検出手段の出力が所定のしきい値を超えて変
    化したとき、前記駆動手段を緊急停止させることを特徴
    とする基板搬送装置。
  2. 【請求項２】 圧力検出手段の出力が所定のしきい値を
    超えたとき、異常信号を発生する異常信号発生手段を有
    することを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
  3. 【請求項３】 請求項１または２記載の基板搬送装置
    と、前記基板搬送装置より搬送された基板を露光する露
    光手段を有する露光装置。
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