JP2001156146A - 液晶パネル等の搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送中に液晶パネルがカセットに接触しても
損傷を受けるのを防止でき、構成が簡単な過負荷保護機
構を備えた搬送装置を提供する。 【解決手段】 支持ブラケット７の上部にパネル９を保
持する保持手段10が過負荷保護機構11を介して支持され
ている。過負荷保護機構11は支持ブラケット７に固定さ
れたガイド部材12と、ガイド部材12に対して相対移動可
能に支持された支持部材13との間に設けられている。ハ
ンド24は先端に多数の吸引孔27を有し、支持部材13の上
面に固定された取付部材28に基端が固定されている。ハ
ンド24に所定以上の力が加わると、支持部材13がガイド
部材12に対して相対移動可能になり、ハンド24に保持さ
れているパネル９に過負荷が作用するのが防止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶パネル等の搬送
装置に係り、詳しくは液晶パネル用ガラス基板や半導体
ウエハ等の破損し易い被搬送物を、それらを収納するた
めのカセットに対して搬入、搬出するための液晶パネル
等の搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶パネル製造ラインや半導体装
置製造ラインでは、液晶パネル用ガラス基板や半導体ウ
エハ等（以下、液晶パネル等と称す。）が複数枚収容可
能なカセットに収容されて各工程間を搬送される。液晶
パネル等のカセットに対する搬入、搬出を行う搬送装置
は、例えば特開平１０−３３８３４６号公報に開示され
たロボットのように、液晶パネル等を吸入保持する保持
部を備えたハンドが往復直線運動することにより前記搬
入、搬出を行う。

【０００３】液晶パネル等は破損し易く、搬入、搬出の
際に液晶パネル等がカセットの壁に接触した状態でハン
ドがさらに移動を続けると、液晶パネル等が破損する。
液晶パネル等がカセットの壁に接触すると直ちにハンド
の移動を停止させる機構は、構成が複雑になる。また、
従来の搬送装置で高い直進精度を確保が難しい。そこ
で、従来は、カセットの側壁と液晶パネル等とのクリア
ランスを大きく設定していた。

【０００４】特開昭６３−２９４０００号公報には、プ
リント基板を往復動体の移動により送り部材を介して移
動可能にするとともに、過負荷状態になったときに保持
部材がバネの力に抗して回動され、光センサが遮光板に
より遮光されて過負荷状態を検出し、その検出信号によ
って駆動モータを停止させる搬送装置が開示されてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記クリアラ
ンスが大きいと、液晶パネル等をカセットに収容した状
態での搬送中に、カセット内で液晶パネル等が大きくが
たつき、液晶パネル等が破損する虞がある。また、カセ
ット内で液晶パネル等のがたつきが大きいと、液晶パネ
ル等をカセット内で一括処理する工程で、相応のパネル
等の位置決め機構が必要になり、設備費が高くなる。

【０００６】また、液晶パネル等の搬送装置に特開昭６
３−２９４０００号公報に開示された構成を応用するこ
とも考えられる。即ち、搬送装置のハンドをばねの力で
所定位置に保持可能にし、液晶パネル等がカセットの壁
に接触するとばねの力に抗してハンドが移動され、その
移動を検出して駆動モータを停止させる。ところが、こ
の場合、ハンドがばねの力に抗して移動している間にも
液晶パネル等にはばねの付勢力が作用し、モータが停止
するまでその力は徐々に大きくなる。また、モータが停
止しても液晶パネル等はカセットの壁に押圧され続ける
ため、損傷する虞がある。

【０００７】本発明は前記従来の問題点に鑑みてなされ
たものであって、その目的は搬送装置で液晶パネル用ガ
ラス基板や半導体ウエハ等の被搬送物を搬送中に、被搬
送物がカセットに接触しても、カセットからの反力で被
搬送物が損傷を受けるのを防止でき、構成が簡単な過負
荷保護機構を備えたパネル等の搬送装置を提供すること
にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、液晶パネル用ガラス基板
や半導体ウエハ等の破損し易い被搬送物を、それらを収
納するためのカセットに対して搬入、搬出するための搬
送装置であって、前記被搬送物を保持する保持手段と、
前記保持手段を搬送装置本体に対して往復移動させる駆
動手段と、前記保持手段と駆動手段との間に配設され、
前記駆動手段の駆動力を前記保持手段に伝達するととも
に、前記保持手段に所定以上の力が加わると、前記駆動
手段から前記保持手段への駆動力の伝達を絶ち、保持手
段に作用する移動方向への負荷を無くす過負荷保護機構
とを備えた。

【０００９】従って、この発明では、被搬送物を保持し
た状態で駆動手段の作用により保持手段が搬送装置本体
に対して往復移動される。保持手段の移動中に保持手段
に保持されている被搬送物がカセットの壁等に接触し、
その状態で保持手段がさらに移動を続けようとすると、
壁からの反力が被搬送物を介して保持手段に伝達され
る。反力が所定の値以上になると過負荷保護機構の作用
により、駆動手段から保持手段への駆動力の伝達が絶た
れるとともに、保持手段に作用する移動方向への負荷が
無くなり、被搬送物に過負荷が加わるのが防止される。

【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、前記保持手段は往復直線運動可能に設
けられている。従って、被搬送物とカセットの壁とのク
リアランスをより小さくできる。

【００１１】請求項３に記載の発明は、請求項１又は請
求項２に記載の発明において、前記過負荷保護機構は、
前記駆動手段に一体移動可能に固定されたガイド部材
と、ガイド部材に対して相対移動可能に支持されるとと
もに前記保持手段が一体移動可能に取り付けられる支持
部材との間に設けられ、前記ガイド部材に形成された凹
部と、該凹部に一部が係合可能な形状の係合部材と、前
記支持部材に設けられ前記係合部材を収容可能な収容部
と、前記支持部材に設けられ前記係合部材と常に係合す
る状態で付勢手段の作用により前記係合部材を前記凹部
側へ付勢する押圧部材とを備え、前記係合部材が前記凹
部と係合する状態において、ガイド部材と支持部材とが
一体移動可能な状態に保持され、前記係合部材が前記凹
部から離脱した状態ではガイド部材と支持部材とが相対
移動可能となるように構成されている。

【００１２】過負荷保護機構は、ガイド部材と支持部材
との間に設けられた係合部材及び押圧部材を介して駆動
手段の駆動力を保持手段に伝達し、係合部材がガイド部
材の凹部と係合した状態で、駆動手段と保持手段とが一
体に移動される。保持手段に所定の値以上の力が作用す
ると、係合部材が凹部から離脱し、保持手段が駆動手段
に対して相対移動可能となる。従って、被搬送物がカセ
ットの壁等に接触して、係合部材が凹部から離脱した後
は、被搬送物に移動方向への負荷が作用せず損傷が防止
される。

【００１３】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
の発明において、前記支持部材には前記押圧部材を被検
出部とするセンサが設けられ、該センサは前記係合部材
が凹部から離脱する状態において押圧部材を検出可能に
構成されている。

【００１４】係合部材が凹部から離脱、即ち被搬送物の
搬送途中で保持手段が移動不能になると、センサから検
出信号が出力される。従って、この検出信号を利用して
作業者に対する報知手段を駆動させたり、駆動手段の駆
動を停止させたりする処理を自動的に行うことが可能に
なる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明を液晶パネル用のガ
ラス基板（以下、単にパネルと称す）の搬送装置に具体
化した一実施の形態を図１〜図５に従って説明する。

【００１６】図２及び図３に示すように、搬送装置１の
装置本体としてのフレーム２には、送り軸３が水平に配
設されるとともに、送り軸３の下方にサーボモータ４が
配設されている。送り軸３はサーボモータ４の駆動軸に
ベルト伝動機構５を介して連結されている。

【００１７】フレーム２にはガイドレール６が送り軸３
と平行に設けられ、支持ブラケット７がガイドレール６
に沿って移動可能に支持されている。支持ブラケット７
はボールナット８を介して送り軸３に連結され、送り軸
３の正逆回転に伴いガイドレール６に沿って往復直線移
動する。送り軸３、サーボモータ４、ベルト伝動機構５
及び支持ブラケット７が後記する保持手段を往復移動さ
せる駆動手段を構成する。

【００１８】支持ブラケット７の上部には被搬送物とし
てのパネル９を保持する保持手段１０が過負荷保護機構
１１を介して支持されている。過負荷保護機構１１は、
支持ブラケット７に一体移動可能に固定されたガイド部
材１２と、ガイド部材１２に対して相対移動可能に支持
された支持部材１３との間に設けられている。

【００１９】図４（ａ），（ｂ）に示すように、支持部
材１３は公知のリニアガイドと同様な構成でガイド部材
１２に対して往復直線移動可能に支持されている。ガイ
ド部材１２の上面には凹部１４が形成され、支持部材１
３には一部が凹部１４に係合可能な形状の係合部材１５
を収容可能な収容部１６が形成されている。係合部材１
５にはボールが使用され、収容部１６はボールの直径と
ほぼ同じ直径の円柱部を備えている。

【００２０】支持部材１３上には収容部１６を覆う位置
にスプリングケース１７が固定され、スプリングケース
１７内には押圧部材１８及び付勢手段としてのスプリン
グ１９が収容されている。押圧部材１８はシャフト１８
ａの下端にフランジ１８ｂが形成された形状に形成さ
れ、シャフトの先端がスプリングケース１７に形成され
た孔から突出し、底面が係合部材１５と係合するように
配置されている。フランジ１８ｂの上面にはスラストベ
アリング２０が配設され、スラストベアリング２０とス
プリングケース１７の上壁内面との間にスプリング１９
が介装されている。なお、スプリングケース１７は本体
１７ａと、本体１７ａの上部に螺合された袋ナット部１
７ｂと、セットねじ２１とで構成され、袋ナット部１７
ｂの螺合量を調整することにより押圧部材１８に対する
スプリング１９の付勢力を調整可能となっている。

【００２１】そして、過負荷保護機構１１は、図４
（ａ）に示すように、係合部材１５が凹部１４と係合す
る状態において、ガイド部材１２と支持部材１３とが一
体移動可能な状態に保持され、図４（ｂ）に示すよう
に、係合部材１５が凹部１４から離脱した状態ではガイ
ド部材１２と支持部材１３とが相対移動可能となるよう
に構成されている。

【００２２】図１（ａ），（ｂ）に示すように、支持部
材１３上には押圧部材１８を被検出部とするセンサ２２
が設けられている。センサ２２は支持ロッド２３を介し
て取り付けられ、係合部材１５が凹部１４から離脱する
状態において押圧部材１８のスプリングケース１７から
の突出部を検出可能な位置に配設されている。この実施
の形態ではセンサ２２にフォトセンサが使用されてい
る。この実施の形態ではセンサ２２の検出信号が図示し
ない制御装置に入力され、その検出信号に基づいて図示
しない報知手段が駆動されるとともに、サーボモータ４
が停止されるようになっている。報知手段には例えばラ
ンプやブザーが使用される。

【００２３】図１（ａ），（ｂ）に示すように、保持手
段１０を構成するハンド２４は、２枚の板２５ａ，２５
ｂの間に連通路２６が形成されるとともに、先端に多数
の吸引孔２７が連通路２６に連通するように形成されて
いる。板２５ａはパネル９の載置面が若干高く形成さ
れ、載置面が他の部分より滑らかに仕上げられている。
ハンド２４は支持部材１３の上面に固定された取付部材
２８に基端が固定されている。取付部材２８には連通路
２６に連通する通路２９が形成され、通路２９にはニッ
プル３０を介して連結されたパイプ（図示せず）を介し
て負圧が作用するようになっている。

【００２４】図２に示すように、パネル９を収容するカ
セット３１は、ハンド２４が最前進位置まで移動した状
態で、ハンド２４に保持されたパネル９を受け取り可能
な位置に配設されている。図５に示すように、カセット
３１はパネル９を支承する支承部３２が上下対称な形状
に形成されている。

【００２５】次に前記のように構成された装置の作用を
説明する。保持手段１０は図２に鎖線で示す待機位置に
おいて、前工程からパネル９を搬送する搬送手段（図示
せず）からパネル９を受け取る。パネル９は吸引孔２７
に作用する負圧によってハンド２４の先端の所定位置に
吸引保持される。その状態でサーボモータ４が正転駆動
され、支持ブラケット７及び過負荷保護機構１１と共に
ハンド２４がカセット３１に向かって移動（前進）を開
始する。

【００２６】この状態では図４（ａ）に示すように、係
合部材１５が凹部１４と係合する位置に保持され、駆動
手段の駆動力が係合部材１５を介して支持部材１３に伝
達され、ハンド２４は支持ブラケット７と共に移動され
る。パネル９がハンド２４の所定位置に正確に配置され
た状態であれば、ハンド２４が最前進位置まで移動し
て、パネル９がカセット３１内の所定位置に配置される
まで支障なく搬送が行われる。そして、ハンド２４が最
前進位置まで移動した状態で、吸引孔２７への負圧の作
用が停止される。次にカセット３１が図示しない昇降機
構の作用により所定量上昇される。カセット３１の上昇
途中でパネル９が支承部３２と係合され、上昇完了時に
パネル９はハンド２４から離れた状態で支承部３２に支
承された状態に保持される。次にサーボモータ４が逆転
駆動されて、支持ブラケット７及び過負荷保護機構１１
と共にハンド２４が待機位置へ復帰される。

【００２７】何らかの原因でパネル９がハンド２４の所
定位置に正確に配置されずに搬送された場合、パネル９
がカセット３１の入口まで搬送された時点で、パネル９
がカセット３１の側壁と係合する状態となる。この状態
でハンド２４の前進移動が継続されると、カセット３１
の側壁からパネル９に反力が作用する。この反力はハン
ド２４を介して係合部材１５にも作用する。反力の値が
所定の値以上になると、係合部材１５が押圧部材１８を
押し上げながら移動して凹部１４から離脱する。そし
て、図４（ｂ）に示すように、係合部材１５が凹部１４
から離脱した状態に保持される。この状態ではガイド部
材１２と支持部材１３とが自由に相対移動可能となり、
パネル９がカセット３１と係合した状態でガイド部材１
２がカセット３１側に移動しても、支持部材１３をカセ
ット３１側へ移動させる駆動力の伝達が遮断された状態
に保持される。その結果、ハンド２４に吸引保持されて
いるパネル９に過負荷が作用することが回避される。

【００２８】また、押圧部材１８の突出端がセンサ２２
に検出される状態となり、センサ２２の検出信号に基づ
いてサーボモータ４が停止されるとともに、図示しない
報知手段が駆動されて異常が発生したことが報知され
る。作業者は報知手段により異常発生を確認すると、パ
ネル９の位置を適正な位置に修正した後、搬送装置１を
再起動させる。

【００２９】この実施の形態では次の効果を有する。 （１） パネル９（被搬送物）を保持する保持手段１０
と、保持手段１０を装置本体に対して往復移動させる駆
動手段との間に過負荷保護機構１１が配設され、保持手
段１０に所定以上の力が加わると駆動手段から保持手段
１０への駆動力の伝達が絶たれる。従って、パネル９の
搬送中にパネル９がカセット３１に係合した状態で駆動
手段が所定量駆動されても、パネル９に過負荷が加わる
ことが確実に回避され、パネル９の損傷が防止される。
その結果、カセット３１とパネル９とのクリアランスを
従来より小さくでき、パネル９のカセット３１内でのが
たつきが防止され、パネル９の破損を防止することがで
きる。

【００３０】（２） 保持手段１０が往復直線運動可能
に設けられているため、往復回動可能に設けられた場合
に比較して、カセット３１とパネル９とのクリアランス
を狭くできる。

【００３１】（３） 過負荷保護機構１１は、ガイド部
材１２の凹部１４に係合部材１５が係合する状態におい
て、ガイド部材１２と支持部材１３とが一体移動可能な
状態に保持され、係合部材１５が凹部１４から離脱した
状態ではガイド部材１２と支持部材１３とが相対移動可
能となる。そして、保持手段１０にスプリング１９の付
勢力で決まる所定の値より大きな負荷が加わると、係合
部材１５が凹部１４から離脱する。従って、スプリング
１９の付勢力を、パネル９に加わっても支障の無い負荷
の最大値が保持手段１０に加わったときに係合部材１５
が凹部１４から離脱可能な値に設定することにより、簡
単な構成でパネル９に過負荷が作用しないようにでき
る。

【００３２】（４） スプリングケース１７が本体１７
ａと袋ナット部１７ｂを備え、袋ナット部１７ｂの螺合
状態を調整することによりスプリング１９の付勢力を調
整できるため、搬送すべきパネル９に対応した適正な値
に付勢力を調整するのが簡単になる。

【００３３】（５） 支持部材１３には押圧部材１８を
被検出部とするセンサ２２が設けられ、センサ２２は係
合部材１５が凹部１４から離脱する状態において押圧部
材１８を検出可能に構成されている。従って、センサ２
２の検出信号に基づいて、異常に対応する処置、例えば
報知手段の駆動、サーボモータ４の停止等を自動的に実
施することが可能になる。

【００３４】（６） センサ２２から出力される押圧部
材１８の検出信号に基づいて報知手段を駆動するように
したので、異常発生に作業者が早期に気付くことがで
き、搬送装置１の無駄な停止時間が短くなる。

【００３５】（７） センサ２２の検出信号に基づいて
サーボモータ４を停止させるように構成したので、異常
発生時に支持ブラケット７が所定位置まで移動する前に
停止される。従って、作業者がパネル９を適正な位置に
配置し、搬送装置１を再起動させる作業を行う際に支持
ブラケット７を移動させる量が少なくなり、作業時間を
短縮できる。

【００３６】（８） ハンド２４はパネル９の載置面の
みが他の部分より滑らかに仕上げられている。従って、
パネル９が傷つかないように滑らかに仕上げる面積が小
さくてすみ、製造コストを低減できる。

【００３７】（９） パネル９を負圧で吸着して所定位
置に保持する構成のため、パネル９を把持して保持する
構成に比較してハンド２４の構成が簡単でパネル９に傷
が付き難い。

【００３８】実施の形態は前記に限定されるものではな
く、例えば、次のように具体化してもよい。 ○ 過負荷保護機構１１の係合部材１５としてボールに
代えて円柱を使用し、凹部１４として溝を形成してもよ
い。

【００３９】○ 付勢手段としてスプリング１９に代え
て、ゴムやエアダンパーを使用してもよい。 ○ 押圧部材１８の形状はシャフト１８ａがスプリング
ケース１７から突出するものに限らず、シャフト１８ａ
を短くして被検出部の役割を持たない形状にしたり、あ
るいは有底の筒状として筒の底面が係合部材１５と係合
し、筒の内部にスプリング１９が配置される構成として
もよい。

【００４０】○ 過負荷保護機構１１として係合部材１
５を付勢手段により押圧部材１８を介して凹部１４側に
付勢する構成に代えて、磁石の吸引力により支持部材１
３をガイド部材１２に対して一体移動可能に保持する構
成を採用してもよい。例えば、図６（ａ），（ｂ）に示
すように、ガイド部材１２の上面及び支持部材１３の下
面の所定位置に磁石３３，３４を異なる磁極が対向する
ように固定する。両磁石の吸引力は、パネル９に加わっ
ても支障の無い負荷の最大値が保持手段１０に加わった
ときにガイド部材１２と支持部材１３とが相対移動可能
な大きさに設定されている。また、取付部材２８の後端
にセンサ３５が取り付けられ、ガイド部材１２の上面に
被検出部３６が固定される。センサ３５は支持部材１３
がガイド部材１２の所定位置に配置された状態において
常に検出信号を出力し、支持部材１３がガイド部材１２
に対して相対移動すると検出信号の出力を停止する。

【００４１】この実施の形態ではパネル９の搬送中にパ
ネル９の移動方向に所定の値以上の負荷が作用すると、
磁石３３，３４の吸引力に抗して支持部材１３がガイド
部材１２に対して相対移動して、センサ３５からの検出
信号が停止される。センサ３５の検出信号の出力停止に
基づいて、サーボモータ４が停止されるとともに、報知
手段が駆動される。従って、この実施の形態ではパネル
９に過負荷が作用するのが防止されるとともに、係合部
材１５やスプリング１９を使用する前記の構成に比較し
て構造が簡単になる。また、正常状態においてはセンサ
３５から常に検出信号が出力されているため、センサの
故障の場合も報知手段が駆動されて異常を作業者が確認
できる。

【００４２】○ 磁石３３，３４に代えて、ガイド部材
１２と支持部材１３との間の所定位置に所定の静止摩擦
係数を有する摩擦部を設けてもよい。静止摩擦係数の値
は、パネル９に加わっても支障の無い負荷の最大値が保
持手段１０に加わったときにガイド部材１２と支持部材
１３とが相対移動可能となる大きさに設定されている。

【００４３】○ センサ２２，３５から異常発生信号を
入力した際に、サーボモータ４を途中停止させずに、所
定量駆動させた後、停止させてもよい。この場合もパネ
ル９に過負荷が加わることはない。センサに近接スイッ
チや他のセンサを使用してもよい。

【００４４】○ ハンド２４が往復直線運動を行う構成
に代えて往復旋回運動を行う搬送装置に適用してもよ
い。 ○ 被搬送物を吸引保持する構成に代えて把持により保
持する構成としてもよい。

【００４５】○ 被搬送物として液晶パネル用のガラス
基板に代えて半導体ウエハの搬送用に適用してもよい。 ○ 駆動手段として送り軸３をモータで回転させる構成
に代えて、リニアモータを使用し、リニアモータの可動
子にガイド部材１２を固定してもよい。

【００４６】○ カセット３１側が昇降する構成に代え
て、ハンド２４側が昇降可能な構成としてもよい。例え
ば、ガイド部材１２を支持ブラケット７に固定されたア
クチュエータで昇降移動される構成とする。

【００４７】前記実施の形態から把握できる請求項記載
以外の技術的思想について、以下にその効果とともに記
載する。 （１） 請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発
明において、前記保持手段は被搬送物をハンド先端上面
で吸引保持する。この場合、把持により保持する構成に
比較して構成が簡単で被搬送物を傷つけ難い。

【００４８】（２） （１）の発明において、被搬送物
が載置されるハンドの載置面はハンドの他の上面より高
く形成されている。この場合、載置面のみを他の部分よ
り滑らかに仕上げることが簡単になる。

【００４９】（３） 請求項１〜請求項４のいずれか一
項に記載の発明において、搬送装置には保持手段への駆
動力の伝達が遮断された状態となったことを検出する検
出手段が設けられ、該検出手段の検出信号に基づいて駆
動手段の駆動が停止される。この場合、作業者が被搬送
物を適正な位置に配置し、搬送装置を再起動させる準備
作業として、保持手段を相対移動させる量が少なくな
り、作業時間を短縮できる。

【００５０】

【発明の効果】以上詳述したように請求項１〜請求項４
に記載の発明によれば、液晶パネル用ガラス基板や半導
体ウエハ等の被搬送物を搬送中に、被搬送物がカセット
に接触しても、カセットからの反力で被搬送物が損傷を
受けるのを防止できるとともに構成が簡単になる。

【００５１】請求項２に記載の発明によれば、保持手段
が往復旋回可能に設けられた場合に比較して、カセット
と被搬送物とのクリアランスを狭くできる。請求項４に
記載の発明によれば、センサの検出信号に基づいて、保
持手段に異常が発生状態ことを確認でき、異常に対応す
る処置を実施することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 （ａ）は一実施の形態の搬送装置の保持手段
の平面図、（ｂ）はその部分破断側面図。

【図２】 搬送装置の概略側面図。

【図３】 （ａ）は搬送装置の概略平面図、（ｂ）はハ
ンドの支持状態を示すセンサを省略した部分背面図。

【図４】 （ａ）は過負荷防止機構の移動力伝達状態を
示す断面図、（ｂ）は過負荷遮断時の断面図。

【図５】 カセット及び液晶パネルの模式斜視図。

【図６】 （ａ）は別の実施の形態の過負荷遮断機構の
部分側面図、（ｂ）は（ａ）の断面図。

【符号の説明】

１…搬送装置、２…装置本体としてのフレーム、３…駆
動手段を構成する送り軸、４…同じくサーボモータ、５
…同じくベルト伝動機構、７…同じく支持ブラケット、
１０…保持手段、１１…過負荷保護機構、１２…ガイド
部材、１３…支持部材、１４…凹部、１５…係合部材、
１６…収容部、１８…押圧部材、１９…付勢手段として
のスプリング、２２…センサ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶パネル用ガラス基板や半導体ウエハ
   等の破損し易い被搬送物を、それらを収納するためのカ
   セットに対して搬入、搬出するための搬送装置であっ
   て、 前記被搬送物を保持する保持手段と、 前記保持手段を搬送装置本体に対して往復移動させる駆
   動手段と、 前記保持手段と駆動手段との間に配設され、前記駆動手
   段の駆動力を前記保持手段に伝達するとともに、前記保
   持手段に所定以上の力が加わると、前記駆動手段から前
   記保持手段への駆動力の伝達を絶ち、保持手段に作用す
   る移動方向への負荷を無くす過負荷保護機構とを備えた
   液晶パネル等の搬送装置。
2. 【請求項２】 前記保持手段は往復直線運動可能に設け
   られている請求項１に記載の液晶パネル等の搬送装置。
3. 【請求項３】 前記過負荷保護機構は、前記駆動手段に
   一体移動可能に固定されたガイド部材と、ガイド部材に
   対して相対移動可能に支持されるとともに前記保持手段
   が一体移動可能に取り付けられる支持部材との間に設け
   られ、前記ガイド部材に形成された凹部と、該凹部に一
   部が係合可能な形状の係合部材と、前記支持部材に設け
   られ前記係合部材を収容可能な収容部と、前記支持部材
   に設けられ前記係合部材と常に係合する状態で付勢手段
   の作用により前記係合部材を前記凹部側へ付勢する押圧
   部材とを備え、前記係合部材が前記凹部と係合する状態
   において、ガイド部材と支持部材とが一体移動可能な状
   態に保持され、前記係合部材が前記凹部から離脱した状
   態ではガイド部材と支持部材とが相対移動可能となるよ
   うに構成されている請求項１又は請求項２に記載の液晶
   パネル等の搬送装置。
4. 【請求項４】 前記支持部材には前記押圧部材を被検出
   部とするセンサが設けられ、該センサは前記係合部材が
   凹部から離脱する状態において押圧部材を検出可能に構
   成されている請求項３に記載の液晶パネル等の搬送装
   置。