JPH01305405A - エアシリンダの位置決め装置 - Google Patents
エアシリンダの位置決め装置Info
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- JPH01305405A JPH01305405A JP13687188A JP13687188A JPH01305405A JP H01305405 A JPH01305405 A JP H01305405A JP 13687188 A JP13687188 A JP 13687188A JP 13687188 A JP13687188 A JP 13687188A JP H01305405 A JPH01305405 A JP H01305405A
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- Japan
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- air cylinder
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/26—Fluid-pressure drives
- B23Q5/266—Fluid-pressure drives with means to control the feed rate by controlling the fluid flow
- B23Q5/268—Fluid-pressure drives with means to control the feed rate by controlling the fluid flow depending upon the position of the tool or work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/36—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission in which a servomotor forms an essential element
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は流体圧シリンダの位置決め技術、特に、エアシ
リンダの位置決め装置およびそれを用いたスライドテー
ブル装置に関するものである。
リンダの位置決め装置およびそれを用いたスライドテー
ブル装置に関するものである。
流体圧シリンダの位置決め技術としては、様々なものが
用いられている。
用いられている。
その中で、空気圧サーボ技術を用いた位置決め技術は、
電気サーボ技術や油圧サーボ技術を用いたものに比べて
、（１）コストが低廉である、（２）使用が便宜である
、（３）工場の共通空気圧源を利用できる、（４）防爆
性が良い、などの優れた利点を有するので、その利用は
増加しつつある。
電気サーボ技術や油圧サーボ技術を用いたものに比べて
、（１）コストが低廉である、（２）使用が便宜である
、（３）工場の共通空気圧源を利用できる、（４）防爆
性が良い、などの優れた利点を有するので、その利用は
増加しつつある。
ところで、エアシリンダの位置決め技術としてはサーボ
モータとエアシリンダとを組み合わせて用いられている
ものがあるが、この種の位置決め技術では、エアシリン
ダの圧力は一定に制御されている。
モータとエアシリンダとを組み合わせて用いられている
ものがあるが、この種の位置決め技術では、エアシリン
ダの圧力は一定に制御されている。
したがって、エアシリンダは、いわばバランサ用シリン
ダとしてサーボモータの補助的役割を果たすに過ぎない
ものである。
ダとしてサーボモータの補助的役割を果たすに過ぎない
ものである。
しかし、前記従来技術では、（ａ）装置の全体として出
力が弱い、０：ｌ）装置全体の機能がサーボモータの機
能で決定されてしまい、サーボモータのトルクが限界と
なってしまう、（Ｃ）作動速度をあまり大きくできない
、などの問題点があることが本発明者によって見い出さ
れた。
力が弱い、０：ｌ）装置全体の機能がサーボモータの機
能で決定されてしまい、サーボモータのトルクが限界と
なってしまう、（Ｃ）作動速度をあまり大きくできない
、などの問題点があることが本発明者によって見い出さ
れた。
そこで、本発明の１つの目的は、前記問題点を解消し、
エアシリンダの出力の増大やその比例制御、高速作動が
可能なエアシリンダの位置決め装置を提供することにあ
る。
エアシリンダの出力の増大やその比例制御、高速作動が
可能なエアシリンダの位置決め装置を提供することにあ
る。
本発明の他の１つの目的は、前記エアシリンダの位置決
め装置を用いたスライドテーブル装置を提供することに
ある。
め装置を用いたスライドテーブル装置を提供することに
ある。
本発明によるエアシリンダの位置決め装置は、負荷を駆
動するサーボモータと、該負荷に連結されたエアシリン
ダと、前記サーボモータの電流を検出する検出手段と、
この検出手段に接続されたコントローラと、該コントロ
ーラと前記エアシリンダとの間に介設されて該ンリンダ
への空気圧を切換制御する比例弁とからなり、前記サー
ボモータの電流を検出し、その電流の大きさに応じて前
記比例弁の弁開度を制御することにより、前記エアシリ
ンダの位置決め制御を行うものである。
動するサーボモータと、該負荷に連結されたエアシリン
ダと、前記サーボモータの電流を検出する検出手段と、
この検出手段に接続されたコントローラと、該コントロ
ーラと前記エアシリンダとの間に介設されて該ンリンダ
への空気圧を切換制御する比例弁とからなり、前記サー
ボモータの電流を検出し、その電流の大きさに応じて前
記比例弁の弁開度を制御することにより、前記エアシリ
ンダの位置決め制御を行うものである。
また、本発明のスライドテーブル装置は、前記エアシリ
ンダの位置決め装置を用いて、負荷としてのスライドテ
ーブルの位置決め制御を行うものである。
ンダの位置決め装置を用いて、負荷としてのスライドテ
ーブルの位置決め制御を行うものである。
前記した手段によれば、エアシリンダの位置決約制御は
、負荷を駆動するサーボモータの電流を検出し、その電
流の大きさに応じて比例弁の弁開度を制御することによ
り行われるので、サーボモータに発生するトルクと比例
関係にある電流がフィードバックされることになり、こ
の電流に応じてエアシリンダが比例弁で制御されるため
、バランサとしての機能に加えて、高速位置決め機能な
ども得ることができる。
、負荷を駆動するサーボモータの電流を検出し、その電
流の大きさに応じて比例弁の弁開度を制御することによ
り行われるので、サーボモータに発生するトルクと比例
関係にある電流がフィードバックされることになり、こ
の電流に応じてエアシリンダが比例弁で制御されるため
、バランサとしての機能に加えて、高速位置決め機能な
ども得ることができる。
第１図は本発明の一実施例であるエアシリンダの位置決
め装置を組み込んだスライドテーブル装置の概略説明図
である。
め装置を組み込んだスライドテーブル装置の概略説明図
である。
本実施例のエアシリンダの位置決め装置は、被位置決め
対象である負荷の一例として、スライドテーブル１の螺
軸２の軸方向に沿う位置を制御するものである。
対象である負荷の一例として、スライドテーブル１の螺
軸２の軸方向に沿う位置を制御するものである。
スライドテーブル１はサーボモータ３で螺軸２を回転駆
動することにより、該螺軸２に沿ってその軸方向に移動
する。
動することにより、該螺軸２に沿ってその軸方向に移動
する。
また、本実施例のスライドテーブル１は、エアシリンダ
４のピストンロッド５にも連結されている。なお、第１
図の符号６，７は螺軸２を回転可能に支承する軸受であ
る。
４のピストンロッド５にも連結されている。なお、第１
図の符号６，７は螺軸２を回転可能に支承する軸受であ
る。
サーボモータ３は、その出力の一例としての電流を検出
するための電流検出器８を介して、コントローラ９に接
続されている。この電流検出器はたとえば抵抗を利用し
た構造よりなるものである。
するための電流検出器８を介して、コントローラ９に接
続されている。この電流検出器はたとえば抵抗を利用し
た構造よりなるものである。
コントローラ９はモータドライバ１０を介してサーボモ
ータ３に指令信号を送るようになっている。
ータ３に指令信号を送るようになっている。
また、コントローラ９はバルブドライバ１１および比例
弁１２を介して、前記エアシリンダ４にも接続されてい
る。
弁１２を介して、前記エアシリンダ４にも接続されてい
る。
比例弁１２は本実施例では４方向比例制御弁であり、コ
ントローラ９からバルブドライバ１１を介して送られた
指令信号によってその弁開度を比例制御するものである
。特に、本実施例においては、サーボモータ３の電流を
電流検出器８で検出してコントローラ９に送り、その検
出電流値に基づいて該コントローラ９でバルブドライバ
１１を介して比例弁１２を制御するように構成されてい
る。
ントローラ９からバルブドライバ１１を介して送られた
指令信号によってその弁開度を比例制御するものである
。特に、本実施例においては、サーボモータ３の電流を
電流検出器８で検出してコントローラ９に送り、その検
出電流値に基づいて該コントローラ９でバルブドライバ
１１を介して比例弁１２を制御するように構成されてい
る。
なお、比例弁１２には空気圧源１３が接続されている。
また、サーボモータ３には、その位置を検出するための
ロータリーエンコーダ１４が接続され、このロータリー
エンコーダ１４はコントローラ９に接続されている。
ロータリーエンコーダ１４が接続され、このロータリー
エンコーダ１４はコントローラ９に接続されている。
以下、本実施例の作用について説明する。
すなわち、サーボモータ３が作動されると、螺軸２が回
転駆動され、その回転方向によってスライドテーブル１
が螺軸２の軸方向のいずれかの方向に移動される。
転駆動され、その回転方向によってスライドテーブル１
が螺軸２の軸方向のいずれかの方向に移動される。
サーボモータ３の電流は、該サーボモータ３に発生する
トルクと比例関係にあるが、本実施例では、該サーボモ
ータ３の電流は電流検出器８で検出され、その電流検出
値を表す信号はコントローラ９に送られる。
トルクと比例関係にあるが、本実施例では、該サーボモ
ータ３の電流は電流検出器８で検出され、その電流検出
値を表す信号はコントローラ９に送られる。
コントローラ９は電流の検出値に応じてバルブドライバ
１１に指令信号を送り、該バルブドライバ１１を介して
比例弁１２の弁開度を制御する。
１１に指令信号を送り、該バルブドライバ１１を介して
比例弁１２の弁開度を制御する。
それにより、空気圧源１３から比例弁１２を経てエアシ
リンダ４に供給される空気圧が制御されるので、そのエ
アシリンダ４のピストンロッド５に連結されたスライド
テーブル１の位置も、前記サーボモータ３の電流に基づ
いて制御される。
リンダ４に供給される空気圧が制御されるので、そのエ
アシリンダ４のピストンロッド５に連結されたスライド
テーブル１の位置も、前記サーボモータ３の電流に基づ
いて制御される。
したがって、サーボモータ３の電流の検出値はコントロ
ーラ９にフィードバックされ、たとえばサーボモータ３
の電流検出値がコントローラ９に設定された所定の値よ
りも大きければ、その電流が小さくなるよう比例弁１２
の弁開度を制御する。
ーラ９にフィードバックされ、たとえばサーボモータ３
の電流検出値がコントローラ９に設定された所定の値よ
りも大きければ、その電流が小さくなるよう比例弁１２
の弁開度を制御する。
それにより、空気圧源１３から比例弁１２を経てエアシ
リンダ４に供給される空気圧の圧力が制御され、該エア
シリンダ４の出力が制御される。
リンダ４に供給される空気圧の圧力が制御され、該エア
シリンダ４の出力が制御される。
このように、本実施例の位置決め装置においては、サー
ボモータ３とエアシリンダ４との組み合わせにより、バ
ランサの機能に加えて、スライドテーブル１の位置決め
制御の機能をも得ることができる。
ボモータ３とエアシリンダ４との組み合わせにより、バ
ランサの機能に加えて、スライドテーブル１の位置決め
制御の機能をも得ることができる。
また、本実施例においては、エアシリンダ４の位置決め
はサーボモータ３の電流に応じて制御されるので、力の
増強が可能であり、またサーボモータ３が小形であって
も大きな力を得ることもできる。
はサーボモータ３の電流に応じて制御されるので、力の
増強が可能であり、またサーボモータ３が小形であって
も大きな力を得ることもできる。
さらに、本実施例においては、サーボモータ３とエアシ
リンダ４を用いて位置決めの高速イビを図ることも可能
である。
リンダ４を用いて位置決めの高速イビを図ることも可能
である。
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、
他の様々な変形が可能である。
他の様々な変形が可能である。
たとえば、サーボモータ３の電流検出器８としては様々
な構造のものを用いることができ、また ２負荷として
はスライドテーブル１以外のものを用いることもできる
。
な構造のものを用いることができ、また ２負荷として
はスライドテーブル１以外のものを用いることもできる
。
さらに、電流検出器８とモータドライバ１０とを１つの
ものとして組み合わせた構造とすることなども任意に可
能である。
ものとして組み合わせた構造とすることなども任意に可
能である。
〔発明の効果〕
本発明によれば、以下の如き優れた作用効果を得ること
ができる。
ができる。
（１）、サーボモータの電流に応じてエアシリンダを比
例弁で制御できるので、サーボモータとエアシリンダと
の組み合わせにより、バランサとしての機能に加えて、
高速位置決め機能をも併有することができる。
例弁で制御できるので、サーボモータとエアシリンダと
の組み合わせにより、バランサとしての機能に加えて、
高速位置決め機能をも併有することができる。
（２）、エアシリンダの力の増強やその制御が可能とな
るので、サーボモータが小形のものであっても、大きな
力を得ることができる。
るので、サーボモータが小形のものであっても、大きな
力を得ることができる。
（３）、前記（１）、 （２）により、本発明において
は、高速で、しかも正確な位置決めが可能なスライドテ
ーブル装置を得ることができる。
は、高速で、しかも正確な位置決めが可能なスライドテ
ーブル装置を得ることができる。
第１図は本発明の一実施例であるエアシリンダの位置決
め装置を組み込んだスライドテーブル装置の概略説明図
である。 ｌ・・・・・スライドテーブル、 ２・・・・・螺軸、 ３・・・・・サーボモータ、 ４・・・・・エアシリンダ、 ５・・・・・ピストンロッド、 ６．７・・・軸受、 ８・・・・・電流検出器、 ９・・・・・コントローラ、 １０・・・・・モータドライバ、 １１・ｊｊ１１バルブドライバ、 １２・・・・・比例弁、 １３・・・・・空気圧源、 １４・・・・・ロータリーエンコーダ。
め装置を組み込んだスライドテーブル装置の概略説明図
である。 ｌ・・・・・スライドテーブル、 ２・・・・・螺軸、 ３・・・・・サーボモータ、 ４・・・・・エアシリンダ、 ５・・・・・ピストンロッド、 ６．７・・・軸受、 ８・・・・・電流検出器、 ９・・・・・コントローラ、 １０・・・・・モータドライバ、 １１・ｊｊ１１バルブドライバ、 １２・・・・・比例弁、 １３・・・・・空気圧源、 １４・・・・・ロータリーエンコーダ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、負荷を駆動するサーボモータと、該負荷に連結され
たエアシリンダと、前記サーボモータの電流を検出する
検出手段と、この検出手段に接続されたコントローラと
、該コントローラと前記エアシリンダとの間に介設され
て該シリンダへの空気圧を切換制御する比例弁とからな
り、前記サーボモータの電流を検出し、その電流の大き
さに応じて前記比例弁の弁開度を制御することにより、
前記エアシリンダの位置決め制御を行うことを特徴とす
るエアシリンダの位置決め装置。 ２、前記負荷がスライドテーブルであり、請求項１記載
の位置決め装置を用いて前記スライドテーブルの位置決
め制御を行うことを特徴とするスライドテーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13687188A JPH01305405A (ja) | 1988-06-02 | 1988-06-02 | エアシリンダの位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13687188A JPH01305405A (ja) | 1988-06-02 | 1988-06-02 | エアシリンダの位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01305405A true JPH01305405A (ja) | 1989-12-08 |
Family
ID=15185477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13687188A Pending JPH01305405A (ja) | 1988-06-02 | 1988-06-02 | エアシリンダの位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01305405A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0647502A1 (en) * | 1993-10-12 | 1995-04-12 | Smc Kabushiki Kaisha | Servo cylinder apparatus |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63261405A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-28 | Sanyo Mach Works Ltd | 昇降位置決め装置 |
| JPS6361006B2 (ja) * | 1981-03-10 | 1988-11-28 |
-
1988
- 1988-06-02 JP JP13687188A patent/JPH01305405A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6361006B2 (ja) * | 1981-03-10 | 1988-11-28 | ||
| JPS63261405A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-28 | Sanyo Mach Works Ltd | 昇降位置決め装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0647502A1 (en) * | 1993-10-12 | 1995-04-12 | Smc Kabushiki Kaisha | Servo cylinder apparatus |
| CN1064115C (zh) * | 1993-10-12 | 2001-04-04 | Smc株式会社 | 伺服压力缸装置 |
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