KR0125624B1 - 진공밸브용 접점재료 - Google Patents

Abstract

탄탄륨(Ta), 니오븀(Nb), 텅스텐(W) 및 몰리브덴(Mo)으로 구성된 군에서 선택한 적어도 1종류를 갖는 내아크성분과 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 이트륨(Y), 지르코늄(Zr), 코발트(Co) 및 바나듐(V)으로 구성된 군에서 선택한 적어도 1종류를 갖는 보조성분을 포함하는 진공벨브용 접점재료에 관한 것으로, 상기 접점재료는 동(Cu)과 은(Ag)으로 구성된 군에서 선택된 적어도 1종류를 갖는 도전성분을 포함하고 있고, 내아크성분양은 25체적%∼75체적%이고 보조성분과 내아크성분의 전체양은 75체적%이하이고, 도전성분양은 그 나머지이다.

Description

진공밸브용 접점재료

제1도는 본 발명 진공밸브용 접점재료를 적용한 진공 밸브의 단면도.

제2도는 제1도의 진공밸브의 전극부분의 확대단면도.

본 발명은 진공밸브용 접점재료 및 그의 제조방법에 관한 것이다.

진공밸브용 접점재료에 요구되는 가장 중요한 특성으로는 내용착특성, 내전압, 전류차단특성등 3가지가 기본적인 요건이다.

또 온도상승, 접촉저항이 낮게 안정되는 것이 중요한 요건이다. 그러나 이들 요건 중에서 상반되는 것이 있는 관계상 단일금속으로 모든 요건들을 만족시킬 수는 없다. 이 때문에 이러한 기능을 행하는데 상호 결핍되는 성능을 보완하고 대전류용 또는 고내압용과 같은 특수한 용도에 맞추기 위해서 2종이상의 원소의 조합으로 구성된 여러종류의 접점재료가 실용적인 사용을 위해서 개발되었다. 그러나 기능수행요건이 강하게 증가되고 있어 일부 측면에서 이들 재료는 불만족스럽다. 캐패시터회로에서 이러한 재료의 사용이 증대하고 있는 것이 주목할 만한 최근의 경향이어서 접점재의 개발, 개량이 시급한 형편이다.

이러한 요구에 부응하기 위해서 종래에는 고융점재료이고 일반적으로 내전압특성이 우수한 텅스텐(W), 몰리브덴 (Mo), 탄탈륨(Ta), 니오븀(Nb)과 도전성분인 동(Cu)을 조합하여 구성된 접점재료가 적용되어 왔다.

Cu-W과 접점재료는 어느정도 내전압기능이 요구되는 분야에 적용할 수 있다. 그러나 보다 가혹한 고내압영역 및 돌입전류가 발생하는 회로에서 재점호의 문제가 발생하게 된다.

이러한 발생원인은 도전성분에 의한 내아크재료의 불충분한 적심(wetting) 때문에 내아크재료의 입자와 도전성분간의 밀착강도가 불충분하기 때문이다.

구체적으로 전극이 개방상태임에도 불구하고, 내아크 재료의 입자가 전기적으로 대전되고 접점표면으로부터 방전된다든지, 접점내부의 세공에서 불충분한 적심으로 인해 발생되어 방출되는 가스 때문에 재점호가 발생하게 된다.

또, 회로가 폐로될 때 발생하는 고주파전류 등에 의해 국소적인 용착이 발생하면 상기 내아크재료와 도전성분간의 계면이 약화되고 국소적인 세공이 존재하게 되므로 전극을 분리할 때, 접점면에 이전에 발생하게 된다. 이것이 전계 집중 등을 일으켜서 재점호가 생길수도 있다. 이러한 재점호가 회로계통의 고정을 일으킬 수도 있고, 전원이 차단되는 결과를 유발하게 된다. 특히, 캐패캐시터회로에서 통상 회로전압의 2배의 전압이 인가되면 접점면의 내전압특성의 문제 특히 재점호의 억제문제가 발생되게 된다.

상기한 바와같이 도전성분에 의한 내아크재료의 불충분한 적심으로 인한 내아크재료의 입자와 도전성분간의 불충분한 밀착강도가 재점호발생의 원인이다. 그러므로 내부세공의 감소와 계면 강도를 증가시킴으로써 재점호의 발생빈도를 감소시키는 것이 중요하다.

따라서 본 발명의 목적은 재점호의 발생빈도를 감소시키는 진공밸브용 접점재료를 제공하는데 있다.

본 발명의 또다른 목적은 재점호의 빈도를 감소시키는 진공밸브용 접점재료를 제조하는 방법을 제공하는데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 요지는 내아크성분과 도전성분의 밀착성을 강화시키기 위해서 내아크성분과 도전성분에 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 이트륨(Y), 지르코늄(Zr), 코발트(Co) 및 바나듐(V)중 적어도 1종류로 구성된 보조성분을 첨가하는 것이다.

본 발명의 또다른 목적은 탄탈륨(Ta), 니오븀(Nb), 텅스텐(W)으로 구성되는 군에서 선택한 적어도 1종류를 갖는 내아크성분과 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 이트륨(Y), 지르코늄(Zr), 코발트(Co) 및 바나듐(V)으로 구성되는 군에서 선택한 적어도 1종류를 갖는 보조성분을 포함하는 진공밸브용 접점재료를 구비함으로써 달성할 수 있다. 상기 접점재료는 동(Cu)과 은(Ag)으로 구성된 군에서 선택된 적어도 1종류의 도전성분을 더 포함하고 있다. 내아크성분의 양은 25체적%∼75체적%미만이고, 보조성분과 내아크성분의 전체양은 75%이하고, 도전성분양은 그 나머지이다.

본 발명의 또 다른 목적은 내아크성분과 보조성분으로 골격을 제조하는 스텝을 포함하는 상기의 접점재료를 제조하는 방법을 제공함으로써 달성할 수 있다. 상기 방법은 접점재료를 얻기 위해 용침재료를 골격에 용침하는 스텝을 더 포함하고 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 내아크성분과 보조성분과 도전성분으로 골격을 제조하는 스텝을 포함하는 상기의 접점재료를 제조하는 방법을 제공함으로써 달성할 수 있다.

상기 방법은 접점재료를 얻기 위해 용침재료를 골격에 용침하는 스텝을 더 포함하고 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 접점재료를 얻기 위해 내아크성분으로 골격을 제조하고 용침재료를 골격에 용침하는 스텝을 포함하는 상술한 바와같은 접점재료를 제조하는 방법을 제공함으로써 달성할 수 있다. 상기 용침재료는 보조성분이 첨가된 도전성분을 포함하고 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 내아크성분 분말과 보조성분과 도전성분을 혼합접점재료 분말로 형성하기 위해 혼합하는 스텝을 포함하는 상기의 접점재료를 제조하는 방법을 제공함으로써 달성할 수 있다. 상기 방법은 접점 재료를 얻기 위하여 혼합 접점재료 분말로 성형체를 성형하고 성형체를 소결하는 스텝을 더 포함하고 있다.

구체적으로 접점재료내에서 내아크성분과 도전성분이 접착력이 증가하는 이유는 내아크성분에 보조성분이 첨가됨으로써 이고, 보조성분에 대해서는 뒤에 기술하겠다. 텅스텐(W)과 같은 내아크재료가 사용되는 종래의 접점재료의 경우에는 동(Cu)과 같은 도전성분과 완전히 고용 및 반응하기 어려워 충분한 계면강도를 얻을 수 없다.

본 발명의 접점재료의 경우에 있어서는 내아크재료 및 도전성분과 반응하는 보조성분이 첨가되어 있어, 그 결과 내아크 성분과 도전성분이 더 확고히 접착되어 내아크 입자의 표면으로부터 방전이 감소되고, 용착발생시 요철의 발생과 접점내부의 세공이 감소되어 재점호를 억제할 수 있다.

본 발명에 대한 더 완전한 이해와 부수적인 잇점은 첨부도면과 하기의 상세한 설명으로부터 더 잘 이해될 수 있을 것이다.

도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 하기에 설명하겠다. 제1도는 진공밸브의 단면도이고, 제2도는 제1도의 진공밸브의 전극부분확대도이다.

제1도에서 회로차단실(1)은 절연재료에 의해서 대략 원통상으로 형성된 절연용기(2)와 밀봉금구(3a, 3b)를 거쳐서 그의 양단에 구비된 금속재커버(4a, 4b)로 구성되고 진공상태로 유지되어 있다.

회로차단실(1)내에는 도전로드(5, 6)의 단부에 부착된 한쌍의 전극(7, 8)이 배치되어 있다. 예를들어 상부전극(7)은 고정전극, 하부전극(8)은 가동전극이다. 벨로우즈(9)가 이전극(8)의 도전로드(6)에 끼워져 있어서 회로차단실(1)내를 진공기밀되게 유지하면서 전극(8)의 축방향운동을 행할 수 있게 한다. 본 벨로우즈(9)의 상부에 구비된 금속재의 아크쉴드(10)는 벨로우즈(9)가 아크증기로 덮이게 되는 것을 방지한다. 전극(7, 8)을 덮기 위해 회로차단실(1)에 구비된 금속재의 아크쉴드(11)는 절연용기(2)가 아크 증기로 덮이게 되는 것을 방지한다.

제2도에 도시한 바와같이 전극(8)이 도전로드(6)에 납땜부(12)에 의해서 고정되거나 코킹에 의해서 압착되어 끼워진다. 접점(13a)은 납땜(14)부에 의해서 전극(8)에 부착되어 있다. 기본적으로 동일한 구조가 전극(7)에도 채택되어 있다.

다음에 본 발명에 따른 접점재료의 제조방법의 예에 대해서 설명하겠다. 접점재료의 제조방법은 내아크분말 등으로 형성된 골격에 도전성분을 용융시켜 흘려넣는 용침법과 소정배합으로 혼합된 분말을 성형, 소결하는 소결법으로 대별하여 분류할 수 있다.

종래방법과 비교해서 본 발명에 따른 제조방법은 다음과 같은 특징이 있다.

구체적으로 용침법의 경우에 내아크분말과 제3원소분말(보조성분분말)로 구성된 혼합분말을 예를들어 진공분위기에서 소결하여 골격을 제조하고, 접점재료를 제조하기 위해서 도전성분을 이 골격에 에를들어 진공분위기에서 용침하여 제조하는 것에 특징이 있다. 내아크 분말만으로 제조된 골격에 제3원소를 첨가한 도전성분을 용침함으로써도 접점재료를 제조할 수 있다.

소결법의 경우에 소정비율로 배합한 내아크분말, 도전분말 제3원소분말의 혼합분말을 예를들어 진공중에서 소결하여 접점재료를 제조하는 것이 특징이다.

용침법과 소결법에 양방법에서 상기 접점은 제3원소가 상기 내아크성분 분말의 표면에 코팅된 합성분말을 사용하거나 내아크원소와 제3원소의 합금분말을 사용하여 제조할 수 있다.

다음에 기술한 구체적인 실시에에서의 평가방법 및 평가조건에 대해서 설명하겠다.

상술한 배경으로부터 본 발명에 따른 접점재료와 종래에 제조된 접점재료와 비교를 재점호의 발생빈도에 의해서 행하였다.

직경 30㎜, 두께 5㎜의 디스크형 접점재료 샘플을 디마운터블형 진공밸브에 장착하고, 60KV×500A의 회로를 디마운터블형 진공밸브에 의해서 2000회 차단할 때의 재점호 발생빈도를 측정하여 그 결과를 재점호 발생율로 나타냈다.

상기 접점을 장착할 때에는 베이킹가열(450℃×30분)만을 행하고 납땜재는 사용하지 않고, 이에 수반하는 가열은 행하지 않았다.

표1∼표3의 제조에서는 단일금속분말을 사용하고, 용침법용 골격은 내아크분말과 보조성분 분말만으로 제조하고, 무산소동과 진공용해 Ag-Cu 합금을 용침재료로써 사용했다.

[실시예 1∼3, 비교예 1∼2](표1참조)

내아크재료 니오븀(Nb)을 25체적%로 고정하고, 보조성분인 크롬(Cr)의 첨가량을 0,1,25,50,65체적%로 하여 접점재료를 제조했다(각각 비교예1, 실시예1, 2, 3 및 비교예2)

니오븀(Nb) 분말과 크롬(Cr)분말의 혼합분말을 원료분말로 사용했다. 비교예1과 실시예1은 소결법으로 제조하였다. 더 구체적으로는 테스트할 샘플을 준비하기 위해 니오븀(Nb)분말, 크롬(Cr)분말, 동(Cu)분말을 혼합성형한 후 소정온도로 소결하여 제조했다. 이 샘플을 제조하기 위한 더 구체적인 조건은 조건1에서 기술하겠다.

[실시예1과 비교예1에 대한 조건1]

평균입자크기가 각각 100,50,30㎛인 Nb분말, Cr분말 및 Cu분말을 각각 준비했다. 이들을 볼밀에서 12시간동안 혼합하고, 이 혼합분말을 8ton/㎠의 성형압력으로 성형했다. 접점재료의 샘플을 얻기 위해 1.0×10 Pa진공하에서 3시간동안 1050℃의 온도로 성형체를 소결했다.

실시예2 및 3과 비교예2는 용침법으로 제조하였다. 더 구체적으로는 니오븀(Nb) 분말과 크롬(Cr)을 혼합, 성형, 소결하여 골격을 제조하였다. 다음에 상기 골격에 무산소동을 용침시켜 샘플을 제조했다. 이 샘플제조를 위한 더 상세한 조건은 조건 2에서 기술하겠다.

[실시예 2 및 3과 비교예 3에 대한 조건 2]

평균입자 크기가 100과 50㎛인 Nb분말과 Cr분말을 각각 준비하고, 볼밀에서 12시간동안 혼합했다. 각각의 실시예2, 실시예3, 비교예2에 대해서 0.5, 2 및 5 ton/㎠의 성형압력으로 이 혼합분말을 성형했다. 골격을 얻기 위해 1.0×10 Pa 진공하에서 1시간 동안 1200℃의 온도로 상기 성형체를 소결했다. 접점재료의 샘플을 얻기 위해 1.0×10 Pa의 진공하에서 0.5시간동안 1130℃의 온도에서 무산소동을 이골격에 용침했다.

본 샘플을 가공하여 디마운터블형 진공밸브에 장착한 후에 재점호발생율을 측정했다. 표1에 나타낸 바와같이 그 결과 보조성분인 크롬(Cr)을 무첨가한 비교예1에서는 재점호 발생율이 1%∼2%이었고, 크롬(Cr)을 1, 25 및 50체적% 첨가한 실시예 1, 2 및 3에서는 0.5∼0.8%로 개선되었음을 나타낸다. 크롬(Cr)을 65체적% 첨가한 비교예2의 경우에도 재점호 발생율이 0.8%로 개선되었으나, 이 비교예2는 도전성분이 부족하여 접점저항이 크게 되어 실사용에 문제가 있었다. 비교를 위해서 크롬(Cr) 무첨가의 용침법에 의해서 Nb-Cu 접점재료의 제작을 시도했으나, 표면산화의 영향 때문에 용침을 할 수 없었다.

[실시예4∼6, 비교예3∼4](표2 참조)

보조성분으로서 티타늄(Ti)을 1체적%로 고정하고, 내아크 성분 탄탈늄(Ta)의 함량을 15, 25, 50, 70 및 90체적%로 하여 접점재료를 제조하였다.(각각의 비교예3, 실시예4, 5 및 6과 비교예4) 비교예3과 실시예4의 경우에 접점재료의 제조방법은 소결법이다. 이 샘플제작에 대한 더 구체적인 조건은 조건3에서 기술하겠다.

[실시예4 및 비교예3에 대한 조건3]

평균입자 크기가 각각 100, 50, 30㎛인 Ta 분말과 Ti 분말을 각각 준비했다. 다음 처리는 조건 1의 처리와 동일하다.

실시예5, 6 및 비교예4의 경우에는 용침법이 적용되었다. 이 샘플을 제조하기 위한 더 구체적인 조건은 조건4에서 기술하겠다.

[실시예5, 6 및 비교예4에 대한 조건4]

평균입자크기가 각각 100과 50㎛인 Ta분말과 Ti분말을 각각 준비했다. 이들 분말을 볼밀에서 12시간동안 혼합하고, 이 혼합분말을 각각 실시예5, 실시예6, 비교예4에서 0.5, 2.5ton/㎠의 성형압력으로 성형했다. 다음 처리는 조건2의 처리와 동일하였다.

모든 샘플의 경우에 있어서, 재점호발생율에 대한 개선이 0.5∼0.8%로 이루어졌으나, 탄탈륨(Ta) 함유량이 15체적%인 비교예3의 경우에는 회로차단 능력이 저하되고 탄탈륨(Ta)함유량이 90체적%인 비교예4의 경우에는 상술한 비교예2와 같이 접점저항이 커서 본 샘플을 실용적인 진공밸브에 조립할 수 없다는 문제가 있었다.

[실시예7∼8](표3 참조)

표1에서는 Nb-Cr-Cu계를 사용하고 표2에서는 Ta-Ti-Cu계를 사용하는 예를 기술하였다. 그러나 내아크재료로써 니오븀(Nb)과 탄탈륨(Ta)대신에 텅스텐(W)과 몰리브덴(Mo)을 사용하고 보조성분으로써 크롬(Cr)이나 티타늄(Ti)대신에 이트륨(Y), 지르코늄(Zr), 코발트(Co), 또는 바나듐(V)을 사용하여도 동일하게 재점호 발생율의 감소를 얻을 수 있었다. 또 동(Cu) 대신에 도전성분으로써 은(Ag)을 사용할 수도 있다. 실시예7은 50체적%W-5체적% Co-30체적% Cu-15체적% Ag로 구성된 접점을 용침법에 의해서 제조한 예이다. 실시예 8은 25체적%W-25체적%Mo-1체적%Y-1체적%Zr-Cu(나머지)으로 구성된 접점을 용침법에 의해서 제조한 예이다. 본 샘플을 제작하기 위한 더 구체적인 조건은 조건5에서 기술하겠다.

[실시예7 및 8에 대한 조건5]

실시예7에서는 평균입자크기가 각각 3, 5, 30㎛인 W분말, Co분말, Cu분말, Ag분말을 준비했다. 실시예8에서는 평균입자 크기가 3, 3, 30, 30 및 30㎛인 W분말, Mo분말, Y분말, Zr분말, Cu분말을 각각 준비했다. 다음 처리는 조건2의 실시예2의 처리와 동일하다. 이 접점 둘다 재점호 발생율이 0.8% 및 0.5%로 낮아 유용한 것이었다.

상기 실시예의 검사결과, 본 실시예의 조성뿐만 아니라 내아크재료로써 탄탈륨(Ta), 니오븀(Nb), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W)을 사용하고, 보조성분으로써 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 이트륨(Y), 지르코늄(Zr), 코발트(Co), 또는 바나듐(V)을 사용하고, 도전성분으로써 동(Cu) 또는 은(Ag)을 사용함으로써 재점호 발생빈도를 감소시킬 수 있음을 알 수 있다.

[실시예9∼12](표4참조)

다음에 제조방법에 대해서 설명하겠다.

실시예9는 니오븀(Nb)분말과 크롬(Cr)분말을 9 : 1 비로 배합 및 혼합하여 골격을 제조하고 무산소등으로 용침한 실시예이다. 실시예10은 니오븀(Nb)분말만으로 골격을 제조하여 미리 제작한 2체적% Cr-Cu 합금을 용침한 실시예이다. 실시예11은 Cu분말에 Nb/Cr 합금분말을 혼합·소결하여 골격을 제조한 다음 무산소등으로 용침한 실시예이다. 실시예12에서는 크롬(Cr)으로 니오븀(Nb) 분말의 표면을 코팅해서 동(Cu)분말과 이것을 혼합한 후 성형하여 소결을 행하여 접점을 제조하였다. 본 샘플의 제조를 위한 더 구체적인 조건은 조건 6, 7, 8 및 9에서 기술하겠다.

[실시예9에 대한 조건6]

평균입자크기가 각각 100과 50㎛인 Nb분말과 Cr,분말을 준비했다. 상기 Nb분말과 Cr분말을 9 : 1 체적비로 혼합하고, 볼밀에서 12시간동안 혼합했다. 그 혼합분말을 0.5ton/㎠의 성형압력으로 성형하고 골격을 얻기 위해 1.0∼10 Pa의 진공하에서 3시간동안 1200℃의 온도에서 상기 성형체를 소결했다. 상기 접촉재료의 샘플을 얻기 위해 1.0×10 Pa의 진공하에서 0.5시간동안 1130℃의 온도에서 무산소동으로 상기 골격에 용침했다.

[실시예10의 대한 조건 7]

평균입자크기가 100㎛인 Nb분말을 0.5ton/㎠의 성형압력으로 성형한 후 골격을 얻기 위해 1.0×10 Pa의 진공하에서 3시간동안 1200℃의 온도로 이 성형체를 소결했다. 미리 2체적%Cr-Cu합금을 1.0×10 Pa진공하에서 Cr과 Cu를 용융시켜 제작했다. 접점재료의 샘플을 얻기 위해 1.0×10 Pa의 진공하에서 0.5시간동안 1130℃의 온도에서 2체적%Cr-Cu 합금을 골격에 용침했다.

[실시예11에 대한 조건 8]

평균입자크기가 100㎛인 합금분말에 50wt% Nb-Cr합금을 분쇄하여 이 합금분말과 평균입자 크기가 30㎛인 Cu분말을 볼밀에서 12시간동안 혼합한 후, 3ton/㎠의 성형압력으로 이 혼합물을 성형했다. 골격을 얻기 위해 1.0×10 Pa의 진공하에 1시간동안 1200℃의 온도에서 상기 성형체를 소결했다. 접점재료의 샘플을 얻기 위해 1.0×10 Pa의 진공하에서 0.5시간동안 1130℃의 온도에서 상기 골격에 무산소동을 용침했다.

[실시예12에 대한 조건 9]

Nb와 Cr 의 체적비가 9 : 1인 합성분말을 형성하기 위해 평균입자크기가 100㎛인 Nb분말을 Cr으로 코팅했다. 합성분말과 평균입자 크기가 30㎛인 Cu분말을 볼밑에서 12시간동안 혼합한 후 8tonb/㎠의 성형압력으로 상기 혼합분말을 성형했다.

접점재료의 샘플을 얻기 위해 1.0×10 Pa의 진공하에서 3시간 동안 1050℃의 온도에서 상기 성형체를 소결했다. 이 접점의 재점호 발생율은 각각 0.5∼0.8%로 양호한 결과를 얻었다.

상기와 같이 다양한 방법으로 제조된 접점재료의 단면구조를 광학현미경과 전자현미경을 사용하여 관찰하면 모든 경우에 내아크재료의 주위를 보조성분이 둘러싸고 있는 경향이 있어 보조성분이 내아크재료와 도전성분과의 결합역할을 하고 있음을 확인할 수 있었다. 특히 이러한 경향은 용침법으로 제조하는 접점재료에서는 주목할만하다. 소결법에 의해서 제조된 접점재료의 경우에 재점호발생율이 대략 0.8%이고, 용침법에 의해서 제조된 접점재료의 경우에 0.5%인 사실에 비추어 상기의 결과를 추론할 수 있다. 소결법으로 접점재료를 제조할 때 재점호의 발생을 억제하기 위해서 가능한한 녹는점에 가까운 온도에서 소결하는 것이 바람직하다. 그러나 소결법에 의해서 접점재료를 제조하더라도 재점호의 발생율을 충분히 낮게 할 수 있다.

단면구조의 검사시에 도전성분으로 구성된 도전성분 매트릭스를 보면 도전성분 매트릭스내의 여러장소에 용융 도는 석출된 보조성분이 발견되어 결과적으로 보조성분과 도전성분간의 확고한 접착이 이루어짐을 알 수 있다.

상기 실시예의 검사결과로부터 본 발명에 의한 제조방법은 본 실시예 뿐만 아니라 본 실시예의 일부조합에서도 유사한 결과를 얻을 수 있다.

상술한 바와같이 본 발명에 의하면 보조성분으로 인해 얻어지는 내아크성분과 도전성분간의 접착강도를 증가시킴으로써 재점호의 발생율이 감소되고 고신뢰성을 얻을 수 있는 진공밸브용 접점재료와 그의 제조방법이 제공된다.

본 발명의 상기한 내용에 의거하여 특별히 여기에 기술한 것 외에도 첨부한 청구범위를 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변경과 변형 실시가 가능함을 밝혀둔다.

Claims (4)

1. 탄탈륨(Ta), 니오븀(Nb), 텅스텐(W) 및 몰리브덴(Mo)으로 구성된 군에서 선택한 적어도 1종류로 된 내아크성분과; 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 이트륨(Y), 지르코늄(Zr), 코발트(Co) 및 바다듐(V)으로 구성된 군에서 선택한 적어도 1종류로된 보조성분과; 동(Cu)과 은(Ag)으로 구성된 군에서 선택한 적어도 1종류로 된 도전성분으로 구성되며, 상기 내아크성분량이 25∼70체적%이고; 상기 보조성분과 상기 내아크성분의 합계량이 26∼75체적%이고; 상기 도전성분량이 그 나머지이고, 상기 보조성분이 상기 내아크성분의 외주를 둘러싸도록 형성되어 있고; 상기 도전성분이 도전성분매트릭스의 형태로 함유되어 있는 것이 특징인 진공밸브용 접점재료.
2. 제1항에 있어서, 상기 내아크성분과 상기 보조성분이 합금으로 형성되어 있는 것이 특징인 진공밸브용 접점재료.
3. 제1항에 있어서, 상기 보조성분이 상기 도전성분 매트릭스내에 용융되어 있는 것이 특징인 진공밸브용 접점재료.
4. 제1항에 있어서, 상기 보조성분이 상기 도전성분 매트릭스내에 석출되어 있는 것이 특징인 진공밸브용 접점재료.