JPWO2024038535A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2024038535A5
JPWO2024038535A5 JP2024541341A JP2024541341A JPWO2024038535A5 JP WO2024038535 A5 JPWO2024038535 A5 JP WO2024038535A5 JP 2024541341 A JP2024541341 A JP 2024541341A JP 2024541341 A JP2024541341 A JP 2024541341A JP WO2024038535 A5 JPWO2024038535 A5 JP WO2024038535A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
optical system
lighting unit
emitting
unit according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2024541341A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP7806909B2 (ja
JPWO2024038535A1 (https=
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/JP2022/031205 external-priority patent/WO2024038535A1/ja
Publication of JPWO2024038535A1 publication Critical patent/JPWO2024038535A1/ja
Publication of JPWO2024038535A5 publication Critical patent/JPWO2024038535A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7806909B2 publication Critical patent/JP7806909B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2024541341A 2022-08-18 2022-08-18 照明ユニット、露光装置、及び露光方法 Active JP7806909B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2022/031205 WO2024038535A1 (ja) 2022-08-18 2022-08-18 照明ユニット、露光装置、及び露光方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2024038535A1 JPWO2024038535A1 (https=) 2024-02-22
JPWO2024038535A5 true JPWO2024038535A5 (https=) 2025-05-16
JP7806909B2 JP7806909B2 (ja) 2026-01-27

Family

ID=89941584

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2024541341A Active JP7806909B2 (ja) 2022-08-18 2022-08-18 照明ユニット、露光装置、及び露光方法

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP7806909B2 (https=)
KR (1) KR20250022862A (https=)
CN (1) CN119585677A (https=)
TW (1) TWI885424B (https=)
WO (1) WO2024038535A1 (https=)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3950553B2 (ja) 1998-06-30 2007-08-01 キヤノン株式会社 照明光学系及びそれを有する露光装置
JP2004335952A (ja) * 2002-12-27 2004-11-25 Nikon Corp 照明光源装置、照明装置、露光装置、及び露光方法
JP4678493B2 (ja) * 2005-05-23 2011-04-27 株式会社ニコン 光源ユニット、照明光学装置、露光装置、および露光方法
JP2012049226A (ja) * 2010-08-25 2012-03-08 Ushio Inc 光源装置
JP5687013B2 (ja) * 2010-09-14 2015-03-18 株式会社Screenホールディングス 露光装置および光源装置
JP6199591B2 (ja) * 2013-04-12 2017-09-20 株式会社オーク製作所 光源装置および露光装置
JP7400632B2 (ja) * 2020-06-04 2023-12-19 セイコーエプソン株式会社 照明装置およびプロジェクター

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI448833B (zh) An exposure device and a light source device
TWI514002B (zh) 光學投影陣列曝光系統與其方法
TWI600975B (zh) Light source device and exposure device
JP2002203784A5 (https=)
JP2006065118A (ja) 照明光学装置
JP7116368B2 (ja) 照明装置及び方法、露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法
JP2000321529A (ja) プロジェクタ装置
CN103389613B (zh) 投影仪
JP2004228343A (ja) 露光装置
JPWO2024038535A5 (https=)
KR102144863B1 (ko) 조명장치, 노광장치, 노광방법 및 디바이스 제조방법
JP2006133635A (ja) 照明光学装置及び光学装置
JP4328320B2 (ja) 露光用光源
JP6283798B2 (ja) 露光装置および照明ユニット
TWI649632B (zh) Exposure device and exposure method
JPWO2024038533A5 (https=)
TWI820281B (zh) 照明光學系統、曝光裝置以及物品製造方法
JPWO2024038538A5 (https=)
KR102574615B1 (ko) 노광장치의 광학모듈
JP6700982B2 (ja) 光学系、露光装置および物品製造方法
JPWO2024089737A5 (https=)
TW202447350A (zh) 光源裝置以及曝光裝置
JP2005235999A5 (https=)
WO2013147019A1 (ja) 光源装置
JP2003004953A (ja) 照明光学装置