JPWO2024038535A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2024038535A5 JPWO2024038535A5 JP2024541341A JP2024541341A JPWO2024038535A5 JP WO2024038535 A5 JPWO2024038535 A5 JP WO2024038535A5 JP 2024541341 A JP2024541341 A JP 2024541341A JP 2024541341 A JP2024541341 A JP 2024541341A JP WO2024038535 A5 JPWO2024038535 A5 JP WO2024038535A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical system
- lighting unit
- emitting
- unit according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2022/031205 WO2024038535A1 (ja) | 2022-08-18 | 2022-08-18 | 照明ユニット、露光装置、及び露光方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2024038535A1 JPWO2024038535A1 (https=) | 2024-02-22 |
| JPWO2024038535A5 true JPWO2024038535A5 (https=) | 2025-05-16 |
| JP7806909B2 JP7806909B2 (ja) | 2026-01-27 |
Family
ID=89941584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024541341A Active JP7806909B2 (ja) | 2022-08-18 | 2022-08-18 | 照明ユニット、露光装置、及び露光方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7806909B2 (https=) |
| KR (1) | KR20250022862A (https=) |
| CN (1) | CN119585677A (https=) |
| TW (1) | TWI885424B (https=) |
| WO (1) | WO2024038535A1 (https=) |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3950553B2 (ja) | 1998-06-30 | 2007-08-01 | キヤノン株式会社 | 照明光学系及びそれを有する露光装置 |
| JP2004335952A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-11-25 | Nikon Corp | 照明光源装置、照明装置、露光装置、及び露光方法 |
| JP4678493B2 (ja) * | 2005-05-23 | 2011-04-27 | 株式会社ニコン | 光源ユニット、照明光学装置、露光装置、および露光方法 |
| JP2012049226A (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Ushio Inc | 光源装置 |
| JP5687013B2 (ja) * | 2010-09-14 | 2015-03-18 | 株式会社Screenホールディングス | 露光装置および光源装置 |
| JP6199591B2 (ja) * | 2013-04-12 | 2017-09-20 | 株式会社オーク製作所 | 光源装置および露光装置 |
| JP7400632B2 (ja) * | 2020-06-04 | 2023-12-19 | セイコーエプソン株式会社 | 照明装置およびプロジェクター |
-
2022
- 2022-08-18 WO PCT/JP2022/031205 patent/WO2024038535A1/ja not_active Ceased
- 2022-08-18 KR KR1020257001691A patent/KR20250022862A/ko active Pending
- 2022-08-18 JP JP2024541341A patent/JP7806909B2/ja active Active
- 2022-08-18 CN CN202280098378.2A patent/CN119585677A/zh active Pending
-
2023
- 2023-07-21 TW TW112127264A patent/TWI885424B/zh active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI448833B (zh) | An exposure device and a light source device | |
| TWI514002B (zh) | 光學投影陣列曝光系統與其方法 | |
| TWI600975B (zh) | Light source device and exposure device | |
| JP2002203784A5 (https=) | ||
| JP2006065118A (ja) | 照明光学装置 | |
| JP7116368B2 (ja) | 照明装置及び方法、露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法 | |
| JP2000321529A (ja) | プロジェクタ装置 | |
| CN103389613B (zh) | 投影仪 | |
| JP2004228343A (ja) | 露光装置 | |
| JPWO2024038535A5 (https=) | ||
| KR102144863B1 (ko) | 조명장치, 노광장치, 노광방법 및 디바이스 제조방법 | |
| JP2006133635A (ja) | 照明光学装置及び光学装置 | |
| JP4328320B2 (ja) | 露光用光源 | |
| JP6283798B2 (ja) | 露光装置および照明ユニット | |
| TWI649632B (zh) | Exposure device and exposure method | |
| JPWO2024038533A5 (https=) | ||
| TWI820281B (zh) | 照明光學系統、曝光裝置以及物品製造方法 | |
| JPWO2024038538A5 (https=) | ||
| KR102574615B1 (ko) | 노광장치의 광학모듈 | |
| JP6700982B2 (ja) | 光学系、露光装置および物品製造方法 | |
| JPWO2024089737A5 (https=) | ||
| TW202447350A (zh) | 光源裝置以及曝光裝置 | |
| JP2005235999A5 (https=) | ||
| WO2013147019A1 (ja) | 光源装置 | |
| JP2003004953A (ja) | 照明光学装置 |