JPWO2023127317A5 - - Google Patents
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Description
本発明の第1の態様においては、上アームまたは下アームの一方に設けられた第1スイッチング素子と、上アームまたは下アームの他方に設けられた第2スイッチング素子と、第1スイッチング素子と並列に設けられた第1ダイオード素子と、第2スイッチング素子と並列に設けられた第2ダイオード素子と、主面が予め定められた第1方向および第2方向に延伸した2辺を有する積層基板と、上アームおよび下アームよりも第1方向の負側に設けられ、第2方向に配列されたゲート外部端子および補助ソース外部端子と、を備え、第1スイッチング素子、第2スイッチング素子、第1ダイオード素子および第2ダイオード素子は、積層基板上に設けられ、第1スイッチング素子または第1ダイオード素子の少なくとも1つは、第2スイッチング素子または第2ダイオード素子の少なくとも1つと第2方向において対向して設けられる半導体モジュールを提供する。
ゲート外部端子112、補助ソース外部端子114、ゲート外部端子122および補助ソース外部端子124は、半導体モジュール100の動作を制御するための制御端子の一例である。本例の制御端子は、出力端子110が設けられた辺と対向する辺に設けられる。本例の制御端子は、半導体モジュール100のX軸方向の負側において、Y軸方向に延伸する辺に設けられる。即ち、ゲート外部端子112、補助ソース外部端子114、ゲート外部端子122および補助ソース外部端子124は、上アーム102および下アーム104よりもX軸方向の負側に設けられる。
スイッチング素子20は、おもて面電極としてゲート電極21およびソース電極23を有し、裏面電極としてドレイン電極を有する。ゲート電極21は、ゲート配線部材22によって、ゲート外部端子122と接続されている。ゲート配線部材22は、スイッチング素子20のゲート電極21と複数のゲート外部端子122のうち対応するゲート外部端子122とを接続する第2ゲート配線部材の一例である。ソース電極23は、補助ソース配線部材24によって、補助ソース外部端子124と接続されている。補助ソース配線部材24は、スイッチング素子20のソース電極23と複数の補助ソース外部端子124のうち対応する補助ソース外部端子124とを接続する第2補助ソース配線部材の一例である。また、ソース電極23は、ワイヤ部材W4によって回路板38に接続され、ワイヤ部材W5によってアノード電極26に接続されている。スイッチング素子20のドレイン電極は、はんだ等によって、回路板32と電気的に接続されている。
本例の半導体モジュール100は、ゲート配線部材と補助ソース配線部材のそれぞれの経路長を均一にすることで、制御電流の経路長を均一にしてスイッチング損失の上下アーム差を低減できる。スイッチング素子10およびスイッチング素子20は、ダイオード素子15およびダイオード素子25よりも第1配置領域181に近接して配置されることで、制御電流の経路長を短くして、より均一化しやすくなる。
Claims (46)
- 上アームまたは下アームの一方に設けられた第1スイッチング素子と、
上アームまたは下アームの他方に設けられた第2スイッチング素子と、
前記第1スイッチング素子と並列接続された第1ダイオード素子と、
前記第2スイッチング素子と並列接続された第2ダイオード素子と、
主面が予め定められた第1方向および第2方向に延伸した2辺を有する積層基板と、
前記上アームおよび前記下アームよりも前記第1方向の負側に設けられ、前記第2方向に配列されたゲート外部端子および補助ソース外部端子と、
正極端子に接続されたP型配線部と、
負極端子に接続されたN型配線部と
を備え、
前記第1スイッチング素子、前記第2スイッチング素子、前記第1ダイオード素子および前記第2ダイオード素子は、前記積層基板上に設けられ、
前記第1スイッチング素子または前記第1ダイオード素子の少なくとも1つは、前記第2スイッチング素子または前記第2ダイオード素子の少なくとも1つと前記第2方向において対向して設けられ、
前記第1スイッチング素子および前記第2スイッチング素子は、前記第1方向において、前記P型配線部と前記N型配線部との間に配置される
半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子のソース電極と接続された補助ソース配線部材は、前記第2スイッチング素子のドレイン電極と出力端子との間の出力配線と物理的に分離されている
請求項1に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子の前記補助ソース配線部材は、前記第1スイッチング素子のソース電極と補助ソース外部端子とを直接接続する
請求項2に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子のソース電極と接続された補助ソース配線部材は、前記第2スイッチング素子のドレイン電極と出力端子との間の出力配線と物理的に分離されていない
請求項1に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子の前記補助ソース配線部材は、前記第2スイッチング素子の前記ドレイン電極が配置された導電性の回路板を介して、前記第1スイッチング素子のソース電極と補助ソース外部端子とを接続する
請求項4に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子および前記第2スイッチング素子は、前記第2方向において対向して設けられる
請求項1から5のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子および前記第1ダイオード素子は、前記第1方向において対向して設けられる
請求項1から5のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第1ダイオード素子および前記第2ダイオード素子は、前記第2方向において対向して設けられる
請求項1から5のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第2スイッチング素子および前記第2ダイオード素子は、下アームに設けられ、前記第2方向において対向して設けられる
請求項1から5のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子は、前記第1ダイオード素子よりも前記第1方向の負側に設けられ、
前記第2スイッチング素子は、前記第2ダイオード素子よりも前記第1方向の負側に設けられる
請求項1から5のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記P型配線部は、前記第1方向において、前記N型配線部と出力端子との間に設けられる
請求項1に記載の半導体モジュール。 - 前記P型配線部および前記N型配線部は、前記第2方向に延伸した延伸部を有する
請求項1または11に記載の半導体モジュール。 - 前記第1ダイオード素子は、前記P型配線部の前記延伸部に設けられる
請求項12に記載の半導体モジュール。 - 前記上アームおよび前記下アームよりも前記第1方向の正側に設けられた出力端子を備える
請求項1から5のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第2スイッチング素子は、前記下アームに設けられ、前記上アームに設けられた前記第1ダイオード素子を介して前記出力端子に接続される
請求項14に記載の半導体モジュール。 - 上アームまたは下アームの一方に設けられた第1スイッチング素子と、
上アームまたは下アームの他方に設けられた第2スイッチング素子と、
前記第1スイッチング素子と並列接続された第1ダイオード素子と、
前記第2スイッチング素子と並列接続された第2ダイオード素子と、
主面が予め定められた第1方向および第2方向に延伸した2辺を有する積層基板と、
正極端子または負極端子の一方に接続され、前記第2方向に延伸した第1配線部と、
正極端子または負極端子の他方に接続され、前記第2方向に延伸した第2配線部と、
前記第2方向に延伸した第1配置領域に設けられ、前記第1スイッチング素子のゲート電極または前記第2スイッチング素子のゲート電極と電気的に接続された複数のゲート外部端子と、
前記第1配置領域に設けられ、前記第1スイッチング素子のソース電極または前記第2スイッチング素子のソース電極と電気的に接続された複数の補助ソース外部端子と、
前記第1スイッチング素子の前記ゲート電極と前記複数のゲート外部端子のうち対応するゲート外部端子とを接続する第1ゲート配線部材と
前記第1スイッチング素子の前記ソース電極と前記複数の補助ソース外部端子のうち対応する補助ソース外部端子とを接続する第1補助ソース配線部材と、
前記第2スイッチング素子の前記ゲート電極と前記複数のゲート外部端子のうち対応するゲート外部端子とを接続する第2ゲート配線部材と
前記第2スイッチング素子の前記ソース電極と前記複数の補助ソース外部端子のうち対応する補助ソース外部端子とを接続する第2補助ソース配線部材と、
を備え、
前記第1スイッチング素子および前記第2スイッチング素子は、前記第2方向において対向して設けられ、
前記第1スイッチング素子および前記第2スイッチング素子は、前記第1配置領域と、前記第2配線部を挟んで設けられる
半導体モジュール。 - 前記第2方向に延伸した第2配置領域に設けられた出力端子を備え、
前記第1スイッチング素子および前記第2スイッチング素子は、前記第2配置領域と、前記第1配線部を挟んで設けられる
請求項16に記載の半導体モジュール。 - 前記上アームおよび前記下アームでそれぞれ構成される3つレグを備える
請求項16に記載の半導体モジュール。 - 前記正極端子および前記負極端子は、前記第2方向において、前記3つのレグと並んで配置された第3配置領域に設けられる
請求項18に記載の半導体モジュール。 - 前記3つのレグのそれぞれの前記上アームは、ワイヤ部材によって前記第1配線部を越えて出力端子と接続されている
請求項19に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子および前記第2スイッチング素子は、前記第1方向において、前記第1配線部と前記第2配線部との間に配置される
請求項16から20のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第1配線部は、前記正極端子に接続されたP型配線部であり、
前記第2配線部は、前記負極端子に接続されたN型配線部である
請求項16から20のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記上アームを構成するための第1回路板と、
前記下アームを構成するための第2回路板と、
を備え、
前記第1ダイオード素子は、前記第1回路板に搭載され、
前記第2ダイオード素子は、前記第2回路板に搭載される
請求項16から20のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記上アームを構成するための第1回路板と、
前記下アームを構成するための第2回路板と、
を備え、
前記第1ダイオード素子は、前記第1配線部に搭載され、
前記第2ダイオード素子は、前記第2回路板に搭載される
請求項16から20のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子のゲート電極は、前記第2スイッチング素子のゲート電極と前記第2方向において、対向して設けられる
請求項16から20のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第1補助ソース配線部材と前記第1スイッチング素子の前記ソース電極との接続点は、前記第2補助ソース配線部材と前記第2スイッチング素子の前記ソース電極との接続点と、前記第2方向において対向する
請求項16から20のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第1ダイオード素子は、前記第2配線部と、前記第1スイッチング素子を挟んで設けられ、
前記第2ダイオード素子は、前記第2配線部と、前記第2スイッチング素子を挟んで設けられる
請求項16から20のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子および前記第1ダイオード素子が上アームに配置され、
前記第2スイッチング素子および前記第2ダイオード素子が下アームに配置される
請求項1から4、または16から20のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 複数の上アームと複数の下アームとを備え、
前記上アームのスイッチング素子と前記下アームのスイッチング素子とが、前記第2方向において交互に配列される
請求項1から5、または16から20のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子および前記第2スイッチング素子は、SiC-MOSであり、
前記第1ダイオード素子および前記第2ダイオード素子は、SiC-SBDである
請求項1から5、または16から20のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 上アームまたは下アームの一方に設けられた第1スイッチング素子と、
上アームまたは下アームの他方に設けられた第2スイッチング素子と、
前記第1スイッチング素子と並列接続された第1ダイオード素子と、
前記第2スイッチング素子と並列接続された第2ダイオード素子と、
主面が予め定められた第1方向および第2方向に延伸した2辺を有する積層基板と、
前記上アームおよび前記下アームよりも前記第1方向の負側に設けられ、前記第2方向に配列されたゲート外部端子および補助ソース外部端子と、
正極端子および前記上アームに接続されたP型配線部と、
負極端子および前記下アームに接続されたN型配線部と、
前記上アーム、および前記下アームに接続された出力端子と、
を備えた半導体モジュールであって、
前記第1スイッチング素子、前記第2スイッチング素子、前記第1ダイオード素子および前記第2ダイオード素子は、前記積層基板上に設けられ、
前記第1スイッチング素子または前記第1ダイオード素子の少なくとも1つは、前記第2スイッチング素子または前記第2ダイオード素子の少なくとも1つと前記第2方向において対向して設けられ、
前記半導体モジュールは平面視にて前記第1方向に延びる第1辺と、前記第1辺に対向して前記第1方向に延びる第2辺と、前記第2方向に延びる第3辺と、前記第3辺に対向して前記第2方向に延びる第4辺とを有し、
前記第1辺に前記正極端子と前記負極端子が設けられ、
前記第3辺に前記ゲート外部端子および前記補助ソース外部端子が設けられ、
前記第4辺に前記出力端子が設けられた
半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子のソース電極と接続された補助ソース配線部材は、前記第2スイッチング素子のドレイン電極と前記出力端子との間の出力配線と物理的に分離されている
請求項31に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子の前記補助ソース配線部材は、前記第1スイッチング素子のソース電極と補助ソース外部端子とを直接接続する
請求項32に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子のソース電極と接続された補助ソース配線部材は、前記第2スイッチング素子のドレイン電極と前記出力端子との間の出力配線と物理的に分離されていない
請求項31に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子の前記補助ソース配線部材は、前記第2スイッチング素子の前記ドレイン電極が配置された導電性の回路板を介して、前記第1スイッチング素子のソース電極と補助ソース外部端子とを接続する
請求項34に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子および前記第2スイッチング素子は、前記第2方向において対向して設けられる
請求項31から34のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子および前記第1ダイオード素子は、前記第1方向において対向して設けられる
請求項31から34のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第1ダイオード素子および前記第2ダイオード素子は、前記第2方向において対向して設けられる
請求項31から34のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第2スイッチング素子および前記第2ダイオード素子は、下アームに設けられ、前記第2方向において対向して設けられる
請求項31から34のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子は、前記第1ダイオード素子よりも前記第1方向の負側に設けられ、
前記第2スイッチング素子は、前記第2ダイオード素子よりも前記第1方向の負側に設けられる
請求項31から34のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第1スイッチング素子および前記第2スイッチング素子は、前記第1方向において、前記P型配線部と前記N型配線部との間に配置される
請求項31から34のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記P型配線部は、前記第1方向において、前記N型配線部と前記出力端子との間に設けられる
請求項41に記載の半導体モジュール。 - 前記P型配線部および前記N型配線部は、前記第2方向に延伸した延伸部を有する
請求項41に記載の半導体モジュール。 - 前記第1ダイオード素子は、前記P型配線部の前記延伸部に設けられる
請求項43に記載の半導体モジュール。 - 前記上アームおよび前記下アームよりも前記第1方向の正側に設けられた前記出力端子を備える
請求項31から34のいずれか一項に記載の半導体モジュール。 - 前記第2スイッチング素子は、前記下アームに設けられ、前記上アームに設けられた前記第1ダイオード素子を介して前記出力端子に接続される
請求項45に記載の半導体モジュール。
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