JPWO2022230677A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2022230677A5
JPWO2022230677A5 JP2023517437A JP2023517437A JPWO2022230677A5 JP WO2022230677 A5 JPWO2022230677 A5 JP WO2022230677A5 JP 2023517437 A JP2023517437 A JP 2023517437A JP 2023517437 A JP2023517437 A JP 2023517437A JP WO2022230677 A5 JPWO2022230677 A5 JP WO2022230677A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
outer edge
convex portion
shape
frame
actuator according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2023517437A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2022230677A1 (https=
JP7485212B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/JP2022/017808 external-priority patent/WO2022230677A1/ja
Publication of JPWO2022230677A1 publication Critical patent/JPWO2022230677A1/ja
Publication of JPWO2022230677A5 publication Critical patent/JPWO2022230677A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7485212B2 publication Critical patent/JP7485212B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2023517437A 2021-04-27 2022-04-14 アクチュエータ、ポンプ、アクチュエータの製造方法 Active JP7485212B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021074741 2021-04-27
JP2021074741 2021-04-27
PCT/JP2022/017808 WO2022230677A1 (ja) 2021-04-27 2022-04-14 アクチュエータ、ポンプ、アクチュエータの製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2022230677A1 JPWO2022230677A1 (https=) 2022-11-03
JPWO2022230677A5 true JPWO2022230677A5 (https=) 2023-10-19
JP7485212B2 JP7485212B2 (ja) 2024-05-16

Family

ID=83847451

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2023517437A Active JP7485212B2 (ja) 2021-04-27 2022-04-14 アクチュエータ、ポンプ、アクチュエータの製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US12595788B2 (https=)
JP (1) JP7485212B2 (https=)
CN (1) CN117203428A (https=)
WO (1) WO2022230677A1 (https=)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2025197618A1 (ja) * 2024-03-19 2025-09-25 株式会社村田製作所 アクチュエータおよび流体制御装置
WO2026070336A1 (ja) * 2024-09-26 2026-04-02 株式会社村田製作所 アクチュエータ

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10201027C1 (de) * 2002-01-11 2003-08-07 Eads Deutschland Gmbh Flüssigkeitspumpe
JP2006207436A (ja) * 2005-01-26 2006-08-10 Matsushita Electric Works Ltd 圧電ダイヤフラムポンプ
KR100891245B1 (ko) * 2005-01-26 2009-04-01 파나소닉 전공 주식회사 압전구동 격막펌프
JP2008180161A (ja) * 2007-01-25 2008-08-07 Star Micronics Co Ltd ダイヤフラムポンプ
KR101333542B1 (ko) 2010-05-21 2013-11-28 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 유체 펌프
CN103140674B (zh) * 2011-04-11 2016-06-08 株式会社村田制作所 致动器支承结构及泵装置
JP5682513B2 (ja) * 2011-09-06 2015-03-11 株式会社村田製作所 流体制御装置
JP6127361B2 (ja) 2011-11-08 2017-05-17 株式会社村田製作所 流体制御装置
JP6001482B2 (ja) * 2013-03-25 2016-10-05 京セラ株式会社 入力装置および電子機器
WO2015125843A1 (ja) * 2014-02-21 2015-08-27 株式会社村田製作所 流体制御装置およびポンプ
US10284986B2 (en) * 2015-04-29 2019-05-07 Goertek Inc. Piezoelectric speaker and method for forming the same
JP2017052135A (ja) * 2015-09-08 2017-03-16 セイコーエプソン株式会社 Memsデバイス、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、memsデバイスの製造方法、及び液体噴射ヘッドの製造方法
TWI683959B (zh) * 2016-09-05 2020-02-01 研能科技股份有限公司 壓電致動器及其所適用之微型流體控制裝置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4553043B2 (ja) 音響的トランスデューサユニット
US6653762B2 (en) Piezoelectric type electric acoustic converter
JPWO2022230677A5 (https=)
JP7609780B2 (ja) 圧電素子
JP2009293566A (ja) 圧電駆動体及び圧電ブロア
US10972840B2 (en) Speaker
WO2002007234A9 (en) Piezoelectric device and acousto-electric transducer and method for manufacturing the same
EP1473777A3 (en) Solid-state imaging device and method for producing the same
JPH08335844A (ja) 圧電共振部品及びその製造方法
CN114157269B (zh) 谐振器组件及柔性滤波器
US11091829B2 (en) Metal mask, metal mask plate and method of manufacturing the same
JP7485212B2 (ja) アクチュエータ、ポンプ、アクチュエータの製造方法
JP2016175274A5 (https=)
JPH06273439A (ja) 加速度センサ
JP2022119126A5 (https=)
JP2008205888A5 (https=)
KR101612456B1 (ko) 압전 파이버 컴포지트 구조체 및 이를 이용한 압전 스피커
KR20130072104A (ko) 전극 기체
JPWO2022230676A5 (https=)
JPH05291467A (ja) リードフレームおよび半導体装置
TW201521156A (zh) 蓋體部、使用此蓋體部之電子裝置用之封裝體及電子裝置
JP3994758B2 (ja) チップ型電子部品の製造方法
JP2014072883A (ja) 圧電デバイス
JPWO2022130670A5 (https=)
KR101832566B1 (ko) 압전 충격 센서 및 그 제조 방법