JP7485212B2 - アクチュエータ、ポンプ、アクチュエータの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、接着剤を用いて筐体が組み立てられるアクチュエータに関する。

特許文献１には、流体ポンプが記載されている。特許文献１に記載の流体ポンプは、振動板、振動板支持枠、連結部、圧電素子、スペーサ、および、蓋部を備える。振動板は円板である。振動板支持枠は、振動板の外周を囲む形状である。振動板は、連結部を用いて、振動板支持枠に対して振動可能に保持される。圧電素子は、振動板に装着される。

蓋部は、振動板、連結部、および振動板支持枠からなる板部材に対向して配置される。スペーサは、この板部材と蓋部との間に配置される。スペーサは、中空部を有する枠状であり、振動板支持枠と蓋部とに接続する。

蓋部、スペーサ、振動板支持枠の外形形状は同じであり、これらは、それぞれに例えば接着剤によって接着される。

国際公開第２０１１／１４５５４４号

しかしながら、特許文献１のような従来の構成では、接着剤が外部等に不要にはみだす等により、接着すべき部材を十分に接着できず、信頼性が低下することがある。特に、特許文献１に示すような振動を生じるデバイスでは、接着性の低下による信頼性の低下が生じ易い。

したがって、本発明の目的は、構成する各部材の接着性を向上し、信頼性の高いデバイスを実現することにある。

この発明のアクチュエータは、振動部材、枠体、および、接着剤を備える。振動部材は、第１主面および第２主面を有し、第１主面および第２主面の少なくとも一方に圧電素子が装着される。振動部材は、板状であり、平面視した形状が圧電素子よりも大きく、圧電素子が当接していない外縁部を備える。枠体は、外縁形状が振動部材よりも小さい。接着剤は、振動部材の外縁部における第１主面または第２主面と枠体とを接着する。平面視において、枠体の外縁形状は、振動部材の外縁形状よりも小さい。枠体は、外縁から外方へ部分的に突出する凸部を備える。

この構成では、凸部の箇所にも接着剤が接着するので、凸部が存在しないときよりも接着領域が大きくなる。

この発明によれば、構成する各部材の接着性を向上し、高い信頼性を実現する。

図１は、本発明の第１の実施形態に係るポンプの分解斜視図である。 図２（Ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るポンプの平面図であり、図２（Ｂ）は、そのＡ－Ａ断面図である。 図３（Ａ）は、枠体の平面図であり、図３（Ｂ）、図３（Ｃ）、図３（Ｄ）、図３（Ｅ）は、枠体の各側面図である。 図４（Ａ）、図４（Ｂ）は、枠体と振動部材との接着状態の一例を示す部分拡大斜視図である。 図５は、枠体の切り出しのイメージ図である。 図６（Ａ）、図６（Ｂ）、図６（Ｃ）、図６（Ｄ）は、枠体の派生例を示す平面図である。

本発明の実施形態に係るアクチュエータおよびポンプについて、図を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係るポンプの分解斜視図である。図２（Ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るポンプの平面図であり、図２（Ｂ）は、そのＡ－Ａ断面図である。なお、図２（Ａ）、図２（Ｂ）では、電極パターンの図示を省略している。また、本実施形態を含む各実施形態に示す各図は、流体制御装置の構成を分かり易くするため、それぞれの構成要素の形状を部分的または全体として誇張して記載することがある。

図１、図２（Ａ）、図２（Ｂ）に示すように、ポンプ１０は、アクチュエータ１１、筐体２０を備える。アクチュエータ１１と筐体２０とは、構成部材が部分的に重複している。

アクチュエータ１１は、振動部材２１、枠体２３、圧電素子３０、および、電極パターン４１、４２を備える。筐体２０は、振動部材２１、蓋部材２２、および、枠体２３を備える。

振動部材２１は、主面Ｆ２１１と主面Ｆ２１２とを有する平板である。振動部材２１は、例えば、金属の打ち抜き加工によって形成される。

振動部材２１は、主平板２１１、外縁部２１２、および、連結部２１３を備える。

主平板２１１は、平面視して円形である。外縁部２１２は、平面視して環形である。外縁部２１２の内端は、円形であり、外端は八角形である。平面視において、外縁部２１２の内端は、主平板２１１の外縁よりも外方に位置し、主平板２１１の外縁から離れている。

連結部２１３は、主平板２１１の外縁と外縁部２１２の内端との間に配置される。連結部２１３は、複数であり、主平板２１１の外縁に沿って、互いに間隔を空けて配列される。連結部２１３は、梁形状であり、主平板２１１の外縁と外縁部２１２の内端とを接続する。この構成によって、主平板２１１は、外縁部２１２に対して連結部２１３を介してベンディング振動可能に保持される。この主平板２１１と外縁部２１２との間の領域において、連結部２１３の存在しない領域が、振動部材２１に形成された開口２１４となる。

圧電素子３０は、円板であり、圧電体からなる。圧電素子３０は、主平板２１１の主面Ｆ２１１に当接して配置される。

蓋部材２２は、平面視して八角形である。平面視における蓋部材２２の外形形状は、振動部材２１の外縁部２１２の外形形状と略同じである。蓋部材２２は、開口２２０を有する。開口２２０は、蓋部材２２を平面視した略中央に形成される。平面視において、開口２２０は、圧電素子３０よりも小さい。蓋部材２２は、例えば、金属の打ち抜き加工によって形成される。

枠体２３は、平面視して環形であり、円筒形の内部空間２３０を有する。枠体２３の内周端は、円形であり、外周端は八角形である。枠体２３は、例えば、金属の打ち抜き加工によって形成される。

平面視における、枠体２３の内周端の形状は、振動部材２１の外縁部２１２の内端の形状と略相似形である。枠体２３の内周端を形成する円形は、外縁部２１２の内周端を形成する円形よりも大きい。

平面視における、枠体２３の外周端の形状（外形形状）は、振動部材２１の外縁部２１２の外周端の形状（外形形状）と略相似形である。枠体２３の外形形状は、振動部材２１の外縁部２１２の外形形状よりも小さい。例えば、蓋部材２２の外形形状は、振動部材２１の外縁部２１２の外形形状の約０．９倍以上１．０倍未満である。なお、この倍率の関係は一例であり、これに限るものではない。

平面視において、枠体２３は、振動部材２１の外縁部２１２に重なる。そして、枠体２３における高さ方向（内端面および外端面に直交する方向）の一方端面は、外縁部２１２における主面Ｆ２１２に、接着剤２４１を用いて接着される。

また、平面視において、枠体２３は、蓋部材２２に重なる。そして、枠体２３における高さ方向（内端面および外端面に直交する方向）の他方端面は、蓋部材２２に接着剤２４２を用いて接着される。

この構成によって、筐体２０は、振動部材２１、蓋部材２２、および、枠体２３によって囲まれる内部空間２３０を有する。この内部空間２３０が、ポンプ１０のポンプ室として機能する。内部空間２３０は、開口２１４および開口２２０によって、筐体２０の外部に連通する。

電極パターン４１は、内部接続部４１１と外部端子４１２とを備える。電極パターン４１における内部接続部４１１は、平面視において圧電素子３０に重なり、内部接続部４１１の先端部は、圧電素子３０における振動部材２１に当接する面と反対側の面に接触する。外部端子４１２は、平面視において、振動部材２１の外縁部２１２よりも外方に突出する。

電極パターン４２は、内部接続部４２１と外部端子４２２とを備える。電極パターン４２における内部接続部４２１は、平面視において外縁部２１２に重なり、外縁部２１２における主面Ｆ２１１に接触する。外部端子４２２は、平面視において、振動部材２１の外縁部２１２よりも外方に突出する。

このような構成によって、アクチュエータ１１およびポンプ１０は次のように動作する。

電極パターン４１および電極パターン４２を通じて圧電素子３０に駆動電圧が印加される。これにより。圧電素子３０が歪み、主平板２１１が振動する。

ここで、外縁部２１２は、枠体２３によって固定されている。そして、主平板２１１は、連結部２１３によって振動可能に保持されている。したがって、振動部材２１では、枠体２３によって外縁部２１２が略固定された状態で、主平板２１１が振動する。これにより、アクチュエータ１１としての機能が実現される。

そして、主平板２１１が振動することによって、外部から開口２１４を通じて内部空間２３０に流体を吸入し、内部空間２３０から開口２２０を通じて外部に流体を吐出させることが可能になる。なお、流体の流れは、逆も可能である。すなわち、外部から開口２２０を通じて内部空間２３０に流体を吸入し、内部空間２３０から開口２１４を通じて外部に流体を吐出させることが可能になる。これにより、ポンプ１０としての機能が実現される。

このようなアクチュエータ１１およびポンプ１０において、枠体２３は、具体的に次の構成を備える。図３（Ａ）は、枠体の平面図であり、図３（Ｂ）、図３（Ｃ）、図３（Ｄ）、図３（Ｅ）は、枠体の各側面図である。

図３（Ａ）－図３（Ｅ）に示すように、枠体２３は、内部空間２３０を有し、凸部２３９を備える。平面視において、枠体２３の外形形状は、凸部２３９を除き、八角形である。枠体２３は、主面２３１、主面２３２、側面２３３１、側面２３３２、側面２３３３、側面２３３４、側面２３４１、側面２３４２、側面２３４３、および、側面２３４４を備える。

主面２３１と主面２３２とは、枠体２３の厚み方向の両端面であり、互いに対向する。主面２３１と主面２３２の外形形状（凸部２３９を除く）が八角形である。

側面２３３１、側面２３３２、側面２３３３、側面２３３４、側面２３４１、側面２３４２、側面２３４３、および、側面２３４４は、主面２３１と主面２３２とに直交し、主面２３１と主面２３２の外縁に接続する。

側面２３３１と側面２３３２とは対向し、側面２３３３と側面２３３４とは対向する。側面２３３１および側面２３３２と、側面２３３３および側面２３３４とは、互いに垂直の関係にある。

側面２３４１と側面２３４２とは対向し、側面２３４３と側面２３４４とは対向する。側面２３４１および側面２３４２と、側面２３４３および側面２３４４とは、互いに垂直の関係にある。

側面２３４１は、側面２３３１と側面２３３３とを接続する。側面２３４１は、側面２３３１および側面２３３３に対して、枠体２３の中心側の為す角が１３５°となるように配置される。

側面２３４２は、側面２３３２と側面２３３４とを接続する。側面２３４２は、側面２３３２および側面２３３４に対して、枠体２３の中心側の為す角が１３５°となるように配置される。

側面２３４３は、側面２３３１と側面２３３４とを接続する。側面２３４３は、側面２３３１および側面２３３４に対して、枠体２３の中心側の為す角が１３５°となるように配置される。

側面２３４４は、側面２３３２と側面２３３３とを接続する。側面２３４４は、側面２３３２および側面２３３３に対して、枠体２３の中心側の為す角が１３５°となるように配置される。

側面２３３１、側面２３３２、側面２３３３、および、側面２３３４は、同じ長さ（平面視した長さが同じ）である。側面２３４１、側面２３４２、側面２３４３、および、側面２３４４は、同じ長さ（平面視した長さが同じ）である。側面２３３１、側面２３３２、側面２３３３、および、側面２３３４は、側面２３４１、側面２３４２、側面２３４３、および、側面２３４４よりも長い。これにより、図３（Ａ）に示すように、４つの長辺と４つの短辺とが、外周上で交互に繰り返される八角形が実現される。

図３（Ａ）に示すように、枠体２３には、平面視において円形の内部空間２３０を備える。内部空間２３０は、主面２３１から主面２３２まで枠体２３を貫通する貫通穴である。

枠体２３の中心と内部空間２３０の中心とは一致する。なお、ここでの一致は、製造誤差等によって、各中心が少しズレる場合も含む。

枠体２３が上述の八角形であり、内部空間２３０が円形（円筒形）であるので、
側面２３３１、側面２３３２、側面２３３３、および側面２３３４から中心側の厚みＷ２３３は、側面２３４１、側面２３４２、側面２３４３、および、側面２３４４から中心側の厚みＷ２３４よりも小さくなる。言い換えれば、長辺の側面から中心側の厚みＷ２３３は、短辺の側面から中心側の厚みＷ２３４よりも小さくなる。なお、図３（Ａ）の厚みＷ２３３、Ｗ２３４に示すように、側面から中心側の厚みは、側面と内部空間２３０との最短距離によって定義される。

凸部２３９は、枠体２３の外縁である側面２３４１から外方に突出する。例えば、凸部２３９は、半円柱形状であり、側面２３４１に対して、部分的に突出する。ここでの部分的とは、側面２３４１の周方向において部分的であることを意味する。凸部２３９は、枠体２３の厚み方向の全体に亘って形成される。

例えば、凸部２３９の突出量は、枠体２３の中心から各側面までの距離が約３０μｍであるときに、約５μｍである。なお、この寸法は一例であり、これに限るものではない。

このような凸部２３９を備えることで、枠体２３と振動部材２１の外縁部２１２との接着面積、および、枠体２３と蓋部材２２との接着面積は、凸部２３９が無い比較構成（従来構成）よりも大きくなる。

図４（Ａ）、図４（Ｂ）は、枠体と振動部材との接着状態の一例を示す部分拡大斜視図である。図４（Ａ）は、本実施形態の構成を示し、図４（Ｂ）は、比較構成を示す。

図４（Ａ）と図４（Ｂ）を比較して分かるように、凸部２３９を備えることによって、枠体２３と振動部材２１の外縁部２１２との接触面積は大きくなり、枠体２３と振動部材２１の外縁部２１２との接する外形線の長さも長くなる。これにより、枠体２３と振動部材２１の外縁部２１２とが接着剤２４２によって接着される面積は、枠体２３の厚み方向の端面のみでなく、側面においても大きくなる。言い換えれば、接着剤２４２による枠体２３および振動部材２１の外縁部２１２に形成されるフィレットも大きくなる。したがって、枠体２３と振動部材２１の外縁部２１２との接着強度は、向上する。これにより、アクチュエータ１１は、高い信頼性を実現できる。

なお、図示を省略しているが、枠体２３と蓋部材２２との接着も、この枠体２３と振動部材２１の外縁部２１２との接着と同様である。したがって、枠体２３と振動部材２１の外縁部２１２との接着強度は、向上する。これにより、ポンプ１０は、高い信頼性を実現できる。

また、振動部材２１の外縁部２１２の外形形状が枠体２３の外形形状よりも大きいことによって、接着剤２４２が枠体２３の外方にはみ出しても、振動部材２１の外縁部２１２の外方からはみ出すことは、抑制される。

同様に、蓋部材２２の外形形状が枠体２３の外形形状よりも大きいことによって、接着剤２４１が枠体２３の外方にはみ出しても、蓋部材２２の外方からはみ出すことは、抑制される。

これにより、筐体２０に他の部材を接着または接合するときに、この接着、接合に対して接着剤２４１、２４２が悪影響を与えない。

また、上述のように、凸部２３９は、振動部材２１の外縁部２１２および蓋部材２２の外形から突出しない方がよい。言い換えれば、凸部２３９の突出量は、枠体２３の中心から側面２３４１までの距離と、振動部材２１の中心から外縁部２１２における側面２３４１が接着される部分の外縁までの距離との差の絶対値よりも小さい方がよい。

これにより、アクチュエータ１１およびポンプ１０を平面視して、凸部２３９が側方に突出することを抑制できる。これにより、アクチュエータ１１およびポンプ１０の平面形状の大型化は抑制される。また、接着剤２４１、２４２がアクチュエータ１１およびポンプ１０の側面からはみ出すことは抑制される。

また、凸部２３９は、凸部２３９が形成される側面２３４１に接続する側面２３３１および側面２３３３（本発明の「第１接続側面」および「第２接続側面」に対応）から側面２３４１側に延びる仮想線（図３（Ａ）の点線）と側面２３４１とによって囲まれる空間内に配置される。これにより、凸部２３９は、平面視における枠体２３の側面２３３１、側面２３３２、側面２３３３、および、側面２３３４を結んでできる四角形内に収まる。したがって、マザー基板Ｍ２３（図５参照）に対する隣り合う枠体２３の距離Ｌｓ（図５参照）が凸部２３９によって大きくなることを抑制できる。すなわち、マザー基板Ｍ２３に対する枠体２３の取れ数の低下を抑制できる。

なお、凸部２３９は、枠体２３における少なくとも振動部材２１の外縁部２１２側の端部または端部付近に形成されていればよい。これにより、枠体２３と振動部材２１の外縁部２１２との接着強度が向上する。したがって、外縁部２１２をより強固に固定でき、外縁部２１２への不要な振動の漏れは、抑制される。また、外縁部２１２は、主平板２１１の振動の影響を受け易いが、接着強度が向上していることによって、枠体２３と外縁部２１２との剥離を、より確実に抑制できる。

また、上述の構成では、凸部２３９は、短辺となる側面２３４１に形成される。言い換えれば、凸部２３９は、枠体２３の最も長い側面と異なる側面に形成される。これにより、凸部２３９は、枠体２３における厚みの大きな側壁に形成される。

このような位置に凸部２３９を形成することによって、凸部２３９を形成することによる不要振動の発生を抑制できる。すなわち、ポンプ１０は、平面視した全周に亘った同じ形状であり、枠体２３の形状が同じであることによって、振動は全周で均一化し、不要振動は発生し難くなる。ここで、凸部２３９を形成することで、凸部２３９を備える部分だけ側壁の厚みは大きくなる。このため、凸部２３９を備えることで、不要振動は発生し易くなる。しかしながら、厚みの大きな箇所に凸部２３９を形成することで、厚みの小さな箇所に凸部２３９を形成するよりも、側壁の厚みの変化は小さくなる。したがって、厚みの小さな箇所に凸部２３９を形成するよりも、厚みの大きな箇所に凸部２３９を形成することで、不要振動の発生を抑制できる。

また、上述の構成では、平面視における、凸部２３９の位置と、電極パターン４１、４２が外方に引き出される位置とは、異なり、離間している。具体的には、電極パターン４１、４２が外方に引き出される位置は、凸部２３９の位置に対して、枠体２３の内部空間２３０を介して、略逆側にある。これにより、不要振動が電極パターン４１、４２に与える悪影響を抑制できる。例えば、不要振動による電極パターン４１、４２の剥がれ、特に、電極パターン４１の剥がれは抑制される。

このようなアクチュエータ１１およびポンプ１０は、次のように製造される。図５は、枠体の切り出しのイメージ図である。

まず、振動部材２１、蓋部材２２、および、枠体２３を、それぞれのマザー基板から切り出す。各マザー基板は、それぞれに延伸処理された金属板である。例えば、枠体２３は、図５に示すように、マザー基板Ｍ２３の延伸方向に対して、それぞれの枠体２３に対する凸部２３９の位置が一致するように、複数の枠体２３は、切り出される。

振動部材２１および蓋部材２２についても、図示は省略するが、マザー基板の延伸方向に対して、向きが一致するように切り出される。

振動部材２１、蓋部材２２、および、枠体２３は、接着剤２４１、２４２を用いて、接着される。この際、全てのアクチュエータ１１およびポンプ１０は、いずれにおいても、振動部材２１、蓋部材２２、および、枠体２３の向きが一致するように、接着される。

振動部材２１に圧電素子３０を装着し、電極パターン４１、４２を装着する。

このような製造方法を用いることによって、振動部材２１、蓋部材２２、および、枠体２３によって囲まれる空間（内部空間２３０）の形状が一致し、安定したポンプ特性を有し、信頼性の高い複数のポンプ１０を、安定的に製造できる。なお、安定したポンプ特性とは、例えば、耐久性が高いこと、所望の流量が得られること等である。

同様に、安定した振動特性を有し、信頼性の高いアクチュエータ１１を製造できる。

［枠体の派生例］
図６（Ａ）、図６（Ｂ）、図６（Ｃ）、図６（Ｄ）は、枠体の派生例を示す平面図である。

図６（Ａ）に示すように、枠体２３Ａは、凸部２３９１Ａ、凸部２３９４Ａを備える。凸部２３９１Ａは、凸部２３９と同じである。凸部２３９４Ａは、側面２３４４から突出する形状である。このように、凸部は、複数であってもよい。例えば、凸部２３９１Ａが本発明の「第１凸部」に対応し、凸部２３９４Ａが「第２凸部」に対応する。 図６（Ｂ）に示すように、枠体２３Ｂは、凸部２３９１Ｂ、凸部２３９２Ｂ、凸部２３９３Ｂ、および、凸部２３９４Ｂを備える。凸部２３９１Ｂは、凸部２３９と同じである。凸部２３９２Ｂは、側面２３４２から突出する形状である。凸部２３９３Ｂは、側面２３４３から突出する形状である。凸部２３９４Ｂは、側面２３４４から突出する形状である。凸部２３９１Ｂが本発明の「第１凸部」に対応し、凸部２３９２Ｂ、２３９３Ｂ、２３９４Ｂが「第２凸部」に対応する。

凸部２３９２Ｂ、凸部２３９３Ｂ、および、凸部２３９４Ｂは、同じ形状（第２形状）である。凸部２３９１Ｂは、凸部２３９２Ｂ、凸部２３９３Ｂ、および、凸部２３９４Ｂと異なる形状（第１形状）である。言い換えれば、枠体２３Ｂは、複数の凸部を備えるが、凸部２３９１Ｂのみ異なる形状である。このように、複数の凸部が存在する場合に、他の凸部と異なる形状の凸部が枠体の側面における特定位置に配置されることによって、複数の凸部が備えられていても、枠体２３Ｂの向きを容易に判断できる。

図６（Ｃ）に示すように、枠体２３Ｃは、凸部２３９１Ｃを備える。凸部２３９１Ｃは、側面２３３３から突出する形状である。このように、凸部は、枠体２３Ｃの八角形の長辺から突出する形状であってもよい。しかしながら、上述のいくつかの作用効果を得るために、短辺から突出する形状であることが好ましい。

図６（Ｄ）に示すように、枠体２３Ｄは、凸部２３９１Ｄを備える。凸部２３９１Ｄは、側面２３３１と側面２３４１とが接続する角部に形成される。このように、凸部は、枠体２３Ｄの角部から突出する形状であってもよい。しかしながら、上述のいくつかの作用効果を得るために、短辺から突出する形状であることが好ましい。

これら派生例に示す枠体２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ、２３Ｄの凸部の配置および形状、枠体２３の凸部の配置および形状は、適宜組み合わせることが可能であり、それぞれの組合せに応じた作用効果を奏することができる。

また、上述の説明では、平面視における振動部材２１の外形形状および枠体２３の外形形状は、八角形であった。しかしながら、平面視における振動部材の外形形状と枠体の外形形状は、他の多角形であってもよい。なお、この際の多角形は、平面視して、直線が交わる角部を有する形状に限るものではなく、曲線からなる形状（Ｒ面取り等の丸みを帯びた形状）であってもよい。さらには、振動部材の外形形状と枠体の外形形状とは、完全な相似形でなくてもよい。

１０：ポンプ
１１：アクチュエータ
２０：筐体
２１：振動部材
２２：蓋部材
２３、２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ、２３Ｄ：枠体
３０：圧電素子
４１、４２：電極パターン
２１１：主平板
Ｆ２１１、Ｆ２１２：主面
２１２：外縁部
２１３：連結部
２１４：開口
２２０：開口
２３０：内部空間
２３１、２３２：主面
２３９：凸部
２４１、２４２：接着剤
４１１、４２１：内部接続部
４１２、４２２：外部端子
２３３１、２３３２、２３３３、２３３４、２３４１、２３４２、２３４３、２３４４：側面
２３９１Ａ、２３９１Ｂ、２３９１Ｃ、２３９１Ｄ、２３９２Ｂ、２３９３Ｂ、２３９４Ａ、２３９４Ｂ：凸部

Claims (8)

1. 第１主面および第２主面を有し、前記第１主面および前記第２主面の少なくとも一方に圧電素子が装着され、平面視した形状が前記圧電素子よりも大きく、前記圧電素子が当接していない外縁部を備える板状の振動部材と、
   外縁形状が前記振動部材よりも小さい枠体と、
   前記振動部材の前記外縁部における前記第１主面または前記第２主面と前記枠体とを接着する接着剤と、
   を備え、
   前記平面視において、前記枠体の外縁形状は、前記振動部材の外縁形状よりも小さく、
   前記枠体は、前記外縁から外方へ部分的に突出する凸部を備える、
   アクチュエータ。
2. 前記枠体の外縁は、平面視において八角形であり、
   前記凸部は、前記八角形における最長の辺を形成する側面とは異なる側面に、備えられる、
   請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記凸部は、複数であり、
   前記凸部は少なくとも第１形状を有する第１凸部と前記第１形状と異なる第２形状を有する第２凸部を備え、
   前記第１凸部は、前記外縁の特定位置に配置される、
   請求項１または請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記凸部は、一つである、
   請求項１または請求項２に記載のアクチュエータ。
5. 前記凸部は、
   前記凸部が形成される側面の両端に接続する第１接続側面および第２接続側面から、前記凸部が形成される側面に延びる仮想線と前記凸部が形成される側面とによって囲まれる空間内に配置される、
   請求項１または請求項２に記載のアクチュエータ。
6. 前記圧電素子に接続する電極パターンを備え、
   前記電極パターンは、平面視において前記圧電素子または前記外縁部に重なる内部接続部と、外部に接続する外部端子とを備え、
   前記外部端子は、前記平面視において、前記振動部材の外縁よりも外方に突出する形状であり、
   前記外部端子が前記外方に突出する部分と前記凸部とは、平面視において、前記枠体を介して離間する位置に配置される、
   請求項１または請求項２に記載のアクチュエータ。
7. 請求項１または請求項２記載のアクチュエータと、
   前記枠体を間に挟んで、前記振動部材に対向する板状の蓋部材と、
   を備える、ポンプ。
8. 請求項１または請求項２に記載のアクチュエータの製造方法であって、
   所定方向に延伸された金属からなるマザー基板から、それぞれの枠体に対するそれぞれの凸部の位置が同じになるように、前記複数の枠体を切り出す、
   アクチュエータの製造方法。

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