JP7351407B2 - アクチュエータ、流体制御装置、および、アクチュエータの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、圧電素子によって平板を振動させるアクチュエータに関する。

特許文献１には、圧電素子を用いたポンプが開示されている。特許文献１に記載のポンプは、圧電素子、振動板、給電板、および、対向板を備える。

振動板は、円板、枠体、および、連結部を備える。枠体は、円板を囲んで配置されており、連結部によって、円板の外縁に接続する。連結部は、梁形状であり、枠体に対して、円板を振動可能に支持する。

圧電素子は、振動板における円板の一方主面に配置されている。給電板は、圧電素子における振動板側と反対側に配置されている。給電板の内部接続端子は、圧電素子における振動板側と反対側の面に接続する。

対向板は、振動板における圧電素子が配置される側と反対側に配置されている。対向板は、振動板における枠体に接続する。

給電板と対向板とには、それぞれ外部接続端子が設けられており、これらによって、圧電素子へ駆動信号が供給される。

国際公開第２０１６／１７５１８５号

しかしながら、特許文献１に示すような従来の構成では、２個の外部接続端子は、ポンプの厚み方向（主面に直交する方向）の異なる位置に配置される。このため、２個の外部接続端子に対する外部からの配線は、容易ではない。

さらに、ポンプの厚み方向における２個の外部接続端子の位置を同じにしながら、当該厚み方向の異なる位置にある圧電素子の給電面（２主面）への駆動信号の供給を、簡素な構造で実現することは、難しかった。

したがって、本発明の目的は、装置の厚み方向における２個の外部接続端子の位置を同じにしながら、圧電素子への駆動信号の供給を、簡素な構造で、より確実に実現できるアクチュエータを提供することにある。

この発明のアクチュエータは、第１部材、圧電素子、第１給電部材、第２給電部材、および、絶縁層を備える。第１部材は、第１主面と第２主面とを有する導電板からなり、第１平板と、第１平板を囲む枠体と、第１平板の外縁と枠体とに接続し、枠体に対して第１平板を連結する連結部材とを備える。圧電素子は、第３主面と第４主面とを有し、第３主面が第１平板の第１主面に対向し、第１平板に配置される。第１給電部材は、第１部材の第１主面側に配置され、第１部材の枠体に接続する。第２給電部材は、第１部材に対して第１給電部材と同じ側に配置され、第４主面に接続する部分と枠体に重なる部分とを有する。絶縁層は、第２給電部材と前記枠体との間に配置される。第１給電部材および第２給電部材と、圧電素子とが並ぶ方向を厚み方向として、第１給電部材は、厚み方向に直交する方向に突出する第１外部接続端子を備える。第２給電部材は、厚み方向に直交する方向に突出する第２外部接続端子を備える。第１外部接続端子と第２外部接続端子とは、厚み方向の同じ位置に配置される。第１給電部材における第１外部接続端子が突出する側と反対側の部分は、枠体側に屈曲して、枠体へ電気的に接続する。

この構成では、アクチュエータの厚み方向における第１外部接続端子の位置と第２外部接続端子の位置とが同じになり、且つ、第１給電部材が枠体に直接的に接続され、ひいては圧電素子に接続され、第２給電部材が圧電素子に直接的に接続される。

この発明によれば、装置の厚み方向における２個の外部接続端子の位置を同じにしながら、圧電素子への駆動信号の供給を、簡素な構造で、より確実に実現できる。

図１は、第１の実施形態に係るアクチュエータ１１を含む流体制御装置１０の分解斜視図である。 図２（Ａ）は、第１の実施形態に係るアクチュエータ１１の平面図であり、図２（Ｂ）、図２（Ｃ）、図２（Ｄ）は、アクチュエータ１１の側面断面図である。 図３は、第１の実施形態に係るアクチュエータ１１の各部品のハッチングを異ならせた平面図である。 図４は、給電部材６０の斜視図である。 図５は、第２の実施形態に係るアクチュエータ１１Ａを含む流体制御装置１０Ａの分解斜視図である。 図６（Ａ）は、第２の実施形態に係るアクチュエータ１１Ａの平面図であり、図６（Ｄ）は、アクチュエータ１１Ａの側面断面図である。 図７（Ｂ）、図７（Ｃ）は、第３の実施形態に係るアクチュエータ１１Ｂの側面断面図である。

（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータおよび流体制御装置について、図を参照して説明する。図１は、第１の実施形態に係るアクチュエータ１１を含む流体制御装置１０の分解斜視図である。図２（Ａ）は、第１の実施形態に係るアクチュエータ１１の平面図であり、図２（Ｂ）、図２（Ｃ）、図２（Ｄ）は、アクチュエータ１１の側面断面図である。図３は、第１の実施形態に係るアクチュエータ１１の各部品のハッチングを異ならせた平面図である。なお、各図は、アクチュエータおよび流体制御装置の構成を分かり易くするため、それぞれの構成要素の形状を部分的または全体として誇張して記載している。

（アクチュエータ１１の構成）
図１、図２（Ａ）、図２（Ｂ）、図２（Ｃ）、図２（Ｄ）、および、図３に示すように、アクチュエータ１１は、第１部材２０、圧電素子３０、給電部材６０、および、絶縁層７０を備える。

（第１部材２０の構成）
第１部材２０は、導電板であり、主面２０１と主面２０２とを有する。主面２０１が、本発明の「第１主面」に対応し、主面２０２が、本発明の「第２主面」に対応する。第１部材２０は、第１平板２１、枠体２２、および、複数の連結部材２３を備える。

第１平板２１は、平面視した形状（厚み方向に視た形状）が円形の平板である。

枠体２２は、平板であり、第１平板２１の外縁よりも第１平板２１の中心から視て外側に配置されている。平面視において、枠体２２は、第１平板２１を囲んでいる。すなわち、枠体２２は、中央に円形の開口を有し、第１平板２１は、この開口内に配置される。開口の形状は、第１平板２１の外形と相似形であり、第１平板２１の外形よりも大きい。枠体２２の外形は、例えば、矩形であるが、枠体２２の外形は、矩形に限るものではない。

複数の連結部材２３は、梁形状である。複数の連結部材２３は、第１平板２１と枠体２２との間に配置されている。複数の連結部材２３は、第１平板２１の外縁と枠体２２の内縁とに接続する。複数の連結部材２３は、第１平板２１の外縁に沿って、間隔を空けて配置されている。なお、連結部材２３の個数は、３個以上であればよく、複数の連結部材２３は、第１平板２１の外周に沿って等間隔に配置するとよい。

複数の空隙２３０は、第１部材２０を、主面２０１から主面２０２まで貫通する。複数の空隙２３０は、第１平板２１と枠体２２との間に配置されている。複数の空隙２３０は、第１平板２１と枠体２２との間の領域において、第１平板２１と枠体２２と複数の連結部材２３に囲まれた部分である。

このような構成により、複数の空隙２３０は、第１平板２１の主面２０１側の空間と主面２０２側の空間とを連通する。また、このような複数の空隙２３０を挟んで、複数の連結部材２３が形成されることによって、複数の連結部材２３は、変形し易い。すなわち、複数の連結部材２３は、枠体２２に対して、第１平板２１を振動可能に連結する。ここでの第１平板２１の振動は、ベンディング振動であり、第１平板２１を側面視して（厚み方向に直交する方向に視て）、主面２０１および主面２０２が波状に変位する振動である。

（圧電素子３０の構成）
図２（Ｂ）に示すように、圧電素子３０は、圧電体３１、駆動電極３２１、および、駆動電極３２２を備える。圧電体３１は、円形の平板である。駆動電極３２１は、平板状の圧電体３１の一方主面に形成され、駆動電極３２２は、平板状の圧電体３１の他方主面に形成されている。圧電素子３０における駆動電極３２１側の外主面３０１が、本発明の「第３主面」に対応し、圧電素子３０における駆動電極３２２側の外主面３０２が、本発明の「第４主面」に対応する。

（給電部材６０の構成）
図４は、給電部材６０の斜視図である。給電部材６０は、主面６０１および主面６０２を有する導電板であり、第１給電部材６１と第２給電部材６２とを備える。第１給電部材６１と第２給電部材６２とは、アクチュエータ１１の厚み方向であるｚ方向（各図参照）において、同じ位置に配置される。

第１給電部材６１の外形は、第１部材２０の外形と略同じであり、中央に、開口６００を有する。開口６００は、第１部材２０の枠体２２が連結部材２３に接続する側の枠体２２の形状（内形）、言い換えれば、第１部材２０の第１平板２１、複数の連結部材２３および空隙２３０を合わせた形状と、略同じである。なお、開口６００は、枠体２２の内形以上であればよい。

開口６００は、厚み方向に直交する一方向であるｘ方向（各図参照）において、第１給電部材６１の外部につながっている。言い換えれば、第１給電部材６１は、ｘ方向の一方側において、環状が部分的に切れる弧状である。

第１給電部材６１は、第１外部接続端子６１９を備える。第１外部接続端子６１９は、第１給電部材６１における切れる部分がある側の端部からｘ方向に突出する矩形の形状である。ｚ方向において、第１外部接続端子６１９は、第１給電部材６１と同じ位置に配置される。

第２給電部材６２は、第１部分６２１、第２部分６２２、および、第３部分６２３を備え、これらが一体形成されている。第１部分６２１は、第１給電部材６１とともに、平面視した枠体２２と重なる場所に位置し、枠体２２とともに開口６００の外形の一部を形成する。第２部分６２２および第３部分６２３は、ｘ方向に延びる帯状である。

第２部分６２２のｘ方向の一方端は、第１部分６２１に接続し、他方端は、第３部分６２３に接続する。第２部分６２２は、ｚ方向に湾曲する部分とｘ方向に延びる部分とを有する。ｚ方向に湾曲する部分は、ｘ方向に延びる部分の両端に接続する。第２部分６２２は、これらｚ方向に湾曲する部分によって第１部分６２１および第３部分６２３に、それぞれ接続する。

これにより、第２給電部材６２は、延びる方向（ｘ方向）の途中において、主面６０１側から視て部分的にｚ方向に凹む、言い換えれば、主面６０２側から視て部分的にｚ方向に突出する、湾曲部を備える。

第２給電部材６２の第１部分６２１は、第１給電部材６１における環状が切れる部分に配置される。第１部分６２１は、第１給電部材６１から離間している。第２部分６２２は、開口６００の内部に突出するように配置されており、この先端に第３部分６２３が配置される。

第２給電部材６２は、第２外部接続端子６２９を備える。第２外部接続端子６２９は、第１部分６２１における第２部分６２２が突出する側と反対側の端部からｘ方向に突出する矩形の形状である。ｚ方向において、第２外部接続端子６２９は、第２給電部材６２の第１部分６２１と同じ位置に配置される。これにより、第２外部接続端子６２９と第１外部接続端子６１９とは、ｚ方向（アクチュエータ１１の厚み方向）において、同じ位置に配置される。なお、ｚ方向（アクチュエータ１１の厚み方向）において、第２外部接続端子６２９と第１外部接続端子６１９とが同じ位置であるとは、それぞれの両主面が一致するような完全に同じ位置であることが好ましいが、これに限らない。厚み方向における第２外部接続端子６２９の位置と、厚み方向における第１外部接続端子６１９の位置とが、少なくとも一部で重なるように、第２外部接続端子６２９と第１外部接続端子６１９とが配置される場合を含んでいてもよい。

第１給電部材６１と第２給電部材６２とは、図４に示すように、接続部材６３によって繋がれた状態で成型され、アクチュエータ１１の組み立てが行われた後、より具体的には、第１給電部材６１を枠体２２に接続し、第２給電部材６２を圧電素子３０に接続した後に、個別に分離される。これにより、第１給電部材６１と第２給電部材６２との位置関係を安定して保ちながら、アクチュエータ１１を組み立てることができる。

この際、接続部材６３は、第１外部接続端子６１９、および、第２外部接続端子６２９を介して、第１給電部材６１および第２給電部材６２に繋がっている。

（絶縁層７０の構成）
絶縁層７０は、絶縁性を有する膜状である。絶縁層７０は、例えば、エポキシ、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエステル、ポリエーテルサルフォン等のいずれかを主成分とする樹脂によって形成される。絶縁層７０は、第１絶縁層７１と第２絶縁層７２を備える。第１絶縁層７１は、第１給電部材６１における第１外部接続端子６１９を有する側の部分と、略同じ形状である。第２絶縁層７２は、第２給電部材６２の第１部分６２１と、第２部分６２２の一部とを合わせた部分と、略同じ形状である。

（アクチュエータ１１の各構成要素の配置、接続関係）
圧電素子３０は、第１平板２１の主面２０１に配置される。具体的には、圧電素子３０の外主面３０１は、第１平板２１の主面２０１に対向し、駆動電極３２１と第１平板２１とは、導電性接合剤によって接合される。なお、本願での接合剤は、接着剤も含む。アクチュエータ１１の平面視において、圧電素子３０の中心と第１平板２１の中心とは、略一致している。圧電素子３０は、駆動電極３２１、３２２に駆動信号が印加されることで歪む。この歪みによって、上述のように、第１平板２１は、振動する。

給電部材６０は、第１部材２０の主面２０１側に配置される。言い換えれば、給電部材６０は、第１部材２０における圧電素子３０が配置される側に配置される。

また、給電部材６０は、主面６０１が第１部材２０の主面２０１に対向するように配置される。これにより、第２給電部材６２は、ｚ方向において、第２部分６２２が第１部分６２１および第３部分６２３よりも圧電素子３０から離間するように配置される。言い換えれば、第２給電部材６２は、延びる方向の途中に、アクチュエータ１１の厚み方向において圧電素子３０から離間する湾曲部を備える。

第１給電部材６１および第２給電部材６２は、ｚ方向に視て、より具体的に、次のように配置される。第１給電部材６１は、第１部材２０の枠体２２に重なるように配置される。第２給電部材６２の第１部分６２１は、枠体２２に重なるように配置される。第２給電部材６２の第３部分６２３は、圧電素子３０に重なるように配置される。第３部分６２３は、圧電素子３０の外主面３０２に当接する。

第１給電部材６１の第１外部接続端子６１９を有する側の近端側部分６１１（主に、図２（Ａ）、図２（Ｃ）を参照）は、第１絶縁層７１を介して枠体２２に物理的に接続する。より具体的には、第１絶縁層７１は、第１給電部材６１の近端側部分６１１における主面６０１に形成されている。そして、この第１絶縁層７１の表面（近端側部分６１１への当接面と反対側の面）が、接着剤８１を用いて、枠体２２に接合される。

第１給電部材６１の第１外部接続端子６１９を有する側の反対側の遠端側部分６１２（主に、図２（Ａ）、図２（Ｃ）を参照）は、枠体２２に、物理的かつ電気的に接続する。より具体的には、遠端側部分６１２には絶縁層は形成されていない。そして、第１給電部材６１は、遠端側部分６１２が近端側部分６１１よりも枠体２２側になるように屈曲している。この状態において、遠端側部分６１２の主面６０１は、接着剤８１を用いて、枠体２２に接合される。ここで、接着剤８１が導電性であること（例えば、導電性フィラーを含んでいること）により、遠端側部分６１２と枠体２２とは、物理的かつ電気的に接続する。すなわち、第１給電部材６１と枠体２２とは物理的かつ電気的に接続した状態で、第１給電部材６１は枠体２２に固定される。

第２給電部材６２（主に、図２（Ａ）、図２（Ｂ）、図２（Ｄ）を参照）は、第２絶縁層７２を介して、枠体２２に物理的に接続する。より具体的には、第２絶縁層７２は、第２給電部材６２における第１部分６２１の全体および第２部分６２２の一部における主面６０１に形成されている。そして、この第２絶縁層７２の表面（第１部分６２１への当接面と反対側の面）が、接着剤８２を用いて、枠体２２に接合される。これにより、第２給電部材６２は、枠体２２から絶縁された状態で、枠体２２に固定される。

上述の構成により、圧電素子３０の駆動電極３２１は、第１部材２０、第１給電部材６１を介して、第１外部接続端子６１９に接続する。圧電素子３０の駆動電極３２２は、第２給電部材６２を介して、第２外部接続端子６２９に接続する。これにより、圧電素子３０に、外部から駆動信号を供給できる。

また、この構成では、第１絶縁層７１と第２絶縁層７２との厚みが同じであることによって、アクチュエータ１１における厚み方向における、第１外部接続端子６１９の位置と第２外部接続端子６２９の位置とが同じになる。これにより、第１外部接続端子６１９と第２外部接続端子６２９に対する外部からの配線は、容易になる。なお、ここでの位置が同じとは、製造上のバラツキによる誤差の範囲内も含む。

この際、接着剤８１および接着剤８２を省略することで、アクチュエータ１１における厚み方向における、第１外部接続端子６１９の位置と第２外部接続端子６２９の位置とをさらに高精度に同じにできる。この場合、第１給電部材６１は、屈曲形状を維持できるようなものであればよい。例えば、第１給電部材６１は、導電性を有し、塑性変形が可能な金属等であればよい。ただし、接着剤８１および接着剤８２を用いることで、第１給電部材６１および第２給電部材６２は、より確実に固定され、第１給電部材６１と枠体２２との導通は、より確実になる。

また、より厳密には、接着剤８１の厚みと接着剤８２の厚みとが同じであることで、第１外部接続端子６１９の位置と第２外部接続端子６２９の位置とが同じになる。しかしながら、接着剤８１と接着剤８２とに同じものを用いる等の製造上の制御を行うことで、通常、接着剤８１の厚みと接着剤８２の厚みとは、略同じにできる。したがって、上述の同じの概念の範囲内で、第１外部接続端子６１９の位置と第２外部接続端子６２９の位置とは、同じにできる。

また、この構成では、第１外部接続端子６１９を含む第１給電部材６１と、第２外部接続端子６２９を含む第２給電部材６２とが、アクチュエータ１１の厚み方向において、同じ位置にあることで、従来技術のように、圧電素子の二個の駆動電極へ駆動信号を供給する部材を圧電素子で挟んでアクチュエータの厚み方向の異なる位置に配置するよりも、アクチュエータ１１を小型にできる。また、この構成によって、駆動信号の供給経路を複雑にすることなく、圧電素子に駆動信号を供給できる。言い換えれば、アクチュエータ１１は、簡素な構造で、圧電素子へ駆動信号を供給でき、ひいては、簡素な構造を用いることで、駆動信号のより確実な供給を実現できる。

また、この構成では、第２給電部材６２が上述の湾曲部を有することによって、第３部分６２３は、所定の付勢力をもって、圧電素子３０の外主面３０２に押しつけられる。これにより、第３部分６２３と圧電素子３０との物理的および電気的な接続の安定性は、向上する。特に、第２絶縁層７２の厚みが圧電素子３０の厚みよりも薄ければ、第２給電部材６２の第２部分６２２および第３部分６２３は、非駆動状態において、圧電素子３０によって押し上げられる。したがって、第２給電部材６２は、圧電素子３０に対して、より確実に付勢力が与えられる。これにより、第３部分６２３と圧電素子３０との物理的および電気的な接続の安定性は、さらに向上する。

また、上述のように、第１給電部材６１および第２給電部材６２は、１つの給電部材６０として、一体化された状態で第１部材２０に組み付けられる。そして、組み付けられた後に、第１給電部材６１と第２給電部材６２とに分割される。これにより、第１給電部材６１と第２給電部材６２の位置関係を高精度に保った状態で、アクチュエータ１１を組み立てられる。したがって、第１給電部材６１を枠体２２に接続し、第２給電部材６２を圧電素子３０に接続した構造を、高精度に、且つ、容易に実現できる。

また、上述の構成において、第１絶縁層７１と第２絶縁層７２とは、給電部材６０とともに形成するとよい。すなわち、給電部材６０の状態、より具体的には、開口６００等を形成する前の平板の状態において、帯状に塗布したり、印刷をしたり、所定幅の絶縁テープを貼り付けることによって、第１絶縁層７１と第２絶縁層７２とを形成する。これにより、第１絶縁層７１と第２絶縁層７２とを、より確実に、所定領域に形成できる。また、第１絶縁層７１の厚みと第２絶縁層７２の厚みとを、より確実に同じにできる。

（流体制御装置１０の構成）
上述の構成からなるアクチュエータ１１を用いることで、図１に示すように、流体制御装置１０を構成できる。流体制御装置１０は、アクチュエータ１１、第２平板４０、および、側壁部材５０を備える。

第２平板４０は、アクチュエータ１１の第１部材２０における主面２０２側に配置される。第２平板４０は、複数の貫通孔４００を備える。

側壁部材５０は、中空５００を有する環状であり、アクチュエータ１１の第１部材２０と、第２平板４０との間に配置される。側壁部材５０は、第１部材２０の枠体２２と、第２平板４０とに接続する。これにより、アクチュエータ１１、側壁部材５０、および、第２平板４０によって囲まれる空間（側壁部材５０の中空５００）は、ポンプ室となる。ポンプ室は、複数の貫通孔４００によって、流体制御装置１０の第２平板４０側の外部空間に連通する。また、ポンプ室は、複数の空隙２３０によって、流体制御装置１０のアクチュエータ１１側の外部空間に連通する。

（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係るアクチュエータおよび流体制御装置について、図を参照して説明する。図５は、第２の実施形態に係るアクチュエータ１１Ａを含む流体制御装置１０Ａの分解斜視図である。図６（Ａ）は、第２の実施形態に係るアクチュエータ１１Ａの平面図であり、図６（Ｄ）は、アクチュエータ１１Ａの側面断面図である。

図５、図６（Ａ）、図６（Ｄ）に示すように、第２の実施形態に係る流体制御装置１０Ａは、アクチュエータ１１Ａの構成において、第１の実施形態に係る流体制御装置１０と異なる。流体制御装置１０Ａの他の構成は、流体制御装置１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。アクチュエータ１１Ａは、第１の実施形態に係るアクチュエータ１１に対して、第１部材２０Ａの構成において異なる。アクチュエータ１１Ａの他の構成は、アクチュエータ１１と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

第１部材２０Ａは、枠体２２に、複数の凹部２４を備える。複数の凹部２４は、主面２０１から凹む形状であり、ｘ方向に延びる形状である。

複数の凹部２４は、枠体２２における第２給電部材６２の第１部分６２１が配置される位置に形成される。より具体的には、凹部２４は、アクチュエータ１１Ａを平面視して（ｚ方向に視て）、第２給電部材６２の第１部分６２１の側端６２５に重なる。

このような構成により、アクチュエータ１１Ａは、アクチュエータ１１と同様に、ｚ方向（厚み方向）における２個の外部接続端子の位置を同じにしながら、圧電素子３０への駆動信号の供給を、簡素な構造で、より確実に実現できる。

さらに、この構成によって、第２絶縁層７２の側端が第１部分６２１の側端６２５よりも内側にあり、第１部分６２１における枠体２２側の面が露出していても、凹部２４によって枠体２２からの距離が大きくなる。これにより、第１部分６２１と枠体２２との短絡を抑制できる。これは、例えば、上述のように、第１絶縁層７１と第２絶縁層７２との形成後に第１給電部材６１と第２給電部材６２とを分離する製造方法を用いた場合に、特に有効である。この製造方法の場合、第１給電部材６１と第２給電部材６２との切り出しの際に、第２絶縁層７２における切断面付近の一部が欠ける可能性がある。そして、もし欠けが発生すると、上述のように、第１部分６２１の側端６２５の第２絶縁層７２は、無くなってしまう。このような場合に、上述の凹部２４を形成しておくことで、第２給電部材６２の第１部分６２１と枠体２２との短絡を抑制できる。また、この構成によって、接着剤８２の側端は、凹部２４に入り込むので、第２給電部材６２の第１部分６２１と枠体２２との接着剤８２を介した短絡も抑制できる。

（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係るアクチュエータおよび流体制御装置について、図を参照して説明する。図７（Ｂ）、図７（Ｃ）は、第３の実施形態に係るアクチュエータ１１Ｂの側面断面図である。

図７（Ｂ）、図７（Ｃ）に示すように、第３の実施形態に係るアクチュエータ１１Ｂは、第１の実施形態に係るアクチュエータ１１に対して、第２給電部材６２Ｂ、および、第１絶縁層７１Ｂ、第２絶縁層７２Ｂの構成において異なる。アクチュエータ１１Ｂの他の構成は、アクチュエータ１１と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

第２給電部材６２Ｂは、第１の実施形態に係る第２給電部材６２に対して、湾曲部を有さない点で異なる。すなわち、第２給電部材６２Ｂは、平坦面のみを有する平板である。

第１絶縁層７１Ｂおよび第２絶縁層７２Ｂの厚みは、圧電素子３０の厚みと略同じである。

このような構成であっても、アクチュエータ１１Ｂは、アクチュエータ１１と同様に、ｚ方向（厚み方向）における２個の外部接続端子の位置を同じにしながら、圧電素子３０への駆動信号の供給を、簡素な構造で、より確実に実現できる。

１０、１０Ａ：流体制御装置
１１、１１Ａ、１１Ｂ：アクチュエータ
２０、２０Ａ：第１部材
２１：第１平板
２２：枠体
２３：連結部材
２４：凹部
３０：圧電素子
３１：圧電体
４０：第２平板
５０：側壁部材
６０：給電部材
６１：第１給電部材
６２、６２Ｂ：第２給電部材
６３：接続部材
７０：絶縁層
７１、７１Ｂ：第１絶縁層
７２、７２Ｂ：第２絶縁層
８１、８２：接着剤
２０１、２０２：主面
２３０：空隙
３０１、３０２：外主面
３２１、３２２：駆動電極
４００：貫通孔
５００：中空
６００：開口
６０１、６０２：主面
６１１：近端側部分
６１２：遠端側部分
６１９：第１外部接続端子
６２１：第１部分
６２２：第２部分
６２３：第３部分
６２５：側端
６２９：第２外部接続端子

Claims (10)

1. 第１主面と第２主面とを有する導電板からなり、第１平板と、前記第１平板を囲む枠体と、前記第１平板の外縁と前記枠体とに接続し、前記枠体に対して前記第１平板を連結する連結部材とを備える第１部材と、
   第３主面と第４主面とを有し、前記第３主面が前記第１平板の前記第１主面に対向し、前記第１平板に配置される圧電素子と、
   前記第１部材の前記第１主面側に配置され、前記第１部材の前記枠体に接続する第１給電部材と、
   前記第１部材に対して前記第１給電部材と同じ側に配置され、前記第４主面に接続する部分と前記枠体に重なる部分とを有する第２給電部材と、
   前記第２給電部材と前記枠体が重なる部分において前記第２給電部材と前記枠体との間に配置された絶縁層と、
   を備え、
   前記第１給電部材および前記第２給電部材と、前記圧電素子とが並ぶ方向を厚み方向として、
   前記第１給電部材は、前記厚み方向に直交する方向に突出する第１外部接続端子を備え、
   前記第２給電部材は、前記厚み方向に直交する方向に突出する第２外部接続端子を備え、
   前記第１外部接続端子と前記第２外部接続端子とは、前記厚み方向の同じ位置に配置され、
   前記第１給電部材における前記第１外部接続端子が突出する側と反対側の部分は、前記枠体側に屈曲して、前記枠体へ電気的に接続する、
   アクチュエータ。
2. 前記第２給電部材は、延びる方向の途中に、前記厚み方向において前記圧電素子から離間している湾曲部を備える、
   請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記絶縁層は、前記圧電素子よりも薄い、
   請求項１または請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記第１給電部材と前記枠体とを接着する導電性を有する接着剤を備える、
   請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のアクチュエータ。
5. 前記枠体は、前記第１主面から凹む凹部を備え、
   前記厚み方向に視て、前記凹部は、前記第２給電部材の側端に重なっている、
   請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のアクチュエータ。
6. 請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のアクチュエータと、
   前記第１部材の前記第２主面側に配置され、貫通孔を有する第２平板と、
   前記第２平板と前記枠体とに接続し、前記第１部材と前記第２平板とともに、ポンプ室を形成する側壁部材と、
   を備える、流体制御装置。
7. 請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のアクチュエータの製造方法であって、
   前記第１給電部材と前記第２給電部材とを接続する接続部材を備え、
   前記第１給電部材と前記第２給電部材と前記接続部材とは、一体形成されており、
   前記第１給電部材を前記圧電素子に接続し、前記第２給電部材を前記枠体に接続した後に、前記第１給電部材と前記第２給電部材とを前記接続部材から切り離す、
   アクチュエータの製造方法。
8. 前記第１給電部材、前記第２給電部材、および、前記接続部材が一体形成されている状態において、前記第１給電部材および前記第２給電部材に前記絶縁層を形成する、
   請求項７に記載のアクチュエータの製造方法。
9. 前記絶縁層を、帯状の塗装または帯状の絶縁テープの添付によって、形成する、
   請求項８に記載のアクチュエータの製造方法。
10. 前記第１給電部材と前記接続部材とを繋ぐ部分を、前記第１外部接続端子とし、
    前記第２給電部材と前記接続部材とを繋ぐ部分を、前記第２外部接続端子とする、
    請求項７乃至請求項９のいずれかに記載のアクチュエータの製造方法。

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